CN110134562A - 数据处理方法、数据处理装置、数据处理系统及记录介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。处理多个单位处理数据(各单位处理数据包括多个时序数据)的数据处理方法包括：变更时机设定步骤(S100)，进行基准数据的变更时机的设定，该基准数据是从多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象；以及基准数据变更步骤(S220)，在变更时机设定步骤(S100)中设定的时机，变更基准数据。

Description

数据处理方法、数据处理装置、数据处理系统及记录介质
技术领域
本发明涉及数字数据处理，尤其涉及一种处理时序数据的方法、装置、系统及记录介质。
背景技术
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并分析将测定结果按发生顺序排列得到的时序数据的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且通过分析该异常的时序数据，来确定异常发生位置或异常的原因。此外，近年来，计算机的数据处理能力显著提高。因此，即使数据量非常大，在很多情况下也可以在实际可行的时间内获得需要的结果。由此，时序数据的分析逐渐普及。
例如，半导体制造装置在各种工艺中获得时序数据。因此，在半导体制造装置的领域也进行时序数据的分析或在画面上显示时序数据等。
另外，关于本发明，日本的特开2017-83985号公报公开了一种以使用者容易分析的方式显示时序数据的时序数据处理装置的发明。在该时序数据处理装置中，多个时序数据被分为多个组，计算每个组的异常度及各组内的时序数据的异常度。然后，将基于异常度对组或者时序数据进行排序的结果显示在显示部中。
发明内容
作为半导体制造装置的一种，清洗装置等基板处理装置通常具有多个腔室(处理室)。在这些多个腔室中执行了相同规程的情况下，优选在该多个腔室中得到相同的产物。因此，优选一个基板处理装置所包括的多个腔室具有相同的处理性能。然而，实际上多个腔室间的处理性能具有差异。因此，有可能在某一腔室内正常进行对基板的处理时在其他腔室内并未正常地进行同样的处理。
因此，在基板处理装置领域，为了实现早期发现异常、预防异常，如上所述，逐渐对于在各种工艺中得到的时序数据进行分析。另外，为了判断同样变化的多个时序数据中包括的各时序数据是否异常，需要将作为评价对象的各时序数据与具有理想的时序的值(数据值)的时序数据进行比较。例如，考虑使用由多个时序数据的平均值构成的时序数据作为具有理想的时序的值的时序数据。然而，在作为计算平均值的基础的多个时序数据中包括具有与其他值相差甚远的值的数据或大量具有异常的值的数据的情况下，计算出的平均值不一定是理想的值，因此不能高精度地检测异常。
因此，本发明的目的在于，提供一种能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测的数据处理方法。
第1发明是一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：
变更时机设定步骤，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更步骤，在所述变更时机设定步骤中设定的时机，变更所述基准数据。
第2发明根据第1发明，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，基于对每个单位处理数据计算出的评价值来对所述多个单位处理数据进行排序，并且基于所述排序的结果，决定作为变更后的基准数据的单位处理数据。
第3发明根据第2发明，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，将基于所述排序的位次为第一位的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
第4发明根据第2发明，其特征在于，
所述基准数据变更步骤包括：
排序显示步骤，根据所述排序的结果，将表示所述多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性的属性数据按照排序形式进行显示，以及
基准数据选择步骤，从在所述排序显示步骤中显示的多个属性数据中选择作为变更后的基准数据的单位处理数据的属性数据。
第5发明根据第1～第4发明中的任一项发明，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
第6发明根据第1～第5发明中的任一项发明，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中对一张基板执行一个规程的处理。
第7发明根据第6发明，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个基板处理装置指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
第8发明根据第6发明，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个基板处理装置的导入年份指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
第9发明根据第6发明，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个规程指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
第10发明根据第6发明，其特征在于，
所述基板处理装置具有用于处理基板的多个处理单元，
在所述变更时机设定步骤中，对每个处理单元指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
第11发明根据第1～第4发明中的任一项发明，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理，
在所述变更时机设定步骤中，通过指定每个规程的处理次数来进行所述变更时机的设定。
第12发明根据第6～第11发明中的任一项发明，其特征在于，
所述基板处理装置具有用于进行所述基准数据的变更指示的变更指示部，
在所述变更时机设定步骤中，除了所述变更时机的设定以外，还进行是否使所述变更指示部的变更指示有效的设定，
当在所述变更时机设定步骤中进行了使所述变更指示部的变更指示有效的设定时，若进行所述变更指示部的变更指示，则变更所述基准数据，而与所述变更时机的设定的内容无关。
第13发明是一种数据处理装置，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：
变更时机设定部，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更部，在由所述变更时机设定部设定的时机，变更所述基准数据。
第14发明根据第13发明，其特征在于，
所述数据处理装置还具有历史显示部，所述历史显示部显示历史画面，所述历史画面将过去被设定为基准数据的单位处理数据进行列表显示，以便能够掌握所述基准数据的历史。
第15发明根据第14发明，其特征在于，
所述数据处理装置还具有基准数据恢复部，所述基准数据恢复部将所述基准数据变更为过去被设定为基准数据的单位处理数据，
所述历史画面构成为能够从外部选择被列表显示的单位处理数据中的任意单位处理数据，
所述基准数据恢复部将所述基准数据变更为在所述历史画面中选择出的单位处理数据，而与所述变更时机的设定的内容无关。
第16发明根据第13～第15发明中的任一项发明，其特征在于，
所述基准数据变更部在由所述变更时机设定部设定的时机，自动变更所述基准数据。
第17发明是一种数据处理系统，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理系统具有：
变更时机设定部，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更部，在由所述变更时机设定部设定的时机，变更所述基准数据。
第18发明是一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，所述数据处理程序用于将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
变更时机设定步骤，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更步骤，在所述变更时机设定步骤中设定的时机，变更所述基准数据。
根据上述第1发明，能够设定将从分别包括多个时序数据的多个单位处理数据中选择出的基准数据进行变更的时机。然后，在该设定的时机变更基准数据。因此，通过适当设定变更时机，能够根据进行数据处理的系统的现状来保持基准数据。由此，能够将生成的单位处理数据与对应于系统现状的基准数据进行比较，因此能够高精度地检测处理的异常。如上所述，能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测。
根据上述第2发明及上述第3发明，能够将具有理想的时序的值的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
根据上述第4发明，能够一边参照基于评价值进行排序的结果，一边选择任意的单位处理数据作为变更后的基准数据，因此能够选择符合用户需求的基准数据。
根据上述第5发明，能够以用户期望的期间间隔变更基准数据。
根据上述第6～第11发明，能够以高于以往的精度利用在由基板处理装置执行的处理中生成的时序数据来进行异常检测。
根据上述第12发明，能够在用户期望的任意时机变更基准数据。
根据上述第13发明，可以得到与上述第1发明同样的效果。
根据上述第14发明，能够参照基准数据的历史来分析时序数据。
根据上述第15发明，能够根据需要恢复过去的基准数据。
根据上述第16发明，不需要操作者来选择作为变更后的基准数据的单位处理数据，因此减轻了操作者的操作负担。此外，防止了因操作者的操作失误导致不恰当的单位处理数据被设定为基准数据。
根据上述第17发明，可以得到与上述第1发明同样的效果。
根据上述第18发明，可以得到与上述第1发明同样的效果。
附图说明
图1是示出本发明的第一实施方式的基板处理系统的概略结构的图。
图2是示出上述第一实施方式中基板处理装置的概略结构的图。
图3是以曲线图形式示出某一时序数据的图。
图4是用于说明上述第一实施方式中单位处理数据的图。
图5是示出上述第一实施方式中基板处理装置的控制部的硬件结构的框图。
图6是用于说明上述第一实施方式中时序数据DB的图。
图7是用于说明上述第一实施方式中基准数据DB的图。
图8是示出上述第一实施方式中管理服务器的硬件结构的框图。
图9是示出上述第一实施方式中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图10是示出上述第一实施方式中变更时机设定画面的一例的图。
图11是用于说明上述第一实施方式中是否到达变更指定日的判定的图。
图12是用于说明上述第一实施方式中随着变更时机的设定变更而发生的变更指定日的变化的图。
图13是示出上述第一实施方式中单位处理数据评价处理的流程的流程图。
图14是示出上述第一实施方式中评分画面的一例的图。
图15是示出上述第一实施方式中评分结果列表画面的一例的图。
图16是用于说明上述第一实施方式中推荐设定时的评分结果列表画面的过渡的图。
图17是用于说明上述第一实施方式中推荐设定时的评分结果列表画面的过渡的图。
图18是示出上述第一实施方式中排序设定画面的一例的图。
图19是示出本发明的第二实施方式中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图20是示出上述第二实施方式中变更时机设定画面的一例的图。
图21是示出第一变形例中基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。
图22是示出上述第一变形例中排序画面的一例的图。
图23是用于说明上述第一变形例中进行基准数据的变更时的排序画面的过渡的图。
图24是示出第二变形例中变更时机设定画面的一例的图。
图25是示出第三变形例中变更时机设定画面的一例的图。
图26是示出第四变形例中基准数据历史画面的一例的图。
图27是示出第四变形例中期间指定画面的一例的图。
其中，附图标记说明如下：
1 基板处理装置
2 管理服务器
22 处理单元
40 评分结果列表画面
50 排序设定画面
60 排序画面
70 变更时机设定画面
100 (基板处理装置的)控制部
132、232 数据处理程序
134 时序数据DB
136 基准数据DB
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式。
1.第一实施方式
1.1系统的结构
图1是示出本发明的第一实施方式的基板处理系统(数据处理系统)的概略结构的图。该基板处理系统由多个基板处理装置1以及管理该多个基板处理装置1的管理服务器2构成。多个基板处理装置1与管理服务器2经由LAN等通信线路相互连接。需要说明的是，除非另有说明，此处假设为设置有分别标记“01A”、“02A”的装置编号的两台基板处理装置1。
1.1.1基板处理装置
图2是示出本实施方式的基板处理装置1的概略结构的图。基板处理装置1具有索引部10及处理部20。索引部10包括用于放置能够收纳多张基板的基板收纳器(盒体)的多个基板收纳器保持部12、以及将基板搬出和搬入基板收纳器的索引机械手14。处理部20包括利用处理液进行基板的清洗等处理的多个处理单元22、以及将基板搬入和搬出处理单元22的基板搬送机械手24。处理单元22的数量例如是12个。该情况下，例如，层叠有三个处理单元22的塔结构体设置在如图2所示的基板搬送机械手24的周围的四个位置。各处理单元22中设置有用于对基板进行处理的空间即腔室(Chamber)，在腔室内向基板供给处理液。此外，基板处理装置1在内部具有由微型计算机构成的控制部100。
在对基板进行处理时，索引机械手14从放置在基板收纳器保持部12上的基板收纳器中取出作为处理对象的基板，将该基板经由基板传递部8传递给基板搬送机械手24。基板搬送机械手24将从索引机械手14接收的基板搬入作为对象的处理单元22。在对基板进行的处理结束时，基板搬送机械手24从作为对象的处理单元22取出基板，将该基板经由基板传递部8传递给索引机械手14。索引机械手14将从基板搬送机械手24接收的基板搬入作为对象的基板收纳器。
控制部100控制索引部10及处理部20所包括的控制对象(使索引机械手14移动的移动机构等)的动作。此外，控制部100将通过在该基板处理装置1中执行规程而得到的时序数据累积并保持，并且利用该时序数据进行各种数据处理。
1.1.2时序数据
本实施方式的基板处理装置1中，为了检测各处理单元22中的处理所涉及的设备的异常或各处理单元22中进行的处理的异常等，每当执行规程时，均获取时序数据。本实施方式中获取的时序数据是在执行规程时利用传感器等测定各种物理量(例如喷嘴的流量、腔室的内压、腔室的排气压等)并将测定结果按照时序排列而得到的数据。后述的数据处理程序将各种物理量分别作为对应的参数值来进行处理。需要说明的是，一个参数对应于一种物理量。
图3是以曲线图形式示出某一时序数据的图。该时序数据是在执行一个规程时在一个处理单元22内的腔室对一张基板进行处理而得到的某物理量的数据。需要说明的是，时序数据是由多个离散值构成的数据，而图3中将在时间上邻接的两个数据值之间用直线连结。另外，在执行一个规程时，对于每个执行该规程的处理单元22，获取关于各种物理量的时序数据。因此，以下，将在执行一个规程时在一个处理单元22内的腔室对一张基板进行的处理称为“单位处理”，将由单位处理得到的一组时序数据称为“单位处理数据”。如图4示意性所示，一个单位处理数据包括关于多个参数的时序数据、以及由用于确定该单位处理数据的多个项目(例如，处理的开始时刻、处理的结束时刻等)的数据等组成的属性数据。需要说明的是，图4中，“参数A”、“参数B”、以及“参数C”对应于种类互不相同的物理量。
为了检测设备或处理的异常，应该将通过执行规程而得到的单位处理数据、与具有理想的数据值作为处理结果的单位处理数据进行比较。更具体而言，应该将通过执行规程而得到的单位处理数据中包括的多个时序数据、分别与具有理想的数据值作为处理结果的单位处理数据中包括的多个时序数据进行比较。因此，本实施方式中，各基板处理装置1中，对于每个规程设定用于与作为评价对象的单位处理数据进行比较的单位处理数据(由用于与作为评价对象的单位处理数据所包括的多个时序数据分别进行比较的多个时序数据组成的单位处理数据)作为基准数据。
另外，在本实施方式中，在两台基板处理装置1中的每一台装置中，对每个规程设定基准数据，而与处理单元22的数量(腔室的数量)无关。然而，本发明不限于此，也可以对每个规程及每个处理单元22(即，各规程在每个处理单元22)设定基准数据。此外，在本实施方式中，对各规程在每个基板处理装置1中设定基准数据。然而，本发明不限于此，也可以对各规程在两台基板处理装置1中设定通用的一个基准数据。该情况下，可以将设定为基准数据的单位处理数据限定为在一个基板处理装置1中得到的单位处理数据，也可以将在任意一个基板处理装置1中得到的单位处理数据设定为基准数据。
1.1.3基板处理装置的控制部的结构
接着，说明基板处理装置1的控制部100的结构。图5是示出基板处理装置1的控制部100的硬件结构的框图。控制部100具有CPU110、主存储器120、辅助存储装置130、显示部140、输入部150和通信控制部160。CPU110根据被赋予的命令来进行各种运算处理等。主存储器120暂时存储执行中的程序或数据等。辅助存储装置130存储即使在电源关闭下也应被保持的各种程序、各种数据。本实施方式中，具体而言，用于执行后述的数据处理的数据处理程序132被储存在辅助存储装置130中。此外，辅助存储装置130中设置有时序数据DB134及基准数据DB136。需要说明的是，“DB”是“Database(数据库)”的缩略语。如图6示意性所示，时序数据DB134中储存有规定期间的单位处理数据。如图7示意性所示，基准数据DB136中储存有对每个规程被设定为基准数据的单位处理数据(“规程A”、“规程B”、及“规程C”表示互不相同的规程)。显示部140例如显示操作者用于进行操作的各种画面。输入部150例如是鼠标或键盘等，接受由操作者从外部进行的输入。通信控制部160进行数据发送接收的控制。
该基板处理装置1启动时，数据处理程序132被读入主存储器120，并且由CPU110执行被读入该主存储器120的数据处理程序132。需要说明的是，数据处理程序132例如通过记录在CD-ROM(Compact Disc Read-Only Memory：光盘只读存储器)、DVD-ROM(DigitalVideo Disk Read-Only Memory：数字视频磁盘只读存储器)、闪存等记录介质中的方式或经由网络的下载方式来提供。
1.1.4管理服务器的结构
接着，说明管理服务器2的结构。图8是示出管理服务器2的硬件结构的框图。管理服务器2具有CPU210、主存储器220、辅助存储装置230、显示部240、输入部250和通信控制部260。CPU210、主存储器220、辅助存储装置230、显示部240、输入部250及通信控制部260分别具有与基板处理装置1的控制部100内的CPU110、主存储器120、辅助存储装置130、显示部140、输入部150及通信控制部160相同的功能。但是，辅助存储装置230中储存有与在辅助存储装置130内储存的数据处理程序132不同的数据处理程序232。
该管理服务器2启动时，数据处理程序232被读入主存储器220，并且由CPU210执行被读入该主存储器220的数据处理程序232。需要说明的是，数据处理程序232例如通过记录在CD-ROM、DVD-ROM、闪存等记录介质中的方式或经由网络的下载方式来提供。也可以将基板处理装置1用的数据处理程序132与管理服务器2用的数据处理程序232整合为一个程序，通过记录在记录介质中的方式或经由网络的下载方式提供给基板处理装置1及管理服务器2。
1.2基准数据的变更所涉及的数据处理方法
在本实施方式的基板处理系统中，与各基板处理装置1中的各规程相关的基准数据在指定的时机进行变更。因此，下面，参照图9所示的流程图，说明基准数据的变更所涉及的处理流程。在图9中，在左侧表示管理服务器2的处理流程，在右侧表示基板处理装置1的处理流程。步骤S100～步骤S130的处理通过在管理服务器2中由CPU210执行数据处理程序232来实现，步骤S200～步骤S220的处理通过在基板处理装置1中由CPU110执行数据处理程序132来实现。需要说明的是，以下将作为评价对象的单位处理数据称为“评价对象数据”。
首先，管理服务器2中，基准数据的变更时机的设定由操作者的操作来进行(步骤S100)。此时，例如图10所示的变更时机设定画面70显示在管理服务器2的显示部240中。变更时机设定画面70中包括设定用区域700、OK按钮78和Cancel按钮79。OK按钮78是用于确定设定内容的按钮。Cancel按钮79是用于取消设定内容的按钮。
在变更时机设定画面70的设定用区域700中，能够对“装置编号”、“导入年份”、及“处理规程”这三个项目设定基准数据的变更时机。对各项目设置一个或多个设定对象。例如，对项目“导入年份”设置有“2016”及“2017”这两个设定对象。变更时机的设定通过对每个设定对象指定经过时间(即，变更基准数据的时间间隔)来进行，该经过时间即为从在某一时间点进行基准数据的变更起至下一次进行基准数据的变更为止的期间的长度。当关注项目“装置编号”时，可以对每个装置设定变更时机。需要说明的是，装置编号是用于唯一地识别基板处理装置1的编号。当关注项目“导入年份”时，能够对每个导入年份设定变更时机。需要说明的是，导入年份是指将基板处理装置1导入该基板处理系统的年份。当关注项目“处理规程”时，能够对每个规程设定变更时机。
如图10所示，在设定用区域700中，对每个设定对象设置有旋转控制框71和下拉列表72。旋转控制框71是用于指定要设定的期间的长度的界面。该旋转控制框71构成为能够使表示期间长度的数值增减。下拉列表72是用于指定要设定的期间的单位的界面。能够在该下拉列表72中指定的单位是“年”、“月”、“天”中的任一个。
如上所述，本实施方式中，在各基板处理装置1中，对每个规程设定基准数据。鉴于此，下面说明基准数据如何基于该变更时机设定画面70中设定的内容进行变更。
在图10所示的例子中，对于项目“装置编号”，对设定对象“01A”设定经过时间为“1年”。在进行了这种设定的情况下，在装置编号为“01A”的基板处理装置1中对所有规程每1年变更一次基准数据。此外，图10所示的例子中，对于项目“导入年份”，对设定对象“2016”设定经过时间为“7天”。在进行了这种设定的情况下，在导入年份为2016年的基板处理装置1中对所有规程每7日变更一次基准数据。此外，在图10所示的例子中，对于项目“处理规程”，对设定对象“规程A”设定经过时间为“1年”。在进行了这种设定的情况下，在所有基板处理装置1中对名称为“规程A”的规程每1年变更一次基准数据。
如上所述，在图10所示的例子中，对例如装置编号为“01A”、2016年导入的基板处理装置1中的名称为“规程A”的规程的基准数据，在每7天的时机及每1年的时机进行变更。此外，对例如装置编号为“02A”、2017年导入的基板处理装置1中的名称为“规程A”的规程的基准数据，在每2个月的时机、每3个月的时机、及每1年的时机进行变更。
另外，在变更时机设定画面70中能够将经过时间设定为“0”或“空白”，可以在后述的步骤S120的处理时忽略经过时间被设定为“0”或“空白”的设定对象。此外，在采用了对每个处理单元22设定基准数据的结构的情况下，可以对每个装置、每个处理单元22设定变更时机。
对于图9所示的流程，在如上所述利用变更时机设定画面70设定了基准数据的变更时机后，管理服务器2中进行运转期间的累加计数(步骤S110)。具体而言，数据处理程序232中预存有运转期间计数用的变量(以下称为“运转期间变量”)CntD，每经过1天该运转期间变量CntD的值加“1”。
当运转期间变量CntD的值加“1”时，对于各设定对象判定是否到达了应基于变更时机设定画面70中的设定内容而进行基准数据的变更的日期(以下简称为“变更指定日”)(步骤S120)。作为判定的结果，若存在到达了变更指定日的设定对象，则处理进入步骤S130。反之，若不存在到达了变更指定日的设定对象，则处理返回步骤S110。
此处，参照图11，说明判定是否到达了变更指定日的具体方法的一例。但是，本发明不限于此。另外，假设将最初进行变更时机的设定的日期作为基准日来进行运转期间变量CntD的计数。此处，在图10所示的例子中，关注项目“导入年份”中的设定对象“2017”。对于该设定对象设定了经过时间为“2个月”。此时，例如，基准日为某年的5月3日，如图11所示，该设定对象的变更指定日为从5月3日开始的每隔2个月的日期(7月3日、9月3日、11月3日、…)。根据该变更指定日的信息与基准日的信息，能够对各变更指定日求出从基准日起的经过天数。例如，对基准日与同年的9月3日，从基准日起的经过天数为123天。由于能够像这样地求出从基准日起至各变更指定日的经过天数，因此能够通过将该经过天数与运转期间变量CntD的值进行比较，来判定是否到达了变更指定日。例如在7月3日运转期间变量CntD的值为“61”，因此能够对该设定对象判定为到达了变更指定日。
另外，在最初设定了变更时机后，也可以对各设定对象进行变更时机的设定变更。参照图12说明在该情况下变更指定日如何随着变更时机的设定变更而变化。此处，假设某一设定对象的变更时机(经过时间)从“8天”变更为“6天”。此外，假设该设定变更是在从基准日起经过了12天后进行的。该情况下，在最初进行变更时机的设定的时间点，该设定对象的变更指定日为从基准日起的每隔8天的日期(从基准日起的经过天数为8、16、24、…)。在该状态下，如上所述，从基准日起经过了12天后进行设定变更。此时，由于上一次进行基准数据的变更是在从基准日起的8天后，因此例如图12中附图标记76所示，能够将从基准日起8天后的日期起的每隔6天的日期(从基准日起的经过天数为14、20、26、…)设定为变更指定日。此外，例如，如图12中附图标记77所示，也能将从进行了设定变更的日期起的每隔6天的日期(从基准日起的经过天数为18、24、30、…)设定为变更指定日。如此，对于进行了变更时机的设定变更的情况下的处理并无特别限定，根据适当设定的规则将变更指定日进行变更即可。
对于图9所示的流程，在步骤S130中，管理服务器2对于需要变更基准数据的基板处理装置1指示基准数据的变更。此时，若项目“处理规程”所涉及的设定对象达到了变更指定日，则对该规程指示基准数据的变更。与此相对，若项目“装置编号”或者项目“导入年份”所涉及的设定对象到达了变更指定日，则对所有规程指示基准数据的变更。
然后，管理服务器2的处理返回步骤S110。另一方面，需要变更基准数据的某基板处理装置1接收来自管理服务器2的指示(步骤S200)。接收到基准数据变更的指示的基板处理装置1进行用于决定变更后的基准数据即单位处理数据的排序处理(步骤S210)。本实施方式中的排序处理是对于通过执行作为变更基准数据的对象的规程而得到的多个单位处理数据，基于三个指标进行排序的一系列处理。另外，排序处理的具体内容将在后文进行叙述。
基板处理装置1在排序处理结束后，基于排序处理的结果来变更基准数据(步骤S220)。具体而言，基准数据DB136(参照图7)保持的单位处理数据中的与该规程对应的单位处理数据被改写为在步骤S210的排序处理中排在第一位的单位处理数据。如此，将在排序处理中排在第一位的单位处理数据即具有理想的时序的值的单位处理数据作为变更后的基准数据。
基板处理装置1在变更了到达变更指定日的与设定对象对应的基准数据后，处理返回步骤S200。即，基板处理装置1成为等待来自管理服务器2的基准数据变更的指示的待机状态。
通过在管理服务器2及各基板处理装置1中进行如上所述的处理，根据设定的变更时机对各基板处理装置1所保持的各规程的基准数据进行变更。
另外，在图10所示的例子中，当关注装置编号为“01A”且2016年导入的基板处理装置1中的被称为“规程A”的规程的基准数据时，将该基准数据的变更时机(经过时间)设定为“1年”及“7天”这两项。在该情况下，在本实施方式中，该基准数据的变更在每7天的时机及每1年的时机进行。然而，在该情况下也可以仅在每7天的时机进行该基准数据的变更。即，在图10所示的例子的情况下，对于该基准数据至少每7天进行变更即可。如此，各规程的基准数据的变更至少在变更时机设定画面70中设定的符合的变更时机中最小的时机进行即可。
1.3单位处理数据评价处理
在本实施方式中，为了能够进行排序处理(多个单位处理数据的排序)，各基板处理装置1每当进行任意的规程时，都进行单位处理数据评价处理，即，对通过执行该规程而得到的单位处理数据进行评价。下面，参照图13所示的流程图，说明该单位处理数据评价处理。需要说明的是，此处，关注一个规程，并将该规程称为“关注规程”。
首先，通过在基板处理装置1中执行关注规程，基于从执行关注规程的处理单元22得到的评价对象数据来进行评分(步骤S310)。需要说明的是，评分是指在评价对象数据与基准数据之间比较各参数的时序数据并将由此得到的结果转换成数值的处理。假设在8个处理单元22中执行了关注规程的情况下，基于从该8个处理单元22得到的8个评价对象数据中的每一个数据进行评分(即，对每个单位处理进行)，由此得到8个评分结果。评分对多个评价项目进行“良”或“不良”的判断。通过对于各参数，将基于评价对象数据所包括的时序数据和基准数据所包括的时序数据而得到的检查值、以及与该检查值对应的阈值进行比较，由此进行该判断(实质上，是通过将评价对象数据所包括的时序数据与基准数据所包括的时序数据进行比较来进行的)。对此，在检查值超过了阈值的情况下，判断为该评价项目“不良”。另外，可以对一个参数设置多个评价项目。本实施方式中，各评价对象数据的评分结果通过以评价项目的总数为分母、以判断为不良的评价项目的数量为分子的形式来表示。
下面举出评价项目的例子。
例1：某一参数所涉及的稳定期间(参照图3)中的时序数据的平均值
例2：某一参数所涉及的稳定期间(参照图3)中的时序数据的最大值
例3：某一参数所涉及的上升期间(参照图3)的长度
对于例1的评价项目，以该参数所涉及的稳定期间内的“评价对象数据所包括的时序数据的平均值与基准数据所包括的时序数据的平均值的差”作为上述检查值。对于例2的评价项目，以该参数所涉及的稳定期间内的“评价对象数据中包括的时序数据的最大值与基准数据中包括的时序数据的最大值的差”作为上述检查值。对于例3的评价项目，以与该参数相关的“评价对象数据所包括的时序数据的上升期间的长度与基准数据所包括的时序数据的上升期间的长度之差”作为上述检查值。
另外，在评分时，可以进行各时序数据的标准化。例如，可以对各参数，以使基准数据所包括的时序数据的最大值变换为1、最小值变换为0的方式，对评价对象数据所包括的时序数据进行线性变换。此外，评价对象数据一般包括多个参数的时序数据，但可以仅对一部分参数的时序数据进行标准化。需要说明的是，根据需要来进行时序数据的标准化，从而能够更恰当地计算后述的评价值。
在评分结束后显示评分结果(步骤S320)。对此，首先，将表示评分结果的概略情况的例如图14所示的评分画面30显示在显示部140中。在评分画面30中设置有与处理单元22的数量相等数量的按钮32。在按钮32内设置有处理单元名称显示区域321、处理张数显示区域322及错误数显示区域323。在处理单元名称显示区域321中显示该处理单元22的名称。在处理张数显示区域322中显示在该处理单元22内的腔室中在规定期间内处理的基板总数。在错误数显示区域323中显示发生的错误件数。另外，如附图标记34所示，对于发生了错误的处理单元22，在错误数显示区域323显示与错误件数对应的大小的圆。
当按下如上所述的评分画面30中的任一按钮32时，显示用于表示在该处理单元22中执行的单位处理的评分结果的画面。并且，当在该画面上选择一个单位处理时，将列表显示出与该选择出的单位处理对应的规程的评分结果的例如图15所示的评分结果列表画面40显示在显示部140中。
如图15所示，在评分结果列表画面40中包括按钮显示区域41、检索对象显示区域42、项目名称显示区域43、结果显示区域44和期间显示区域45。在按钮显示区域41中设置有Good按钮411和Bad按钮412。
在检索对象显示区域42中显示作为检索对象的处理单元22的名称及作为检索对象的规程(此处为关注规程)的名称。在图15所示的例子中，可以知道作为检索对象的处理单元22的名称为“Chamber 3”、作为检索对象的规程的名称为“Flushing test 2”。
在项目名称显示区域43中显示在结果显示区域44中显示的内容(属性数据)的项目名称。“Failed/Total”是表示评分结果的项目名称。另外，“Failed”相当于判断为不良的评价项目的数量，“Total”相当于评价项目的总数。“Start time”是表示关注规程的开始时刻的项目名称。“End time”是表示关注规程的结束时刻的项目名称。“Process time”是表示关注规程的处理时间的项目名称。“Alarm”是表示在执行关注规程时发生的警报数的项目名称。“Substrate ID”是表示用于唯一地识别进行了基于关注规程的处理的基板(晶片)的编号的项目名称。“Recommend(Good/Bad)”是表示后述的推荐度的项目名称。另外，“Good”相当于表示高评价的程度的值(以下称为“Good值”)，“Bad”相当于表示低评价的程度的值(以下称为“Bad值”)。推荐度由该Good值与Bad值组成。
在结果显示区域44中显示符合检索条件的单位处理数据的属性数据(各种信息或评分结果等)。图15所示的例子中，8个单位处理数据的属性数据显示在结果显示区域44中。操作者能够从显示在结果显示区域44中的属性数据中选择一个属性数据(一行)。
在期间显示区域45中显示预先设定的检索对象期间。通过在该检索对象期间执行关注规程而得到的单位处理数据的属性数据被显示在结果显示区域44中。在图15所示的例子中，可以知道检索对象期间为从2017年7月19日的下午7时39分34秒至2017年8月19日的下午7时39分34秒的一个月。
此处，说明设置在按钮显示区域41的各按钮的功能。Good按钮411是用于在期望提高与在结果显示区域44内选择出的属性数据对应的单位处理数据的评价值时，供操作者按下的按钮。Bad按钮412是用于在期望降低与在结果显示区域44内选择出的属性数据对应的单位处理数据的评价值时，供操作者按下的按钮。另外，评价值的内容将在后文进行叙述。
在显示评分结果列表画面40后，根据需要对表示将各单位处理数据推荐为基准数据的程度的推荐度进行设定(推荐设定)(步骤S330)。推荐设定是通过在选择了在结果显示区域44中显示的属性数据中与作为设定对象的单位处理数据对应的属性数据的状态下，按下Good按钮411或Bad按钮412来进行的。此时，在优选将作为设定对象的单位处理数据作为基准数据的情况下，操作者按下Good按钮411；在不优选作为设定对象的单位处理数据作为基准数据的情况下，操作者按下Bad按钮412。对此，在显示评分结果列表画面40后，Good按钮411及Bad按钮412立即变为不可选择的状态。如图16所示，当在该状态下操作者选择在结果显示区域44中显示的任一属性数据时，该属性数据变为选中状态并且Good按钮411及Bad按钮412变为可选择的状态。在该状态下操作者按下Good按钮411或Bad按钮412，由此进行Good值、Bad值的加法运算。例如，当在图16所示的状态下按下三次Bad按钮412时，如图17所示，选择出的属性数据的Bad值变为“3”。如上所述，评分结果列表画面40构成为能够从外部变更推荐度。另外，关于将Good值或Bad值具体设定为何种值，例如是考虑了评分结果、警报数、该单位处理中得到的产物(基板)的状态(例如，颗粒数、缺陷数、崩塌率)等而决定的。此外，除了Good按钮411及Bad按钮412以外，还可以设置用于减小Good值的按钮以及用于减小Bad值的按钮。
在每次执行规程时进行步骤S310～步骤S330的处理。因此，在基板处理装置1运转时，重复步骤S310～步骤S330的处理。
另外，以评分结果列表画面40显示在基板处理装置1所包括的控制部100的显示部140中为前提进行了说明，但也可以在管理服务器2的显示部240中显示每个基板处理装置1的评分结果列表画面40。评分画面30也是同样。
1.4排序处理
接着，说明排序处理(图9的步骤S210)。如上所述，排序处理是对于通过执行规程而得到的多个单位处理数据，基于三个指标进行排序的一系列处理。各单位处理数据的位次是基于三个指标计算出的评价值(总得分)来决定的。本实施方式中，作为计算评价值的三个指标值，利用基于上述推荐度的值(以下称为“推荐值”)、基于评分结果的值(以下称为“评分结果值”)、以及基于警报的发生次数(或者警报的有无)的值(以下称为“警报值”)。评价值的具体求取方法将在后文进行叙述。在排序处理中，基于评价值进行检索对象期间内的多个单位处理数据的排序。
需要在实际执行排序处理前的适当时机，进行排序处理的执行所需的设定。该设定例如利用如图18所示的排序设定画面50通过操作者的操作来进行。另外，可以在各基板处理装置1中进行该设定，也可以在管理服务器2中进行该设定。如图18所示，该排序设定画面50包括，用于对在计算决定各单位处理数据的位次的评价值时的上述三个指标值各自的影响度(贡献度)进行设定的三个下拉列表51～53、OK按钮58、以及Cancel按钮59。下拉列表51是用于设定推荐值的影响度的界面。下拉列表52是用于设定评分结果值的影响度的界面。下拉列表53是用于设定警报值的影响度的界面。OK按钮58是用于确定设定内容的按钮。Cancel按钮59是用于取消设定内容(利用下拉列表51～53设定的内容)的按钮。
对于下拉列表51～53，例如能够以每1％为单位来设定影响度。但是，也能够以每5％或每10％为单位来设定影响度。另外，对于不希望用其作为计算评价值时的指标值的指标值，可以将影响度设定为0％。
另外，若将下拉列表51的设定值定义为“第一设定值”，将下拉列表52的设定值定义为“第二设定值”，将下拉列表53的设定值定义为“第三设定值”，则优选自动进行值的调整，使得第一设定值、第二设定值与第三设定值之和为100％。对此，在显示排序设定画面50后在对两个下拉列表设定了值时，余下的一个下拉列表的值能够被自动设定。该情况下，例如，在进行了“第一设定值＝50、第二设定值＝30”的设定时，第三设定值被自动设定为“20”。此外，在已经对三个下拉列表设定了值的状态下，在变更了任意一个下拉列表的值时余下的两个下拉列表的值可以维持原比例自动地变更。该情况下，例如，若在进行了“第一设定值＝70、第二设定值＝20、第三设定值＝10”的设定的状态下，第一设定值变更为“55”，则自动地将第二设定值变更为“30”并且将第三设定值变更为“15”。
另外，也可以接受第一设定值、第二设定值与第三设定值之和超过100％的设定，以维持其比例将和变为100％的方式进行内部处理。此外，还可以在进行了第一设定值、第二设定值与第三设定值之和超过100％的设定时，显示“和超过100％”的消息来促使进行重新设定。
在排序处理中，将通过在检索对象期间执行关注规程而从各处理单元22得到的所有单位处理数据作为评价对象数据。首先，对于可以成为基准数据的候补的数据即各评价对象数据，求出上述推荐值。若将Good值表示为CntG，将Bad值表示为CntB，则推荐值V(R)例如根据下式(1)计算出。
V(R)＝(CntG-CntB)×100/(CntG+CntB)···(1)
其中，“CntG＝0”且“CntB＝0”时“V(R)＝0”。
接着，对于各评价对象数据求出上述警报值。对于警报值V(A)，例如，若警报数为0(评分结果列表画面40中记为“None”)则“V(A)＝100”，若警报数为1以上则“V(A)＝-100”。
接着，对于各评价对象数据求出上述评分结果值V(S)。若将评价项目的总数表示为Nt，将判断为不良的评价项目的数量表示为Nf，则评分结果值V(S)例如根据下式(2)计算出。
V(S)＝(Nt-2×Nf)×100/Nt···(2)
在如上所述求出了推荐值V(R)、警报值V(A)、及评分结果值V(S)后，对各评价对象数据进行上述评价值(总得分)的计算。若将排序设定画面50中设定的下拉列表51～53的值(比例)分别表示为P1～P3，则评价值(总得分)Vtotal根据下式(3)计算出。
Vtotal＝V(R)×P1+V(S)×P2+V(A)×P3···(3)
在计算出可以成为基准数据的候补的所有单位处理数据(评价对象数据)的评价值后，基于该计算出的评价值进行单位处理数据的排序。此时，单位处理数据的评价值越大，位次就越高(表示位次的数值就越小)。因此，位次为第一位的单位处理数据是评价值最大的单位处理数据。如上所述，基于这样的排序处理的结果，进行基准数据的变更(图9的步骤S220)。
1.5效果
根据本实施方式，能够分别对多个项目设定将从包括多个时序数据的多个单位处理数据中选择出的基准数据进行变更的时机。并且，在各基板处理装置1中，各规程的基准数据在由操作者设定的时机进行变更。因此，考虑各基板处理装置1的使用状况或恶化程度等来适当地设定基准数据的变更时机，由此能够保持与该基板处理系统的现状对应的基准数据。由此，由于能够将通过执行各规程而得到的单位处理数据、以及与该基板处理系统的现状对应的基准数据进行比较，因此能够高精度地检测基板处理装置1中执行的处理的异常。如上所述，根据本实施方式，能够以高于以往的精度利用时序数据进行异常检测。
此外，根据本实施方式，在变更时机设定画面中设定的时机自动变更基准数据。即，不需要操作者选择单位处理数据作为变更后的基准数据。因此，与需要操作者的选择的结构相比减轻了操作者的操作负担。此外，防止了因操作者的操作失误导致不恰当的单位处理数据被设定为基准数据。
2.第二实施方式
2.1概要
在第一实施方式中，以在由多个基板处理装置1与管理服务器2构成的基板处理系统的形式下进行运用为前提。然而，本发明不限于此。因此，将在一台基板处理装置1单体中进行运用的例子作为本发明的第二实施方式进行说明。
本实施方式中的基板处理装置1的结构与第一实施方式中的基板处理装置1的结构相同(参照图2及图5～图7)。但是，本实施方式中的辅助存储装置130中储存的数据处理程序132不同于第一实施方式，是用于执行从图19的步骤S400至步骤S440的一系列处理的程序。
2.2基准数据的变更所涉及的数据处理方法
参照图19，说明基准数据的变更所涉及的处理流程。首先，基准数据的变更时机的设定由操作者的操作来进行(步骤S400)。本实施方式中，由于在基板处理装置1单体中进行运用，因此步骤S400中例如图20所示的变更时机设定画面70显示在基板处理装置1的显示部140中。由图20可知，能够对每个规程设定基准数据的变更时机。操作者操作旋转控制框71与下拉列表72，来对每个规程设定基准数据的变更时机。
在进行了基准数据的变更时机的设定后，进行运转期间的累加计数(步骤S410)。具体而言，数据处理程序中预先存储的运转期间变量CntD的值每经过1天增加“1”。然后，对于各设定对象基于变更时机设定画面70中的设定内容，进行是否到达了变更指定日的判定(步骤S420)。作为判定的结果，若存在到达了变更指定日的设定对象，则处理进入步骤S430。反之，若不存在到达了变更指定日的设定对象，则处理返回步骤S410。
在步骤S430中，与第一实施方式同样地进行排序处理。然后，基于该排序处理的结果来变更基准数据(步骤S440)。
2.3效果
根据本实施方式，通过在基板处理装置1单体中进行基准数据的变更所涉及的数据处理的结构，可以得到与第一实施方式同样的效果。
3.变形例
下面，说明上述各实施方式的变形例。需要说明的是，以下说明的第一～第四变形例也能适用于第一实施方式及第二实施方式中的任一个。
3.1第一变形例
上述各实施方式中，在进行基准数据的变更时，排序处理中排在第一位的单位处理数据被自动设定为变更后的基准数据。然而，本发明不限于此，也可以由操作者来选择作为变更后的基准数据的单位处理数据。
图21是示出本变形例中的基准数据的变更所涉及的数据处理的流程的流程图。本变形例中，各基板处理装置1中，在排序处理(步骤S210)结束后，表示该排序处理的排序结果的例如图22所示的排序画面60显示在显示部140中(步骤S212)。如图22所示，多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性数据按照排序结果以排序形式显示在排序画面60中。
排序画面60中包括按钮显示区域61、检索对象显示区域62、项目名称显示区域63、结果显示区域64和期间显示区域65。在按钮显示区域61中设置有Swap按钮611。
检索对象显示区域62中显示作为检索对象的处理单元22的名称及作为检索对象的规程(此处为上述的关注规程)的名称。通过图22所示的例子，可以知道作为检索对象的处理单元22的名称为“Chamber 3”、“Chamber4”、以及“Chamber 5”并且检索对象的规程的名称为“Flushing test 2”。在评分结果列表画面40(参照图15)中仅在评分画面30(参照图14)中被选择出的处理单元22成为检索对象，而排序画面60中在检索对象期间执行关注规程的所有处理单元22成为检索对象。
项目名称显示区域63中显示在结果显示区域64中显示的内容(属性数据)的项目名称。“Ranking”是表示排序的位次的项目名称。“Total Score”是表示上述评价值(总得分)的项目名称。“Recommend Score”是表示将上述推荐值乘以在排序设定画面50的下拉列表51中设定的比例而得到的值(V(R)×P1)的项目名称。“Scoring Result Score”是表示将上述评分结果值乘以在排序设定画面50的下拉列表52中设定的比例而得到的值(V(S)×P2)的项目名称。“Alarm Number Score”是表示将上述警报值乘以在排序设定画面50的下拉列表53中设定的比例而得到的值(V(A)×P3)的项目名称。“Unit”是表示处理单元的项目名称。“Start time”是表示关注规程的开始时刻的项目名称。“End time”是表示关注规程的结束时刻的项目名称。“Process time”是表示关注规程的处理时间的项目名称。
在结果显示区域64中显示符合检索条件的单位处理数据的属性数据(各种信息或排序的位次等)。由图22可知，在结果显示区域64内，单位处理数据的属性数据按照评价值从高到低排列的状态显示。因此，与在结果显示区域64中的第1行显示的属性数据对应的单位处理数据是符合检索条件的单位处理数据中评价值最大的单位处理数据。操作者可以从显示在结果显示区域64中的属性数据中选择一个属性数据(一行)。另外，也可以仅将评价值排序靠前的单位处理数据(例如，排序的位次为1-5的单位处理数据)的属性数据显示在结果显示区域64中。
在期间显示区域65中，与评分结果列表画面40的期间显示区域45同样地显示检索对象期间。通过图22所示的例子，可以知道检索对象期间为2017年7月19日的下午7时39分34秒至2017年8月19日的下午7时39分34秒这1个月的期间。
在显示排序画面60后，由操作者选择变更后的基准数据(步骤S214)。具体而言，操作者从显示在排序画面60的结果显示区域64中的属性数据中选择与作为变更后的基准数据的单位处理数据对应的属性数据。由此，在排序画面60中，被选择出的属性数据变为选中状态。在该状态下，操作者按下按钮显示区域61内的Swap按钮611。由此，变更关注规程的基准数据(步骤S220)。具体而言，在基准数据DB136(参照图7)中保持的单位处理数据中的与关注规程对应的单位处理数据被改写为与在结果显示区域64内变为选中状态的属性数据对应的单位处理数据。
例如，若在排序画面60变为图22所示的状态时，操作者选择结果显示区域64内的第1行的属性数据，则如图23所示，第1行的属性数据变为选中状态并且Swap按钮611变为可以按下的状态。若在该状态下操作者按下Swap按钮611，则关注规程的基准数据变更为与第1行的属性数据对应的单位处理数据。
根据本变形例，能够参照基于评价值的排序(排序处理)的结果，选择任意的单位处理数据作为变更后的基准数据。因此，也能够将排序的位次为第一位以外的单位处理数据选择为基准数据。如此，能够选择符合用户需求的基准数据。
3.2第二变形例
在上述各实施方式中，基准数据的变更是在基于变更时机设定画面70中的设定内容的变更指定日进行的。对此，例如也可以设置如下功能：在用户所期望的任意时机进行基准数据的变更，以使与不定期进行的维护处理连动地进行基准数据的变更等的功能(以下简称为“任意变更功能”)。下面，说明实现该任意变更功能的具体方法的一例。
在本变形例中，在基板处理装置1的显示部140中显示用于操作者在期望进行基准数据的变更时按下的软件按钮(以下称为“基准数据变更指示按钮”)。此外，如图24所示，本变形例中的变更时机设定画面70的设定用区域700中设置用于设定是否使任意变更功能有效的任意变更设定区域701。在任意变更设定区域701中设置两个单选按钮73、74，当单选按钮73处于选中状态时任意变更功能有效，当单选按钮74处于选中状态时任意变更功能无效。需要说明的是，基准数据变更指示按钮相当于变更指示部，使单选按钮73变为选择状态相当于使变更指示有效。
若在任意变更功能有效时按下基准数据变更指示按钮，则在基板处理装置1中首先进行排序处理(图9的步骤S210的处理)。在该排序处理中，对于所有规程，对通过执行规程而得到的多个单位处理数据，基于三个指标进行排序。然后，在基板处理装置1中，对于各规程，基于排序的结果变更基准数据。具体而言，对于各规程，使排序中排在第一位的单位处理数据变为变更后的基准数据。如此，若在任意变更功能有效时按下基准数据变更指示按钮，则变更基准数据，而与变更时机设定画面70中的设定内容无关。
在如上所述的结构中，例如在用户期望在每次进行维护处理时变更基准数据的情况下，使任意变更功能有效并且在每次进行维护处理时操作者按下基准数据变更指示按钮即可。
另外，若数据处理程序能够检测硬件按钮的按下操作，则上述基准数据变更指示按钮可以由硬件按钮代替软件按钮来实现。
3.3第三变形例
在上述各实施方式中，变更时机的设定通过指定时间间隔(从在某一时间点进行基准数据的变更至下一次进行基准数据的变更的期间的长度即经过时间)来进行。然而，本发明不限于此，也可以通过指定处理次数来进行变更时机的设定。
在本变形例中，例如，如图25所示，在变更时机设定画面70的设定用区域700中设置用于通过对每个规程指定处理次数来进行变更时机的设定的区域702。在该区域702中设置有旋转控制框75，旋转控制框75构成为能够使表示处理次数的数值增减。
在如上所述的结构中，例如图25所示，当将规程A的处理次数设定为“100”时，规程A的基准数据除了在基于经过时间而指定的变更时机进行变更以外，还在每执行100次规程A时进行变更。
3.4第四变形例
根据上述各实施方式，基准数据按照由操作者设定的变更时机进行变更。对此，上述各实施方式中仅各规程的最新的基准数据被保持在基准数据DB136中，但也可以将过去的基准数据保持在基准数据DB136中。此外，过去的基准数据也可以保持在与基准数据DB136不同的数据库中。也以这种方式可以保留基准数据的历史。
因此，可以设置利用基准数据的历史将过去的基准数据恢复为当前的基准数据的功能。例如，可以在各基板处理装置1(或者管理服务器2)中预先存储显示基准数据的历史的菜单，并且在选择该菜单来进行规程的指定时，将如图26所示的基准数据历史画面80显示在显示部140中。如图26所示，在基准数据历史画面80中包括按钮显示区域81、项目名称显示区域82和历史显示区域83。在按钮显示区域81中设置有Swap按钮811。在项目名称显示区域82中显示在历史显示区域83中显示的内容(属性数据)的项目名称(例如，表示指定的规程的开始时刻的项目名称等)。在历史显示区域83中显示指定的规程的过去的基准数据(过去被设定为基准数据的单位处理数据)的属性数据。在图26所示的例子中，过去的6个基准数据的属性数据显示在历史显示区域83中。操作者能够从显示在历史显示区域83中的属性数据中选择一个属性数据(一行)。Swap按钮811是用于将与在历史显示区域83内选择出的属性数据对应的过去的基准数据(过去被设定为基准数据的单位处理数据)恢复为当前的基准数据的按钮。
在显示基准数据历史画面80后，Swap按钮811立即变为不可选择的状态。在该状态下当操作者选择在历史显示区域83中显示的任一属性数据时，该属性数据变为选中状态并且Swap按钮811变为可选择的状态。若在该状态下操作者按下Swap按钮811，则基准数据变更为与历史显示区域83中变为选中状态的属性数据对应的单位处理数据，而与变更时机设定画面70中的设定内容无关。即，将与历史显示区域83中变为选中状态的属性数据对应的过去的基准数据恢复为被指定的规程的当前的基准数据。
另外，关于本变形例，也可以是，例如在假设在指定了规程后将如图27所示的期间指定画面85显示在显示部140中并接受由操作者进行的期间指定，在每个该指定的期间变更了基准数据的情况下，将基准数据的历史显示在显示部140中。由此，例如，能够依次显示在假设每7天变更了基准数据的情况下的基准数据的历史、在假设每1个月变更了基准数据的情况下的基准数据的历史、以及在假设每1年变更了基准数据情况下的基准数据的历史等，并且将这些结果灵活运用于时序数据的分析。

Claims (18)

1.一种数据处理方法，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理方法包括：
变更时机设定步骤，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更步骤，在所述变更时机设定步骤中设定的时机，变更所述基准数据。
2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，基于对每个单位处理数据计算出的评价值来对所述多个单位处理数据进行排序，并且基于所述排序的结果，决定作为变更后的基准数据的单位处理数据。
3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述基准数据变更步骤中，将基于所述排序的位次为第一位的单位处理数据设定为变更后的基准数据。
4.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据变更步骤包括：
排序显示步骤，根据所述排序的结果，将表示所述多个单位处理数据中的每个单位处理数据的属性的属性数据按照排序形式进行显示，以及
基准数据选择步骤，从在所述排序显示步骤中显示的多个属性数据中选择作为变更后的基准数据的单位处理数据的属性数据。
5.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
6.根据权利要求1～5中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理。
7.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个基板处理装置指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
8.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个基板处理装置的导入年份指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
9.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述变更时机设定步骤中，通过对每个规程指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
10.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基板处理装置具有用于处理基板的多个处理单元，
在所述变更时机设定步骤中，对每个处理单元指定用于变更所述基准数据的时间间隔来进行所述变更时机的设定。
11.根据权利要求1～4中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述单位处理是在基板处理装置中作为一个规程对一张基板执行的处理，
在所述变更时机设定步骤中，通过指定每个规程的处理次数来进行所述变更时机的设定。
12.根据权利要求6～11中任一项所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基板处理装置具有用于进行所述基准数据的变更指示的变更指示部，
在所述变更时机设定步骤中，除了所述变更时机的设定以外，还进行是否使所述变更指示部的变更指示有效的设定，
当在所述变更时机设定步骤中进行了使所述变更指示部的变更指示有效的设定时，若利用所述变更指示部进行变更指示，则变更所述基准数据，而与所述变更时机的设定的内容无关。
13.一种数据处理装置，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理装置具有：
变更时机设定部，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更部，在由所述变更时机设定部设定的时机，变更所述基准数据。
14.根据权利要求13所述的数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置还具有历史显示部，所述历史显示部显示历史画面，所述历史画面将过去被设定为基准数据的单位处理数据进行列表显示，以便能够掌握所述基准数据的历史。
15.根据权利要求14所述的数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置还具有基准数据恢复部，所述基准数据恢复部将所述基准数据变更为过去被设定为基准数据的单位处理数据，
所述历史画面构成为能够从外部选择被列表显示的单位处理数据中的任意单位处理数据，
所述基准数据恢复部将所述基准数据变更为在所述历史画面中选择出的单位处理数据，而与所述变更时机的设定的内容无关。
16.根据权利要求13～15中任一项所述的数据处理装置，其特征在于，
所述基准数据变更部在由所述变更时机设定部设定的时机，自动变更所述基准数据。
17.一种数据处理系统，将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理系统具有：
变更时机设定部，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更部，在由所述变更时机设定部设定的时机，变更所述基准数据。
18.一种计算机可读取的记录介质，其上存储有数据处理程序，所述数据处理程序用于将在单位处理中得到的多个时序数据作为单位处理数据并处理多个单位处理数据，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
变更时机设定步骤，进行基准数据的变更时机的设定，所述基准数据是从所述多个单位处理数据中选择出的数据并且是作为各单位处理数据的比较对象的数据，以及
基准数据变更步骤，在所述变更时机设定步骤中设定的时机，变更所述基准数据。
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