KR100258841B1 - 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법 - Google Patents

반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에 관한 것으로, 본 발명에서는 호스트에 소정의 유닛 상태변경 감시모듈을 구비하고, 이를 통해, 유닛의 상태변경을 실시간으로 파악·관리함으로써, 첫째, 호스트에 저장된 유닛상태 및 설비의 리얼 유닛상태 사이에 발생할 수 있는 불일치를 미연에 방지할 수 있고, 둘째, 호스트를 통한 정확한 설비관리를 이룰 수 있으며, 셋째, 설비의 전체적인 생산실적을 정확히 관리할 수 있고, 넷째, 호스트를 통한 간접적인 전산작업을 통해서도 설비유닛의 상태변경이 가능하도록 함으로써, 전체적인 설비관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

Description

반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법
본 발명은 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛(Unit)상태 관리방법에 관한 것으로, 좀더 상세하게는 소정의 유닛 상태변경 감시모듈을 통해 설비의 리얼 유닛상태 데이터 및 호스트의 저장 유닛상태 데이터의 불일치를 미연에 방지함으로써, 제품의 전체적인 생산관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에 관한 것이다.
일반적인 반도체 소자는 그 제조에 고도의 정밀성이 요구되며, 이에 따라, 통상의 반도체 생산라인에서는 정밀가공이 가능한 고기능의 설비를 배치하여 대부분의 반도체 소자 제조공정을 수행하고 있다.
이때, 작업자는 소정의 반도체 제조설비 관리시스템을 통해 각 설비의 동작상황을 면밀히 관찰함으로써, 라인 작업 효율의 향상을 꾀하고 있다.
도 1은 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.
이에 도시된 바와 같이, 생산라인내에는 공정을 실행하는 설비(3)가 배치되며, 이러한 설비(3)에는 로트(10)가 투입되어 적절한 반도체 제품으로 제조되고 있다.
여기서, 설비(3)는 설비서버(미도시)를 통해 호스트(1)와 온라인으로 연결되며, 이러한 호스트(1)는 O/I PC(Operator Interface PC:2)와 온라인으로 연결된다. 이때, 작업자는 O/I PC(2)를 통해 호스트(1)로 로트(10)의 작업시작을 알린다.
이에 따라, 호스트는 자신에게 기 저장된 적절한 공정조건, 예컨대, 공정시간, 공정온도 등을 설비(3)로 신속히 다운로드시킴으로써, 설비(3)가 로트(10)에 양호한 반도체 제조공정을 진행시킬 수 있도록 한다.
이때, 설비(3)는 자신에게 부속된 유닛, 예컨대, 로딩/언로딩 포트(미도시), 챔버(4)등을 적절히 가동시킴으로써, 상술한 공정조건을 적절히 실행하고 있다.
이러한 종래의 반도체 제조설비의 관리시스템에서, 상술한 챔버(4)들 중 예컨대, 챔버 1(4a)이 다운상태에 있고, 챔버 2(4b)만이 런상태에 있어, 챔버 1(4a)을 런 상태로 변경시켜야 할 경우, 작업자는 설비(3)에 구비된 설비화면(미도시)에서 직접적인 작업을 수행하여 챔버 1(4a)을 정상으로 복구시킴과 아울러 O/I PC를 통해 호스트에 저장된 챔버 1(4a)의 상태 데이터를 변경한다.
이 후, 호스트(1)는 자신의 데이터 베이스 영역에 각 설비유닛의 변경상태를 지속적으로 저장함으로써, 반도체 생산공정을 적절히 관리하고 있다.
그러나, 이러한 기능을 수행하는 종래의 반도체 제조설비 관리시스템에는 몇 가지 중대한 문제점이 있다.
첫째, 통상, 설비에 부속된 유닛은 그 상태변경이 빈번한 바, 이때, 종래의 경우, 호스트가 이러한 상태변경을 실시간으로 파악할 방법이 전무함으로써, 호스트의 데이터 베이스 영역에 저장된 유닛의 상태와 유닛의 리얼상태가 불일치 되는 결과가 초래된다.
둘째, 이러한 유닛 상태의 불일치로 인해, 호스트는 유닛의 가동상황을 적절히 파악하지 못함으로써, 신속한 설비관리를 이룰 수 없다.
셋째, 이와 같은 오류를 갖는 유닛의 상태가 호스트로부터 취합되어 집계될 경우, 작업자는 리얼 설비 가동율과 내용이 다른 가동율 데이터를 파악하여, 이를 차기의 공정에 반영함으로써, 설비의 전체적인 생산실적을 정확히 관리할 수 없다.
넷째, 설비의 유닛상태를 변경시키기 위해서는 작업자가 설비화면에서 직접적인 작업을 수행하여야 하는 바, 이에 따라, 전체적인 설비관리 효율이 현저히 저감된다.
따라서, 본 발명의 목적은 호스트에 소정의 유닛 상태변경 감시모듈을 구비하고, 이를 통해, 유닛의 상태변경을 실시간으로 파악·관리함으로써, 호스트에 저장된 유닛상태 및 리얼 유닛상태 사이에 발생할 수 있는 불일치를 미연에 방지할 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 유닛상태 관리방법을 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 이러한 상태변경 감시모듈을 통해 유닛의 리얼 상태를 정확히 파악한 후 파악된 내용을 근거로 호스트의 데이터 베이스에 저장된 유닛상태 관련내용이 신속히 업데이트되도록 함으로써, 호스트를 통한 정확한 설비관리가 이루어질 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 유닛상태 관리방법을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 호스트로부터 유닛 상태와 관련된 데이터를 집계할 때에 유닛의 리얼 상태와 일치되는 데이터가 취합될 수 있도록 함으로써, 설비의 전체적인 생산실적이 정확히 관리될 수 있도록 하는 반도체 제조용 설비의 유닛상태 관리방법을 제공함에 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 호스트를 통한 간접적인 전산작업을 통해서도 설비유닛의 상태변경이 가능하도록 함으로써, 전체적인 설비관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있도록 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 제공함에 있다.
도 1은 종래의 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도.
도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도.
도 4는 본 발명의 제 1 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.
도 5는 본 발명의 제 2 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.
도 6은 본 발명의 제 3 실시예를 순차적으로 도시한 순서도.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은 설비의 유닛에 소정의 상태변경 사항이 발생되면 상기 설비로부터 상기 유닛의 상태와 관련된 리얼 유닛상태 데이터를 수신받는 단계와; 데이터 베이스에 저장된 저장 유닛상태 데이터들 중 상기 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 1 써치하는 단계와; 상기 리얼 유닛상태 데이터 및 상기 저장 유닛상태 데이터를 비교하여 소정의 변경사항이 있는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 없으면, 상기 리얼 유닛상태 데이터 수신을 지속적으로 수행하고, 상기 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 있으면, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 상기 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 제 1 업데이트하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에, 소정의 제품투입신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 제품투입신호가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 제품투입신호가 입력되었으면 상기 제품이 투입된 상기 유닛을 파악한 후 상기 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 2 써치하여, 상기 유닛이 다운상태의 유닛인가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 유닛이 다운상태의 유닛이 아니면 종료하고, 상기 유닛이 다운상태의 유닛이면 소정의 경고메시지를 디스플레이한 후 공정을 홀드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에, 소정의 설비 가동율 집계신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비 가동율 집계신호가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 설비 가동율 집계신호가 입력되었으면 상기 저장 유닛상태 데이터를 제 3 써치하여 상기 저장 유닛상태 데이터를 취합한 후 상기 저장 유닛상태 데이터를 담은 소정의 설비 가동율 집계 메시지를 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
바람직하게, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에, 소정의 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와; 상기 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었으면 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 상기 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 제 2 업데이트한 후 상기 설비 유닛상태 변경 데이터를 상기 설비로 다운로드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 따라, 본 발명에서는 호스트에 저장된 유닛상태 데이터의 내용이 리얼 유닛상태 데이터의 변경내용에 맞추어 적절히 업데이트된다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 좀더 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 2는 본 발명을 구현하기 위한 반도체 제조설비 관리시스템의 배치형상을 개략적으로 도시한 개념도이다.
이에 도시된 바와 같이, 호스트(1)에는 설비서버를 통해 설비(3)로부터 업로드되는 유닛의 변경상태를 감시·파악한 후 이에 대응되도록 데이터 베이스에 저장된 저장 유닛상태 데이터를 업데이트하는 유닛 상태변경 감시모듈(20)이 구비된다. 이에 따라, 저장 유닛상태 데이터는 설비(3)의 유닛에 변경이 발생되면 이와 동일한 내용으로 신속히 변경·처리된다.
이러한 변경·처리 후에 호스트(1)는 생산라인 내의 설비(3)로 제품이 투입되는 경우, 설비(3)의 유닛 상황이 작업자에게 신속히 전달되도록 함으로써, 다운 상태의 유닛에 제품이 투입되어 예측하지 못한 공정사고가 발생되는 문제점이 적절히 해결될 수 있도록 한다.
한편, 도 3은 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법을 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 4는 본 발명의 제 1 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이며, 또한 도 5는 본 발명의 제 2 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이고, 도 6은 본 발명의 제 3 실시예를 순차적으로 도시한 순서도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법은 설비(3)의 유닛에 일정한 상태변경 사항이 발생되면, 설비(3)로부터 당해 유닛의 상태와 관련된 리얼 유닛상태 데이터를 수신받는 단계 S10와, 데이터 베이스에 저장된 저장 유닛상태 데이터들 중 당해 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 1 써치하는 단계 S20와, 리얼 유닛상태 데이터 및 저장 유닛상태 데이터를 비교하여 일정한 변경사항이 있는가의 여부를 판단하는 단계 S30와, 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 없으면, 리얼 유닛상태 데이터 수신을 지속적으로 수행하고, 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 있으면, 저장 유닛상태 데이터의 내용을 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 제 1 업데이트하는 단계 S40를 포함한다.
이하, 이러한 본 발명의 각 단계를 상세히 설명한다.
먼저, 설비에 일정한 상태변경 사항, 예컨대, 작업자에 의한 유닛 상태변경 등이 발생되면, 유닛 상태변경 감시모듈(20)은 설비(3)의 유닛별 상태를 실시간으로 감시하거나, 각 설비(3)로부터 자신의 유닛 상태변경 내용을 실시간으로 보고받음으로써, 당해 유닛의 상태와 관련된 리얼 유닛상태 데이터를 수신받는다(단계 S10). 이에 따라, 설비(3) 유닛의 변경사항은 유닛 상태변경 감시모듈(20)에 의해 그 내용이 실시간으로 신속히 파악된다.
이어서, 유닛 상태변경 감시모듈(20)은 호스트(1)의 데이터 베이스 영역에 저장된 저장 유닛상태 데이터들 중 설비(3)의 당해 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 1 써치하여 이의 내용과 상술한 과정을 통해 수신된 리얼 유닛상태 데이터의 내용간에 일정한 변경사항이 있는가의 여부를 판단한다(단계 S20,S30).
이때, 저장 유닛상태 데이터 및 리얼 유닛상태 데이터의 내용이 서로 동일하여 변경사항이 없으면, 유닛 상태변경 감시모듈(20)은 플로우를 상술한 초기단계 S10로 리턴하여 리얼 유닛상태 데이터 수신을 지속적으로 수행한다.
그러나, 반면에, 저장 유닛상태 데이터 및 리얼 유닛상태 데이터의 내용이 서로 상이하여 변경사항이 있으면, 유닛 상태변경 감시모듈(20)은 저장 유닛상태 데이터의 내용을 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 제 1 업데이트한다(단계 S40). 이에 따라, 저장 유닛상태 데이터의 내용은 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 적절히 변경된다.
예컨대, 리얼 유닛상태 데이터의 내용이 "설비(3)의 제 1 챔버(4a)는 런 상태, 설비의 제 2 챔버(4b)는 다운 상태"이고, 저장 유닛상태 데이터의 내용이 "설비(3)의 제 1 챔버(4a) 및 설비(3)의 제 2 챔버(4b) 모두 런 상태"로써, 서로 상이하면, 유닛 상태변경 감시모듈(20)은 저장 유닛상태 데이터의 내용을 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 "설비(3)의 제 1 챔버(4a)는 런 상태, 설비(3)의 제 2 챔버(4b)는 다운 상태"로 적절히 업데이트함으로써, 두 데이터의 내용차이를 일치시킨다. 이에 따라, 호스트(1)에 저장된 저장 유닛상태 데이터 내용 및 설비(3)의 리얼 유닛상태 데이터 내용 사이의 불일치는 적절히 극복되고 호스트(1)는 이 후 정확하고 신속한 설비관리를 달성할 수 있다.
이와 같이, 본 발명에서는 호스트(1)가 설비(3)의 유닛 상태 변경을 실시간으로 파악한 후 이에 맞추어 자신의 데이터 베이스 영역의 저장 내용을 신속히 업데이트함으로써, 설비(3)의 리얼 유닛상태 및 호스트(1)의 저장 유닛상태 사이에 발생할 수 있는 불일치를 미연에 방지한다.
한편, 도 4에 도시된 바와 같이, 본 발명은 제 1 실시예로써, 상술한 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 S40 후에, O/I PC(2)로 제품투입신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계 S51와, O/I PC(2)로 제품투입신호가 입력되지 않았으면 종료하고, O/I PC(2)로 제품투입신호가 입력되었으면 제품이 투입된 유닛을 파악한 후 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 2 써치하여, 당해 유닛이 다운상태의 유닛인가의 여부를 판단하는 단계 S52,S53,S54와, 유닛이 다운상태의 유닛이 아니면 종료하고, 유닛이 다운상태의 유닛이면 적절한 경고메시지를 디스플레이한 후 공정을 홀드하는 단계 S55,S56를 더 포함한다.
이하, 이러한 본 발명의 제 1 실시예에 따른 각 단계를 상세히 설명한다.
먼저, 상술한 단계 S40 후에 호스트(1)는 O/I PC(2)로 로트(10) 투입신호가 입력되었는가의 여부를 판단한다(단계 S51).
이때, O/I PC(2)로 로트(10) 투입신호가 입력되지 않았으면 호스트(1)는 당해 플로우를 종료한다.
그러나, 반면에, O/I PC(2)로 로트(10) 투입신호가 입력되었으면 호스트(1)는 로트(10)가 투입되고자하는 설비(3)의 유닛을 파악한다(단계 S52).
이어서, 호스트(1)는 데이터 베이스에 저장된 당해 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 2 써치한 후, 당해 유닛이 다운상태의 유닛인가의 여부를 판단한다(단계 S53,S54).
이때, 당해 유닛이 다운상태의 유닛이 아니면, 호스트(1)는 플로우를 종료하여, 로트(10)가 당해 유닛을 통해 적절한 반도체 제품으로 제조될 수 있도록 한다.
그러나, 반면에, 당해 유닛이 다운상태의 유닛이면, 호스트(1)는 O/I PC(2)로 적절한 내용의 경고 메시지가 디스플레이되도록 한 후 전체 시스템을 제어하여 공정을 홀드한다(단계 S55,S56). 이에 따라, 다운 상태의 유닛에 로트(10)가 투입되는 문제점은 적절히 해결된다.
예컨대, 작업자가 다운 상태의 제 2 챔버(4b)로 로트(10)를 투입하기 위하여 O/I PC(2)로 로트(10) 투입신호를 입력하는 경우, 호스트(1)는 데이터 베이스를 써치하여 제 2 챔버(4b)의 상태를 신속히 파악하고 이의 상태가 다운 상태임을 인지한 후 O/I PC(2)로 "현재 제 2 챔버는 다운 상태입니다" 등의 경고 메시지를 다운로드한다. 이 후, 호스트(1)는 전체 시스템을 제어하여 공정을 홀드한다. 이에 따라, 제 2 챔버(4b)를 통한 반도체 제조공정은 적절히 방지되고, 작업자는 이를 극복하기 위한 추후 공정처리를 신속히 수행할 수 있다.
이와 같이, 본 발명의 제 1 실시예에서는 설비(3)의 리얼 유닛상태 데이터와 일치하는 저장 유닛상태 데이터를 참고하여 다운된 유닛으로 로트(10)가 투입되는 문제점을 적절히 해결함으로써, 예측하지 못한 공정사고의 발생을 미연에 방지할 수 있다.
한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 본 발명은 제 2 실시예로써, 상술한 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 S40 후에, O/I PC(2)로 설비 가동율 집계신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계 S61와, O/I PC(2)로 설비 가동율 집계신호가 입력되지 않았으면 종료하고, O/I PC로 설비 가동율 집계신호가 입력되었으면 저장 유닛상태 데이터를 제 3 써치하여 저장 유닛상태 데이터를 취합한 후 저장 유닛상태 데이터를 담은 소정의 설비 가동율 집계 메시지를 출력하는 단계 S62,S63를 더 포함한다.
이하, 이러한 본 발명의 제 2 실시예에 따른 각 단계를 상세히 설명한다.
먼저, 상술한 단계 S40 후에 호스트(1)는 O/I PC(2)로 설비 가동율 집계신호가 입력되었는가의 여부를 판단한다(단계 S61).
이때, O/I PC(2)로 설비 가동율 집계신호가 입력되지 않았으면 호스트(1)는 당해 플로우를 종료한다.
그러나, 반면에, O/I PC(2)로 설비 가동율 집계신호가 입력되었으면, 호스트(1)는 작업자가 설비 가동율을 파악하고자하는 것으로 판정하고, 자신의 데이터 베이스 영역에 저장된 저장 유닛상태 데이터를 제 3 써치하여 저장 유닛상태 데이터를 취합한 후 저장 유닛상태 데이터를 담은 소정의 설비 가동율 집계 메시지를 O/I PC(2)로 출력한다(단계 S62,S63). 이에 따라, 작업자는 설비(3)의 가동율을 정확히 파악할 수 있다.
종래의 경우, 설비(3)의 리얼 유닛상태 데이터와 그 내용이 상이한 저장 유닛상태 데이터가 호스트(1)로부터 취합되어 집계되었고, 작업자는 이러한 집계결과를 차기의 공정에 반영함으로써, 설비(3)의 전체적인 생산실적을 정확히 관리하지 못하였다.
예컨대, 설비(3)의 제 2 챔버(4b)가 다운 상태임에도 불구하고 호스트(1)는 이의 상태가 런 상태인 것으로 파악하고 있다가 상술한 설비 가동율 집계신호가 입력되면 호스트는 100%챔버(4)로부터 단지 50%제품이 완성된 것으로 파악하여 설비(3)의 가동율을 50%로 집계하는 오류를 발생하였다.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 호스트(1)는 설비(3)의 리얼 유닛상태 데이터와 동일한 내용의 저장 유닛상태 데이터를 정확히 파악·저장하고 있는 바, 차후에 작업자의 설비 가동율 출력 요구가 있으면, 호스트(1)는 기 파악된 정확한 데이터를 취합·출력 하고, 이러한 설비 가동율이 작업자에 의해 차기 공정에 적절히 반영될 수 있도록 함으로써, 설비(3)의 정확한 생산실적 관리가 달성될 수 있도록 한다.
예컨대, 설비(3)의 제 2 챔버(4b)가 다운 상태이면 호스트(1)는 이의 상태를 다운 상태로 정확히 파악하고 있다가 상술한 설비 가동율 집계신호가 입력되면, 50%챔버로부터 50%제품이 완성된 것으로 파악하여 설비(3)의 가동율을 100%로 정확히 집계한다. 이에 따라, 작업자는 정확한 내용의 데이터를 차기의 공정에 반영할 수 있음으로써, 설비의 전체적인 생산실적을 적절히 관리할 수 있다.
한편, 도 6에 도시된 바와 같이, 본 발명은 제 3 실시예로써, 상술한 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 S40 후에, O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계 S71와, O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되지 않았으면 종료하고, O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었으면 저장 유닛상태 데이터의 내용을 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 제 2 업데이트한 후 설비 유닛상태 변경 데이터를 설비로 다운로드하는 단계 S72,S73를 더 포함한다.
이하, 이러한 본 발명의 제 3 실시예에 따른 각 단계를 상세히 설명한다.
먼저, 상술한 단계 S40 후에 호스트(1)는 O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었는가의 여부를 판단한다(단계 S71).
이때, O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되지 않았으면, 호스트(1)는 작업자가 설비(3)를 간접 리모트하지 않는 것으로 판정하고, 플로우를 종료한다.
그러나, 반면에, O/I PC(2)로부터 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었으면 호스트(1)는 작업자가 설비(3)를 간접 리모트하는 것으로 판정하고, 설비 유닛상태 변경 데이터를 입력받은 후 자신의 데이터 베이스 영역에 저장된 저장 유닛상태 데이터의 내용을 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 제 2 업데이트한다(단계 S72). 이에 따라, 저장 유닛상태 데이터의 내용은 작업자가 입력한 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 적절히 변경된다.
이어서, 호스트(1)는 설비 유닛상태 변경 데이터를 설비(3)로 다운로드한다(단계 S73). 이에 따라, 설비(3)의 유닛상태는 작업자로부터 O/I PC(2)로 입력된 설비 유닛상태 변경 데이터에 맞추어 적절히 변경된다.
예컨대, 작업자로부터 O/I PC(2)로 입력된 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용이 "런 상태이던 챔버 1(4a)을 다운시키는 것"일 경우, 설비(3)는 이러한 데이터를 호스트(1)를 통해 다운로드 받음으로써, 자신의 챔버 1(4a)을 다운시킨다. 이에 따라, 런 상태이던 챔버 1(4a)은 다운 상태로 신속히 변경된다.
종래의 경우, 작업자가 설비의 유닛상태를 변경시키기 위해서는 설비화면을 통하여 직접적인 작업을 수행하여야 함으로써, 전체적인 설비관리 효율이 현저히 저감되는 문제점이 있었다.
그러나, 본 발명의 경우, 상술한 바와 같이, 작업자는 호스트(1)와 온라인으로 연결된 O/I PC(2)를 통해 설비(3)의 유닛상태를 간접적으로 리모트하여 이를 변경시킬 수 있음으로써, 전체적인 설비관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.
더욱이, 본 발명의 경우, 호스트(1)는 자신의 데이터 베이스 영역에 저장된 저장 유닛상태 데이터를 작업자에 의해 입력된 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 적절히 변경함으로써, 상술한 가동율 집계 과정이 실행될 경우, 설비 유닛상태 변경 데이터에 따라 변경된 현 설비의 리얼 유닛 상황과 동일한 내용의 저장 유닛상태 데이터가 취합·집계될 수 있도록 한다.
예컨대, 작업자의 O/I PC(2)를 통한 리모트 제어에 의해 설비(3)의 제 1 챔버(4a)가 다운 상태로 변경되는 경우, 호스트(1)는 상술한 바와 같이, 이러한 상황에 맞추어 자신의 데이터 베이스에 저장된 제 1 챔버(4a)의 유닛상태 데이터를 다운 상태로 변경시킴으로써, 상술한 가동율 집계 과정이 진행될 때에 정확한 데이터 내용이 취합·집계될 수 있도록 한다. 이에 따라, 종래와 같은 설비의 셍산실적 관리 오류는 미연에 방지된다.
이 후, 본 발명의 호스트(1)는 유닛 상태변경 감시모듈(20)을 통해 상술한 각 단계를 지속적으로 반복함으로써, 전체적인 설비관리가 효율적으로 이루어질 수 있도록 한다.
이와 같이, 본 발명에서는 유닛 상태변경 감시모듈을 통해 설비의 리얼 유닛상태 데이터 및 호스트의 저장 유닛상태 데이터의 불일치를 미연에 방지함으로써, 제품의 전체적인 생산관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.
이러한 본 발명은 생산라인내에 배치되어 일정한 관리를 필요로하는 다양한 반도체 제조설비에서 두루 유용한 효과를 나타낸다.
그리고, 본 발명의 특정한 실시예가 설명 및 도시되었지만 본 발명이 당업자에 의해 다양하게 변형되어 실시될 가능성이 있는 것은 자명한 일이다.
이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 기술적사상이나 관점으로부터 개별적으로 이해되어져서는 안되며 이와 같은 변형된 실시예들은 본 발명의 첨부된 특허청구의 범위안에 속한다 해야 할 것이다.
이상에서 상세히 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법에서는 호스트에 소정의 유닛 상태변경 감시모듈을 구비하고, 이를 통해, 유닛의 상태변경을 실시간으로 파악·관리함으로써, 첫째, 호스트에 저장된 유닛상태 및 설비의 리얼 유닛상태 사이에 발생할 수 있는 불일치를 미연에 방지할 수 있고, 둘째, 호스트를 통한 정확한 설비관리를 이룰 수 있으며, 셋째, 설비의 전체적인 생산실적을 정확히 관리할 수 있고, 넷째, 호스트를 통한 간접적인 전산작업을 통해서도 설비유닛의 상태변경이 가능하도록 함으로써, 전체적인 설비관리 효율을 현저히 향상시킬 수 있다.

Claims (4)

  1. 설비의 유닛에 소정의 상태변경 사항이 발생되면 상기 설비로부터 상기 유닛의 상태와 관련된 리얼 유닛상태 데이터를 수신받는 단계와;
    데이터 베이스에 저장된 저장 유닛상태 데이터들 중 상기 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 1 써치하는 단계와;
    상기 리얼 유닛상태 데이터 및 상기 저장 유닛상태 데이터를 비교하여 소정의 변경사항이 있는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 없으면, 상기 리얼 유닛상태 데이터 수신을 지속적으로 수행하고, 상기 리얼 유닛상태 데이터에 변경사항이 있으면, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 상기 리얼 유닛상태 데이터의 내용에 맞추어 제 1 업데이트하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에,
    소정의 제품투입신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 제품투입신호가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 제품투입신호가 입력되었으면 상기 제품이 투입된 상기 유닛을 파악한 후 상기 유닛에 해당하는 저장 유닛상태 데이터를 제 2 써치하여, 상기 유닛이 다운상태의 유닛인가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 유닛이 다운상태의 유닛이 아니면 종료하고, 상기 유닛이 다운상태의 유닛이면 소정의 경고메시지를 디스플레이한 후 공정을 홀드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에,
    소정의 설비 가동율 집계신호가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 설비 가동율 집계신호가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 설비 가동율 집계신호가 입력되었으면 상기 저장 유닛상태 데이터를 제 3 써치하여 상기 저장 유닛상태 데이터를 취합한 후 상기 저장 유닛상태 데이터를 담은 소정의 설비 가동율 집계 메시지를 출력하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 제 1 업데이트하는 단계 후에,
    소정의 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었는가의 여부를 판단하는 단계와;
    상기 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되지 않았으면 종료하고, 상기 설비 유닛상태 변경 데이터가 입력되었으면 상기 저장 유닛상태 데이터의 내용을 상기 설비 유닛상태 변경 데이터의 내용에 맞추어 제 2 업데이트한 후 상기 설비 유닛상태 변경 데이터를 상기 설비로 다운로드하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 제조설비 관리시스템의 설비 유닛상태 관리방법.
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