KR100252215B1 - 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법 - Google Patents

클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법 Download PDF

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Abstract

반도체장치의 제조공정이 수행되는 클린룸 내부의 파티클 카운터와 같은 계측장치로부터 계측상태에 대한 신호가 근거리 통신망(Local Area Network)을 통하여 호스트컴퓨터로 전송됨으로써 계측장치의 동작상태가 온라인으로 실시간 감시하는 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법에 관한 것으로서, 파티클 카운터와 같은 클린룸에 설치된 계측기기의 계측 결과와 계측기기의 정확한 계측수행을 위한 펌핑 상태 또는 광의 세기와 같은 상태에 대한 정보를 온라인으로 원거리에 위치한 호스트 컴퓨터에 전송하고, 호스트 컴퓨터에 인스톨된 자기진단기능을 수행하기 위한 소프트웨어를 이용하여 계측기기의 상태를 정확히 체크하도록 구성되어 있다.

Description

클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법
본 발명은 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 반도체장치의 제조공정이 수행되는 클린룸 내부의 파티클 카운터와 같은 계측장치로부터 계측상태에 대한 신호가 근거리 통신망(Local Area Network : 이하 'LAN'이라 함)을 통하여 호스트컴퓨터로 전송됨으로써 계측장치의 동작상태가 실시간으로 감시될 수 있도록 개선시킨 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템 및 그를 이용한 모니터링 방법에 관한 것이다.
최근 전기 및 전자산업을 포함한 첨단산업에서 일정한 조건 이하의 고청정상태가 제조환경으로 제공될 수 있도록 클린룸(Clean Room)이 제조공장 내부에 설치되어 가동되고 있다. 특히 고집적도를 요구하는 반도체장치 제조공정은 거의 대부분 클린룸에서 이루어지고 있다.
반도체장치 제조를 위한 클린룸은 내부의 온도, 습도, 풍속 및 차압 등을 포함한 각종 종합적인 내부 대기의 상태가 체크되어야 하며, 그를 위하여 클린룸 내부에는 온습도를 센싱하기 위한 센서, 내부 유체의 유속을 센싱하기 위한 센서, 내부와 외부의 차압을 감지하기 위한 센서 및 클린룸 내부의 파티클 분포 상황을 계측하기 위한 파티클 카운터 등과 같은 계측장치가 설치된다.
이들 온도, 습도, 풍속, 차압 및 파티클 분포 상황 등은 공정의 수율에 심각한 영향을 끼칠 수 있는 항목들이며, 반도체장치 제조라인에는 전술한 센서들에 의하여 센싱되는 항목들이 예방 점검 함옥으로 설정되어서 주기적으로 체크되고 있다.
그러나, 파티클의 분포 상황을 계측하는 파티클 카운터와 같은 계측기기에 이상이 발생한 경우에는 정상적인 계측이 이루어질 수 없으며, 이를 위하여 주기적으로 파티클 카운터의 상태를 현장에서 체크하여야 했었다.
종래와 같은 파티클 카운터와 같은 계측설비에 대한 현장 체크는 계측설비에서 이상이 발생된 즉시 이루어지기 어려웠으며, 그로 인하여 클린룸 내부의 환경 계측 데이터에 대한 신뢰도가 저하되었다.
그러므로, 클린룸 내부의 계측기기에 대한 보다 효과적이면서 손쉽고 능률적인 실시간 예방 점검을 수행할 수 있는 시스템이 소망되고 있다.
본 발명의 목적은, 클린룸 내부의 환경을 계측하는 계측설비의 이상 여부를 LAN을 이용하여 실시간 감시하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 호스트 컴퓨터에 자기진단기능을 부여하여 클린룸 내부의 환경을 계측하는 계측설비의 이상 여부를 실시간 모니터링하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또다른 목적은 클린룸 내부에 설치된 계측설비의 동작 상태 점검을 위한 자기진단기능을 수행하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 제공하는 데 있다.
도1은 본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템의 일 실시예를 나타내는 블록도이다.
도2는 본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법을 나타내는 흐름도이다.
도3은 본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템의 다른 실시예를 나타내는 블록도이다.
※도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
10, 50 : 온습도센서 12, 52 : 차압센서
14, 54 : 유속센서 16, 18, 56, 58 : 파티클 카운터
20, 46 : 호스트 컴퓨터 22, 48 : 인터페이스
24, 26, 28 : LAN 노드 프로세서
30, 36, 38, 44, 60, 62, 72, 74 : 신호변환기
34, 42, 68, 70 : 유량컨트롤러 32, 40, 64, 66 : 펌프
상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템은, 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템에 있어서, 파티클 카운트를 위한 유체의 펌핑이 수행되고, 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과를 출력하는 파티클 카운터, 상기 유체의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하고 상기 펌핑 상태에 대한 신호와 상기 카운트한 결과에 대한 신호를 통신가능 조건으로 변환시키는 신호변환 부분, 상기 신호변환수단에서 출력되는 신호를 전송하는 전송부분 및 상기 전송수단을 통하여 전송되는 파티클 카운터에 대한 신호를 이용하여 파티클 카운터의 펌핑상태 및 카운트 결과를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 호스트 컴퓨터로 이루어짐을 특징으로 한다.
그리고, 상기 파티클 카운터는 광학적으로 파티클을 분별하는 것으로 구성될 수 있고, 공기, 액체 또는 가스와 같은 대상에 포함된 파티클의 카운트 동작을 하는 것으로 구성될 수 있다.
상기 파티클 카운터가 광학적으로 파티클을 분별하는 것으로 구성되면 상기 신호변환부분으로 상기 파티클 카운터로부터 파티클을 계측하기 위하여 발생되는 광의 세기에 대한 전기적 신호가 더 인가됨으로서 상기 광의 세기에 대한 전기적 신호가 통신 가능 신호로 변환 출력되도록 구성됨이 바람직하다.
그리고, 상기 신호변환 부분은 상기 파티클 카운터의 상기 카운트 결과에 대한 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 1 신호변환기, 상기 파티클 카운터에 설치된 펌프의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하는 유량 컨트롤러 및 상기 유량 컨트롤러의 출력 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 2 신호변환기를 구비하여 이루어짐이 바람직하다.
그리고, 상기 제 1 및 제 2 신호변환기는 각각 입력된 신호를 공중 회선망을 위한 X 시리즈 권고안 또는 V 시리즈 권고안에 따르는 신호로 변환하여 출력하도록 구성될 수 있으며, V 시리즈의 권고안을 따르는 경우 RS-232-C 방식에 의한 신호변환을 수행하도록 구성됨이 바람직하다.
그리고, 상기 전송부분은 LAN 노드 프로세서(Node Processor)를 구비하여 이루어질 수 있다.
본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템은, 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템에 있어서, 파티클 카운트를 위한 유체의 펌핑이 수행되고, 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과를 출력하는 파티클 카운터, 상기 유체의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하고, 상기 펌핑 상태에 대한 신호와 상기 카운트한 결과에 대한 신호를 통신가능 조건으로 변환시키는 신호변환 부분 및 상기 신호변환수단으로부터 신호가 인터페이스를 통하여 입력되면 상기 파티클 카운터의 펌핑상태 및 카운트 결과를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 호스트 컴퓨터를 구비하여 이루어짐을 다른 특징으로 한다.
한편, 본 발명에 따른 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법은, 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용함에 있어서, 상기 계측장치의 상태를 체크하기 위한 자기 진단기능을 선택하는 단계, 상기 자기 진단기능 상태에서 진단할 파티클 카운터를 선택하는 단계 및 상기 선택된 파티클 카운터로부터 입력되는 파티클 카운트를 위하여 펌핑되는 유량에 대한 제 1 출력신호와 상기 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과에 대한 제 2 출력신호를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 단계를 수행하도록 이루어진다.
이하, 본 발명의 구체적인 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명은 클린룸 내부의 계측기기 실시간 감시를 위하여 제 1 실시예로써 LAN을 이용하여 구성될 수 있으며, 제 2 실시예로써 계측기기의 출력신호가 호스트 컴퓨터에 직접 입력되도록 구성될 수 있다.
먼저, 도1을 참조하여 제 1 실시예의 구성 및 동작에 대하여 설명한다.
클린룸의 내부에는 각종 센서들, 즉 온습도 센서(10), 차압센서(12) 및 유속센서(14) 등과 복수 개의 파티클 카운터(16, 18)가 설치되어 있다.
그리고, 각종 센서들(10, 12, 14) 및 파티클 카운터(16, 18)들로부터 전송된 신호를 비교 및 판단하여 경보동작을 수행하는 호스트 컴퓨터(20)가 인터페이스(22)를 통하여 LAN 노드 프로세서(24)에 접속되어 있고, LAN 노드 프로세서(24)는 다른 LAN 노드 프로세서(26, 28)들과 V 시리즈 권고안에 따른 RS-485 방식에 따른 통신망을 구성하고 있다.
그리고, 파티클 카운터(16)는 계수된 결과에 대한 0V ∼ 10V의 전압신호를 신호변환기(30)로 인가하도록 구성되어 있으며, 신호변환기(30)는 입력되는 아날로그 신호를 전송하기 위하여 V 시리즈 권고안에 따른 RS-232-C 방식의 통신 가능 조건인 4㎃ ∼ 20㎃의 전기적 신호로 변환하여 LAN 노드 프로세서(24)에 전송하도록 구성되어 있다.
이때 신호변환기(30)는 LAN 노드 프로세서(24)의 사양에 따라 상기의 전압신호를 0V ∼ 5V의 전압신호로 변환하는 것으로 구성될 수 있다.
한편, 파티클 카운터(16)에는 공기나 가스와 같은 유체를 펌핑하기 위한 펌프(32)가 구성되어 있으며, 유량 컨트롤러(34)는 펌프(32)에서 펌핑되는 유체의 양을 감지하여 전기적신호로 변환하여 신호변환기(34)로 인가하도록 구성되어 있고, 신호변환기(34)는 전술한 신호변환기(30)와 동일하게 RS-232-C 방식 통신을 위하여 신호변환과정을 거치고 변환된 신호를 LAN 노드 프로세서(24)로 전송하도록 구성되어 있다.
그리고, 다른 LAN 노드 프로세서(26)와 파티클 카운터(18)의 사이에도 각각 전술한 바와 동일한 방식으로 신호변환기(38)와 유량 컨트롤러(42) 및 신호변환기(44)가 구성되어 있다.
그리고, 또다른 LAN 노드 프로세서(26)에는 각종 온습도센서(10), 차압센서(12) 및 유속센서(14) 등이 연결되어 있다.
본 발명에 따른 제 1 실시예에서 파티클 카운터(16, 18)들이나 센서(14)의 각 LAN 노드 프로세서(24, 26, 28) 접속은 필요에 따라 중복되거나 가변될 수 있으며, LAN 노드 프로세서(24)를 중심으로 한 신호 전송이 디지털로 이루어지도록 구성될 수 있고 이때 각 신호의 전송은 X 시리즈 권고안을 따르는 방식이 채택됨이 바람직하다.
또한, 파티클 카운터(16, 18) 중 어느 하나가 파티클을 광학적으로 검출하여 계수하는 경우, 파티클 카운터의 파티클 검출을 위한 광으로 이용되는 헬륨-네온 광, 반도체 다이오드 광 또는 아르곤 레이저 광과 같은 광의 세기를 전기적 신호로 변환하여 LAN 노드 프로세서를 통하여 호스트 컴퓨터(20)로 전송하고, 호스트 컴퓨터(20)는 이를 이용한 모니터링 동작을 수행하도록 구성될 수 있다.
전술한 바와 같이 구성된 본 발명에 따른 제 1 실시예는 호스트 컴퓨터(42)를 통하여 클린룸 내부의 환경상태가 모니터링 된다. 그리고, 파티클 카운터(16, 18)의 동작 상태가 실시간으로 모니터링된다.
즉, 파티클 카운터(16, 18)에서 카운트된 결과는 0V ∼ 10V 전압 레벨을 갖는 전기적 신호로 출력되고, 출력신호는 신호변환기(30, 38)에 입력된 후 RS-232-C 통신이 가능한 4㎃ ∼ 20㎃ 또는 0V ∼ 5V의 신호로 변환되어 LAN 노드 프로세서(24)에 입력된다.
LAN 노드 프로세서(24, 26, 28)들 간의 신호 전송은 RS-485 방식을 따르며 그에 따라 LAN 노드 프로세서(24, 26, 28)들은 입력된 신호를 RS-485 방식에 의한 신호로 변환하여 전송을 수행한다.
각 LAN 노드 프로세서(24, 26, 28)들에 입력되는 온습도 센서(10), 차압센서(12), 유속센서(14) 및 파티클 카운터(16, 18)들의 신호는 RS-232-C와 RS-485 방식에 의한 전송에 의하여 인터페이스(22)를 통하여 호스트 컴퓨터(20)에 입력된다.
호스트 컴퓨터(20)는 온습도 센서(10), 차압센서(12), 유속센서(14) 및 파티클 카운터(16, 18)들로부터 입력되는 각종 신호를 비교 및 연산하고, 현재 클린룸 내부의 환경에 대한 모니터링과 실시간 자기진단기능 수행을 위한 모니터링을 수행한다.
자기진단기능은 파티클 카운트(16, 18)의 카운트 결과와 펌핑 상태를 비교하면서 정상적인 펌핑 및 카운트 동작이 수행되는지 판단할 수 있도록 모니터링 하는 것이다. 물론 파티클 카운트가 광학적인 검출을 수행하는 것인 경우 파티클 검출을 위한 광의 세기가 모니터링하는 기능이 포함될 수 있다.
호스트 컴퓨터(20)는 하나의 단위 공정 또는 복합 공정을 수행하는 최소한 하나 이상의 클린룸을 관리하기 위하여 이용될 수 있으며, 작업자는 호스트 컴퓨터(20)를 통하여 모니터링되는 결과로써 작업자는 손쉽게 실시간으로 클린룸에 설치된 파티클 카운터와 같은 계측기기의 상태를 실시간으로 판단할 수 있다.
즉, 작업자는 호스트 컴퓨터(20)를 이용하여 자기진단기능을 수행하고자 한다면 도2와 같이 단계 S2에서 자기진단기능을 선택한 후 단계 S4에서 진단할 파티클 카운터를 선택한다.
진단할 파티클 카운터가 단계 S4에서 선택되면 호스트 컴퓨터(20)는 단계 S6을 수행하여 인터페이스(22)를 통하여 입력되는 신호를 디스플레이하고 작업자는 현재 선택된 파티클 카운터에 대한 상태를 모니터링할 수 있다. 따라서 선택된 파티클 카운터가 정상적인 카운트 동작을 수행하는 지의 여부가 판별될 수 있다.
그리고, 선택된 파티클 카운터에 대한 모니터링이 종료되었으면 단계 S8에서 작업자의 선택에 따라서 단계 S4와 단계 S6을 재수행하여 다른 파티클 카운터를 모니터링이 수행되거나 아니면 클린룸 내부의 파티클 카운터와 같은 계측설비에 대한 모니터링 동작이 종료된다.
본 발명은 제 1 실시예와 같이 근거리 통신망을 통한 중앙 관리 방식으로 적용될 수 있으나, 제 2 실시예와 같이 직접 인터페이스 방식으로 구성될 수 있다.
도3을 참조하면, 직접 인터페이스 방식에 따른 제 2 실시예는 호스트 컴퓨터(46)의 신호 입출력이 이루어지는 인터페이스(48)에 온습도센서(50), 차압센서(52) 및 유속센서(54) 등이 접속되며, 파티클 카운터(56, 58)의 카운트 결과가 신호변환기(60, 62)를 거쳐서 인터페이스(48)에 입력되도록 구성되고, 이때 인터페이스(48)로의 각 신호변환기(60, 62)의 접속 방식은 RS-232-C를 따른다. 물론 디지털 신호 전송의 경우 접속 방식이 X 시리즈 권고안을 따르도록 인터페이스(48)가 구성될 수 있다.
그리고, 파티클 카운터(56, 58)에 구성되는 펌프(64, 66)의 펌핑 상태가 유량 컨트롤러(68, 70)에 의하여 검출되도록 구성되어 있고, 각 신호변환기(72, 74)는 각 유량 컨트롤러(68, 70)에서 검출된 결과에 대한 전기적인 신호를 RS-232-C 방식에 적합하도록 변환한 후 인터페이스(48)로 전송하도록 구성되어 있다.
제 2 실시예는 전술한 바 구성에 의하여 파티클 카운터(56)의 카운트 결과와 펌핑 상태가 직접 인터페이스(48)를 통하여 호스트 컴퓨터(46)로 입력되며, 호스트 컴퓨터(46)는 제 1 실시예에서의 자기진단기능과 동일한 자기진단기능을 수행함으로써 각 파티클 카운터의 상태를 모니터링 할 수 있다.
본 발명에 따른 제 1 실시예 및 제 2 실시예에서와 같이 호스트 컴퓨터에 자기진단기능을 수행하기 위해서는 파티클 카운터와 같은 계측기기의 상태를 모니터링하기 위한 소프트웨어가 호스트 컴퓨터에 인스톨되어야 하며, 소프트웨어의 프로그래밍된 바에 따라서 호스트 컴퓨터는 도2의 순서에 따라 자기진단기능을 수행하여 클린룸 내부에 설치된 파티클 카운터와 같은 계측기기의 상태를 시간 및 날짜를 기준으로하는 그래프로 디스플레이될 수 있고, 호스트 컴퓨터에 의하여 디스플레이되는 모니터링 상태 데이터가 출력장치를 통하여 출력될 수 있다.
그리고, 본 발명에 따른 실시예들은 파티클 카운터에 대한 상태를 모니터링 하도록 구성되어 있으나 그 적용대상이 다양하게 선택될 수 있을 것이다.
그러므로, 클린룸의 예방 관리 항목들에 대한 신뢰성 있는 평가를 수행하기 위한 계측기기의 관리가 현장에서 멀리 떨어진 곳에서 손쉽게 이루어질 수 있으므로, 클린룸 내부 환경 평가가 신뢰성 있는 데이터로 정확히 이루어지고, 계측기기의 관리가 효율적으로 이루어질 수 있다.
따라서, 본 발명에 의하면 클린룸에 설치된 각종 계측기기에 대한 모니터링이 온라인으로 이루어질 수 있어서 효율적이면서 신뢰성 있는 클린룸의 관리 및 계측기기의 관리가 이루어지는 효과가 있다.
이상에서 본 발명은 기재된 구체예에 대해서만 상세히 설명되었지만 본 발명의 기술사상 범위 내에서 다양한 변형 및 수정이 가능함은 당업자에게 있어서 명백한 것이며, 이러한 변형 및 수정이 첨부된 특허청구범위에 속함은 당연한 것이다.

Claims (14)

  1. 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템에 있어서,
    파티클 카운트를 위한 유체의 펌핑이 수행되고, 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과를 출력하는 파티클 카운터;
    상기 유체의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하고, 상기 펌핑 상태에 대한 신호와 상기 카운트한 결과에 대한 신호를 통신가능 조건으로 변환시키는 신호변환 수단;
    상기 신호변환수단에서 출력되는 신호를 전송하는 전송수단; 및
    상기 전송수단을 통하여 전송되는 파티클 카운터에 대한 신호를 이용하여 파티클 카운터의 펌핑상태 및 카운트 결과를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 호스트 컴퓨터;
    를 구비함을 특징으로 하는 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 파티클 카운터는 광학적으로 파티클을 분별하는 것임을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 신호변환수단으로 상기 파티클 카운터로부터 파티클을 계측하기 위하여 발생되는 광의 세기에 대한 전기적 신호가 더 인가됨으로서 상기 광의 세기에 대한 전기적 신호가 통신 가능 신호로 변환 출력되도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 파티클 카운터는 유체로써 공기, 액체 또는 가스 중 어느 하나의 대상에 포함된 파티클을 카운트 하는 것임을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 신호변환 수단은;
    상기 파티클 카운터의 상기 카운트 결과에 대한 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 1 신호변환기;
    상기 파티클 카운터에 설치된 펌프의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하는 유량 컨트롤러; 및
    상기 유량 컨트롤러의 출력 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 2 신호변환기;
    를 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 신호변환기는 각각 입력된 신호를 공중 회선망을 위한 X 시리즈 권고에 따르는 신호로 변환하여 출력하도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  7. 제 5 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 신호변환기는 각각 입력된 신호를 공중 회선망을 위한 V 시리즈 권고에 따르는 신호로 변환하여 출력하도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 신호변환기는 RS-232-C 방식에 의한 신호변환을 수행하도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  9. 제 1 항에 있어서, 상기 전송수단은;
    랜 노드 프로세서(LAN Node Processor)를 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  10. 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템에 있어서,
    파티클 카운트를 위한 유체의 펌핑이 수행되고, 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과를 출력하는 파티클 카운터;
    상기 유체의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하고, 상기 펌핑 상태에 대한 신호와 상기 카운트한 결과에 대한 신호를 통신가능 조건으로 변환시키는 신호변환 수단; 및
    상기 신호변환수단으로부터 신호가 인터페이스를 통하여 입력되면 상기 파티클 카운터의 펌핑상태 및 카운트 결과를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 호스트 컴퓨터;
    를 구비함을 특징으로 하는 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 파티클 카운터는 유체로써 공기, 액체 또는 가스 중 어느 하나의 대상에 포함된 파티클을 카운트 하는 것임을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  12. 제 10 항에 있어서, 상기 신호변환 수단은;
    상기 파티클 카운터의 상기 카운트 결과에 대한 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 1 신호변환기;
    상기 파티클 카운터에 설치된 펌프의 펌핑 상태를 전기적 신호로 변환하는 유량 컨트롤러; 및
    상기 유량 컨트롤러의 출력 신호를 통신 가능 조건으로 변환시키는 제 2 신호변환기;
    를 구비함을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  13. 제 12 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 신호변환기는 RS-232-C 방식에 의한 신호변환을 수행하도록 구성됨을 특징으로 하는 상기 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템.
  14. 클린룸에 설치되어 내부 환경을 계측하도록 구성되는 계측장치의 상태를 체크하기 위한 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법에 있어서,
    상기 계측장치의 상태를 체크하기 위한 자기 진단기능을 선택하는 단계;
    상기 자기 진단기능 상태에서 진단할 파티클 카운터를 선택하는 단계; 및
    상기 선택된 파티클 카운터로부터 입력되는 파티클 카운트를 위하여 펌핑되는 유량에 대한 제 1 출력신호와 상기 펌핑되는 유체에 포함된 파티클을 카운트한 결과에 대한 제 2 출력신호를 모니터링할 수 있도록 디스플레이하는 단계;
    를 구비함을 특징으로 하는 클린룸 계측장치 상태 모니터링 시스템을 이용한 모니터링 방법.
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