JP5319931B2 - 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 - Google Patents
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Description
特に威力を発揮するのは,部位によってパターンの断面形状が変化するようなケースである。「発明が解決しようとする課題」において述べたように,従来の技術では,実際のパターンエッジ端と,検出されるエッジ端のずれ量が部位によって異なる。特に,高精度なOPC検証を行おうとする際には,この問題は重大である。本発明によれば,部位ごとに断面形状を推定し,推定した断面形状に即してエッジ点を決定するので,実際のパターンエッジ端からのずれ量が部位によって異なるという問題が解決される。
本実施例による形状計測のフローは基本的には図1を用いて説明した第1の実施の形態の場合と同じであるが、異なる点は、本実施の形態においては,暫定輪郭線を抽出(S130)した後,設計データとのマッチングを行い,設計データを参照することで,輪郭線上の各点について,近傍エッジとの距離を算出しておく(S131)点である。
本実施例による形状計測のフローは基本的には図1を用いて説明した第1の実施の形態の場合と同じであるが、異なる点は、本実施の形態においては,暫定輪郭線を抽出(S140)した後,暫定輪郭線に沿った局所領域にて,部分画像を切り出し(S240),三次元の断面形状を対象に電子線シミュレーションを行って作成したSEM像ライブラリ33とのマッチングを行う(S340)点である。S440以降のステップは、基本的に図1で説明したS400以降のステップと同じである。
Claims (6)
- 走査型電子顕微鏡を用いて表面にパターンが形成された試料の所望の箇所の画像を取得する電子線画像取得手段と、
前記試料のパターンの断面形状と該パターンの断面形状に対応する電子線信号波形情報とを関連づけるライブラリを記憶する記憶手段と、
該電子線画像取得手段で取得した前記試料のパターンの画像から得られる情報を前記記憶手段に記憶されたライブラリ情報を参照して処理することにより前記パターンの寸法情報として前記試料上に形成されたパターンの輪郭情報を抽出する寸法情報抽出手段と、
該寸法情報抽出手段で抽出した前記パターンの寸法に関連する情報を画面上に表示する出力手段とを備え、
前記寸法情報抽出手段において前記試料の画像から得られる情報は、前記試料の画像におけるパターンエッジの各点又は代表点において,パターンエッジに対して接線方向に該画像を投影して生成した局所投影波形であることを特徴とする電子顕微鏡システム。 - 請求項1記載の電子顕微鏡システムであって、前記寸法情報抽出手段は前記パターンの寸法情報としてパターンの幅情報と該パターンの高さ情報とを抽出することを特徴とする電子顕微鏡システム。
- 請求項1記載の電子顕微鏡システムであって、前記寸法情報抽出手段は前記パターンの寸法情報として複数のパターンの間隔の情報を抽出し、前記出力手段は、該抽出した複数のパターンの間隔の情報を該複数のパターンの設計データと共に画面上に表示することを特徴とする電子顕微鏡システム。
- 請求項1記載の電子顕微鏡システムであって、前記記憶手段に記憶させておくライブラリは、さまざまな断面形状の試料の電子線信号波形を計算機シミュレーションによって得たものであることを特徴とする電子顕微鏡システム。
- 請求項1記載の電子顕微鏡システムであって、前記記憶手段に記憶するライブラリにおいて、前記試料のパターンの断面形状と関連づける該パターンの断面形状に対応する電子線信号波形情報は、前記パターンのエッジに対して接線方向に該パターンの画像を投影して生成した局所投影波形から求めた電子線信号波形の特徴量であることを特徴とする電子顕微鏡システム。
- 走査型電子顕微鏡を用いて表面にパターンが形成された試料の所望の箇所の画像を取得し、
前記試料のパターンの断面形状と該パターンの断面形状に対応する電子線信号波形情報とを関連づけるライブラリを記憶手段に記憶し、
前記取得した試料のパターンの画像から得られる情報を前記記憶手段に記憶されたライブラリ情報を参照して処理することにより前記パターンの寸法情報として前記試料上に形成されたパターンの輪郭情報を抽出し、
該抽出した前記パターンの寸法に関連する情報を画面上に表示することを特徴とする電子顕微鏡システムを用いたパターン
前記パターンの寸法情報を抽出する工程において、前記試料の画像から得られる情報は、前記試料の画像におけるパターンエッジの各点又は代表点において,パターンエッジに対して接線方向に該画像を投影して生成した局所投影波形であることを特徴とする寸法計測方法。
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---|---|---|---|---|
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Families Citing this family (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4585926B2 (ja) * | 2005-06-17 | 2010-11-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンレイヤーデータ生成装置、それを用いたパターンレイヤーデータ生成システム、半導体パターン表示装置、パターンレイヤーデータ生成方法、及びコンピュータプログラム |
US8189195B2 (en) * | 2007-05-09 | 2012-05-29 | Asml Netherlands B.V. | Inspection method and apparatus, lithographic apparatus, lithographic processing cell and device manufacturing method |
JP4659004B2 (ja) * | 2007-08-10 | 2011-03-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路パターン検査方法、及び回路パターン検査システム |
JP5319931B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 |
JP2011033423A (ja) * | 2009-07-31 | 2011-02-17 | Hitachi High-Technologies Corp | パターン形状選択方法、及びパターン測定装置 |
JP5380230B2 (ja) * | 2009-09-30 | 2014-01-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子顕微鏡装置及びこれを用いた試料の検査方法 |
WO2011052339A1 (ja) * | 2009-10-27 | 2011-05-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法測定方法及びそれに用いる荷電粒子線顕微鏡 |
US8006419B2 (en) * | 2009-11-12 | 2011-08-30 | George Walter Kabalka | Window display material holder for vehicle windows |
WO2011089913A1 (ja) * | 2010-01-25 | 2011-07-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査型電子顕微鏡 |
JP5081276B2 (ja) * | 2010-06-02 | 2012-11-28 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン計測装置、パターン計測方法、およびプログラム |
JP5433522B2 (ja) * | 2010-07-28 | 2014-03-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡を用いたパターン寸法計測方法、パターン寸法計測システム並びに電子顕微鏡装置の経時変化のモニタ方法 |
JP5593197B2 (ja) * | 2010-10-22 | 2014-09-17 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 形状計測方法およびそのシステム |
US8855401B2 (en) | 2010-10-29 | 2014-10-07 | International Business Machines Corporation | Methods and systems involving measuring complex dimensions of silicon devices |
US20120192125A1 (en) * | 2011-01-20 | 2012-07-26 | International Business Machines Corporation | Correcting and Optimizing Contours for Optical Proximity Correction Modeling |
JP6002486B2 (ja) * | 2012-07-18 | 2016-10-05 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンの測定方法、及びパターン測定装置 |
US8869081B2 (en) * | 2013-01-15 | 2014-10-21 | International Business Machines Corporation | Automating integrated circuit device library generation in model based metrology |
US9558565B2 (en) * | 2014-02-07 | 2017-01-31 | Materials Analysis Technology Inc. | Dimension calculation method for a semiconductor device |
WO2016132452A1 (ja) * | 2015-02-17 | 2016-08-25 | パイオニア株式会社 | テラヘルツ波計測装置、テラヘルツ波計測方法及びコンピュータプログラム |
US11099001B2 (en) * | 2016-12-06 | 2021-08-24 | Pioneer Corporation | Inspection apparatus, inspection method, computer program and recording medium |
CN112449722B (zh) * | 2019-07-04 | 2024-04-09 | 株式会社日立高新技术 | 尺寸测量装置、尺寸测量程序及半导体制造系统 |
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Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0621785B2 (ja) * | 1985-06-28 | 1994-03-23 | 日本電気株式会社 | 形状測定方法 |
JP3156694B2 (ja) * | 1985-11-01 | 2001-04-16 | 株式会社日立製作所 | 走査電子顕微鏡 |
JPH0660815B2 (ja) * | 1987-02-27 | 1994-08-10 | 株式会社日立製作所 | 荷電粒子ビームによるパターン欠陥検査方法およびその装置 |
JP3524853B2 (ja) | 1999-08-26 | 2004-05-10 | 株式会社ナノジオメトリ研究所 | パターン検査装置、パターン検査方法および記録媒体 |
JP4220358B2 (ja) * | 2003-11-27 | 2009-02-04 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体パターン計測方法 |
JP4916116B2 (ja) * | 2005-02-01 | 2012-04-11 | 株式会社ホロン | パターン特定方法およびパターン特定装置 |
JP4824987B2 (ja) | 2005-10-28 | 2011-11-30 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターンマッチング装置およびそれを用いた半導体検査システム |
JP2007218711A (ja) * | 2006-02-16 | 2007-08-30 | Hitachi High-Technologies Corp | 電子顕微鏡装置を用いた計測対象パターンの計測方法 |
JP5103219B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2012-12-19 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン寸法計測方法 |
JP5319931B2 (ja) * | 2008-02-22 | 2013-10-16 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 電子顕微鏡システム及びそれを用いたパターン寸法計測方法 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9633429B2 (en) | 2015-08-07 | 2017-04-25 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Pattern outline extraction device, pattern outline extraction method, and computer program product |
CN108314453B (zh) * | 2018-03-28 | 2021-03-09 | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 | 一种提高碳化硅粉末在水系中分散稳定性的方法 |
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