KR20190096274A - 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램 - Google Patents

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KR20190096274A
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

[과제] 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀도 좋게 행하는 것을 가능하게 하는 데이터 처리 방법을 제공한다.
[해결 수단] 복수의 단위 처리 데이터(각 단위 처리 데이터는 복수의 시계열 데이터를 포함한다)를 처리하는 데이터 처리 방법에는, 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정 단계(S100)와, 변경 타이밍 설정 단계(S100)에서 설정된 타이밍에 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계(S220)가 포함된다.

Description

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 데이터 처리 시스템, 및 데이터 처리 프로그램{DATA PROCESSING METHOD, DATA PROCESSING APPARATUS, DATA PROCESSING SYSTEM, AND DATA PROCESSING PROGRAM}
본 발명은, 디지털 데이터 처리에 관한 것이고, 특히, 시계열 데이터를 처리하는 방법에 관한 것이다.
기기나 장치의 이상(異常)을 검출하는 방법으로서, 기기나 장치의 동작 상태를 나타낸 물리량(예를 들어, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)을 센서 등을 이용하여 측정하고, 측정 결과를 발생순으로 늘어놓아 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 방법이 알려져 있다. 기기나 장치가 동일한 조건에서 동일한 동작을 행하는 경우, 이상이 없으면, 시계열 데이터는 동일하게 변화한다. 그래서, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터를 서로 비교하여 이상인 시계열 데이터를 검출하고, 그 이상인 시계열 데이터를 분석함으로써, 이상의 발생 개소나 이상의 원인의 특정이 가능해진다. 또, 최근, 컴퓨터의 데이터 처리 능력의 향상이 현저하다. 이로 인해, 비록 데이터양이 방대해도 실용적인 시간으로 필요한 결과가 얻어지는 케이스가 많아지고 있다. 이러한 것으로부터도, 시계열 데이터의 분석이 활발해지고 있다.
예를 들어, 반도체 제조 장치에서는, 각종의 프로세스에 있어서 시계열 데이터가 얻어진다. 그래서, 반도체 제조 장치의 분야에 있어서도, 시계열 데이터의 분석이나 화면상으로의 시계열 데이터의 표시 등이 행해지고 있다.
또한, 본건 발명에 관련하여, 일본의 특허공개 2017-83985호 공보에는, 이용자가 분석하기 쉬운 양태로 시계열 데이터를 표시하는 시계열 데이터 처리 장치의 발명이 개시되어 있다. 그 시계열 데이터 처리 장치에서는, 복수의 시계열 데이터가 복수의 그룹으로 나눠져, 그룹마다의 이상도 및 각 그룹 내에 있어서의 시계열 데이터의 이상도가 산출되어 있다. 그리고, 그룹 혹은 시계열 데이터를 이상도에 의거하여 랭킹한 결과가 표시부에 표시된다.
반도체 제조 장치의 일종인 세정 장치 등의 기판 처리 장치는, 일반적으로, 복수의 챔버(처리실)를 갖고 있다. 그들 복수의 챔버에서 동일한 레시피가 실행된 경우, 당해 복수의 챔버에서 균일한 결과물이 얻어지는 것이 바람직하다. 따라서, 1개의 기판 처리 장치에 포함되는 복수의 챔버는 동일한 처리 성능을 갖는 것이 바람직하다. 그런데, 실제로는 복수의 챔버 사이에서 처리 성능에 차가 발생하고 있다. 이로 인해, 어느 챔버에 있어서 기판에 대한 처리가 정상적으로 행해지고 있을 때에 다른 챔버에 있어서 동일한 처리가 정상적으로 행해지고 있지 않은 경우가 있다.
그래서, 기판 처리 장치의 분야에 있어서도, 이상의 조기 발견이나 이상의 미연 방지를 도모하기 위해서, 상기 서술한 바와 같이, 각종 프로세스로 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 것이 행해지고 있다. 그런데, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터에 포함되는 각 시계열 데이터가 이상인지 여부를 판단하기 위해서는, 평가 대상이 되는 각 시계열 데이터를 이상적인 시계열의 값(데이터값)을 갖는 시계열 데이터와 비교할 필요가 있다. 이상적인 시계열의 값을 갖는 시계열 데이터로서, 예를 들어, 복수의 시계열 데이터의 평균값으로 구성되는 시계열 데이터를 이용하는 것을 생각할 수 있다. 그런데, 평균값을 산출하는 바탕이 되는 복수의 시계열 데이터 중에 다른 값과는 동떨어진 값을 갖는 데이터나 이상인 값을 갖는 다수의 데이터가 포함되는 경우, 산출되는 평균값이 반드시 이상적인 값이 되는 것은 아니므로, 이상이 정밀도 좋게 검출되지 않는다.
그래서, 본 발명은, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀도 좋게 행하는 것을 가능하게 하는 데이터 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
제1 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법으로서,
상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정 단계와,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제2 발명은, 제1 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 단위 처리 데이터마다 산출된 평가값에 의거하여 복수의 단위 처리 데이터에 대한 순위 매김이 행해지고, 당해 순위 매김의 결과에 의거하여, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터가 결정되는 것을 특징으로 한다.
제3 발명은, 제2 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 상기 순위 매김에 의한 순위가 1위인 단위 처리 데이터가, 변경 후의 기준 데이터로 정해지는 것을 특징으로 한다.
제4 발명은, 제2 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 변경 단계는,
상기 순위 매김의 결과에 따라서, 복수의 단위 처리 데이터의 각각에 대한 속성을 나타내는 속성 데이터를 랭킹 형식으로 표시하는 랭킹 표시 단계와,
상기 랭킹 표시 단계에서 표시된 복수의 속성 데이터 중에서 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터에 대한 속성 데이터를 선택하는 기준 데이터 선택 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
제5 발명은, 제1 내지 제4 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제6 발명은, 제1 내지 제5 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 단위 처리는, 기판 처리 장치에서 1장의 기판에 대해서 1개의 레시피로서 실행되는 처리인 것을 특징으로 한다.
제7 발명은, 제6 발명에 있어서,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 기판 처리 장치마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제8 발명은, 제6 발명에 있어서,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 기판 처리 장치의 도입년도마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제9 발명은, 제6 발명에 있어서,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 레시피마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제10 발명은, 제6 발명에 있어서,
상기 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비하고,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 처리 유닛마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제11 발명은, 제1 내지 제4 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 단위 처리는, 기판 처리 장치에서 1장의 기판에 대해서 1개의 레시피로서 실행되는 처리이며,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 레시피마다의 처리 횟수를 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 한다.
제12 발명은, 제6 내지 제11 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 기판 처리 장치는, 상기 기준 데이터의 변경 지시를 행하는 변경 지시부를 구비하고,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정에 추가하여, 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시를 유효하게 하는지 여부의 설정이 행해지며,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시를 유효하게 한다는 취지의 설정이 행해지고 있을 때에 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시가 행해지면, 상기 변경 타이밍의 설정의 내용에 상관없이 상기 기준 데이터가 변경되는 것을 특징으로 한다.
제13 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치로서,
상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정부와,
상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제14 발명은, 제13 발명에 있어서,
상기 기준 데이터의 이력을 파악할 수 있도록 과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터를 일람 표시한 이력 화면을 표시하는 이력 표시부를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
제15 발명은, 제14 발명에 있어서,
과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터로 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 복원부를 더 구비하고,
상기 이력 화면은, 일람 표시되어 있는 단위 처리 데이터 중 임의의 단위 처리 데이터를 외부로부터 선택할 수 있도록 구성되며,
상기 기준 데이터 복원부는, 상기 변경 타이밍의 설정의 내용에 상관없이, 상기 이력 화면에서 선택된 단위 처리 데이터로 상기 기준 데이터를 변경하는 것을 특징으로 한다.
제16 발명은, 제13 내지 제15 중 어느 한 발명에 있어서,
상기 기준 데이터 변경부는, 상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 자동적으로 변경하는 것을 특징으로 한다.
제17 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 시스템으로서,
상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정부와,
상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
제18 발명은, 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 프로그램으로서,
상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정 단계와,
상기 변경 타이밍 설정 단계에서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계를 컴퓨터의 CPU가 메모리를 이용하여 실행하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1 발명에 의하면, 각각이 복수의 시계열 데이터를 포함하는 복수의 단위 처리 데이터 중에서 선택되는 기준 데이터를 변경하는 타이밍을 설정하는 것이 가능하다. 그리고, 그 설정된 타이밍에 기준 데이터가 변경된다. 이로 인해, 변경 타이밍을 적당하게 설정해 둠으로써, 데이터 처리를 행하는 시스템의 현상에 따른 기준 데이터를 유지하는 것이 가능해진다. 이로써, 생성된 단위 처리 데이터를 시스템의 현상에 따른 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 처리의 이상을 정밀도 좋게 검출하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀도 좋게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제2 발명 및 상기 제3 발명에 의하면, 이상적인 시계열의 값을 갖는 단위 처리 데이터를 변경 후의 기준 데이터로 정하는 것이 가능해진다.
상기 제4 발명에 의하면, 평가값에 의거하는 순위 매김의 결과를 참조하면서 임의의 단위 처리 데이터를 변경 후의 기준 데이터로서 선택할 수 있으므로, 사용자의 요구에 합치한 기준 데이터의 선택이 가능해진다.
상기 제5 발명에 의하면, 사용자의 희망하는 기간 간격으로 기준 데이터를 변경하는 것이 가능해진다.
상기 제6부터 상기 제11까지의 발명에 의하면, 기판 처리 장치에서 실행된 처리로 발생한 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀도 좋게 행하는 것이 가능해진다.
상기 제12 발명에 의하면, 사용자의 희망하는 임의의 타이밍에 기준 데이터를 변경하는 것이 가능해진다.
상기 제13 발명에 의하면, 상기 제1 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제14 발명에 의하면, 기준 데이터의 이력을 참조하면서 시계열 데이터를 분석하는 것이 가능해진다.
상기 제15 발명에 의하면, 필요에 따라서 과거의 기준 데이터를 복원하는 것이 가능해진다.
상기 제16 발명에 의하면, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터의 작업자에 의한 선택이 불필요해지므로, 작업자의 조작 부하가 경감된다. 또, 작업자의 조작 실수에 의해서 부적당한 단위 처리 데이터가 기준 데이터로 설정되는 것이 방지된다.
상기 제17 발명에 의하면, 상기 제1 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
상기 제18 발명에 의하면, 상기 제1 발명과 동일한 효과가 얻어진다.
도 1은 본 발명의 제1 실시 형태에 따르는 기판 처리 시스템의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 2는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 3은 어느 1개의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다.
도 4는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 단위 처리 데이터에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 5는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 기판 처리 장치의 제어부의 하드웨어 구성을 도시한 블럭도이다.
도 6은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 시계열 데이터 DB에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 기준 데이터 DB에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 8은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 관리 서버의 하드웨어 구성을 도시한 블럭도이다.
도 9는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리의 순서를 나타낸 플로차트이다.
도 10은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 변경 타이밍 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 11은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 변경 지정일에 도달되어 있는지 여부의 판정에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 12는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 변경 타이밍의 설정 변경에 수반하는 변경 지정일의 변화에 대해 설명하기 위한 도면이다.
도 13은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 단위 처리 데이터 평가 처리의 순서를 나타낸 플로차트이다.
도 14는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 스코어링 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 15는 상기 제1 실시 형태에 있어서, 스코어링 결과 일람 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 16은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 추장(推奬) 설정시의 스코어링 결과 일람 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 17은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 추장 설정시의 스코어링 결과 일람 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 18은 상기 제1 실시 형태에 있어서, 랭킹 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 19는 본 발명의 제2 실시 형태에 있어서, 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리의 순서를 나타낸 플로차트이다.
도 20은 상기 제2 실시 형태에 있어서, 변경 타이밍 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 21은 제1 변형예에 있어서, 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리의 순서를 나타낸 플로차트이다.
도 22는 상기 제1 변형예에 있어서, 랭킹 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 23은 상기 제1 변형예에 있어서, 기준 데이터의 변경이 행해질 때의 랭킹 화면의 천이를 설명하기 위한 도면이다.
도 24는 제2 변형예에 있어서, 변경 타이밍 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 25는 제3 변형예에 있어서, 변경 타이밍 설정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 26은 제4 변형예에 있어서, 기준 데이터 이력 화면의 일례를 도시한 도면이다.
도 27은 제4 변형예에 있어서, 기간 지정 화면의 일례를 도시한 도면이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다.
＜1. 제1 실시 형태＞
＜1.1 시스템의 구성＞
도 1은, 본 발명의 제1 실시 형태에 따르는 기판 처리 시스템(데이터 처리 시스템)의 개략 구성을 도시한 도면이다. 이 기판 처리 시스템은, 복수의 기판 처리 장치(1)와, 당해 복수의 기판 처리 장치(1)를 관리하는 관리 서버(2)에 의해서 구성되어 있다. 복수의 기판 처리 장치(1)와 관리 서버(2)는 LAN 등의 통신 회선을 통해 서로 접속되어 있다. 또한, 여기에서는 특별히 거절하지 않는 한, 각각 「01A」, 「02A」라고 하는 장치 번호가 붙여진 2대의 기판 처리 장치(1)가 설치되어 있다고 가정한다.
＜1.1.1 기판 처리 장치＞
도 2는, 본 실시 형태에 따르는 기판 처리 장치(1)의 개략 구성을 도시한 도면이다. 기판 처리 장치(1)는, 인덱서부(10)와 처리부(20)를 구비하고 있다. 인덱서부(10)는, 복수 장의 기판을 수용 가능한 기판 수용기(카세트)를 올려놓기 위한 복수 개의 기판 수용기 유지부(12)와, 기판 수용기로부터의 기판의 반출 및 기판 수용기로의 기판의 반입을 행하는 인덱서 로봇(14)을 포함하고 있다. 처리부(20)는, 처리액을 이용하여 기판의 세정 등의 처리를 행하는 복수 개의 처리 유닛(22)과, 처리 유닛(22)으로의 기판의 반입 및 처리 유닛(22)으로부터의 기판의 반출을 행하는 기판 반송 로봇(24)을 포함하고 있다. 처리 유닛(22)의 수는, 예를 들어 12개이다. 이 경우, 예를 들어, 3개의 처리 유닛(22)을 적층한 타워 구조체가 도 2에 도시한 바와 같이 기판 반송 로봇(24)의 주위의 4개소에 설치된다. 각 처리 유닛(22)에는 기판에 대한 처리를 행하는 공간인 챔버가 설치되어 있고, 챔버 내에서 기판에 처리액이 공급된다. 또, 기판 처리 장치(1)는, 그 내부에, 마이크로 컴퓨터로 구성되는 제어부(100)를 구비하고 있다.
기판에 대한 처리가 행해질 때, 인덱서 로봇(14)은, 기판 수용기 유지부(12)에 올려놓여져 있는 기판 수용기로부터 처리 대상의 기판을 취출하여, 당해 기판을 기판 수도(受渡)부(8)를 통해 기판 반송 로봇(24)에 건네준다. 기판 반송 로봇(24)은, 인덱서 로봇(14)으로부터 수취한 기판을 대상의 처리 유닛(22)에 반입한다. 기판에 대한 처리가 종료하면, 기판 반송 로봇(24)은, 대상의 처리 유닛(22)으로부터 기판을 취출하여, 당해 기판을 기판 수도부(8)를 통해 인덱서 로봇(14)에 건네준다. 인덱서 로봇(14)은, 기판 반송 로봇(24)으로부터 수취한 기판을 대상의 기판 수용기에 반입한다.
제어부(100)는, 인덱서부(10) 및 처리부(20)에 포함되어 있는 제어 대상(인덱서 로봇(14)을 이동시키는 이동 기구 등)의 동작을 제어한다. 또, 제어부(100)는, 이 기판 처리 장치(1)에서 레시피가 실행됨으로써 얻어지는 시계열 데이터를 축적하여 유지하고, 당해 시계열 데이터를 이용한 각종 데이터 처리를 행한다.
＜1.1.2 시계열 데이터＞
본 실시 형태에 따르는 기판 처리 장치(1)에서는, 각 처리 유닛(22)에 있어서의 처리에 관한 기기의 이상이나 각 처리 유닛(22)에서 행해진 처리의 이상 등을 검출하기 위해서, 레시피가 실행될 때마다, 시계열 데이터가 취득된다. 본 실시 형태에서 취득되는 시계열 데이터는, 레시피가 실행되었을 때에 각종의 물리량(예를 들어, 노즐의 유량, 챔버의 내압, 챔버의 배기압 등)을 센서 등을 이용하여 측정하고 측정 결과를 시계열로 늘어놓아 얻어진 데이터이다. 후술하는 데이터 처리 프로그램에서는, 각종의 물리량은 각각 대응하는 파라미터의 값으로서 처리된다. 또한, 1개의 파라미터는 1종류의 물리량에 대응한다.
도 3은, 어느 1개의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타낸 도면이다. 이 시계열 데이터는, 1개의 레시피가 실행되었을 때에 1개의 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 1장의 기판에 대한 처리에 의해서 얻어진 어느 물리량에 대한 데이터이다. 또한, 시계열 데이터는 복수의 이산값으로 구성되는 데이터인데, 도 3에서는 시간적으로 인접하는 2개의 데이터값의 사이를 직선으로 연결하고 있다. 그런데, 1개의 레시피가 실행되었을 때에는, 당해 레시피가 실행된 처리 유닛(22)마다, 다양한 물리량에 대한 시계열 데이터가 얻어진다. 그래서, 이하, 1개의 레시피가 실행되었을 때에 1개의 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 1장의 기판에 대해서 행해지는 처리를 「단위 처리」라고 하고, 단위 처리에 의해서 얻어지는 한 무리의 시계열 데이터를 「단위 처리 데이터」라고 한다. 1개의 단위 처리 데이터에는, 모식적으로는 도 4에 도시한 바와 같이, 복수의 파라미터에 대한 시계열 데이터 및 해당의 단위 처리 데이터를 특정하기 위한 복수의 항목(예를 들어, 처리의 개시 시각·처리의 종료 시각 등)의 데이터 등으로 이루어지는 속성 데이터가 포함되어 있다. 또한, 도 4에 관하여, 「파라미터 A」, 「파라미터 B」, 및 「파라미터 C」는, 서로 상이한 종류의 물리량에 대응하고 있다.
기기나 처리의 이상을 검출하기 위해서는, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터를, 처리 결과로서 이상적인 데이터값을 갖는 단위 처리 데이터와 비교해야만 한다. 보다 상세하게는, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터를, 각각, 처리 결과로서 이상적인 데이터값을 갖는 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터와 비교해야만 한다. 그래서, 본 실시 형태에서는, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서, 평가 대상의 단위 처리 데이터와 비교하기 위한 단위 처리 데이터(평가 대상의 단위 처리 데이터에 포함되는 복수의 시계열 데이터와 각각 비교하기 위한 복수의 시계열 데이터로 이루어지는 단위 처리 데이터)가 기준 데이터로서 레시피마다 정해져 있다.
또한, 본 실시 형태에서는, 2대의 기판 처리 장치(1)의 각각에 있어서, 처리 유닛(22)의 수(챔버의 수)에 상관없이, 레시피마다 기준 데이터가 정해진다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 레시피마다 또한 처리 유닛(22)마다(즉, 각 레시피에 대해 처리 유닛(22)마다) 기준 데이터를 정하도록 해도 된다. 또, 본 실시 형태에서는, 각 레시피에 대해 기판 처리 장치(1)마다 기준 데이터가 정해진다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 각 레시피에 대해서 2대의 기판 처리 장치(1)에 공통인 하나의 기준 데이터를 정하도록 해도 된다. 이 경우, 기준 데이터로 정하는 단위 처리 데이터를 한쪽의 기판 처리 장치(1)에서 얻어진 단위 처리 데이터에 한정해도 되고, 적당히 어느 한쪽의 기판 처리 장치(1)에서 얻어진 단위 처리 데이터를 기준 데이터로 정하도록 해도 된다.
＜1.1.3 기판 처리 장치의 제어부의 구성＞
다음으로, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)의 구성에 대해 설명한다. 도 5는, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100)의 하드웨어 구성을 도시한 블럭도이다. 제어부(100)는, CPU(110)와 주메모리(120)와 보조 기억 장치(130)와 표시부(140)와 입력부(150)와 통신 제어부(160)를 구비하고 있다. CPU(110)는, 주어진 명령에 따라 각종 연산 처리 등을 행한다. 주메모리(120)는, 실행 중의 프로그램이나 데이터 등을 일시적으로 저장한다. 보조 기억 장치(130)는, 전원이 오프되어도 유지되어야 할 각종 프로그램·각종 데이터를 저장한다. 본 실시 형태에 있어서는, 구체적으로는, 후술하는 데이터 처리를 실행하기 위한 데이터 처리 프로그램(132)이 보조 기억 장치(130)에 저장되어 있다. 또, 보조 기억 장치(130)에는, 시계열 데이터 DB(134) 및 기준 데이터 DB(136)가 설치되어 있다. 또한, 「DB」는 「database」의 약칭이다. 시계열 데이터 DB(134)에는, 모식적으로는 도 6에 도시한 바와 같이, 소정 기간분의 단위 처리 데이터가 저장되어 있다. 기준 데이터 DB(136)에는, 모식적으로는 도 7에 도시한 바와 같이, 레시피마다, 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터가 저장되어 있다(「레시피A」, 「레시피B」, 및 「레시피C」는, 서로 상이한 레시피를 나타내고 있다). 표시부(140)는, 예를 들어, 오퍼레이터가 작업을 행하기 위한 각종 화면을 표시한다. 입력부(150)는, 예를 들어 마우스나 키보드 등이며, 오퍼레이터에 의한 외부로부터의 입력을 받아들인다. 통신 제어부(160)는, 데이터 송수신의 제어를 행한다.
이 기판 처리 장치(1)가 기동하면, 데이터 처리 프로그램(132)이 주메모리(120)에 판독되고, 그 주메모리(120)에 판독된 데이터 처리 프로그램(132)을 CPU(110)가 실행한다. 또한, 데이터 처리 프로그램(132)은, 예를 들어, CD－ROM, DVD－ROM, 플래쉬 메모리 등의 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 제공된다.
＜1.1.4 관리 서버의 구성＞
다음으로, 관리 서버(2)의 구성에 대해 설명한다. 도 8은, 관리 서버(2)의 하드웨어 구성을 도시한 블럭도이다. 관리 서버(2)는, CPU(210)와 주메모리(220)와 보조 기억 장치(230)와 표시부(240)와 입력부(250)와 통신 제어부(260)를 구비하고 있다. CPU(210), 주메모리(220), 보조 기억 장치(230), 표시부(240), 입력부(250), 및 통신 제어부(260)는, 각각, 기판 처리 장치(1)의 제어부(100) 내의 CPU(110), 주메모리(120), 보조 기억 장치(130), 표시부(140), 입력부(150), 및 통신 제어부(160)와 동일한 기능을 갖는다. 단, 보조 기억 장치(230)에는, 보조 기억 장치(130) 내에 저장되어 있는 데이터 처리 프로그램(132)과는 상이한 데이터 처리 프로그램(232)이 저장되어 있다.
이 관리 서버(2)가 기동하면, 데이터 처리 프로그램(232)이 주메모리(220)에 판독되고, 그 주메모리(220)에 판독된 데이터 처리 프로그램(232)을 CPU(210)가 실행한다. 또한, 데이터 처리 프로그램(232)은, 예를 들어, CD－ROM, DVD－ROM, 플래쉬 메모리 등의 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 제공된다. 기판 처리 장치(1)용의 데이터 처리 프로그램(132)과 관리 서버(2)용의 데이터 처리 프로그램(232)을 1개로 정리한 프로그램이 기록 매체에 기록된 형태나 네트워크를 통한 다운로드의 형태로 기판 처리 장치(1) 및 관리 서버(2)에 제공되어도 된다.
＜1.2 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리 방법＞
본 실시 형태에 따르는 기판 처리 시스템에서는, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서의 각 레시피에 대한 기준 데이터가, 지정된 타이밍에 변경된다. 그래서, 이하, 도 9에 도시한 플로차트를 참조하면서, 기준 데이터의 변경에 관한 처리의 흐름을 설명한다. 도 9에서는, 좌측에 관리 서버(2)의 처리의 흐름을 나타내고, 우측에 기판 처리 장치(1)의 처리의 흐름을 나타내고 있다. 단계 S100~단계 S130의 처리는 관리 서버(2)에 있어서 CPU(210)가 데이터 처리 프로그램(232)을 실행함으로써 실현되고, 단계 S200~단계 S220의 처리는 기판 처리 장치(1)에 있어서 CPU(110)가 데이터 처리 프로그램(132)을 실행함으로써 실현된다. 또한, 이하에 있어서는, 평가 대상의 단위 처리 데이터를 「평가 대상 데이터」라고 한다.
우선, 관리 서버(2)에 있어서, 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 작업자의 조작에 의해서 행해진다(단계 S100). 그때, 예를 들어 도 10에 도시한 변경 타이밍 설정 화면(70)이 관리 서버(2)의 표시부(240)에 표시된다. 변경 타이밍 설정 화면(70)에는, 설정용 영역(700)과 OK 버튼(78)과 Cancel 버튼(79)이 포함되어 있다. OK 버튼(78)은, 설정 내용을 확정하기 위한 버튼이다. Cancel 버튼(79)은, 설정 내용을 취소하기 위한 버튼이다.
변경 타이밍 설정 화면(70)의 설정용 영역(700)에서는, 「장치 번호」, 「도입년도」, 및 「처리 레시피」라고 하는 3개의 항목에 대해 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 가능하게 되어 있다. 각 항목에 대해서, 1개 또는 복수의 설정 대상이 설치된다. 예를 들어, 항목 「도입년도」에 대해서는, 「2016」 및 「2017」이라고 하는 2개의 설정 대상이 설치되어 있다. 변경 타이밍의 설정은, 어느 시점에 기준 데이터의 변경이 행해지고 나서 다음에 기준 데이터의 변경이 행해질 때까지의 기간의 길이인 경과 시간(즉, 기준 데이터를 변경하는 시간 간격)을 설정 대상마다 지정함으로써 행해진다. 항목 「장치 번호」에 착목하면, 장치마다 변경 타이밍을 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 장치 번호는, 기판 처리 장치(1)를 오로지 식별하기 위한 번호이다. 항목 「도입년도」에 착목하면, 도입년도마다 변경 타이밍을 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 도입년도는, 기판 처리 장치(1)를 이 기판 처리 시스템에 도입한 연도를 의미한다. 항목 「처리 레시피」에 착목하면, 레시피마다 변경 타이밍을 설정하는 것이 가능하게 되어 있다.
도 10에 도시한 바와 같이, 설정용 영역(700)에는, 설정 대상마다 스핀 컨트롤 박스(71)와 드롭 다운 리스트(72)가 설치되어 있다. 스핀 컨트롤 박스(71)는, 설정하는 기간의 길이를 지정하기 위한 인터페이스이다. 이 스핀 컨트롤 박스(71)는, 기간의 길이를 나타낸 수치를 증감시키는 것이 가능하게 구성되어 있다. 드롭 다운 리스트(72)는, 설정하는 기간의 단위를 지정하기 위한 인터페이스이다. 이 드롭 다운 리스트(72)에서 지정할 수 있는 단위는, 「년」, 「월」, 및 「일」 중 어느 하나이다.
상기 서술한 바와 같이, 본 실시 형태에서는, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서, 레시피마다 기준 데이터가 정해져 있다. 이것에 입각하면서, 이 변경 타이밍 설정 화면(70)에서 설정된 내용에 의거하여 기준 데이터가 어떻게 변경되는지에 대해서 설명한다.
도 10에 도시한 예에서는, 항목 「장치 번호」에 관하여, 설정 대상 「01A」에 대해서는 경과 시간이 「1년」으로 설정되어 있다. 이러한 설정이 행해져 있는 경우, 장치 번호가 「01A」인 기판 처리 장치(1)에서는, 모든 레시피에 대해 1년 마다 기준 데이터가 변경된다. 또, 도 10에 도시한 예에서는, 항목 「도입년도」에 관하여, 설정 대상 「2016」에 대해서는 경과 시간이 「7일」로 설정되어 있다. 이러한 설정이 행해져 있는 경우, 도입년도가 2016년인 기판 처리 장치(1)에서는, 모든 레시피에 대해 7일마다 기준 데이터가 변경된다. 또한, 도 10에 도시한 예에서는, 항목 「처리 레시피」에 관하여, 설정 대상 「레시피A」에 대해서는 경과 시간이 「1년」으로 설정되어 있다. 이러한 설정이 행해져 있는 경우, 모든 기판 처리 장치(1)에 있어서, 「레시피A」라고 하는 레시피에 대한 기준 데이터가 1년마다 변경된다.
이상으로부터, 도 10에 도시한 예에서는, 예를 들어 장치 번호가 「01A」이며 2016년에 도입된 기판 처리 장치(1)에 있어서의 「레시피A」라고 하는 레시피에 대한 기준 데이터는, 7일마다의 타이밍 및 1년마다의 타이밍에 변경된다. 또, 예를 들어 장치 번호가 「02A」이며 2017년에 도입된 기판 처리 장치(1)에 있어서의 「레시피A」라고 하는 레시피에 대한 기준 데이터는, 2개월마다의 타이밍, 3개월마다의 타이밍, 및 1년마다의 타이밍에 변경된다.
또한, 변경 타이밍 설정 화면(70)에 있어서 경과 시간을 「0」 또는 「공백」으로 설정하는 것을 가능하게 하고, 경과 시간이 「0」 또는 「공백」으로 설정된 설정 대상에 대해서는 후술하는 단계 S120의 처리시에 무시되도록 해도 된다. 또, 처리 유닛(22)마다 기준 데이터를 정하는 구성이 채용되고 있는 경우에는, 장치마다 또한 처리 유닛(22)마다 변경 타이밍을 설정하는 것을 가능하게 해도 된다.
도 9에 도시한 플로에 관하여, 상기 서술한 바와 같이 변경 타이밍 설정 화면(70)을 이용하여 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 행해진 후, 관리 서버(2)에서는 가동 기간의 카운트업이 행해진다(단계 S110). 구체적으로는, 데이터 처리 프로그램(232)에 가동 기간 카운트용의 변수(이하, 「가동 기간 변수」라고 한다)(CntD)가 준비되어 있고, 당해 가동 기간 변수(CntD)의 값이 1일 경과할 때마다 「1」만큼 가산된다.
가동 기간 변수(CntD)의 값에 「1」이 가산되면, 각 설정 대상에 대해서, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 의거하여 기준 데이터의 변경이 행해져야만 하는 일(이하, 편의상 「변경 지정일」이라고 한다)에 도달되어 있는지 여부의 판정이 행해진다(단계 S120). 판정의 결과, 변경 지정일에 도달되어 있는 설정 대상이 존재하면, 처리는 단계 S130으로 진행된다. 한편, 변경 지정일에 도달되어 있는 설정 대상이 존재하지 않으면, 처리는 단계 S110으로 돌아온다.
여기서, 도 11을 참조하면서, 변경 지정일에 도달되어 있는지 여부를 판정하는 구체적인 수법의 일례를 설명한다. 단, 본 발명은, 이것에 한정되지 않는다. 또한, 가동 기간 변수(CntD)의 카운트는 변경 타이밍의 설정이 최초로 행해진 일을 기준일로 하여 행해진다고 가정한다. 여기에서는, 도 10에 도시한 예에 있어서, 항목 「도입년도」 중 설정 대상 「2017」에 착목한다. 해당의 설정 대상에 대해서는, 경과 시간은 「2월」로 설정되어 있다. 이때, 예를 들어, 기준일이 어느 년의 5월 3일이면, 도 11에 도시한 바와 같이, 해당의 설정 대상에 대한 변경 지정일은 5월 3일부터 2개월마다의 일(7월 3일, 9월 3일, 11월 3일,...)이 된다. 이 변경 지정일의 정보와 기준일의 정보로부터, 각 변경 지정일에 대해서, 기준일부터의 경과일수를 구할 수 있다. 예를 들어, 기준일과 동일한 년의 9월 3일에 대해서는, 기준일부터의 경과일수는 123일이다. 이와 같이 하여 기준일부터 각 변경 지정일까지의 경과일수를 구할 수 있으므로, 당해 경과일수와 가동 기간 변수(CntD)의 값을 비교함으로써, 변경 지정일에 도달되어 있는지 여부를 판정할 수 있다. 예를 들어 7월 3일에는 가동 기간 변수(CntD)의 값이 「61」이 되므로, 해당의 설정 대상에 대해 변경 지정일에 도달했다는 취지의 판정을 행할 수 있다.
그런데, 변경 타이밍이 최초로 설정된 후, 각 설정 대상에 대해 변경 타이밍의 설정 변경이 행해지는 경우도 있다. 이러한 경우에 변경 타이밍의 설정 변경에 수반하여 변경 지정일이 어떻게 변화하는지에 대해서, 도 12를 참조하면서 설명한다. 여기에서는, 어느 설정 대상에 대해서, 변경 타이밍(경과 시간)이 「8일」부터 「6일」로 변경된다고 가정한다. 또, 그 설정 변경은, 기준일부터 12일 경과 후에 행해진다고 가정한다. 이 경우, 변경 타이밍의 설정이 최초로 행해진 시점에는, 해당의 설정 대상에 대한 변경 지정일은 기준일부터 8일마다의 일(기준일부터의 경과일수가, 8, 16, 24,...)이 된다. 이 상태에 있어서, 상기 서술한 바와 같이, 기준일부터 12일 경과 후로 설정 변경이 행해진다. 이때, 직전에 기준 데이터의 변경이 행해진 것은 기준일부터 8일 후이므로, 예를 들어, 도 12에서 부호 76으로 나타낸 바와 같이 기준일부터 8일 후의 일로부터 6일마다의 일(기준일부터의 경과일수가, 14, 20, 26,...)을 변경 지정일로 정할 수 있다. 또, 예를 들어, 도 12에서 부호 77로 나타낸 바와 같이, 설정 변경이 행해진 일로부터 6일마다의 일(기준일부터의 경과일수가, 18, 24, 30,...)을 변경 지정일로 정할 수 있다. 이와 같이, 변경 타이밍의 설정 변경이 행해진 경우의 처리에 대해서는, 특별히 한정되지 않으며, 적당히 정한 룰에 따라서 변경 지정일이 변경되면 된다.
도 9에 도시한 플로에 관하여, 단계 S130에서는, 관리 서버(2)가, 기준 데이터를 변경할 필요가 있는 기판 처리 장치(1)에 대해서, 기준 데이터의 변경을 지시한다. 이때, 항목 「처리 레시피」에 관한 설정 대상이 변경 지정일에 도달한 것이면, 해당의 레시피에 대한 기준 데이터의 변경이 지시된다. 이에 비해, 항목 「장치 번호」 혹은 항목 「도입년도」에 관한 설정 대상이 변경 지정일에 도달한 것이면, 모든 레시피에 대한 기준 데이터의 변경이 지시된다.
그 후, 관리 서버(2)에서는, 처리는 단계 S110으로 돌아온다. 한편, 기준 데이터를 변경할 필요가 있는 기판 처리 장치(1)는, 관리 서버(2)로부터의 지시를 수신한다(단계 S200). 기준 데이터의 변경의 지시를 수신한 기판 처리 장치(1)는, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터를 결정하기 위한 랭킹 처리를 행한다(단계 S210). 본 실시 형태에 있어서의 랭킹 처리는, 기준 데이터를 변경하는 대상의 레시피의 실행에 의해서 얻어진 복수의 단위 처리 데이터에 대해서 3개의 지표에 의거하여 순위 매김을 행하는 일련의 처리이다. 또한, 랭킹 처리에 대한 상세한 설명은 후술한다.
기판 처리 장치(1)에서는, 랭킹 처리의 종료 후, 랭킹 처리의 결과에 의거하여, 기준 데이터가 변경된다(단계 S220). 상세하게는, 기준 데이터 DB(136)(도 7 참조)에 유지되어 있는 단위 처리 데이터 중 해당의 레시피에 대응하는 단위 처리 데이터가, 단계 S210에서의 랭킹 처리로 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터로 바꿔 쓸 수 있다. 이와 같이 하여, 랭킹 처리로 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터 즉 이상적인 시계열의 값을 갖는 단위 처리 데이터가 변경 후의 기준 데이터가 된다.
기판 처리 장치(1)에서는, 변경 지정일에 도달한 설정 대상에 대응하는 기준 데이터가 변경된 후, 처리는 단계 S200으로 돌아온다. 즉, 기판 처리 장치(1)는, 기준 데이터의 변경의 지시가 관리 서버(2)로부터 보내지는 것을 대기하는 상태가 된다.
관리 서버(2) 및 각 기판 처리 장치(1)에서 이상과 같은 처리가 행해짐으로써, 각 기판 처리 장치(1)에 유지되어 있는 각 레시피에 대한 기준 데이터는, 설정된 변경 타이밍에 따라서 변경된다.
그런데, 도 10에 도시한 예에서는, 장치 번호가 「01A」이며 2016년에 도입된 기판 처리 장치(1)에 있어서의 「레시피A」라고 하는 레시피에 대한 기준 데이터에 착목하면, 당해 기준 데이터의 변경 타이밍(경과 시간)으로서 「1년」 및 「7일」이라고 하는 2개의 설정이 이루어져 있게 된다. 이러한 경우, 본 실시 형태에서는, 당해 기준 데이터의 변경은, 7일마다의 타이밍 및 1년마다의 타이밍에 행해진다. 그러나, 이러한 경우에 7일마다의 타이밍만으로 당해 기준 데이터의 변경이 행해져도 된다. 즉, 도 10에 도시한 예의 경우, 당해 기준 데이터에 대해서는, 적어도 7일마다 변경되도록 하면 된다. 이와 같이, 각 레시피에 대한 기준 데이터의 변경은, 적어도, 변경 타이밍 설정 화면(70)에 설정된 해당의 변경 타이밍 중 최소의 타이밍에 행해지면 된다.
＜1.3 단위 처리 데이터 평가 처리＞
본 실시 형태에 있어서는, 랭킹 처리(복수의 단위 처리 데이터의 순위 매김)를 가능하게 하기 위해서, 각 기판 처리 장치(1)에서는, 임의의 레시피가 실행될 때마다, 당해 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터의 평가를 행하는 단위 처리 데이터 평가 처리가 행해진다. 이하, 도 13에 도시한 플로차트를 참조하면서, 이 단위 처리 데이터 평가 처리에 대해 설명한다. 또한, 여기에서는, 1개의 레시피에 착목하여, 당해 레시피를 「착목 레시피」라고 한다.
우선, 기판 처리 장치(1)에서 착목 레시피가 실행됨으로써, 착목 레시피가 실행된 처리 유닛(22)으로부터 얻어진 평가 대상 데이터에 의거하는 스코어링이 행해진다(단계 S310). 또한, 스코어링이란, 평가 대상 데이터와 기준 데이터 사이에서 각 파라미터의 시계열 데이터를 비교하여 그것에 의해 얻어지는 결과를 수치화하는 처리이다. 만일 착목 레시피가 8개의 처리 유닛(22)에서 실행된 경우, 당해 8개의 처리 유닛(22)으로부터 얻어지는 8개의 평가 대상 데이터의 각각에 의거하여 스코어링이 행해짐(즉, 단위 처리마다 스코어링이 행해짐)에 따라, 8개의 스코어링 결과가 얻어진다. 스코어링에서는, 복수의 평가 항목에 대해 「양호」 또는 「불량」의 판단이 행해진다. 그 판단은, 각 파라미터에 대해서, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 의거하여 얻어지는 검사값을 당해 검사값에 대응하는 역치와 비교함으로써 행해진다(실질적으로는, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터를 비교함으로써 행해진다). 이에 관하여, 검사값이 역치를 초과한 경우에, 해당의 평가 항목이 「불량」이라고 판단된다. 또한, 1개의 파라미터에 대해서 복수의 평가 항목이 설치되어 있어도 된다. 본 실시 형태에 있어서는, 각 평가 대상 데이터의 스코어링 결과는, 평가 항목의 총 수를 분모로 하고 불량이라고 판단된 평가 항목의 수를 분자로 하는 양태로 나타낸다.
이하에 평가 항목의 예를 든다.
예 1：어느 파라미터에 관한 안정 기간(도 3 참조)에 있어서의 시계열 데이터의 평균값
예 2：어느 파라미터에 관한 안정 기간(도 3 참조)에 있어서의 시계열 데이터의 최대값
예 3：어느 파라미터에 관한 상승 기간(도 3 참조)의 길이
예 1의 평가 항목에 대해서는, 해당의 파라미터에 관한 안정 기간에 있어서의 “평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 평균값과 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 평균값의 차”가 상기 검사값이 된다. 예 2의 평가 항목에 대해서는, 해당의 파라미터에 관한 안정 기간에 있어서의 “평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값과 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값의 차”가 상기 검사값이 된다. 예 3의 평가 항목에 대해서는, 해당의 파라미터에 관한 “평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 대한 상승 기간의 길이와 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 대한 상승 기간의 길이의 차”가 상기 검사값이 된다.
그런데, 스코어링시에, 각 시계열 데이터의 정규화가 행해지도록 해도 된다. 예를 들어, 각 파라미터에 대해서, 기준 데이터에 포함되는 시계열 데이터의 최대값이 1, 최소값이 0으로 변환되도록, 평가 대상 데이터에 포함되는 시계열 데이터에 선형 변환이 실시되도록 해도 된다. 또, 평가 대상 데이터에는 일반적으로 복수의 파라미터의 시계열 데이터가 포함되어 있는데, 일부의 파라미터의 시계열 데이터에 대해서만 정규화가 행해지도록 해도 된다. 또한, 필요에 따라서 시계열 데이터의 정규화를 행함으로써, 후술하는 평가값을 보다 적절하게 산출하는 것이 가능해진다.
스코어링의 종료 후, 스코어링의 결과의 표시가 행해진다(단계 S320). 이것에 대해서는, 우선, 스코어링의 결과의 개략을 나타낸 예를 들어 도 14에 도시한 스코어링 화면(30)이 표시부(140)에 표시된다. 스코어링 화면(30)에는, 처리 유닛(22)의 수에 동일한 수의 버튼(32)이 설치되어 있다. 버튼(32) 내에는, 처리 유닛명 표시 영역(321)과 처리 장수 표시 영역(322)과 에러수의 표시 영역(323)이 설치되어 있다. 처리 유닛명 표시 영역(321)에는, 해당의 처리 유닛(22)의 명칭이 표시된다. 처리 장수 표시 영역(322)에는, 해당의 처리 유닛(22) 내의 챔버에서 소정 기간 내에 처리된 기판의 총 수가 표시된다. 에러수의 표시 영역(323)에는, 발생한 에러 건수가 표시된다. 또한, 에러가 발생되어 있는 처리 유닛(22)에 대해서는, 부호 34로 나타낸 바와 같이, 에러 건수에 따른 크기의 원이 에러수의 표시 영역(323)에 표시된다.
이상과 같은 스코어링 화면(30) 중 어느 버튼(32)이 압하되면, 해당의 처리 유닛(22)에서 실행된 단위 처리의 스코어링 결과를 나타낸 화면이 표시된다. 그리고, 당해 화면상에서 1개의 단위 처리가 선택되면, 그 선택된 단위 처리에 대응하는 레시피에 대한 스코어링 결과를 일람 표시한 예를 들어 도 15에 도시한 스코어링 결과 일람 화면(40)이 표시부(140)에 표시된다.
도 15에 도시한 바와 같이, 스코어링 결과 일람 화면(40)에는, 버튼 표시 영역(41)과 검색 대상 표시 영역(42)과 항목명 표시 영역(43)과 결과 표시 영역(44)과 기간 표시 영역(45)이 포함되어 있다. 버튼 표시 영역(41)에는, Good 버튼(411)과 Bad 버튼(412)이 설치되어 있다.
검색 대상 표시 영역(42)에는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭 및 검색 대상의 레시피(여기에서는, 착목 레시피)의 명칭이 표시된다. 도 15에 도시한 예에서는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭이 「Chamber3」이며 검색 대상의 레시피의 명칭이 「Flushing test2」인 것으로 파악된다.
항목명 표시 영역(43)에는, 결과 표시 영역(44)에 표시하는 내용(속성 데이터)의 항목명이 표시된다. 「Failed/Total」은, 스코어링 결과를 나타낸 항목명이다. 또한, 「Failed」는 불량이라고 판단된 평가 항목의 수에 상당하고, 「Total」은 평가 항목의 총 수에 상당한다. 「Start time」은, 착목 레시피의 개시 시각을 나타낸 항목명이다. 「End time」은, 착목 레시피의 종료 시각을 나타낸 항목명이다. 「Process time」은, 착목 레시피의 처리 시간을 나타낸 항목명이다. 「Alarm」은, 착목 레시피의 실행시에 발생한 알람수를 나타낸 항목명이다. 「Substrate ID」는, 착목 레시피에 의한 처리를 행한 기판(웨이퍼)을 오로지 식별하기 위한 번호를 나타낸 항목명이다. 「Recommend(Good/Bad)」는, 후술하는 추장도를 나타낸 항목명이다. 또한, 「Good」은 고평가의 정도를 나타낸 값(이하, 「Good값」이라고 한다)에 상당하고, 「Bad」는 저평가의 정도를 나타낸 값(이하, 「Bad값」이라고 한다)에 상당한다. 추장도는, 이들 Good값과 Bad값으로 이루어진다.
결과 표시 영역(44)에는, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터의 속성 데이터(각종 정보나 스코어링 결과 등)가 표시된다. 도 15에 도시한 예에서는, 8개의 단위 처리 데이터의 속성 데이터가 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있다. 작업자는, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 1개의 속성 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다.
기간 표시 영역(45)에는, 미리 설정된 검색 대상 기간이 표시된다. 이 검색 대상 기간에 착목 레시피가 실행됨으로써 얻어진 단위 처리 데이터의 속성 데이터가, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있다. 도 15에 도시한 예에서는, 검색 대상 기간이 2017년 7월 19일의 오후 7시 39분 34초부터 2017년 8월 19일의 오후 7시 39분 34초까지의 1개월간인 것으로 파악된다.
여기서, 버튼 표시 영역(41)에 설치되어 있는 각 버튼의 기능을 설명한다. Good 버튼(411)은, 결과 표시 영역(44) 내에서 선택되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터의 평가값을 높이는 것이 바람직할 때에 작업자가 압하하기 위한 버튼이다. Bad 버튼(412)은, 결과 표시 영역(44) 내에서 선택되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터의 평가값을 낮추는 것이 바람직할 때에 작업자가 압하하기 위한 버튼이다. 또한, 평가값에 대한 설명은 후술한다.
스코어링 결과 일람 화면(40)의 표시 후, 필요에 따라서, 각 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 추장하는 정도를 나타낸 추장도의 설정(추장 설정)이 행해진다(단계 S330). 추장 설정은, 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 속성 데이터 중 설정 대상의 단위 처리 데이터에 대응하는 속성 데이터가 선택되어 있는 상태로 Good 버튼(411) 혹은 Bad 버튼(412)을 압하함으로써 행해진다. 그때, 설정 대상의 단위 처리 데이터가 기준 데이터로서 바람직한 경우에는 작업자는 Good 버튼(411)을 압하하고, 설정 대상의 단위 처리 데이터가 기준 데이터로서 바람직하지 않은 경우에는 작업자는 Bad 버튼(412)을 압하한다. 이에 관하여, 스코어링 결과 일람 화면(40)이 표시된 직후에는, Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412)은 선택 불가능한 상태로 되어 있다. 이 상태에서 작업자가 결과 표시 영역(44)에 표시되어 있는 어느 속성 데이터를 선택하면, 도 16에 도시한 바와 같이, 해당의 속성 데이터가 선택 상태가 됨과 더불어 동시에 Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412)이 선택 가능한 상태가 된다. 이 상태에 있어서 작업자가 Good 버튼(411) 혹은 Bad 버튼(412)을 압하함으로써, Good값·Bad값의 가산이 행해진다. 예를 들어, 도 16에 도시한 상태로부터 Bad 버튼(412)이 3회 압하되면, 도 17에 도시한 바와 같이, 선택되어 있는 속성 데이터 중 Bad값이 「3」이 된다. 이상과 같이, 스코어링 결과 일람 화면(40)은, 추장도를 외부로부터 변경할 수 있도록 구성되어 있다. 또한, Good값이나 Bad값을 구체적으로 어떠한 값으로 할지에 대해서는, 예를 들어, 스코어링 결과, 알람수, 해당의 단위 처리에서 얻어진 결과물(기판)의 상태(예를 들어, 파티클수, 결함수, 도괴율) 등을 고려하여 결정된다. 또, Good 버튼(411) 및 Bad 버튼(412) 외에, Good값을 작게 하기 위한 버튼 및 Bad값을 작게하기 위한 버튼을 설치하도록 해도 된다.
단계 S310~단계 S330의 처리는, 레시피가 실행될 때마다 행해진다. 따라서, 기판 처리 장치(1)의 가동 중, 단계 S310~단계 S330의 처리는 반복된다.
또한, 스코어링 결과 일람 화면(40)은 기판 처리 장치(1)에 포함되는 제어부(100)의 표시부(140)에 표시되는 것을 전제로 설명했는데, 관리 서버(2)의 표시부(240)에 기판 처리 장치(1)마다의 스코어링 결과 일람 화면(40)이 표시되도록 해도 된다. 스코어링 화면(30)에 대해서도 동일하다.
＜1.4 랭킹 처리＞
다음으로, 랭킹 처리(도 9의 단계 S210)에 대해 설명한다. 상기 서술한 바와 같이, 랭킹 처리는, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 복수의 단위 처리 데이터에 대해서 3개의 지표에 의거하여 순위 매김을 행하는 일련의 처리이다. 각 단위 처리 데이터의 순위는, 3개의 지표에 의거하여 산출되는 평가값(총 득점)에 의해서 결정지어진다. 본 실시 형태에 있어서는, 평가값을 산출하기 위한 3개의 지표값으로서, 상기 서술한 추장도에 의거하는 값(이하, 「추장값」이라고 한다)과, 스코어링 결과에 의거하는 값(이하, 「스코어링 결과값」이라고 한다)과, 알람의 발생 회수(혹은, 알람의 유무)에 의거하는 값(이하, 「알람값」이라고 한다)이 이용된다. 평가값을 구체적으로 구하는 방법에 대해서는 후술한다. 랭킹 처리에서는, 평가값에 의거하여 검색 대상 기간 내의 복수의 단위 처리 데이터의 순위 매김이 행해진다.
실제로 랭킹 처리가 실행되기 전의 적당한 타이밍에, 랭킹 처리의 실행에 필요한 설정이 행해질 필요가 있다. 이 설정은, 예를 들어 도 18에 도시한 랭킹 설정 화면(50)을 이용하여 작업자의 조작에 의해서 행해진다. 또한, 각 기판 처리 장치(1)에서 이 설정이 행해지도록 해도 되고, 관리 서버(2)에서 이 설정이 행해지도록 해도 된다. 도 18에 도시한 바와 같이, 이 랭킹 설정 화면(50)에는, 각 단위 처리 데이터의 순위를 결정짓는 평가값을 산출할 때의 상기 3개의 지표값의 각각의 영향도(기여도)를 설정하기 위한 3개의 드롭 다운 리스트(51~53)와, OK 버튼(58)과, Cancel 버튼(59)이 포함되어 있다. 드롭 다운 리스트(51)는, 추장값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. 드롭 다운 리스트(52)는, 스코어링 결과값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. 드롭 다운 리스트(53)는, 알람값의 영향도를 설정하기 위한 인터페이스이다. OK 버튼(58)은, 설정 내용을 확정하기 위한 버튼이다. Cancel 버튼(59)은, 설정 내용(드롭 다운 리스트(51~53)를 이용하여 설정된 내용)을 취소하기 위한 버튼이다.
드롭 다운 리스트(51~53)에 대해서는, 예를 들어 1%씩 영향도를 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 단, 5%씩이나 10%씩 영향도를 설정하는 것이 가능하게 되어 있어도 된다. 또한, 평가값을 산출할 때의 지표값으로서 사용하고 싶지 않은 것에 대해서는 영향도를 0%로 설정하는 것이 가능하게 되어 있다.
그런데, 드롭 다운 리스트(51)에서의 설정값을 「제1 설정값」으로 정의하고, 드롭 다운 리스트(52)에서의 설정값을 「제2 설정값」으로 정의하며, 드롭 다운 리스트(53)에서의 설정값을 「제3 설정값」으로 정의하면, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%가 되도록 자동적으로 값의 조정이 행해지는 것이 바람직하다. 이에 관하여, 랭킹 설정 화면(50)의 표시 후에 2개의 드롭 다운 리스트에 대해서 값의 설정이 행해졌을 때에 나머지의 드롭 다운 리스트의 값이 자동적으로 설정되도록 할 수 있다. 이 경우, 예를 들어, 「제1 설정값=50, 제2 설정값=30」이라고 하는 설정이 행해졌을 때에 제3 설정값이 자동적으로 「20」으로 설정된다. 또, 이미 3개의 드롭 다운 리스트에 대해서 값의 설정이 행해지고 있는 상태에서 어느 1개의 드롭 다운 리스트의 값이 변경되었을 때에 나머지의 2개의 드롭 다운 리스트의 값이 그 비율을 유지한 채 자동적으로 변경되도록 해도 된다. 이 경우, 예를 들어, 「제1 설정값=70, 제2 설정값=20, 제3 설정값=10」이라고 하는 설정이 행해지고 있는 상태에서 제1 설정값이 「55」로 변경되면, 자동적으로, 제2 설정값이 「30」으로 변경됨과 더불어 제3 설정값이 「15」로 변경된다.
또한, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%를 초과하는 설정을 받아들여, 그들의 비율을 유지하면서 합이 100%가 되도록 내부적으로 처리하도록 해도 된다. 또, 제1 설정값과 제2 설정값과 제3 설정값의 합이 100%를 초과하는 설정이 행해졌을 때에 「합이 100%를 초과하고 있다」는 취지의 메세지를 표시하여 재설정을 재촉하도록 해도 된다.
랭킹 처리에서는, 검색 대상 기간에 착목 레시피가 실행됨으로써 각 처리 유닛(22)으로부터 얻어진 모든 단위 처리 데이터가 평가 대상 데이터가 된다. 우선, 기준 데이터의 후보가 될 수 있는 데이터인 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 추장값이 구해진다. Good값을 CntG로 나타내고, Bad값을 CntB로 나타내면, 추장값 V(R)은 예를 들어 다음 식(1)에 의해서 산출된다.
V(R)=(CntG－CntB)×100/(CntG＋CntB)···(1)
단, “CntG=0” 또한 “CntB=0” 일 때에는 “V(R)=0”으로 한다.
다음으로, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 알람값이 구해진다. 알람값 V(A)에 대해서는, 예를 들어, 알람수가 0(스코어링 결과 일람 화면(40)에서는 “None”으로 표기)이면 “V(A)=100”이 되고, 알람수가 1 이상이면 “V(A)=－100”이 된다.
다음으로, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 스코어링 결과값 V(S)가 구해진다. 평가 항목의 총 수를 Nt로 나타내고, 불량이라고 판단된 평가 항목의 수를 Nf로 나타내면, 스코어링 결과값 V(S)는 예를 들어 다음 식(2)에 의해서 산출된다.
V(S)=(Nt－2×Nf)×100/Nt···(2)
이상과 같이 하여 추장값 V(R), 알람값 V(A), 및 스코어링 결과값 V(S)가 구해진 후, 각 평가 대상 데이터에 대해서, 상기 평가값(총 득점)의 산출이 행해진다. 랭킹 설정 화면(50)에서 설정된 드롭 다운 리스트(51~53)의 값(비율)을 각각 P1~P3으로 나타내면, 평가값(총 득점) Vtotal은 다음 식(3)에 의해서 산출된다.
Vtotal=V(R)×P1＋V(S)×P2＋V(A)×P3···(3)
기준 데이터의 후보가 될 수 있는 모든 단위 처리 데이터(평가 대상 데이터)에 대한 평가값이 산출된 후, 그 산출된 평가값에 의거하여 단위 처리 데이터의 순위 매김이 행해진다. 그때, 평가값이 큰 단위 처리 데이터(정도)일수록, 순위는 높아진다(순위를 나타낸 수치는 작아진다). 따라서, 순위가 1위가 되는 단위 처리 데이터는, 평가값이 가장 큰 단위 처리 데이터이다. 이러한 랭킹 처리의 결과에 의거하여, 상기 서술한 바와 같이, 기준 데이터의 변경(도 9의 단계 S220)이 행해진다.
＜1.5 효과＞
본 실시 형태에 의하면, 각각이 복수의 시계열 데이터를 포함하는 복수의 단위 처리 데이터 중에서 선택되는 기준 데이터를 변경하는 타이밍을 복수의 항목에 대해 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 그리고, 각 기판 처리 장치(1)에 있어서, 각 레시피에 대한 기준 데이터는, 작업자에 의해서 설정된 타이밍에 변경된다. 이로 인해, 각 기판 처리 장치(1)의 사용 상황이나 열화 정도 등을 고려하여 기준 데이터의 변경 타이밍을 적당하게 설정해 둠으로써, 이 기판 처리 시스템의 현상에 따른 기준 데이터를 유지하는 것이 가능해진다. 이로써, 각 레시피의 실행에 의해서 얻어진 단위 처리 데이터를 이 기판 처리 시스템의 현상에 따른 기준 데이터와 비교하는 것이 가능해지므로, 기판 처리 장치(1)에서 실행된 처리의 이상을 정밀도 좋게 검출하는 것이 가능해진다. 이상과 같이, 본 실시 형태에 의하면, 시계열 데이터를 이용한 이상 검출을 종래보다 정밀도 좋게 행하는 것이 가능해진다.
또, 본 실시 형태에 의하면, 변경 타이밍 설정 화면에서 설정된 타이밍에 기준 데이터가 자동적으로 변경된다. 즉, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터의 작업자에 의한 선택이 불필요하다. 따라서, 작업자에 의한 선택을 필요로 하는 구성에 비해 작업자의 조작 부하가 경감된다. 또, 작업자의 조작 미스에 의해서 부적당한 단위 처리 데이터가 기준 데이터로 설정되는 것이 방지된다.
＜2. 제2 실시 형태＞
＜2.1 개요＞
제1 실시 형태에서는, 복수의 기판 처리 장치(1)와 관리 서버(2)로 이루어지는 기판 처리 시스템의 형태로 운용이 행해지는 것을 전제로 하고 있었다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않는다. 그래서, 1대의 기판 처리 장치(1) 단체(單體)로 운용이 행해지는 예를 본 발명의 제2 실시 형태로서 설명한다.
본 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 구성은, 제1 실시 형태에 있어서의 기판 처리 장치(1)의 구성과 동일하다(도 2 및 도 5~도 7을 참조). 단, 본 실시 형태에 있어서의 보조 기억 장치(130)에 저장되는 데이터 처리 프로그램(132)은, 제1 실시 형태와는 상이하게, 도 19의 단계 S400부터 단계 S440까지의 일련의 처리를 실행하기 위한 프로그램이다.
＜2.2 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리 방법＞
도 19를 참조하면서, 기준 데이터의 변경에 관한 처리의 흐름을 설명한다. 우선, 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 작업자의 조작에 의해서 행해진다(단계 S400). 본 실시 형태에 있어서는, 기판 처리 장치(1) 단체로 운용이 행해지므로, 단계 S400에서는 예를 들어 도 20에 도시한 변경 타이밍 설정 화면(70)이 기판 처리 장치(1)의 표시부(140)에 표시된다. 도 20으로부터 파악되는 바와 같이, 레시피마다 기준 데이터의 변경 타이밍을 설정하는 것이 가능하게 되어 있다. 작업자는, 스핀 컨트롤 박스(71)와 드롭 다운 리스트(72)를 조작하여, 레시피마다 기준 데이터의 변경 타이밍을 설정한다.
기준 데이터의 변경 타이밍의 설정이 행해진 후, 가동 기간의 카운트업이 행해진다(단계 S410). 구체적으로는, 데이터 처리 프로그램에서 준비된 가동 기간 변수(CntD)의 값이 1일 경과할 때마다 「1」만큼 가산된다. 그리고, 각 설정 대상에 대해서, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 의거하여 변경 지정일에 도달되어 있는지 여부의 판정이 행해진다(단계 S420). 판정의 결과, 변경 지정일에 도달되어 있는 설정 대상이 존재하면, 처리는 단계 S430으로 진행된다. 한편, 변경 지정일에 도달되어 있는 설정 대상이 존재하지 않으면, 처리는 단계 S410으로 돌아온다.
단계 S430에서는, 제1 실시 형태와 동일하게 랭킹 처리가 행해진다. 그리고, 당해 랭킹 처리의 결과에 의거하여, 기준 데이터가 변경된다(단계 S440).
＜2.3 효과＞
본 실시 형태에 의하면, 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리가 기판 처리 장치(1) 단체에서 행해지는 구성에 있어서, 제1 실시 형태와 동일한 효과가 얻어진다.
＜3. 변형예＞
이하, 상기 각 실시 형태의 변형예에 대해 설명한다. 또한, 이하에서 말하는 제1~제4 변형예는, 제1 실시 형태 및 제2 실시 형태 중 어느 것에 대해서도 적용할 수 있다.
＜3.1 제1 변형예＞
상기 각 실시 형태에 있어서는, 기준 데이터의 변경이 행해질 때, 랭킹 처리로 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터가 자동적으로 변경 후의 기준 데이터로 정해져 있었다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터가 작업자에 의해서 선택되도록 해도 된다.
도 21은, 본 변형예에 있어서의 기준 데이터의 변경에 관한 데이터 처리의 순서를 나타낸 플로차트이다. 본 변형예에 있어서는, 각 기판 처리 장치(1)에서, 랭킹 처리(단계 S210)의 종료 후, 당해 랭킹 처리에 의한 순위 매김의 결과를 나타내는 예를 들어 도 22에 도시한 랭킹 화면(60)이 표시부(140)에 표시된다(단계 S212). 도 22에 도시한 바와 같이, 복수의 단위 처리 데이터의 각각에 대한 속성 데이터가, 순위 매김의 결과에 따라서, 랭킹 형식으로 랭킹 화면(60)에 표시되어 있다.
랭킹 화면(60)에는, 버튼 표시 영역(61)과 검색 대상 표시 영역(62)과 항목명 표시 영역(63)과 결과 표시 영역(64)과 기간 표시 영역(65)이 포함되어 있다. 버튼 표시 영역(61)에는, Swap 버튼(611)이 설치되어 있다.
검색 대상 표시 영역(62)에는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭 및 검색 대상의 레시피(여기에서는, 상기 서술한 착목 레시피)의 명칭이 표시된다. 도 22에 도시한 예에서는, 검색 대상의 처리 유닛(22)의 명칭이 「Chamber3」, 「Chamber4」, 및 「Chamber5」이며 검색 대상의 레시피의 명칭이 「Flushing test2」인 것이 파악된다. 스코어링 결과 일람 화면(40)(도 15 참조)에서는 스코어링 화면(30)(도 14 참조)에서 선택된 처리 유닛(22)만이 검색 대상으로 되어 있었으나, 랭킹 화면(60)에서는 검색 대상 기간에 착목 레시피가 실행된 모든 처리 유닛(22)이 검색 대상이 된다.
항목명 표시 영역(63)에는, 결과 표시 영역(64)에 표시하는 내용(속성 데이터)의 항목명이 표시된다. 「Ranking」은, 순위 매김에 의한 순위를 나타낸 항목명이다. 「Total Score」는, 상기 평가값(총 득점)을 나타낸 항목명이다. 「Recommend Score」는, 상기 추장값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트(51)에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(R)×P1)을 나타낸 항목명이다. 「Scoring Result Score」는, 상기 스코어링 결과값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트(52)에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(S)×P2)을 나타낸 항목명이다. 「Alarm Number Score」는, 상기 알람값에 랭킹 설정 화면(50)의 드롭 다운 리스트(53)에서 설정된 비율을 곱함으로써 얻어지는 값(V(A)×P3)을 나타낸 항목명이다. 「Unit」은, 처리 유닛을 나타낸 항목명이다. 「Start time」은, 착목 레시피의 개시 시각을 나타낸 항목명이다. 「End time」은, 착목 레시피의 종료 시각을 나타낸 항목명이다. 「Process time」은, 착목 레시피의 처리 시간을 나타낸 항목명이다.
결과 표시 영역(64)에는, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터의 속성 데이터(각종 정보나 순위 매김에 의한 순위 등)가 표시된다. 도 22로부터 파악되는 바와 같이, 결과 표시 영역(64) 내에서는, 단위 처리 데이터의 속성 데이터가, 평가값의 높은 것으로부터 낮은 것으로 분류된 상태로 표시되어 있다. 따라서, 결과 표시 영역(64)의 1행째에 표시되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터가, 검색 조건에 합치한 단위 처리 데이터 중에서 평가값이 가장 큰 단위 처리 데이터이다. 작업자는, 결과 표시 영역(64)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 1개의 속성 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다. 또한, 평가값이 상위인 단위 처리 데이터(예를 들어, 순위 매김에 의한 순위가 1위부터 5위까지의 단위 처리 데이터)의 속성 데이터만을 결과 표시 영역(64)에 표시하도록 해도 된다.
기간 표시 영역(65)에는, 스코어링 결과 일람 화면(40)의 기간 표시 영역(45)과 마찬가지로, 검색 대상 기간이 표시된다. 도 22에 도시한 예에서는, 검색 대상 기간이 2017년 7월 19일의 오후 7시 39분 34초부터 2017년 8월 19일의 오후 7시 39분 34초까지의 1개월간인 것으로 파악된다.
랭킹 화면(60)의 표시 후, 변경 후의 기준 데이터의 선택이 작업자에 의해서 행해진다(단계 S214). 구체적으로는, 작업자가, 랭킹 화면(60)의 결과 표시 영역(64)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터에 대응하는 속성 데이터를 선택한다. 이로써, 랭킹 화면(60)에서는, 선택된 속성 데이터가 선택 상태가 된다. 이 상태에 있어서, 작업자가, 버튼 표시 영역(61) 내의 Swap 버튼(611)을 압하한다. 이로써, 착목 레시피에 대한 기준 데이터가 변경된다(단계 S220). 상세하게는, 기준 데이터 DB(136)(도 7 참조)에 유지되어 있는 단위 처리 데이터 중 착목 레시피에 대응하는 단위 처리 데이터가, 결과 표시 영역(64) 내에서 선택 상태로 되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터로 바꿔 쓸 수 있다.
예를 들어 랭킹 화면(60)이 도 22에 도시한 상태로 되어 있을 때에 작업자가 결과 표시 영역(64) 내의 1행째의 속성 데이터를 선택하면, 도 23에 도시한 바와 같이, 1행째의 속성 데이터가 선택 상태가 됨과 더불어 Swap 버튼(611)이 압하 가능한 상태가 된다. 이 상태에 있어서 작업자가 Swap 버튼(611)을 압하하면, 착목 레시피에 대한 기준 데이터가 1행째의 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터로 변경된다.
본 변형예에 의하면, 평가값에 의거하는 순위 매김(랭킹 처리)의 결과를 참조하면서 임의의 단위 처리 데이터를 변경 후의 기준 데이터로서 선택할 수 있다. 따라서, 순위 매김에 의한 순위가 1위 이외의 단위 처리 데이터를 기준 데이터로서 선택할 수도 있다. 이와 같이, 사용자의 요구에 합치한 기준 데이터의 선택이 가능해진다.
＜3.2 제2 변형예＞
상기 각 실시 형태에 있어서는, 기준 데이터의 변경은, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 의거하는 변경 지정일에 행해지고 있었다. 이에 관하여, 예를 들어 부정기적으로 행해지는 메인테넌스 처리에 연동하여 기준 데이터의 변경이 행해지도록 하는 등 사용자가 희망하는 임의의 타이밍에 기준 데이터의 변경이 행해지도록 하는 기능(이하, 편의상 「임의 변경 기능」이라고 한다)을 설치하도록 해도 된다. 이하, 이 임의 변경 기능을 실현하는 구체적인 수법의 일례를 설명한다.
본 변형예에 있어서는, 기판 처리 장치(1)의 표시부(140)에, 기준 데이터의 변경이 바람직할 때에 작업자가 압하하기 위한 소프트웨어 버튼(이하, 「기준 데이터 변경 지시 버튼」이라고 한다)이 표시된다. 또, 본 변형예에 있어서의 변경 타이밍 설정 화면(70)의 설정용 영역(700)에는, 도 24에 도시한 바와 같이, 임의 변경 기능을 유효하게 하는지 여부를 설정하기 위한 임의 변경 설정 영역(701)이 설치된다. 임의 변경 설정 영역(701)에는 2개의 라디오 버튼(73, 74)이 설치되고, 라디오 버튼(73)이 선택 상태로 되어 있을 때에는 임의 변경 기능은 유효가 되며, 라디오 버튼(74)이 선택 상태로 되어 있을 때에는 임의 변경 기능은 무효가 된다. 또한, 기준 데이터 변경 지시 버튼이 변경 지시부에 상당하고, 라디오 버튼(73)을 선택 상태로 하는 것이 변경 지시를 유효하게 하는 것에 상당한다.
임의 변경 기능이 유효로 되어 있을 때에 기준 데이터 변경 지시 버튼이 압하되면, 기판 처리 장치(1)에서는, 우선, 랭킹 처리(도 9의 단계 S210의 처리)가 행해진다. 이 랭킹 처리에서는, 모든 레시피에 대해서, 레시피의 실행에 의해서 얻어진 복수의 단위 처리 데이터에 대해서 3개의 지표에 의거하는 순위 매김이 행해진다. 그리고, 기판 처리 장치(1)에서는, 각 레시피에 대해서, 순위 매김의 결과에 의거하여 기준 데이터가 변경된다. 상세하게는, 각 레시피에 대해서, 순위 매김에 의한 순위가 1위가 된 단위 처리 데이터가 변경 후의 기준 데이터가 된다. 이와 같이, 임의 변경 기능이 유효로 되어 있을 때에 기준 데이터 변경 지시 버튼이 압하되면, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 상관없이 기준 데이터가 변경된다.
이상과 같은 구성에 있어서, 예를 들어 메인테넌스 처리가 행해질 때마다 기준 데이터가 변경되는 것을 사용자가 원하는 경우, 임의 변경 기능을 유효하게 한 후 메인테넌스 처리가 행해질 때마다 작업자가 기준 데이터 변경 지시 버튼을 압하하면 된다.
또한, 데이터 처리 프로그램이 하드웨어 버튼의 압하를 검지할 수 있으면, 상기 기준 데이터 변경 지시 버튼을 소프트웨어 버튼을 대신하여 하드웨어 버튼에 의해서 실현되어도 된다.
＜3.3 제3 변형예＞
상기 각 실시 형태에 있어서는, 변경 타이밍의 설정은 시간 간격(어느 시점에 기준 데이터의 변경이 행해지고 나서 다음에 기준 데이터의 변경이 행해질 때까지의 기간의 길이인 경과 시간)을 지정함으로써 행해지고 있었다. 그러나, 본 발명은 이것에 한정되지 않으며, 변경 타이밍의 설정을 처리 횟수를 지정함으로써 행할 수 있도록 해도 된다.
본 변형예에 있어서는, 예를 들어, 도 25에 도시한 바와 같이, 변경 타이밍 설정 화면(70)의 설정용 영역(700)에 변경 타이밍의 설정을 레시피마다 처리 횟수를 지정함으로써 행하기 위한 영역(702)이 설치된다. 당해 영역(702)에는, 처리 횟수를 나타낸 수치를 증감시키는 것이 가능하도록 구성된 스핀 컨트롤 박스(75)가 설치된다.
이상과 같은 구성에 있어서 예를 들어 도 25에 도시한 바와 같이 레시피A에 대한 처리 횟수가 「100」으로 설정되면, 레시피A에 대한 기준 데이터는, 경과 시간의 지정에 의거하는 변경 타이밍에 변경되는데 추가하여, 레시피A가 100회 실행될 때마다 변경된다.
＜3.4 제4 변형예＞
상기 각 실시 형태에 의하면, 기준 데이터는, 작업자에 의해서 설정된 변경 타이밍에 따라서 변경된다. 이에 관하여, 상기 각 실시 형태에 있어서는 각 레시피에 대한 최신의 기준 데이터만이 기준 데이터 DB(136)에 유지되어 있는데, 과거의 기준 데이터도 기준 데이터 DB(136)에 유지되도록 할 수도 있다. 또, 과거의 기준 데이터가 기준 데이터 DB(136)와는 다른 데이터베이스에 유지되도록 할 수도 있다. 이와 같이 하여 기준 데이터의 이력을 남기도록 해도 된다.
그래서, 기준 데이터의 이력을 이용하여 과거의 기준 데이터를 현재의 기준 데이터로서 복원하는 기능을 설치하도록 해도 된다. 예를 들어, 각 기판 처리 장치(1)(혹은 관리 서버(2))에 기준 데이터의 이력을 표시하는 메뉴를 준비해 두고 당해 메뉴가 선택되어 레시피의 지정이 행해지면 도 26에 도시한 기준 데이터 이력 화면(80)이 표시부(140)에 표시되도록 할 수 있다. 도 26에 도시한 바와 같이, 기준 데이터 이력 화면(80)에는, 버튼 표시 영역(81)과 항목명 표시 영역(82)과 이력 표시 영역(83)이 포함되어 있다. 버튼 표시 영역(81)에는, Swap 버튼(811)이 설치되어 있다. 항목명 표시 영역(82)에는, 이력 표시 영역(83)에 표시하는 내용(속성 데이터)의 항목명(예를 들어, 지정된 레시피의 개시 시각을 나타낸 항목명 등)이 표시된다. 이력 표시 영역(83)에는, 지정된 레시피에 대한 과거의 기준 데이터(과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터)의 속성 데이터가 표시된다. 도 26에 도시한 예에서는, 과거의 6개의 기준 데이터의 속성 데이터가 이력 표시 영역(83)에 표시되어 있다. 작업자는, 이력 표시 영역(83)에 표시되어 있는 속성 데이터 중에서 1개의 속성 데이터(1개의 행)를 선택할 수 있다. Swap 버튼(811)은, 이력 표시 영역(83) 내에서 선택되어 있는 속성 데이터에 대응하는 과거의 기준 데이터(과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터)를 현재의 기준 데이터로서 복원하기 위한 버튼이다.
기준 데이터 이력 화면(80)이 표시된 직후에는, Swap 버튼(811)은 선택 불가능한 상태로 되어 있다. 이 상태에서 작업자가 이력 표시 영역(83)에 표시되어 있는 어느 한 속성 데이터를 선택하면, 해당의 속성 데이터가 선택 상태가 됨과 더불어 Swap 버튼(811)이 선택 가능한 상태가 된다. 이 상태에 있어서 작업자가 Swap 버튼(811)을 압하하면, 변경 타이밍 설정 화면(70)에서의 설정 내용에 상관없이, 이력 표시 영역(83)에서 선택 상태로 되어 있는 속성 데이터에 대응하는 단위 처리 데이터로 기준 데이터가 변경된다. 즉, 이력 표시 영역(83)에서 선택 상태로 되어 있는 속성 데이터에 대응하는 과거의 기준 데이터가 지정된 레시피에 대한 현재의 기준 데이터로서 복원된다.
또한, 본 변형예에 관련하여, 예를 들어 레시피가 지정된 후에 도 27에 도시한 기간 지정 화면(85)을 표시부(140)에 표시하여 작업자에 의한 기간의 지정을 받아들이고, 그 지정된 기간마다 기준 데이터를 변경했다고 가정한 경우의 기준 데이터의 이력을 표시부(140)에 표시하도록 해도 된다. 이로써, 예를 들어, 7일마다 기준 데이터를 변경했다고 가정한 경우의 기준 데이터의 이력, 1개월마다 기준 데이터를 변경했다고 가정한 경우의 기준 데이터의 이력, 1년마다 기준 데이터를 변경했다고 가정한 경우의 기준 데이터의 이력 등을 차례로 표시하여, 그들의 결과를 시계열 데이터의 분석에 활용하는 것이 가능해진다.
1: 기판 처리 장치 2: 관리 서버
22: 처리 유닛 40: 스코어링 결과 일람 화면
50: 랭킹 설정 화면 60: 랭킹 화면
70: 변경 타이밍 설정 화면 100: (기판 처리 장치의) 제어부
132, 232: 데이터 처리 프로그램 134: 시계열 데이터 DB
136: 기준 데이터 DB

Claims (18)

  1. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법으로서,
    상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정 단계와,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 단위 처리 데이터마다 산출된 평가값에 의거하여 복수의 단위 처리 데이터에 대한 순위 매김이 행해지고, 당해 순위 매김의 결과에 의거하여, 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터가 결정되는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 기준 데이터 변경 단계에서는, 상기 순위 매김에 의한 순위가 1위인 단위 처리 데이터가, 변경 후의 기준 데이터로 정해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  4. 청구항 2에 있어서,
    상기 기준 데이터 변경 단계는,
    상기 순위 매김의 결과에 따라서, 복수의 단위 처리 데이터의 각각에 대한 속성을 나타내는 속성 데이터를 랭킹 형식으로 표시하는 랭킹 표시 단계와,
    상기 랭킹 표시 단계에서 표시된 복수의 속성 데이터 중에서 변경 후의 기준 데이터로 하는 단위 처리 데이터에 대한 속성 데이터를 선택하는 기준 데이터 선택 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  5. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  6. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단위 처리는, 기판 처리 장치에서 1장의 기판에 대해서 1개의 레시피로서 실행되는 처리인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 기판 처리 장치마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  8. 청구항 6에 있어서,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 기판 처리 장치의 도입년도마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  9. 청구항 6에 있어서,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 레시피마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  10. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 기판을 처리하는 복수의 처리 유닛을 구비하고,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 상기 기준 데이터를 변경하는 시간 간격을 처리 유닛마다 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  11. 청구항 1 내지 청구항 4 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 단위 처리는, 기판 처리 장치에서 1장의 기판에 대해서 1개의 레시피로서 실행되는 처리이며,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정이, 레시피마다의 처리 횟수를 지정함으로써 행해지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  12. 청구항 6에 있어서,
    상기 기판 처리 장치는, 상기 기준 데이터의 변경 지시를 행하는 변경 지시부를 구비하고,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서는, 상기 변경 타이밍의 설정에 추가하여, 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시를 유효하게 하는지 여부의 설정이 행해지며,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시를 유효하게 한다는 취지의 설정이 행해지고 있을 때에 상기 변경 지시부에 의한 변경 지시가 행해지면, 상기 변경 타이밍의 설정의 내용에 상관없이 상기 기준 데이터가 변경되는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  13. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치로서,
    상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정부와,
    상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경부를 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  14. 청구항 13에 있어서,
    상기 기준 데이터의 이력을 파악할 수 있도록 과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터를 일람 표시한 이력 화면을 표시하는 이력 표시부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  15. 청구항 14에 있어서,
    과거에 기준 데이터로 정해진 단위 처리 데이터로 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 복원부를 더 구비하고,
    상기 이력 화면은, 일람 표시되어 있는 단위 처리 데이터 중 임의의 단위 처리 데이터를 외부로부터 선택할 수 있도록 구성되며,
    상기 기준 데이터 복원부는, 상기 변경 타이밍의 설정의 내용에 상관없이, 상기 이력 화면에서 선택된 단위 처리 데이터로 상기 기준 데이터를 변경하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  16. 청구항 13 내지 청구항 15 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 기준 데이터 변경부는, 상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 자동적으로 변경하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  17. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하는 데이터 처리 시스템으로서,
    상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정부와,
    상기 변경 타이밍 설정부에 의해서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경부를 구비하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 시스템.
  18. 단위 처리로 얻어지는 복수의 시계열 데이터를 단위 처리 데이터로 하여, 복수의 단위 처리 데이터를 처리하며 기록 매체에 기록되는 데이터 처리 프로그램으로서,
    상기 복수의 단위 처리 데이터로부터 선택되는 데이터이며 각 단위 처리 데이터의 비교 대상이 되는 데이터인 기준 데이터의 변경 타이밍의 설정을 행하는 변경 타이밍 설정 단계와,
    상기 변경 타이밍 설정 단계에서 설정된 타이밍에 상기 기준 데이터를 변경하는 기준 데이터 변경 단계를 컴퓨터의 CPU가 메모리를 이용하여 실행하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 프로그램.
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