JP6018803B2 - 計測方法、画像処理装置、及び荷電粒子線装置 - Google Patents
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Claims (18)
- 荷電粒子線装置により取得されたパターンを含む試料の画像から前記パターンの輪郭を計測する計測方法であって、
前記パターンの輪郭を構成するエッジ点を抽出する第1ステップと、
前記エッジ点のうち、第1のエッジ点の近傍にて、第1の輝度プロファイルを取得する第2ステップと、
前記エッジ点のうち、第2のエッジ点の近傍にて、第2の輝度プロファイルを取得する第3ステップと、
前記エッジ点のうち、第3のエッジ点の近傍にて、第3の輝度プロファイルを取得する第4ステップと、
取得した前記第1の輝度プロファイルと前記第2及び第3の輝度プロファイルとに基づいて、前記第1の輝度プロファイルの形状の評価値を求める第5ステップと、
前記評価値に基づいて前記第1のエッジ点に係るパターンの輪郭補正を行う第6ステップと、
を有し、前記第2のエッジ点および前記第3のエッジ点は前記第1のエッジ点の近傍に位置することを特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルの最大値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最大値との差、または、前記第1の輝度プロファイルの最小値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最小値との差、もしくは、前記第1の輝度プロファイルの最大値及び最小値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最大値及び最小値との差に基づき定められること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルの最大値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最大値の平均値との差、または、前記第1の輝度プロファイルの最小値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最小値の平均値との差、もしくは前記第1の輝度プロファイルの最大値及び最小値と前記第2及び第3の輝度プロファイルの最大値の平均値及び最小値の平均値との差に基づき定められること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルを正規化した第1正規化プロファイルの最大値と前記第2及び第3の輝度プロファイルを正規化した第2及び第3正規化プロファイルとの最大値の差、または、前記第1正規化プロファイルの最小値と前記第2及び第3正規化プロファイルの最小値との差、もしくは、前記第1正規化プロファイルの最大値及び最小値と前記第2及び第3正規化プロファイルの最大値及び最小値との差とに基づき定められること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルを正規化した第1正規化プロファイルの最大値と前記第2及び第3の輝度プロファイルを平均化したのちに正規化した第4正規化プロファイルとの最大値の差、または、前記第1正規化プロファイルの最小値と前記第4正規化プロファイルの最小値との差、もしくは、前記第1正規化プロファイルの最大値及び最小値と前記第4正規化プロファイルの最大値及び最小値との差とに基づき定められること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルを正規化したプロファイルと前記第2及び第3の輝度プロファイルを正規化したプロファイルとの正規化相関係数であること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記第1の輝度プロファイルの形状における前記評価値とは、
前記第1の輝度プロファイルを正規化したプロファイルと前記第2及び第3の輝度プロファイルを正規化したプロファイルとの差を取ることによって得られる輝度プロファイルを線形近似することによって得られる係数であること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記評価値に基づく輪郭補正とは、
前記評価値が所定の範囲にない場合は、輪郭を構成するエッジ点から前記第1のエッジ点を除いて輪郭を再構成する補正であること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記評価値に基づく輪郭補正とは、
前記評価値が所定の範囲にない場合は、前記評価値に基づいて、前記第1のエッジ点の位置を決定する際の基準輝度を補正してエッジ点の位置を再抽出し、前記再抽出したエッジ点に基づき輪郭を再構成すること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記評価値に基づく輪郭補正とは、
前記評価値が所定の範囲にない場合は、前記輪郭とパターン断面形状情報とに基づいて、前記第1の輝度プロファイルにおける信号電子の検出低下率を計算し、
前記検出低下率に基づいて前記第1の輝度プロファイルの補正を行い、
前記補正した第1の輝度プロファイルにより前記第1のエッジ点の位置を再抽出し、再抽出したエッジ点により輪郭を再構成すること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法において、
前記評価値に基づく輪郭補正とは、
前記第1の輝度プロファイルを、前記第2及び第3の輝度プロファイルを平均化したプロファイルに置き換え、前記置き換えたプロファイルにより第1のエッジ点の位置を再抽出し、前記再抽出したエッジ点により輪郭を再構成すること、
を特徴とする計測方法。 - 請求項1に記載の計測方法においてさらに、
前記画像における複数エッジ点についての前記評価値の平均値、あるいは代表値を求め、前記エッジ点または前記輪郭の信頼性を算出する第7ステップと、
を有することを特徴とする計測方法。 - 荷電粒子線装置によって取得されたパターンを含む試料の画像から、前記パターンの輪郭を計測する画像処理装置であって、
前記輪郭を構成するエッジ点の近傍の輝度プロファイルを複数取得する輝度プロファイル取得部と、
複数の前記輝度プロファイルに基づいて、第1の輝度プロファイルの形状の評価値を抽出する形状評価部と、
前記評価値に基づいて、前記第1の輝度プロファイルに係るエッジ点の輪郭を補正する輪郭補正部と、
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項13に記載の画像処理装置においてさらに、
前記評価値と前記第1の輝度プロファイルに係るエッジ点の位置とを表示する評価表示部と
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項14に記載の画像処理装置においてさらに、
前記第1の輝度プロファイルに係るエッジ点の補正可否を入力する可否入力部と
を備えることを特徴とする画像処理装置。 - 請求項13に記載の画像処理装置を備えた荷電粒子線装置。
- 請求項16に記載の荷電粒子線装置であって、
前記評価値に基づいて、前記エッジ点または前記輪郭の信頼性を算出する信頼性算出部と
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。 - 請求項16に記載の荷電粒子線装置であってさらに、
前記エッジ点または前記輪郭の信頼性と前記試料の画像を取得した条件とを保存するデータベース部と
を備えることを特徴とする荷電粒子線装置。
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