KR102275221B1 - 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및, 데이터 처리 프로그램 - Google Patents

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히데지 나오하라
유미코 히라토
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가부시키가이샤 스크린 홀딩스
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Abstract

[과제] 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공한다.
[해결 수단] 데이터 처리 방법은, 복수의 처리 유닛(25)을 갖는 기판 처리 장치(20)에서 얻어진 시계열 데이터(7)를 처리하기 위해서, 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)를 비교함으로써, 시계열 데이터(7)의 스코어(9)를 구하는 평가치 계산 단계(S102)와, 처리 유닛(25)마다, 스코어(9)가 이상인 기판의 매수인 스코어 에러 건수(52)와, 처리된 기판의 매수 중에서 스코어 에러 건수(52)의 비율을 나타내는 원그래프(53)를 포함하는 평가 결과 화면(50)을 표시하는 결과 표시 단계(S107)를 구비하고 있다. 스코어 에러 건수(52)와 원그래프(53)의 표시 사이즈는, 스코어 에러 건수(52)에 따라 변화한다.

Description

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및, 데이터 처리 프로그램{DATA PROCESSING METHOD, DATA PROCESSING DEVICE AND DATA PROCESSING PROGRAM}
본 발명은, 디지털 데이터 처리에 관하며, 특히, 기판 처리 장치로 측정된 데이터의 처리 방법, 처리 장치, 및, 처리 프로그램에 관한 것이다.
기기나 장치의 이상(異常)을 검출하는 방법으로서, 기기나 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량(예를 들면, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)을 센서 등을 이용하여 측정하고, 측정 결과를 시계열순으로 나열하여 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 방법이 알려져 있다. 기기나 장치가 동일한 조건에서 동일한 동작을 행하는 경우, 이상이 없으면, 시계열 데이터는 동일하게 변화한다. 거기서, 동일하게 변화하는 복수의 시계열 데이터를 서로 비교하여 이상인 시계열 데이터를 검출하고, 이것을 분석하여 이상(異常)의 발생 개소나 원인을 특정할 수 있다.
반도체 기판(이하, 기판이라고 한다)의 제조 공정에서는, 복수의 기판 처리 장치를 이용하여 일련의 처리가 실행된다. 기판 처리 장치는, 기판에 대해서 일련의 처리 중 특정의 처리를 실시하는 복수의 처리 유닛을 포함하고 있다. 각 처리 유닛은, 기판에 대해서 미리 정한 순서(레시피로 불린다)에 따라 처리를 실시한다. 이 때 각 처리 유닛에 있어서의 측정 결과에 의거하여, 시계열 데이터가 얻어진다. 얻어진 시계열 데이터를 분석함으로써, 이상이 발생한 처리 유닛이나 이상의 원인을 특정할 수 있다.
본원 발명에 관련하여, 일본국 특허공개 2001－265431호 공보에는, 독립하여 발생하는 에러에 대해서는 에러 정보를 제1 계층으로 표시하고, 선행하는 에러에 기인하여 발생하는 에러에 대해서는 에러 정보를 제2 계층 이하의 하위층 영역으로 표시하는 에러 출력 방법이 기재되어 있다. 국제 공개 제2003/85504호에는, 각종의 정보를 표시하기 위한 스크린을 포함하는 반도체 시스템 프로세스용의 그래픽 사용자 인터페이스(Graphical User Interface)가 기재되어 있다.
기판 처리 장치는 복수의 처리 유닛을 가지고, 각 처리 유닛에서는 다수의 측정 결과에 의거하여 다수의 시계열 데이터가 얻어진다. 이 때문에, 이용자(기판 처리 장치의 오퍼레이터)는, 시계열 데이터의 모든 이상을 포함하는 표시 화면을 보았을 때, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 없다.
그러한 연유로, 본 발명은, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 제1의 국면은, 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법으로서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산 단계와,
상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 이상(異常)인 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를 구비하고,
상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제2의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은, 상기 원그래프의 내측에 상기 이상 건수를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제3의 국면은, 본 발명의 제2의 국면에 있어서,
상기 이상 건수의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제4의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛마다, 상기 이상 건수의 증감 경향을 나타내는 화살표를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제5의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은 얼굴 마크를 추가로 포함하고,
상기 얼굴 마크의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된, 상기 평가치가 이상인 기판의 매수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제6의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 평가치 계산 단계에서 구한 평가치 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치를 선택하는 평가치 선택 단계를 추가로 구비하고,
상기 결과 표시 단계는, 상기 평가치 선택 단계에서 선택된 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제7의 국면은, 본 발명의 제6의 국면에 있어서,
상기 평가치 선택 단계는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치를 선택하고,
상기 결과 표시 단계는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제8의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 결과 표시 단계는, 상기 평가 결과 화면, 상기 평가치를 포함하는 화면, 및, 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면을 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제9의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 결과 표시 단계는, 상기 평가치 계산 단계에서 구한 평가치와 다른 데이터 처리 장치에서 구한 평가치에 의거하는 서머리 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제10의 국면은, 본 발명의 제1의 국면에 있어서,
상기 기준 데이터는, 다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제11의 국면은, 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치로서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산부와,
상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 이상인 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시부를 구비하고,
상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제12의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은, 상기 원그래프의 내측에 상기 이상 건수를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제13의 국면은, 본 발명의 제12의 국면에 있어서,
상기 이상 건수의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제14의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛마다, 상기 이상 건수의 증감 경향을 나타내는 화살표를 추가로 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제15의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 평가 결과 화면은 얼굴 마크를 추가로 포함하고,
상기 얼굴 마크의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된, 상기 평가치가 이상인 기판의 매수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제16의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 평가치 계산부에서 구한 평가치 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치를 선택하는 평가치 선택부를 추가로 구비하고,
상기 결과 표시부는, 상기 평가치 선택부에서 선택된 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제17의 국면은, 본 발명의 제16의 국면에 있어서,
상기 평가치 선택부는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치를 선택하고,
상기 결과 표시부는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제18의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 결과 표시부는, 상기 평가 결과 화면, 상기 평가치를 포함하는 화면, 및, 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면을 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제19의 국면은, 본 발명의 제11의 국면에 있어서,
상기 결과 표시부는, 상기 평가치 계산부에서 구한 평가치와 다른 데이터 처리 장치에서 구한 평가치에 의거하는 서머리 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 제20의 국면은, 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 프로그램으로서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산 단계와,
상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 이상인 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를,
컴퓨터에 CPU가 메모리를 이용하여 실행시키고,
상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 한다.
상기 제1, 제11 또는 제20의 국면에 의하면, 처리 유닛마다 이상 건수(평가치가 이상인 기판의 매수)의 비율을 나타내는 원그래프를 포함하는 평가 결과 화면이 표시되고, 원그래프의 표시 사이즈는 이상 건수에 따라 변화한다. 따라서, 이용자는, 평가 결과 화면을 보았을 때, 평가치가 이상인 기판의 비율을 용이하게 인식할 수 있다. 또한, 표시된 원그래프에 의거하여, 기판 처리 장치에 포함되는 복수의 처리 유닛의 상태를 용이하게 파악하고, 복수의 처리 유닛 중에서 긴급도가 높은 처리 유닛을 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제2 또는 제12의 국면에 의하면, 이상 건수를 원그래프의 내측에 표시함으로써, 복수의 처리 유닛의 상태를 적은 면적으로 표시할 수 있다.
상기 제3 또는 제13의 국면에 의하면, 이상 건수의 표시 사이즈는 이상 건수에 따라 변화한다. 따라서, 이용자는, 평가 결과 화면을 보았을 때, 표시된 이상 건수에 의거하여, 기판 처리 장치에 포함되는 복수의 처리 유닛 상태를 용이하게 파악하고, 복수의 처리 유닛 중에서 긴급도가 높은 처리 유닛을 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제4 또는 제14의 국면에 의하면, 이용자는, 화살표를 봄으로써, 각 처리 유닛에 있어서의 이상 건수의 증감 경향을 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제5 또는 제15의 국면에 의하면, 이용자는, 얼굴 마크를 봄으로써, 평가치가 이상인 기판이 최근 어느 정도 검출되었는지를 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제6 또는 제16의 국면에 의하면, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치에 의거하는 평가 결과 화면이 표시된다. 따라서, 이용자는, 특정의 순서로 기판을 처리했을 때의 처리 유닛의 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제7 또는 제17의 국면에 의하면, 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하는 평가 결과 화면이 표시된다. 따라서, 이용자는, 기판에 대해서 그룹마다 다른 처리를 실시했을 때의 처리 유닛의 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
상기 제8 또는 제18의 국면에 의하면, 평가 결과 화면, 평가치를 포함하는 화면, 및, 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면을 계층적으로 표시함으로써, 이용자는, 평가치가 이상인 기판에 대해 평가치나 시계열 데이터를 용이하게 해석할 수 있다.
상기 제9 또는 제19의 국면에 의하면, 이용자는, 서머리 화면을 보았을 때, 복수의 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.
상기 제10의 국면에 의하면, 기준 데이터로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터에 대해 적합한 평가치를 구할 수 있다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 기판 처리 장치의 개략 구성을 나타내는 도면이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치에 있어서의 시계열 데이터를 그래프화하여 나타내는 도면이다.
도 4는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 나타내는 블럭도이다.
도 5는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 동작을 나타내는 플로우 차트이다.
도 6은, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 평가 결과 화면을 나타내는 도면이다.
도 7은, 도 6에 나타내는 평가 결과 화면의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다.
도 8은, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치에 있어서의 스코어 평가 기간을 나타내는 도면이다.
도 9는, 도 6에 나타내는 평가 결과 화면에 포함되는 화살표의 종류를 나타내는 도면이다.
도 10은, 도 6에 나타내는 평가 결과 화면에 포함되는 얼굴 마크의 종류를 나타내는 도면이다.
도 11은, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 스코어 에러 리스트 화면을 나타내는 도면이다.
도 12는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 레시피 리스트 화면을 나타내는 도면이다.
도 13 A는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 결과 리스트 화면을 나타내는 도면이다.
도 13 B는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 스코어 리스트 화면을 나타내는 도면이다.
도 13 C는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 상세 화면을 나타내는 도면이다.
도 14는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치에 있어서 챔버 그루핑을 실행했을 때의 평가 결과 화면을 나타내는 도면이다.
도 15는, 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치의 서머리 화면을 나타내는 도면이다.
이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및, 데이터 처리 프로그램에 대해 설명한다. 본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법은, 전형적으로는 컴퓨터를 이용하여 실행된다. 본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 프로그램은, 컴퓨터를 이용하여 데이터 처리 방법을 실시하기 위한 프로그램이다. 본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 장치는, 전형적으로는 컴퓨터를 이용하여 구성된다. 데이터 처리 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 데이터 처리 장치로서 기능한다.
도 1은, 본 발명의 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 장치의 구성을 나타내는 블럭도이다. 도 1에 나타내는 데이터 처리 장치(10)는, 데이터 기억부(11), 스코어 계산부(12), 스코어 기억부(13), 필터부(14), 결과 표시부(15), 및, 지시 입력부(16)를 구비하고 있다. 데이터 처리 장치(10)는, 기판 처리 장치(20)에 접속하여 이용된다.
기판 처리 장치(20)는 복수의 처리 유닛(25)을 포함하고, 각 처리 유닛(25)에서는 처리 유닛(25)의 동작 상태를 나타내는 복수의 물리량(예를 들면, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)이 측정된다. 이것에 의해, 복수의 시계열 데이터(7)가 얻어진다. 데이터 기억부(11)는, 상기의 방법으로 구한 시계열 데이터(7)와, 시계열 데이터(7)의 기대치 데이터인 기준 데이터(8)를 기억한다. 기준 데이터(8)에는, 예를 들면, 다수의 시계열 데이터 중에서 기대치 데이터로서 최적이라고 판단된 다른 시계열 데이터가 사용된다.
스코어 계산부(12)는, 데이터 기억부(11)에 기억된 시계열 데이터(7)에 대해 평가치(이하, 스코어라고 한다)를 구한다. 스코어 계산부(12)는, 데이터 기억부(11)로부터 시계열 데이터(7)와 대응하는 기준 데이터(8)를 읽어내고, 양쪽을 비교함으로써 스코어(9)를 구한다. 스코어 기억부(13)는, 스코어 계산부(12)에서 구한 스코어(9)를 기억한다. 필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(9)를 선택한다. 스코어 계산부(12)는 평가치 계산부로서 기능하고, 필터부(14)는 평가치 선택부로서 기능한다.
결과 표시부(15)는, 처리 유닛(25)마다, 스코어(9)가 이상인 기판의 매수를 포함하는 평가 결과 화면을 표시한다. 지시 입력부(16)에는, 이용자로부터의 지시가 입력된다. 이용자는, 지시 입력부(16)를 이용하여, 스코어 계산부(12)에 있어서의 스코어의 계산 방법, 필터부(14)에 있어서의 필터 방법, 결과 표시부(15)에 표시되는 화면의 선택 등을 지시한다.
도 2는, 기판 처리 장치(20)의 개략 구성을 나타내는 도면이다. 기판 처리 장치(20)는, 인덱서부(21)와 처리부(22)를 구비하고 있다. 인덱서부(21)는, 복수의 카세트 유지부(23)와 인덱서 로봇(24)을 포함하고 있다. 처리부(22)는, 복수의 처리 유닛(25)과 기판 반송 로봇(26)을 포함하고 있다. 카세트 유지부(23)에는, 복수의 기판을 수용하는 카세트(도시하지 않음)가 재치(載置)된다. 인덱서 로봇(24)은, 카세트로부터 기판을 꺼내는 동작과, 카세트에 기판을 넣는 동작을 실시한다. 처리 유닛(25)은, 기판에 대해서 처리를 실시하기 위한 공간(이하, 챔버라고 한다)을 갖는다. 챔버는, 처리 유닛(25)과 1대 1로 대응한다. 챔버의 내부에서는, 예를 들면, 처리액을 이용하여 기판을 세정하는 등의 처리가 행해진다. 기판 반송 로봇(26)은, 처리 유닛(25)에 기판을 반입하는 동작과, 처리 유닛(25)으로부터 기판을 반출하는 동작을 실시한다. 처리 유닛(25)의 개수는, 예를 들면 24개이다. 이 경우, 예를 들면, 4개의 처리 유닛(25)을 적층한 타워 구조체가, 기판 반송 로봇(26)의 주위의 6개소에 설치된다.
인덱서 로봇(24)은, 카세트 유지부(23)에 재치된 카세트로부터 처리 대상의 기판을 꺼내고, 꺼낸 기판을 기판 수도(受渡)부(27)를 개재하여 기판 반송 로봇(26)에 넘겨준다. 기판 반송 로봇(26)은, 인덱서 로봇(24)으로부터 받은 기판을 대상의 처리 유닛(25)으로 반입한다. 기판에 대한 처리가 종료하면, 기판 반송 로봇(26)은, 대상의 처리 유닛(25)으로부터 기판을 꺼내고, 꺼낸 기판을 기판 수도부(27)를 개재하여 인덱서 로봇(24)에 넘겨준다. 인덱서 로봇(24)은, 기판 반송 로봇(26)으로부터 받은 기판을 대상의 카세트에 넣는다. 인덱서부(21)와 처리부(22)의 제어는, 기판 처리 장치(20)의 제어부(도시하지 않음)에 의해서 행해진다.
이하, 처리 유닛(25)이 1장의 기판에 대해서 실시하는 처리를 「단위 처리」라고 한다. 단위 처리의 실행 중에, 처리 유닛(25)에서는, 센서 등을 이용하여 복수의 물리량이 측정된다. 복수의 물리량의 측정 결과에 의거하여, 복수의 시계열 데이터(7)가 얻어진다. 얻어진 복수의 시계열 데이터(7)는, 데이터 기억부(11)에 기억된다. 시계열 데이터(7)를 그래프화하여 나타내면, 예를 들면, 도 3에 실선으로 나타내는 바와 같이 된다. 대응하는 기준 데이터(8)를 그래프화하여 나타내면, 예를 들면, 도 3에 파선으로 나타내는 바와 같이 된다. 도 3에 나타내는 예에서는, 시계열 데이터(7)는, 기준 데이터(8)와 비교해서 상승 시에 늦고 있다.
도 4는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 나타내는 블럭도이다. 도 4에 나타내는 컴퓨터(30)는, CPU(31), 메인 메모리(32), 기억부(33), 입력부(34), 표시부(35), 통신부(36), 및, 기록 매체 판독부(37)를 구비하고 있다. 메인 메모리(32)에는, 예를 들면, DRAM이 사용된다. 기억부(33)에는, 예를 들면, 하드 디스크가 사용된다. 입력부(34)에는, 예를 들면, 키보드(38)나 마우스(39)가 포함된다. 표시부(35)에는, 예를 들면, 액정 디스플레이가 사용된다. 통신부(36)는, 유선 통신 또는 무선 통신의 인터페이스 회로이다. 기판 처리 장치(20)나 다른 데이터 처리 장치의 사이의 통신은, 통신부(36)를 이용하여 행해진다. 기록 매체 판독부(37)는, 프로그램 등을 기록한 기록 매체(40)의 인터페이스 회로이다. 기록 매체(40)에는, 예를 들면, CD－ROM 등의 비일과성의 기록 매체가 사용된다. 또한, 이상으로 서술한 컴퓨터(30)의 구성은 일례에 불과하고, 임의의 컴퓨터를 이용하여 데이터 처리 장치(10)를 구성할 수 있다.
이하, 컴퓨터(30)가 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 경우에 대해 설명한다. 이 경우, 기억부(33)는, 데이터 처리 프로그램(41), 시계열 데이터(7), 및, 기준 데이터(8)를 기억한다. 시계열 데이터(7)는, 기판 처리 장치(20)로부터 통신부(36)를 이용하여 수신한 것이다. 데이터 처리 프로그램(41)과 기준 데이터(8)는, 예를 들면, 서버나 다른 컴퓨터로부터 통신부(36)를 이용하여 수신한 것이어도 되고, 기록 매체(40)로부터 기록 매체 판독부(37)를 이용하여 읽어낸 것이어도 된다. 기준 데이터(8)는, 기억부(33)에 기억된 시계열 데이터(7) 중에서 이용자가 입력부(34)를 이용하여 선택한 것이어도 된다. 데이터 처리 프로그램(41)을 실행할 때에는, 데이터 처리 프로그램(41), 시계열 데이터(7), 및, 기준 데이터(8)는 메인 메모리(32)에 복사 전송된다. CPU(31)는, 메인 메모리(32)를 작업용 메모리로서 이용하고, 메인 메모리(32)에 기억된 데이터 처리 프로그램(41)을 실행함으로써, 시계열 데이터(7)의 스코어(9)를 구하는 처리, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(9)를 선택하는 처리, 선택된 스코어(9)에 의거하는 평가 결과 화면을 표시하는 처리 등을 실시한다. 이 때 컴퓨터(30)는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능한다.
도 5는, 데이터 처리 장치(10)의 동작을 나타내는 플로우 차트이다. 데이터 처리 장치(10)가 동작을 개시하기 전에, 데이터 기억부(11)에는 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)가 기억되어 있다. 데이터 처리 장치(10)는, 도 5에 나타내는 단계(S101~S109)를 반복하여 실행한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 스코어 계산부(12)는, 미처리의 시계열 데이터(7)가 있는지 여부를 판단하고, Yes의 경우는 단계(S102)로 진행되고, No의 경우는 단계(S104)로 진행된다(단계(S101)). 전자의 경우, 스코어 계산부(12)는, 미처리의 시계열 데이터(7)의 스코어(9)를 구한다(단계(S102)). 단계(S102)에 있어서, 스코어 계산부(12)는, 각 시계열 데이터(7)와 대응하는 기준 데이터(8)를 비교함으로써 스코어(9)를 구한다. 다음으로, 스코어 기억부(13)는, 단계(S102)에서 구한 스코어(9)를 기억한다(단계(S103)).
다음으로, 결과 표시부(15)는, 화면을 갱신하는지 여부를 판단하고, Yes의 경우는 단계(S105)로 진행되고, No의 경우는 단계(S101)로 진행된다(단계(S104)). 단계(S104)에 있어서, 결과 표시부(15)는, 스코어 기억부(13)가 새로운 스코어(9)를 기억했을 때, 이용자가 지시를 입력했을 때 등에 화면을 갱신한다고 판단한다.
단계(S104)에서 Yes의 경우, 결과 표시부(15)는, 표시해야 할 화면의 종류가 평가 결과 화면인지 서머리 화면인지를 판단하고, 전자의 경우는 단계(S106)로 진행되고, 후자의 경우는 단계(S108)로 진행된다(단계(S105)). 전자의 경우, 필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(9)를 선택한다(단계(S106)). 다음으로, 결과 표시부(15)는, 단계(S106)에서 선택된 스코어(9)에 의거하여, 평가 결과 화면을 표시한다(단계(S107)).
단계(S105)에서 서머리 화면의 경우, 데이터 처리 장치(10)는, 다른 데이터 처리 장치로부터, 다른 데이터 처리 장치가 구한 스코어를 수신한다(단계(S108)). 다음으로, 결과 표시부(15)는, 스코어 계산부(12)에서 구한 스코어(9)와, 단계(S108)에서 수신한 스코어에 의거하여, 서머리 화면을 표시한다(단계(S109)). 단계(S107 또는 S109)를 실행한 후, 데이터 처리 장치(10)의 제어는 단계(S101)로 진행된다.
도 5에 나타내는 플로우 차트에 있어서, 스코어 계산부(12)가 실시하는 단계(S102)는, 평가치 계산 단계에 해당한다. 필터부(14)가 실시하는 단계(S106)는, 평가치 선택 단계에 해당한다. 결과 표시부(15)가 실시하는 단계(S107 및 S109)는, 결과 표시 단계에 해당한다.
기판 처리 장치(20)가 1회의 단위 처리를 실시하면, 복수의 시계열 데이터(7)가 얻어진다. 스코어 계산부(12)는, 기판마다 각 시계열 데이터(7)에 대해 스코어(9)를 구한다. 스코어 계산부(12)는, 각 스코어(9)의 역치를 갖는다. 스코어 계산부(12)는, 복수의 스코어(9) 중 어느 하나가 역치를 넘은 기판을 「스코어 에러가 발생한 기판」이라고 판단하고, 복수의 스코어(9) 중 모두가 역치를 넘지 않은 기판을 「스코어 에러가 발생하지 않은 기판」이라고 판단한다. 이하, 처리 유닛(25)이 처리한 기판의 매수를 「처리 건수」라고 하고, 그 중 스코어 에러가 발생한 기판의 매수를 「스코어 에러 건수」라고 한다.
도 6은, 결과 표시부(15)가 표시하는 평가 결과 화면을 나타내는 도면이다. 도 6에 나타내는 평가 결과 화면(50)은, 복수의 처리 유닛(25)에 대응하고, 복수의 표시 영역(51)을 갖는다. 복수의 표시 영역(51)은, 평가 결과 화면(50) 내에 2차원형으로 배치된다. 각 표시 영역(51)의 내부에는, 스코어 에러 건수(52) 등이 표시된다. 평가 결과 화면(50)의 좌측 부분에는, 기판 처리 장치(20)의 외관도(61)나 식별자 등이 표시된다. 스코어 에러가 발생한 기판이 검출되었을 때에는, 외관도(61)와 겹쳐지도록 얼굴 마크(62)가 표시된다. 평가 결과 화면(50)의 상측 부분에는 아이콘(63~65)이 표시되고, 평가 결과 화면(50)에는 마우스 커서(69)도 표시된다. 또한, 도 6에 나타내는 평가 결과 화면(50)은, 스코어 에러 건수가 많을 때의 설명용의 화면이다. 실제의 스코어 에러 건수는, 도 6에 나타내는 값보다 적다.
이하, 기판 처리 장치(20)가 24개의 처리 유닛(25)을 갖는 경우에 대해 설명한다. 평가 결과 화면(50)은, 24개의 처리 유닛(25)에 대응하고, 24개의 표시 영역(51)을 갖는다. 각 표시 영역(51)에 있어서, 「ChamberN」은, 처리 유닛(25)이 갖는 챔버의 번호가 N인 것을 나타낸다. 「Total：X」는, 처리 건수가 X인 것을 나타낸다. 표시 영역(51)의 내부에는, 스코어 에러 건수(52), 원그래프(53), 및, 화살표(54)가 표시된다. 단, 스코어 에러 건수가 0건일 때에는, 원그래프(53)를 대신하여 체크 마크(55)가 표시된다.
스코어 에러 건수가 1건 이상일 때에는, 표시 영역(51)의 내부에 원그래프(53)가 표시되고, 스코어 에러 건수(52)는 원그래프(53)의 내측에 표시된다. 스코어 에러 건수(52) 및 원그래프(53)의 표시 사이즈는, 스코어 에러 건수에 따라 예를 들면, 3단계로 변화한다. 스코어 에러 건수(52) 및 원그래프(53)의 표시 사이즈는, 스코어 에러 건수가 10건 미만일 때에는 최소 사이즈가 되고, 스코어 에러 건수가 10건 이상 100건 미만일 때에는 중간 사이즈가 되며, 스코어 에러 건수가 100건 이상일 때에는 최대 사이즈가 된다.
원그래프(53)는, 처리 건수 중 스코어 에러 건수의 비율을 나타낸다. 원그래프(53)의 제1 요소(색이 진한 부분)는, 스코어 에러 건수를 나타낸다. 원그래프(53)의 제2 요소(잔여의 부분)는, 스코어 에러가 발생하지 않은 기판의 매수를 나타낸다. 예를 들면, 16번째의 처리 유닛(25)에 있어서의 처리 건수가 194건, 스코어 에러 건수가 80건일 때, 표시 영역(51a) 내의 스코어 에러 건수(52) 및 원그래프(53)의 표시 사이즈는 중간 사이즈가 된다. 표시 영역(51a) 내의 원그래프(53)에서는, 전체의 80/194가 제1 요소, 전체의 114/194가 제2 요소가 된다. 스코어 에러 건수가 0건일 때에는, 표시 영역(51)의 내부에 체크 마크(55)가 표시되고, 체크 마크(55)와 겹쳐지는 위치에 숫자 0이 표시된다.
또한, 도 6에서는, 도면 기재의 사정상, 평가 결과 화면(50)을 백, 흑, 및, 패턴을 이용하여 표현하고 있는데, 실제로는, 평가 결과 화면(50)은 복수의 색을 이용하여 표시된다. 예를 들면, 원그래프(53)의 제1 요소는 적색으로 표시되고, 원그래프(53)의 제2 요소와 체크 마크(55)는 녹색으로 표시된다.
데이터 처리 장치(10)는, 스코어 에러 건수(52)와 원그래프(53)를 포함하는 평가 결과 화면(50)을 표시하는 기능에 추가하여, 기간 필터 기능, 스코어 에러의 증감 경향을 표시하는 기능, 스코어 에러의 푸시 통지 기능, 레시피 필터 기능, 계층 표시 기능, 챔버 그루핑 기능, 및, 서머리 화면 표시 기능을 갖는다. 이하, 이들의 기능을 순서대로 설명한다.
우선, 기간 필터 기능에 대해 설명한다. 도 7은, 평가 결과 화면(50)의 일부를 확대하여 나타내는 도면이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 아이콘(64)의 우측에는 삼각 마크(66)가 표시된다. 이용자가 마우스(39)를 조작하여 삼각 마크(66)를 선택하면, 풀다운 메뉴(67)가 표시된다. 풀다운 메뉴(67)의 각 항목은, 스코어 평가 기간의 길이를 나타낸다. 「24h」 「7d」 및 「30d」는, 각각, 24시간, 7일간, 및, 30일간을 나타낸다. 「def」는, 이용자가 스코어 평가 기간의 길이를 지정하는 것을 나타낸다. 이용자가 항목 「def」를 선택했을 때에는, 스코어 평가 기간의 길이를 입력하기 위한 화면(도시하지 않음)이 표시된다. 이용자는, 표시된 화면에 스코어 평가 기간의 개시 시각과 길이를 입력한다. 또한, 이용자는, 스코어 평가 기간의 개시 시각과 길이를 대신하여, 개시 시각(혹은 개시 일시)과 종료 시각(혹은 종료 일시)을 입력해도 된다.
필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서, 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료된 기판에 관한 스코어를 선택한다. 결과 표시부(15)는, 필터부(14)에서 선택된 스코어에 의거하여, 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 이 때, 결과 표시부(15)는, 처리 유닛(25)마다, 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수를 포함하는 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 예를 들면, 스코어 평가 기간의 길이가 24시간일 때에는, 표시 영역(51) 내에는 스코어 에러 건수(52)로서, 현시점으로부터 24시간 전까지 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수가 표시된다.
다음으로, 스코어 에러의 증감 경향을 표시하는 기능에 대해 설명한다. 표시 영역(51) 내에 표시되는 화살표(54)는, 스코어 에러의 증감 경향을 나타낸다. 데이터 처리 장치(10)에서는, 스코어 평가 기간의 직전에 스코어 평가 기간과 동일한 길이의 기간(이하, 이전의 스코어 평가 기간이라고 한다)이 설정된다(도 8을 참조). 필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서, 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료된 기판에 관한 스코어와, 이전의 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료된 기판에 관한 스코어를 선택한다. 결과 표시부(15)는, 처리 유닛(25)마다, 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수와, 이전의 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수를 구한다. 결과 표시부(15)는, 처리 유닛(25)마다, 2종류의 매수를 비교하여, 스코어 에러의 증감 경향이 「급격하게 증가」 「증가」 「증감 없음」 「감소」 및 「급격하게 감소」 중 어느 하나인지를 판단한다. 이 판단을 위한 역치는, 이용자에 의해서 미리 임의로 설정된다.
도 8에 나타내는 예에서는, 스코어 평가 기간의 개시 시점은 현시점이며, 스코어 평가 기간의 길이는 24시간이다. 이 경우, 현시점으로부터 24시간 전까지의 기간이 스코어 평가 기간이 되고, 24시간 전부터 48시간 전까지의 기간이 이전의 스코어 평가 기간이 된다. 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수가 5매, 이전의 스코어 평가 기간 내에 처리가 완료되고, 또한, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수가 10매일 때, 결과 표시부(15)는 스코어 에러의 증감 경향은 「감소」라고 판단한다.
도 9는, 화살표(54)의 종류를 나타내는 도면이다. 스코어 에러의 증감 경향이 「급격하게 증가」일 때에는, 도 9 (a)에 나타내는 위쪽을 향한 화살표(54a)가, 예를 들면, 적색으로 표시된다. 스코어 에러의 증감 경향이 「증가」일 때에는, 도 9 (b)에 나타내는 비스듬히 위쪽을 향한 화살표(54b)가, 예를 들면, 주황색으로 표시된다. 스코어 에러의 증감 경향이 「증감 없음」일 때에는, 도 9 (c)에 나타내는 오른쪽을 향한 화살표(54c)가, 예를 들면, 회색으로 표시된다. 스코어 에러의 증감 경향이 「감소」일 때에는, 도 9 (d)에 나타내는 비스듬히 아래쪽을 향한 화살표(54d)가, 예를 들면, 연두색으로 표시된다. 스코어 에러의 증감 경향이 「급격하게 감소」일 때에는, 도 9 (e)에 나타내는 아래쪽을 향한 화살표(54e)가, 예를 들면, 녹색으로 표시된다.
다음으로, 스코어 에러의 푸시 통지 기능에 대해 설명한다. 얼굴 마크(62)는, 스코어 에러가 발생한 기판이 검출될 때까지는 표시되지 않는다. 얼굴 마크(62)는, 스코어 에러가 발생한 기판이 검출되었을 때, 이용자가 아무 조작을 실시하지 않아도 자동적으로 표시된다. 이용자가 마우스(39)를 조작하여 스코어 에러 확인 지시를 입력하면, 얼굴 마크(62)는 평가 결과 화면(50)으로부터 사라진다. 얼굴 마크(62)의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된, 스코어가 이상인 기판의 매수(이하, 확인 후의 스코어 에러 건수라고 한다)에 따라 변화한다.
도 10은, 얼굴 마크(62)의 종류를 나타내는 도면이다. 확인 후의 스코어 에러 건수가 1건 이상 4건 이하일 때에는, 도 10 (a)에 나타내는 얼굴 마크(62a)가 표시된다. 얼굴 마크(62a)는, 왼쪽 눈에 1방울의 눈물을 띄운 표정을 가지고, 예를 들면, 황색으로 표시된다. 확인 후의 스코어 에러 건수가 5건 이상 9건 이하일 때에는, 도 10 (b)에 나타내는 얼굴 마크(62b)가 표시된다. 얼굴 마크(62b)는, 두 눈에 눈물을 1방울씩 띄운 표정을 가지고, 예를 들면, 주황색으로 표시된다. 확인 후의 스코어 에러 건수가 10건 이상일 때에는, 도 10 (c)에 나타내는 얼굴 마크(62c)가 표시된다. 얼굴 마크(62c)는, 두 눈에 눈물을 3방울씩 띄운 표시를 가지고, 예를 들면, 적색으로 표시된다. 얼굴 마크(62)의 종류를 전환하기 위한 역치는, 이용자에 의해서 미리 임의로 설정된다.
이용자가 마우스(39)를 조작하여 얼굴 마크(62)를 선택하면, 평가 결과 화면(50)에 중첩하여, 도 11에 나타내는 스코어 에러 리스트 화면(71)이 표시된다. 스코어 에러 리스트 화면(71)의 각 행에는, 스코어 에러의 식별자, 상태, 발생 일시, 및, 내용이 표시된다. 이용자가 스코어 에러를 확인한 경우, 상태란에는 체크 마크가 표시된다. 이용자가 스코어 에러를 미확인한 경우, 상태란에는 체크 박스(72)가 표시된다.
이용자가 마우스(39)를 조작하여 스코어 에러 리스트 화면(71)에 포함되는 스코어 에러를 선택하면, 스코어 에러 리스트 화면(71)에 중첩하여, 스코어 에러의 상세를 나타내는 별도의 화면(도시하지 않음)이 표시된다. 이용자는, 표시된 화면을 보고 스코어 에러의 내용을 인식한 후에, 마우스(39)를 조작하여 체크 박스(72)에 체크를 넣고, OK 버튼을 누른다. 이것에 의해, 이용자는 선택한 스코어 에러에 대해 확인 지시를 입력한다.
이용자는, 예를 들면, 자리를 떠나기 전에, 모든 스코어 에러에 대해 확인 지시를 입력한다. 이 때, 얼굴 마크(62)는 평가 결과 화면(50)으로부터 사라진다. 이용자가 자리를 비운 중에 스코어 에러가 발생한 기판이 검출되었을 때에는, 스코어 에러가 발생한 기판의 매수에 따른 표정을 갖는 얼굴 마크(62)가 평가 결과 화면(50)에 표시된다. 이용자는, 자리로 돌아왔을 때, 얼굴 마크(62)를 봄으로써, 스코어 에러가 발생한 기판이 자리를 비운 중에 어느 정도 검출되었는지를 알 수 있다. 또한, 이용자는, 얼굴 마크(62)를 선택하여 스코어 에러 리스트 화면(71)을 봄으로써, 자리를 비운 중에 검출된 스코어 에러의 내용을 알 수 있다.
다음으로, 레시피 필터 기능에 대해 설명한다. 이용자가 마우스(39)를 조작하여 아이콘(63)을 선택하면, 평가 결과 화면(50)에 중첩하여, 도 12에 나타내는 레시피 리스트 화면(75)이 표시된다. 레시피 리스트 화면(75)의 각 행에는, 레시피의 식별자, 선택 상태, 최종 갱신 일시, 및, 내용이 표시된다. 선택 상태란에는, 체크 박스(76)가 표시된다. 이용자는, 마우스(39)를 조작하여 체크 박스(76)에 체크를 넣음으로써, 레시피 선택 지시를 입력한다.
필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서, 선택된 레시피에 따라 처리된 기판에 관한 스코어(9)를 선택한다. 결과 표시부(15)는, 필터부(14)에서 선택된 스코어(9)에 의거하여, 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 이 때, 선택된 레시피에 따라 처리된 기판에 관한 스코어(9)에 의거하는 평가 결과 화면(50)이 표시된다.
다음으로, 계층 표시 기능에 대해 설명한다. 도 13A~도 13C는, 평가 결과 화면(50)에 중첩하여 표시되는 화면을 나타내는 도면이다. 또한, 도 13A~도 13C에서는 화면의 내용을 각각 신규의 다이얼로그로서 표시하는 것으로 했는데, 평가 결과 화면(50)에 중첩하여 표시되는 1개의 다이얼로그 중에 화면의 내용을 탭으로서 표시하고, 어느 화면의 내용을 표시할지를 탭 버튼의 압하(押下)에 의해서 전환 가능하게 구성해도 된다. 탭으로서 표시하는 방법에는, 복수의 화면을 1개의 다이얼로그 중에 나열하여 표시할 수 있고, 복수의 화면을 용이하게 전환할 수 있는 등의 이점이 있다. 이용자가 마우스(39)를 조작하여 도 6에 나타내는 평가 결과 화면(50) 내에서 15번째의 처리 유닛(25)(Chamber15라고 기재된 표시 영역(51))을 선택하면, 도 13A에 나타내는 결과 리스트 화면(81)이 표시된다. 결과 리스트 화면(81)의 각 행에는, 기판의 식별자, 레시피의 식별자, 이상 스코어의 개수와 모든 스코어의 개수, 및, 처리의 개시 시각과 종료 시각이 표시된다.
또한, 본 발명의 실시 형태에서는, 이것에 한정하지 않고, 도 6에 나타내는 Chamber15라고 기재된 표시 영역(51)이 선택되었을 때, 표시하는 스코어를 필터링하기 위한 조건(예를 들면, 기판을 처리한 기간이나 레시피의 종류 등)을 일람 형식으로 나열한 스코어링 설정 일람 화면(도시하지 않음)을 표시하고, 그 일람 중에서 소정의 조건이 선택되었을 때, 당해 조건에 해당하는 스코어로서, 도 13A에 나타내는 결과 리스트 화면(81)을 표시해도 된다.
이용자가 마우스(39)를 조작하여 결과 리스트 화면(81) 내에서 기판 「S214067」을 선택하면, 도 13B에 나타내는 스코어 리스트 화면(82)이 표시된다. 스코어 리스트 화면(82)의 각 행에는, 시계열 데이터의 식별자, 기준 데이터의 식별자, 판단 기준, 판단 결과, 및, 스코어가 표시된다. 판단 기준은, 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교하여 정상인지 이상인지를 판단할 때의 기준이다. 예를 들면, 기준 「Threshold 0.1」은, 스코어가 0.1 이하일 때 정상이라고 판단하는 것을 나타낸다. 판단 결과란에는, 스코어가 정상일 때에는 「OK」, 스코어가 이상일 때에는 「NG」라고 표시된다.
이용자가 마우스(39)를 조작하여 스코어 리스트 화면(82) 내에서 시계열 데이터 「D0146」를 선택하면, 도 13C에 나타내는 상세 화면(83)이 표시된다. 상세 화면(83)은, 시계열 데이터(7) 및 기준 데이터(8)의 그래프를 포함하고 있다. 이와 같이 결과 표시부(15)는, 평가 결과 화면(50), 스코어(평가치)를 포함하는 스코어 리스트 화면(82), 및, 시계열 데이터(7)의 그래프를 포함하는 상세 화면(83)을 계층적으로 표시한다.
다음으로, 챔버 그루핑 기능에 대해 설명한다. 도 14는, 챔버 그루핑을 실행했을 때의 평가 결과 화면을 나타내는 도면이다. 도 14에 나타내는 평가 결과 화면(90)에서는, 처리 유닛(25)은 3개의 그룹으로 분류되어 있다. 제1~제8 처리 유닛(25)은 제1 그룹에, 제9~제12 처리 유닛(25)은 제2 그룹에, 제17~제24 처리 유닛(25)은 제3 그룹으로 분류되어 있다. 제1 그룹 내의 처리 유닛(25)은, 기판에 대해서 제1의 처리를 실시한다. 제2 그룹 내의 처리 유닛(25)은, 기판에 대해서 제1의 처리와는 다른 제2의 처리를 실시한다. 제3 그룹 내의 처리 유닛(25)은, 기판에 대해서 제1 및 제2의 처리와는 다른 제3의 처리를 실시한다. 또한, 그룹의 분류 방법으로서는, 기판에 대한 처리에 의거하는 분류 이외에, 예를 들면, 사용하는 기준 데이터에 의거하는 분류, 기판을 처리한 기간에 의거하는 분류 등, 각종의 분류 방법을 이용할 수 있다.
필터부(14)는, 스코어 기억부(13)에 기억된 스코어(9) 중에서, 처리 유닛(25)의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 스코어(9)를 선택한다. 결과 표시부(15)는, 처리 유닛(25)의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 스코어(9)에 의거하여 평가 결과 화면(90)을 표시한다. 이 때문에, 제1 그룹 내의 처리 유닛(25)에 대응한 표시 영역(51)에서는 제1의 처리를 실시한 기판에 관한 스코어에 의거하는 표시가 행해지고, 제2 그룹 내의 처리 유닛(25)에 대응하는 표시 영역(51)에서는 제2의 처리를 실시한 기판에 관한 스코어에 의거하는 표시가 행해지며, 제3 그룹 내의 처리 유닛(25)에 대응하는 표시 영역(51)에서는 제3의 처리를 실시한 기판에 관한 스코어에 의거하는 표시가 행해진다.
다음으로, 서머리 화면 표시 기능에 대해 설명한다. 도 15는, 도 5에 나타내는 단계(S109)에서 표시되는 서머리 화면을 나타내는 도면이다. 도 15에 나타내는 서머리 화면(95)은, 6개의 표시 영역(96)을 갖는다. 좌상의 표시 영역(96a)은, 데이터 처리 장치(10)에 접속된 기판 처리 장치(20)의 동작 상태를 나타낸다. 표시 영역(96a)에서는, 스코어 계산부(12)에서 구한 스코어에 의거하는 표시가 행해진다. 다른 5개의 표시 영역(96)은, 데이터 처리 장치(10)에 접속되어 있지 않은 다른 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타낸다. 이들의 표시 영역(96)에서는, 다른 데이터 처리 장치에서 구한 스코어에 의거하는 표시가 행해진다.
각 표시 영역(96)의 내부에는, 기판 처리 장치의 개관도와 식별자, 가동률을 나타내는 원그래프, 스코어 에러의 발생 비율을 나타내는 원그래프, 각 처리 유닛에 있어서의 스코어 에러의 발생 상황을 나타내는 막대그래프, 및, 스코어 에러의 발생 상황의 시간적인 변화를 나타내는 꺾은선 그래프가 표시된다. 또한, 스코어 에러가 발생한 기판이 검출되었을 때에는, 기판 처리 장치의 외관도와 겹쳐지도록 얼굴 마크(97)가 표시된다.
본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법은, 복수의 처리 유닛(25)을 갖는 기판 처리 장치(20)에서 얻어진 시계열 데이터(7)를 처리하기 위해서, 시계열 데이터(7)와 기준 데이터(8)를 비교함으로써, 시계열 데이터(7)의 평가치(스코어)를 구하는 평가치 계산 단계(S102)와, 처리 유닛(25)마다, 평가치가 이상인 기판의 매수를 이상 건수(스코어 에러 건수(52))로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프(53)를 포함하는 평가 결과 화면(50)을 표시하는 결과 표시 단계(S107)를 구비하고 있다. 원그래프(53)의 표시 사이즈는, 이상 건수에 따라 변화한다. 이와 같이 처리 유닛(25)마다 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프(53)를 포함하는 평가 결과 화면(50)이 표시되고, 원그래프(53)의 표시 사이즈는 이상 건수에 따라 변화한다. 따라서, 이용자는, 평가 결과 화면(50)을 보았을 때, 표시된 원그래프(53)에 의거하여, 기판 처리 장치(20)에 포함되는 복수의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악하고, 복수의 처리 유닛(25) 중에서 긴급도가 높은 처리 유닛(25)을 용이하게 인식할 수 있다.
평가 결과 화면(50)은, 원그래프(53)의 내측에 이상 건수를 포함한다. 이것에 의해, 복수의 처리 유닛(25)의 상태를 적은 면적으로 표시할 수 있다. 이상 건수의 표시 사이즈는, 이상 건수에 따라 변화한다. 따라서, 이용자는, 평가 결과 화면(50)을 보았을 때, 표시된 이상 건수에 의거하여, 기판 처리 장치(20)에 포함되는 복수의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악하고, 복수의 처리 유닛(25) 중에서 긴급도가 높은 처리 유닛(25)을 용이하게 인식할 수 있다. 평가 결과 화면(50)은, 처리 유닛(25)마다, 이상 건수의 증감 경향을 나타내는 화살표(54)를 추가로 포함한다. 따라서, 이용자는, 화살표(54)를 봄으로써, 각 처리 유닛(25)에 있어서의 이상 건수의 증감 경향을 용이하게 인식할 수 있다. 평가 결과 화면(50)은 얼굴 마크(62)를 추가로 포함하고, 얼굴 마크(62)의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된, 평가치가 이상인 기판의 매수에 따라 변화한다. 따라서, 이용자는, 얼굴 마크(62)를 봄으로써, 평가치가 이상인 기판이 최근 어느 정도 검출되었는지를 용이하게 인식할 수 있다.
본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법은, 평가치 계산 단계에서 구한 평가치 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치를 선택하는 평가치 선택 단계(S106)를 추가로 구비하고, 결과 표시 단계는, 평가치 선택 단계에서 선택된 평가치에 의거하여 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 따라서, 이용자는, 특정의 순서로 기판을 처리했을 때의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악할 수 있다. 평가치 선택 단계는, 처리 유닛(25)의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치를 선택하고, 결과 표시 단계는, 처리 유닛(25)의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하여 평가 결과 화면(90)을 표시한다(챔버 그루핑 기능). 따라서, 이용자는, 기판에 대해서 그룹마다 다른 처리를 실시했을 때의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 인식할 수 있다.
결과 표시 단계는, 평가 결과 화면(50), 평가치를 포함하는 스코어 리스트 화면(82), 및, 시계열 데이터(7)의 그래프를 포함하는 상세 화면(83)을 계층적으로 표시한다. 따라서, 이용자는, 평가치가 이상인 기판에 대해 평가치나 시계열 데이터(7)를 용이하게 해석할 수 있다. 결과 표시 단계는, 평가치 계산 단계에서 구한 평가치와 다른 데이터 처리 장치에서 구한 평가치에 의거하는 서머리 화면(95)을 표시한다. 따라서, 이용자는, 서머리 화면(95)을 보았을 때, 복수의 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있다. 기준 데이터(8)로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터(7)에 대해 적합한 평가치를 구할 수 있다.
본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 장치(10) 및 데이터 처리 프로그램(41)은, 상기의 데이터 처리 방법과 동일한 특징을 가지고, 동일한 효과를 나타낸다. 본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치(10), 및, 데이터 처리 프로그램(41)에 의하면, 이용자는, 기판 처리 장치(20)에 포함되는 복수의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악하고, 복수의 처리 유닛 중에서 긴급도가 높은 처리 유닛(25)을 용이하게 인식할 수 있다.
또한, 이상으로 서술한 데이터 처리 방법에서는, 평가 결과 화면(50)은, 스코어 에러 건수(52), 원그래프(53), 화살표(54), 및, 얼굴 마크(62)를 포함하는 것으로 했다. 그러나, 평가 결과 화면(50)은, 스코어 에러 건수(52), 원그래프(53), 화살표(54), 및, 얼굴 마크(62)를 반드시 모두 포함할 필요는 없다. 또한, 본 실시 형태와 관련되는 데이터 처리 방법은, 기간 필터 기능, 스코어 에러의 증감 경향을 표시하는 기능, 스코어 에러의 푸시 통지 기능, 레시피 필터 기능, 계층 표시 기능, 챔버 그루핑 기능, 및, 서머리 화면 표시 기능을 갖는 것으로 했다. 변형예와 관련되는 데이터 처리 방법에서는, 상기의 처리를 전혀 가지고 있지 않아도 되고, 상기의 처리로부터 임의로 선택한 처리만을 가지고 있어도 된다. 변형예와 관련되는 데이터 처리 장치 및 데이터 처리 프로그램에 대해서도, 이것과 동일하다.
7 시계열 데이터
8 기준 데이터
9 스코어
10 데이터 처리 장치
11 데이터 기억부
12 스코어 계산부
13 스코어 기억부
14 필터부
15 결과 표시부
16 지시 입력부
20 기판 처리 장치
25 처리 유닛
30 컴퓨터
31 CPU
32 메인 메모리
40 기록 매체
41 데이터 처리 프로그램
50, 90 평가 결과 화면
51, 96 표시 영역
52 스코어 에러 건수
53 원그래프
54 화살표
55 체크 마크
62, 97 얼굴 마크
81 결과 리스트 화면
82 스코어 리스트 화면
83 상세 화면
95 서머리 화면

Claims (20)

  1. 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법으로서,
    평가치 계산부에 의해, 상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산 단계와,
    결과 표시부에 의해, 상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 역치를 넘은 기판을 이상(異常) 기판으로 하고, 이상 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프와 얼굴 마크를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를 구비하고,
    상기 결과 표시 단계에 있어서,
    상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크는, 이용자에 의한 확인 후에 이상 기판이 검출됐을 때에 자동적으로 표시되며,
    상기 얼굴 마크의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된 이상 기판의 매수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크가 이용자에 의해 선택되면, 각각의 스코어 에러의 내용을 포함하는 스코어 에러 리스트 화면이 표시되며,
    상기 스코어 에러 리스트 화면에 표시된 스코어 에러에 관하여 이용자에 의해 확인 지시가 입력되면, 상기 얼굴 마크가 상기 평가 결과 화면으로부터 사라지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  2. 청구항 1에 있어서,
    상기 평가 결과 화면은, 상기 원그래프의 내측에 상기 이상 건수를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  3. 청구항 2에 있어서,
    상기 이상 건수의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛마다, 상기 이상 건수의 증감 경향을 나타내는 화살표를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  5. 삭제
  6. 청구항 1에 있어서,
    평가치 선택부에 의해, 상기 평가치 계산 단계에서 구한 평가치 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치를 선택하는 평가치 선택 단계를 추가로 구비하고,
    상기 결과 표시 단계는, 상기 평가치 선택 단계에서 선택된 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  7. 청구항 6에 있어서,
    상기 평가치 선택 단계는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치를 선택하고,
    상기 결과 표시 단계는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  8. 청구항 1에 있어서,
    상기 결과 표시 단계는, 상기 평가 결과 화면, 상기 평가치를 포함하는 화면, 및, 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면을 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  9. 청구항 1에 있어서,
    상기 결과 표시 단계는, 상기 평가치 계산 단계에서 구한 평가치와 다른 데이터 처리 장치에서 구한 평가치에 의거하는 서머리 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  10. 청구항 1에 있어서,
    상기 기준 데이터는, 다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 하는 데이터 처리 방법.
  11. 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치로서,
    상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산부와,
    상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 역치를 넘은 기판을 이상 기판으로 하고, 이상 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프와 얼굴 마크를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시부를 구비하고,
    상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크는, 이용자에 의한 확인 후에 이상 기판이 검출됐을 때에 자동적으로 표시되며,
    상기 얼굴 마크의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된 이상 기판의 매수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크가 이용자에 의해 선택되면, 각각의 스코어 에러의 내용을 포함하는 스코어 에러 리스트 화면이 표시되며,
    상기 스코어 에러 리스트 화면에 표시된 스코어 에러에 관하여 이용자에 의해 확인 지시가 입력되면, 상기 얼굴 마크가 상기 평가 결과 화면으로부터 사라지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  12. 청구항 11에 있어서,
    상기 평가 결과 화면은, 상기 원그래프의 내측에 상기 이상 건수를 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  13. 청구항 12에 있어서,
    상기 이상 건수의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  14. 청구항 11에 있어서,
    상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛마다, 상기 이상 건수의 증감 경향을 나타내는 화살표를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  15. 삭제
  16. 청구항 11에 있어서,
    상기 평가치 계산부에서 구한 평가치 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가치를 선택하는 평가치 선택부를 추가로 구비하고,
    상기 결과 표시부는, 상기 평가치 선택부에서 선택된 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  17. 청구항 16에 있어서,
    상기 평가치 선택부는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치를 선택하고,
    상기 결과 표시부는, 상기 처리 유닛의 그룹마다 다른 처리를 실시한 기판에 관한 평가치에 의거하여 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  18. 청구항 11에 있어서,
    상기 결과 표시부는, 상기 평가 결과 화면, 상기 평가치를 포함하는 화면, 및, 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면을 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  19. 청구항 11에 있어서,
    상기 결과 표시부는, 상기 평가치 계산부에서 구한 평가치와 다른 데이터 처리 장치에서 구한 평가치에 의거하는 서머리 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 장치.
  20. 복수의 처리 유닛을 갖는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 기록 매체에 기록되는 데이터 처리 프로그램으로서,
    상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가치를 구하는 평가치 계산 단계와,
    상기 처리 유닛마다, 상기 평가치가 역치를 넘은 기판을 이상 기판으로 하고, 이상 기판의 매수를 이상 건수로 했을 때, 처리된 기판의 매수 중에서 상기 이상 건수의 비율을 나타내는 원그래프와 얼굴 마크를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를,
    컴퓨터에 CPU가 메모리를 이용하여 실행시키고,
    상기 원그래프의 표시 사이즈는, 상기 이상 건수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크는, 이용자에 의한 확인 후에 이상 기판이 검출됐을 때에 자동적으로 표시되며,
    상기 얼굴 마크의 표정은, 이용자에 의한 확인 후에 처리가 완료된 이상 기판의 매수에 따라 변화하고,
    상기 얼굴 마크가 이용자에 의해 선택되면, 각각의 스코어 에러의 내용을 포함하는 스코어 에러 리스트 화면이 표시되며,
    상기 스코어 에러 리스트 화면에 표시된 스코어 에러에 관하여 이용자에 의해 확인 지시가 입력되면, 상기 얼굴 마크가 상기 평가 결과 화면으로부터 사라지는 것을 특징으로 하는 데이터 처리 프로그램.
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