JP4512395B2 - 露光プロセスモニタ方法及びその装置 - Google Patents
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Description
前記従来技術では、焦点位置の変動が見逃される場合があるし(なぜなら焦点位置の変動は必ずしも寸法変動を伴わない),露光量ずれの検出も不正確といわざるを得ない(なぜなら焦点位置のずれによっても寸法変動が起こりうる)。さらに,本来焦点位置を補正すべき場合でも,露光量の補正が行われるため,適正な形状のレジストパターンが得られない場合があることは明らかである。従って、上記従来技術では、適正な露光プロセスの維持は望めない。
[ステップ1]:あらかじめ,種々の露光条件下における露光プロセスモニタに適したレジストパターンの測長SEMによる画像(SEM像)を取得する。
[ステップ2]:取得した二次電子信号より得られる特徴量を用いて,露光条件とSEM像とを関連づけるモデルデータを作成する。
[ステップ3]:被モニタ対象の露光プロセスを経て形成されたレジストパターンのSEM像を取得する。
[ステップ4]:前記二次電子信号からえられる特徴量を前記モデルデータに照合することによって,被モニタ対象の露光プロセスの適正条件からのずれ量を推定する。
[ステップ1]および[ステップ3]において,上述のパターンを組み合わせて電子顕微鏡で計測することにより焦点位置の符号によらず焦点位置のずれ量を検出する。被モニタ対象の露光プロセスの適正条件からのずれ量の推定に用いる特著量としては,電子顕微鏡で撮像したレジストパターンの二次電子像エッジ幅,または/および,パターン幅を含む寸法特徴量,または/および,レジストパターンの二次電子信号の信号強度,または/および,レジストパターンの二次電子信号波形,または/および,レジストパターンの二次電子像を用いる。
図4は,本発明の実施例の形態に係る,リソグラフィー工程における露光プロセスモニタの概念図である。図において、破線で囲んだ部分4000は製品ウェーハの流れを示し(左から右へと進む)、実線で囲んだ部分401,402は測長SEM上に構築した露光条件監視のための処理手順を示している。401部は,露光量・焦点位置の推定に用いるモデルデータを予め作成しておく処理の流れを示している(上から下へと進む)。402部は,現像後4002のウェーハから露光量・焦点位置を検出して,露光条件の監視を実現する露光プロセスモニタの処理の流れを示している。
ここでは,図6に示すような位相0°の位相シフタ3001と位相180°の位相シフタ3002とを備えたレベンソン型位相シフトマスク3000を用いた露光プロセスでプロセスモニタを実現するにあたって,図4の“パターンの測定”ステップ(4021)においてSEM測定するのに適したパターンについて述べる。
に応じて大きくなるため,側壁部での信号強度は平坦部での信号強度よりも大きい。この側壁部からの二次電子信号は電子線像上では明るい帯として現れるため,ホワイトバンドあるいはブライトバンドと呼ばれることもある。
ここでは,露光条件変動モニタに用いる測長SEMおよび,それをとりまく装置の構成について述べる。
ここでは,図4の“特徴量算出”ステップ(4022)において算出する露光プロセスモニタに適した特徴量について述べる。
ここでは,図4の“推定モデルへの当てはめ”ステップ(4023)での推定方法について説明する。
ここでは,図4のモデルデータ作成工程(401)において,FEMウェーハを用いずにシミュレーションによって,モデルデータを作成する方法について述べる。
図4の“特徴量算出”ステップ(4022)において算出する特徴量として,図7で示した特徴量以外の特徴量を用いてもよい。
ここでは,図4の“該パタンの測定”ステップ(4021)において,露光機の露光量・焦点位置モニタに用いるのに最適な計測パターン,若しくはパターンの組み合わせを選定する方法を示す。
Claims (8)
- 半導体デバイスの製造工程における露光工程の状態をモニタする方法であって、
露光工程と現像工程とを経て表面にレジストパターンが形成された基板に電子線を走査しながら照射して前記基板の表面に形成されたパターンのSEM像を得、該得た前記パターンのSEM像から該パターンの特徴量を算出し、該算出したパターンの特徴量の情報と予め記憶しておいた露光量及び焦点位置のずれ量とSEM像とを関連付ける推定モデルの情報とを用いて前記露光工程における露光量と焦点位置のずれの状態を監視し、前記露光量と焦点位置のずれ量とを含む露光条件とSEM像とを関連付ける前記推定モデルは、露光工程における焦点位置ずれ量に対して、一方のレジスト断面形状が逆テーパ形状となるときに他方のレジスト断面形状が順テーパ形状となるような2種類のライン・アンド・スペースのパターンを用いて作成することを特徴とする露光プロセスモニタ方法。 - 前記推定モデルは、露光工程における焦点位置ずれ量に対して、一方のレジスト断面形状が逆テーパ形状となるときに他方のレジスト断面形状が順テーパ形状となるような互いにピッチが異なる2種類のライン・アンド・スペースのパターンを用いて作成することを特徴とする請求項1記載の露光プロセスモニタ方法。
- 前記パターンのSEM像から算出したパターンの特徴量の情報には、パターンの線幅と、パターンのトップ部分のラウンディング度合いと、パターンのボトム部分のフッティング度合いの3種類の特徴量の情報を含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光プロセスモニタ方法。
- 前記基板上に形成されたレジストパターンは、前記露光工程において、レベンソン型の位相シフトマスクを用いてレジストを露光して形成したものであることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の露光プロセスモニタ方法。
- 半導体デバイスの製造工程における露光工程の状態をモニタする装置であって、
露光工程と現像工程とを経て表面にレジストパターンが形成された基板に電子線を走査しながら照射して前記基板の表面に形成されたパターンのSEM像を得るSEM像取得手段と、
該SEM像取得手段により得た前記パターンのSEM像から該パターンの特徴量を算出する画像特徴量算出手段と、
前記露光工程における焦点位置のずれ量に対して一方のレジスト断面形状が逆テーパ形状となるときに他方のレジスト断面形状が順テーパ形状となるような2種類のライン・アンド・スペースのパターンを用いて、前記露光工程における露光量及び焦点位置のずれ量とそれにより形成されるレジストパターンのSEM像とを関連付ける推定モデルを作成する推定モデル作成手段と、
該画像特徴量算出手段で算出したパターンの特徴量の情報と前記推定モデル作成手段で作成した露光量及び焦点位置のずれ量とSEM像とを関連付ける推定モデルの情報とを用いて前記露光工程における露光量と焦点位置のずれの状態を監視する監視手段と
を備えたことを特徴とする露光プロセスモニタ装置。 - 前記推定モデル作成手段は、前記推定モデルを、前記露光工程における焦点位置のずれ量に対して一方のレジスト断面形状が逆テーパ形状となるときに他方のレジスト断面形状が順テーパ形状となるような互いにピッチが異なる2種類のライン・アンド・スペースのパターンを用いて作成することを特徴とする請求項5記載の露光プロセスモニタ装置。
- 前記特徴量算出手段でパターンのSEM像から算出するパターンの特徴量の情報には、
パターンの線幅と、パターンのトップ部分のラウンディング度合いと、パターンのボトム部分のフッティング度合いの3種類の特徴量の情報を含むことを特徴とする請求項5又は6に記載の露光プロセスモニタ装置。 - 前記SEM画像取得手段は、レベンソン型の位相シフトマスクを用いて露光して形成したレジストパターンのSEM像を取得することを特徴とする請求項5乃至7のいずれかに記載の露光プロセスモニタ装置。
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