JP4951516B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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Description
40 鳴動制御プログラム
100 基板処理装置
103 正面メンテナンス口
104 正面メンテナンス扉
105 回転式ポッド棚
110 ポッド
111 筐体
111a 正面壁
112 ポッド搬入搬出口
113 フロントシャッタ
114 ロードポート
115 ボートエレベータ
116 支柱
117 棚板
118 ポッド搬送装置
118a ポッドエレベータ
118b ポッド搬送機構
119 サブ筐体
119a サブ筐体の正面壁
120 ウエハ搬入搬出口
121 ポッドオープナ
122 載置台
123 キャップ着脱機構
124 移載室
125 ウエハ移載機構
125a ウエハ移載装置
125b ウエハ移載装置エレベータ
125c ツイーザ
126 待機部
128 アーム
133 クリーンエア
134 クリーンユニット
135 ノッチ合わせ装置
147 炉口シャッタ
200 ウエハ
202 処理炉
217 ボート
219 シールキャップ
300 基板処理システム
302 ホストコンピュータ
304 通信回線
306 シグナル表示機器
308 シグナルタワー
310 ブザー
312 UI装置
314 表示器
316 第1のモニタ画面
318 第1の入力画面
320 シグナル制御装置
322 CPU
324 メモリ
326 動作条件
330 アクセス管理部
332 制御部
334 シグナルI/O部
340 色識別入力部
342 優先設定入力部
344 点灯条件入力部
346 第1の装置状態入力部
348 第1の成立条件入力部
350 点滅条件入力部
352 第2の装置状態入力部
354 第2の成立条件入力部
358 点灯状態表示部
360 点滅状態表示部
362 ホストアイコン
364 第2の入力画面
366 音色識別入力部
368 鳴動条件入力部
370 第3の装置状態入力部
372 第3の成立条件入力部
374 第2のモニタ画面
376 鳴動状態表示部
378 鳴動有無表示部
380 第2のホストアイコン
400 基板処理制御部
402 状態受付部
404 鳴動制御部
406 設定部
408 関係記憶部
S10 全体動作
筐体111の正面壁111aにはポッド搬入搬出口(基板収容器搬入搬出口)112が筐体111の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口112はフロントシャッタ(基板収容器搬入搬出口開閉機構)113によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口112の正面前方側にはロードポート(基板収容器受渡し台)114が設置されており、ロードポート114はポッド110を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド110はロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつまた、ロードポート114上から搬出されるようになっている。
筐体111内におけるロードポート114と回転式ポッド棚105との間には、ポッド搬送装置(基板収容器搬送装置)118が設置されており、ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ(基板収容器昇降機構)118aと搬送機構としてのポッド搬送機構(基板収容器搬送機構)118bとで構成されており、ポッド搬送装置118はポッドエレベータ118aとポッド搬送機構118bとの連続動作により、ロードポート114、回転式ポッド棚105、ポッドオープナ(基板収容器蓋体開閉機構)121との間で、ポッド110を搬送するように構成されている。
ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50〜125枚程度)のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
クリーンユニット134から吹き出されたクリーンエア133は、ノッチ合わせ装置135およびウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体111の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット134の吸い込み側である一次側(供給側)にまで循環され、再びクリーンユニット134によって、移載室124内に吹き出されるように構成されている。
図1および図2に示されているように、ポッド110がロードポット114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって筐体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。
搬入されたポッド110は回転式ポッド棚105の指定された棚板117へポッド搬送装置118によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載される。この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120はキャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室124にはクリーンエア133が流通され、充満されている。例えば、移載室124にはクリーンエア133として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が20ppm以下と、筐体111の内部(大気雰囲気)の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。
ポッド110がポッドオープナ121によって開放されると、ウエハ200はポッド110からウエハ移載装置125aのツイーザ125cによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置135にてウエハを整合した後、移載室124の後方にある待機部126へ搬入され、ボート217に装填(チャージング)される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aはポッド110に戻り、次のウエハ110をボート217に装填する。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置135でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ200およびポッド110は筐体の外部へ払出される。
図3に示すように、基板処理システム300は、ホストコンピュータ302及び上述した複数の基板処理装置100を有する。複数の基板処理装置100及びホストコンピュータ302は例えばLANなどの通信回線304を介して接続され、ホストコンピュータ302からの指示(出力信号)がそれぞれの基板処理装置100に対して送信(出力)されるようになっている。
ブザー310は、例えば連続音、断続音、音声およびメロディなどの音色を所定の音圧レベルで鳴動する(動作する)ことができるようになっている。
また、これらシグナルタワー308及びブザー310は、動作状態(例えば点灯、点滅、鳴動などの状態)を出力値として接続された所定の装置に出力することができるようになっている。
図4に示すように、シグナル制御装置320は、CPU322及びメモリ324などを含み、このシグナル制御装置320には、例えば後述するシグナル制御プログラム5が記憶(格納)されている。このシグナル制御装置320は、ユーザ(オペレータ)の要求に応じて、ホストコンピュータ302及びUI装置312を介してシグナル表示機器306の動作を制御したり、シグナル表示機器306の動作状態等をUI装置312などに表示させたりするようになっている。また、基板処理装置100からの装置の稼動状態に関する情報を取得している。ただし、この稼動状態とシグナル表示機器306の動作については後述する。尚、図4では表示画面と操作画面が1つの画面に表示されているが、これらが切替表示される形態も本願の範囲に含まれるのは言うまでも無い。
図7にシグナル表示機器306(シグナルタワー308及びブザー310)の動作条件となる基板処理装置100の稼動状態の一例(一部)が示されている。図7に示すように、シグナル表示機器306を動作させる条件として複数の要因(要件)を設定することができる。すなわち、ユーザ(オペレータ)は、シグナル表示機器306の動作条件として、1つの要因(要件)を設定(例えば図7に示す「装置『スタート待ち』」など)してもよいし、論理式(または(AND)、かつ(OR)などの論理理論式)を用いて設定(例えば「装置『RESET』または装置『スタート待ち』」など)してもよい。
[入力画面]
図8にUI装置312の表示器314に表示された操作画面としての第1の入力画面318が示されている。ユーザは、この第1の入力画面318に対して操作することにより、シグナルタワー308の動作条件を設定する。
また、シグナルタワー308の点灯条件(動作条件)を満たす論理式として、複数の条件(要因)を設定することができる。例えば、図8に示すように、シグナルタワー308の黄色を点灯させる条件を、例えば「キャリア搬入中である、または、キャリア搬出中である」との論理式として設定することができる。
図9にUI装置312の表示器314に表示された表示画面としての第1のモニタ画面316が示されている。ユーザは、この第1のモニタ画面316を視認(確認)することにより、シグナルタワー308の動作条件および動作状態を把握できるようになっている。
また、ユーザ(オペレータ)は、ホストアイコン362の表示の有無により、ホストコンピュータ302からの指示の有無を確認することができる。
次にブザー310の動作条件および動作状態の表示方法について図10及び図11に基づいて説明する。なお、上述したシグナルタワー動作条件および動作状態の表示方法と重複する説明は省略する。
図10にUI装置312の表示器314に表示された操作画面としての第2の入力画面364が示されている。ユーザは、この第2の入力画面364に対して操作することにより、ブザー310の動作条件を設定するようになっている。
図11にUI装置312の表示器314に表示された表示画面としての第2のモニタ画面374が示されている。ユーザは、この第2のモニタ画面374を視認(確認)することにより、ブザー310の鳴動条件(動作条件)および鳴動状態(動作状態)を把握できるようになっている。
例えばシグナル表示機器306における動作検証の一例として、シグナルタワー308について動作検証を行う。具体的には、表示器314に表示された第1の入力画面318で一つ一つのシグナル点灯(点滅)条件を設定し、表示器314の第1のモニタ画面316に表示されたシグナルタワー308の動作状態(点灯又は点滅)と実際に基板処理装置100上部に設けられたシグナルタワー308の動作状態(点灯又は点滅)とを比較しながら確認する。
このとき、表示器314の第1のモニタ画面316に表示されたシグナルタワー308は所望の動作を行っているが、実際に基板処理装置100上部に設けられたシグナルタワー308において所望の動作が行われない場合には、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障が考えられる。
他方、どちらのシグナルタワー308においても所望の動作が行われない(実際に設けられたシグナルタワー308及び第1のモニタ画面316からの反応がない)場合、配線ミスや断線のようなハードウェアの故障だけでなく、設定条件の入力ミスやソフトウェアの故障が考えられる。
そして、シグナルタワー308に関する点灯(点滅)条件の全てについてチェックOKとなればシグナルタワー308についての動作検証が終了する。
このように、操作画面上に表示されたシグナルタワー308と実際に基板処理装置に設けられたシグナルタワー308との両方で動作検証を行うことにより、ソフトウェアによる制御異常であるのか、ハードウェアによる制御異常であるのかを判断することができるので、エラーが発生しても動作検証が容易に行われる。
図12に示すように、鳴動制御プログラム40は、基板処理制御部400、状態受付部402、鳴動制御部404、設定部406及び関係記憶部408を有する。鳴動制御プログラム40は、シグナル制御装置320に格納され、メモリ324にロードされて、図示しないOS上でCPU322により実行される。
図13に例示するように、関係データのそれぞれには、装置状態、ブザー種類及び鳴動時間(秒)が含まれる。装置状態は、基板処理装置100等の状態を示し、例えば、リセット、スタート待ち、ラン、エンド、アイドル、ホールド、レディなどである。ブザー種類は、対応する装置状態の際にブザー310により鳴動されるブザーの種類であり、例えば、連続音1〜4、断続音1〜4及び鳴動なしのいずれかである。鳴動時間は、ブザー310が鳴動する時間を示す。
装置状態には、基板処理装置100等が動作するモードの状態を示す装置モード、基板処理過程においてキャリアの搬送の状態を示すキャリア搬送、及びホストコンピュータ302とのデータの送受信の状態を示すホスト通信が含まれる。以降、装置モード、キャリア搬送及びホスト通信それぞれの状態を説明する。
ここで、リセットは、装置が安全な状態で停止したことを意味する。装置のメンテナンスが人的介在により行われる場合、装置が安全な状態で停止していることが必要である。スタート待ちは、ジョブを実行する前に設定内容などの最終確認をとる場合、又は実行タイミングを図る際に人的介在を必要とする場合、ジョブ実行準備が整ってスタート指示待ち状態になったことを意味する。
ここで、オンライン[リモート]は、ホスト側で「リモートモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ302との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ302に対して報告されていることが知らされる。オンライン[ローカル]は、ホスト側で「ローカルモード」と指定し、装置状態を報告していることを意味する。ホストコンピュータ302との通信が行われ、装置状態がホストコンピュータ302に対して報告されていることが知らされる。オフラインは、ホストコンピュータ302と通信していないことを意味する。ホストコンピュータ302との通信が行われていない状態であることが知らされる。
基板処理装置100においては、シグナル制御装置320上で動作する鳴動制御プログラム40の基板処理制御部400が制御している。図14に示すように、ステップ100(S100)において、状態受付部402が、基板処理装置100、材料搬送装置等の装置から当該装置の状態の報告を受け付けたか否かを判定する。鳴動制御プログラム40は、装置の状態の報告が受け付けられた場合にはS102の処理に進み、そうでない場合にはS100の処理に戻る。例えば、状態受付部402は、基板処理装置100がレディ状態である場合、当該装置の状態がレディである旨を受け付け、ジョブが実行された場合、当該装置の状態がランである旨を受け付け、基板処理装置100でのレシピが終了した場合、当該装置の状態がエンドである旨を受け付ける。
Claims (16)
- 稼動状態を示すシグナル表示機器を備えた基板処理装置において、
複数の動作条件のいずれかにより動作する複数のシグナル表示機器と、
予め個別に設定された前記各シグナル表示機器の動作条件を表示する表示器と
を備え、
前記表示器は、前記各シグナル表示機器に対応して複数の動作原因を表示すると共に前記複数の動作原因のうち前記シグナル表示機器の動作に該当する動作原因を色分け表示することを特徴とする基板処理装置。 - 前記表示器は、前記各シグナル表示機器の動作状態の優先順位を選択して設定する設定画面を備え、前記シグナル表示機器は、前記優先順位に従い動作することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記シグナル表示機器は、ホストコンピュータからの指示により動作すると共に、前記表示器は、前記ホストコンピュータからの指示の有無を色分け表示することを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記設定画面は、前記動作条件として、論理式や括弧を一つの枠の中に独立して入力することにより設定されることを特徴とする請求項2記載の基板処理装置。
- 前記シグナル表示機器としてシグナルタワー及びブザーを備え、前記ブザーが鳴動していることを前記シグナルタワーの点灯状態により把握することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記シグナル表示機器としてシグナルタワー及びブザーを備え、前記シグナルタワーの動作条件として前記ブザーが鳴動していることを設定可能とすることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 稼動状態を示す複数のシグナル表示機器を備えた基板処理装置と、
前記基板処理装置と通信回線を介して接続されるホストコンピュータとで構成される基板処理システムであって、
前記基板処理装置は、複数の動作条件のいずれかにより動作する複数のシグナル表示機器と、予め個別に設定された前記各シグナル表示機器の動作条件を表示する表示器とを備え、
前記表示器は、前記各シグナル表示機器に対応して複数の動作原因を表示すると共に前記複数の動作原因のうち前記シグナル表示機器の動作に該当する動作原因を色分け表示し、
前記シグナル表示機器が前記ホストコンピュータからの指示により動作する場合に、
前記表示器は、前記シグナル表示機器の複数の動作原因を表示すると共に前記ホストコンピュータからの指示を色分け表示することを特徴とする基板処理システム。 - 稼働状態を示し、複数の動作条件のいずれかにより動作する複数のシグナル表示機器と、予め個別に設定された前記各シグナル表示機器の動作条件を表示する表示器とを備える基板処理装置の表示方法であって、
前記表示器に、前記各シグナル表示機器に対応して複数の動作原因を表示させると共に前記複数の動作原因のうち前記シグナル表示機器の動作に該当する動作原因を色分け表示させる基板処理装置の表示方法。 - 前記シグナル表示機器の動作条件を設定する設定画面を表示させ、前記設定画面は、前記シグナル表示機器の動作状態の優先順位を選択して設定する請求項8に記載の基板処理装置の表示方法。
- 前記シグナル表示機器の動作条件及び動作原因を把握するためのモニタ画面を表示させ、前記モニタ画面は、前記動作条件毎にホストコンピュータからの指示の有無を色分け表示する請求項8に記載の基板処理装置の表示方法。
- 稼動状態を示すシグナル表示機器を備えた基板処理装置において、
複数の動作条件のいずれかにより動作する複数のシグナル表示機器と、
前記各シグナル表示機器の動作を制御するシグナル制御装置と
を備え、
前記シグナル制御装置は、複数の動作原因を表示すると共に前記複数の動作原因のうち前記シグナル表示機器の動作に該当する動作原因を色分け表示するよう、前記各シグナル表示機器を制御する基板処理装置。 - 前記シグナル制御装置は、前記シグナル表示機器の動作状態の優先順位を受け付けた場合、受け付けた優先順位にしたがって動作するよう、前記各シグナル表示機器を制御する請求項11に記載の基板処理装置。
- 前記シグナル制御装置は、ホストコンピュータから指示を受け付けた場合、受け付けた指示を色分け表示するよう、前記各シグナル表示機器を制御する請求項11に記載の基板処理装置。
- 稼働状態を示し、複数の動作条件のいずれかにより動作する複数のシグナル表示機器と、前記各シグナル表示機器の動作を制御するシグナル制御装置とを備える基板処理装置の表示方法であって、
前記シグナル制御装置に前記各シグナル表示機器を制御させ、複数の動作原因を表示すると共に前記複数の動作原因のうち前記シグナル表示機器の動作に該当する動作原因を色分け表示させる基板処理装置の表示方法。 - 稼働状態を示すシグナル表示機器の動作を制御するシグナル制御装置において実行されるシグナル制御プログラムであって、
前記シグナル表示機器の動作条件を受け付け、受け付けた動作条件にミスが含まれていないかどうかを判定し、ミスが含まれている場合には、ミスが含まれている旨と共にミスの要因を画面に表示するシグナル制御プログラム。 - 前記シグナル表示機器の動作条件及び動作状態を受け付け、受け付けた動作条件及び動作状態を画面に表示し、所定の間隔で画面表示を更新する請求項15に記載のシグナル制御プログラム。
Priority Applications (1)
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