JP7074490B2 - データ処理方法、データ処理装置、データ処理システム、およびデータ処理プログラム - Google Patents
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Description
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定され、
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする。
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする。
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする。
前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であり、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする。
前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、
前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする。
第10の発明は、単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して実行される処理であることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備え、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする。
過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、
前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、
前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする。
前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備え、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのCPUがメモリを利用して実行し、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする。
また、評価値に基づく順位付けの結果を参照しつつ任意の単位処理データを変更後の基準データとして選択することができるので、ユーザーのニーズに合致した基準データの選択が可能となる。
上記第10の発明によれば、上記第3の発明と同様の効果が得られる。
<1.1 システムの構成>
図1は、本発明の第1の実施形態に係る基板処理システム(データ処理システム)の概略構成を示す図である。この基板処理システムは、複数の基板処理装置1と、当該複数の基板処理装置1を管理する管理サーバ2とによって構成されている。複数の基板処理装置1と管理サーバ2とはLANなどの通信回線を介して互いに接続されている。なお、ここでは特に断らない限り、それぞれ「01A」,「02A」という装置番号が付された2台の基板処理装置1が設けられているものと仮定する。
図2は、本実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を示す図である。基板処理装置1は、インデクサ部10と処理部20とを備えている。インデクサ部10は、複数枚の基板を収容可能な基板収容器(カセット)を載置するための複数個の基板収容器保持部12と、基板収容器からの基板の搬出および基板収容器への基板の搬入を行うインデクサロボット14とを含んでいる。処理部20は、処理液を用いて基板の洗浄等の処理を行う複数個の処理ユニット22と、処理ユニット22への基板の搬入および処理ユニット22からの基板の搬出を行う基板搬送ロボット24とを含んでいる。処理ユニット22の数は、例えば12個である。この場合、例えば、3個の処理ユニット22を積層したタワー構造体が図2に示すように基板搬送ロボット24の周囲の4箇所に設けられる。各処理ユニット22には基板に対する処理を行う空間であるチャンバが設けられており、チャンバ内で基板に処理液が供給される。また、基板処理装置1は、その内部に、マイクロコンピュータで構成される制御部100を備えている。
本実施形態に係る基板処理装置1では、各処理ユニット22における処理に関わる機器の異常や各処理ユニット22で行われた処理の異常などを検出するために、レシピが実行される都度、時系列データが取得される。本実施形態で取得される時系列データは、レシピが実行された際に各種の物理量(例えば、ノズルの流量、チャンバの内圧、チャンバの排気圧など)をセンサなどを用いて測定して測定結果を時系列に並べて得られたデータである。後述するデータ処理プログラムでは、各種の物理量はそれぞれ対応するパラメータの値として処理される。なお、1つのパラメータは1種類の物理量に対応する。
次に、基板処理装置1の制御部100の構成について説明する。図5は、基板処理装置1の制御部100のハードウェア構成を示すブロック図である。制御部100は、CPU110と主メモリ120と補助記憶装置130と表示部140と入力部150と通信制御部160とを備えている。CPU110は、与えられた命令に従い各種演算処理等を行う。主メモリ120は、実行中のプログラムやデータ等を一時的に格納する。補助記憶装置130は、電源がオフされても保持されるべき各種プログラム・各種データを格納する。本実施形態においては、具体的には、後述するデータ処理を実行するためのデータ処理プログラム132が補助記憶装置130に格納されている。また、補助記憶装置130には、時系列データDB134および基準データDB136が設けられている。なお、「DB」は「database」の略である。時系列データDB134には、模式的には図6に示すように、所定期間分の単位処理データが格納されている。基準データDB136には、模式的には図7に示すように、レシピ毎に、基準データに定められた単位処理データが格納されている(「レシピA」,「レシピB」,および「レシピC」は、互いに異なるレシピを表している)。表示部140は、例えば、オペレータが作業を行うための各種画面を表示する。入力部150は、例えばマウスやキーボードなどであって、オペレータによる外部からの入力を受け付ける。通信制御部160は、データ送受信の制御を行う。
次に、管理サーバ2の構成について説明する。図8は、管理サーバ2のハードウェア構成を示すブロック図である。管理サーバ2は、CPU210と主メモリ220と補助記憶装置230と表示部240と入力部250と通信制御部260とを備えている。CPU210,主メモリ220,補助記憶装置230,表示部240,入力部250,および通信制御部260は、それぞれ、基板処理装置1の制御部100内のCPU110,主メモリ120,補助記憶装置130,表示部140,入力部150,および通信制御部160と同じ機能を有する。但し、補助記憶装置230には、補助記憶装置130内に格納されているデータ処理プログラム132とは異なるデータ処理プログラム232が格納されている。
本実施形態に係る基板処理システムでは、各基板処理装置1における各レシピについての基準データが、指定されたタイミングで変更される。そこで、以下、図9に示すフローチャートを参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。図9では、左方に管理サーバ2の処理の流れを示し、右方に基板処理装置1の処理の流れを示している。ステップS100~ステップS130の処理は管理サーバ2においてCPU210がデータ処理プログラム232を実行することによって実現され、ステップS200~ステップS220の処理は基板処理装置1においてCPU110がデータ処理プログラム132を実行することによって実現される。なお、以下においては、評価対象の単位処理データのことを「評価対象データ」という。
本実施形態においては、ランキング処理(複数の単位処理データの順位付け)を可能にするために、各基板処理装置1では、任意のレシピが実行される都度、当該レシピの実行によって得られた単位処理データの評価を行う単位処理データ評価処理が行われる。以下、図13に示すフローチャートを参照しつつ、この単位処理データ評価処理について説明する。なお、ここでは、1つのレシピに着目し、当該レシピのことを「着目レシピ」という。
例1:或るパラメータに関する安定期間(図3参照)における時系列データの平均値
例2:或るパラメータに関する安定期間(図3参照)における時系列データの最大値
例3:或るパラメータに関する立ち上がり期間(図3参照)の長さ
例1の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの平均値と基準データに含まれる時系列データの平均値との差”が上記検査値となる。例2の評価項目については、該当のパラメータに関する安定期間における“評価対象データに含まれる時系列データの最大値と基準データに含まれる時系列データの最大値との差”が上記検査値となる。例3の評価項目については、該当のパラメータに関する“評価対象データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さと基準データに含まれる時系列データについての立ち上がり期間の長さとの差”が上記検査値となる。
次に、ランキング処理(図9のステップS210)について説明する。上述したように、ランキング処理は、レシピの実行によって得られた複数の単位処理データに対して3つの指標に基づき順位付けを行う一連の処理である。各単位処理データの順位は、3つの指標に基づいて算出される評価値(総得点)によって決定付けられる。本実施形態においては、評価値を算出するための3つの指標値として、上述した推奨度に基づく値(以下、「推奨値」という。)と、スコアリング結果に基づく値(以下、「スコアリング結果値」という。)と、アラームの発生回数(あるいは、アラームの有無)に基づく値(以下、「アラーム値」という。)とが用いられる。評価値の具体的な求め方については後述する。ランキング処理では、評価値に基づいて検索対象期間内の複数の単位処理データの順位付けが行われる。
V(R)=(CntG-CntB)×100/(CntG+CntB) ・・・(1)
但し、“CntG=0”かつ“CntB=0”のときには“V(R)=0”とする。
V(S)=(Nt-2×Nf)×100/Nt ・・・(2)
Vtotal=V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3 ・・・(3)
本実施形態によれば、それぞれが複数の時系列データを含む複数の単位処理データの中から選択される基準データを変更するタイミングを複数の項目について設定することが可能となっている。そして、各基板処理装置1において、各レシピについての基準データは、作業者によって設定されたタイミングで変更される。このため、各基板処理装置1の使用状況や劣化程度等を考慮して基準データの変更タイミングを適宜に設定しておくことにより、この基板処理システムの現状に応じた基準データを保持することが可能となる。これにより、各レシピの実行によって得られた単位処理データをこの基板処理システムの現状に応じた基準データと比較することが可能となるので、基板処理装置1で実行された処理の異常を精度良く検出することが可能となる。以上のように、本実施形態によれば、時系列データを用いた異常検出を従来よりも精度良く行うことが可能となる。
<2.1 概要>
第1の実施形態では、複数の基板処理装置1と管理サーバ2とからなる基板処理システムの形態で運用が行われることを前提としていた。しかしながら、本発明はこれに限定されない。そこで、1台の基板処理装置1単体で運用が行われる例を本発明の第2の実施形態として説明する。
図19を参照しつつ、基準データの変更に関する処理の流れを説明する。まず、基準データの変更タイミングの設定が作業者の操作によって行われる(ステップS400)。本実施形態においては、基板処理装置1単体で運用が行われるので、ステップS400では例えば図20に示すような変更タイミング設定画面70が基板処理装置1の表示部140に表示される。図20から把握されるように、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定することが可能となっている。作業者は、スピンコントロールボックス71とドロップダウンリスト72とを操作して、レシピ毎に基準データの変更タイミングを設定する。
本実施形態によれば、基準データの変更に関するデータ処理が基板処理装置1単体で行われる構成において、第1の実施形態と同様の効果が得られる。
以下、上記各実施形態の変形例について説明する。なお、以下に記す第1~第4の変形例は、第1の実施形態および第2の実施形態のいずれに対しても適用することができる。
上記各実施形態においては、基準データの変更が行われる際、ランキング処理で順位が1位となった単位処理データが自動的に変更後の基準データに定められていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更後の基準データとする単位処理データが作業者によって選択されるようにしても良い。
上記各実施形態においては、基準データの変更は、変更タイミング設定画面70での設定内容に基づく変更指定日に行われていた。これに関し、例えば不定期で行われるメンテナンス処理に連動して基準データの変更が行われるようにするなどユーザーが所望する任意のタイミングで基準データの変更が行われるようにする機能(以下、便宜上「任意変更機能」という。)を設けるようにしても良い。以下、この任意変更機能を実現する具体的な手法の一例を説明する。
上記各実施形態においては、変更タイミングの設定は時間間隔(或る時点に基準データの変更が行われてから次に基準データの変更が行われるまでの期間の長さである経過時間)を指定することによって行われていた。しかしながら、本発明はこれに限定されず、変更タイミングの設定を処理回数を指定することによって行うことができるようにしても良い。
上記各実施形態によれば、基準データは、作業者によって設定された変更タイミングに従って変更される。これに関し、上記各実施形態においては各レシピについての最新の基準データのみが基準データDB136に保持されているが、過去の基準データも基準データDB136に保持されるようにすることもできる。また、過去の基準データが基準データDB136とは別のデータベースに保持されるようにすることもできる。このようにして基準データの履歴を残すようにしても良い。
2…管理サーバ
22…処理ユニット
40…スコアリング結果一覧画面
50…ランキング設定画面
60…ランキング画面
70…変更タイミング設定画面
100…(基板処理装置の)制御部
132,232…データ処理プログラム
134…時系列データDB
136…基準データDB
Claims (16)
- 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記基準データ変更ステップでは、単位処理データ毎に算出された評価値に基づいて複数の単位処理データについての順位付けが行われ、当該順位付けの結果に基づいて、変更後の基準データとする単位処理データが決定され、
前記基準データ変更ステップは、
前記順位付けの結果に従って、複数の単位処理データのそれぞれについての属性を表す属性データをランキング形式で表示するランキング表示ステップと、
前記ランキング表示ステップで表示された複数の属性データの中から変更後の基準データとする単位処理データについての属性データを選択する基準データ選択ステップと
を含むことを特徴とする、データ処理方法。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を指定することによって行われることを特徴とする、データ処理方法。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、データ処理方法。 - 前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項3に記載のデータ処理方法。
- 前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を基板処理装置の導入年度毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項3に記載のデータ処理方法。
- 前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔をレシピ毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項3に記載のデータ処理方法。
- 前記基板処理装置は、基板を処理する複数の処理ユニットを備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、前記基準データを変更する時間間隔を処理ユニット毎に指定することによって行われることを特徴とする、請求項3に記載のデータ処理方法。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であり、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定が、レシピ毎の処理回数を指定することによって行われることを特徴とする、データ処理方法。 - 前記基板処理装置は、前記基準データの変更指示を行う変更指示部を備え、
前記変更タイミング設定ステップでは、前記変更タイミングの設定に加えて、前記変更指示部による変更指示を有効にするか否かの設定が行われ、
前記変更タイミング設定ステップで前記変更指示部による変更指示を有効にする旨の設定が行われているときに前記変更指示部による変更指示が行われると、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず前記基準データが変更されることを特徴とする、請求項3から8までのいずれか1項に記載のデータ処理方法。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理方法であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
を含み、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して実行される処理であることを特徴とする、データ処理方法。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理装置であって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備え、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、データ処理装置。 - 前記基準データの履歴を把握することができるよう過去に基準データに定められた単位処理データを一覧表示した履歴画面を表示する履歴表示部を更に備えることを特徴とする、請求項11に記載のデータ処理装置。
- 過去に基準データに定められた単位処理データに前記基準データを変更する基準データ復元部を更に備え、
前記履歴画面は、一覧表示されている単位処理データのうちの任意の単位処理データを外部から選択することができるように構成され、
前記基準データ復元部は、前記変更タイミングの設定の内容に関わらず、前記履歴画面で選択された単位処理データに前記基準データを変更することを特徴とする、請求項12に記載のデータ処理装置。 - 前記基準データ変更部は、前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを自動的に変更することを特徴とする、請求項11から13までのいずれか1項に記載のデータ処理装置。
- 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理システムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定部と、
前記変更タイミング設定部によって設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更部と
を備え、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、データ処理システム。 - 単位処理で得られる複数の時系列データを単位処理データとして、複数の単位処理データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記複数の単位処理データから選択されるデータであって各単位処理データの比較対象となるデータである基準データの変更タイミングの設定を行う変更タイミング設定ステップと、
前記変更タイミング設定ステップで設定されたタイミングで前記基準データを変更する基準データ変更ステップと
をコンピュータのCPUがメモリを利用して実行し、
前記単位処理は、基板処理装置で1枚の基板に対して1つのレシピとして実行される処理であることを特徴とする、データ処理プログラム。
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