JPH10318905A - クリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム及びそれを利用したモニターリング方法 - Google Patents

クリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム及びそれを利用したモニターリング方法

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JPH10318905A
JPH10318905A JP10020539A JP2053998A JPH10318905A JP H10318905 A JPH10318905 A JP H10318905A JP 10020539 A JP10020539 A JP 10020539A JP 2053998 A JP2053998 A JP 2053998A JP H10318905 A JPH10318905 A JP H10318905A
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JP
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signal
clean room
state
particle counter
monitoring system
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JP10020539A
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English (en)
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Lee Jung-Sun
リー ジュング−スン
Rim Kiion
リム キ−ヲン
Han An Yo
アン ヨー−ハン
Choi Jae-Heung
チョイ ジャエ−ヘウング
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Samsung Electronics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electronics Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 半導体装置の製造工程が行われるクリーンル
ーム内部のパーティクルカウンター１６，１８等の計測
装置から、計測状態に対する信号が近距離通信網（ＬＡ
Ｎ）を経てホストコンピュータに転送されることで、計
測装置の作動状態がオンラインで実時間で監視すること
ができるクリーンルーム計測装置状態モニターリングシ
ステム及び、それを利用したモニターリング方法を提供
する。 【解決手段】 パーティクルカウンターのようなクリー
ンルームに設置された計測機器の計測結果と計測機器の
正確な計測遂行のためのポンピング状態又は光の強さの
ような状態に関する情報をオンラインで遠距離に位置す
るホストコンピュータ２０に転送して、ホストコンピュ
ータ２０にインストールされた自己診断機能を行うため
のソフトウェアを用いて、計測機器の状態を正確にチェ
ックするように構成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルーム計測
装置状態モニターリングシステム及びそれを利用したモ
ニターリング方法に関するもので、より詳しくは半導体
装置の製造工程が行われるクリーンルーム内部のパーテ
ィクルカウンターのような計測装置から計測状態に対す
る信号が近距離通信網（Local Area Network : 以下「L
AN」とする）を通じてホストコンピュータに転送される
ことで計測装置の作動状態が実時間で監視できるように
改善させたクリーンルーム計測装置状態モニターリング
システム及びそれを利用したモニターリング方法に関す
るものである。
【０００２】
【従来の技術】最近、電気及び電子産業を含む先端産業
で一定な条件以下の高清浄状態が製造環境に提供できる
ようにクリーンルーム（Clean Room）が製造工場の内部
に設置され稼動されている。特に、高集積度を要求する
半導体装置製造工程は大部分クリーンルームで行われて
いる。
【０００３】半導体装置製造のためのクリーンルームは
内部の温度、湿度、風速及び差圧等を含む各種の総合的
な内部大気の状態がチェックされなければならないし、
そのためにクリーンルーム内部には温湿度をセンシング
するためのセンサー、内部流体の流速をセンシングする
ためのセンサー、内部と外部の差圧を感知するためのセ
ンサー及びクリーンルーム内部のパーティクル分布状況
を計測するためのパーティクルカウンター等のような計
測装置が設置される。
【０００４】これらの温度、湿度、風速、差圧及びパー
ティクル分布状況などは工程の収率に深刻な影響を与え
られる項目であり、半導体装置製造ラインには前述した
センサーによってセンシングされる項目が予防点検の項
目として設定されて周期的にチェックされている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかし、パーティクル
の分布状況を計測するパーティクルカウンターのような
計測機器に異常が発生した場合には正常な計測が行われ
ないし、これのために周期的にパーティクルカウンター
の状態を現場でチェックしなければならなかった。
【０００６】従来のようなパーティクルカウンターのよ
うな計測設備に関する現場チェックは計測設備に異常が
発生されてすぐに行われることは難しかったし、そのた
めにクリーンルーム内部の環境計測データーに対する信
頼度は低かった。
【０００７】従って、クリーンルーム内部の計測機器に
対するより効果的で容易で能率的な実時間予防点検を行
われることができるシステムが望まれている。
【０００８】本発明の目的は、クリーンルーム内部の環
境を計測する計測設備の異常の有無をLANを利用して実
時間監視するためのクリーンルーム計測装置状態モニタ
ーリングシステムを提供することにある。
【０００９】本発明の他の目的は、ホストコンピュータ
に自己診断機能を与えてクリーンルーム内部の環境を計
測する計測設備の異常の有無を実時間モニターリングす
るためのクリーンルーム計測装置状態モニターリングシ
ステムを提供することにある。
【００１０】本発明の他の目的は、クリーンルーム内部
に設置された計測設備の作動状態点検のための自己診断
機能を行うためのクリーンルーム計測装置状態モニター
リングシステムを利用したモニターリング方法を提供す
ることにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
めの本発明によるクリーンルーム計測装置状態モニター
リングシステムは、クリーンルームに設置されて内部環
境を計測するために構成される計測装置の状態をチェッ
クするためのクリーンルーム計測装置状態モニターリン
グシステムにおいて、パーティクルカウントのための流
体のポンピングが行われ、ポンピングされる流体に含ま
れたパーティクルをカウントした結果を出力するパーテ
ィクルカウンターと、前記流体のポンピング状態を電気
的信号に変換して前記ポンピング状態に対する信号と前
記カウントした結果による信号を通信可能な条件に変換
させる信号変換手段と、前記信号変換手段から出力され
る信号を転送する転送手段と、前記転送手段を通じて転
送されるパーティクルカウンターに対する信号を利用し
てパーティクルカウンターのポンピング状態及びカウン
ト結果をモニターリングできるようにディスプレーする
ホストコンピュータとからなることを特徴とする。
【００１２】そして、前記パーティクルカウンターは光
学的にパーティクルを分別するもので構成され得るし、
空気、液体又はガスのような対象に含まれたパーティク
ルのカウント作動をするもので構成される。
【００１３】前記パーティクルカウンターが光学的にパ
ーティクルを分別するものに構成された場合は、前記変
換手段に、前記パーティクルカウンターからパーティク
ルを計測するために発生される光の強さに対する電気的
な信号がさらに与えられることによって前記光の強さに
対する電気的信号が通信可能に変換出力されるように構
成されるのが望ましい。
【００１４】そして、前記信号変換手段は前記パーティ
クルカウンターの前記カウンターの結果に対する信号を
通信可能の条件に変換させる第1信号変換機と、前記パ
ーティクルカウンターに設置されたポンプのポンピング
状態を電気的信号に変換する流量コントローラーと、前
記流量コントローラーの出力信号を通信可能条件に変換
させる第2信号変換機とを備えてなることが望ましい。
【００１５】そして、前記第1及び第2信号変換機はそれ
ぞれ入力された信号を空中回線網のためのXシリーズ勧
告案又はVシリーズの勧告案に従う信号に変換して出力
するように構成することができるし、Vシリーズの勧告
案に従う場合、RS-232-C方式による信号変換を行うよう
に構成されることが望ましい。
【００１６】そして、前記転送手段はLANノードプロセ
ッサー（Node Processor）を備えてなる。
【００１７】本発明によるクリーンルーム計測装置状態
モニターリングシステムは、クリーンルームに設置され
内部環境を計測するように構成される計測装置の状態を
チェックするためのクリーンルーム計測装置状態モニタ
ーリングシステムにおいて、パーティクルカウントのた
めに流体のポンピングが行われ、ポンピングされる流体
に含まれるパーティクルをカウントした結果を出力する
パーティクルカウンターと、前記流体のポンピング状態
を電気的信号に変換して、前記ポンピング状態に対する
信号と前記カウントした結果に対する信号を通信可能条
件に変換させる信号変換手段と、前記信号変換手段から
信号がインターフェイスを通じて入力されると前記パー
ティクルカウンターのポンピング状態及びカウント結果
をモニターリングできるようにディスプレーするホスト
コンピュータを備えてなることを別の特徴とする。
【００１８】一方、本発明によるクリーンルーム計測装
置状態モニターリングシステムを利用したモニターリン
グ方法は、クリーンルームに設置され内部環境を計測す
るように構成される計測装置の状態をチェックするため
のクリーンルーム計測装置状態モニターリングシステム
を利用することにおいて、前記計測装置の状態をチェッ
クするための自己診断機能を選択する段階と、前記自己
診断機能状態で診断するパーティクルカウンターを選択
する段階と、前記選択されたパーティクルカウンターか
ら入力されるパーティクルカウントのためにポンピング
される流量に対する第1出力信号と前記ポンピングされ
る流体に含まれるパーティクルをカウントした結果に対
する第2出力信号をモニターリングできるようにディス
プレーする段階とを行うものである。
【００１９】
【発明の実施の形態】本発明は、クリーンルームの内部
の計測機器の実時間監視のために第1実施形態例としてL
ANを利用して構成され得るし、第2実施形態例として計
測機器の出力信号がホストコンピュータに直接入力され
るように構成されることができる。
【００２０】まず、図1を参照して第1実施形態例の構成
及び動作について説明する。クリーンルームの内部には
各種のセンサー、即ち温湿度センサー10、差圧センサー
12及び流速センサー14等と複数個のパーティクルカウン
ター16、18が設置されている。
【００２１】そして、各種のセンサー10、12、14及びパ
ーティクルカウンター16、18から転送された信号を比較
及び判断して警報動作を行うホストコンピュータ20がイ
ンターフェイス22を通じてLANノードプロセッサー24に
接続されていて、LANノードプロセッサー24は他のLANノ
ードプロセッサー26、28とVシリーズ勧告案によるRS-48
5方式による通信網を構成している。
【００２２】そして、パーティクルカウンター16は計数
された結果による0V〜10Vの電圧信号を信号変換機30に
与えるように構成されているし、信号変換機30は入力さ
れるアナログ信号を転送するためにVシリーズの勧告案
によるRS-232-C方式の通信可能条件である4mA〜20mAの
電気的信号に変換してLANノードプロセッサー24に転送
するように構成されている。
【００２３】この時、信号変換機30はLANノードプロセ
ッサー24の斜陽により、前記の電圧信号を0V〜5Vの電圧
信号に変換することに構成することができる。
【００２４】一方、パーティクルカウンター16には空気
やガスのような流体をポンピングするためのポンプ32が
構成されており、流量コントローラー34はポンプ32でポ
ンピングされる流体の量を感知して電気的信号に変換し
て信号変換機36に与えるように構成されており、信号変
換機36は前述した信号変換機30と同一にRS-232-C方式通
信のために信号変換過程を経て変換された信号をLANノ
ードプロセッサ24に転送するように構成されている。
【００２５】そして、他のLANノードプロセッサー２６
とパーティクルカウンター18の間にもそれぞれ前述した
ような同一方式で信号変換機38と流量コントローラー42
及び信号変換機44が構成されている。
【００２６】そして、他のLANノードプロセッサー２８
には各種温湿度センサー10、差圧センサー12及び流速セ
ンサー14などが連結されている。
【００２７】本発明による第1実施形態例でパーティク
ルカウンター16、18等やセンサー14の各LANノードプロ
セッサー24、26、28の接続は必要によって重複されるか
可変され得るし、LANノードプロセッサー24を中心に一
つの信号転送がデジタルでなるように構成され得るし、
この時各信号の転送はXシリーズ勧告案に従う方式が採
択されることが望ましい。
【００２８】また、パーティクルカウンター16、18の中
のいずれか一つがパーティクルを光学的に検出して計数
する場合、パーティクルカウンターのパーティクル検出
のための光に利用されるヘリウムーネオン光、半導体ダ
イオード光又は、アルゴンレーザー光のような光の強さ
を電気的信号に変換してLANノードプロセッサーを通じ
てホストコンピュータ20に転送して、ホストコンピュー
タ20はこれを利用したモニターリング作動を行うように
構成されている。
【００２９】前述したように構成された本発明による第
1実施形態例はホストコンピュータ２０を通じてクリー
ンルームの内部の環境状態がモニターリングされる。そ
して、パーティクルカウンター16、18の作動状態が実時
間でモニターリングされる。
【００３０】即ち、パーティクルカウンター16、18でカ
ウントされる結果は0V〜10V電圧レベルを有する電気的
信号に出力され、出力信号は信号変換機30、38に入力さ
れた後、RS-232-C通信が可能な4mA〜20 mA又は0V〜5Vの
信号に変換されLANノードプロセッサー24に入力され
る。
【００３１】LANノードプロセッサー24、26、28の間の
信号転送はRS-485方式に従い、それによってLANノード
プロセッサー24、26、28は入力された信号をRS-485方式
による信号に変換して転送を行う。
【００３２】各LANノードプロセッサー24、26、28に入
力される温湿度センサー10、差圧センサー12、流速セン
サー14及びパーティクルカウンター16、18の信号はRS-2
32-CとRSー485方式による転送によってインターフェー
ス22を通じてホストコンピュータ20に入力される。
【００３３】ホストコンピュータ20は温湿度センサー1
0、差圧センサー12、流速センサー14及びパーティクル
カウンター16、18から入力される各種信号を比較及び演
算して、現在クリーンルーム内部の環境に対するモニタ
ーリングと実時間自己診断機能遂行のためのモニターリ
ングを行う。
【００３４】自己診断機能はパーティクルカウンター1
6、18のカウントの結果とポンピング状態を比較しなが
ら正常的なポンピング及びカウント作動が行われるかが
判断できるようにモニターリングすることである。勿
論、パーティクルカウンターが光学的な検出を行うこと
である場合、パーティクル検出のための光の強さをモニ
ターリングする機能が含まれる。
【００３５】ホストコンピュータ20は一つの単位工程又
は複合工程を行う少なくとも一つ以上のクリーンルーム
を管理するために利用され得るし、作業者はホストコン
ピュータ20を通じてモニターリングされる結果として作
業者は容易に実時間でクリーンルームに設置されたパー
ティクルカウンターのような計測機器の状態を実時間に
判断できる。
【００３６】即ち、作業者はホストコンピュータ20を利
用して自己診断機能を行おうとすると、図2のように段
階S2で自己診断機能を選択した後、段階S4で診断するパ
ーティクルカウンターを選択する。
【００３７】診断するパーティクルカウンターが段階S4
で選択されるとホストコンピュータ20は段階S6を行いイ
ンターフェイス22を通じて入力される信号をディスプレ
ーして作業者は現在選択されたパーティクルカウンター
に対する状態をモニターリングできる。従って、選択さ
れたパーティクルカウンターが正常的なカウント作動を
行うかの有無が判別できる。
【００３８】そして、選択されたパーティクルカウンタ
ーに対するモニターリングが終了されると段階S8で作業
者の選択によって段階S4と段階S6を再遂行して他のパー
ティクルカウンターのモニターリングが行われるか又
は、クリーンルーム内部のパーティクルカウンターのよ
うな計測設備に対するモニターリングの動作が終了され
る。
【００３９】本発明は第1実施形態例のように近距離通
信網を通じた中央管理方式として適用されるが、第2実
施形態例のように直接インターフェイス方式として構成
され得る。
【００４０】図3を参照すると、直接インターフェイス
方式による第2実施形態例はホストコンピュータ46の信
号の入出力が行われるインターフェイス48に温湿度セン
サー50、差圧センサー52および流速センサー54などが接
続され、パーティクルカウンター56、58のカウント結果
が信号変換機60、62を経てインターフェイスに入力され
るように構成され、この時、インターフェイス48への各
信号変換機60、62の接続方式はRS−232−Cに従う。もち
ろん、デジタル信号転送の場合、接続の方式がXシリー
ズ勧告案に従うようにインターフェイス48が構成され得
る。
【００４１】そして、パーティクルカウンター56、58に
構成されるポンプ64、66のポンピング状態が流量コント
ローラー68、70によって検出されるように構成されてい
て、各信号変換機72、74は各流量コントローラー68、70
から検出された結果による電気的な信号をRS−232−C方
式に適合するように変換した後、インターフェイス48に
転送するように構成されている。
【００４２】第2実施形態例は、前述したように、構成
によってパーティクルカウンター56のカウント結果とポ
ンピング状態が直接インターフェイス48を通じてホスト
コンピュータ46に入力され、ホストコンピュータ46は第
1実施形態例での自己診断機能と同一な自己診断機能を
行うことにより各パーティクルカウンターの状態をモニ
ターリングできる。
【００４３】本発明による第1実施形態例及び第2実施形
態例でのようにホストコンピュータに自己診断機能を行
うためには、パーティクルカウンターのような計測機器
の状態をモニターリングするためのソフトウェアがホス
トコンピュータにインストールされなければならない
し、ソフトウェアがプログラミングされたことによって
ホストコンピュータは図2の順によって自己診断機能を
行いクリーンルーム内部に設置されたパーティクルカウ
ンターのような計測機器の状態を時間及び日付を基準と
するグラフにディスプレーされ得るし、ホストコンピュ
ータによってディスプレーされるモニターリング状態デ
ータが出力装置を経て出力され得る。
【００４４】そして、本発明による実施形態例はパーテ
ィクルカウンターに関する状態をモニターリングするよ
うに構成されているが、その適用対象は多様に選択され
得るのである。
【００４５】従って、クリーンルームの予防管理項目に
対する信頼性のある評価を行うための計測機器の管理が
現場から遠く離れた所で容易に行われるので、クリーン
ルーム内部環境評価が信頼性のあるデータに正確に行わ
れ、計測機器の管理が効率的に行われることができる。
【００４６】以上で本発明の記載された具体例に対して
のみ詳細に説明したが、本発明の技術思想範囲内で多様
な変形及び修正が可能であることは当業者にとって明白
なことであり、このような変形及び修正が添付された特
許請求の範囲に属することは当然なことである。
【００４７】
【発明の効果】従って、本発明によるとクリーンルーム
に設置された各種計測機器に対するモニターリングがオ
ンラインで行われるので効率的で信頼性のあるクリーン
ルームの管理及び計測機器の管理が行われる効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるクリーンルーム計測装置状態モニ
ターリングシステムの一実施形態例を示すブロック図で
ある。
【図２】本発明によるクリーンルーム計測装置状態モニ
ターリングシステムを利用したモニターリング方法を示
す流れ図である。
【図３】本発明によるクリーンルーム計測装置状態モニ
ターリングシステムの他の実施形態例を示すブロック図
である。
【符号の説明】
10, 50…温湿度センサー 12, 52…差圧センサー 14, 54…流速センサー 16, 18, 56, 58…パーティクルカウンター 20, 46 …ホストコンピュータ 22, 48 …インターフェイス 24, 26, 28 …LANノードプロセッサー 30, 36, 38, 44, 60, 62, 72, 74 …信号変換機 34, 42, 68, 70 …流量コントローラー 32, 40, 64, 66 …ポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 キ−ヲン リム 大韓民国，キュングキ−ド，ヨンギン−シ ティー，キヘウング−エウブ，ノングセオ −リ，サン24 (72)発明者 ヨー−ハン アン 大韓民国，キュングキード，スングナム− シティー，プンタング−グ，チュングチャ −ドング，ハンソル ケイエヌエイチシー アパートメント 602−804 (72)発明者 ジャエ−ヘウング チョイ 大韓民国，キュングキード，ヨンギン−シ ティー，キヘウング−エウブ，ノングセオ −リ，サン24

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 クリーンルームに設置され内部環境を計
    測するように構成される計測装置の状態をチェックする
    ためのクリーンルーム計測装置状態モニターリングシス
    テムにおいて、 パーティクルカウントのための流体のポンピングが行わ
    れ、ポンピングされる流体に含まれたパーティクルをカ
    ウントする結果を出力するパーティクルカウンターと、 前記流体のポンピング状態を電気的信号に変換して、前
    記ポンピング状態に対する信号と前記カウントした結果
    に対する信号を通信可能条件に変換させる信号変換手段
    と、 前記信号変換手段から出力される信号を転送する転送手
    段と、 前記転送手段を経て転送されるパーティクルカウンター
    に対する信号を利用してパーティクルカウンターのポン
    ピング状態及びカウント結果をモニターリングするよう
    にディスプレーするホストコンピュータとを備えたこと
    を特徴とするクリーンルーム計測装置状態モニターリン
    グシステム。
  2. 【請求項２】 前記パーティクルカウンターは光学的に
    パーティクルを分別するものであることを特徴とする請
    求項１に記載のクリーンルーム計測装置状態モニターリ
    ングシステム。
  3. 【請求項３】 前記信号変換手段は、前記パーティクル
    カウンターからパーティクルを計測するために発生され
    る光の強さに対する電気的信号がさらに与えられ、前記
    光の強さに対する電気的信号が通信可能信号に変換出力
    されるように構成されていることを特徴とする請求項２
    に記載のクリーンルーム計測装置状態モニターリングシ
    ステム。
  4. 【請求項４】 前記パーティクルカウンターは、流体と
    して空気、液体又はガスの中のいずれかの対象に含まれ
    たパーティクルをカウントするものであることを特徴と
    する請求項１に記載のクリーンルーム計測装置状態モニ
    ターリングシステム。
  5. 【請求項５】 前記信号変換手段は、 前記パーティクルカウンターの前記カウント結果に対す
    る信号を通信可能条件に変換させる第１信号変換機と、 前記パーティクルカウンターに設置されたポンプのポン
    ピング状態を電気的信号に変換する流量コントローラー
    と、 前記流量コントローラーの出力信号を通信可能条件に変
    換させる第２信号変換機とを備えていることを特徴とす
    る請求項１に記載のクリーンルーム計測装置状態モニタ
    ーリングシステム。
  6. 【請求項６】 前記第１及び第２信号変換機は、それぞ
    れ入力された信号を空中回線網のためのＸシリーズ勧告
    による信号に変換して出力するように構成されているこ
    とを特徴とする請求項５に記載のクリーンルーム計測装
    置状態モニターリングシステム。
  7. 【請求項７】 前記第１及び第２信号変換機は、それぞ
    れ入力された信号を空中回線網のためのＶシリーズ勧告
    による信号に変換して出力するように構成されているこ
    とを特徴とする請求項５に記載のクリーンルーム計測装
    置状態モニターリングシステム。
  8. 【請求項８】 前記第１及び第２信号変換機は、RS-232
    -C方式による信号変換を行うように構成されていること
    を特徴とする請求項７に記載のクリーンルーム計測装置
    状態モニターリングシステム。
  9. 【請求項９】 前記転送手段はランノードプロセッサー
    （LAN Node Processor）を備えていることを特徴とする
    請求項１に記載のクリーンルーム計測装置状態モニター
    リングシステム。
  10. 【請求項１０】 クリーンルームに設置され内部環境を
    計測するように構成される計測装置の状態をチェックす
    るためのクリーンルーム計測装置状態モニターリングシ
    ステムにおいて、 パーティクルカウントのための流体のポンピングが行わ
    れ、ポンピングされる流体に含まれたパーティクルをカ
    ウントした結果を出力するパーティクルカウンターと、 前記流体のポンピング状態を電気的信号に変換して、前
    記ポンピング状態に対する信号と前記カウントした結果
    に対する信号を通信可能条件に変換させる信号変換手段
    と、 前記信号変換手段から信号がインターフェイスを通じて
    入力されると前記パーティクルカウンターのポンピング
    状態及び、カウント結果をモニターリングできるように
    ディスプレーするホストコンピュータとを備えたことを
    特徴とするクリーンルーム計測装置状態モニターリング
    システム。
  11. 【請求項１１】 前記パーティクルカウンターは流体と
    して空気、液体又はガスの中のいずれか一つの対象に含
    まれたパーティクルをカウントするものであることを特
    徴とする請求項１０に記載のクリーンルーム計測装置状
    態モニターリングシステム。
  12. 【請求項１２】 前記信号変換手段は、 前記パーティクルカウンターの前記カウント結果に対す
    る信号を通信可能条件に変換させる第１信号変換機と、 前記パーティクルカウンターに設置されたポンプのポン
    ピング状態を電気的信号に変換する流量コントローラー
    と、 前記流量コントローラーの出力信号を通信可能条件に変
    換させる第２信号変換機とを備えていることを特徴とす
    る請求項１０に記載のクリーンルーム計測装置状態モニ
    ターリングシステム。
  13. 【請求項１３】 前記第１及び第２信号変換機はRS-232
    -C方式による信号変換を行うように構成されていること
    を特徴とする請求項１２に記載のクリーンルーム計測装
    置状態モニターリングシステム。
  14. 【請求項１４】 クリーンルームに設置され内部環境を
    計測するように構成される計測装置の状態をチェックす
    るためのクリーンルーム計測装置状態モニターリングシ
    ステムを利用したモニターリング方法において、 前記計測装置の状態をチェックするための自己診断機能
    を選択する段階と、 前記自己診断機能状態で診断するパーティクルカウンタ
    ーを選択する段階と、 前記選択されたパーティクルカウンターから入力される
    パーティクルカウントのためにポンピングされる流量に
    対する第1出力信号と前記ポンピングされる流体に含ま
    れたパーティクルをカウントした結果に対する第2出力
    信号をモニターリングできるようにディスプレーする段
    階とを備えたことを特徴とするクリーンルーム計測装置
    状態モニターリングシステムを利用したモニターリング
    方法。
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