JP2003271232A - 製造装置の遠隔保守・診断用データを収集する方法及びシステム - Google Patents

製造装置の遠隔保守・診断用データを収集する方法及びシステム

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JP2003271232A JP2002067093A JP2002067093A JP2003271232A JP 2003271232 A JP2003271232 A JP 2003271232A JP 2002067093 A JP2002067093 A JP 2002067093A JP 2002067093 A JP2002067093 A JP 2002067093A JP 2003271232 A JP2003271232 A JP 2003271232A
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manufacturing
manufacturing apparatus
remote center
maintenance
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Katsuhiko Matsuda
克彦 松田
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Tokyo Electron Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 本発明は、半導体製造装置の保守・診断用デ
ータとして、半導体製造装置自体で収集されたデータ以
外に、検査装置の処理結果データや、仕掛品トラッキン
グ情報等の対象となる装置以外から発生するデータを遠
隔保守・診断に活用することを目的とする。 【解決手段】 遠隔センタ３から半導体製造装置１を保
守・診断する際に、群管理コントローラ（又は、保守サ
ーバ）７が生産管理ホストコンピュータ１５等に関連情
報を問い合わせて収集し、半導体製造装置１以外の装置
１１，１３，１９から発生したデータと、半導体製造装
置１で発生したデータとを併せて、遠隔センタ３へ送信
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、製造装置の遠隔保
守・診断用データを収集する方法及びシステムに関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえば、半導体製造装置や液晶
製造装置のような製造装置のベンダーは、顧客側で稼働
している自社の製造装置を遠隔的に保守・診断する場
合、保守・診断の対象となる製造装置（以下では、簡単
に、対象装置と呼ぶ）に関するデータを、その対象装置
自体から、若しくは、対象装置からのデータを保管して
いる郡管理コントローラのような中間的な装置から、ベ
ンダー側の遠隔保守センタへ収集する。顧客側とベンダ
ー側は、公衆回線、専用回線、又は、インターネットな
どのような通信ネットワークなどを介して通信接続され
る。
【０００３】ベンダー側の遠隔保守センタは、顧客側で
稼働している製造装置に関して収集したデータを、製造
装置の保守や装置の診断に利用する。したがって、対象
装置自体の故障によって、対象装置の処理工程中に異常
が発生した場合には、異常の原因を特定することができ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、実際には、製
造装置の処理工程中に発生する異常の原因は、その装置
自体の故障には限られない。たとえば、前処理工程にお
ける対象装置以外の別の装置の故障や、計測装置及び検
査装置のような他の装置の故障が原因となって、結果的
に対象装置の処理工程中に異常が発生する場合がある。
また、対象装置がオフライン状態である間に発生した事
象が原因となって、オンラインに切り換えられた後の対
象装置の処理工程中に異常が発生する場合も考えられ
る。このような状況では、ベンダー側の遠隔保守センタ
に収集された対象装置に関するデータを解析しても、対
象装置の異常の原因を特定することができない。
【０００５】このような状況にもかかわらず、遠隔保守
センタで対象装置の遠隔保守・遠隔診断を行うために
は、たとえば、検査装置での処理結果データのような対
象装置以外の装置から発生するデータや、仕掛品トラッ
キング情報などの生産管理に関するデータを利用するこ
とが有効である。
【０００６】したがって、本発明は、製造装置を遠隔的
に保守・診断する際に利用するため、対象となる製造装
置で発生したデータだけではなく、対象となる製造装置
以外の装置で発生したデータ及び生産管理に関するデー
タを収集するシステム及び方法の提供を目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は、例えば、半導体製造装置や液晶製造装置
のような製造装置の遠隔保守・診断において、対象とな
る装置から発生したデータと、対象となる装置以外の装
置から発生したデータと、生産管理に関するデータと、
を収集し、保守・診断用の遠隔保守センタへ送信する。
【０００８】これにより、保守・診断用の遠隔保守セン
タは、製造装置の保守・診断を実施する際に、検査装置
での処理結果データのような対象装置以外の装置から発
生するデータや、仕掛品トラッキング情報などの生産管
理に関するデータを利用できるようになる。
【０００９】請求項１に係る発明は、遠隔的な保守及び
診断の対象となる製造装置から発生したデータと、対象
となる上記製造装置以外の製造関連装置から発生したデ
ータと、生産管理に関するデータとを収集し、製造装置
の保守及び診断用の遠隔センタへ送信することにより、
製造装置の遠隔保守・診断用データを収集する方法であ
る。
【００１０】特に、生産管理に関するデータは、ユーザ
側で工場の生産管理を行うための生産管理ホストコンピ
ュータから取得されるデータである。したがって、既に
他の用途のために利用されているデータを利用できるの
で、データ取得のための新たなコストが発生しないとい
う利点が得られる。
【００１１】また、上記製造装置の遠隔保守・診断用デ
ータを収集する方法において、上記製造装置から発生し
たデータ、上記製造関連装置から発生したデータ、及
び、上記生産管理に関するデータは、上記遠隔センタか
らの要求に応じて、収集され、上記遠隔センタへ送信さ
れる。したがって、必要なときに、必要なデータだけが
通信されるので、通信負荷の増大が最小限に抑えられる
という利点が得られる。
【００１２】さらに、上記製造装置から発生したデータ
は、上記製造装置及び上記遠隔センタと通信可能に接続
されたデータ管理装置で収集され、上記データ管理装置
を介して上記遠隔センタへ送信される。これにより、工
場外部の遠隔センタとの通信をデータ管理装置で集中し
て行うことができるので、各製造装置は、遠隔センタと
直接的に通信することなく、たとえば、工場内の既存の
ＬＡＮ上でデータ管理装置と通信を行うように構成する
ことができる。したがって、ユーザ側では、新たなイン
フラを整備することなく、製造装置の保守・診断用デー
タを収集できる。
【００１３】また、上記遠隔センタへ送信されるデータ
は、上記遠隔センタに通信可能に接続され、上記遠隔セ
ンタから情報要求を受けるデータ管理装置で、上記情報
要求に応じて収集され、上記データ管理装置から上記遠
隔センタへ送信するように構成できる。これにより、製
造装置の保守・診断用の全てのデータがデータ管理装置
へ収集され、データ管理装置から遠隔センタへ送信でき
るようになるので、効率的なデータ収集及びデータ伝送
が実現できるようになる。
【００１４】請求項６に係る発明は、ユーザ側に設置さ
れた製造装置、製造関連装置及び生産管理ホストコンピ
ュータと、上記製造装置を遠隔的に保守・診断する遠隔
センタと、を含む、製造装置の遠隔保守・診断用データ
を収集するシステムであって、上記遠隔センタは、上記
ユーザ側と通信可能に接続され、上記製造装置を保守・
診断するために必要なデータを上記ユーザ側へ要求し、
上記ユーザ側で収集された必要なデータを上記ユーザ側
から受信するよう構成され、上記ユーザ側は、上記遠隔
センタからの要求に応じて、上記保守・診断するために
必要なデータとして、上記製造装置から発生したデータ
と、上記製造関連装置から発生したデータと、上記生産
管理ホストコンピュータから取得される生産管理データ
と、を収集し、上記遠隔センタへ送信する、データ収集
・送信手段が設けられている。この製造装置の遠隔保守
・診断用データを収集するシステムによれば、製造装置
の遠隔保守・診断用データとして、製造装置から発生し
たデータだけではなく、製造装置以外の製造関連装置か
ら発生したデータ、及び、生産管理データを利用するこ
とができるので、製造装置のトラブルの発生原因が、計
測器や、前工程の装置に起因する場合であっても、故障
箇所を特定することができる。また、製造装置以外の製
造関連装置から発生したデータ、及び、生産管理データ
のようなデータは、既に他の用途のために取得・利用さ
れているデータであるため、データ取得のための新たな
コストが発生しない。
【００１５】また、上記システムにおいて、上記データ
収集・送信手段は、上記製造装置に対応した群管理コン
トローラに組み込むことができる。そのため、新たなハ
ードウエアを追加することなく、同一種類の製造装置を
一括的に管理している既設の群管理コントローラを用い
て、データ収集を実現することができるようになる。
【００１６】また、上記製造関連装置には、保守・診断
の対象である上記製造装置以外の他の製造装置や、検査
装置などが含まれる。
【００１７】請求項９に係る発明は、本発明に従って製
造装置の遠隔保守・診断用データを収集するため、製造
装置のベンダーによって提供されるシステムでって、ユ
ーザ側に設置された製造装置と、上記製造装置を遠隔的
に保守・診断する遠隔センタとを含み、上記遠隔センタ
は、上記ユーザ側と通信可能に接続され、上記製造装置
を保守・診断するために必要なデータを上記ユーザ側へ
要求し、上記ユーザ側で収集された必要なデータを上記
ユーザ側から受信するよう構成され、上記ユーザ側に、
上記遠隔センタからの要求に応じて、上記保守・診断す
るために必要なデータとして、上記製造装置から発生し
たデータと、上記製造装置以外の製造関連装置から発生
したデータと、生産管理ホストコンピュータから取得さ
れる生産管理データと、を収集し、上記遠隔センタへ送
信する、データ収集・送信手段が設けられている、請求
項１１に係る発明は、本発明に従って製造装置の遠隔保
守・診断用データを収集するため、製造装置を利用する
ユーザによって工場内に設置されるシステムであって、
遠隔センタから遠隔的に保守・診断される製造装置、上
記製造装置と共に設置された製造関連装置、及び、生産
管理ホストコンピュータを含み、上記製造関連装置は、
上記製造装置を保守・診断するため上記遠隔センタで利
用可能なデータを発生するよう構成され、上記生産管理
ホストコンピュータは、上記製造装置を保守・診断する
ため上記遠隔センタで利用可能な生産管理データを出力
するよう構成され、上記製造関連装置及び上記生産管理
ホストコンピュータと協働して、上記遠隔センタからの
要求に応じて、上記保守・診断するために必要なデータ
として、上記製造装置から発生したデータと、上記製造
関連装置から発生したデータと、上記生産管理ホストコ
ンピュータから出力される生産管理データと、を収集
し、上記遠隔センタへ送信する、データ収集・送信手段
を更に有する。
【００１８】
【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して、本発
明の実施例を詳細に説明する。本発明は、これらの実施
例によって限定されることはなく、請求項に記載された
事項の範囲内で多様な形態で実施され得る。
【００１９】図１は、本発明の一実施例による半導体製
造装置の遠隔保守・診断用データの収集システムの構成
図である。
【００２０】本実施例のシステムにおいて、ユーザ側
（たとえば、半導体製造工場）に設置された保守・診断
対象の半導体製造装置１は、ベンダー側の遠隔センタ３
から遠隔的に保守・診断される。半導体製造装置１は、
半導体製造の工程、たとえば、成膜処理、拡散処理、エ
ッチング処理などで使用される装置である。また、同図
の例では、ベンダー側とユーザ側は、インターネットの
ような通信ネットワーク５を介して接続されているが、
ベンダー側とユーザ側の通信は、このようなネットワー
クに限定されることはなく、公衆回線を利用した接続、
専用回線を利用した接続など、ベンダー側とユーザ側と
の間でデータを送受信することができる方式であれば、
いかなる通信方式でも構わない。
【００２１】ユーザ側の半導体製造工場には、工場全体
の生産管理のための生産管理ホストコンピュータ１５、
同じベンダー或いは同じ種類の半導体製造装置を一括し
て管理する群管理コントローラ７、１７、種々の検査装
置１１、及び、その他の半導体製造装置１３などの多数
の機器が設置され、これらの機器は、たとえば、工場内
ＬＡＮ９のようなネットワーク、又は、バスを介して、
通信可能に接続されている。また、群管理コントローラ
１７には、検査装置や他の半導体製造装置などの種々の
製造関連装置１９が接続される。同図の例では、簡単の
ため、２台の群管理コントローラ７及び１７と、１台の
保守・診断対象の半導体製造装置１と、２台の他の半導
体製造装置１３及び２１と、１台の製造関連装置１９
と、１台の検査装置１１と、だけが示されているが、よ
り多数のこれらの機器を設置した場合でも、本発明は同
様に適用できる。
【００２２】定期的に、或いは、必要に応じてユーザ側
の半導体製造装置１を保守・診断するベンダー側の遠隔
センタ３は、通信ネットワーク５を介して、半導体製造
装置１に対応した群管理コントローラ７へ、半導体製造
装置１の保守・診断用データを要求する。
【００２３】群管理コントローラ７は、通常、保守・診
断対象の半導体製造装置１から発生したデータを取り込
み、蓄積しているので、遠隔センタ３から要求を受けた
時点で、既に、半導体製造装置１に関するデータを保持
している場合が多い。もし、半導体製造装置１に関する
データに不足があれば、新たに、保守・診断対象の半導
体製造装置１が発生したデータを取り込む。
【００２４】次に、群管理コントローラ７自体は、同一
種類のデータしか管理していないので、群管理コントロ
ーラ７が半導体製造装置１から取得できるデータだけで
は、遠隔センタ３が半導体製造装置１を保守・診断する
ために十分ではない場合がある。
【００２５】たとえば、プロセストラブルは、トラブル
が発生した当該装置だけではなく、k検査装置（計測器
を含む）や、前工程の装置に起因する場合がある。その
ため、故障箇所を特定するためには、他の装置からの診
断情報やプロセスデータを利用できることが望ましい。
【００２６】一般に、多数の装置の診断情報、プロセス
データ、計測器からのデータなどは、生産管理ホストコ
ンピュータ１５に収集されている。そこで、群管理コン
トローラ７は、生産管理ホストコンピュータ１５から、
半導体製造装置１の保守・診断に必要な他の装置からの
診断情報やプロセスデータを収集する。勿論、群管理コ
ントローラ７は、可能であるならば、別の群管理コント
ローラ１７、検査装置１１、或いは、他の半導体製造装
置１３へアクセスして、他の装置からの診断情報やプロ
セスデータを収集しても構わない。
【００２７】さらに、群管理コントローラ７は、半導体
製造装置１の保守・診断に有効なデータとして、上述の
他の装置や計測器からの処理結果データ以外に、仕掛品
（ＷＩＰ）トラッキング情報、工程処理履歴や、各工程
の現在の状態（オンライン／オフライン）などの種々の
生産管理に関するデータを、生産管理ホストコンピュー
タ１５から収集する。
【００２８】次に、群管理コントローラ７は、このよう
にして収集した半導体製造装置１の保守・診断用データ
を、通信ネットワーク５を介して、遠隔センタ３へ送信
する。
【００２９】遠隔センタ３では、ユーザ側の群管理コン
トローラ７から送られてきた半導体製造装置１の保守・
診断用データを、自動的、半自動的、或いは、手動で解
析し、半導体製造装置１の保守・診断を実施する。
【００３０】本実施例の群管理コントローラ７は、上述
の通り、半導体製造装置の保守・診断用データを収集
し、遠隔サーバへ送信する保守サーバとしての機能を備
えているが、群管理コントローラとは別個にこのような
機能を実現する保守サーバを設けても構わない。
【００３１】図２は、本発明の一実施例における保守サ
ーバ又は群管理コントローラの保守サーバ機能によって
行われる遠隔保守・診断用データの収集方法のフローチ
ャートである。
【００３２】ステップ１：保守サーバは、遠隔センタか
らの保守・診断情報の要求を受け付ける。
【００３３】ステップ２：保守サーバは、保守・診断対
象の半導体製造装置から保守・診断に必要な情報を収集
する。
【００３４】ステップ３：保守サーバは、半導体製造装
置の保守・診断に関連した他の装置に関する情報及び生
産管理に関する情報を生産管理ホストコンピュータから
収集する。
【００３５】ステップ４：保守サーバは、ステップ２及
び３で収集した情報を遠隔センタへ送信する。
【００３６】このような処理によって、ベンダー側の遠
隔センタは、半導体製造装置の保守・診断に必要な情報
をユーザ側から収集することができる。
【００３７】
【実施例】次に、本発明を半導体製造工程において発生
した異常の原因を特定する場面に適用した例を説明す
る。
【００３８】（１）前処理からの経過時間による異常原
因の特定 プロセスフローが（ａ）前洗浄、（ｂ）拡散（膜つ
け）、（ｃ）膜厚測定の３段階を含む場合を考える。
（ａ）の前洗浄終了から（ｂ）の拡散処理を開始するま
での経過時間が長すぎると、ウェハに自然酸化膜が付い
てしまい、（ｃ）の膜厚検査工程で、異常が発見される
ことがある。膜厚検査工程で膜厚異常が検出された場合
に、当然、拡散装置の異常が疑われるため、拡散装置の
診断が起動される。
【００３９】しかし、このケースでは、拡散装置から出
力される従来の処理履歴だけからは、異常発生の原因を
特定できない。これに対し、本発明によれば、前洗浄の
処理履歴（開始／終了時刻）は、生産管理ホストコンピ
ュータに通知されているので、その前洗浄の処理履歴デ
ータと、拡散装置での処理履歴とを、遠隔センタへ送信
し、遠隔センタでこれらのデータを組み合わせて調べる
ことにより、原因を特定できるようになる。 （２）装置オフライン状態時の操作による異常 半導体製造装置がオフライン（或いは、ダウン）のとき
には、この装置から群管理コントローラへデータが通知
されないので、オフライン時にこの装置に対してなされ
た操作（たとえば、クリーニング、パーツ交換、その他
のメンテナンス処理など）が原因となるプロセス異常な
どについては、装置から群管理コントローラへ通知され
たデータだけから、原因を特定することが困難である。
【００４０】本発明によれば、生産管理ホストコンピュ
ータには、オペレータ入力などにより、装置に対して施
されたメンテナンス処理のようなオフライン時の操作が
保守履歴として記録されている。したがって、この生産
管理ホストコンピュータに蓄積された装置の保守履歴
と、群管理コントローラ経由で通知された装置の処理履
歴とを、遠隔センタで付き合わせることにより、原因箇
所の特定ができるようになる。
【００４１】上記の本発明の実施例による保守・診断用
データの収集方法は、ソフトウェア（プログラム）で構
築することが可能であり、コンピュータのＣＰＵによっ
てこのプログラムを実行することにより本発明の実施例
による保守・診断用データの収集システムを実現するこ
とができる。構築されたプログラムは、ディスク装置等
に記録しておき必要に応じてコンピュータにインストー
ルされ、フレキシブルディスク、メモリカード、ＣＤ−
ＲＯＭ等の可搬記録媒体に格納して必要に応じてコンピ
ュータにインストールされ、或いは、通信回線等を介し
てコンピュータにインストールされ、コンピュータのＣ
ＰＵによって実行される。
【００４２】以上、本発明の代表的な実施例を説明した
が、本発明は、上記の実施例に限定されることなく、特
許請求の範囲内において、種々変更・応用が可能であ
る。
【００４３】
【発明の効果】以上の説明の通り、本発明によれば、製
造装置を遠隔的に保守・診断する際に、製造装置の保守
・診断に必要なデータを製造装置自体からだけではな
く、製造装置を管理している生産管理ホストコンピュー
タからも収集して遠隔センタへ送信し、製造装置の保守
・診断に利用できるようになる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の一実施例による半導体製造装置の遠隔
保守・診断用データの収集システムの構成図である。
【図２】本発明の一実施例における保守サーバ機能のフ
ローチャートである。
【符号の説明】
１ 保守・診断対象の半導体製造装置 ３ 遠隔センタ ５ 通信ネットワーク ７ 群管理コントローラ ９ 工場内ＬＡＮ １１ 検査装置 １３ 他の半導体製造装置 １５ 生産管理ホストコンピュータ １７ 別の群管理コントローラ １９ 製造関連装置 ２１ 半導体製造装置

Claims (11)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 遠隔的な保守及び診断の対象となる製造
    装置から発生したデータと、対象となる上記製造装置以
    外の製造関連装置から発生したデータと、生産管理に関
    するデータとを収集し、製造装置の保守及び診断用の遠
    隔センタへ送信する、製造装置の遠隔保守・診断用デー
    タを収集する方法。
  2. 【請求項２】 生産管理に関するデータは生産管理ホス
    トコンピュータから取得されるデータである、請求項１
    記載の方法。
  3. 【請求項３】 上記製造装置から発生したデータ、上記
    製造関連装置から発生したデータ、及び、上記生産管理
    に関するデータは、上記遠隔センタからの要求に応じ
    て、収集され、上記遠隔センタへ送信される、請求項１
    又は２記載の方法。
  4. 【請求項４】 上記製造装置から発生したデータは、上
    記製造装置及び上記遠隔センタと通信可能に接続された
    データ管理装置で収集され、上記データ管理装置を介し
    て上記遠隔センタへ送信される、請求項１乃至３のうち
    何れか一項記載の方法。
  5. 【請求項５】 上記遠隔センタへ送信されるデータは、
    上記遠隔センタに通信可能に接続され、上記遠隔センタ
    から情報要求を受けるデータ管理装置で、上記情報要求
    に応じて収集され、上記データ管理装置から上記遠隔セ
    ンタへ送信される、請求項１又は２記載の方法。
  6. 【請求項６】 ユーザ側に設置された製造装置、製造関
    連装置及び生産管理ホストコンピュータと、上記製造装
    置を遠隔的に保守・診断する遠隔センタと、を含み、 上記遠隔センタは、上記ユーザ側と通信可能に接続さ
    れ、上記製造装置を保守・診断するために必要なデータ
    を上記ユーザ側へ要求し、上記ユーザ側で収集された必
    要なデータを上記ユーザ側から受信するよう構成され、 上記ユーザ側は、上記遠隔センタからの要求に応じて、
    上記保守・診断するために必要なデータとして、上記製
    造装置から発生したデータと、上記製造関連装置から発
    生したデータと、上記生産管理ホストコンピュータから
    取得される生産管理データと、を収集し、上記遠隔セン
    タへ送信する、データ収集・送信手段が設けられてい
    る、製造装置の遠隔保守・診断用データを収集するシス
    テム。
  7. 【請求項７】 上記データ収集・送信手段は、上記製造
    装置に対応した群管理コントローラに組み込まれてい
    る、請求項６記載のシステム。
  8. 【請求項８】 上記製造関連装置は、保守・診断の対象
    である上記製造装置以外の少なくとも１台の他の製造装
    置と、少なくとも１台の検査装置と、のうちの少なくと
    も一方を含む、請求項６又は７記載のシステム。
  9. 【請求項９】 ユーザ側に設置された製造装置と、上記
    製造装置を遠隔的に保守・診断する遠隔センタとを含
    み、 上記遠隔センタは、上記ユーザ側と通信可能に接続さ
    れ、上記製造装置を保守・診断するために必要なデータ
    を上記ユーザ側へ要求し、上記ユーザ側で収集された必
    要なデータを上記ユーザ側から受信するよう構成され、 上記ユーザ側に、上記遠隔センタからの要求に応じて、
    上記保守・診断するために必要なデータとして、上記製
    造装置から発生したデータと、上記製造装置以外の製造
    関連装置から発生したデータと、生産管理ホストコンピ
    ュータから取得される生産管理データと、を収集し、上
    記遠隔センタへ送信する、データ収集・送信手段が設け
    られている、製造装置の遠隔保守・診断用データを収集
    するシステム。
  10. 【請求項１０】 上記データ収集・送信手段は、上記製
    造装置に対応した群管理コントローラに組み込まれてい
    る、請求項９記載のシステム。
  11. 【請求項１１】 遠隔センタから遠隔的に保守・診断さ
    れるユーザ側に設置された製造装置、上記製造装置と共
    に設置された製造関連装置、及び、生産管理ホストコン
    ピュータを含み、 上記製造関連装置は、上記製造装置を保守・診断するた
    め上記遠隔センタで利用可能なデータを発生するよう構
    成され、 上記生産管理ホストコンピュータは、上記製造装置を保
    守・診断するため上記遠隔センタで利用可能な生産管理
    データを出力するよう構成され、 上記製造関連装置及び上記生産管理ホストコンピュータ
    と協働し、上記遠隔センタからの要求に応じて、上記保
    守・診断するために必要なデータとして、上記製造装置
    から発生したデータと、上記製造関連装置から発生した
    データと、上記生産管理ホストコンピュータから出力さ
    れる生産管理データと、を収集し、上記遠隔センタへ送
    信する、データ収集・送信手段を更に有する、製造装置
    の遠隔保守・診断用データを収集するシステム。
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