JP5086659B2 - 露光状態表示方法及びシステム - Google Patents
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Description
(1)チップ一覧表のチップ単位にて、FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の特徴量を表示する。そのため、FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の寸法計測の結果を、チップの位置座標に基づいて評価することができる。
(2)チップ一覧表の各チップ色を、適正値に対するFEMウェーハのレジストパターンの断面形状の特徴量の偏差に対応して、寒暖色で表現する。そのため、FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の特徴量が適正値でないチップの位置を、視覚的に、且つ、容易に判断できる。
(3)露光量をパラメータとして、FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の特徴量を縦軸、焦点位置のオフセット量(Focus)を横軸とするグラフを表示する。そのため、FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の特徴量のばらつきを定量的に判別することができる。そのため、プロセス変動を、視覚的に検知することができる。
Claims (16)
- ユーザがデータ及び命令を入力するための入力装置と、データ及びデータの処理結果を表示する表示装置と、各種の情報処理を行う情報処理部と、を有するコンピュータを用いた露光状態表示方法において、
表面にチップ毎に異なる露光条件にて露光された同一のレジストパターンが形成されたFEMウェーハの走査電子顕微鏡像を取得する画像情報読込み処理と、
上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像から上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の寸法測定結果を演算する寸法測定結果算出処理と、
適正値に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の偏差を求める寸法測定結果偏差算出処理と、
上記FEMウェーハのチップの位置をマトリックス状に表示するチップ一覧表を作成するマップ描画処理と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果を表示する寸法測定結果表示処理と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に色彩を表示する色彩表示処理であって、上記寸法測定結果の適正値を含む第1の数値範囲にあるチップ位置に第1の色を表示し、上記第1の数値範囲以外の数値範囲を上記適正値に対する偏差に応じて異なる複数の第2の数値範囲に分けて、当該複数の第2の数値範囲にあるチップ位置に、異なる複数の第2の色を表示し、上記寸法測定結果が異なるチップ位置間を識別表示する、色彩表示処理と、
上記FEMウェーハのチップ毎に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果と色彩が表示された上記チップ一覧表を表示装置に表示する表示処理と、
を有する露光状態表示方法。 - 請求項1記載の露光状態表示方法において、上記画像情報読込み処理は、測長機能を有する走査電子顕微鏡より上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像を取得することを特徴とする露光状態表示方法。
- 請求項1記載の露光状態表示方法において、更に、露光条件の変動に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の変化を表示するグラフを生成し、該グラフを上記表示装置によって表示するグラフ表示処理と、を有することを特徴とする露光状態表示方法。
- 請求項1記載の露光状態表示方法において、上記表示装置に、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の適正値と、該適正値に対する上記寸法測定結果の偏差に対応した色彩と、各色彩に対応した上記寸法測定結果の変動幅であるスケール幅とを指定する入力エリアを表示する入力エリア表示処理と、を有することを特徴とする露光状態表示方法。
- 請求項4記載の露光状態表示方法において、上記入力エリア表示処理において、ユーザが上記入力装置を介して、上記入力エリアにて、上記適正値と上記各色彩のスケール幅を指定したとき、上記表示装置に、ユーザが指定した色彩と各色彩に対応する上記寸法測定結果のスケール幅を表示することを特徴とする露光状態表示方法。
- 請求項1記載の露光状態表示方法において、上記寸法測定結果算出処理は、上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像から濃淡の階調値を抽出して二次電子信号強度分布を生成し、該二次電子信号強度分布から上記寸法測定結果を演算することを特徴とする露光状態表示方法。
- 請求項1記載の露光状態表示方法において、上記寸法測定結果算出処理において演算する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果は、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の最も拡がった根元部の幅を表すボトム幅f1、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の両側の各傾斜部の幅を表すホワイトバンド幅f2、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の平坦な頂点部の幅を表すトップ幅f3、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の両側の傾斜部の最大傾斜点の間の距離を表す最大傾斜ポイント間隔f4、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の傾斜部から頂点部への遷移部の寸法を表すホワイトバンドの内側の平均幅f5、及び、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の根元部から傾斜部への遷移部の寸法を表すホワイトバンドの外側の平均幅f6のうちの少なくとも1つであることを特徴とする露光状態表示方法。
- ユーザがデータ及び命令を入力するための入力装置と、データ及びデータの処理結果を表示する表示装置と、各種の情報処理を行うビジュアル情報管理部と、を有する露光状態表示システムにおいて、
上記ビジュアル情報管理部は、
表面にチップ毎に異なる露光条件にて露光された同一のレジストパターンが形成されたFEMウェーハの走査電子顕微鏡像を取得する画像情報読込み処理部と、
上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像から上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の寸法測定結果を演算する寸法測定結果算出処理部と、
適正値に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の偏差を求める寸法測定結果偏差算出処理部と、
上記FEMウェーハのチップの位置をマトリックス状に表示するチップ一覧表を作成するマップ描画処理部と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果を表示する寸法測定結果表示処理部と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に色彩を表示する色彩表示処理部であって、上記寸法測定結果の適正値を含む第1の数値範囲にあるチップ位置に第1の色を表示し、上記第1の数値範囲以外の数値範囲を上記適正値に対する偏差に応じて異なる複数の第2の数値範囲に分けて、当該複数の第2の数値範囲にあるチップ位置に、異なる複数の第2の色を表示し、上記寸法測定結果が異なるチップ位置間を識別表示する、色彩表示処理部と、
を有し、
上記表示装置は、上記FEMウェーハのチップ毎に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果と色彩が表示された上記チップ一覧表を表示することを特徴とする露光状態表示システム。 - 請求項8記載の露光状態表示システムにおいて、上記画像情報読込み処理部は、測長機能を有する走査電子顕微鏡より上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像を取得することを特徴とする露光状態表示システム。
- 請求項8記載の露光状態表示システムにおいて、上記ビジュアル情報管理部は、露光条件の変動に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の変化を表示するグラフを生成するグラフ表示処理部を有し、上記表示装置は、該グラフ表示処理部によって生成されたグラフを表示することを特徴とする露光状態表示システム。
- 請求項8記載の露光状態表示システムにおいて、上記表示装置は、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の適正値と、該適正値に対する上記寸法測定結果の偏差に対応した色彩と、各色彩に対応した上記寸法測定結果の変動幅であるスケール幅を指定する入力エリアを表示し、ユーザは上記入力装置を介して、上記入力エリアにて、上記適正値と上記各色彩のスケール幅を指定することができることを特徴とする露光状態表示システム。
- 請求項11記載の露光状態表示システムにおいて、上記表示装置は、ユーザが指定した色彩と各色彩に対応する上記寸法測定結果のスケール幅を表示することを特徴とする露光状態表示システム。
- 請求項8記載の露光状態表示システムにおいて、上記寸法測定結果偏差算出処理部は、上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像から濃淡の階調値を抽出して二次電子信号強度分布を生成し、該二次電子信号強度分布から上記寸法測定結果を演算することを特徴とする露光状態表示システム。
- 請求項8記載の露光状態表示システムにおいて、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果は、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の最も拡がった根元部の幅を表すボトム幅f1、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の両側の各傾斜部の幅を表すホワイトバンド幅f2、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の平坦な頂点部の幅を表すトップ幅f3、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の両側の傾斜部の最大傾斜点の間の距離を表す最大傾斜ポイント間隔f4、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の傾斜部から頂点部への遷移部の寸法を表すホワイトバンドの内側の平均幅f5、及び、上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の根元部から傾斜部への遷移部の寸法を表すホワイトバンドの外側の平均幅f6のうちの少なくとも1つであることを特徴とする露光状態表示システム。
- ユーザがデータ及び命令を入力するための入力装置と、データ及びデータの処理結果を表示する表示装置と、各種の情報処理を行う情報処理部と、を有するコンピュータを用いた露光条件設定方法において、
表面にチップ毎に異なる露光条件にて露光された同一のレジストパターンが形成されたFEMウェーハの走査電子顕微鏡像を取得する画像情報読込み処理と、
上記FEMウェーハの走査電子顕微鏡像から上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の寸法測定結果を演算する寸法測定結果算出処理と、
適正値に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の偏差を求める寸法測定結果偏差算出処理と、
上記FEMウェーハのチップの位置をマトリックス状に表示するチップ一覧表を作成するマップ描画処理と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果を表示する寸法測定結果表示処理と、
上記チップ一覧表の各チップ位置に色彩を表示する色彩表示処理であって、上記寸法測定結果の適正値を含む第1の数値範囲にあるチップ位置に第1の色を表示し、上記第1の数値範囲以外の数値範囲を上記適正値に対する偏差に応じて異なる複数の第2の数値範囲に分けて、当該複数の第2の数値範囲にあるチップ位置に、異なる複数の第2の色を表示し、上記寸法測定結果が異なるチップ位置間を識別表示する、色彩表示処理と、
上記FEMウェーハのチップ毎に上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果と色彩が表示された上記チップ一覧表を表示装置に表示する表示処理と、
上記チップ一覧表より上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の偏差が小さいチップを見つけ出す処理と、
上記偏差が小さいチップに対応する露光条件を最適な露光条件として設定することと、
を有する露光条件設定方法。 - 請求項15記載の露光条件設定方法において、
更に、露光条件の変動に対する上記FEMウェーハのレジストパターンの断面形状の上記寸法測定結果の変化を表示するグラフを生成し、該グラフを上記表示装置によって表示するグラフ表示処理と、を有することを特徴とする露光条件設定方法。
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