JP2001265431A - エラー出力方法 - Google Patents
エラー出力方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】自動装置に於いて、エラーの分析を簡単に行え
る様にし、装置の復旧作業の為の原因分析時間を短縮
し、作業性を向上すると共に装置の停止時間を短縮し、
稼働率の向上を図る。 【解決手段】エラー表示を複数階層表示する様にし、独
立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層
エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生する
エラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリ
アに表示する。
る様にし、装置の復旧作業の為の原因分析時間を短縮
し、作業性を向上すると共に装置の停止時間を短縮し、
稼働率の向上を図る。 【解決手段】エラー表示を複数階層表示する様にし、独
立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層
エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生する
エラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エリ
アに表示する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は各種自動製造装置、
特に半導体製造装置、液晶表示装置等の自動製造装置に
於ける運転状態を監視し、異常時には異常及び異常の状
態を出力するエラー出力方法に関するものである。
特に半導体製造装置、液晶表示装置等の自動製造装置に
於ける運転状態を監視し、異常時には異常及び異常の状
態を出力するエラー出力方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体製造装置等の自動製造装置では装
置に異常を生じ停止した場合等では、異常の原因を早急
に調べ正常状態に復旧することが要求される。この為、
半導体製造装置では、装置の運転状態を監視し、異常を
検出する機能を有していると共に異常の原因であるエラ
ーを自己診断し表示部等に表示する機能を具備してい
る。従って、作業者は表示部に表示されたエラーによっ
て異常の原因を判別し、原因が解消する様に復旧作業を
行っている。
置に異常を生じ停止した場合等では、異常の原因を早急
に調べ正常状態に復旧することが要求される。この為、
半導体製造装置では、装置の運転状態を監視し、異常を
検出する機能を有していると共に異常の原因であるエラ
ーを自己診断し表示部等に表示する機能を具備してい
る。従って、作業者は表示部に表示されたエラーによっ
て異常の原因を判別し、原因が解消する様に復旧作業を
行っている。
【０００３】図６により従来の半導体製造装置の制御装
置の概略を説明する。
置の概略を説明する。
【０００４】図中、１はＣＰＵで代表される主制御部で
あり、該主制御部１には入出力制御部２を介して入力手
段３からの信号が入力され、又前記主制御部１から前記
入出力制御部２を介して出力手段４を駆動制御する為の
制御信号が出力される。又、前記主制御部１には記憶部
５及びエラー出力手段６が接続されている。
あり、該主制御部１には入出力制御部２を介して入力手
段３からの信号が入力され、又前記主制御部１から前記
入出力制御部２を介して出力手段４を駆動制御する為の
制御信号が出力される。又、前記主制御部１には記憶部
５及びエラー出力手段６が接続されている。
【０００５】前記入力手段３は半導体製造装置の作動状
態を前記主制御部１に通報する為のものであり、前記入
力手段３としては、半導体製造装置の反応炉ヒータの温
度検出器、反応室の圧力検出器、加熱部を冷却する為の
冷却水の流量検出器、反応室に供給する反応ガスのガス
供給圧力検出器、エアシリンダを駆動する圧縮空気の供
給圧力検出器等があり、これら検出器で検出した結果が
半導体製造装置の作動状態として前記主制御部１に入力
される。又、前記出力手段４としては、反応炉ヒータの
温度制御部、反応室の排気量をコントロールする排気制
御弁、冷却水流量をコントロールする冷却水流量制御
弁、反応ガスの流量をコントロールする電磁弁、エアシ
リンダの駆動停止を行う電磁弁等がある。
態を前記主制御部１に通報する為のものであり、前記入
力手段３としては、半導体製造装置の反応炉ヒータの温
度検出器、反応室の圧力検出器、加熱部を冷却する為の
冷却水の流量検出器、反応室に供給する反応ガスのガス
供給圧力検出器、エアシリンダを駆動する圧縮空気の供
給圧力検出器等があり、これら検出器で検出した結果が
半導体製造装置の作動状態として前記主制御部１に入力
される。又、前記出力手段４としては、反応炉ヒータの
温度制御部、反応室の排気量をコントロールする排気制
御弁、冷却水流量をコントロールする冷却水流量制御
弁、反応ガスの流量をコントロールする電磁弁、エアシ
リンダの駆動停止を行う電磁弁等がある。
【０００６】前記記憶部５はハードディスク、半導体メ
モリ等の不揮発性の記憶手段であり、該記憶部５にはプ
ロセス処理を進行させる為のプロセスプログラム、前記
入力手段３からの信号に基づき半導体製造装置の状態を
監視する監視プログラム、或は異常の判断、エラーの判
断を行うエラー検出プログラム、エラーが検出された場
合にエラーを出力する等の処理を行うエラー処理プログ
ラム等が設定入力されている。
モリ等の不揮発性の記憶手段であり、該記憶部５にはプ
ロセス処理を進行させる為のプロセスプログラム、前記
入力手段３からの信号に基づき半導体製造装置の状態を
監視する監視プログラム、或は異常の判断、エラーの判
断を行うエラー検出プログラム、エラーが検出された場
合にエラーを出力する等の処理を行うエラー処理プログ
ラム等が設定入力されている。
【０００７】前記主制御部１は前記プロセスプログラム
に基づき前記半導体製造装置の処理条件、プロセスの進
行に応じて、前記出力手段４に制御信号を出力して所要
の作動を行わせる。又、前記エラー検出プログラム及び
前記主制御部１の演算処理機能によりエラー検出部７が
構成され、前記エラー処理プログラム及び主制御部１の
演算処理機能によりエラー処理部８が構成される。
に基づき前記半導体製造装置の処理条件、プロセスの進
行に応じて、前記出力手段４に制御信号を出力して所要
の作動を行わせる。又、前記エラー検出プログラム及び
前記主制御部１の演算処理機能によりエラー検出部７が
構成され、前記エラー処理プログラム及び主制御部１の
演算処理機能によりエラー処理部８が構成される。
【０００８】前記エラー検出部７は、前記入出力制御部
２を介して前記入力手段３から取込まれた各種情報から
異常の有無を検出するものであり、異常、異常の原因で
あるエラー等を前記エラー出力手段６に出力する。前記
エラー処理部８は前記エラー検出部７で検出された異常
に対し、異常に対応した処理、例えばインターロック等
の処理を実行する。前記エラー出力手段６は前記エラー
検出部７からの出力に基づき、異常、エラーの情報を表
示するものである。
２を介して前記入力手段３から取込まれた各種情報から
異常の有無を検出するものであり、異常、異常の原因で
あるエラー等を前記エラー出力手段６に出力する。前記
エラー処理部８は前記エラー検出部７で検出された異常
に対し、異常に対応した処理、例えばインターロック等
の処理を実行する。前記エラー出力手段６は前記エラー
検出部７からの出力に基づき、異常、エラーの情報を表
示するものである。
【０００９】図７を参照して従来のエラー出力方法につ
いて説明する。
いて説明する。
【００１０】図７は前記エラー検出部７で実行される、
異常監視に関する一般的なエラー検出処理を示すフロー
チャートである。
異常監視に関する一般的なエラー検出処理を示すフロー
チャートである。
【００１１】図７中、ＳＴＥＰ１１〜ＳＴＥＰ１５迄
は、ハードウェアの故障（一次要因）に関する異常監視
及びエラー検出処理を行う一次要因処理作用１０であ
り、ＳＴＥＰ２１〜ＳＴＥＰ２４迄はハードウェア故障
に起因して発生する制御エラー（二次要因）に関する異
常監視及びエラー検出処理を行う二次要因処理作用２０
である。
は、ハードウェアの故障（一次要因）に関する異常監視
及びエラー検出処理を行う一次要因処理作用１０であ
り、ＳＴＥＰ２１〜ＳＴＥＰ２４迄はハードウェア故障
に起因して発生する制御エラー（二次要因）に関する異
常監視及びエラー検出処理を行う二次要因処理作用２０
である。
【００１２】先ず、前記一次要因処理作用１０について
説明する。
説明する。
【００１３】ＳＴＥＰ１１では前記入力手段３から入力
される情報に基づき分岐処理を行う。該入力手段３から
入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号か
ら、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された状
態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行する。
される情報に基づき分岐処理を行う。該入力手段３から
入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号か
ら、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された状
態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行する。
【００１４】ＳＴＥＰ１２では異常検出用タイマの起動
状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯ
Ｎとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処
理を実行する）。
状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯ
Ｎとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処
理を実行する）。
【００１５】ＳＴＥＰ１３はハードウエアのハンチング
現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用
タイマ起動処理である。
現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用
タイマ起動処理である。
【００１６】ＳＴＥＰ１４では異常検出用タイマのタイ
ムアップ状態を判別して分岐処理を行う。タイムアップ
をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行する。
ムアップ状態を判別して分岐処理を行う。タイムアップ
をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行する。
【００１７】ＳＴＥＰ１５は異常状態の検出を前記エラ
ー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
ー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
【００１８】前記一次要因処理作用１０に続いて二次要
因処理作用２０が行われる。
因処理作用２０が行われる。
【００１９】二次要因処理作用２０は半導体製造装置の
各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、
反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水
流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの
流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停
止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行わ
れる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明す
る。
各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、
反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水
流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの
流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停
止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行わ
れる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明す
る。
【００２０】ＳＴＥＰ２１では温度制御状態に基づく分
岐処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われて
いる状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行
する。
岐処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われて
いる状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行
する。
【００２１】ＳＴＥＰ２２では前記ＳＴＥＰ１５からの
異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セ
ット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行
する。
異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セ
ット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行
する。
【００２２】ＳＴＥＰ２３では制御エラーの有無を判断
し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エ
ラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４
の処理を実行する。
し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エ
ラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４
の処理を実行する。
【００２３】ＳＴＥＰ２４では制御エラーが検出された
場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御
エラーセット処理がなされる。尚、エラーの復帰は、図
７には図示していない処理で、異常状態及び異常検出用
タイマがリセットされることにより行われる。
場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御
エラーセット処理がなされる。尚、エラーの復帰は、図
７には図示していない処理で、異常状態及び異常検出用
タイマがリセットされることにより行われる。
【００２４】エラーが検知され、エラー処理により前記
エラー出力手段６にエラー情報が通知されると、エラー
情報がディスプレイ等の表示部に表示される。図８は前
記エラー出力手段６に表示されるエラー発生一覧画面を
示す。該エラー発生一覧画面には、図７で示したエラー
検出用処理フロー内のＳＴＥＰ１５の異常セット処理及
びＳＴＥＰ２４の制御エラーセット処理でセットされた
エラー情報が、発生順に、前記エラー情報に対応したエ
ラーコード（ＥＣＤ）、発生時間、発生が継続している
かどうかの発生状態、エラー名称等を連ねて表示され
る。
エラー出力手段６にエラー情報が通知されると、エラー
情報がディスプレイ等の表示部に表示される。図８は前
記エラー出力手段６に表示されるエラー発生一覧画面を
示す。該エラー発生一覧画面には、図７で示したエラー
検出用処理フロー内のＳＴＥＰ１５の異常セット処理及
びＳＴＥＰ２４の制御エラーセット処理でセットされた
エラー情報が、発生順に、前記エラー情報に対応したエ
ラーコード（ＥＣＤ）、発生時間、発生が継続している
かどうかの発生状態、エラー名称等を連ねて表示され
る。
【００２５】
【発明が解決しようとする課題】上記した様に、従来の
エラー出力方法では、前記エラー出力手段６にエラー情
報が図８に示した画面構成で表示される。エラーが発生
した場合には、その発生したエラーを１つずつ分析し、
原因となる要素を復旧させるが、自動運転中にエラーが
発生した場合は、出力されるエラー情報の総数が複数と
なる場合が多く、装置の復旧作業の為の原因分析が大変
である。又、二次要因で発生したエラーに関しても、発
生順に表示されるだけであるので、ひと目で、何に起因
して発生したものかが判らない。原因の解析には経験や
取扱説明書に頼る面が大きく、原因解析には多くの時間
を有すると共に個人差も大きいという問題があった。
エラー出力方法では、前記エラー出力手段６にエラー情
報が図８に示した画面構成で表示される。エラーが発生
した場合には、その発生したエラーを１つずつ分析し、
原因となる要素を復旧させるが、自動運転中にエラーが
発生した場合は、出力されるエラー情報の総数が複数と
なる場合が多く、装置の復旧作業の為の原因分析が大変
である。又、二次要因で発生したエラーに関しても、発
生順に表示されるだけであるので、ひと目で、何に起因
して発生したものかが判らない。原因の解析には経験や
取扱説明書に頼る面が大きく、原因解析には多くの時間
を有すると共に個人差も大きいという問題があった。
【００２６】本発明は斯かる実情に鑑み、エラーの分析
を簡単に行える様にし、装置の復旧作業の為の原因分析
時間を短縮し、作業性を向上すると共に装置の停止時間
を短縮し、稼働率の向上を図るものである。
を簡単に行える様にし、装置の復旧作業の為の原因分析
時間を短縮し、作業性を向上すると共に装置の停止時間
を短縮し、稼働率の向上を図るものである。
【００２７】
【課題を解決する為の手段】本発明は、エラー表示を複
数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについ
てはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行する
エラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報
を第２階層以下の下層エリアに表示するエラー出力方法
に係るものである。
数階層表示する様にし、独立して発生するエラーについ
てはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又先行する
エラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報
を第２階層以下の下層エリアに表示するエラー出力方法
に係るものである。
【００２８】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照しつつ本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００２９】本実施の形態に於ける制御装置は図６で示
した構成と同様であるので図６を参照し、詳細について
は説明を省略する。
した構成と同様であるので図６を参照し、詳細について
は説明を省略する。
【００３０】本実施の形態では、前記入力手段３から入
力される各々のエラーに対して一次要因エラーか二次要
因エラーかを予め設定しておき、前記エラー検出部７に
於いて、エラーが発生するとその設定に基づき一次要因
エラーか二次要因エラーかを判断する。
力される各々のエラーに対して一次要因エラーか二次要
因エラーかを予め設定しておき、前記エラー検出部７に
於いて、エラーが発生するとその設定に基づき一次要因
エラーか二次要因エラーかを判断する。
【００３１】エラーが一次要因エラーか二次要因エラー
であるかの判断を行う為に、前記記憶部５に図２（Ａ）
（Ｂ）で示される様なエラー要因テーブルを設定入力す
る。図２（Ａ）は一次要因エラーとエラーコード及び一
次要因エラーによって引起される可能性のある二次要因
エラーとの対比テーブルを示しており、図２（Ｂ）は二
次要因エラーとエラーコードとの対比テーブルである。
であるかの判断を行う為に、前記記憶部５に図２（Ａ）
（Ｂ）で示される様なエラー要因テーブルを設定入力す
る。図２（Ａ）は一次要因エラーとエラーコード及び一
次要因エラーによって引起される可能性のある二次要因
エラーとの対比テーブルを示しており、図２（Ｂ）は二
次要因エラーとエラーコードとの対比テーブルである。
【００３２】前記エラー検出部７では前記エラー要因テ
ーブルに基づき入力されたエラーデータが、エラーが一
次要因か二次要因であるかの判断を行う。
ーブルに基づき入力されたエラーデータが、エラーが一
次要因か二次要因であるかの判断を行う。
【００３３】更に、該エラー検出部７は前記エラー出力
手段６に出力するエラーデータとして、一次要因エラー
か二次要因エラーかの情報を組込む。該エラー出力手段
６から出力されるデータの構造を図３に示す様に定義付
けする。即ち、エラーデータはエラー出力階層区分デー
タ、エラー対応区分データ、エラーコードから成り、前
記エラー出力階層区分データはエラーデータが一次要因
エラーか、二次要因エラーかを示すものであり、前記エ
ラー対応区分データはエラーデータが二次要因エラーで
あった場合にどの一次要因エラーに関連するかを示すも
のである。而して、前記エラー検出部７はエラーデータ
の前記エラー出力階層区分データ、エラー対応区分デー
タと前記エラー要因テーブルとで、エラーが一次要因エ
ラーか二次要因エラーであるかの判断を行う。而して、
この判断に基づき、該エラー出力手段６はエラー情報を
一次要因エラーと二次要因エラーとに区別し、階層表示
を行う。
手段６に出力するエラーデータとして、一次要因エラー
か二次要因エラーかの情報を組込む。該エラー出力手段
６から出力されるデータの構造を図３に示す様に定義付
けする。即ち、エラーデータはエラー出力階層区分デー
タ、エラー対応区分データ、エラーコードから成り、前
記エラー出力階層区分データはエラーデータが一次要因
エラーか、二次要因エラーかを示すものであり、前記エ
ラー対応区分データはエラーデータが二次要因エラーで
あった場合にどの一次要因エラーに関連するかを示すも
のである。而して、前記エラー検出部７はエラーデータ
の前記エラー出力階層区分データ、エラー対応区分デー
タと前記エラー要因テーブルとで、エラーが一次要因エ
ラーか二次要因エラーであるかの判断を行う。而して、
この判断に基づき、該エラー出力手段６はエラー情報を
一次要因エラーと二次要因エラーとに区別し、階層表示
を行う。
【００３４】更に、図１により説明する。
【００３５】図１は本実施の形態に於けるエラー検出用
処理フローチャートを示している。
処理フローチャートを示している。
【００３６】後述する様に、一次要因処理作用１０のＳ
ＴＥＰ１０〜ＳＴＥＰ１５迄、二次要因処理作用２０の
ＳＴＥＰ２１からＳＴＥＰ２４迄は従来と同様である。
ＴＥＰ１０〜ＳＴＥＰ１５迄、二次要因処理作用２０の
ＳＴＥＰ２１からＳＴＥＰ２４迄は従来と同様である。
【００３７】先ず、前記一次要因処理作用１０について
説明する。
説明する。
【００３８】ＳＴＥＰ１１では前記入力手段３から入力
される情報に基づき分岐処理を行う。前記入力手段３か
ら入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号
から、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された
状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行す
る。
される情報に基づき分岐処理を行う。前記入力手段３か
ら入力される半導体製造装置の作動状態を示す各種信号
から、作動の異常の有無を検知する。異常が検知された
状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１２の処理を実行す
る。
【００３９】ＳＴＥＰ１２では異常検出用タイマの起動
状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯ
Ｎとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処
理を実行する）。
状態を判別して分岐処理を行う。タイマの起動状態をＯ
Ｎとし、ＯＦＦでタイマを起動する（ＳＴＥＰ１３の処
理を実行する）。
【００４０】ＳＴＥＰ１３はハードウエアのハンチング
現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用
タイマ起動処理である。
現象をエラーとして検出しない様にする為の異常検出用
タイマ起動処理である。
【００４１】ＳＴＥＰ１４では異常検出用タイマのタイ
ムアップ状態を判別して分岐処理が行われる。タイムア
ップをＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行す
る。
ムアップ状態を判別して分岐処理が行われる。タイムア
ップをＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ１５の処理を実行す
る。
【００４２】ＳＴＥＰ１５は異常状態の検出を前記エラ
ー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
ー出力手段６に通知する為の異常セット処理である。
【００４３】ＳＴＥＰ１６ではＳＴＥＰ１５でなされた
異常セット処理でセットされたエラーが何（ハードウェ
アの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異常）で
あったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定する、
エラー発生要因解析処理を行うと共に出力するデータを
図３で示すデータ構造とする。
異常セット処理でセットされたエラーが何（ハードウェ
アの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異常）で
あったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定する、
エラー発生要因解析処理を行うと共に出力するデータを
図３で示すデータ構造とする。
【００４４】ＳＴＥＰ１７ではエラー出力階層区分処理
が行われる。これは、ＳＴＥＰ１６でなされた一次要因
エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基づき、エ
ラーデータがどの階層に属するかを前記エラー出力階層
区分データに関する書込み処理を行う。
が行われる。これは、ＳＴＥＰ１６でなされた一次要因
エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基づき、エ
ラーデータがどの階層に属するかを前記エラー出力階層
区分データに関する書込み処理を行う。
【００４５】ＳＴＥＰ１８ではエラー対応区分処理が行
われる。これは、ＳＴＥＰ１６で判定した結果、エラー
データが二次要因エラーであった場合、即ち先行して発
生したエラーに起因するエラーである場合には先行して
発生したエラーとの関係を対応付けるデータを前記エラ
ー対応区分データに書込み処理を行う。
われる。これは、ＳＴＥＰ１６で判定した結果、エラー
データが二次要因エラーであった場合、即ち先行して発
生したエラーに起因するエラーである場合には先行して
発生したエラーとの関係を対応付けるデータを前記エラ
ー対応区分データに書込み処理を行う。
【００４６】前記一次要因処理作用１０に続いて二次要
因処理作用２０が行われる。
因処理作用２０が行われる。
【００４７】二次要因処理作用２０は半導体製造装置の
各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、
反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水
流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの
流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停
止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行わ
れる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明す
る。
各種出力手段４、例えば、反応炉ヒータの温度制御部、
反応室の排気量をコントロールする排気制御弁、冷却水
流量をコントロールする冷却水流量制御弁、反応ガスの
流量をコントロールする電磁弁、エアシリンダの駆動停
止を行う電磁弁等、それぞれについての分岐処理が行わ
れる。以下、例えば反応炉の温度制御に於いて説明す
る。
【００４８】ＳＴＥＰ２１は温度制御状態に基づく分岐
処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われてい
る状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行す
る。
処理についての分岐処理を行う。温度制御が行われてい
る状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２２の処理を実行す
る。
【００４９】ＳＴＥＰ２２では前記ＳＴＥＰ１５からの
異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セ
ット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行
する。
異常セット処理の情報に基づく分岐処理を行う。異常セ
ット状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２３の処理を実行
する。
【００５０】ＳＴＥＰ２３では制御エラーの有無を判断
し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エ
ラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４
の処理を実行する。
し、制御エラーの有無に基づく分岐処理を行う。制御エ
ラーが検出された状態をＯＮとし、ＯＮでＳＴＥＰ２４
の処理を実行する。
【００５１】ＳＴＥＰ２４では制御エラーが検出された
場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御
エラーセット処理がなされる。
場合に、異常状態が検出されたことを通知する為の制御
エラーセット処理がなされる。
【００５２】ＳＴＥＰ２５ではＳＴＥＰ２４でなされた
制御エラーセット処理でセットされたエラーが何（ハー
ドウェアの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異
常）であったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定
する。
制御エラーセット処理でセットされたエラーが何（ハー
ドウェアの故障、ハードウェアの故障に起因した制御異
常）であったかを前記エラー要因テーブルに基づき判定
する。
【００５３】ＳＴＥＰ２６ではＳＴＥＰ２５でなされた
一次要因エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基
づき、エラーデータがどの階層に属するか前記エラー出
力階層区分データに関する書込み処理を行う。
一次要因エラーか、二次要因エラーであるかの判定に基
づき、エラーデータがどの階層に属するか前記エラー出
力階層区分データに関する書込み処理を行う。
【００５４】ＳＴＥＰ２７ではＳＴＥＰ２５で判定した
結果、エラーデータが二次要因エラーであった場合、即
ち先行して発生したエラーに起因するエラーである場合
には先行して発生したエラーとの関係を対応付けるデー
タを前記エラー対応区分データに書込み処理を行う。
結果、エラーデータが二次要因エラーであった場合、即
ち先行して発生したエラーに起因するエラーである場合
には先行して発生したエラーとの関係を対応付けるデー
タを前記エラー対応区分データに書込み処理を行う。
【００５５】ＳＴＥＰ２７で処理の完了したエラーデー
タは前記エラー出力手段６に出力される。該エラー出力
手段６ではエラーデータの前記エラー出力階層区分デー
タに基づきエラー情報を対応する階層に表示する。即
ち、エラーデータがハードウェアに基づく一次要因エラ
ーであれば、エラーデータに関するエラー情報を第１階
層に表示し、制御エラー等の二次要因エラーであれば第
２階層にエラー情報を表示する。又、二次要因エラーで
あれば前記エラー対応区分データに基づき、先行する一
次要因エラーとの関連付けの表示を行う。
タは前記エラー出力手段６に出力される。該エラー出力
手段６ではエラーデータの前記エラー出力階層区分デー
タに基づきエラー情報を対応する階層に表示する。即
ち、エラーデータがハードウェアに基づく一次要因エラ
ーであれば、エラーデータに関するエラー情報を第１階
層に表示し、制御エラー等の二次要因エラーであれば第
２階層にエラー情報を表示する。又、二次要因エラーで
あれば前記エラー対応区分データに基づき、先行する一
次要因エラーとの関連付けの表示を行う。
【００５６】例えば、図２（Ａ）のテーブルで示す一次
要因エラーとしてエラーコードＥＣＤ＝０００１の本体
駆動エア供給圧力低下が検出され、二次要因エラーとし
て図２（Ｂ）のテーブルで示すエラーコードＥＣＤ＝１
０００チャンバ用ベントＮ2流量低下、エラーコードＥ
ＣＤ＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥ
ＣＤ＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコ
ードＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エ
ラーコードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発
生、エラーコードＥＣＤ＝１００５ＴＭＰ冷却水流量低
下、エラーコードＥＣＤ＝１００６ポンプ用冷却水流量
低下、エラーコードＥＣＤ＝１００７センサ異常が検出
されたとすると、第１階層にはエラーコードＥＣＤ＝０
００１の本体駆動エア供給圧力低下が表示され、該エラ
ーコードＥＣＤ＝０００１に関連する第２階層には図２
（Ａ）のテーブルに従い、エラーコードＥＣＤ＝１００
０チャンバ用ベントＮ2 流量低下、エラーコードＥＣＤ
＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥＣＤ
＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコード
ＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エラー
コードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発生が表
示される（図４参照）。
要因エラーとしてエラーコードＥＣＤ＝０００１の本体
駆動エア供給圧力低下が検出され、二次要因エラーとし
て図２（Ｂ）のテーブルで示すエラーコードＥＣＤ＝１
０００チャンバ用ベントＮ2流量低下、エラーコードＥ
ＣＤ＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥ
ＣＤ＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコ
ードＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エ
ラーコードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発
生、エラーコードＥＣＤ＝１００５ＴＭＰ冷却水流量低
下、エラーコードＥＣＤ＝１００６ポンプ用冷却水流量
低下、エラーコードＥＣＤ＝１００７センサ異常が検出
されたとすると、第１階層にはエラーコードＥＣＤ＝０
００１の本体駆動エア供給圧力低下が表示され、該エラ
ーコードＥＣＤ＝０００１に関連する第２階層には図２
（Ａ）のテーブルに従い、エラーコードＥＣＤ＝１００
０チャンバ用ベントＮ2 流量低下、エラーコードＥＣＤ
＝１００１ＭＦＣ流量制御エラー、エラーコードＥＣＤ
＝１００２ガスバルブインタロック発生、エラーコード
ＥＣＤ＝１００３排気バルブインタロック発生、エラー
コードＥＣＤ＝１００４ＲＦＯＮインタロック発生が表
示される（図４参照）。
【００５７】上記した様に、根本となる原因が本体駆動
エア供給圧力低下として、第１階層に出力され、本体駆
動エア供給圧力低下を原因とするエラーがガスバルブイ
ンタロック発生、排気バルブインタロック発生、ＲＦＯ
Ｎインタロック発生、ＭＦＣ流量制御エラーとして第２
階層に区分けして出力される為、異常箇所の特定が一目
瞭然である。従って、異常箇所を特定する為の分析作業
は必要なくなり、作業時間が短縮し、又見易くなるので
作業性が向上する。
エア供給圧力低下として、第１階層に出力され、本体駆
動エア供給圧力低下を原因とするエラーがガスバルブイ
ンタロック発生、排気バルブインタロック発生、ＲＦＯ
Ｎインタロック発生、ＭＦＣ流量制御エラーとして第２
階層に区分けして出力される為、異常箇所の特定が一目
瞭然である。従って、異常箇所を特定する為の分析作業
は必要なくなり、作業時間が短縮し、又見易くなるので
作業性が向上する。
【００５８】図４はエラー出力手段６に表示されるエラ
ー発生状況一覧の画面構成の一例（第１の実施例）を示
す。
ー発生状況一覧の画面構成の一例（第１の実施例）を示
す。
【００５９】図中、３０ａ，３０ｂ，…は一次要因エラ
ー毎に開かれるウィンドウであり、このウインドウ
（頁）にはエラー出力第１階層区分表示エリア３１、エ
ラ−出力第２階層区分表示エリア３２が含まれている。
ー毎に開かれるウィンドウであり、このウインドウ
（頁）にはエラー出力第１階層区分表示エリア３１、エ
ラ−出力第２階層区分表示エリア３２が含まれている。
【００６０】前記エラー出力第１階層区分表示エリア３
１には、前記エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、
ＳＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生した
エラーがハード故障等の一次要因エラーである場合にエ
ラー出力される。又エラ−出力第２階層区分表示エリア
３２には、エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、Ｓ
ＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生したエ
ラーが、先行して発生したエラーに起因して発生した二
次要因エラーである場合に、発生したエラーをエラー出
力する。
１には、前記エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、
ＳＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生した
エラーがハード故障等の一次要因エラーである場合にエ
ラー出力される。又エラ−出力第２階層区分表示エリア
３２には、エラー出力階層区分処理（ＳＴＥＰ１７、Ｓ
ＴＥＰ２６）でセットされた情報に基づき、発生したエ
ラーが、先行して発生したエラーに起因して発生した二
次要因エラーである場合に、発生したエラーをエラー出
力する。
【００６１】発生したエラーの表示方法として、開かれ
た一つの頁に一次要因エラーをエラー第１階層区分表示
エリア３１に１件、そのエラーに関連して出力された二
次要因エラーをエラ−出力第２階層区分表示エリア３２
に全件表示する。
た一つの頁に一次要因エラーをエラー第１階層区分表示
エリア３１に１件、そのエラーに関連して出力された二
次要因エラーをエラ−出力第２階層区分表示エリア３２
に全件表示する。
【００６２】その他の一次要因エラーは、次頁以降に上
記したと同様な方法でエラー出力を行う。
記したと同様な方法でエラー出力を行う。
【００６３】図５はエラー出力手段６に表示されるエラ
ー発生状況一覧の画面構成の他の例（第２の実施例）を
示す。
ー発生状況一覧の画面構成の他の例（第２の実施例）を
示す。
【００６４】発生したエラーの出力方法として、エラー
出力第１階層区分表示エリア３１に一次要因エラーを縦
に連続的に表示し、その右横に一次要因エラーに対応し
た、エラー出力第２階層区分表示エリア３２を表示させ
るボタン３３を設ける。エラー総点数が複数の場合は、
次頁以降に上記した同様の方法でエラー出力を行う。
出力第１階層区分表示エリア３１に一次要因エラーを縦
に連続的に表示し、その右横に一次要因エラーに対応し
た、エラー出力第２階層区分表示エリア３２を表示させ
るボタン３３を設ける。エラー総点数が複数の場合は、
次頁以降に上記した同様の方法でエラー出力を行う。
【００６５】尚、図４及び図５に於いて、エラー出力第
１階層区分表示エリア３１とエラー出力第２階層区分表
示エリア３２に表示するエラー情報は、図８で示したエ
ラー関連情報（エラーコードＥＣＤ、発生時間、発生継
続状態等）を含めた内容である。
１階層区分表示エリア３１とエラー出力第２階層区分表
示エリア３２に表示するエラー情報は、図８で示したエ
ラー関連情報（エラーコードＥＣＤ、発生時間、発生継
続状態等）を含めた内容である。
【００６６】尚、階層区分を表示する手段については上
記第１の実施例、第２の実施例に限定されるものではな
い。
記第１の実施例、第２の実施例に限定されるものではな
い。
【００６７】
【発明の効果】以上述べた如く本発明によれば、エラー
表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラ
ーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又
先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエ
ラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示する様にし
たので、異常箇所が直ちに特定でき、異常箇所を特定す
る為の分析作業は必要なくなり、作業時間が短縮し、又
見易くなるので作業性が向上するという優れた効果を発
揮する。
表示を複数階層表示する様にし、独立して発生するエラ
ーについてはエラー情報を第１階層エリアに表示し、又
先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエ
ラー情報を第２階層以下の下層エリアに表示する様にし
たので、異常箇所が直ちに特定でき、異常箇所を特定す
る為の分析作業は必要なくなり、作業時間が短縮し、又
見易くなるので作業性が向上するという優れた効果を発
揮する。
【図１】本発明の実施の形態を示すフローチャートであ
る。
る。
【図２】（Ａ）（Ｂ）は本発明の実施の形態におけるエ
ラー発生要因を解析処理する為のエラー要因テーブルで
ある。
ラー発生要因を解析処理する為のエラー要因テーブルで
ある。
【図３】本発明の実施の形態に於けるエラーデータの構
造図である。
造図である。
【図４】本発明の実施の形態の第１の実施例のエラー出
力の画面構成図である。
力の画面構成図である。
【図５】本発明の実施の形態の第２の実施例のエラー出
力の画面構成図である。
力の画面構成図である。
【図６】本発明が実施される装置のブロック構成図であ
る。
る。
【図７】従来例を示すフローチャートである。
【図８】従来例のエラー出力の画面構成図である。
１ 主制御部 ２ 入出力制御部 ３ 入力手段 ４ 出力手段 ５ 記憶部 ６ エラー出力手段 ７ エラー検出部 ８ エラー処理部 １０ 一次要因処理作用 ２０ 二次要因処理作用 ３１ エラー出力第１階層区分表示エリア ３２ エラ−出力第２階層区分表示エリア
Claims (1)
- 【請求項１】 エラー表示を複数階層表示する様にし、
独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階
層エリアに表示し、又先行するエラーに起因して発生す
るエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下層エ
リアに表示することを特徴とするエラー出力方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072093A JP2001265431A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | エラー出力方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000072093A JP2001265431A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | エラー出力方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001265431A true JP2001265431A (ja) | 2001-09-28 |
Family
ID=18590564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000072093A Pending JP2001265431A (ja) | 2000-03-15 | 2000-03-15 | エラー出力方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001265431A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015162793A1 (ja) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | 三菱電機株式会社 | プログラマブルロジックコントローラ |
| US11243862B2 (en) | 2018-09-20 | 2022-02-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Data processing method, data processing apparatus, and recording medium with data processing program recorded thereon |
| US11294537B2 (en) | 2018-02-08 | 2022-04-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Data processing method, data processing device, and computer-readable recording medium having recorded thereon data processing program |
| WO2023171446A1 (ja) * | 2022-03-11 | 2023-09-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置管理システム、管理装置、基板処理装置、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラム |
-
2000
- 2000-03-15 JP JP2000072093A patent/JP2001265431A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015162793A1 (ja) * | 2014-04-25 | 2015-10-29 | 三菱電機株式会社 | プログラマブルロジックコントローラ |
| KR20160018794A (ko) * | 2014-04-25 | 2016-02-17 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 프로그래머블 로직 컨트롤러 |
| JP5908171B2 (ja) * | 2014-04-25 | 2016-04-26 | 三菱電機株式会社 | プログラマブルロジックコントローラ |
| KR101657928B1 (ko) | 2014-04-25 | 2016-09-19 | 미쓰비시덴키 가부시키가이샤 | 프로그래머블 로직 컨트롤러 |
| US9798611B2 (en) | 2014-04-25 | 2017-10-24 | Mitsubishi Electric Corporation | Programmable logic controller |
| US11294537B2 (en) | 2018-02-08 | 2022-04-05 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Data processing method, data processing device, and computer-readable recording medium having recorded thereon data processing program |
| US11243862B2 (en) | 2018-09-20 | 2022-02-08 | SCREEN Holdings Co., Ltd. | Data processing method, data processing apparatus, and recording medium with data processing program recorded thereon |
| WO2023171446A1 (ja) * | 2022-03-11 | 2023-09-14 | 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス | 基板処理装置管理システム、管理装置、基板処理装置、基板処理装置管理方法および基板処理装置管理プログラム |
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