JPH113117A - 処理システムにおけるアラーム装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 アラーム情報を迅速に得るとともに、アラー
ム情報の仕様の更新を誤りなく行うことができる処理シ
ステムにおけるアラーム装置を提供する。 【解決手段】 異常検知用のセンサＳ₂ 、Ｓ₃ の検知信
号はユニットコントローラ２７に送られ、各センサに応
じたアラームコードに変換される。アラームコードはメ
インコントローラ６０に送られて、アラームコードに対
応したアラーム情報が検索される。メインコントローラ
６０は、各アラームコードに対応付けて標準仕様または
特殊仕様のアラーム情報を記憶し、その仕様に応じて各
アラームコードを区別して記憶している。メインコント
ローラ６０は、検索したアラーム情報をモニタ４０など
に出力する。各アラームコードに対応するアラーム情報
の仕様は１つであるので、アラーム情報を迅速に特定で
き、また、アラーム情報の更新を誤りなく行える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハや液
晶表示器用ガラス基板などの各種の被処理物に所要の処
理を施す処理システムに係り、特に処理システムに異常
が発生したときに、異常の状況や回復措置などを報知す
るためのアラーム装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の装置として、例えば特開
平９−７３５９２号公報に開示されたものがある。以
下、図７を参照して説明する。

【０００３】処理システム１は、例えば半導体ウエハの
処理システムであって、半導体ウエハに対して種々の処
理を行う複数個の処理ユニットの他、基板の搬送を行う
機構などを備えている。各処理ユニットや基板搬送機構
には、異常状態を検出するための各種のセンサ２₁ 〜２
_n が設けられている。各センサ２₁ 〜２_n の検出信号
は、各処理ユニットを制御するブロックコントローラ３
に送られ、ここで各センサ２₁ 〜２_n ごとに個別のアラ
ームコードに変換される。アラームコードはメインコン
トローラ４に送られる。メインコントーラ４は、このア
ラームコードに基づき、次のようなアラーム処理を行っ
て、異常箇所、異常状況、回復措置などのアラーム情報
をモニタ７、シグナルタワー８、ブザー９に出力して作
業者に処理システムの異常を知らせる。

【０００４】メインコントローラ４は、ブロックコント
ローラ３から送られてくる各種のアラームコードに対応
するアラーム情報を記憶した２つのファイル５Ａ、５Ｂ
を備えている。一方のファイル５Ａは標準アラームファ
イルであり、標準的なシステムや顧客等を想定して定め
られたアラーム情報を記憶している。他方のファイル５
Ｂは特殊アラームファイルであり、個々のシステムや顧
客固有の仕様に対応した特殊仕様のアラーム情報を記憶
している。また、メインコントローラ４は、各種のアラ
ームコードに対応するアラーム情報が各ファイル５Ａ、
５Ｂ内のどの領域に記憶されているかを示す２つのポイ
ンタテーブル６Ａ、６Ｂを備えている。一方のテーブル
６Ａは標準アラーム用のポインタテーブルである。他方
のテーブル６Ｂは特殊アラーム用のポインタテーブルで
ある。

【０００５】メインコントローラ４は、ブロックコント
ローラ３からアラームコードが送られてくると、２つの
ポインタテーブル６Ａ、６Ｂを参照して、そのアラーム
コードに対応するアラーム情報が記憶されている各アラ
ームファイル５Ａ、５Ｂ内の格納場所を探索し、各アラ
ームファイル５Ａ、５Ｂからアラームコードに対応した
アラーム情報を読み出して、これをモニタ７、シグナル
タワー８、ブザー９に出力する。ここで、標準アラーム
ファイル５Ａおよび特殊アラームファイル５Ｂをそれぞ
れ検索することによって得られたアラーム情報のうち、
同一のデータ項目（例えば、アラーム解除情報、シグナ
ルタワー出力情報、アラーム名称などの項目）について
は、特殊アラームファイル５Ｂの内容を優先し、その内
容を標準アラームファイル５Ａから検索されたアラーム
情報に上書きして、最終的なアラーム情報を作成して出
力している。

【０００６】なお、この種の処理システムでは、標準の
アラーム情報を更新（バージョンアップ）した場合で
も、顧客の要望に基づく特殊アラーム情報はそのまま残
しておく必要がある。そのため、上述した従来装置で
は、アラームファイルを容易に作成し、またファイル作
成のミスを防止するために、標準アラーム情報を記憶し
た標準アラームファイル５Ａと、特殊アラーム情報を記
憶した特殊アラームファイル５Ｂを備えるように構成し
てある。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来装置には次のような問題がある。上述したように、
従来装置によれば、特定のアラームコードに対応して２
つのアラーム情報、すなわち標準アラーム情報と特殊ア
ラーム情報が存在することがある。そのため、アラーム
情報を得る過程で、２つのポインタテーブル６Ａ、６Ｂ
で各アラームファイル５Ａ、５Ｂ内の格納場所を探索
し、各格納場所の情報に基づいて２つのアラームファイ
ル５Ａ、５Ｂを検索するという重複した検索処理を必要
とする。また、２つのアラームファイル５Ａ、５Ｂから
読み出されたアラーム情報内の同一データ項目について
は、特殊のアラーム情報の内容を優先させるという処理
が必要である。その結果、従来装置によれば、アラーム
情報を得るまでの時間が長くなり、作業者あるいは自動
アラーム対応処理システムが処理システムの異常箇所
や、その回復措置を迅速に知ることができないという問
題がある。

【０００８】本発明は、このような事情に鑑みてなされ
たものであって、処理システムの異常が感知されたこと
に基づき発せられるアラームコードに対応したアラーム
情報を迅速に得ることができ、しかも、標準仕様および
特殊仕様に応じたアラーム情報の更新が容易な処理シス
テムにおけるアラーム装置を提供することを目的とす
る。

【０００９】

【課題を解決するための手段】本発明は、このような目
的を達成するために、次のような構成をとる。すなわ
ち、請求項１に記載の発明は、処理システムに発生した
異常を検知し、その異常の状況や回復措置などのアラー
ム情報を出力する処理システムにおけるアラーム装置で
あって、処理システムに発生する各種の異常を検知する
センサ群と、前記センサ群からの検知信号を各センサに
応じたアラームコードに変換する信号変換手段と、各ア
ラームコードに対応付けて標準仕様または特殊仕様のい
ずれか一方のアラーム情報を記憶するとともに、各アラ
ームコードに対応付けられたアラーム情報が標準仕様か
特殊仕様かに応じて各アラームコードを区別して記憶す
る記憶手段と、前記信号変換手段から与えられたアラー
ムコードに基づき前記記憶手段を検索して、前記アラー
ムコードに対応するアラーム情報を読み出すアラーム情
報検索手段と、前記読み出されたアラーム情報を出力す
るアラーム情報出力手段とを備えたことを特徴とする。

【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の装置において、前記記憶手段は、標準仕様のアラーム
情報を記憶した標準アラームファイルと、特殊仕様のア
ラーム情報を記憶した特殊アラームファイルとを備え、
かつ、前記各アラームコードに対応するアラーム情報が
前記２つのアラームファイル中のどの領域に記憶されて
いるかを示すアドレス情報を各アラームコードに対応付
けて記憶するアドレス情報テーブルとを備えており、前
記アラーム情報検索手段は、前記アドレス情報テーブル
を参照して、前記信号変換手段から与えられたアラーム
コードに対応したアラーム情報が記憶されている領域を
示すアドレス情報を探索し、そのアドレス情報に基づい
て前記標準アラームファイルまたは特殊アラームファイ
ルを検索して、前記アラームコードに対応したアラーム
情報を読み出すように構成されている。

【００１１】請求項３に記載の発明は、請求項１に記載
の装置において、前記記憶手段は、標準仕様のアラーム
情報に係るアラームコードと、特殊仕様のアラーム情報
に係るアラームコードとを領域的に区別して記憶してい
る。

【００１２】請求項４に記載の発明は、請求項１に記載
の装置において、前記記憶手段は、標準仕様のアラーム
情報に係るアラームコードと、特殊仕様のアラーム情報
に係るアラームコードとをフラグによって区別して記憶
している。

【００１３】

【作用】請求項１の発明の作用は次のとおりである。処
理システム内に異常が発生すると、センサ群の中の特定
のセンサが異常を検知して検知信号を信号変換手段に送
る。信号変換手段は、その検知信号をそのセンサに応じ
たアラームコードに変換する。このアラームコードを与
えられたアラーム情報検索手段は、そのアラームコード
に対応したアラーム情報を記憶手段から読み出す。アラ
ーム情報出力手段は、そのアラーム情報に基づいた形態
で異常の状況を報知する。すなわち、本発明によれば、
１つのアラームコードに対して１つのアラーム情報が存
在するだけであるので、そのアラーム情報が標準仕様で
あるか、あるいは特殊仕様であるかを問わず、記憶手段
から検索されたアラーム情報に基づいて異常の発生を報
知すればよい。

【００１４】一方、記憶手段内のアラームコードは、各
々のアラーム情報が標準仕様か、あるいは特殊仕様かに
応じて区別して記憶されているので、例えば標準仕様の
アラーム情報を更新する場合、標準仕様に係るアラーム
コードに対応するアラーム情報のみを選択的に更新する
ことができる。

【００１５】請求項２の発明によれば、信号変換手段か
らアラームコードを受け取ったアラーム情報検索手段
は、アドレス情報テーブルを参照して、そのアラームコ
ードに対応したアラーム情報が記憶されている領域を示
すアドレス情報を探索する。続いて、アラーム情報検索
手段は、そのアドレス情報に基づいて、標準アラームフ
ァイルまたは特殊アラームファイルを検索して、前記ア
ラームコードに対応したアラーム情報を読み出す。

【００１６】請求項３の発明によれば、標準仕様のアラ
ーム情報に係るアラームコードと、特殊仕様のアラーム
情報に係るアラームコードとを領域的に区別して記憶し
ているので、例えば標準仕様のアラーム情報に係る特定
領域のアラーム情報を書きえることにより、特殊仕様の
アラーム情報を不用意に変えることなく、標準仕様のア
ラーム情報のみを更新することができる。

【００１７】請求項４の発明によれば、標準仕様のアラ
ーム情報に係るアラームコードと、特殊仕様のアラーム
情報に係るアラームコードとをフクグによって区別して
記憶しているので、例えば標準仕様のアラーム情報であ
ることを示すフラグの立ったアラーム情報を書きえるこ
とにより、特殊仕様のアラーム情報を不用意に変えるこ
となく、標準仕様のアラーム情報のみを更新することが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る処理システム
におけるアラーム装置の実施例を基板処理装置を例に採
って説明する。図１は実施例に係る基板処理装置の外観
斜視図である。この基板処理装置は、半導体ウエハなど
の基板へのフォトレジストの塗布処理、熱処理、現像処
理などを行うものであり、大きく分けて、処理前および
処理済の基板Ｗを保管するインデクサユニット１０と、
基板Ｗに種々の処理を施すプロセスユニット２０とから
構成されている。

【００１９】インデクサユニット１０は、基板Ｗを一定
間隔で多段に収納する複数個のカセットＣを一列状に載
置するカセット載置台１１や、このカセット載置台１１
に沿って水平移動するとともに、昇降して各カセットＣ
から未処理の基板Ｗを取り出したり、各カセットＣへ処
理済の基板Ｗを収納する基板搬入・搬出ロボット１２な
どを備える。

【００２０】プロセスユニット２０は、基板Ｗにフォト
レジストを回転塗布する塗布処理ユニット２１、この基
板処理装置に連設される露光装置（図示せず）で露光さ
れた基板Ｗに対して現像処理を施す現像処理ユニット２
２、フォトレジスト塗布処理前後の基板Ｗに対して熱処
理を施す熱処理ユニット２３₁ 〜２３₃ 、各処理ユニッ
ト２１、２２、２３₁ 〜２３₃ に基板Ｗを搬送する基板
搬送ロボット２４などを備える。

【００２１】上記の基板処理装置によれば、概ね次のよ
うに基板処理が進められる。カセットＣ内の未処理基板
Ｗは基板搬入・搬出ロボット１２によって取り出され
て、基板搬送ロボット２４に受け渡される。この基板Ｗ
は、基板搬送ロボット２４によって熱処理ユニット２３
₁ に搬送され、ここでフォトレジストの密着性向上のた
めの処理が施される。処理された基板Ｗは、同様に塗布
処理ユニット２１に搬送され、ここでフォトレジストが
回転塗布される。フォトレジストが塗布された基板Ｗは
熱処理ユニット２３₂ に搬送されて加熱・冷却処理され
る。処理された基板Ｗは基板搬送ロボット２４により搬
送されて、図示しない露光装置に受け渡される。露光装
置で露光された基板Ｗは基板搬送ロボット２４に戻され
て、現像処理ユニット２２に搬送され、ここで現像処理
される。現像処理された基板Ｗは熱処理ユニット２３₃
に搬送されて加熱・冷却される。以上のように処理され
た基板Ｗは基板搬送ロボット２４によって搬送されて基
板搬入・搬出ロボット１２に受け渡された後、元のカセ
ットＣに戻される。

【００２２】上述したようなインデクサユニット１０、
各処理ユニット２１、２２、２３₁〜２３₃ 、基板搬送
ロボット２４の動作は、それぞれに設けられた処理ユニ
ットコントローラ２５〜２９によって制御されている。
また、インデクサユニット１０、各処理ユニット２１、
２２、２３₁ 〜２３₃ 、基板搬送ロボット２４には、そ
れぞれの動きや処理条件を監視するための各種のセンサ
が設けられており、これらのセンサの検出信号が各処理
ユニットコントローラ２５〜２９に集められて、動作制
御に供されている。上記のセンサ群の中の一つが装置の
異常を検出した場合は、そのセンサを管理する処理ユニ
ットコントローラ２５〜２９のいずれかを介して、その
検出信号がメインコントローラ６０に送られる。メイン
コントローラ６０は、後に詳しく説明するように、その
検出信号に応じたアラーム情報を特定して、そのアラー
ム情報を図１には現れていないモニタ、シグナルタワ
ー、ブザーなどのアラーム情報出力器に出力して、異常
の発生箇所、異常の状況、回復措置などを作業者に報知
する。上記したセンサ群、処理ユニットコントローラ２
５〜２９、メインコントローラ６０、アラーム情報出力
器は、本実施例に係る基板処理装置に備えられたアラー
ム発生装置を構成している。

【００２３】以下、本実施例装置に備えられたアラーム
発生装置を、現像処理ユニット２２の系統を例に採って
説明する。図２は現像処理ユニット２２に係るアラーム
処理系統の構成を示したブロック図である。

【００２４】現像処理ユニット２２は次のように構成さ
れている。ステッピングモータ３０の回転軸にスピンチ
ャック３１が連結されている。このスピンチャック３１
上に露光済の基板Ｗが吸着保持される。ステッピングモ
ータ３０によって基板Ｗを回転させながら、基板Ｗの表
面に現像液を供給して現像処理が行われる。現像処理ユ
ニット２２は現像液を貯留する現像液タンク３２を備え
ている。この現像液タンク３２に配管３３を介して装置
外部から現像液が供給される。配管３３には現像液の流
通路を開閉する弁３４が設けられている。また、現像液
を基板Ｗへ導くための配管３５の一端が現像液タンク３
２内に導入されている。この配管３５の他端にノズル３
６が取付けられている。配管３５の途中にポンプ３７が
設けられ、これによって現像液を送りだすようになって
いる。

【００２５】現像液タンク３２に液面検出センサＳ₁ 〜
Ｓ₄ が上下方向に配設されている。最上段にある液面検
出センサＳ₁ は、現像液タンク３２内の現像液が上限
（タンクから溢れ出るレベル）にまで達したという異常
状態を検出するセンサである。一方、最下段にある液面
検出センサＳ₄ は、現像液タンク３２内の現像液が下限
（タンク内が空っぽになるレベル）にまで達したという
異常状態を検出するセンサである。また、中間にある２
つの液面検出センサＳ₂ 、Ｓ₃ は現像液タンク３２内の
現像液のレベルを制御するためのセンサである。各セン
サＳ₁ 〜Ｓ₄ の検出信号は現像処理ユニットコントロー
ラ２７に与えられる。

【００２６】現像処理ユニットコントローラ２７は、ス
テッピングモータ３０の回転数の制御や、基板Ｗへの現
像液の供給制御などを行う。また、現像処理ユニットコ
ントローラ２７は、液面検出センサＳ₃ からの検出信号
が入ると弁３４を開放して現像液タンク３２内に現像液
を供給し、液面検出センサＳ₂ からの検出信号が入ると
弁３４を閉塞して現像液タンク３２内への現像液の供給
を停止させることにより、現像液タンク３２の現像液の
レベルを適正な範囲内に制御する。

【００２７】現像処理ユニットコントローラ２７は、上
記のような現像処理ユニット２２の通常動作時の制御の
他に、現像処理ユニット２２内で異常が発生した場合
に、その異常を検知したセンサ（例えば、上記の液面検
出センサＳ₁ またはＳ₄ ）からの検知信号を、そのセン
サに応じたアラームコードに変換する機能を備える。こ
の現像処理ユニットコントローラ２７は、本発明におけ
る信号変換手段に相当する。

【００２８】現像処理ユニットコントローラ２７で得ら
れたアラームコードは、メインコントローラ６０に与え
られる。メインコントローラ６０は、後述するようなア
ラーム処理によって、このアラームコードに対応するア
ラーム情報を特定し、このアラーム情報をモニタ４０、
シグナルタワー４１、ブザー４２に出力する。ここで、
アラーム情報とは、基板処理装置に異常が発生したとき
に、作業者に報知すべき情報であり、例えば、異常が発
生したこと、異常の発生箇所、異常の状況、回復措置な
どを含む情報と、これらの情報の出力形態（例えば、モ
ニタ４０への表示、シグナルタワー４１の点灯、ブザー
４２の作動）とを含むものである。

【００２９】アラーム情報に基づき、モニタ４０には、
例えばアラーム発生時刻、異常の名称、異常の状況、異
常からの回復するための措置などが表示される。作業者
は操作キー４３を操作することにより、モニタ４０の表
示内容を切り換えて、詳細な異常情報を知ることができ
る。シグナルタワー４１は赤色灯、黄色灯、緑灯を備
え、アラーム情報に基づき、各灯の点灯、点滅、消灯の
組み合わせパターンを出力することによって、異常の程
度（早急に措置を取る必要があるか否か）等を表示す
る。また、ブザー４２の出力は、連続音、断続音、無音
の３つの出力パターンがあり、これらの出力パターンに
よって、異常の緊急度を知らせる。また、特定されたア
ラーム情報に基づくアラーム通知がメインコントローラ
６０からホストコンピュータ４５へ送られる。

【００３０】次に、図３を参照してメインコントローラ
６０の構成を説明する。ＣＰＵ５０は、アラーム処理に
係る機能として、現像処理ユニットコントローラ２７か
ら与えられたアラームコードに対応するアラーム情報を
検索して特定する機能を備えている。このＣＰＵ５０は
本発明におけるアラーム情報検索手段に相当する。プロ
グラムメモリ５１には、アラーム処理に係るプログラム
が格納されており、ＣＰＵ５０はこのプログラムに従っ
てアラーム情報を特定する。

【００３１】標準アラームファイル５２には標準仕様の
アラーム情報が記憶されている。一方、特殊アラームフ
ァイル５３には特殊仕様のアラーム情報が記憶されてい
る。標準仕様のアラーム情報とは、標準的なシステム
（本実施例では基板処理装置）や標準的な顧客を想定し
て決められたアラーム情報である。一方、特殊仕様のア
ラーム情報とは、特殊仕様のシステムや顧客の特別の要
望に基づいて決められたアラーム情報である。

【００３２】本発明において、１つの異常項目、すなわ
ち１つのアラームコードに対応するアラーム情報は、標
準仕様または特殊仕様のいずれか一方のみが設定され
る。そこで、本実施例では、基板処理装置において発生
する個々の異常について、標準仕様のアラーム情報だけ
を設定するか、あるいは標準仕様に替えて特殊仕様のア
ラーム情報の設定を許すかが予め決められている。

【００３３】例えば、図１に示した基板搬入・搬出ロボ
ット１２や基板搬送ロボット２４の搬送異常や、塗布処
理ユニット２１や現像処理ユニット２２の基板回転用の
モータ（図２ではモータ３０）の回転異常などのよう
に、基板処理装置の仕様にかかわらず、この種の基板処
理装置が共通に備える機構部分の異常については、その
アラーム情報を特殊仕様にすることを要望されることが
少ないので、これらのアラーム情報については標準仕様
のみを設定する。したがって、これらの異常に係るアラ
ーム情報は標準アラームファイル５２に記憶される。

【００３４】一方、基板処理装置に使用する現像液やフ
ォトレジスト液は顧客ごとにその種類が異なるので、こ
れらの薬液の供給系統の異常（例えば各薬液の残量異常
など）を示すアラーム情報は、顧客ごとに異なる可能性
が高い。したがって、薬液供給系統の異常に係るアラー
ム情報は特殊仕様を許すように決めておく。同様に、基
板処理の条件（温度条件、薬液流量条件、処理室内の排
気量、基板回転数条件）や、異常が発生したときの措置
（装置をすぐに停止するか、あるいはその処理を終えた
後に停止するかなど）も顧客ごとに異なるので、処理条
件から外れたことを示すためのアラーム情報や、異常が
発生したときの措置を示すためのアラーム情報も特殊仕
様を許すように決めておく。これらのアラーム情報は特
殊アラームファイル５３に記憶される。ただし、これら
の異常項目について特別の要望がなかったり、その特殊
仕様が確定していない場合は、予め定めたアラーム情報
（デフォルト値）を特殊アラームファイル５３に格納し
ておく。

【００３５】アドレス情報テーブル５４は、現像処理ユ
ニットコントローラ２７や他の処理ユニットのコントロ
ーラ２５、２６、２８、２９から与えられたアラームコ
ードに対応するアラーム情報が、標準アラームファイル
５２または特殊アラームファイル５３の、どのアドレス
領域に記憶されているかを示すアドレス情報を各アラー
ムコードに対応付けて記憶している。図４に示すよう
に、本実施例において、アドレス情報テーブル５４は、
標準仕様に係るアラームコードと、特殊仕様のアラーム
情報に係るアラームコードとを領域的に区別して記憶し
ている。具体的には、「００００」〜「５９９９」およ
び「８０００」〜「９９９９」の各アラームコードは標
準仕様のアラーム情報に係わり、各アラームコードに対
応付けて標準アラームファイル５２内のアドレス領域が
記憶されている。一方、「６０００」〜「７９９９」の
各アラームコードは特殊仕様のアラーム情報に係わり、
各アラームコードに対応付けて特殊アラームファイル５
３内のアドレス領域が記憶されている。なお、図３中の
符号５５₁ 〜５５₃ は、メインコントローラ６０と外部
装置とを接続するためのインターフェイスである。

【００３６】次に、上述した実施例装置のアラーム処理
動作を図５のフローチャートを参照して説明する。図１
に示した基板処理装置に設けられた異常検出用のセンサ
群の中の１つが処理ユニット内の異常を検出すると、そ
の検知信号が当該処理ユニットのコントローラに送られ
て、そのセンサに応じたアラームコードに変換される
（ステップＳ１、Ｓ２）。ここでは、図２に示した液面
検出センサＳ₄ が、現像液タンク３２内の現像液が空に
なったことを検出したとする。液面検出センサＳ₄ から
の検知信号を受け取った現像処理ユニットコントローラ
２７は、その検知信号を例えば「６０００」のアラーム
コードに変換する。このアラームコードはメインコント
ローラ６０に送られる。メインコントローラ６０のＣＰ
Ｕ５０は、アドレス情報テーブル５４を検索して、その
アラームコードに対応するアラーム情報が記憶されたア
ドレス情報を読み出す（ステップＳ３）。ここではアラ
ームコード「６０００」に対応するアラーム情報が記憶
された特殊アラームファイル５３内のアドレス情報が読
み出される。ＣＰＵ５０は、読みだ出されたアドレス情
報に基づき、標準アラームファイル５２または特殊アラ
ームファイル５３のいずれか一方のファイルを検索して
（ここでは、特殊アラームファイル５３を検索して）、
該当するアラーム情報を読み出す（ステップＳ４〜Ｓ
６）。その読み出されたアラーム情報に基づいて、モニ
タ４０へ表示したり、シグナルタワー４１を点灯させた
り、ブザー４２を鳴らすことにより、異常の発生や、そ
の状況などを作業者に報知する（ステップＳ７）。

【００３７】以上のように、本実施例によれば、アラー
ムコードに対応したアラーム情報を特定するのに、標準
アラームファイル５２または特殊アラームファイル５３
のいずれか一方のみを検索するだけでよいので、異常が
発生してからアラーム情報が出力されるまでの時間が短
くなり、それだけ作業者が回復措置を早くとることがで
きる。

【００３８】また、図４に示したように、本実施例によ
れば、標準仕様のアラーム情報に係るアラームコード
と、特殊仕様のアラーム情報に係るアラームコードとを
領域的に区別して記憶しているので、例えば標準仕様の
アラーム情報を更新する場合には、標準仕様に係るアラ
ームコードに対応するアドレス領域のアラーム情報、す
なわち標準アラームファイル５２のアラーム情報のみを
書き換えればよく、不用意に特殊仕様のアラーム情報が
書き換えられることはない。

【００３９】本発明は上記の実施例に限らず次のように
変形実施することができる。 （１）上記実施例では、標準仕様のアラーム情報に係る
アラームコードと、特殊仕様のアラーム情報に係るアラ
ームコードとを領域的に区別して記憶したが、図６に示
すアドレス情報テーブル５４’のように、標準仕様のア
ラーム情報に係るアラームコードと、特殊仕様のアラー
ム情報に係るアラームコードとをフラグによって区別し
て記憶するようにしてもよい。図６の例では、フラグ
「０」のアラームコードに対応するアドレス領域情報は
標準アラームファイル５２内のアドレス領域を、フラグ
「１」のアラームコードに対応するアドレス領域は特殊
アラームファイル５３内のアドレス領域を示す。この例
によっても、上記実施例と同様にアラーム情報の仕様の
更新を誤りなく行うことができる。また、標準仕様に係
るアラームコードと特殊仕様に係るアラームコードとを
領域的に区別して記憶するとともに、各アラームコード
にフラグを付してその仕様を区別してもよい。

【００４０】（２）上記実施例では、アラームコードに
各ファイルのアドレス情報を対応付けて記憶し、このア
ドレス情報に基づいて各ファイルからアラーム情報を検
索するようにしたが、各アラームコードにアラーム情報
を直接に対応付けて記憶するようにしてもよい。このよ
うに構成すれば、アラームコードからアラーム情報が直
接に読み出されるので、アドレス情報テーブル５４を設
ける必要はない。この例の場合にも、各アラームコード
のアラーム情報が標準仕様か特殊仕様かに応じて各アラ
ームコードを領域的に区別して記憶したり、あるいは各
アラームコードに標準仕様か特殊仕様かを表すフラグを
付すようにすればよい。

【００４１】（３）上記実施例では処理システムの一例
として半導体ウエハなどの基板にフォトレジスト塗布処
理や現像処理を行う基板処理装置を例に採ったが、本発
明は各種基板に洗浄処理など、他の処理を行う装置にも
適用可能であり、処理の内容に限定されるものでない。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば次の効果を奏する。請求項１に記載の発明によ
れば、１つのアラームコードに対して１つのアラーム情
報が存在するだけであるので、従来装置のように、１つ
のアラームコードに対して標準仕様と特殊仕様の両方が
存在する可能性のある場合と比較して、アラームコード
に対応したアラーム情報を迅速に検索することができ
る。

【００４３】また、請求項１の発明によれば、記憶手段
内のアラームコードは、各々のアラー情報が標準仕様
か、あるいは特殊仕様かに応じて区別して記憶されてい
るので、例えば標準仕様のアラーム情報を更新する場合
に、特殊仕様のアラーム情報を不用意に変更することな
く、標準仕様のアラーム情報のみを容易に更新すること
ができる。

【００４４】請求項２に記載の発明によれば、アドレス
情報テーブルを探索することにより、アラームコードに
対応したアラーム情報が記憶されている標準アラームフ
ァイルまたは特殊アラームファイルのいずれか一方が特
定され、その特定されたアラムーファイルを検索してア
ラーム情報を取り出すことができるので、アラームコー
ドに対応したアラーム情報を迅速に得ることができる。
また、標準仕様のアラーム情報を更新する場合には、標
準アラームファイルの内容を更新すればよく、特殊アラ
ーム仕様を不用意に変更することもない。

【００４５】請求項３に記載の発明によれば、標準仕様
のアラーム情報に係るアラームコードと、特殊仕様のア
ラーム情報に係るアラームコードとを、領域的に区別し
て記憶しているので、例えば標準仕様のアラーム情報だ
けを更新する場合に、誤って特殊仕様のアラーム情報を
書き換えるなどの不都合を回避することができる。

【００４６】請求項４に記載の発明によれば、標準仕様
のアラーム情報に係るアラームコードと、特殊仕様のア
ラーム情報に係るアラームコードとを、フラグによって
区別して記憶しているので、請求項３の発明と同様に、
アラーム情報の更新を誤りなく行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る基板処理装置の斜視図
である。

【図２】実施例装置のアラーム処理系統を示すブロック
図である。

【図３】メインコントローラの構成を示すブロック図で
ある。

【図４】アドレス情報テーブルの構成を示す模式図であ
る。

【図５】実施例装置のアラーム処理のフローチャートで
ある。

【図６】アドレス情報テーブルの変形例の模式図であ
る。

【図７】従来例の説明に供するブロック図である。

【符号の説明】

１０…インデクサユニット １２…基板搬入・搬出ロボット ２０…プロセスユニット ２１…塗布処理ユニット ２２…現像処理ユニット ２３…熱処理ユニット ２４…基板搬送ロボット ２５〜２９…処理ユニットコントローラ ６０…メインコントローラ ４０…モニタ ４１…シグナルタワー ４２…ブザー ５０…ＣＰＵ ５２…標準アラームファイル ５３…特殊アラームファイル ５３…アドレス情報テーブル

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 処理システムに発生した異常を検知し、
   その異常の状況や回復措置などのアラーム情報を出力す
   る処理システムにおけるアラーム装置であって、 処理システムに発生する各種の異常を検知するセンサ群
   と、 前記センサ群からの検知信号を各センサに応じたアラー
   ムコードに変換する信号変換手段と、 各アラームコードに対応付けて標準仕様または特殊仕様
   のいずれか一方のアラーム情報を記憶するとともに、各
   アラームコードに対応付けられたアラーム情報が標準仕
   様か特殊仕様かに応じて各アラームコードを区別して記
   憶する記憶手段と、 前記信号変換手段から与えられたアラームコードに基づ
   き前記記憶手段を検索して、前記アラームコードに対応
   するアラーム情報を読み出すアラーム情報検索手段と、 前記読み出されたアラーム情報を出力するアラーム情報
   出力手段とを備えたことを特徴とする処理システムにお
   けるアラーム装置。
2. 【請求項２】 請求項１に記載の装置において、 前記記憶手段は、標準仕様のアラーム情報を記憶した標
   準アラームファイルと、特殊仕様のアラーム情報を記憶
   した特殊アラームファイルとを備え、かつ、前記各アラ
   ームコードに対応するアラーム情報が前記２つのアラー
   ムファイル中のどの領域に記憶されているかを示すアド
   レス情報を各アラームコードに対応付けて記憶するアド
   レス情報テーブルとを備えており、 前記アラーム情報検索手段は、前記アドレス情報テーブ
   ルを参照して、前記信号変換手段から与えられたアラー
   ムコードに対応したアラーム情報が記憶されている領域
   を示すアドレス情報を探索し、そのアドレス情報に基づ
   いて前記標準アラームファイルまたは特殊アラームファ
   イルを検索して、前記アラームコードに対応したアラー
   ム情報を読み出すように構成された処理システムにおけ
   るアラーム装置。
3. 【請求項３】 請求項１に記載の装置において、 前記記憶手段は、標準仕様のアラーム情報に係るアラー
   ムコードと、特殊仕様のアラーム情報に係るアラームコ
   ードとを領域的に区別して記憶している処理システムに
   おけるアラーム装置。
4. 【請求項４】 請求項１に記載の装置において、 前記記憶手段は、標準仕様のアラーム情報に係るアラー
   ムコードと、特殊仕様のアラーム情報に係るアラームコ
   ードとをフラグによって区別して記憶している処理シス
   テムにおけるアラーム装置。