TWI699819B - 資料處理方法、資料處理裝置以及資料處理程式 - Google Patents

資料處理方法、資料處理裝置以及資料處理程式 Download PDF

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TWI699819B
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猶原英司
平藤祐美子
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日商斯庫林集團股份有限公司
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Abstract

本發明提供一種能容易地掌握基板處理裝置的狀態之資料處理方法。資料處理方法係用以處理在具有複數個處理單元25的基板處理裝置20中所獲得的時間系列資料7，並具備有：評價值計算步驟(步驟S102)，係比較時間系列資料7與基準資料8，藉此求出時間系列資料7的分數9；以及結果顯示步驟(S107)，係針對每個處理單元25顯示評價結果畫面50，該評價結果畫面50係包含有：評分錯誤件數52，係顯示分數9為異常之基板的片數；以及圓形圖表53，係顯示已處理之基板的片數中的分數錯誤件數52的比例。分數錯誤件數52與圓形圖表53的顯示尺寸係因應分數錯誤件數52而變化。

Description

資料處理方法、資料處理裝置以及資料處理程式
本發明係有關於一種數位資料處理，尤其有關於一種被基板處理裝置所測量之資料的處理方法、處理裝置以及處理程式。
作為用以檢測機器或者裝置的異常之方法，已知有一種方法，係用以分析時間系列資料，該時間系列資料係使用感測器等測量用以顯示機器或者裝置的動作狀態之物理量(例如長度、角度、時間、速度、力量、壓力、電壓、電流、溫度、流量等)並將測量結果依照時間系列順序排列而獲得。在機器或者裝置以相同的條件進行相同的動作的情形中，當無異常時，時間系列資料係同樣地進行變化。因此，相互地比較同樣地進行變化之複數個時間系列資料，檢測異常的時間系列資料並分析異常的時間系列資料，藉此可特定異常的發生部位以及異常的原因。
在半導體基板(以下稱為基板)的製造工序中，使用複數個基板處理裝置執行一連串的處理。基板處理裝置係包含有：複數個處理單元，係對基板進行一連串的處理中之特定的處理。各個處理單元係依循預先設定的順序(稱為處方(recipe))對基板進行處理。此時，依據各個處理單元中之測量結果獲得時間系列資料。藉由分析所獲得的時間系列資料，能特定已發生異常的處理單元以及異常的原因。
與本發明相關連，於日本特開2001-265431號公報中記載有一 種錯誤輸出方法，係針對獨立發生的錯誤將錯誤資訊顯示於第一階層，並針對以先前發生的錯誤為原因從而發生的錯誤將錯誤資訊顯示於第二階層以下的下層區域。於國際公開第2003/85504號公報中記載有一種包含有用以顯示各種資訊的螢幕之半導體系統製程用的圖形化使用者介面(graphical user interface)。
基板處理裝置係具有複數個處理單元，在各個處理單元中能依據多個測量結果獲得多個時間系列資料。因此，利用者(基板處理裝置的操作員(operator))係無法在觀看包含有時間系列資料的全部的異常之顯示畫面時容易地掌握基板處理裝置的狀態。
因此，本發明的目的係提供一種能容易地掌握基板處理裝置的狀態之資料處理方法。
本發明的第一態樣為一種資料處理方法，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料，並具備有：評價值計算步驟，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及結果顯示步驟，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
本發明的第二態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述評價結果畫面係於前述圓形圖表的內側包含有前述異常件數。
本發明的第三態樣的特徵為在本發明的第二態樣中，前述異 常件數的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
本發明的第四態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述評價結果畫面係進一步包含有：箭頭，係針對每個前述處理單元顯示前述異常件數的增減傾向。
本發明的第五態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述評價結果畫面係進一步包含有臉部標記；前述臉部標記的表情係因應於利用者的確認後已結束處理且前述評價值為異常之基板的片數而變化。
本發明的第六態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，進一步具備有：評價值選擇步驟，係從在前述評價值計算步驟中所求出的評價值中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值；前述結果顯示步驟係依據在前述評價值選擇步驟中所選擇的評價值來顯示前述評價結果畫面。
本發明的第七態樣的特徵為在本發明的第六態樣中，前述評價值選擇步驟係選擇與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值；前述結果顯示步驟係依據與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值來顯示前述評價結果畫面。
本發明的第八態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述結果顯示步驟係階層式地顯示前述評價結果畫面、包含有前述評價值之畫面以及包含有前述時間系列資料的圖表之畫面。
本發明的第九態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述結果顯示步驟係顯示彙整(summary)畫面，前述彙整畫面係依據在前述評價值計算步驟中所求出的評價值與在其他的資料處理裝置中所求出的評價值而成。
本發明的第十態樣的特徵為在本發明的第一態樣中，前述基準資料係其他的時間系列資料。
本發明的第十一態樣為一種資料處理裝置，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料，並具備有：評價值計算部，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及結果顯示部，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
本發明的第十二態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，前述評價結果畫面係於前述圓形圖表的內側包含有前述異常件數。
本發明的第十三態樣的特徵為在本發明的第十二態樣中，前述異常件數的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
本發明的第十四態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，前述評價結果畫面係進一步包含有：箭頭，係針對每個前述處理單元顯示前述異常件數的增減傾向。
本發明的第十五態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，前述評價結果畫面係進一步包含有臉部標記；前述臉部標記的表情係因應於利用者的確認後已結束處理且前述評價值為異常之基板的片數而變化。
本發明的第十六態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，進一步具備有：評價值選擇部，係從在前述評價值計算部中所求出的評價值中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值；前述結果顯示部係依據在前述評價值選擇部中所選擇的評價值來顯示前述評價結果畫面。
本發明的第十七態樣的特徵為在本發明的第十六態樣中，前述評價值選擇部係選擇與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值；前述結果顯示部係依據與已針對每個前述處理單元的 群組進行不同處理的基板有關之評價值來顯示前述評價結果畫面。
本發明的第十八態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，前述結果顯示部係階層式地顯示前述評價結果畫面、包含有前述評價值之畫面以及包含有前述時間系列資料的圖表之畫面。
本發明的第十九態樣的特徵為在本發明的第十一態樣中，前述結果顯示部係顯示彙整畫面，前述彙整畫面係依據在前述評價值計算部中所求出的評價值與在其他的資料處理裝置中所求出的評價值而成。
本發明的第二十態樣為一種資料處理程式，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料；前述資料處理程式係電腦的CPU(Central Processing Unit；中央處理器)利用記憶體執行下述步驟：評價值計算步驟，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及結果顯示步驟，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
依據上述第一態樣、第十一態樣或者第二十態樣，針對每個處理單元顯示包含有用以顯示異常件數(評價值為異常之基板的片數)的比例之圓形圖表的評價結果畫面，且圓形圖表的顯示尺寸係因應異常件數而變化。因此，利用者在觀看評價結果畫面時能容易地辨識評價值為異常之基板的比例。此外，能依據所顯示的圓形圖表容易地掌握基板處理裝置所含有的複數個處理單元的狀態，並能容易地辨識在複數個處理單元中緊急度高的處理單元。
依據上述第二態樣或者第十二態樣，將異常件數顯示於圓形 圖表的內側，藉此能以少面積顯示複數個處理單元的狀態。
依據上述第三態樣或者第十三態樣，異常件數的顯示尺寸係因應異常件數而變化。因此，利用者在觀看評價結果畫面時，能依據所顯示的異常件數容易地掌握基板處理裝置所含有的複數個處理單元的狀態，並能容易地辨識在複數個處理單元中緊急度高的處理單元。
依據上述第四態樣或者第十四態樣，利用者能藉由觀看箭頭而容易地辨識各個處理單元中的異常件數的增減傾向。
依據上述第五態樣或者第十五態樣，利用者能藉由觀看臉部標記而容易地辨識最近已何種程度地檢測出評價值為異常的基板。
依據上述第六態樣或者第十六態樣，顯示依據與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值而成的評價結果畫面。因此，利用者係能容易地辨識以特定的順序處理基板時的處理單元的狀態。
依據上述第七態樣或者第十七態樣，顯示有依據與已針對每個處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值而成的評價結果畫面。因此，利用者係能容易地辨識已針對每個群組對基板進行不同處理時的處理單元的狀態。
依據上述第八態樣或者第十八態樣，階層式地顯示評價結果畫面、包含有評價值之畫面以及包含有時間系列資料的圖表之畫面，藉此利用者能針對評價值為異常的基板容易地解析評價值以及時間系列資料。
依據上述第九態樣或者第十九態樣，利用者係能在觀看彙整畫面時容易地掌握複數個基板處理裝置的狀態。
依據上述第十態樣，使用其他的時間系列資料作為基準資料，藉此能針對時間系列資料求出適當的評價值。
7:時間系列資料
8:基準資料
9:分數
10:資料處理裝置
11:資料記憶部
12:分數計算部
13:分數記憶部
14:過濾部
15:結果顯示部
16:指示輸入部
20:基板處理裝置
21:索引部
22:處理部
23:匣保持部
24:索引機器人
25:處理單元
26:基板搬運機器人
27:基板授受部
30:電腦
31:CPU
32:主記憶體
33:記憶部
34:輸入部
35:顯示部
36:通訊部
37:記錄媒體讀取部
38:鍵盤
39:滑鼠
40:記錄媒體
41:資料處理程式
50、90:評價結果畫面
51、51a、96、96a:顯示區域
52:分數錯誤件數
53:圓形圖表
54、54a至54e:箭頭
55:查核標記
61:外觀圖
62、62a至62c、97:臉部標記
63至65:圖標
66:三角標記
67:下拉選單
69:滑鼠游標
71:分數錯誤列表畫面
72、76:查核框
75:處方列表畫面
81:結果列表畫面
82:分數列表畫面
83:詳細畫面
95:彙整畫面
圖1係用以顯示本發明的實施形態的資料處理裝置的構成之方塊圖。
圖2係用以顯示圖1所示的基板處理裝置的概略構成之圖。
圖3係用以將圖1所示的資料處理裝置中的時間系列資料予以圖表化顯示之圖。
圖4係用以顯示作為圖1所示的資料處理裝置而發揮作用的電腦的構成例之方塊圖。
圖5係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的動作之流程圖。
圖6係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的評價結果畫面之圖。
圖7係用以將圖6所示的評價結果畫面的一部分予以放大顯示之圖。
圖8係用以顯示圖1所示的資料處理裝置中的分數(score)評價期間之圖。
圖9係用以顯示圖6所示的評價結果畫面所含有的箭頭的種類之圖。
圖10係用以顯示圖6所示的評價結果畫面所含有的臉部標記的種類之圖。
圖11係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的分數錯誤列表(score error list)畫面之圖。
圖12係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的處方列表畫面之圖。
圖13A係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的結果列表畫面之圖。
圖13B係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的分數列表畫面之圖。
圖13C係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的詳細畫面之圖。
圖14係用以顯示在圖1所示的資料處理裝置中執行腔室分組(chamber grouping)時的評價結果畫面之圖。
圖15係用以顯示圖1所示的資料處理裝置的彙整畫面之圖。
以下，參照圖式說明本發明的實施形態的資料處理方法、資料處理裝置以及資料處理程式。典型而言，本實施形態的資料處理方法係使用電腦來執行。本實施形態的資料處理程式係用以使用電腦實施資料處理方法之程式。典型而言，本實施形態的資料處理裝置係使用電腦所構成。用以執行資料處理程式之電腦係作為資料處理裝置而發揮作用。
圖1係用以顯示本發明的實施形態的資料處理裝置的構成之方塊圖。圖1所示的資料處理裝置10係具備有資料記憶部11、分數計算部12、分數記憶部13、過濾部14、結果顯示部15以及指示輸入部16。資料處理裝置10係被連接至基板處理裝置20來使用。
基板處理裝置20係包含有複數個處理單元25，並在各個處理單元25中測量用以顯示處理單元25的動作狀態之複數個物理量(例如長度、角度、時間、速度、力量、壓力、電壓、電流、溫度、流量等)。藉此，獲得複數個時間系列資料7。資料記憶部11係記憶有：時間系列資料7，係藉由上述方法所求出；以及基準資料8，係時間系列資料7的期待值資料。於基準資料8使用有例如多個時間系列資料中被判斷成最適合作為期待值資料之其他的時間系列資料。
分數計算部12係針對記憶於資料記憶部11的時間系列資料7求出評價值(以下稱為分數)。分數計算部12係從資料記憶部11讀出時間系列資料7以及對應的基準資料8，比較時間系列資料7以及對應的基準資料8兩者，藉此求出分數9。分數記憶部13係記憶分數計算部12所求出的分數9。過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之分數9。分數計算部12係作為評價值計算部而發揮作用，過濾部14係作為評價值選擇部而發揮作用。
結果顯示部15係針對每個處理單元25顯示評價結果畫面，評價結果畫面係包含有分數9為異常之基板的片數。指示輸入部16係被輸入有來自利用者的指示。利用者係使用指示輸入部16指示分數計算部12中的分數的計算方法、過濾部14中的過濾方法以及顯示於結果顯示部15之畫面的選擇等。
圖2係用以顯示基板處理裝置20的概略構成之圖。基板處理裝置20係具備有索引(indexer)部21以及處理部22。索引部21係包含有索引機器人24以及複數個匣(cassette)保持部23。處理部22係包含有基板搬運機器人26以及複數個處理單元25。於匣保持部23載置有用以收容複數個基板之匣(未圖示)。索引機器人24係進行從匣取出基板之動作以及將基板放入至匣之動作。處理單元25係具有用以對基板進行處理之空間(以下稱為腔室)。腔室係與處理單元25一對一地對應。在腔室的內部中，進行例如使用處理液將基板洗淨等之處理。基板搬運機器人26係進行將基板搬入至處理單元25之動作以及從處理單元25搬出基板之動作。處理單元25的個數係例如為二十四個。在此情形中，例如於基板搬運機器人26的周圍的六個部位設置有已積層了四個處理單元25之塔構造體。
索引機器人24係從載置於匣保持部23的匣取出處理對象的基板，並經由基板授受部27將取出的基板傳遞至基板搬運機器人26。基板搬運機器人26係將從索引機器人24接取的基板搬入至對象的處理單元25。當結束對於基板的處理時，基板搬運機器人26係從對象的處理單元25取出基板，並經由基板授受部27將取出的基板傳遞至索引機器人24。索引機器人24係將從基板搬運機器人26接取的基板放入至對象的匣。索引部21與處理部22的控制係藉由基板處理裝置20的控制部(未圖示)而進行。
以下，將處理單元25對一片基板進行的處理稱為「單位處理」。於單位處理的執行中，在處理單元25中使用感測器等測量複數個物理量。依 據複數個物理量的測量結果，能獲得複數個時間系列資料7。所獲得的複數個時間系列資料7係被記憶於資料記憶部11。當將時間系列資料7予以圖表化顯示時，則成為例如圖3中的實線所示般。當將對應的基準資料8予以圖表化顯示時，則成為例如圖3中的虛線所示般。在圖3所示的例子中，與基準資料8相比，時間系列資料7係在上升時較為延遲。
圖4係用以顯示作為資料處理裝置10而發揮作用的電腦的構成例之方塊圖。圖4所示的電腦30係具備有CPU31、主記憶體32、記憶部33、輸入部34、顯示部35、通訊部36以及記錄媒體讀取部37。主記憶體32係使用例如DRAM(Dynamic Random Access Memory；動態隨機存取記憶體)。記憶部33係使用例如硬碟。輸入部34係包含有例如鍵盤38以及滑鼠39。顯示部35係使用例如液晶顯示器。通訊部36係有線通訊的介面電路或者無線通訊的介面電路。與基板處理裝置20之間或其他的資料處理裝置之間的通訊係使用通訊部36來進行。記錄媒體讀取部37係記錄有程式等之記錄媒體40的介面電路。記錄媒體40係使用例如CD-ROM(compact disc read only memory；唯讀光碟)等非暫時性(non-transitory)的記錄媒體。此外，上述電腦30的構成僅為一例，能使用任意的電腦構成資料處理裝置10。
以下說明電腦30作為資料處理裝置10而發揮作用的情形。在此情形中，記憶部33係記憶資料處理程式41、時間系列資料7以及基準資料8。時間系列資料7係使用通訊部36從基板處理裝置20接收所得。資料處理程式41與基準資料8亦可例如使用通訊部36從伺服器或者其他的電腦接收所得，亦可使用記錄媒體讀取部37從記錄媒體40讀出所得。基準資料8亦可藉由利用者使用輸入部34從記憶於記憶部33的時間系列資料7中選擇所得。在執行資料處理程式41時，資料處理程式41、時間系列資料7以及基準資料8係被複製並轉送至主記憶體32。CPU31係利用主記憶體32作為作業用記憶體，並執行記憶於 主記憶體32的資料處理程式41，藉此進行求出時間系列資料7的分數9之處理、選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之分數9之處理以及顯示基於所選擇的分數9而成的評價結果畫面之處理等。此時，電腦30係作為資料處理裝置10而發揮作用。
圖5係用以顯示資料處理裝置10的動作之流程圖。在資料處理裝置10開始動作前，於資料記憶部11記憶有時間系列資料7以及基準資料8。資料處理裝置10係反復執行圖5所示的步驟S101至步驟S109。
如圖5所示，分數計算部12係判斷是否存在未處理的時間系列資料7，在「是」的情形中前進至步驟S102，在「否」的情形中前進至步驟S104(步驟S101)。在「是」的情形中，分數計算部12係求出未處理的時間系列資料7的分數9(步驟S102)。在步驟S102中，分數計算部12係比較各個時間系列資料7與對應的基準資料8，藉此求出分數9。接著，分數記憶部13係記憶在步驟S102中所求出的分數9(步驟S103)。
接著，結果顯示部15係判斷是否更新畫面，在「是」的情形中前進至步驟S105，在「否」的情形中前進至步驟S101(步驟S104)。在步驟S104中，結果顯示部15係在分數記憶部13記憶有新的分數9時、利用者已輸入指示時等判斷成更新畫面。
在步驟S104中為「是」的情形中，結果顯示部15係判斷應顯示的畫面的種類是評價結果畫面或者是彙整畫面，在應顯示的畫面的種類是評價結果畫面的情形中前進至步驟S106，在應顯示的畫面的種類是彙整畫面的情形中前進至步驟S108(步驟S105)。在應顯示的畫面的種類是評價結果畫面的情形中，過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之分數9(步驟S106)。接著，結果顯示部15係依據在步驟S106中所選擇的分數9來顯示評價結果畫面(步驟S107)。
在步驟S105中為彙整畫面的情形中，資料處理裝置10係從其他的資料處理裝置接收其他的資料處理裝置所求出的分數(步驟S108)。接著，結果顯示部15係依據分數計算部12所求出的分數9以及在步驟S108中所接收到的分數來顯示彙整畫面(步驟S109)。在執行步驟S107或者步驟S109後，資料處理裝置10的控制係前進至步驟S101。
在圖5所示的流程圖中，分數計算部12所進行的步驟S102係相當於評價值計算步驟。過濾部14所進行的步驟S106係相當於評價值選擇步驟。結果顯示部15所進行的步驟S107以及步驟S109係相當於結果顯示步驟。
當基板處理裝置20進行一次單位處理時，能獲得複數個時間系列資料7。分數計算部12係對於每個基板針對各個時間系列資料7求出分數9。分數計算部12係具有各個分數9的臨限值。分數計算部12係將複數個分數9的任一者已超過臨限值的基板判斷成「已發生分數錯誤的基板」，將複數個分數9皆未超過臨限值的基板判斷成「未發生分數錯誤的基板」。以下將處理單元25所處理之基板的片數稱為「處理件數」，將其中已發生分數錯誤之基板的片數稱為「分數錯誤件數」。
圖6係用以顯示結果顯示部15所顯示的評價結果畫面之圖。圖6所示的評價結果畫面50係具有與複數個處理單元25對應之複數個顯示區域51。複數個顯示區域51係二維狀地配置於評價結果畫面50內。於各個顯示區域51的內部顯示有分數錯誤件數52等。於評價結果畫面50的左側部分顯示有基板處理裝置20的外觀圖61以及識別符號等。在檢測到已發生分數錯誤的基板時，以與外觀圖61重疊之方式顯示有臉部標記62。於評價結果畫面50的上側部分顯示有圖標(icon)63至圖標65，於評價結果畫面50亦顯示有滑鼠游標69。此外，圖6所示的評價結果畫面50係分數錯誤件數多時的說明用的畫面。實際的分數錯誤件數係比圖6所示的值還少。
以下，說明基板處理裝置20具有二十四個處理單元25的情形。評價結果畫面50係具有與二十四個處理單元25對應的二十四個顯示區域51。在各個顯示區域51中，「腔室(N)」係顯示處理單元25所具有的腔室的號碼為N的情形。「總數：X」係顯示處理件數為X的情形。於顯示區域51的內部顯示有分數錯誤件數52、圓形圖表53以及箭頭54。然而，在分數錯誤件數為0件時，顯示查核(check)標記55以取代圓形圖表53。
在錯誤件數為一件以上時，於顯示區域51的內部顯示有圓形圖表53，分數錯誤件數52係顯示於圓形圖表53的內側。分數錯誤件數52以及圓形圖表53的顯示尺寸係因應分數件數而以例如三階段變化。分數錯誤件數52以及圓形圖表53的顯示尺寸係在分數錯誤件數為未滿十件時變成最小尺寸，在分數錯誤件數為十件以上未滿一百件時變成中間尺寸，在分數錯誤件數為一百件以上時變成最大尺寸。
圓形圖表53係顯示處理件數中的分數錯誤件數的比例。圓形圖表53的第一要素(顏色濃的部分)係表示分數錯誤件數。圓形圖表53的第二要素(殘餘的部分)係表示未發生分數錯誤之基板的片數。例如，第十六號的處理單元25中的處理件數為一百九十四件且分數錯誤件數為八十件時，顯示區域51a內的分數錯誤件數52以及圓形圖表53的顯示尺寸係變成中間尺寸。在顯示區域51a內的圓形圖表53中，整體的80/194係變成第一要素，整體的114/194係變成第二要素。在分數錯誤件數為零件時，於顯示區域51的內部顯示有查核標記55，於與查核標記55重疊的位置顯示有數字0。
此外，在圖6中，雖然為了方便於圖式中標示而使用白、黑以及圖案來顯示評價結果畫面50，但實際上則是使用複數個顏色來顯示評價結果畫面50。例如，以紅色顯示圓形圖表53的第一要素，以綠色顯示圓形圖表53的第二要素與查核標記55。
資料處理裝置10除了具有用以顯示包含有分數錯誤件數52以及圓形圖表53的評價結果畫面50之功能以外，還具有期間過濾功能、用以顯示分數錯誤的增減傾向之功能、分數錯誤的促使通知功能、處方過濾功能、階層顯示功能、腔室分組功能以及彙整畫面顯示功能。以下依序說明這些功能。
首先，說明期間過濾器功能。圖7係用以將評價結果畫面50的一部分予以放大顯示之圖。如圖7所示，於圖標64的右側顯示有三角標記66。當利用者操作滑鼠39選擇三角標記66時，顯示有下拉選單(pull down menu)67。下拉選單67的各個項目係顯示分數評價期間的長度。「24h」、「7d」以及「30d」係分別表示24小時、7天以及30天。「def」係表示利用者指定分數評價期間的長度之情形。在利用者選擇項目「def」時，顯示有用以輸入分數評價期間的長度之畫面(未圖示)。利用者係於所顯示的畫面輸入分數評價期間的開始時刻與長度。此外，利用者亦可輸入開始時刻(或者開始日期與時間)與結束時刻(或者結束日期與時間)以取代分數評價期間的開始時刻與長度。
過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與在分數評價期間內結束處理的基板有關之分數。結果顯示部15係依據過濾部14所選擇的分數來顯示評價結果畫面50。此時，結果顯示部15係針對每個處理單元25顯示評價結果畫面50，評價結果畫面50係包含有已在分數評價期間內結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數。例如在分數評價期間的長度為24小時的情形中，於顯示區域51內顯示有從目前時間點起至24小時前為止已結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數作為分數錯誤件數52。
接著，說明用以顯示分數錯誤的增減傾向之功能。於顯示區域51內所顯示的箭頭54係表示分數錯誤的增減傾向。在資料處理裝置10中，在分數評價期間之前設定有與分數評價期間相同長度的期間(以下稱為先前的 分數評價期間)(參照圖8)。過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與已在分數評價期間內結束處理的基板有關之分數以及與已在先前的分數評價期間內結束處理的基板有關之分數。結果顯示部15係針對每個處理單元25求出已在分數評價期間內結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數以及已在先前的分數評價期間內已結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數。結果顯示部15係針對每個處理單元25比較兩種類的片數，並判斷分數錯誤的增減傾向為「急遽增加」、「增加」、「無增減」、「減少」以及「急遽減少」中的哪一者。用以判斷的臨限值係被利用者任意地設定。
在圖8所示的例子中，分數評價期間的開始時間點係目前時間點，分數評價期間的長度係24小時。在此情形中，從目前時間點起至24小時前為止的期間係變成分數評價期間，從24小時前起至48小時前為止的期間係變成先前的分數評價期間。在已在分數評價期間內結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數為五片、已在先前的分數評價期間內結束處理且已發生分數錯誤之基板的片數為十片時，結果顯示部15係判斷成分數錯誤的增減傾向為「減少」。
圖9係用以顯示箭頭54的種類之圖。在分數錯誤的增減傾向為「急遽增加」時，以例如紅色顯示圖9中的(a)所示的朝上的箭頭54a。在分數錯誤的增減傾向為「增加」時，已例如橙色顯示圖9中的(b)所示的朝斜上方的箭頭54b。在分數錯誤的增減傾向為「無增減」時，以例如灰色顯示圖9中的(c)所示的朝右的箭頭54c。在分數錯誤的增減傾向為「減少」時，以例如淺綠色顯示圖9中的(d)所示的朝斜下方的箭頭54d。在分數錯誤的增減傾向為「急遽減少」時，以例如綠色顯示圖9中的(e)所示的朝下的箭頭54e。
接著，說明分數錯誤的促使通知功能。臉部標記62係在直至檢測出已發生分數錯誤的基板為止前不進行顯示。臉部標記62係在檢測出已發 生分數錯誤的基板時，即使利用者不進行任何的操作亦會自動地顯示。當利用者操作滑鼠39並輸入分數錯誤確認指示時，臉部標記62係從評價結果畫面50消失。臉部標記62的表情係因應於利用者的確認後結束處理且分數為異常之基板的片數(以下稱為確認後的分數錯誤件數)而變化。
圖10係用以顯示臉部標記62的種類之圖。在確認後的分數錯誤件數為一件以上四件以下時，顯示有圖10中的(a)所示的臉部標記62a。臉部標記62a係具有於左眼垂掛一滴眼淚的表情，且以例如黃色顯示。在確認後的分數錯誤件數為五件以上九件以下時，顯示有圖10中的(b)所示的臉部標記62b。臉部標記62b係具有於兩眼分別垂掛一滴眼淚的表情，且以例如橙色顯示。在確認後的分數錯誤件數為十件以上時，顯示有圖10中的(c)所示的臉部標記62c。臉部標記62c係具有於兩眼分別垂掛三滴眼淚的表情，且以例如紅色顯示。用以切換臉部標記62的種類之臨限值係被利用者預先任意地設定。
當利用者操作滑鼠39選擇臉部標記62時，於評價結果畫面50重疊地顯示有圖11所示的分數錯誤列表畫面71。於分數錯誤列表畫面71的各列(row)顯示有分數錯誤的識別符號、狀態、發生日期與時間、內容。在利用者已確認過分數錯誤的情形中，於狀態的欄位顯示有查核標記。在利用者未確認分數錯誤的情形中，於狀態的欄位顯示有查核框(check box)72。
當利用者操作滑鼠39選擇分數錯誤列表畫面71所含有的分數錯誤時，於分數錯誤列表畫面71重疊地顯示有用以顯示分數錯誤的詳細說明之其他的畫面(未圖示)。利用者係在觀看所顯示的畫面並確認分數錯誤的內容後，操作滑鼠39於查核框72輸入查核，並按下確定按鍵。藉此，利用者係針對所選擇的分數錯誤輸入確認指示。
利用者係在例如離開座位前針對所有的分數錯誤輸入確認指示。此時，臉部標記62係從評價結果畫面50消失。在利用者離開座位時檢測 出已發生分數錯誤的基板時，於評價結果畫面50顯示有具有已因應已發生分數錯誤之基板的片數之表情的臉部標記62。利用者係在返回座位時，藉由觀看臉部標記62即能知道在離開座位時已何種程度地檢測出已發生分數錯誤的基板。此外，利用者係藉由選擇臉部標記62並觀看分數錯誤列表畫面71即能知道離開座位時所檢測出的分數錯誤的內容。
接著，說明處方過濾功能。當利用者操作滑鼠39並選擇圖標63時，於評價結果畫面50重疊地顯示有圖12所示的處方列表畫面75。於處方列表畫面75的各列顯示有處方的識別符號、選擇狀態、最終更新日以及內容。於選擇狀態的欄位顯示有查核框76。利用者係操作滑鼠39並於查核框76輸入查核，藉此輸入處方選擇指示。
過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與已遵循所選擇的處方進行處理的基板有關之分數9。結果顯示部15係依據過濾部14所選擇的分數9來顯示評價結果畫面50。此時，顯示有依據與已遵循所選擇的處方進行處理的基板有關之分數9而成的評價結果畫面50。
接著，說明階層顯示功能。圖13A至圖13C係用以顯示於評價結果畫面50重疊地顯示的畫面之圖。此外，雖然在圖13A至圖13C中將畫面的內容分別作為新的對話(dialog)予以顯示，但亦可構成為：將畫面的內容作為標籤顯示於在評價結果畫面50重疊地顯示的一個對話中，並可藉由按下標籤按鍵來切斷用以顯示任一個畫面的內容。作為標籤予以顯示之方法係具有下述優點等：能將複數個畫面於一個對話中排列地顯示，且能容易地切換複數個畫面。當利用者操作滑鼠39並在圖6所示的評價結果畫面50內選擇第十五號的處理單元25(記載有「腔室(15)」的顯示區域51)時，顯示有圖13A所示的結果列表畫面81。於結果列表畫面81的各列顯示有基板的識別符號、處方的識別符號、異常分數的個數與全部分數的個數、處理的開始時刻與結束時刻。
此外，在本發明的實施形態中，並未限定於此，亦可構成為：在選擇記載有圖6所示的「腔室(15)」的顯示區域51時，顯示已以一覽形式排列用以過濾所顯示的分數之條件(例如已處理過基板的期間、處方的種類等)的評等(scoring)設定一覽畫面(未圖示)；在從評等設定一覽畫面中選擇了預定的條件時，作為符合該條件的分數顯示圖13A所示的結果列表畫面81。
當利用者操作滑鼠39並在結果列表畫面81內選擇基板「S214067」時，顯示有圖13B所示的分數列表畫面82。於分數列表畫面82的各列顯示有時間系列資料的識別符號、基準資料的識別符號、判斷基準、判斷結果以及分數。判斷基準係比較時間系列資料與基準資料並判斷是正常還是異常時之基準。例如，基準的「臨限值0.1」係顯示分數為0.1以下時判斷成正常之情形。於判斷結果的欄位中，在分數為正常時顯示成「OK」，在分數為異常時顯示成「NG」。
當利用者操作滑鼠39並在分數列表畫面82內選擇時間系列資料「D0146」時，顯示有圖13C所示的詳細畫面83。詳細畫面83係包含有時間系列資料7以及基準資料8的圖表。如此，結果顯示部15係階層式地顯示評價結果畫面50、包含有分數(評價值)之分數列表畫面82以及包含有時間系列資料7的圖表之詳細畫面83。
接著，說明腔室分組功能。圖14係用以顯示執行了腔室分組時的評價結果畫面之圖。在圖14所示的評價結果畫面90中，處理單元25係被分類成三個群組。第一個至第八個處理單元25係被分類成第一群組，第九個至第十二個處理單元25係被分類成第二群組，第十七個至第二十四個處理單元25係被分類成第三群組。第一群組內的處理單元25係針對基板進行第一處理。第二群組內的處理單元25係針對基板進行與第一處理不同的第二處理。第三群組內的處理單元25係針對基板進行與第一處理以及第二處理不同的第 三處理。此外，作為群組的分類方法，除了依據對於基板的處理所為之分類以外，亦能使用各種分類方法，例如能使用依據所使用的基準資料所為之分類、依據已處理基板的期間所為之分類等。
過濾部14係從記憶於分數記憶部13的分數9中選擇與針對每個處理單元25的群組進行不同處理的基板有關之分數9。結果顯示部15係依據與針對每個處理單元25的群組進行不同處理的基板有關之分數9來顯示評價結果畫面90。因此，在與第一群組內的處理單元25對應的顯示區域51中，進行依據與已進行第一處理的基板相關之分數而成之顯示；在與第二群組內的處理單元25對應的顯示區域51中，進行依據與已進行第二處理的基板相關之分數而成之顯示；在與第三群組內的處理單元25對應的顯示區域51中，進行依據與已進行第三處理的基板相關之分數而成之顯示。
接著，說明彙整畫面顯示功能。圖15係用以顯示在圖5所示的步驟S109中所顯示的彙整畫面之圖。圖15所示的彙整畫面95係具有六個顯示區域96。左上的顯示區域96a係顯示已連接至資料處理裝置10之基板處理裝置20的動作狀態。在顯示區域96a中，進行依據分數計算部12所求出的分數而成之顯示。其他五個顯示區域96係顯示未連接至資料處理裝置10之其他的基板處理裝置的動作狀態。在這些顯示區域96中，進行依據其他的資料處理裝置所求出的分數而成之顯示。
於各個顯示區域96的內部顯示有基板處理裝置的概略圖與識別符號、用以顯示稼動率之圓形圖表、用以顯示分數錯誤的發生比例之圓形圖表、用以顯示各個處理單元中的分數錯誤的發生狀態之棒狀圖表以及用以顯示分數錯誤的發生狀況的時間性的變化之線狀圖表。此外，在檢測出已發生分數錯誤的基板時，以與基板處理裝置的外觀圖重疊之方式顯示有臉部標記97。
本實施形態的資料處理方法係為了處理在具有複數個處理單元25的基板處理裝置20中所獲得的時間系列資料7，具備有：評價值計算步驟(步驟S102)，係比較時間系列資料7與基準資料8，藉此求出時間系列資料7的評價值(分數)；以及結果顯示步驟(S107)，係針對每個處理單元25顯示評價結果畫面50，該評價結果畫面50係包含有圓形圖表53，該圓形圖表35係在將評價值為異常之基板的片數作為異常件數(分數錯誤件數52)時顯示已處理之基板的片數中的異常件數的比例。圓形圖表53的顯示尺寸係因應異常件數而變化。如此，針對每個處理單元25顯示包含有用以顯示異常件數的比例之圓形圖表53的評價結果畫面50，圓形圖表53的顯示尺寸係因應異常件數而變化。因此，利用者係在觀看評價結果畫面50時，能依據所顯示的圓形圖表53容易地掌握基板處理裝置20所含有的複數個處理單元25的狀態，並能容易地辨識在複數個處理單元25中緊急度高的處理單元25。
評價結果畫面50係於圓形圖表53的內側包含有異常件數。藉此，能以少面積顯示複數個處理單元25的狀態。異常件數的顯示尺寸係因應異常件數而變化。因此，利用者係在觀看評價結果畫面50時，能依據所顯示的異常件數容易地掌握基板處理裝置20所含有的複數個處理單元25的狀態，並能容易地辨識複數個處理單元25中緊急度高的處理單元25。評價結果畫面50係進一步包含有：箭頭54，係針對每個處理單元25顯示異常件數的增減傾向。因此，利用者係能藉由觀看箭頭54而容易地辨識各個處理單元25中的異常件數的增減傾向。評價結果畫面50係進一步包含有臉部標記62，臉部標記62的表情係因應於利用者的確認後結束處理且評價值為異常之基板的片數而變化。因此，利用者係能藉由觀看臉部標記62而容易地辨識最近已何種程度地檢測出評價值為異常的基板。
本實施形態的資料處理方法係進一步具備有：評價值選擇步 驟(步驟S106)，係從在評價值計算步驟中所求出的評價值中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值；結果顯示步驟係依據在評價值選擇步驟中所選擇的評價值來顯示評價結果畫面50。因此，利用者係能容易地掌握以特定的順序處理基板時的處理單元25的狀態。評價值選擇步驟係選擇與已針對每個處理單元25的群組進行不同處理的基板有關之評價值；結果顯示步驟係依據與已針對每個處理單元25的群組進行不同處理的基板有關之評價值來顯示評價結果畫面90(腔室分組功能)。因此，利用者係能容易地辨識已針對每個群組對基板進行不同處理時的處理單元25的狀態。
結果顯示步驟係階層式地顯示評價結果畫面50、包含有評價值之分數列表畫面82以及包含有時間系列資料7的圖表之詳細畫面83。因此，利用者係能針對評價值為異常的基板容易地解析評價值以及時間系列資料7。結果顯示步驟係顯示依據在評價值計算步驟中所求出的評價值與在其他的資料處理裝置中所求出的評價值而成之彙整畫面95。因此，利用者係能在觀看彙整畫面95時容易地掌握複數個基板處理裝置的狀態。藉由使用其他的時間系列資料作為基準資料8，能針對時間系列資料7求出適當的評價值。
本實施形態的資料處理裝置10以及資料處理程式41係具有與上述資料處理方法同樣的特徵，並達成同樣的功效。依據本實施形態的資料處理方法、資料處理裝置10以及資料處理程式41，利用者係能容易地掌握基板處理裝置20所含有的複數個處理單元25的狀態，並能容易地辨識複數個處理單元中緊急度高的處理單元25。
此外，在以上所述的資料處理方法中，評價結果畫面50係構成為包含有分數錯誤件數52、圓形圖表53、箭頭54以及臉部標記62。然而，評價結果畫面50無須一定要包含有所有的分數錯誤件數52、圓形圖表53、箭頭 54以及臉部標記62。此外，本實施形態的資料處理方法係構成為具有期間過濾功能、用以顯示分數錯誤的增減傾向之功能、分數錯誤的促使通知功能、處方過濾功能、階層顯示功能、腔室分組功能以及彙整畫面顯示功能。在變化例的資料處理方法中，亦可全部不具有上述處理，或者亦可僅具有從上述處理任意地選擇的處理。針對變化例的資料處理裝置以及資料處理程式亦與此說明相同。
50‧‧‧評價結果畫面
51、51a‧‧‧顯示區域
52‧‧‧分數錯誤件數
53‧‧‧圓形圖表
54‧‧‧箭頭
55‧‧‧查核標記
61‧‧‧外觀圖
62‧‧‧臉部標記
63至65‧‧‧圖標
69‧‧‧滑鼠游標

Claims (20)

  1. 一種資料處理方法，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料，並具備有：評價值計算步驟，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及結果顯示步驟，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
  2. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述評價結果畫面係於前述圓形圖表的內側包含有前述異常件數。
  3. 如請求項2所記載之資料處理方法，其中前述異常件數的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
  4. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述評價結果畫面係進一步包含有：箭頭，係針對每個前述處理單元顯示前述異常件數的增減傾向。
  5. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述評價結果畫面係進一步包含有臉部標記；前述臉部標記的表情係因應於利用者的確認後已結束處理且前述評價值為異常之基板的片數而變化。
  6. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中進一步具備有：評價值選擇步驟，係從在前述評價值計算步驟中所求出的評價值中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值；前述結果顯示步驟係依據在前述評價值選擇步驟中所選擇的評價值來顯示前述評價結果畫面。
  7. 如請求項6所記載之資料處理方法，其中前述評價值選擇步驟係 選擇與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值；前述結果顯示步驟係依據與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值來顯示前述評價結果畫面。
  8. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述結果顯示步驟係階層式地顯示前述評價結果畫面、包含有前述評價值之畫面以及包含有前述時間系列資料的圖表之畫面。
  9. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述結果顯示步驟係顯示彙整畫面，前述彙整畫面係依據在前述評價值計算步驟中所求出的評價值與在其他的資料處理裝置中所求出的評價值而成。
  10. 如請求項1所記載之資料處理方法，其中前述基準資料係其他的時間系列資料。
  11. 一種資料處理裝置，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料，並具備有：評價值計算部，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及結果顯示部，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
  12. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中前述評價結果畫面係於前述圓形圖表的內側包含有前述異常件數。
  13. 如請求項12所記載之資料處理裝置，其中前述異常件數的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
  14. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中前述評價結果畫面係進一步包含有：箭頭，係針對每個前述處理單元顯示前述異常件數 的增減傾向。
  15. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中前述評價結果畫面係進一步包含有臉部標記；前述臉部標記的表情係因應於利用者的確認後已結束處理且前述評價值為異常之基板的片數而變化。
  16. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中進一步具備有：評價值選擇部，係從在前述評價值計算部中所求出的評價值中選擇與滿足被賦予的條件的基板有關之評價值；前述結果顯示部係依據在前述評價值選擇部中所選擇的評價值來顯示前述評價結果畫面。
  17. 如請求項16所記載之資料處理裝置，其中前述評價值選擇部係選擇與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值；前述結果顯示部係依據與已針對每個前述處理單元的群組進行不同處理的基板有關之評價值來顯示前述評價結果畫面。
  18. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中前述結果顯示部係階層式地顯示前述評價結果畫面、包含有前述評價值之畫面以及包含有前述時間系列資料的圖表之畫面。
  19. 如請求項11所記載之資料處理裝置，其中前述結果顯示部係顯示彙整畫面，前述彙整畫面係依據在前述評價值計算部中所求出的評價值與在其他的資料處理裝置中所求出的評價值而成。
  20. 一種資料處理程式，係用以處理在具有複數個處理單元的基板處理裝置中所獲得的時間系列資料；前述資料處理程式係電腦的中央處理器利用記憶體執行下述步驟：評價值計算步驟，係比較前述時間系列資料與基準資料，藉此求出前述時間系列資料的評價值；以及 結果顯示步驟，係針對每個前述處理單元顯示包含有圓形圖表的評價結果畫面，前述圓形圖表係顯示將前述評價值為異常之基板的片數作為異常件數時已處理之基板的片數中的前述異常件數的比例；前述圓形圖表的顯示尺寸係因應前述異常件數而變化。
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