JP2007092171A - スラブの寿命検出方法およびそのシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スラブターゲットに、少なくとも1個の検出器が設けられる。処理工具の動作中に、少なくとも1個の検出器に関連付けられた信号値が、設定値に等しいか、設定値を超えているかの判断がなされる。第1予告は、前記信号値が予告設定値に等しいか、または予告設定値と警告設定値との間にある場合に発せられ、第2予告は、前記信号値が予告設定値と警告設定値との間にある場合に発せられる。警告は、前記信号値が警告設定値に等しいか、または警告設定値を超える場合に発せられ、消耗材料からなるスラブターゲットが、所定量に近づきつつあるか、或いは所定量にまで減少したことを示す。
【選択図】図2
Description
・接続フラグを1に設定(ここで、1は可能を、0は無効を示す)
・予告数を0に設定(ここで、予告数は0,1,2に設定できる)
・カウンタ数を4に設定(または、3ウェハロットより大きな数)
・警告フラグを0に設定(ここで、1は可能を、0は無効を示す)
・初期のガス検出器/不活性ガスのバックグラウンド設定値をBとする。ここでBは、入力により設定されるか、またはデフォルトで設定される。
・ガス検出器/不活性ガスの予告設定値をWとする。ここでWは、入力により設定されるか、またはデフォルトで設定される。
・ガス検出器/不活性ガスの警告設定値をAとする。ここでAは、入力により設定されるか、またはデフォルトで設定される。
・1Sのような第1予告用のチャンバ/工具へ送られるメッセージで、これは「第1ターゲット予告」と称する。
・2Sのような第2予告用のチャンバ/工具へ送られるメッセージで、これは「第2ターゲット予告」と称する。
・Aのようなチャンバ/工具へ送られるメッセージで、これは「ターゲット警告」と称する。
12 指示器
22 包囲体
120 処理工具
130 検出器
Claims (42)
- 処理工具により利用される消耗材料からなるスラブの寿命検出方法であって、
少なくとも1つの指示器を、前記消耗材料からなるスラブに設けるステップと、
処理工具の動作中に、前記少なくとも1つの指示器に関連付けられた検出器により発生する信号値が、予告設定値に等しいか、前記予告設定値と警告設定値との間にあるか、前記警告設定値に等しいか、または前記警告設定値を超えているかを判断するステップと、
前記信号値が、前記予告設定値に等しいか、または前記予告設定値と前記警告設定値との間にある場合に、前記消耗材料からなるスラブが、当該消耗材料からなるスラブの最初の量より少ない所定量に近づきつつあることを示す第1予告を提供するステップと、からなる方法。 - 前記第1予告が提供された場合に、前記処理工具の動作が停止される請求項1記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項2記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項1記載の方法。
- 前記信号値が、前記警告設定値に等しいか、または、前記警告設定値を超える場合に、前記消耗材料からなるスラブが、前記所定量に近づきつつあるか、または前記所定量にまで減少したことを示す警告を提供するステップを、さらに有する請求項1記載の方法。
- 前記警告が提供された場合に、前記処理工具の動作が停止される請求項5記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項6記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第1警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項7記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項5記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第1警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項9記載の方法。
- 前記信号値が、前記予告設定値と前記警告設定値との間にある場合に、前記消耗材料からなるスラブが前記所定量に近づきつつあることを示す第2予告を提供するステップを、さらに有する請求項1記載の方法。
- 前記第2予告が提供された場合に、前記処理工具の動作が停止される請求項11記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項12記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第1警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項13記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有することを特徴とする請求項11記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第1警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項15記載の方法。
- 前記信号値が、前記警告設定値に等しいか、または、前記警告設定値を超える場合に、前記消耗材料からなるスラブが、前記所定量に近づきつつあるか、または前記所定量にまで減少したことを示す警告を提供するステップを、さらに有する請求項11記載の方法。
- 前記警告が提供された場合に、前記処理工具の動作が停止される請求項17記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項18記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第2警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項19記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することでさらに処理されるべきアイテムロット数を減少するステップを、さらに有する請求項17記載の方法。
- 前記処理工具が前記消耗材料からなるスラブを使用することで前記第2警告が提供された場合に、さらに処理されるべきアイテムロット数よりも、前記さらに処理されるべきアイテムロット数が少ない請求項21記載の方法。
- 前記消耗材料からなるスラブが、物理的気相成長法のターゲットからなる請求項1記載の方法。
- 前記少なくとも1つの指示器が、
前記消耗材料からなるスラブ内に、少なくとも部分的に埋め込まれる包囲体と、
前記包囲体内に配置されるフィラメント要素および電極要素のうちの一つと、を備えた請求項1記載の方法。 - 前記包囲体は、前記消耗材料で構成される請求項24記載の方法。
- 前記少なくとも1つの指示器が、
前記消耗材料からなるスラブ内に、少なくとも部分的に埋め込まれる包囲体と、
前記包囲体内に配置されるガス,液体,および固体のうちの一つと、を備えた請求項1記載の方法。 - 前記ガス,液体,および固体の内の一つは、前記筐体から放出した場合に、前記検出器により検出可能である請求項26記載の方法。
- 処理工具と、
前記処理工具により使用される消耗材料からなるスラブと、
前記消耗材料からなるスラブに関連付けけられ、当該スラブにおける少なくとも1つの指示器と、
前記少なくとも1つの指示器と関連付けられた検出器と、
前記消耗材料からなるスラブの寿命検出を可能にするために、前記検出器と通信するコンピュータと、からなるシステム。 - 前記コンピュータは、前記処理工具の動作中に、前記検出器により発生する信号値が、予告設定値に等しいか、前記予告設定値と警告設定値との間にあるか、前記警告設定値に等しいか、または前記警告設定値を超えているかを判断し、前記信号値が、前記予告設定値に等しいか、または前記予告設定値と前記警告設定値との間にある場合に、前記消耗材料からなるスラブが、当該消耗材料からなるスラブの最初の量より少ない所定量に近づきつつあることを示す第1予告を提供する請求項28記載のシステム。
- 前記コンピュータは前記処理工具と通信を行い、前記第1予告が提供された場合には、前記処理工具の動作を停止させる請求項29記載のシステム。
- 前記信号値が、前記警告設定値に等しいか、または前記警告設定値を超える場合に、前記コンピュータは、前記消耗材料からなるスラブが、前記所定量に近づきつつあるか、または前記所定量にまで減少したことを示す警告を提供する求項29記載のシステム。
- 前記コンピュータは前記処理工具と通信を行い、前記警告が提供された場合には、前記処理工具の動作を停止させる請求項31記載のシステム。
- 前記信号値が、前記予告設定値と前記警告設定値との間にある場合に、前記コンピュータは、前記消耗材料からなるスラブが、前記所定量に近づきつつあることを示す第2予告を提供する請求項29記載のシステム。
- 前記コンピュータは前記処理工具と通信を行い、前記第2予告が提供された場合には、前記処理工具の動作を停止させる請求項33記載のシステム。
- 前記信号値が、前記警告設定値に等しいか、または、前記警告設定値を超える場合に、前記コンピュータは、前記消耗材料からなるスラブが、前記所定量に近づきつつあるか、または前記所定量にまで減少したことを示す警告を提供する請求項33記載のシステム。
- 前記コンピュータは前記処理工具と通信を行い、前記警告が提供された場合には、前記処理工具の動作を停止させる請求項35記載のシステム。
- 前記消耗材料からなるスラブが、物理的気相成長法のターゲットからなる請求項28記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの指示器が、
前記消耗材料からなるスラブ内に、少なくとも部分的に埋め込まれる包囲体と、
前記包囲体内に配置されるフィラメント要素および電極要素のうちの一つと、を備えた請求項28記載のシステム。 - 前記包囲体は、前記消耗材料で構成される請求項38記載のシステム。
- 前記少なくとも1つの指示器が、
前記消耗材料からなるスラブ内に、少なくとも部分的に埋め込まれる包囲体と、
前記包囲体内に配置されるガス,液体,および固体のうちの一つと、を備えた請求項28記載のシステム。 - 前記ガス,液体,および固体の内の一つは、前記筐体から放出した場合に、前記検出器により検出可能である請求項40記載のシステム。
- 前記コンピュータが、前記処理工具と通信を行う請求項28記載のシステム。
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