JP2002032274A - 設備のリモート診断システム及びリモート診断方法 - Google Patents

設備のリモート診断システム及びリモート診断方法

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JP2002032274A JP2000219695A JP2000219695A JP2002032274A JP 2002032274 A JP2002032274 A JP 2002032274A JP 2000219695 A JP2000219695 A JP 2000219695A JP 2000219695 A JP2000219695 A JP 2000219695A JP 2002032274 A JP2002032274 A JP 2002032274A
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廣治 西畑
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祥二 幾原
Hideyuki Yamamoto
秀之 山本
Hideaki Kondo
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Abstract

(57)【要約】 【課題】設備のリモート診断時における情報の秘密保持
と経済的の損失の増大防止という双方の要求の調和を図
ったリモート診断システム及び診断方法を提供する。 【解決手段】第一の会社の管理下にある設備を通信ネッ
トワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の会
社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断を
行うものにおいて、前記設備は、該設備の診断に関し各
種情報の問合わせがあった際の応答範囲を決定するため
に、予め前記各種情報をアクセス権限の異なる複数段階
のセキュリティレベルに区分して保持した記憶装置と、
前記第二の会社から前記診断に関してアクセス権限の無
い情報に対する問合わせがあったとき、該問合わせに係
る事象の程度に応じて新たにアクセス権限を付与するセ
キュリティレベル判定制御手段を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、設備のリモート診
断システム及び診断方法に係り、特に、半導体製造ライ
ンのように、設備の少なくとも一部を製造した者とその
設備のユーザーとが異なる場合に好適なリモート診断装
置及び診断方法にに関するものである。ここで、設備と
は、半導体製造ラインのよう生産設備に限らず、例えば
大型の金融システムのような生産設備でないものも含
む、各種の装置あるいは部品が組み合わされた機器や設
備を意味する。
【０００２】
【従来の技術】最近、インターネットなどを利用したリ
モート診断機能を有する装置が提案されている。このリ
モート診断機能は、例えば、特開平１０−４０２００号
公報に記載のように、端末局で設定された諸種のデータ
等を、サービス会社のセンター局に設置されているリモ
ート診断装置に転送するもので、センター局では端末局
から受信したデータに基づきリモート診断を開始し、端
末装置の設定の誤りを修正した新しいデータをユーザー
側に返送するものである。特開平１０−４０２００号公
報のシステムでは、コンピュータネットワーク上の端末
に接続された機器又はその端末を内蔵する機器の初期設
定、故障診断、及びデータ更新等の操作を可能にする技
術として、インターネットに接続されている機器又はそ
の端末を内蔵する機器の故障診断を行う方法であって、
機器は端末に状態データを送信し、端末は受信した状態
データをインターネット上のサーバーに転送し、サーバ
ーは受信した状態データをもとに機器を診断して診断結
果を前記端末に送信するように構成されている。
【０００３】このようなリモート診断システムにおい
て、家電製品のようにユーザーが機器の診断に関して格
別機密にするほどの情報を開示する必要の無い場合もあ
る。他方、製造装置のように、装置の診断に関する外部
からのアクセスに対して何らのプロテクトもないと、ユ
ーザーの機密に関わるデータが、不用意に流出してしま
う可能性のある場合もある。
【０００４】そこで、特開平９−１４９１８８号公報に
は、リモート診断に対する有効なプロテクトが可能な通
信機器のリモート診断システムを提供することを目的と
して、リモート診断システムのセンター局機に、端末局
機で設定したＩＤ番号を基としてデータを作成するとと
もに、作成したデータを端末局機に送出するデータ作成
手段を設ける一方、端末局機に、ＩＤ番号を設定すると
ともに、その設定したＩＤ番号を前記センター局機へ送
出するＩＤ番号設定手段と、受信データを解析するデー
タ解析手段と、リモート診断の可否を判定する診断制御
手段とを設けたものが開示されている。
【０００５】また、ＬＡＮ回線へ接続機器を敷設し、各
装置毎にＩＰ（Internet Protocol）アドレスを付与し
て、情報処理装置と診断装置から構成されるシステムを
ネットワーク上で構築するものも知られている。この場
合、情報処理装置と保守診断装置とが、ＬＡＮ回線に並
列に接続されているため、保守診断装置以外から情報処
理装置へのアクセスが可能であり、ユーザのセキュリテ
ィ対策が不完全である。その解決策として、特開平９−
１４９１８８号公報には、遠隔保守診断方式として、情
報処理装置に接続されシステムの運用状況を監視する保
守診断装置が、ネットワーク接続機能及び監視・解析機
能等の自立（自律）的なネットワーク機能を備え、前記
情報処理装置のネットワークヘの接続を前記保守診断装
置を介して行い、これにより、セキュリティの向上とシ
ステム敷設時のコスト低減を可能としたものが開示され
ている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】技術の高度化、複雑化
に伴い、例えば半導体製造ラインのような大型の設備全
体を自社で全て製造することは困難になっており、複数
の会社の協力を得て製造するか、あるいは、製造装置の
メーカーから購入する場合が多くなっている。従って、
こような大型の設備の診断を迅速、的確に行うためのに
は、その設備の制御や保守・管理に関与する会社からの
詳細な情報提供が必要となる。
【０００７】一方で、このような情報を他社に提供する
ことは、企業機密の流出を招くことになるため、その開
示には多くの制約がある。例えば、半導体製造装置を製
造装置のメーカーから購入した顧客が、その装置の診断
のために製造装置のメーカーに情報を提供することを求
められた場合、情報の種類によっては、それを開示する
事に伴い、顧客の半導体製造の生産状況や製造上のノウ
ハウに関する重要な情報が他社に流失する可能性もあり
うる。
【０００８】ただし、最近のように、生産、管理などの
設備が集約化され、大型になってきたのに伴い、例えば
半導体製造ラインが故障し生産に支障をきたしたとき、
その原因究明が遅れると、生産停止による経済的な損失
が甚大となる。
【０００９】従来のリモート診断システムは、このよう
な種々の複雑な要求に応えられる弾力的でかつ信頼性の
高いセキュリティ機能を備えてはいない。
【００１０】本発明の目的は、設備のリモート診断時に
おける企業秘密の保持と経済的損失の増大防止という双
方の要求の調和を図った、弾力的でかつ信頼性の高いセ
キュリティ機能を備えるリモート診断システム及び診断
方法を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】本発明の特徴は、第一の
会社の管理下にある設備を、通信ネットワークを介して
前記設備に接続されかつ前記第一の会社の管理下にない
第二の会社の診断装置を用いて診断を行う設備のリモー
ト診断システムにおいて、前記設備は、診断のために該
設備に関する各種情報について前記診断装置から問合わ
せがあった際に応答する範囲を、該問合わせに係る事象
の程度に応じて変更するセキュリティレベル判定制御手
段を備えていることにある。
【００１２】本発明の他の特徴は、第一の会社の管理下
にある設備を、通信ネットワークを介して前記設備に接
続されかつ前記第一の会社の管理下にない第二の会社の
診断装置を用いて診断を行う設備のリモート診断システ
ムにおいて、前記設備は、該設備の診断に関し各種情報
の問合わせがあった際の応答範囲を決定するために、予
め前記各種情報をアクセス権限の異なる複数段階のセキ
ュリティレベルに区分して保持した記憶装置と、前記第
二の会社から前記診断に関してアクセス権限の無い情報
に対する問合わせがあったとき、該問合わせに係る事象
の程度に応じて新たにアクセス権限を付与するセキュリ
ティレベル判定制御手段を備えていることにある。
【００１３】本発明の他の特徴は、第一の会社の管理下
にある設備を、通信ネットワークを介して前記設備に接
続されかつ前記第一の会社の管理下にない第二の会社の
診断装置を用いて診断を行うリモート診断システムにお
いて、前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社の
設備に関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与さ
れている情報について問合わせを行い、得られた情報に
基づいて診断を行うと共に、前記診断のために追加の情
報が必要な場合、アクセス権限の付与されていない上位
のセキュリティレベルにある追加情報の提供を前記第一
の会社に対して要求し、前記第一の会社から新たにアク
セス権限が付与されて得られた追加情報に基づいて、前
記診断を行うことにある。
【００１４】本発明の他の特徴は、前記各種情報に関す
るアクセス権限は、前記第二の会社からの問い合わせに
対して常時提供する範囲と、前記事象の程度に応じて前
記アクセス権限を緩和する範囲と、前記アクセス権限を
緩和しかつ機密保持のために提供形式を変更して情報を
提供する範囲の、少なくとも３段階に区分されているこ
とにある。
【００１５】本発明の他の特徴は、前記設備が半導体製
造装置であることにある。本発明によれば、設備のリモ
ート診断時における企業秘密の保持と経済的損失の増大
防止という双方の要求の調和を図った、リモート診断シ
ステム及び診断方法を提供することができる。
【００１６】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
詳細に説明する。図１は本発明を半導体製造装置に適用
したリモート診断システムの構成を示すブロック図であ
る。この診断システムは、第一の会社（Ａ社）の管理下
にある設備を、通信ネットワークを介して前記設備に接
続されかつ第一の会社の管理下にない第二の会社（Ｂ
社）の診断装置を用いて、定期的及び診断が必要な時に
適宜、リモート診断するものである。この実施例におい
て、Ｂ社は、Ａ社の半導体製造装置の一部もしくは大半
を製造し納入したメーカとする。Ｂ社が、Ａ社の半導体
製造装置に関する保守専門のサービス会社であっても良
い。
【００１７】このリモート診断システムでは、故障診断
やデータ更新の対象となるＡ社の半導体製造装置１０
（１０Ａ〜１０Ｎ）が、これらの半導体製造装置１０全
体を制御する制御手段を備えた半導体製造装置制御サー
バー２０に接続されている。サーバー２０は、Ａ社内の
イントラネット３０に接続されており、さらに、インタ
ーネットサーバー４０及びファイヤーウォールシステム
４２を介してインターネット５０に接続されている。イ
ンターネット５０には、Ｂ社のファイヤーウォールシス
テム６２及びインターネットサーバー６０（及びイント
ラネット）を介して半導体製造装置の診断プログラムを
備えた診断装置７０が接続されている。
【００１８】半導体製造装置制御サーバー２０は、半導
体製造装置の診断に関し各種情報の問合わせがあった際
の応答範囲を決定するために、予め前記各種情報をアク
セス権限の異なる複数段階のセキュリティレベルに区分
して保持した記憶装置と、Ｂ社から診断に関してアクセ
ス権限の無い範囲の情報に対する問合わせがあったと
き、この問合わせに係る事象の程度に応じて新たにアク
セス権限を付与するか否か判断し、その結果に基づいた
処理を行うセキュリティレベル判定制御手段２７を備え
ている。
【００１９】なお、半導体製造装置、各サーバー、イン
ターネット、及び診断装置の間の接続には、一般の電話
回線や専用の通信回線、光ケーブルによる通信回線等が
用いられる。また、顧客であるＡ社と装置メーカである
Ｂ社間の通信のために、予め、各機器毎にＩＰアドレス
や特定のＩＤ番号等を付与しておくことは言うまでもな
い。
【００２０】半導体製造装置制御サーバー２０、４０
は、夫々コンピュータにより構成されており、入出力手
段としてキーボードやマウス等の操作部やディスプレイ
が接続されている。サーバー２０、４０は、インターネ
ット５０にアクセスし、サーバー６０に接続するための
閲覧ソフト（ＷＷＷブラウザ）を持っている。また、各
半導体製造装置１０（１０Ａ〜１０Ｎ）も、夫々パーソ
ナルコンピュータを備えており、入出力手段としてのキ
ーボードやマウス等の操作部やディスプレイが接続され
ている。
【００２１】サーバー２０、４０等の各コンピュータ
は、外部の機器と接続するためのインターフェースを備
えており、各コンピュータ内のマイクロコンピュータと
外部の機器との間で行われるデータやコマンドの通信
は、このインターフェースを介して行われる。さらに、
通信用のプログラムや通信インターフェースを備えてお
り、マイクロコンピュータが作成したデータやコマンド
の変調及び送信と、電話回線等を経て送られてくるデー
タやコマンドの受信及び復調を行う。
【００２２】図２は、図１のシステムにおける半導体製
造装置制御サーバー２０の構成例を示す図である。半導
体製造装置制御サーバー２０は、例えばパーソナルコン
ピュータにより構成されており、入出力手段２１として
キーボードやマウス等の操作部や、ディスプレイが接続
されている。また、外部の機器と接続するための外部接
続用インターフェース２２や、通信インターフェース２
３を備えている。さらに、ＣＰＵを有するマイクロコン
ピュータ２４が備える記憶手段には、サーバー４０を介
してインターネット５０にアクセスし、サーバー６０に
接続するための閲覧ソフト（ＷＷＷブラウザ）２５が保
持されている。さらに、半導体製造装置１０（１０Ａ〜
１０Ｎ）を統括して制御し生産管理を行うのに必要なプ
ログラム２６やデータベース２８、セキュリティレベル
判定制御手段２７（セキュリティ判定プログラム２７
Ａ、及び診断用共通事項のデータやメンテナンスに関す
る情報のデータベース２７Ｂ、Ｂ社にアクセス権限があ
る情報を一時的に保持するバッファメモリ２７Ｃ）、全
般的なセキュリティ情報のデータベース２９等が設けら
れている。
【００２３】半導体製造装置制御サーバー２０のセキュ
リティレベル判定制御手段２７は、Ｂ社が定期あるいは
臨時のリモート診断のために求めてきた、半導体製造装
置に関するデータの提供範囲、すなわちアクセス権限を
決定する。セキュリティレベル判定制御手段２７は、さ
らに、Ｂ社へ機密性を保持しつつ必要なデータを提供す
るために、レシピ形式を変更するレシピ形式変更の機能
も備えている。これらのＢ社にアクセス権限がある情報
は、診断時のみ、一時的にバッファメモリ２７Ｃに保持
され、Ｂ社の診断装置は、半導体製造装置制御サーバー
２０のバッファメモリ２７Ｃに保持された情報について
のみ、アクセス可能である。また、Ｂ社の診断装置をバ
ッファメモリ２７Ｃにアクセス可能とする情報は、例え
ば、セキュリティ情報のデータベース２９に保持されて
いる。
【００２４】図３に、情報セキュリティ判定手段２７の
データベース２７Ｂに保持された、Ａ社の半導体製造装
置に関するＡ社側の情報セキュリティレベルを表すテー
ブルの一例を示す。この例では、セキュリティレベルが
Ａ〜Ｃの３段階に区分されており、Ｃレベルが最も機密
性の高いものとする。
【００２５】テーブル中、「エラーログ」とは、装置で
発生した異常情報を時系列的に記録したレコードであ
る。「動作ログ」とは、診断開始までの、半導体製造装
置の動作内容を時間と共に記録したものである。「サー
ビスシーケンス」とは、装置例えばＡ社の半導体製造装
置が正常かどうか、日常点検的に検査するプログラムで
ある。一般的に、装置の顧客側が定期的に走らせて装置
の状態を点検する。
【００２６】「ロットデータ」とは、Ａ社の半導体製造
装置が製品をプロセス処理した後に、処理状況がどうで
あったかを記録したレコードである。通常、レシピ項目
に対応したモニタ量を記録する。例えば、流量を１００
ml／min設定に対して、流量モニタが１０１ml／minだっ
たという情報である。また、「レシピ」とは、製品の対
象条件を記述したレコード情報を言う。
【００２７】テーブル中、レベルＡは、機密保持を前提
に常にＢ社にアクセス権限がある、換言するとＢ社の要
求があれば常に提供するものとする。また、レベルＢ、
Ｃは、原則としてＢ社にアクセス権限はなく、Ｂ社の診
断装置からの要求があれば具体的な事象に応じて機密保
持を前提にアクセス権限の付与が決定される。これらの
レベルは、Ｂ社から装置を購入した時、またはサポート
契約時、装置内のデータ基本セキュリティレベルとし
て、機密保持に関する事項と共に、顧客Ａ社がＢ社との
関係として予め決定し、データ化しておく。レベルＢ、
Ｃの情報に関するＢ社のアクセス権限は、故障の与える
生産障害に伴う経済的な程度や緊急性及び情報開示に伴
う損失等に応じて、変更される。このように、セキュリ
ティ判定手段２７は、予め設定されたセキュリティレベ
ルと具体的な事象に応じて、Ｂ社へのアクセス権限、す
なわち情報の提供範囲を決定する。
【００２８】図４は、図１のシステムにおける診断装置
７０の構成例を示す図である。診断装置７０は、例えば
パーソナルコンピュータにより構成されており、入出力
手段７１としてキーボードやマウス等の操作部や、ディ
スプレイが接続されている。また、外部の機器と接続す
るための外部接続用インターフェース７２や、通信イン
ターフェース７３を備えている。さらに、マイクロコン
ピュータ７４はＣＰＵ及び各種記憶手段を備え、記憶手
段には、インターネット５０にアクセスしサーバー４０
に接続するための閲覧ソフト（ＷＷＷブラウザ）７５
や、リモート診断用の診断プログラム７６が保持されて
いる。さらに、装置のエラーコードなどの装置診断用情
報及びメンテナンス情報のデータベース７７Ａ、顧客Ａ
社固有の定期あるいは不定期の診断用データベース７７
Ｂ、Ａ社の装置に関する診断用情報を取得するのに必要
なセキュリティ関連の情報データベース７８、診断のス
ケジュール及び診断結果を記録したデータベース７９が
設けられている。
【００２９】診断装置７０は、Ａ社の半導体製造装置に
関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与されてい
る情報について問合わせを行い、得られた情報に基づい
て診断を行うと共に、診断のために追加の情報が必要な
場合、アクセス権限の付与されていない上位のセキュリ
ティレベルにある追加情報の提供をＡ社に対して要求
し、新たにアクセス権限が付与されて得られた追加情報
に基づいて、さらに診断を行う。
【００３０】図１のシステムにおける半導体製造装置１
０の制御構成例を図５に示す。２１１が装置全体の主制
御部である。図５に示すものが、１０Ａ〜１０Ｎのいず
れか１つに相当する。２１２は、全体を制御する中央制
御手段であり、例えばＣＰＵである。２１３は、運転状
態、運転条件の設定内容、運転の開始指示／終了の表示
を行う表示手段であり、例えばＣＲＴである。２１４は
入力手段であり、運転条件の設定、運転の開始指示入
力、プロセス処理条件、保守やメンテナンスの操作入力
等を行う、例えばキーホ゛ート゛である。２１５は装置
制御手段であり、上記プロセス処理装置２−１〜２−４
の運転有効／無効であることを示す運転情報信号状態を
判断し、自動運転中にプロセス処理装置２０２−１〜２
０２−４のどれかが運転不可となっても該プロセス処理
装置を使用せず、他のプロセス処理装置を使って運転続
行する処理手順を記憶する。例えばＲＯＭである。２１
６は、真空処理装置内でのウエハの処理順序を記憶する
処理順序情報記憶手段であり、例えばＲＡＭである。こ
のウエハの処理順序は、運転開始前に表示手段２１３、
入力手段２１４とを使ってオペレータによって入力され
たデータが記憶される。２１７は運転情報信号記憶手段
であり、プロセス処理装置２０２−１〜２０２−４の運
転有効／無効であることを示す運転情報信号を記憶す
る、例えばＲＡＭである。２０２−１〜２０２−４は、
ウエハのプロセス処理を行うプロセス処理装置である。
この処理装置としては、エッチンク゛、後処理、成膜、
スハ゜ッタ、ＣＶＤ、水処理等ウエハのプロセス処理を
行う処理であれば、何であっても良い。
【００３１】２１９−１〜２１９−４は、プロセス処理
装置２０２−１〜２０２−４の運転有効／無効であるこ
とを示す運転情報信号を発生する運転情報信号発生手段
である。本実施例では、プロセス処理装置に設けている
が、どこにあっても良い。
【００３２】２２０と２２１は通信手段であり、装置全
体を制御する主制御部２１１と補助操作盤２２２とを接
続する。補助操作盤２２２、２２５、２２６は上述した
用途に使用するものである。２２４は補助操作盤での端
末機能を制御する処理手順を記憶した端末制御手段であ
る。２２３は上記２２１、２２４から２２６を制御する
中央制御手段であり、例えば、ＣＰＵ等により構成され
る。
【００３３】次に、図６により、図５のプロセス処理装
置２０２−１〜２０２−４として採用される真空処理装
置の例を示す。まず、図６（Ａ）において、２０１はウ
エハ搬送を行う搬送室であり、ロードロック室のウエハ
をウエハ搬送スケジュールに従ってプロセス処理装置２
０２−１〜２０２−４に搬送する。また、プロセス処理
装置で処理終了したウエハを次のプロセス処理装置に搬
送し、全てのプロセス処理が終了したウエハをアンロー
ドロック室に搬送する。２０２−１〜２０２−４はプロ
セス処理を行うプロセス処理装置である。プロセス処理
としてはエッチング、後処理、成膜、スパッタ、ＣＶ
Ｄ、水洗処理等ウエハのプロセス処理全てを含む。２０
３はロードロック室であり大気搬送装置２０６にあるウ
エハを搬送室２０１に搬入する室、２０４はアンロード
ロック室であり真空処理室にあるウエハを大気搬送装置
２０６に搬出する室、２０５は搬送室２０１内に設置さ
れウエハの搬送を行う真空ロボット、２０６はウエハを
収納したカセットを設置するための大気搬送装置、２０
７は処理するウエハを収納したカセットであり製品用ウ
エハを収納したカセットやクリーニング用ウエハを収納
したカセットである。２０８は大気搬送装置上のカセッ
ト内のウエハをカセットから搬出し、ロードロック室２
０３に搬入し、またアンロードロック室２０４のウエハ
を元のカセットに戻す大気ロボットを示す。
【００３４】次に、図６（Ｂ）は、真空処理装置の別の
実施例あり、プロセス処理装置が搬送室２０１に接続さ
れ、処理装置にウエハを搬入する為のカセットは処理装
置本体内のロードロック室２０３Ａに設置し、カセット
から１枚ずつ取り出し処理装置に搬入し処理する。プロ
セス処理装置がこれ以上接続されても構わない。装置構
成としては図６（Ａ）に示す構成からウエハを収納した
カセットを設置するための大気搬送装置２０６、大気ロ
ボット２０８を削除したものである。ウエハのカセット
からの搬出がロードロック室２０３Ａからとなり、カセ
ットへの収納がアンロードロック室２０４Ａとなる以外
の各機器の機能及び構成は図６（Ａ）と同じである。
【００３５】次に、図７により、装置メーカが顧客の半
導体製造装置の診断を行う場合の処理フローを説明す
る。診断は、定期診断とエラー発生時の不定期の診断と
がある。
【００３６】定期診断に当たっては、顧客Ａが状態デー
タをサーバー、インターネット経由で定期診断データを
装置メーカＢに転送し（３０２）、そのデータは装置メ
ーカＢの定期診断データベースに保持される（４０
２）。一方、エラー発生時には、エラーの事象をエラー
NＯ．.等の形で特定した診断要求がインターネット経由
で顧客Ａから装置メーカＢへ送られる。定期診断の時期
については、装置メーカＢから顧客Ａへ予め連絡しても
良い。
【００３７】顧客Ａから定期或いは不定期の診断要求が
あると、装置メーカＢの診断装置７０は、その診断プロ
グラムを起動し、顧客Ａの半導体製造装置１０に対して
リモート診断を開始する。
【００３８】診断プログラムは、まず、顧客Ａの半導体
製造装置制御サーバー２０（以下単に顧客Ａ）に対して
レベルＡのデータ取得要求を行う（４０４）。顧客Ａは
この要求を受付け（３０６）、セキュリティ判定手段２
４が予め設定されたセキュリティレベルを参照して、デ
ータ範囲決定を決定し（３０８）、データの機密保持を
前提にレベルＡのデータがＢ社へ提供される。
【００３９】診断プログラムは、レベルＡのデータと、
その装置のエラーコードなどの装置診断用情報及びメン
テナンス情報のデータベースや顧客固有の診断用データ
ベースを基に、顧客Ａの半導体製造装置１０に関する診
断を開始し、故障の原因を解析する（４０６）。原因が
解析された場合（４０８）、その原因は顧客Ａに連絡さ
れる（４１０）。さらに、診断プログラムは、部品の交
換が必要かについても判断する（４１２）。部品の交換
が必要でなければ、終了処理（４４０）に進み、診断処
理を終了する。終了処理の情報は、顧客の側にも送信さ
れ、終了処理（３１４）に進み、診断処の終了に伴い必
要な処理、例えばバッファメモリー２７Ｃのデータを削
除する。
【００４０】部品の交換が必要な場合には、顧客Ａに交
換してよいか問い合わせる（４１４）。顧客ＡからＯＫ
の回答があれば、部品の交換を手配する。具体的には、
部品のサービス会社Ｃ、Ｄに連絡、手配し、部品の交換
を要請する。そして、終了処理（４４０）に進み、診断
処理を終了する。終了処理の情報は、顧客の側にも送信
され、終了処理（３１４）に進む。
【００４１】解析で原因が判明しなかった場合、解析に
必要なデータを顧客Ａからさらにもらえるか判定する
（４１８）。データがこれ以上もらえないと判断される
場合、あるいはよく分からない場合、次に、テストラン
を行うか判定する（４２０）。例えば、既にアクセス権
限の付与されていない上位のセキュリティレベルにある
追加情報の提供を求め、具体的な事象に関してさらに適
切な情報が得られる見通しが無いような場合が考えられ
る。この判定を全て自動的に行うのは困難であり、実際
には、診断装置のオペレーターが全体の状況を判断して
判定し、その結果を診断装置に入力することになる。
【００４２】テストランを行うべきであると判定した場
合には、その旨顧客Ａに問い合わせを出す（４２２）。
これに対して、顧客ＡからＯＫの回答があれば（３１
８）、特定の診断を行う診断プログラムを顧客Ａに送り
（４２４）、その結果を入手する（３２０）。そして、
この結果の情報を加えて、再度解析処理を行う（４０
６）。
【００４３】上記解析で原因が判明しなかった場合で、
解析に必要なデータを顧客Ａからさらにもらえる場合に
は、何が必要なデータが検討する（４３４）。そして、
顧客Ａに対して、必要なデータの取得交渉を行う（４３
６）。ここでは、ｍ個の追加データが必要なものとす
る。
【００４４】このデータの取得の要求があった場合、顧
客Ａの情報セキュリティ判定手段２７は、予め設定され
たセキュリティレベルと具体的な事象に応じて、アクセ
ス権限を新たに付与するか拒否するか、換言するとＢ社
へのデータ提供範囲を決定する（３３２）。
【００４５】情報セキュリティ判定手段２７は、図８に
示すように、具体的な事象に応じてアクセス権限を変更
する。このレベルは、装置の購入時、またはサポート契
約時、装置内のデータ基本セキュリティレベルとして、
顧客との関係で、機密保持契約の形等で決定しておくも
のである。その後、サポートの事象内容により顧客に要
求する装置データのアクセス権限を自動的にあるいはオ
ペレーターの判断を加えて変更し、機密保持を前提に、
顧客にデータを提供する。
【００４６】図８の例では、特定の事象に対応して、レ
ベルＢの中の「サービスシーケンス」についてアクセス
権限を新たに付与する対象Ｂ１と判定している。
【００４７】図９は、図７のステップ４３６においてア
クセス権限のない範囲に関してデータの取得の要求があ
った場合、顧客Ａの情報セキュリティ判定手段２７がセ
キュリティレベルを自動的に可変とする処理（図７のス
テップ３３２）の具体的な処理フローの一例を示すもの
である。データの取得の要求があった場合（９００）、
情報セキュリティ判定手段２７は、要求データの属性や
半導体の生産規模等のデータを取り込み（９０２）、さ
らに、同一または異なるデータに関する要求回数ＤＮを
更新する（９０４）。次に、要求回数ＤＮの関数として
事象解決のための労力係数Ｋｍを算出する（９０６）。
また、要求データの属性データ等から、情報の提供に伴
う損出係数Ｋｄを算出する（９０８）。さらに、半導体
の生産規模等のデータから、事象未解決の場合の経済的
な損失を計数化（Ｋｅ）する（９１０）。次に、Ｋｄ
と、Ｋｅ×Ｋｍを比較し（９１２）、経済的な損失が大
きいときはアクセス権限を新たに付与し、要求データを
バッファメモリーに保持し、要求先にデータを提供する
（９１４）。経済的な損失（Ｋｅ×Ｋｍ）が小さいとき
はアクセス権限をそのまま維持し、データ提供は拒否す
る（９１６）。一連の診断処理が終了した時点で、この
処理は終了する（９１８）。
【００４８】なお、上記各損失計数Ｋｄ、Ｋｅ、Ｋｍ
は、一例にすぎず、他のパラメータの組み合わせにより
計数を算出して判定する様にしても良い。また算出を簡
略化するために、予め、いくつかのパラメータの組み合
わせによりテーブル化しておくことが考えられる。ある
いは、ステップ９１２の判定をオペレーターが行う、例
えば、上記テーブル等の情報を参照してオペレーターが
アクセス権限の付与の最終判断を行い、その判断結果を
情報セキュリティ判定手段２７に入力するようにしても
良い。
【００４９】図７に戻り、次に、アクセス権限を新たに
付与したデータの提供に際して、レシピが必要か判定し
（３３４）、必要な場合、機密保持のためにレシピ形式
を変更し、バッファに保持する（３３６）。
【００５０】図１０に、レシピ形式の変更例を示す。左
側のオリジナルレシピが顧客側の生データであり、これ
が右側の選択変換レシピのように変換される。選択変換
レシピは、生データの内容を知ることは出来ないもの
の、Ｂ社の断プログラムにおいて診断処理を行うに足り
る情報を含んでいることは当然である。このようにし
て、Ｂ社は、顧客Ａからｎ個の追加データを得ることが
できる（４３８）。
【００５１】そして、この追加データを加えて再度、顧
客Ａの半導体製造装置１０に関する診断を開始し、故障
の原因を解析する（４０６）。原因が解析された場合
（４０８）、その原因は顧客Ａに連絡される（４１
０）。以下、同様な処理を繰り返す。
【００５２】また、テストラン実施（４２０）の結果、
現状までの解析結果顧客に報告し（４２８）、その後の
行動についての打合せる（４３０）。例えば、サービス
員派遣の必要性を打ち合わせ、必要な場合、サービス会
社へサービス員派遣を要請する（４３２）。サービス員
による調査により（３１０）、原因が判明したら（３１
２）そこで必要な対策を施して終了処理（３１４）を行
って処理は終了する。この終了処理には、Ｂ社に対し
て、原因が判明し顧客Ａにおいて必要な処置がなされる
ための報告処理も含まれる。終了処理の結果は、Ｂ社に
も連絡され、その結果をＢ社の診断装置のデータ−ベー
スに記録して、診断を終了とする（４４０）。終了処理
では、診断に関して顧客Ａから取得した情報や結果につ
いて、顧客から要求された機密保持が図れるように加工
し、あるいは記憶装置から削除する。
【００５３】もし、原因が判明しない場合、サービス員
による調査により得られた追加データを踏まえて、再
度、顧客ＡからＢ社に対して診断要求がなされる（３１
６）。この診断要求を受けて、ステップ４０４以下の診
断処理が開始される。
【００５４】図１１に、不具合事象が半導体製造装置の
処理室における真空排気タイムアウトエラーであった場
合の解析例を示す。不具合が発生した場合、まず、レベ
ルＡのデータを収集し、原因の解析を行う。この例で
は、レベルＡのデータには、図３に示したような、入出
力状態、エラーログ、動作ログがある。そして、解析の
結果、エラーログと動作ログから、真空排気でエラー発
生と判明する。そこで、データ−ベースを検索して、不
具合原因の候補をリストUPする。すなわち、排気能力
不足、リークをリストアップし、顧客Ａに連絡する。
これらが、レベルＡ情報で解析できる範囲であれば、診
断処理を終了する。もし、解析できなければ、次に、レ
ベルＢのデータのアクセス権限を獲得して、サービスシ
ーケンスログのデータを取得する。サービスシーケンス
ログには図３に示したようなデータがあり、これから過
去の測定結果と現在の状況を比較、照合し、排気能力が
低下していることを把握し、原因が「真空排気でエラー
発生」と判明する。この原因を顧客Ａに連絡し、必要な
対策をとる。
【００５５】以上のようにして、セキュリティレベルと
具体的事象とに応じたデータの収集、診断と、必要な場
合にはサービス員による調査を加えることで、装置に不
具合が有る場合でも、その殆どを迅速に解析し、適切な
対策を施すことが可能になる。また、顧客Ａからみれ
ば、診断に際して機密データの流出を抑制しつつ、迅速
な解析結果が得られ、経済損失を最小限に押さえること
ができる。
【００５６】図１２は、本発明を半導体製造装置に適用
したリモート診断システムの他の実施例を示すブロック
図である。このシステムは、Ａ社の半導体製造装置の全
体をその製造メーカ或いはサービス会社であるＢ社が、
装置部品メーカＣ、Ｄ、Ｅ社の協力を得て、診断プログ
ラムを用いて定期的及び診断が必要な時に適宜リモート
診断するものである。
【００５７】このリモート診断システムでは、故障診断
やデータ更新の対象となるＡ社の半導体製造装置１０
（１０Ａ〜１０Ｎ）が、Ａ社の半導体製造装置制御サー
バー２０に接続されている。サーバー２０は、Ａ社内の
イントラネット３０に接続されており、さらに、インタ
ーネットサーバー４０及びファイヤーウォールシステム
４２を介してインターネット５０に接続されている。イ
ンターネット５０にはＢ社のファイヤーウォールシステ
ム６２及びインターネットサーバー６０（及びイントラ
ネット）を介して半導体製造装置の診断プログラムを備
えた診断装置７０が接続されている。インターネット５
０には、ファイヤーウォールシステム及びインターネッ
トサーバー８０、８１、８２（及びイントラネット）を
介して半導体製造装置の部品メーカＣ、Ｄ、Ｅ社内の、
部品関係のサーバー及びデータベースに接続されてい
る。
【００５８】部品メーカＣ、Ｄ、Ｅ社内の部品関係のサ
ーバーは、半導体製造装置の診断に関し各種情報の問合
わせがあった際の応答範囲を決定するために、予め前記
各種情報をアクセス権限の異なる複数段階のセキュリテ
ィレベルに区分して保持した記憶装置と、Ｂ社から診断
に関してアクセス権限の無い情報に対する問合わせがあ
ったとき、この問合わせに係る事象の程度に応じて新た
にアクセス権限を付与するセキュリティレベル判定制御
手段を備えている。
【００５９】この実施例では、図７のステップ４０６〜
４０８の部分が若干異なる。すなわち、図１３に示すよ
うに、ステップ４０６において顧客からの取得データに
より原因解析を行い、アクセス権限の無い他社情報が必
要か判断する（４０６２）。原因がはっきりしないとき
で、かつ、装置構成部品のうち、アクセス権限の無い他
社データがなければ正常／異常が判定できない場合は、
他社に対して問い合わせを行う（４０６４）。この問い
合わせには、データ解析依頼やデータ送信の依頼を伴
う。新たなアクセス権限が付与された場合、次に、新た
なデータや他社による解析結果を加味し、原因の解析を
再度実施する（４０６６）。
【００６０】以上のようにして、Ａ社の半導体製造装置
をＢ社が、装置部品メーカＣ、Ｄ、Ｅ社の協力を得て、
診断プログラムを用いて定期的及び診断が必要な時に適
宜リモート診断を行うことができる。この場合も、セキ
ュリティレベルと具体的事象とに応じたデータの収集、
診断と、必要な場合にはサービス員による調査を加える
ことで、装置に不具合が有る場合でも、その殆どを迅速
に解析し、適切な対策を施すことが可能になる。また、
顧客Ａや装置部品メーカＣ、Ｄ、Ｅ社からみれば、診断
に際して不必要な機密データの流出を防止しつつ、迅速
な解析結果が得られる。
【００６１】図１４は、図７のステップ４２４におけ
る、診断プログラムを転送して処理する場合のフロー図
である。たとえば、診断装置が解析の結果、排気能力不
足と判断した場合、不具合原因要因としては、ポンプ
劣化、配管閉そくが考えられる。この場合の、テスト
プログラムの実行例として、ポンプを大気圧に戻した
後、排気起動し、圧力の変化を測定するソフトを送信す
る。そこで、これらに関してのテストプログラムを顧客
Ａの半導体製造装置制御サーバー２０に送付する。この
テストプログラムは、故障が予想される半導体製造装置
１０（１０Ａ〜１０Ｎ）において起動され実行されるも
のである。
【００６２】通常の運転モードではないので、通常、半
導体製造装置の本体内にこのようなソフトは含めていな
い。診断時のみ、顧客の半導体製造装置１０において、
サーバー２０よりダウンロードしてテストプログラム実
行する。この実施例では、テストプログラムの実行結果
から、図のように圧力の低下傾向に異常が認められるの
で、ポンプ劣化と判断した。このようにして、迅速、的
確に原因を究明し、解析を終了させることができる。こ
のテストプログラムは、通常の運転モードには不要なの
で、診断終了に伴い、半導体製造装置１０において自動
的に削除される。
【００６３】以上、本発明を半導体製造装置に適用した
例について述べたが、本発明はこれに限定されるもので
はない。例えば、化学プラントや自動車の生産ラインの
ような生産設備、発電プラント、金融システム等のよう
な、設備のユーザーと異なる企業が製造に関与しかつユ
ーザーがその設備の使用に関して独自の企業機密を有す
るような場合における、設備の診断に広く応用できる。
【００６４】
【発明の効果】本発明によれば、弾力的でかつ信頼性の
高いセキュリティ機能を有し、設備のリモート診断時に
おける企業秘密の保持と経済的の損失の増大防止という
双方の要求の調和を図ることのできる、リモート診断シ
ステム及び診断方法を提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明を半導体製造装置に適用したリモート診
断システムの構成を示すブロック図である。
【図２】図１のシステムにおける半導体製造装置制御サ
ーバーの構成例を示す図である。
【図３】情報セキュリティ判定手段が顧客Ａの半導体製
造装置に関する顧客Ａ側の情報セキュリティレベルを表
すテーブルの一例を示す図である。
【図４】図１のシステムにおけるＢ社の診断装置の構成
例を示す図である。
【図５】図１のシステムにおける顧客Ａの半導体製造装
置の制御構成例を示す図である。
【図６】図５のプロセス処理装置として採用される真空
処理装置の例を示す図である。
【図７】Ｂ社の診断装置により顧客Ａの半導体製造装置
の診断を行う場合の処理フローを説明する図である。
【図８】情報セキュリティ判定手段の動作説明図であ
る。
【図９】顧客Ａの情報セキュリティ判定手段がセキュリ
ティレベルを自動的に可変とする処理の具体的な処理フ
ローの一例を示す図である。
【図１０】レシピ形式の変更例を示す図である。
【図１１】不具合事象が処理室真空排気タイムアウトエ
ラーの場合の解析例を示す図である。
【図１２】本発明を半導体製造装置に適用したリモート
診断システムの他の実施例を示すブロック図である。
【図１３】顧客Ａからの取得データにより原因解析を行
う例を示す図である。
【図１４】図７のステップ４２４における、診断プログ
ラムを転送して処理する場合のフロー図である。
【符号の説明】
１０（１０Ａ〜１０Ｎ）…半導体製造装置、２０…サー
バー、２５…閲覧ソフト、２６…制御用プログラム、２
７…セキュリティレベル判定制御手段、２８…制御用デ
ータベース、２９…セキュリティ情報のデータベース、
４０…インターネットサーバー、５０…インターネッ
ト、６０…インターネットサーバー、７０…診断装置、
７６…リモート診断用の診断プログラム、７７〜７９…
データベース。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０４Ｑ 9/00 ３０１ Ｈ０４Ｌ 11/08 ３２１ (72)発明者 中田 健二 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸事業所内 (72)発明者 幾原 祥二 山口県下松市大字東豊井794番地 日立テ クノエンジニアリング株式会社笠戸事業所 内 (72)発明者 山本 秀之 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸事業所内 (72)発明者 近藤 英明 山口県下松市大字東豊井794番地 株式会 社日立製作所笠戸事業所内 Ｆターム(参考） 5B089 GA11 HA10 JA35 JB22 KA17 KB13 KC47 KC52 KC57 MC11 5K030 GA15 MA03 5K048 AA06 AA15 BA23 DC04 DC07 EB08 GB03 HA01 HA02 5K101 KK11 LL01 LL05

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】第一の会社の管理下にある設備を、通信ネ
    ットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の
    会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断
    を行う設備のリモート診断システムにおいて、 前記設備は、診断のために該設備に関する各種情報につ
    いて前記診断装置から問合わせがあった際に応答する範
    囲を、該問合わせに係る事象の程度に応じて変更するセ
    キュリティレベル判定制御手段を備えていることを特徴
    とする設備のリモート診断システム。
  2. 【請求項２】第一の会社の管理下にある設備を、通信ネ
    ットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の
    会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断
    を行う設備のリモート診断システムにおいて、 前記設備は、該設備の診断に関し各種情報の問合わせが
    あった際の応答範囲を決定するために、予め前記各種情
    報をアクセス権限の異なる複数段階のセキュリティレベ
    ルに区分して保持した記憶装置と、前記第二の会社から
    前記診断に関してアクセス権限の無い情報に対する問合
    わせがあったとき、該問合わせに係る事象の程度に応じ
    て新たにアクセス権限を付与するセキュリティレベル判
    定制御手段を備えていることを特徴とする設備のリモー
    ト診断システム。
  3. 【請求項３】第一の会社の管理下にある設備を、通信ネ
    ットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の
    会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断
    を行う設備のリモート診断システムであって、前記設備
    は、前記第二の会社及び第三の会社で製作された装置を
    含むものにおいて、 前記第一の会社の前記設備は、該設備の診断に関し各種
    情報の問合わせがあった際の応答範囲を決定するため
    に、予め前記各種情報をアクセス権限の異なる複数段階
    のセキュリティレベルに区分して保持した記憶装置と、
    前記第二の会社から前記診断に関してアクセス権限の無
    い情報に対する問合わせがあったとき、該問合わせに係
    る事象の程度に応じて新たにアクセス権限を付与するセ
    キュリティレベル判定制御手段を備えており、 前記第三の会社のサーバーは、通信ネットワークを介し
    て前記第二の会社の診断装置から前記設備に関する情報
    に対する問合わせがあった際に応答する範囲を決定する
    ために、予め前記各種情報をアクセス権限の異なる複数
    段階のセキュリティレベルに区分して保持した記憶装置
    と、前記第二の会社から前記診断に関してアクセス権限
    の無い情報に対する問合わせがあったとき、該問合わせ
    に係る事象の程度に応じて新たにアクセス権限を付与す
    るセキュリティレベル判定制御手段を備えており、 前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社及び前記
    第三の会社から得られた情報に基づいて、前記設備の診
    断を行うことを特徴とする設備のリモート診断システ
    ム。
  4. 【請求項４】第一の会社の管理下にある設備を、通信ネ
    ットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の
    会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断
    を行うリモート診断システムにおいて、 前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社の設備に
    関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与されてい
    る情報について問合わせを行い、得られた情報に基づい
    て診断を行うと共に、前記診断のために追加の情報が必
    要な場合、アクセス権限の付与されていない上位のセキ
    ュリティレベルにある追加情報の提供を前記第一の会社
    に対して要求し、 前記第一の会社から新たにアクセス権限が付与されて得
    られた追加情報に基づいて、前記診断を行うことを特徴
    とするリモート診断システム。
  5. 【請求項５】第一の会社の管理下にある設備を、通信ネ
    ットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一の
    会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診断
    を行うリモート診断システムであって、前記設備は、前
    記第二の会社及び第三の会社で製作された装置を含むも
    のにおいて、 前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社の設備に
    関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与されてい
    る情報について、前記第一の会社及び前記第三の会社に
    問合わせを行い、得られた情報に基づいて診断を行うと
    共に、前記診断のために追加の情報が必要な場合、アク
    セス権限の付与されていない上位のセキュリティレベル
    にある追加情報の提供を前記第一の会社及びまたは前記
    第三の会社に対して要求し、 新たにアクセス権限が付与されて得られた追加情報に基
    づいて、前記診断を行うことを特徴とするリモート診断
    システム。
  6. 【請求項６】請求項１ないし５のいずれかにおいて、前
    記各種情報に関するアクセス権限は、前記第二の会社か
    らの問い合わせに対して常時提供する範囲と、前記事象
    の程度に応じて前記アクセス権限を緩和する範囲の、少
    なくとも２段階に区分されていることを特徴とする設備
    のリモート診断システム。
  7. 【請求項７】請求項１ないし５のいずれかにおいて、前
    記各種情報に関するアクセス権限は、前記第二の会社か
    らの問い合わせに対して常時提供する範囲と、前記事象
    の程度に応じて前記アクセス権限を緩和する範囲と、前
    記アクセス権限を緩和しかつ機密保持のために提供形式
    を変更して情報を提供する範囲の、少なくとも３段階に
    区分されていることを特徴とする設備のリモート診断シ
    ステム。
  8. 【請求項８】請求項１ないし５のいずれかにおいて、前
    記第二の会社の診断装置は、前記情報に、前記設備に関
    して保守要員あるいはサービスマンから提供された追加
    情報を加えて、前記診断を行うことを特徴とする設備の
    リモート診断システム。
  9. 【請求項９】請求項１ないし５のいずれかにおいて、前
    記設備が半導体製造装置であることを特徴とするリモー
    ト診断システム。
  10. 【請求項１０】第一の会社の管理下にある設備を、通信
    ネットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一
    の会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診
    断を行うリモート診断方法において、 前記設備は、該設備の診断に関し各種情報の問合わせが
    あった際の応答範囲を決定するために、予め前記各種情
    報をアクセス権限の異なる複数段階のセキュリティレベ
    ルに区分して保持しており、前記第二の会社から前記診
    断に関してアクセス権限の無い情報に対する問合わせが
    あったとき、該問合わせに係る事象の程度に応じて新た
    にアクセス権限を付与することを特徴とする設備のリモ
    ート診断方法。
  11. 【請求項１１】第一の会社の管理下にある設備を、通信
    ネットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一
    の会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診
    断を行うリモート診断方法において、 前記第二の会社の診断装置が、前記第一の会社の設備に
    関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与されてい
    る情報について問合わせを行い、得られた情報に基づい
    て診断を行うと共に、前記診断のために追加の情報が必
    要な場合、アクセス権限の付与されていない上位のセキ
    ュリティレベルにある追加情報の提供を前記第一の会社
    に対して要求し、 前記第一の会社から新たにアクセス権限が付与されて得
    られた追加情報に基づいて、前記診断を行うことを特徴
    とするリモート診断方法。
  12. 【請求項１２】第一の会社の管理下にある設備を、通信
    ネットワークを介して前記設備に接続されかつ前記第一
    の会社の管理下にない第二の会社の診断装置を用いて診
    断を行うリモート診断方法であって、前記設備は、前記
    第二の会社及び第三の会社で製作された装置を含むもの
    において、 前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社の設備に
    関する各種情報の中で予めアクセス権限の付与されてい
    る情報について、前記第一の会社及び前記第三の会社に
    問合わせを行い、得られた情報に基づいて診断を行うと
    共に、前記診断のために追加の情報が必要な場合、アク
    セス権限の付与されていない上位のセキュリティレベル
    にある追加情報の提供を前記第一の会社及びまたは前記
    第三の会社に対して要求し、 新たにアクセス権限が付与されて得られた追加情報に基
    づいて、前記診断を行うことを特徴とするリモート診断
    方法。
  13. 【請求項１３】請求項１０ないし１２のいずれかにおい
    て、 前記第二の会社の診断装置は、前記第一の会社の設備に
    診断プログラムを転送して得られた情報に基づいて、前
    記診断を行うことを特徴とするリモート診断方法。
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