CN110134916A - 数据处理方法、数据处理装置及记录介质 - Google Patents

数据处理方法、数据处理装置及记录介质 Download PDF

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Abstract

本发明提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。为了处理由具有多个处理单元(25)的基板处理装置(20)得到的时序数据(7)，数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据(7)与基准数据(8)进行比较，来求取时序数据(7)的分数(9)；以及结果显示步骤(S107)，显示评价结果画面(50)，评价结果画面(50)针对每个处理单元(25)包括圆图(53)，该圆图(53)用于表示分数(9)异常的基板的张数即分数错误件数(52)以及表示分数错误件数(52)在处理过的基板的张数中的比例。分数错误件数(52)与圆图(53)的显示尺寸根据分数错误件数(52)而变化。

Description

数据处理方法、数据处理装置及记录介质
技术领域
本发明涉及数字数据处理，尤其涉及由基板处理装置测定的数据的处理方法、处理装置以及记录介质。
背景技术
作为检测设备或装置的异常的方法，已知一种利用传感器等测定用于表示设备或装置的动作状态的物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)，并分析将测定结果按时序顺序排列得到的时序数据的方法。在设备或装置在相同条件下进行相同动作的情况下，若不存在异常，则时序数据同样地变化。因此，能够将同样变化的多个时序数据相互比较来检测异常的时序数据，并且分析该异常的时序数据来确定异常的发生位置或原因。
在半导体基板(以下称为基板)的制造工序中，利用多个基板处理装置执行一系列处理。基板处理装置包括对基板进行一系列处理中的特定处理的多个处理单元。各处理单元根据预先设定的流程(称为规程)对基板进行处理。此时基于各处理单元的测定结果，得到时序数据。通过对得到的时序数据进行分析，能够确定发生异常的处理单元或异常的原因。
关于本发明，日本特开2001-265431号公报公开了一种错误输出方法，即，对于独立发生的错误，将错误信息显示在第一层级；对于因先前的错误而导致的错误，将错误信息显示在第二层级以下的下层区域。国际公开第2003/85504号公开了一种包括用于显示各种的信息的屏幕画面的用于半导体系统工艺的图形用户界面。
发明内容
基板处理装置具有多个处理单元，基于各处理单元中大量的测定结果来得到大量的时序数据。因此，使用者(基板处理装置的操作者)在观察包括时序数据的所有异常的显示画面时，能够容易地把握基板处理装置的状态。
因此，本发明的目的在于，提供一种能够容易地掌握基板处理装置的状态的数据处理方法。
本发明的第1实施方式是一种数据处理方法，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，
所述数据处理方法包括：
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
本发明的第2实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。
本发明的第3实施方式根据本发明的第2实施方式，其特征在于，
所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
本发明的第4实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。
本发明的第5实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面还包括表情标记，
所述表情标记的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的所述评价值为异常的基板的张数而变化。
本发明的第6实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述数据处理方法还包括评价值选择步骤，在所述评价值选择步骤中从在所述评价值计算步骤中求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值，
在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值选择步骤中选择出的评价值来显示所述评价结果画面。
本发明的第7实施方式根据本发明的第6实施方式，其特征在于，
在所述评价值选择步骤中，选择在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，
在所述结果显示步骤中，基于在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示所述评价结果画面。
本发明的第8实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述结果显示步骤中，分层地显示所述评价结果画面、包括所述评价值的画面、以及包括所述时序数据的曲线图的画面。
本发明的第9实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值计算步骤中求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面。
本发明的第10实施方式根据本发明的第1实施方式，其特征在于，
所述基准数据是其他时序数据。
本发明的第11实施方式是一种数据处理装置，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，
所述数据处理装置具有：
评价值计算部，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示部，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
本发明的第12实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。
本发明的第13实施方式根据本发明的第12实施方式，其特征在于，
所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
本发明的第14实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。
本发明的第15实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述评价结果画面还包括表情标记，
所述表情标记的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的所述评价值为异常的基板的张数而变化。
本发明的第16实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述数据处理装置还具有评价值选择部，所述评价值选择部从由所述评价值计算部求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值，
所述结果显示部基于由所述评价值选择部选择出的评价值来显示所述评价结果画面。
本发明的第17实施方式根据本发明的第16实施方式，其特征在于，
所述评价值选择部选择在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，
所述结果显示部基于在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示所述评价结果画面。
本发明的第18实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述结果显示部分层地显示所述评价结果画面、包括所述评价值的画面、以及包括所述时序数据的曲线图的画面。
本发明的第19实施方式根据本发明的第11实施方式，其特征在于，
所述结果显示部基于由所述评价值计算部求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面。
本发明的第20实施方式是一种计算机可读取的记录介质，其上存储有用于处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据的数据处理程序，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元的圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
发明的效果
根据上述第1、第11或第20实施方式，显示针对每个处理单元包括用于表示异常件数(评价值异常的基板的张数)的比例的圆图的评价结果画面，圆图的显示尺寸根据异常件数而变化。因此，使用者在观察评价结果画面时，能够容易地识别评价值异常的基板的比例。此外，能够基于显示的圆图，容易地掌握基板处理装置中包括的多个处理单元的状态，并且能够容易地识别多个处理单元中紧急度较高的处理单元。
根据上述第2或第12实施方式，通过将异常件数显示在圆图的内侧，能够通过较少的面积来显示多个处理单元的状态。
根据上述第3或第13实施方式，异常件数的显示尺寸根据异常件数而变化。因此，使用者在参照评价结果画面时，能够基于显示的异常件数，容易地掌握基板处理装置中包括的多个处理单元的状态，并且能够容易地识别多个处理单元中紧急度较高的处理单元。
根据上述第4或第14实施方式，使用者通过观察箭头，能够容易地识别各处理单元中的异常件数的增减趋势。
根据上述第5或第15实施方式，使用者通过观察表情标记，能够容易地掌握最近检测到的评价值异常的基板的张数程度。
根据上述第6或第16实施方式，基于满足给定条件的基板所涉及的评价值来显示评价结果画面。因此，使用者能够容易地识别按照特定流程处理基板时的处理单元的状态。
根据上述第7或第17实施方式，基于在每组处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示评价结果画面。因此，使用者能够容易地识别当对基板进行了各个组不同的处理时的处理单元的状态。
根据上述第8或第18实施方式，通过分层地显示评价结果画面、包括评价值的画面、以及包括时序数据的图的画面，使用者能够对评价值异常的基板容易地分析评价值、时序数据。
根据上述第9或第19实施方式，使用者在观察概要画面时，能够容易地掌握多个基板处理装置的状态。
根据上述第10实施方式，通过使用其他时序数据作为基准数据，能够对时序数据求取恰当的评价值。
附图说明
图1是示出本发明的实施方式的数据处理装置的结构的框图。
图2是示出图1所示的基板处理装置的概略结构的图。
图3是以曲线图形式示出图1所示的数据处理装置中的时序数据的图。
图4是示出作为图1所示的数据处理装置发挥功能的计算机的结构例的框图。
图5是示出图1所示的数据处理装置的动作的流程图。
图6是示出图1所示的数据处理装置的评价结果画面的图。
图7是放大示出图6所示的评价结果画面的一部分的图。
图8是示出图1所示的数据处理装置中的分数评价期间的图。
图9是示出图6所示的评价结果画面中包括的箭头种类的图。
图10是示出图6所示的评价结果画面中包括的表情标记的种类的图。
图11是示出图1所示的数据处理装置的分数错误列表画面的图。
图12是示出图1所示的数据处理装置的规程列表画面的图。
图13A是示出图1所示的数据处理装置的结果列表画面的图。
图13B是示出图1所示的数据处理装置的分数列表画面的图。
图13C是示出图1所示的数据处理装置的详细画面的图。
图14是示出图1所示的数据处理装置中执行了腔室分组时的评价结果画面的图。
图15是示出图1所示的数据处理装置的概要画面的图。
其中，附图标记说明如下：
7 时序数据
8 基准数据
9 分数
10 数据处理装置
11 数据存储部
12 分数计算部
13 分数存储部
14 筛选部
15 结果显示部
16 指示输入部
20 基板处理装置
25 处理单元
30 计算机
31 CPU
32 主存储器
40 记录介质
41 数据处理程序
50、90 评价结果画面
51、96 显示区域
52 分数错误件数
53 圆图
54 箭头
55 对号标记
62、97 表情标记
81 结果列表画面
82 分数列表画面
83 详细画面
95 概要画面
具体实施方式
下面，参照附图说明本发明的实施方式的数据处理方法、数据处理装置以及数据处理程序。本实施方式的数据处理方法典型地利用计算机来执行。本实施方式的数据处理程序是用于利用计算机实施数据处理方法的程序。本实施方式的数据处理装置典型地由计算机构成。执行数据处理程序的计算机作为数据处理装置发挥功能。
图1是示出本发明的实施方式的数据处理装置的结构的框图。图1所示的数据处理装置10具有数据存储部11、分数计算部12、分数存储部13、筛选部14、结果显示部15以及指示输入部16。数据处理装置10与基板处理装置20连接使用。
基板处理装置20包括多个处理单元25，各处理单元25测定用于表示处理单元25的动作状态的多个物理量(例如，长度、角度、时间、速度、力、压力、电压、电流、温度、流量等)。由此，得到多个时序数据7。数据存储部11存储通过上述的方法求出的时序数据7、以及时序数据7的期望值数据即基准数据8。作为基准数据8，例如，使用在大量的时序数据中被判断为最优的期望值数据的其他时序数据。
分数计算部12对数据存储部11中存储的时序数据7求取评价值(以下称为分数)。分数计算部12从数据存储部11中读取时序数据7及其对应的基准数据8，通过将两者进行比较来求取分数9。分数存储部13存储由分数计算部12求出的分数9。筛选部14从分数存储部13中存储的分数9中选择满足给定条件的基板所涉及的分数9。分数计算部12作为评价值计算部发挥功能，筛选部14作为评价值选择部发挥功能。
结果显示部15对每个处理单元25显示评价结果画面，该评价结果画面包括分数9异常的基板的张数。向指示输入部16输入来自使用者的指示。使用者利用指示输入部16，指示对分数计算部12的分数的计算方法、筛选部14的筛选方法、在结果显示部15中显示的画面进行选择等。
图2是示出基板处理装置20的概略结构的图。基板处理装置20具有索引部21和处理部22。索引部21包括多个盒体保持部23和索引机械手24。处理部22包括多个处理单元25和基板搬送机械手26。盒体保持部23上放置用于收纳多个基板的盒体(未图示)。索引机械手24进行从盒体取出基板的动作以及将基板装入盒体的动作。处理单元25具有用于对基板进行处理的空间(以下称为腔室)。腔室与处理单元25一一对应。在腔室内部进行例如利用处理液清洗基板等处理。基板搬送机械手26进行将基板搬入和搬出处理单元25的动作。处理单元25的个数例如是24个。该情况下，例如，层叠有4个处理单元25的塔结构体设置在基板搬送机械手26的周围的6个位置。
索引机械手24从放置于盒体保持部23的盒体取出作为处理对象的基板，并且将取出的基板经由基板传递部27传递给基板搬送机械手26。基板搬送机械手26将从索引机械手24接收的基板搬入作为对象的处理单元25。当对于基板进行的处理结束时，基板搬送机械手26从作为对象的处理单元25取出基板，并且将取出的基板经由基板传递部27传递给索引机械手24。索引机械手24将从基板搬送机械手26接收的基板装入作为对象的盒体。索引部21与处理部22的控制由基板处理装置20的控制部(未图示)来进行。
下面，将处理单元25对一张基板进行的处理称为“单位处理”。在执行单位处理时，处理单元25中利用传感器等测定多个物理量。基于多个物理量的测定结果，得到多个时序数据7。将所得到的多个时序数据7存储在数据存储部11中。以曲线图形式示出时序数据7，例如图3中用实线所示。以曲线图形式示出对应的基准数据8，例如图3中用虚线所示。在图3所示的例子中，时序数据7与基准数据8相比在上升时延迟。
图4是示出作为数据处理装置10发挥功能的计算机的结构例的框图。图4所示的计算机30具有CPU31、主存储器32、存储部33、输入部34、显示部35、通信部36以及记录介质读取部37。例如，使用DRAM作为主存储器32。例如，使用硬盘作为存储部33。输入部34例如包括键盘38、鼠标39。例如，使用液晶显示器作为显示部35。通信部36是有线通信或无线通信的接口电路。与基板处理装置20或其他数据处理装置之间的通信通过通信部36来进行。记录介质读取部37是记录有程序等的记录介质40的接口电路。例如，使用CD-ROM(Compact DiscRead-Only Memory：光盘只读存储器)等非暂时性记录介质作为记录介质40。需要说明的是，上述的计算机30的结构仅为一例，可以使用任意的计算机来构成数据处理装置10。
下面，说明计算机30作为数据处理装置10发挥功能的情况。该情况下，存储部33存储数据处理程序41、时序数据7以及基准数据8。时序数据7是利用通信部36从基板处理装置20接收的。数据处理程序41与基准数据8例如可以利用通信部36从服务器或其他计算机接收，也可以利用记录介质读取部37从记录介质40中读出。基准数据8可以由使用者利用输入部34从存储在存储部33中的时序数据7中选择出。在执行数据处理程序41时，数据处理程序41、时序数据7以及基准数据8被复制传送给主存储器32。CPU31利用主存储器32作为工作用存储器，通过执行主存储器32中存储的数据处理程序41，进行求取时序数据7的分数9的处理、选择满足给定条件的基板所涉及的分数9的处理、显示基于选择出的分数9的评价结果画面的处理等。此时计算机30作为数据处理装置10发挥功能。
图5是示出数据处理装置10的动作的流程图。在数据处理装置10开始进行动作前，数据存储部11中存储有时序数据7和基准数据8。数据处理装置10重复执行图5所示的步骤S101～S109。
如图5所示，分数计算部12判断是否存在未处理的时序数据7，在判断为“是”的情况下进入步骤S102，在判断为“否”的情况下进入步骤S104(步骤S101)。前者的情况下，分数计算部12求取未处理的时序数据7的分数9(步骤S102)。在步骤S102中，分数计算部12通过将各时序数据7与对应的基准数据8进行比较来求取分数9。接着，分数存储部13存储步骤S102中求出的分数9(步骤S103)。
接着，结果显示部15判断是否更新画面，在判断为“是”的情况下进入步骤S105，在判断为“否”的情况下进入步骤S101(步骤S104)。在步骤S104中，结果显示部15在分数存储部13中存储了新的分数9时、在使用者输入了指示时等判断为更新画面。
步骤S104中判断为“是”的情况下，结果显示部15判断待显示的画面的种类是评价结果画面还是概要画面，在前者的情况下进入步骤S106，在后者的情况下进入步骤S108(步骤S105)。前者的情况下，筛选部14从存储在分数存储部13中的分数9中选择满足给定条件的基板所涉及的分数9(步骤S106)。接着，结果显示部15基于步骤S106中选择出的分数9显示评价结果画面(步骤S107)。
在步骤S105中判断为概要画面的情况下，数据处理装置10从其他数据处理装置接收其他数据处理装置求出的分数(步骤S108)。接着，结果显示部15基于由分数计算部12求出的分数9以及步骤S108中接收的分数，显示概要画面(步骤S109)。在执行了步骤S107或S109后，数据处理装置10的控制进入步骤S101。
在图5所示的流程图中，分数计算部12进行的步骤S102相当于评价值计算步骤。筛选部14进行的步骤S106相当于评价值选择步骤。结果显示部15进行的步骤S107及S109相当于结果显示步骤。
当基板处理装置20进行了一次单位处理时，得到多个时序数据7。分数计算部12对每张基板对各时序数据7求取分数9。分数计算部12具有各分数9的阈值。分数计算部12将多个分数9中的任一分数9超过阈值的基板判断为“发生了分数错误的基板”，将多个分数9中的任一分数9均未超过阈值基板判断为“未发生分数错误的基板”。以下，将处理单元25处理的基板的张数称为“处理件数”，将其中发生了分数错误的基板的张数称为“分数错误件数”。
图6是示出结果显示部15显示的评价结果画面的图。图6所示的评价结果画面50具有与多个处理单元25对应的多个显示区域51。多个显示区域51在评价结果画面50内以二维方式配置。在各显示区域51的内部显示分数错误件数52等。在评价结果画面50的左侧部分显示基板处理装置20的外观图61、标识符等。在检测出发生了分数错误的基板时，以与外观图61重叠的方式显示表情标记62。在评价结果画面50的上侧部分显示图标63～65，在评价结果画面50中也显示鼠标光标69。需要说明的是，图6所示的评价结果画面50是用于说明分数错误件数较多时的画面。实际的分数错误件数少于图6所示的值。
下面，说明基板处理装置20具有24个处理单元25的情况。评价结果画面50具有与24个处理单元25对应的24个显示区域51。各显示区域51中，“Chamber N”表示处理单元25具有的腔室的编号为N。“Total：X”表示处理件数为X。在显示区域51的内部显示分数错误件数52、圆图53以及箭头54。但是，当分数错误件数为0件时，显示对号标记55来代替圆图53。
在分数错误件数为1件以上时，在显示区域51的内部显示圆图53，分数错误件数52显示在圆图53的内侧。分数错误件数52及圆图53的显示尺寸根据分数错误件数例如进行三级变化。在分数错误件数小于10件时分数错误件数52及圆图53的显示尺寸为最小尺寸，在分数错误件数为10件以上且小于100件时分数错误件数52及圆图53的显示尺寸为中间尺寸，在分数错误件数为100件以上时分数错误件数52及圆图53的显示尺寸为最大尺寸。
圆图53示出分数错误件数与处理件数的比例。圆图53的第一要素(颜色深的部分)表示分数错误件数。圆图53的第二要素(剩余部分)表示未发生分数错误的基板的张数。例如，在第16号处理单元25中的处理件数为194件、分数错误件数为80件时，显示区域51a内的分数错误件数52及圆图53的显示尺寸为中间尺寸。在显示区域51a内的圆图53中，80/194的整体为第一要素，114/194的整体为第二要素。在分数错误件数为0件时，在显示区域51的内部显示对号标记55，在与对号标记55重叠的位置显示数字0。
需要说明的是，在图6中，为了便于附图记载，使用白、黑及图案来表示评价结果画面50，但实际上，评价结果画面50由多种颜色来显示。例如，圆图53的第一要素用红色显示，圆图53的第二要素与对号标记55用绿色显示。
除了显示包括分数错误件数52与圆图53的评价结果画面50的功能，数据处理装置10还具有期间筛选功能、显示分数错误的增减趋势的功能、分数错误的推送通知功能、规程筛选功能、分层显示功能、腔室分组功能以及概要画面显示功能。下面，依次说明这些功能。
首先说明期间筛选功能。图7是放大示出评价结果画面50的一部分的图。如图7所示，在图标64的右侧显示三角标记66。在使用者操作鼠标39选择三角标记66时，显示下拉菜单67。下拉菜单67的各项目表示分数评价期间的长度。“24h”“7d”及“30d”分别表示24小时、7天以及30天。“def”表示使用者执行分数评价期间的长度。在使用者选择了项目“def”时，显示用于输入分数评价期间的长度的画面(未图示)。使用者在显示的画面内输入分数评价期间的开始时刻及长度。另外，使用者可以输入开始时刻(或开始日期时间)及结束时刻(或者结束日期时间)来代替分数评价期间的开始时刻和长度。
筛选部14从存储在分数存储部13中的分数9中选择在分数评价期间内完成处理的基板所涉及的分数。结果显示部15基于由筛选部14选择出的分数，显示评价结果画面50。此时结果显示部15显示评价结果画面50，该评价结果画面50包括对每个处理单元25在分数评价期间内完成处理并且发生了分数错误的基板的张数。例如，当分数评价期间的长度为24小时时，在显示区域51内显示从当前时刻至24小时前完成处理并且发生了分数错误的基板的张数作为分数错误件数52。
接着，说明显示分数错误的增减趋势的功能。在显示区域51内显示的箭头54表示分数错误的增减趋势。在数据处理装置10中，在分数评价期间前设定与分数评价期间相同长度的期间(以下称为以前的分数评价期间)(参照图8)。筛选部14从存储在分数存储部13中的分数9中选择在分数评价期间内完成处理的基板所涉及的分数、以及在以前的分数评价期间内完成处理的基板所涉及的分数。结果显示部15对每个处理单元25求取在分数评价期间内完成处理并且发生了分数错误的基板的张数、以及在以前的分数评价期间内完成处理并且发生了分数错误的基板的张数。结果显示部15对每个处理单元25比较两种张数，判断分数错误的增减趋势为“急剧增加”“增加”“无增减”“减少”及“急剧减少”中的哪一种。用于该判断的阈值由使用者预先任意设定。
在图8所示的例子中，分数评价期间的开始时刻为当前时刻，分数评价期间的长度为24小时。该情况下，从当前时刻至24小时前的期间为分数评价期间，从24小时前至48小时前的期间为以前的分数评价期间。当在分数评价期间内完成处理并且发生了分数错误的基板的张数为5张、在以前的分数评价期间内完成处理并且发生了分数错误的基板的张数为10张时，结果显示部15判断分数错误的增减趋势为“减少”。
图9是示出箭头54的种类的图。当分数错误的增减趋势为“急剧增加”时，图9中的(a)所示的向上的箭头54a例如用红色显示。当分数错误的增减趋势为“增加”时，图9中的(b)所示的斜向上的箭头54b例如用橙色显示。当分数错误的增减趋势为“无增减”时，图9中的(c)所示的向右的箭头54c例如用灰色显示。当分数错误的增减趋势为“减少”时，图9中的(d)所示的斜向下的箭头54d例如用浅绿色显示。当分数错误的增减趋势为“急剧减少”时，图9中的(e)所示的向下的箭头54e例如用绿色显示。
接着，说明分数错误的推送通知功能。在检测到发生了分数错误的基板前不显示表情标记62。在检测到发生了分数错误的基板时，即使使用者未进行任何操作也会自动显示表情标记62。当使用者操作鼠标39输入分数错误确认指示时，表情标记62从评价结果画面50中消失。表情标记62的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的分数异常的基板的张数(以下称为确认后的分数错误件数)而变化。
图10是示出表情标记62的种类的图。在确认后的分数错误件数为1件以上且4件以下时，显示图10中的(a)所示的表情标记62a。表情标记62a具有在左眼有1滴眼泪的表情，例如用黄色显示。在确认后的分数错误件数为5件以上且9件以下时，显示图10中的(b)所示的表情标记62b。表情标记62b具有在双眼各有1滴眼泪的表情，例如用橙色显示。在确认后的分数错误件数为10件以上时，显示图10中的(c)所示的表情标记62c。表情标记62c具有在双眼各有3滴眼泪的表情，例如用红色显示。用于切换表情标记62的种类的阈值由使用者预先任意设定。
当使用者操作鼠标39选择表情标记62时，以与评价结果画面50重叠的方式显示图11所示的分数错误列表画面71。在分数错误列表画面71的各行显示分数错误的标识符(ID)、状态、发生日期时间以及内容。在使用者确认过分数错误的情况下，在状态栏显示对号标记。在使用者未确认分数错误的情况下，在状态栏显示复选框72。
当使用者操作鼠标39选择分数错误列表画面71中包括的分数错误时，以与分数错误列表画面71重叠的方式显示用于表示分数错误的详细内容的其他画面(未图示)。使用者在参照显示的画面识别出分数错误的内容后，操作鼠标39在复选框72标记对号，按下OK按钮。由此，使用者对选择出的分数错误输入确认指示。
使用者例如在离席前对所有分数错误输入确认指示。此时，表情标记62从评价结果画面50中消失。在使用者离席期间检测出发生了分数错误的基板时，将具有与发生了分数错误的基板的张数对应的表情的表情标记62显示在评价结果画面50中。在使用者归座时，通过参照表情标记62，能够知道在离席期间检测到的发生了分数错误的基板的张数程度。此外，使用者通过选择表情标记62并参照分数错误列表画面71，能够知道在离席期间检测出的分数错误的内容。
接着，说明规程筛选功能。当使用者操作鼠标39选择图标63时，以与评价结果画面50重叠的方式显示图12所示的规程列表画面75。在规程列表画面75的各行显示规程的标识符(ID)、选择状态、最后更新日期时间以及内容。在选择状态栏显示复选框76。使用者通过操作鼠标39在复选框76标记对号，由此输入规程选择指示。
筛选部14从存储在分数存储部13中的分数9中选择根据选择出的规程处理过的基板所涉及的分数9。结果显示部15基于由筛选部14选择出的分数9，显示评价结果画面50。此时，显示基于根据选择出的规程处理过的基板所涉及的分数9的评价结果画面50。
接着，说明分层显示功能。图13A～图13C是示出以与评价结果画面50重叠的方式显示的画面的图。需要说明的是，图13A～图13C中将画面的内容分别显示为新的对话框，但也可以构成为在以与评价结果画面50重叠的方式显示的一个对话框中将画面的内容显示为标签，并且能够通过按下标签按钮可以来切换是否显示任一画面的内容。显示为标签的方法具有能够将多个画面排列显示在一个对话框中，并且能够容易地切换多个画面等优点。当使用者操作鼠标39在图6所示的评价结果画面50内选择第15号的处理单元25(记为Chamber 15的显示区域51)时，显示图13A所示的结果列表画面81。在结果列表画面81的各行显示基板的标识符、规程的标识符、异常分数的个数和总分数的个数以及处理的开始时刻和结束时刻。
另外，本发明的实施方式不限于此，在选择出图6所示的记为Chamber 15的显示区域51时，显示将用于筛选所显示的分数的条件(例如，处理基板的期间、规程的种类等)以列表形式排列而成的评分设定列表画面(未图示)，并且在从该列表中选择出规定的条件时，显示图13A所示的结果列表画面81作为符合该条件的分数。
当使用者操作鼠标39在结果列表画面81内选择基板“S214067”时，显示图13B所示的分数列表画面82。在分数列表画面82的各行显示时序数据的标识符、基准数据的标识符、判断基准、判断结果以及分数。判断基准是将时序数据与基准数据进行比较来判断是正常还是异常时的基准。例如，基准“Threshold 0.1”表示在分数为0.1以下时判断为正常。在判断结果栏中当分数正常时显示“OK”、在分数异常时显示“NG”。
当使用者操作鼠标39在分数列表画面82内选择时序数据“D0146”时，显示图13C所示的详细画面83。详细画面83包括时序数据7及基准数据8的图。如此，结果显示部15分层地显示评价结果画面50、包括分数(评价值)的分数列表画面82、以及包括时序数据7的曲线图的详细画面83。
接着，说明腔室分组功能。图14是示出执行腔室分组时的评价结果画面的图。在图14所示的评价结果画面90中，处理单元25被分为三组。第1～第8处理单元25被分为第一组，第9～第12处理单元25被分为第二组，第17～第24处理单元25被分为第三组。第一组内的处理单元25对基板进行第一处理。第二组内的处理单元25对基板进行与第一处理不同的第二处理。第三组内的处理单元25对基板进行与第一及第二处理不同的第三处理。需要说明的是，作为组的分类方法，除了基于对基板进行的处理的分类以外，例如可以使用基于使用的基准数据的分类、基于处理基板的期间的分类等各种分类方法。
筛选部14从存储在分数存储部13中的分数9中选择对每组处理单元25进行不同处理的基板所涉及的分数9。结果显示部15基于对每组处理单元25进行不同处理的基板所涉及的分数9来显示评价结果画面90。因此，在与第一组内的处理单元25对应的显示区域51中，基于进行了第一处理的基板所涉及的分数来进行显示，在与第二组内的处理单元25对应的显示区域51中，基于进行了第二处理的基板所涉及的分数来进行显示，在与第三组内的处理单元25对应的显示区域51中，基于进行了第三处理的基板所涉及的分数来进行显示。
接着，说明概要画面显示功能。图15是示出图5所示的步骤S109中显示的概要画面的图。图15所示的概要画面95具有6个显示区域96。左上的显示区域96a表示与数据处理装置10连接的基板处理装置20的动作状态。在显示区域96a中，基于由分数计算部12求出的分数来进行显示。其他5个显示区域96表示未与数据处理装置10连接的其他基板处理装置的动作状态。在这些显示区域96中，基于由其他数据处理装置求出的分数来进行显示。
在各显示区域96的内部，显示基板处理装置的外观图和标识符、表示运转率的圆图、表示分数错误的发生比例的圆图、表示各处理单元中的分数错误的发生状况的条形图、以及表示分数错误的发生状况随时间变化的折线图。此外，在检测出发生了分数错误的基板时，以与基板处理装置的外观图重叠的方式显示表情标记97。
为了处理在具有多个处理单元25的基板处理装置20中得到的时序数据7，本实施方式的数据处理方法包括：评价值计算步骤(S102)，通过将时序数据7与基准数据8进行比较，求取时序数据7的评价值(分数)；以及结果显示步骤(S107)，显示针对每个处理单元25包括圆图53的评价结果画面50，该圆图53用于表示在将评价值为异常的基板的张数作为异常件数(分数错误件数52)时，异常件数在所处理过的基板的张数中的比例。圆图53的显示尺寸根据异常件数而变化。如此，显示评价结果画面50，该评价结果画面50针对每个处理单元25包括用于表示异常件数的比例的圆图53，圆图53的显示尺寸根据异常件数而变化。因此，使用者在看到评价结果画面50时，能够基于所显示的圆图53，容易地掌握基板处理装置20中包括的多个处理单元25的状态，并且能够容易地识别多个处理单元25中紧急度高的处理单元25。
评价结果画面50在圆图53的内侧包括异常件数。由此，能够以较少的面积显示多个处理单元25的状态。异常件数的显示尺寸根据异常件数而变化。因此，使用者在看到评价结果画面50时，能够基于显示的异常件数，容易地掌握基板处理装置20中包括的多个处理单元25的状态，并且能够容易地识别多个处理单元25中紧急度较高的处理单元25。评价结果画面50对每个处理单元25还包括表示异常件数的增减趋势的箭头54。因此，使用者通过参照箭头54，能够容易地识别各处理单元25中的异常件数的增减趋势。评价结果画面50还包括表情标记62，表情标记62的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的评价值异常的基板的张数而变化。因此，使用者通过参照表情标记62，能够容易地识别最近检测出的评价值异常的基板的张数程度。
本实施方式的数据处理方法还包括从在评价值计算步骤中求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值的评价值选择步骤(S106)，在结果显示步骤中基于在评价值选择步骤中选择出的评价值来显示评价结果画面50。因此，使用者能够容易地掌握按照特定顺序处理基板时的处理单元25的状态。在评价值选择步骤中选择在每组处理单元25中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，在结果显示步骤中基于在每组处理单元25中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示评价结果画面90(腔室分组功能)。因此，使用者能够容易地识别当对基板进行了各个组不同的处理时的处理单元25的状态。
在结果显示步骤中分层地显示评价结果画面50、包括评价值的分数列表画面82、以及包括时序数据7的曲线图的详细画面83。因此，使用者能够容易地对评价值异常的基板分析评价值、时序数据7。在结果显示步骤中基于在评价值计算步骤中求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面95。因此，使用者在参照概要画面95时，能够容易地掌握多个基板处理装置的状态。通过利用其他时序数据作为基准数据8，能够对时序数据7求取恰当的评价值。
本实施方式的数据处理装置10及数据处理程序41具有与上述的数据处理方法同样的特征，起到同样的效果。根据本实施方式的数据处理方法、数据处理装置10以及数据处理程序41，使用者能够容易地掌握基板处理装置20中包括的多个处理单元25的状态，并且能够容易地识别在多个处理单元中紧急度较高的处理单元25。
另外，在上述的数据处理方法中，评价结果画面50包括分数错误件数52、圆图53、箭头54以及表情标记62。但评价结果画面50并非必须包括分数错误件数52、圆图53、箭头54以及表情标记62中的全部。此外，本实施方式的数据处理方法具有期间筛选功能、显示分数错误的增减趋势的功能、分数错误的推送通知功能、规程筛选功能、分层显示功能、腔室分组功能以及概要画面显示功能。在变形例的数据处理方法中，可以不具有所有上述的处理，也可以具有从上述的处理中任意选择出的处理。变形例的数据处理装置及数据处理程序也是同理。

Claims (20)

1.一种数据处理方法，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，
所述数据处理方法包括：
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
2.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。
3.根据权利要求2所述的数据处理方法，其特征在于，
所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
4.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。
5.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述评价结果画面还包括表情标记，
所述表情标记的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的所述评价值为异常的基板的张数而变化。
6.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述数据处理方法还包括评价值选择步骤，在所述评价值选择步骤中从在所述评价值计算步骤中求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值，
在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值选择步骤中选择出的评价值来显示所述评价结果画面。
7.根据权利要求6所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述评价值选择步骤中，选择在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，
在所述结果显示步骤中，基于在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示所述评价结果画面。
8.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述结果显示步骤中，分层地显示所述评价结果画面、包括所述评价值的画面、以及包括所述时序数据的曲线图的画面。
9.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
在所述结果显示步骤中，基于在所述评价值计算步骤中求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面。
10.根据权利要求1所述的数据处理方法，其特征在于，
所述基准数据是其他时序数据。
11.一种数据处理装置，处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据，其特征在于，
所述数据处理装置具有：
评价值计算部，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示部，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元包括圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
12.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述评价结果画面在所述圆图的内侧包括所述异常件数。
13.根据权利要求12所述的数据处理装置，其特征在于，
所述异常件数的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
14.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述评价结果画面针对每个所述处理单元还包括用于表示所述异常件数的增减趋势的箭头。
15.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述评价结果画面还包括表情标记，
所述表情标记的表情根据在使用者输入确认指示后完成了处理的所述评价值为异常的基板的张数而变化。
16.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述数据处理装置还具有评价值选择部，所述评价值选择部从由所述评价值计算部求出的评价值中选择满足给定条件的基板所涉及的评价值，
所述结果显示部基于由所述评价值选择部选择出的评价值来显示所述评价结果画面。
17.根据权利要求16所述的数据处理装置，其特征在于，
所述评价值选择部选择在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值，
所述结果显示部基于在每组所述处理单元中进行了不同处理的基板所涉及的评价值来显示所述评价结果画面。
18.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述结果显示部分层地显示所述评价结果画面、包括所述评价值的画面、以及包括所述时序数据的曲线图的画面。
19.根据权利要求11所述的数据处理装置，其特征在于，
所述结果显示部基于由所述评价值计算部求出的评价值与在其他数据处理装置中求出的评价值来显示概要画面。
20.一种计算机可读取的记录介质，其上存储有用于处理由具有多个处理单元的基板处理装置得到的时序数据的数据处理程序，其特征在于，所述数据处理程序使计算机的CPU利用存储器执行：
评价值计算步骤，通过将所述时序数据与基准数据进行比较，来求取所述时序数据的评价值，以及
结果显示步骤，显示评价结果画面，所述评价结果画面针对每个所述处理单元的圆图，所述圆图用于表示在将所述评价值为异常的基板的张数作为异常件数时，所述异常件数在所处理过的基板的张数中的比例；
所述圆图的显示尺寸根据所述异常件数而变化。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2021114084A (ja) * 2020-01-17 2021-08-05 富士フイルムビジネスイノベーション株式会社 情報処理装置及びプログラム
JP7460381B2 (ja) 2020-01-30 2024-04-02 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス データ処理方法、データ処理装置およびプログラム
KR102455758B1 (ko) * 2020-01-30 2022-10-17 가부시키가이샤 스크린 홀딩스 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치 및 기억 매체

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010001015A1 (en) * 1989-07-12 2001-05-10 Seiji Ishikawa Inspection data analyzing system
US20030079162A1 (en) * 2001-10-23 2003-04-24 Sutton Christopher K. Test executive system with progress window
CN1611956A (zh) * 2003-10-30 2005-05-04 株式会社东芝 试验装置、合格与否判定基准设定装置、试验方法以及试验程序
CN101990707A (zh) * 2008-09-30 2011-03-23 东京毅力科创株式会社 基板的异常载置状态的检测方法、基板处理方法、计算机可读取的存储介质以及基板处理装置
US20120053868A1 (en) * 2010-08-31 2012-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Information processing apparatus, method, and storage medium for managing power consumption
TW201250484A (en) * 2011-03-21 2012-12-16 Tokyo Electron Ltd Biologically based chamber matching
CN105940354A (zh) * 2014-02-10 2016-09-14 欧姆龙株式会社 品质管理装置及其控制方法

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0362101A (ja) * 1989-07-31 1991-03-18 Hitachi Ltd プラント運転支援装置
US6542830B1 (en) * 1996-03-19 2003-04-01 Hitachi, Ltd. Process control system
WO2000014790A1 (fr) * 1998-09-03 2000-03-16 Hitachi, Ltd. Systeme d'inspection et procede de production d'un dispositif electronique l'utilisant
JP2001265431A (ja) 2000-03-15 2001-09-28 Hitachi Kokusai Electric Inc エラー出力方法
TWI286785B (en) 2002-03-29 2007-09-11 Tokyo Electron Ltd Method for interaction with status and control apparatus
US6741941B2 (en) * 2002-09-04 2004-05-25 Hitachi, Ltd. Method and apparatus for analyzing defect information
JP3856131B2 (ja) * 2003-01-21 2006-12-13 オムロン株式会社 基板実装ラインの運転支援装置
US7933862B2 (en) * 2004-09-27 2011-04-26 Microsoft Corporation One click conditional formatting method and system for software programs
US7805382B2 (en) * 2005-04-11 2010-09-28 Mkt10, Inc. Match-based employment system and method
JP5086659B2 (ja) * 2007-02-16 2012-11-28 株式会社日立ハイテクノロジーズ 露光状態表示方法及びシステム
JP5145116B2 (ja) * 2008-05-21 2013-02-13 株式会社日立ハイテクノロジーズ 表面欠陥データ表示管理装置および表面欠陥データ表示管理方法
JP5182122B2 (ja) * 2009-01-27 2013-04-10 オムロン株式会社 部品実装基板の品質管理用の情報表示システムおよび情報表示方法
JP2010211377A (ja) * 2009-03-09 2010-09-24 Yokogawa Electric Corp プラント情報管理装置およびプラント情報管理方法
US10574548B2 (en) * 2013-07-31 2020-02-25 Splunk Inc. Key indicators view
US9330174B1 (en) * 2013-09-24 2016-05-03 Microstrategy Incorporated Determining topics of interest
US10061824B2 (en) * 2015-01-30 2018-08-28 Splunk Inc. Cell-based table manipulation of event data
JP6599727B2 (ja) * 2015-10-26 2019-10-30 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 時系列データ処理方法、時系列データ処理プログラム、および、時系列データ処理装置
JP6613853B2 (ja) * 2015-12-01 2019-12-04 オムロン株式会社 管理システムおよび管理プログラム
US9786027B1 (en) * 2016-06-16 2017-10-10 Waygate, Inc. Predictive bi-adaptive streaming of real-time interactive computer graphics content
CN110770663B (zh) * 2017-06-26 2024-01-19 株式会社东芝 可视化系统

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010001015A1 (en) * 1989-07-12 2001-05-10 Seiji Ishikawa Inspection data analyzing system
US20030079162A1 (en) * 2001-10-23 2003-04-24 Sutton Christopher K. Test executive system with progress window
CN1611956A (zh) * 2003-10-30 2005-05-04 株式会社东芝 试验装置、合格与否判定基准设定装置、试验方法以及试验程序
CN101990707A (zh) * 2008-09-30 2011-03-23 东京毅力科创株式会社 基板的异常载置状态的检测方法、基板处理方法、计算机可读取的存储介质以及基板处理装置
US20120053868A1 (en) * 2010-08-31 2012-03-01 Canon Kabushiki Kaisha Information processing apparatus, method, and storage medium for managing power consumption
TW201250484A (en) * 2011-03-21 2012-12-16 Tokyo Electron Ltd Biologically based chamber matching
CN105940354A (zh) * 2014-02-10 2016-09-14 欧姆龙株式会社 品质管理装置及其控制方法

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