KR20240008792A - 표시 방법 및 정보 처리 장치 - Google Patents

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료타 아오이
겐이치 고바야시
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도쿄엘렉트론가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 기판 처리 장치의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보의 표시의 효율화를 도모하는 것을 목적으로 한다.
기판 처리 장치가 관리하는 복수의 데이터로부터, 상기 기판 처리 장치의 상태를 검출한 센서 데이터와, 상기 기판 처리 장치의 상태를 표시한 화상 데이터를 포함하는 데이터의 이력 정보를 취득하고, 상기 기판 처리 장치에서 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 포함하는 알람 정보를 취득하며, 상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정하고, 상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정하며, 결정한 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보 중 적어도 어느 하나를 표시부에 표시하는 단계를 포함하는 표시 방법이 제공된다.

Description

표시 방법 및 정보 처리 장치{DISPLAY METHOD AND INFORMATION PROCESSING APPARATUS}
본 개시는 표시 방법 및 정보 처리 장치에 관한 것이다.
예컨대, 특허문헌 1은, 기판 처리 장치의 구성물 중 동작의 설정이 가능한 동작 대상물과, 그 동작 설정에 관한 화면을 관련시켜 화면 기억부에 기억해 두고, 오퍼레이션 조작 표시부에 동작 대상물의 동화상이 표시되어 있을 때에, 조작에 의해 동작 대상물의 특정이 행해지면, 그것에 관련된 설정 화면을 화면 기억부로부터 검색하여 오퍼레이션 조작 표시부에 표시하는 것을 제안하고 있다.
[특허문헌 1] 일본 특허 공개 제2008-198796호 공보
본 개시는 기판 처리 장치의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보의 표시의 효율화를 도모할 수 있는 기술을 제공한다.
본 개시의 일 양태에 의하면, 기판 처리 장치가 관리하는 복수의 데이터로부터, 상기 기판 처리 장치의 상태를 검출한 센서 데이터와, 상기 기판 처리 장치의 상태를 표시한 화상 데이터를 포함하는 데이터의 이력 정보를 취득하고, 상기 기판 처리 장치에서 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 포함하는 알람 정보를 취득하며, 상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정하고, 상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정하며, 결정한 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보 중 적어도 어느 하나를 표시부에 표시하는 단계를 포함하는 표시 방법이 제공된다.
일 측면에 의하면, 기판 처리 장치의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보의 표시의 효율화를 도모할 수 있다.
도 1은 일 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 구성예를 도시한 도면이다.
도 2는 일 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 하드웨어 구성의 일례를 도시한 도면이다.
도 3은 일 실시형태에 따른 정보 처리 장치의 기능 구성의 일례를 도시한 도면이다.
도 4는 일 실시형태에 따른 동화상 정보의 보존 방법의 일례를 도시한 흐름도이다.
도 5는 일 실시형태에 따른 트레이스 정보의 보존 방법의 일례를 도시한 흐름도이다.
도 6은 일 실시형태에 따른 표시 방법의 일례를 도시한 흐름도이다.
도 7은 일 실시형태에 따른 알람 일람의 표시예이다.
도 8은 일 실시형태에 따른 가스 플로우의 동화상 정보의 표시예이다.
도 9는 일 실시형태에 따른 가스 플로우의 동화상 정보 및 트레이스 정보의 표시예이다.
도 10은 일 실시형태에 따른 기판 처리 장치의 일례를 도시한 도면이다.
이하, 도면을 참조하여 본 개시를 실시하기 위한 형태에 대해 설명한다. 각 도면에서, 동일 구성 부분에는 동일 부호를 붙이고, 중복된 설명을 생략하는 경우가 있다.
[기판 처리 시스템]
처음으로, 일 실시형태에 따른 기판 처리 시스템의 구성예에 대해 설명한다. 도 1은 일 실시형태에 따른 기판 처리 시스템(100)의 구성예를 도시한 도면이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 처리 시스템(100)은, 공장(A) 내에 기판 처리 장치(120a, 120b)와, 제어 장치(121a, 121b)를 갖는다. 기판 처리 장치(120a)와 제어 장치(121a)는, 유선 또는 무선에 의해 접속된다. 기판 처리 장치(120b)와 제어 장치(121b)는, 유선 또는 무선에 의해 접속된다.
제어 장치(121a)는 기판 처리 장치(120a)의 내부에 설치되어도 좋다. 제어 장치(121b)는 기판 처리 장치(120b)의 외부에 설치되어도 좋다. 또한, 기판 처리 시스템(100)은, 동일한 공장(A) 또는 다른 공장 내에 다른 기판 처리 장치 및 제어 장치를 가져도 좋다.
기판 처리 장치(120a, 120b)는, 네트워크(N1)를 통해 호스트 장치(110)와 접속되어 있다. 기판 처리 장치(120a)는, 호스트 장치(110)로부터의 지시에 기초하여 제어 장치(121a)의 제어에 의해 기판 처리를 실행한다. 기판 처리 장치(120b)는, 호스트 장치(110)로부터의 지시에 기초하여 제어 장치(121b)의 제어에 의해 기판 처리를 실행한다. 호스트 장치(110)는, 인터넷 등의 네트워크(N2)를 통해 서버 장치(150)에 접속되어 있다. 이하의 설명에서는, 기판 처리 장치(120a, 120b)를 총칭하여 기판 처리 장치(120)라고도 한다. 또한, 제어 장치(121a, 121b)를 총칭하여 제어 장치(121)라고도 한다.
기판 처리 장치(120)의 상태를 검출한 센서 데이터, 기판 처리 장치(120)의 상태를 프로세스 실행 시 등에 기판 처리 장치(120)의 표시부에 표시한 화상 데이터(동화상 데이터)를 포함하는 복수의 데이터가, 기판 처리 장치(120)마다 관리되어 있다. 또한, 이들 복수의 데이터는, 각 기판 처리 장치(120) 내에 축적되어 있다. 각 기판 처리 장치(120)가 관리하는 복수의 데이터에는 센서 데이터 및 화상 데이터의 각 데이터의 이력 정보가 포함된다. 기판 처리 장치(120)의 상태를 표시한 표시부는, 본 실시형태에서는 기판 처리 장치(120)의 표시부이지만, 이것에 한하지 않고, 제어 장치(121)의 표시부 및 그 외의 기기의 표시부여도 좋다.
제어 장치(121)는, 성막(成膜) 공정이나 에칭 공정 등의 여러 가지 공정의 기판 처리를 기판 처리 장치(120)에 실행시키는 컴퓨터 실행 가능한 명령을 처리한다. 제어 장치(121)는, 여러 가지 공정을 실행하도록 기판 처리 장치(120)의 각 요소를 제어하도록 구성될 수 있다. 일 실시형태에서, 제어 장치(121)의 일부 또는 전부가 기판 처리 장치(120)에 포함되어도 좋다. 제어 장치(121)는, 처리부, 기억부 및 통신 인터페이스를 포함해도 좋다. 제어 장치(121)는, 예컨대 컴퓨터에 의해 실현된다. 처리부는, 기억부로부터 프로그램을 판독하고, 판독된 프로그램을 실행함으로써 여러 가지 제어 동작을 행하도록 구성될 수 있다. 이 프로그램은, 미리 기억부에 저장되어 있어도 좋고, 필요할 때에, 매체를 통해 취득되어도 좋다. 취득된 프로그램은, 기억부에 저장되고, 처리부에 의해 기억부로부터 판독되어 실행된다. 매체는, 컴퓨터에 판독 가능한 여러 가지 기억 매체여도 좋고, 통신 인터페이스에 접속되어 있는 통신 회선이어도 좋다. 처리부는, CPU(Central Processing Unit)여도 좋다. 기억부는, RAM(Random Access Memory), ROM(Read Only Memory), HDD(Hard Disk Drive), SSD(Solid State Drive), 또는 이들의 조합을 포함해도 좋다. 통신 인터페이스는, LAN(Local Area Network) 등의 통신 회선을 통해 기판 처리 장치(120)와의 사이에서 통신해도 좋다.
기판 처리 장치(120a)에는, 정보 처리 장치(140a)가 접속되어 있다. 정보 처리 장치(140a)는, 기판 처리 장치(120a)가 관리하는 복수의 데이터를 취득하여, 정보 처리 장치(140a)의 데이터 저장부(311)(도 3 참조)에 보존한다. 기판 처리 장치(120b)에는, 정보 처리 장치(140b)가 접속되어 있다. 정보 처리 장치(140b)는, 기판 처리 장치(120b)가 관리하는 복수의 데이터를 취득하여, 정보 처리 장치(140b)의 데이터 저장부(311)에 보존한다. 이하의 설명에서는, 정보 처리 장치(140a, 140b)를 총칭하여 정보 처리 장치(140)라고도 한다. 하나의 기판 처리 장치(120)와 하나의 정보 처리 장치(140)가 일대일로 접속되어도 좋고, 복수의 기판 처리 장치(120)와 하나의 정보 처리 장치(140)가 다대일로 접속되어도 좋다. 정보 처리 장치(140)를 설치하는 대신에, 호스트 장치(110) 또는 서버 장치(150)를 정보 처리 장치(140)로서 기능시켜도 좋다.
[정보 처리 장치의 하드웨어 구성]
다음으로, 정보 처리 장치(140)의 하드웨어 구성에 대해 도 2를 참조하여 설명한다. 도 2는 정보 처리 장치(140)의 하드웨어 구성의 일례를 도시한 도면이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 정보 처리 장치(140)는, CPU(Central Processing Unit)(201), ROM(Read Only Memory)(202), RAM(Random Access Memory)(203)을 갖는다. CPU(201), ROM(202), RAM(203)은, 이른바 컴퓨터를 형성한다.
또한, 정보 처리 장치(140)는, 보조 기억부(204), 표시부(205), 입력부(206), 네트워크 I/F(Interface)부(207), 접속부(208)를 갖는다. 또한, 정보 처리 장치(140)의 각 하드웨어는, 버스(209)를 통해 상호 접속되어 있다.
CPU(201)는, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램(예컨대, 후술하는 표시 제어용의 프로그램 등)을 실행하는 디바이스이다. ROM(202)은, 불휘발성 메모리이다. ROM(202)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램을 CPU(201)가 실행하기 위해서 필요한 각종 프로그램이나 데이터 등을 저장하는, 주기억 디바이스로서 기능한다. 구체적으로는, ROM(202)은 BIOS(Basic Input/Output System)나 EFI(Extensible Firmware Interface) 등의 부트 프로그램 등을 저장한다.
RAM(203)은, DRAM(Dynamic Random Access Memory)이나 SRAM(Static Random Access Memory) 등의 휘발성 메모리이다. RAM(203)은, 보조 기억부(204)에 인스톨되어 있는 각종 프로그램이 CPU(201)에 의해 실행될 때에 전개되는 작업 영역을 제공하는, 주기억 디바이스로서 기능한다.
보조 기억부(204)는, 각종 프로그램이나, 각종 프로그램이 실행될 때에 이용되는 정보를 저장하는 보조 기억 디바이스이다. 후술하는 데이터 저장부(311) 및 알람 일람 저장부(312)(도 3 참조)는, 보조 기억부(204)에 있어서 실현된다.
표시부(205)는, 각종 화면을 표시하는 표시 디바이스이다. 입력부(206)는, 정보 처리 장치(140)에 대해, 작업자가 각종 지시를 입력하기 위한 입력 디바이스이다.
네트워크 I/F부(207)는, 도시하지 않은 외부 네트워크와 접속하는 통신 디바이스이다. 접속부(208)는, 정보 처리 장치(140)를 다른 기기에 접속하는 접속 디바이스이다.
[정보 처리 장치의 기능 구성]
다음으로, 정보 처리 장치(140)의 기능 구성에 대해 도 3을 참조하여 설명한다. 도 3은 정보 처리 장치(140)의 기능 구성의 일례를 도시한 도면이다. 이하에서는 정보 처리 장치(140)[정보 처리 장치(140a)]가 기판 처리 장치(120a)에 의해 관리되는 복수의 데이터를 이용하여 데이터 표시 제어를 행하는 예를 들어 설명한다. 정보 처리 장치(140)[정보 처리 장치(140b)]가 기판 처리 장치(120b)에 의해 관리되는 복수의 데이터를 이용하여 데이터 표시 제어를 행하는 경우도 동일하기 때문에, 설명을 생략한다. 전술한 바와 같이, 정보 처리 장치(140)에는 표시 제어용의 프로그램이 인스톨되어 있고, 상기 표시 제어용의 프로그램을 실행함으로써, 정보 처리 장치(140)는, 데이터 취득부(301), 알람 취득부(302), 제어부(303)로서 기능한다.
데이터 취득부(301)는, 기판 처리 장치(120)가 관리하는 복수의 데이터로부터, 특정한 데이터를 계속적으로 취득하여, 데이터 저장부(311)에 저장한다. 데이터 저장부(311)에는, 기판 처리 장치(120a)가 관리하는 특정한 데이터가 기억된다.
데이터 취득부(301)가 취득하는 특정한 데이터는, 기판 처리 장치(120a)의 상태를 검출한 센서 데이터와, 기판 처리 장치(120a)의 상태를 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)의 표시 화면에 표시한 화상 데이터를 포함한다. 본 예에서는, 화상 데이터는, 기판 처리 장치(120a)의 복수의 가스 공급관을 흐르는 가스 플로우 상태를 프로세스 시에 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)의 화면에 표시하고 있던 동화상(애니메이션)이다.
기판 처리 장치(120a)가 관리하는 데이터에는, 예컨대 기판 처리 장치(120a)에 부착된 센서가 검출한, 기판 처리 장치(120a)의 상태를 나타내는 센서 데이터가 포함된다. 센서 데이터는, 기판 처리 장치(120a)에 부착된 센서의 검출값이다. 센서 데이터로서는, 예컨대, 히터 온도, 압력, 가스종, 가스 유량, RF 파워, 밸브 개방도, 발광 강도, 프로세스의 각 단계 시간, 승온 및/또는 강온 속도 등의 각종 데이터를 들 수 있다. 센서로서는, 온도 센서, 압력 센서, 매스 플로우 컨트롤러, 플라즈마 발광 모니터 등을 들 수 있다.
또한, 기판 처리 장치(120a)가 관리하는 데이터에는, 기판의 반송 장치의 포크나 아암의 위치나 동작의 상태를 나타내는 동화상, 기판을 들어 올리는 핀에 가해지는 토크 등의 데이터 등이 포함되어도 좋다. 기판의 반송 장치의 포크나 아암의 위치나 동작 등의 반송 상태를 나타내는 동화상은 화상 데이터의 이력 정보, 기판을 들어 올리는 핀에 가해지는 토크 등의 데이터는 센서 데이터의 이력 정보로서 데이터 저장부(311)에 저장될 수 있다.
알람 취득부(302)는, 기판 처리 장치(120a)에서 특정한 사상이 발생했을 때에 발보되는 알람 정보를 계속적으로 취득하여, 알람 일람 저장부(312)에 저장한다. 알람 정보는, 특정한 사상이 발생한 발생 일시의 정보를 포함한다. 알람 일람 저장부(312)에는, 기판 처리 장치(120a)에서 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 포함하는 알람 정보의 일람이 기억된다. 본 예에서는, 「특정한 사상」은 기판 처리 장치(120a)에서 발생한 트러블이고, 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 트러블 발생 일시로 하여 설명을 계속한다. 단, 특정한 사상은 트러블 발생에 한하지 않고, 예컨대, 트러블 경고나 특정한 이벤트 등의 사상이어도 좋다.
제어부(303)는, 트레이스 정보 결정부(305), 동화상 정보 결정부(306), 데이터 처리부(307), 표시 제어부(308)를 갖는다. 트레이스 정보 결정부(305)는, 데이터 저장부(311)에 저장된 데이터의 이력 정보 중, 취득한 알람 정보에 포함되는 트러블 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정한다. 예컨대, 트레이스 정보 결정부(305)는, 데이터 저장부(311)에 저장된 데이터의 이력 정보 중, 취득한 알람 정보에 포함되는 트러블 발생 일시로부터 트러블 발생 전 2분 및 발생 후 2분의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정한다.
동화상 정보 결정부(306)는, 데이터 저장부(311)에 저장된 데이터의 이력 정보 중, 취득한 알람 정보에 포함되는 트러블 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정한다. 예컨대, 동화상 정보 결정부(306)는, 데이터 저장부(311)에 저장된 데이터의 이력 정보 중, 취득한 알람 정보에 포함되는 트러블 발생 일시로부터 트러블 발생 전 2분 및 발생 후 2분의 가스 플로우 상태의 동화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정한다. 동화상 데이터는 가스 플로우 상태가 시계열로 변화하는 동작을 표시하는 애니메이션이다.
데이터 처리부(307)는, 특정 기간 내의 트레이스 정보와 동화상 정보를 연동시키도록 데이터 처리를 행한다. 예컨대, 데이터 처리부(307)는, 특정 기간 내의 동일 시각의 트레이스 정보와 동화상 정보를 연동시키도록 데이터 처리를 행해도 좋다.
표시 제어부(308)는, 결정한 트레이스 정보와 동화상 정보 중 적어도 어느 하나를 표시부에 표시한다. 예컨대, 표시 제어부(308)는, 특정 기간 내의 특정한 시각을 지정 가능한 표시 부품을 표시하고, 표시 부품의 조작에 따라 지정된 특정한 시각의 트레이스 정보와 동화상 정보를 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)에 표시해도 좋다.
표시 제어부(308)는, 트레이스 정보와 동화상 정보를 다른 윈도우에 표시해도 좋다. 표시 부품은, 특정 기간을 막대형의 시간축으로 나타낸 표시물이어도 좋다. 표시 부품의 막대형의 시간축을 터치 조작하거나, 옮기거나 하는 조작에 따라 지정한 특정한 시각의 트레이스 정보와 동화상 정보를 연동시켜, 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)에 표시해도 좋다.
기판 처리 장치(120a)에서 트러블 발생 시에, 발생 일시 부근의 트레이스 정보로부터 트러블의 원인 구명을 하는 경우가 있다. 트레이스 정보는, 기판 처리 장치(120)에 부착된 여러 가지 센서 데이터(온도, 가스 유량 등)의 이력 정보를 나타내는 데이터이다.
기판 처리 장치(120a)에서는, 알람 등을 발보한 부분이 직접적인 원인이 되지 않는 경우가 많다. 또한, 기판 처리 장치(120a)에는, 방대한 센서 및 제어 대상이 탑재되어 있어, 먼저 많은 센서 데이터로부터, 트러블을 일으킨 부분을 대략적으로 특정하는 것이 중요하다. 그러나, 트레이스 정보를 정리하는 작업 자체가 수고이며 신속한 원인 구명의 방해가 되고 있다. 또한, 진짜 원인의 특정을 위해서는, 트레이스 정보와 함께, 기판 처리 장치(120a)의 주변 상황을 함께 확인할 수 있는 환경이 요구되고 있다.
그래서, 본 실시형태에서는, 이 트레이스 정보와, 장해 발생 시 전후의 가스 플로우 상태를 나타내는 동화상 정보에 의해 장해의 원인 구명을 행한다. 트레이스 정보는, 선택된 센서 데이터의, 특정 기간의 이력 정보를 사용한다. 가스 플로우의 동화상 정보는, 특정 기간에서 어떤 가스가 가스 공급관의 어디까지 흐르고 있었는지를 나타내는 애니메이션(동화상 정보)이다.
본 실시형태에 따른 표시 방법에서는, 자동으로 트러블 발생 전후 2분 정도의 트레이스 정보와, 가스 플로우의 애니메이션(동화상 정보)을 추출하여, 시간 연동시켜 표시 가능하게 한다. 작업자는, 트레이스 정보와 가스 플로우 상태의 동화상 정보를 일원적으로 참조할 수 있고, 이들 정보를 정리하는 수고도 생략할 수 있기 때문에 신속한 원인 구명을 할 수 있다.
또한, 가스 플로우의 동화상 정보는 프로세스 시에 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)의 표시 화면에 표시되어 있는 것과 동일한 것을 표시한다(도 8, 도 9 참조). 이에 의해, 작업자가 익숙한 표시 환경에서 트러블 발생 시의 전후의 장치의 상태를 확인할 수 있다. 표시 대상의 정보를 트러블이 발생한 시간의 전후의 정보로 한정함으로써, 트러블 발생 원인을 찾기 쉽고, 또한 사용하는 데이터 용량에도 낭비가 없다.
이하, 본 실시형태에 따른 표시 방법의 일례를 설명하기 전에, 도 4를 참조하면서 일 실시형태에 따른 동화상 정보의 보존 방법의 일례를 설명한다. 또한, 도 5를 참조하면서 일 실시형태에 따른 트레이스 정보의 보존 방법의 일례를 설명한다. 도 4는 일 실시형태에 따른 동화상 정보의 보존 방법의 일례를 도시한 흐름도이다. 도 5는 일 실시형태에 따른 트레이스 정보의 보존 방법의 일례를 도시한 흐름도이다. 도 4의 동화상 정보의 보존 방법 및 도 5의 트레이스 정보의 보존 방법은, 정보 처리 장치(140)가 제어한다.
[동화상 정보의 보존 방법]
먼저, 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)에 표시된 가스 플로우의 동화상 정보의 보존 방법에 대해 설명한다. 먼저, 도 4의 단계 S1에서, 데이터 취득부(301)는, 표시부(304)에 표시된 가스 플로우의 동화상 정보를 기판 처리 장치(120a) 또는 제어 장치(121a)로부터 취득하여, 데이터 저장부(311)에 보존한다.
다음으로, 단계 S3에서, 알람 취득부(302)는, 취득한 알람 정보에 기초하여, 알람이 발생했는지를 판정한다. 알람이 발생했다고 판정되면, 단계 S5에서, 동화상 정보 결정부(306)는, 알람 정보에 포함되는 알람 발생 일시에 기초하여, 알람 발생 시의 전후 2분의 가스 플로우의 동화상 파일을 작성한다. 동화상 정보 결정부(306)는, 작성된 동화상 파일을 보존하고, 단계 S7로 진행한다. 동화상 파일의 보존처는, 정보 처리 장치(140)의 기억 영역이어도 좋고, 예컨대, RAM(203) 또는 보조 기억부(204)이다.
한편, 단계 S3에서, 알람 취득부(302)가, 알람이 발생하고 있지 않다고 판정한 경우, 단계 S7로 진행한다. 단계 S7에서, 데이터 처리부(307)는, 데이터 저장부(311)에 보존한 동화상 정보 중, 보존으로부터 소정 시간 경과한 동화상 정보가 있는지를 판정한다. 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 동화상 정보가 없다고 판정한 경우, 단계 S1로 되돌아가고, 단계 S1 이후의 처리를 계속한다. 한편, 단계 S7에서, 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 동화상 정보가 있다고 판정한 경우, 단계 S9로 진행한다. 단계 S9에서, 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 동화상 정보를 데이터 저장부(311)로부터 파기한 후, 단계 S1로 되돌아가고, 단계 S1 이후의 처리를 계속한다. 소정 시간은 미리 설정되어 있다.
[트레이스 정보의 보존 방법]
다음으로, 기판 처리 장치(120a)에 부착된 각종의 센서가 검출한 센서 데이터의 보존 방법에 대해 설명한다. 먼저, 도 5의 단계 S11에서, 데이터 취득부(301)는, 각종의 센서가 검출한 센서 데이터를 기판 처리 장치(120a) 또는 제어 장치(121a)로부터 취득하여, 데이터 저장부(311)에 보존한다.
다음으로, 단계 S13에서, 알람 취득부(302)는, 알람 정보에 기초하여, 알람이 발생했는지를 판정한다. 알람 취득부(302)가, 알람이 발생했다고 판정한 경우, 단계 S15로 진행한다. 단계 S15에서, 트레이스 정보 결정부(305)는, 알람 정보에 포함되는 알람 발생 일시에 기초하여, 알람 발생 시의 전후 2분의 센서 데이터를 트레이스 정보로서 결정한다. 트레이스 정보 결정부(305)는, 결정한 트레이스 정보를 보존하고, 단계 S17로 진행한다. 트레이스 정보의 보존처는, 정보 처리 장치(140)의 기억 영역이어도 좋고, 예컨대, RAM(203) 또는 보조 기억부(204)이다.
한편, 단계 S13에서, 알람 취득부(302)가, 알람이 발생하고 있지 않다고 판정한 경우, 단계 S17로 진행한다. 단계 S17에서, 데이터 처리부(307)는, 데이터 저장부(311)에 보존한 센서 데이터 중, 보존으로부터 소정 시간 경과한 센서 데이터가 있는지를 판정한다. 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 센서 데이터가 없다고 판정한 경우, 단계 S11로 되돌아가고, 단계 S11 이후의 처리를 계속한다. 한편, 단계 S17에서, 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 센서 데이터가 있다고 판정한 경우, 단계 S19로 진행한다. 단계 S19에서, 데이터 처리부(307)는, 보존으로부터 소정 시간 경과한 센서 데이터를 데이터 저장부(311)로부터 파기한 후, 단계 S11로 되돌아가고, 단계 S11 이후의 처리를 계속한다. 소정 시간은 미리 설정되어 있다.
[표시 방법]
다음으로, 보존한 동화상 파일(동화상 정보) 및 트레이스 정보의 표시 방법에 대해, 도 6 내지 도 9를 참조하여 설명한다. 도 6은 일 실시형태에 따른 표시 방법의 일례를 도시한 흐름도이다.
도 6의 처리가 개시되면, 단계 S21에서, 알람 취득부(302)는, 알람 일람 저장부(312)에 저장한 알람 정보의 일람을 표시한다.
도 7은 일 실시형태에 따른 알람 정보의 일람의 표시예이다. 알람 정보의 일람을 표시한 화면(300)에는, 알람 정보로서, 각 알람의 발생 일시, 알람 ID, 알람 메시지가 표시되어 있다. 표시되어 있는 알람 정보로부터 특정한 알람 정보가 선택 가능하다. 화면(300)에서는, 아래로부터 2번째의 알람 정보(333)가 선택되어 있다. 또한, 화면(300)에는, 분석 버튼(332)이 표시되어 있다.
도 6으로 되돌아가서, 다음으로, 단계 S23에서, 표시 제어부(308)는, 분석 버튼(332)이 눌려졌는지를 판정한다. 표시 제어부(308)는, 분석 버튼(332)이 눌려질 때까지 기다리고, 분석 버튼(332)이 눌려졌다고 판정한 경우, 단계 S25로 진행한다. 단계 S25에서, 표시 제어부(308)는, 선택된 알람 정보에 대해 작성된 동화상 파일에 기초하여, 선택된 알람 정보가 나타내는 트러블 발생 전 2분으로부터 발생 후 2분의 가스 플로우 상태의 동화상 정보를 표시한다.
도 8은 일 실시형태에 따른 가스 플로우의 동화상 정보의 표시예이다. 화면(310) 내에는, 가스 플로우 상태의 탭(315)이 선택되고, 그 아래에 가스 플로우의 화면 데이터가 표시되어 있다.
화면(310)의 상부에는, 특정 기간(예컨대 트러블 발생 전후 2분) 내의 특정한 시각을 지정 가능한 표시 부품(341)이 표시되어 있다. 표시 부품(341)은 막대형의 시간축을 나타내며, 표시 부품(341)의 좌단은 2022년 2월 24일 13시 39분 20초이고, 우단은 2022년 2월 24일 13시 43분 20초이다. 막대형의 표시 부품(341)의 중앙은, 2022년 2월 24일 13시 41분 20초이고, 도 7에서 선택된 알람 정보에 나타나는 트러블 발생 일시이다.
즉, 가스 플로우의 동화상 정보는, 트러블 발생 전후 2분, 합계로 4분의 동화상 파일에 보존된 가스 플로우 상태를 동화상(애니메이션)으로 표시할 수 있다. 또한, 트러블 발생 전후 2분의 동화상 파일 중 지정한 시각의 가스 플로우 상태를 표시할 수 있다. 예컨대, 표시 부품(341)의 막대형의 시간축의 좌단으로부터 우단까지 이동 가능한 버튼(342)을 작업자가 터치 조작함으로써, 작업자가 주시하고 싶은 시각의 가스 플로우 상태를 표시할 수 있다. 도 8의 예에서는, 버튼(342)을 작업자가 터치 조작함으로써, 트러블 발생 시각 부근의 가스 플로우 상태가 표시되어 있다.
도 8에 도시된 바와 같이, 가스 플로우 상태의 화상은, 가스 공급원으로부터 기판 처리 장치(120a)까지의 실제의 가스의 경로를 모식적으로 나타내고, 가스 공급관(L1, L2), 매스 플로우 컨트롤러(M) 및 밸브(V) 등이 나타나 있다. 가스 공급관(L1)은 가스 공급관(L2)보다 굵은 선으로 나타나고, 버튼(342)이 나타내는 시각에서 가스가 가스 공급관(L1)을 흐르고 있는 모습을 나타낸다. 가는 선으로 나타내는 가스 공급관(L2)에는 이 시점에서 가스는 흐르고 있지 않은 것을 나타낸다. 즉, 밸브(V)가 폐쇄되어 있기 때문에, 가스는 가스 공급관(L2)에는 흐르지 않는다. 단, 가스가 흐르고 있는지의 여부는 선의 굵기로 나타내는 것에 한하지 않고, 선 색을 변경하는 등, 다른 방법으로 나타내어도 좋다. 밸브(V)가 개방되면, 그 앞의 가스 공급관(L2)까지 가스가 공급되기 때문에, 그 가스 공급관의 표시가 변화한다. 이와 같이 하여 가스 플로우 상태를 동화상 재생하여 나타냄으로써, 작업자는 트러블이 발생한 전후에서의, 가스의 흐름의 시계열의 변화를 한눈에 알 수 있다.
또한, 가스 공급관(L1)을 흐르는 가스의 유량은, 매스 플로우 컨트롤러(M)를 도시한 것에 가스 유량값이 표시되어, 각 시점에서의 각 가스 공급관을 흐르는 가스의 유량을 알 수 있도록 되어 있다.
버튼(342)을 터치 조작하고 있는 작업자가 버튼(342)을 좌우로 옮기면, 옮긴 분만큼 시각이 전 또는 후의 가스 플로우 상태를 동화상 재생할 수 있다. 본 실시형태에서는, 기판 처리 장치(120a)의 프로세스 시에 표시부(304)에 표시된 화면의 형식을 사용하여 가스 플로우 상태를 표시하고 있다. 이에 의해, 작업자는, 어떤 시점에서 가스 공급관의 어디까지 가스가 공급되고 있는지, 어느 정도의 가스 유량으로 공급되고 있는지, 각 밸브의 개폐 상태는 어떻게 되어 있는지 등을, 통상 프로세스 시에도 사용되고 있는 가스 플로우 상태를 나타내는 화면과 동일한 화면 상에서 확인할 수 있다. 이에 의해, 보다 용이하게 알람의 발생 원인에 관한 분석을 행할 수 있다.
도 6으로 되돌아가서, 다음으로, 단계 S27에서, 표시 제어부(308)는, 트레이스 정보 버튼(313)이 눌려졌는지를 판정한다. 표시 제어부(308)는, 트레이스 정보 버튼(313)이 눌려져 있지 않다고 판정되면, 단계 S25로 되돌아가고, 단계 S25 이후의 처리를 계속한다.
단계 S27에서, 표시 제어부(308)는, 트레이스 정보 버튼(313)이 눌려졌다고 판정한 경우, 단계 S29로 진행한다. 단계 S29에서, 표시 제어부(308)는, 트레이스 정보를 표시하는 윈도우를 열어, 가스 플로우 상태를 나타내는 동화상의 재생 시간에 대응시켜 트레이스 정보를 다른 윈도우에 표시한다.
다음으로, 단계 S31에서, 표시 제어부(308)는, 가스 플로우 상태의 표시를 종료할지를 판정한다. 표시 제어부(308)는, 작업자의 조작에 따라, 가스 플로우 상태의 표시를 종료한다고 판정하면 본 처리를 종료하고, 가스 플로우 상태의 표시를 종료하지 않는다고 판정하면, 단계 S25로 되돌아가고, 단계 S25 이후의 처리를 계속한다.
도 9는 단계 S29에서, 트레이스 정보를 표시하는 윈도우를 열었을 때의, 일 실시형태에 따른 가스 플로우의 동화상 정보 및 트레이스 정보의 표시예이다. 트레이스 정보 버튼(313)을 누르면, 다른 윈도우(320)가 열린다. 표시 제어부(308)는, 선택된 센서(323)의 트레이스 정보를 그래프(321, 322)로 하여 표시한다. 센서(323)의 선택은, 센서 선택 버튼(324)을 누름으로써 행할 수 있다.
트레이스 정보는, 가스 플로우 상태를 나타내는 동화상과 연동시켜 표시시킨다. 화면(310) 내에는, 도 8에서 버튼(342)이 나타내는 시각의 가스 플로우의 화면 데이터가 표시되어 있다. 이때, 도 9의 예에서는, 트레이스 정보가 표시되고, 버튼(342)이 나타내는 시각의 트레이스 정보의 위치가 세로 굵은 선으로 그래프상에 표시된다. 윈도우(320)는, 화면(310) 내에 표시되어도 좋고, 화면(310)으로부터 천이한 다른 화면에 표시되어도 좋다. 버튼(342)의 위치가 나타내는 시각이 변화하면, 연동하여 버튼(342)의 위치가 나타내는 시각의 가스 플로우의 동화상 정보로 표시가 변화하고, 또한, 트레이스 정보의 세로 굵은 선이 나타내는 위치도 버튼(342)의 위치가 나타내는 시각을 나타내도록 연동하여 변화한다.
이에 의해, 작업자는, 지정한 시각의 가스 플로우 상태와, 동일한 시각의 트레이스 정보를 동시에 볼 수 있고, 양방의 정보를 보고 보다 효율적으로 트러블 발생 전후의 상황을 파악할 수 있다. 또한, 센서 데이터를 스케일에 맞춰 복수의 그래프로 나누어 표시하거나, 복수의 센서 데이터를 동일한 그래프에 표시하거나 함으로써 알람 분석 작업의 효율화를 도모할 수 있다.
이상으로 설명한 본 개시의 표시 방법에 의하면, 기판 처리 장치(120)의 트러블 발생 시의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보의 표시의 효율화를 도모할 수 있다. 또한, 기판 처리 장치(120)의 트러블 발생 시 등의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보로서, 가스 플로우의 동화상 정보 및 트레이스 정보를 연동하여 표시함으로써, 트러블 발생의 원인 구명을 보다 용이하게 행할 수 있다.
[변형예]
이상은, 가스 플로우의 화상 정보와 트레이스 정보를 표시하는 예를 들었다. 변형예에서는, 기판 유지구(30)의 기판 상태의 동화상 정보와 트레이스 정보를 표시한다. 기판 처리 장치(120a)의 일례를 간략화하여 도 10에 도시한다. 기판 처리 장치(120a)는, 챔버(11), 가스 공급 장치(40), 제어 장치(121)를 갖는다. 기판 처리 장치(120a)의 가스 공급 장치(40)는, 가스 노즐(41)을 갖는다. 가스 노즐(41)은 복수의 가스 구멍(42)을 갖는다.
챔버(11) 내의 상단 근방에는, 천장판(12)이 설치되고, 천장판(12)의 하측의 영역은, 밀봉되어 있다. 챔버(11) 및 천장판(12)은, 예컨대 석영에 의해 형성되고, 기판 유지구(30)를 수용한다. 챔버(11)의 하단의 개구에는, 원통 형상으로 성형된 덮개체(20)가 O링 등의 시일 부재(21)를 통해 연결되어 있다.
기판 유지구(30)는, 웨이퍼를 일례로 하는 복수(예컨대 25장∼150장)의 기판(W)을 선반 상에 유지한다. 기판 유지구(30)는, 예컨대 석영에 의해 형성되어 있다. 기판 유지구(30)는, 3개의 지주에 의해 복수의 기판(W)을 지지한다. 도시하지 않은 승강 기구에 의해, 기판 유지구(30)와 덮개체(20)가 일체가 되어 승강하여 챔버(11) 내에 대해 삽입 및 분리된다.
반송 장치는, 아암을 사용하여 로드 포트(도시하지 않음)에 놓여진 카세트로부터 기판(W)을 취출하여, 반송실을 통해 기판 유지구(30)의 선반 상에 배치한다. 예컨대, 도 10에 도시된 기판 유지구(30)에 배치된 기판 상태를 표시하는 표시 화면을 기판 처리 장치(120a)의 표시부(304)에 표시하고, 그 기판 유지구(30)의 기판 상태의 동화상 정보를 데이터 저장부(311)에 저장해 둔다.
변형예에서는, 기판 유지구(30)의 표시 화면의 동화상 정보를 트레이스 정보와 연동시켜 표시한다. 이에 의해, 트러블 발생 시, 기판 유지구(30)의 어디에 기판(W)이 배치되어 있었는지를 시각적으로 용이하게 파악할 수 있다. 또한, 트레이스 정보와 연동시켜 기판 유지구(30)에의 기판의 배치 상태를 표시함으로써, 예컨대 지진 시의 기판이나 반송 상태의 트러블의 원인 구명이나 그 후의 복구 대책을 효율적 및 용이하게 행할 수 있다. 또한, 기판 유지구(30)의 기판 상태의 동화상 정보와 함께, 기판의 반송 장치의 포크나 아암의 위치나 동작 등의 반송 상태를 나타내는 동화상 정보를 이용해도 좋다.
이상으로 설명한 바와 같이, 본 실시형태의 표시 방법 및 기판 처리 장치에 의하면, 기판 처리 장치의 상태를 확인할 때에 필요한 이력 정보의 표시의 효율화를 도모할 수 있다.
이번에 개시된 실시형태에 따른 표시 방법 및 기판 처리 장치는, 모든 점에서 예시이며 제한적인 것이 아니라고 생각되어야 한다. 실시형태는, 첨부된 청구의 범위 및 그 주지를 일탈하지 않고, 여러 가지 형태로 변형 및 개량이 가능하다. 상기 복수의 실시형태에 기재된 사항은, 모순되지 않는 범위에서 다른 구성도 취할 수 있고, 또한, 모순되지 않는 범위에서 조합할 수 있다.
본 개시의 기판 처리 장치는, 도 10에 도시된 장치에 한하지 않는다. 기판 처리 장치는, Atomic Layer Deposition(ALD) 장치, Capacitively Coupled Plasma(CCP), Inductively Coupled Plasma(ICP), Radial Line Slot Antenna(RLSA), Electron Cyclotron Resonance Plasma(ECR), Helicon Wave Plasma(HWP)의 어느 타입의 장치에서도 적용 가능하다.
본 개시의 기판 처리 시스템(100)은 도 1에 도시된 시스템에 한하지 않고, 용도나 목적에 따라 여러 가지 시스템 구성예가 있는 것은 말할 필요도 없다.
본 개시의 기판 처리 장치는, 1장씩 기판을 처리하는 매엽(枚葉) 장치, 복수 장의 기판을 일괄 처리하는 배치(batch) 장치 및 세미 배치 장치의 어느 것에도 적용할 수 있다.
본 개시의 기판 처리 장치가 행하는 기판 처리는, 예컨대, 성막 처리, 에칭 처리 등을 들 수 있다.

Claims (6)

  1. 기판 처리 장치가 관리하는 복수의 데이터로부터, 상기 기판 처리 장치의 상태를 검출한 센서 데이터와, 상기 기판 처리 장치의 상태를 표시한 화상 데이터를 포함하는 데이터의 이력 정보를 취득하고,
    상기 기판 처리 장치에서 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 포함하는 알람 정보를 취득하며,
    상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정하고,
    상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정하며,
    결정한 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보 중 적어도 어느 하나를 표시부에 표시하는 단계를 포함하는 표시 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 특정 기간 내의 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보를 연동시켜 표시하는 표시 방법.
  3. 제2항에 있어서, 상기 특정 기간 내의 동일 시각의 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보를 연동시켜 표시하는 표시 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 특정 기간 내의 특정한 시각을 지정 가능한 표시 부품을 표시하고,
    상기 표시 부품의 조작에 따라 지정된 상기 특정한 시각의 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보를 표시하는 표시 방법.
  5. 제4항에 있어서, 상기 트레이스 정보를, 상기 동화상 정보의 윈도우와는 다른 윈도우에 표시하고,
    상기 표시 부품은, 상기 특정 기간을 시간축으로 나타내는 것이며,
    상기 시간축에 대한 조작에 따라 지정한 상기 특정한 시각이 변화하는 것에 대응하여 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보의 표시를 연동시켜 변화시키는 표시 방법.
  6. 기판 처리 장치가 관리하는 복수의 데이터로부터, 상기 기판 처리 장치의 상태를 검출한 센서 데이터와, 상기 기판 처리 장치의 상태를 표시한 화상 데이터를 포함하는 데이터의 이력 정보를 취득하는 데이터 취득부와,
    상기 기판 처리 장치에서 특정한 사상이 발생한 발생 일시를 포함하는 알람 정보를 취득하는 알람 취득부와,
    상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 센서 데이터를 표시 대상의 트레이스 정보로 결정하는 트레이스 정보 결정부와,
    상기 데이터의 이력 정보 중, 취득한 상기 알람 정보에 포함되는 발생 일시를 포함하는 특정 기간의 화상 데이터를 표시 대상의 동화상 정보로 결정하는 동화상 정보 결정부와,
    결정한 상기 트레이스 정보와 상기 동화상 정보 중 적어도 어느 하나를 표시부에 표시하는 표시 제어부를 구비하는 정보 처리 장치.
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