JP2005277247A - 処理装置、表示方法および表示プログラム - Google Patents

Abstract

【課題】半導体ウェハ上の形成された半導体チップの検査結果情報を容易に確認できること。
【解決手段】本発明にかかる処理装置１０は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質番号とを含む二つの検査結果情報をもとに同一位置の品質番号をそれぞれ比較して、各品質番号の相関度を求め、各位置情報が示す各対応領域に相関度に対応する色を表示したウェハマップ画像の表示データを作成して、このウェハマップ画像を表示部１３に表示出力させる処理部１５を備える。
【選択図】 図１

Description

この発明は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する処理装置、表示方法および表示プログラムに関する。

従来の処理装置では、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの各々に対して複数の電気的検査によって得られた半導体チップの品質レベル情報を、たとえば品質番号を用いて出力していた。この品質番号は、半導体チップの品質レベルを番号化したものであり、具体的には、品質番号「０」である半導体チップは全ての検査で不良が発生しなかった良品、品質番号「１」である半導体チップは読取処理を行なったが書き込み情報が読み取れないもの、品質番号「２」である半導体チップは書込み処理を行なったが所定の情報が書き込めないもの、品質番号「３」である半導体チップは所定電圧を印加したが電気的な導通が確認できないもの、などのように設定されている。処理装置は、図３３に示すように、各品質番号を半導体ウェハ上の位置に対応させて表示したウェハマップ２０１を表示画面に表示することによって、半導体チップの品質状態を出力している（特許文献１参照）。そして、検査者は、このようなウェハマップ画像を視認することによって、半導体チップの品質状態を確認していた。

特開２００１−１４４１４８号公報

ところで、表示出力される複数のウェハマップ画像を比較して、半導体ウェハの不良分布解析、製造手順中における異常の解析、異なる検査装置間の測定条件等の調整、検査装置における測定条件の解析および半導体ウェハの経時的劣化の解析を行なう場合がある。この場合、たとえば、検査結果「Ａ」に対応するウェハマップ２０１と検査結果「Ｂ」に対応するウェハマップ２０２とを比較し、半導体チップごとに品質番号の差異を求め、この差異の有無などによって各解析を行なっていた。

しかしながら、半導体ウェハ上には、数百から数千もの半導体チップが形成されている場合がある。このような場合に、半導体チップごとに品質番号の差異を求めようとすると長時間を要してしまう。この結果、検査工程および解析工程のコスト増加を招き、生産コスト全体を増加させるという問題があった。特に、検査者がウェハマップ２０１とウェハマップ２０２との品質番号を半導体チップごとに比較して品質番号の差異を求めるとすると、半導体ウェハ上に形成される半導体チップ数の増加にしたがい、作業品質が低下し、不良品の検出率などが低下すると言う問題があった。

この発明は、上記した従来技術の欠点に鑑みてなされたものであり、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの二つの検査結果情報の相関度を検査者に対して容易に視認させる処理装置、表示方法および表示プログラムを提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、この発明にかかる処理装置は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む検査結果情報を処理し、該処理結果情報を表示手段に表示出力する処理装置において、二つの前記検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報をそれぞれ比較して、各品質レベル情報の相関度を求め、該相関度を前記位置情報または前記品質レベル情報に対応させて前記表示手段に表示出力させる処理手段を備えたことを特徴とする。

この発明にかかる処理装置は、前記処理手段は、前記位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に前記相関度を表示出力させることを特徴とする。

この発明にかかる処理装置は、前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の差分値を求め、該差分値に応じた色を前記対応領域に表示出力させることを特徴とする。

この発明にかかる処理装置は、前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算し、この加算した値を表形式で表示出力させることを特徴とする。

この発明にかかる処理装置は、前記処理手段は、同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示すウェハマップ上の各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示出力させることを特徴とする。

この発明にかかる処理装置は、前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手段をさらに備え、前記処理手段は、前記指示入力手段から指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出し、該位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に所定色を表示出力させることを特徴とする。

この発明にかかる表示方法は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成ステップと、を含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示方法は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算ステップと、前記加算ステップにおける各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成ステップと、を含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示方法は、同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成ステップをさらに含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示方法は、前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力ステップと、前記指示入力ステップにおいて指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出ステップと、該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成ステップと、をさらに含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示プログラムは、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成手順と、を含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示プログラムは、半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算手順と、前記加算手順における各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成手順と、を含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示プログラムは、同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成手順をさらに含むことを特徴とする。

この発明にかかる表示プログラムは、前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手順と、前記指示入力手順において指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出手順と、該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成手順と、をさらに含むことを特徴とする。

この発明は、二つの検査結果情報をもとに同一位置の品質レベル情報をそれぞれ比較して求めた相関度を位置情報または品質レベル情報に対応させて表示するため、検査時間および解析時間の短縮化が可能となり、検査工程および解析工程のコスト低減を図ることができる。このため、この発明によれば、半導体チップの生産コスト全体の低減を実現することが可能となるという効果を奏する。

以下、図面を参照して、この発明にかかる処理装置、表示方法および表示プログラムの実施の形態について説明する。なお、この実施の形態によりこの発明が限定されるものではない。また、図面の記載において、同一部分には同一の符号を付している。

（実施の形態１）
まず、実施の形態１にかかる処理装置について説明する。図１は、実施の形態１にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。図１に示すように、実施の形態１にかかる処理装置１０は、入力部１１と記憶部１２と表示部１３と処理部１５を備えた制御部１４とを有する。処理装置１０は、半導体ウェハ上に形成された半導体チップに対して複数の電気的検査を行う検査装置２Ａおよび検査装置２Ｂからそれぞれ出力された二つの検査結果情報を処理して、この処理結果を表示部１３から表示出力する。検査装置２Ａ，２Ｂから出力される各検査結果情報は、電気的検査によって得られた半導体チップの品質番号と、この半導体チップの位置情報とが対応づけられたものである。品質番号とは、検査装置２Ａ，２Ｂにおける複数の電気的検査によって得られた半導体チップの品質レベルを番号化したものであり、たとえば、品質番号０である半導体チップは、全ての電気的検査で不良が発生しなかった良品であり、品質番号１〜９である半導体チップは、情報の読み書き検査、所定の電圧印加に対する耐圧検査などの異なる検査をそれぞれ行なった場合に、不良が発生する品質レベルである。処理装置１０は、二つの検査結果情報をもとに同一位置の品質番号を比較して求めた相関度を、位置情報に対応する対応領域に表示したウェハマップ画像を表示部１３に表示出力する。なお、実施の形態１における相関度は、二つの検査結果情報における同一位置の品質番号を比較し、この比較結果を数値化したものである。

入力部１１は、処理装置１０の動作および処理装置１０が行なう処理の指示情報が入力され、各指示情報の入力を受け付けるとともに受け付けた指示情報の内容を制御部１４に送出する。記憶部１２は、制御部１４の制御のもと、検査装置２Ａ，２Ｂからそれぞれ入力された検査結果情報を格納する。表示部１３は、制御部１４の制御のもと、処理部１５から出力された表示データにしたがって画像を表示出力する。制御部１４は、入力部１１、記憶部１２、表示部１３および処理部１５の各処理または動作を制御する。処理部１５は、二つの検査結果情報をもとに同一位置の品質番号をそれぞれ比較して、各品質番号の相関度を求め、位置情報が示す対応領域に相関度に応じた色を表示させたウェハマップ画像の表示データを作成して、表示部１３にウェハマップ画像を表示出力させる。

つぎに、図２に示すフローチャートを参照して、処理部１５が行なう検査結果処理手順について説明する。図２は、図１に示す処理部１５による検査結果処理手順を示すフローチャートである。図２に示すように、処理部１５は、記憶部１２に格納された二つの検査結果情報をもとに同一位置の各品質番号を比較して、各品質番号の相関度を求めて相関度データを作成する相関度取得処理を行なう（ステップＳ１０２）。処理部１５は、相関度取得処理（ステップＳ１０２）で作成した相関度データを用いて、相関度に応じた色情報を位置情報ごとに対応づけた色データを作成する色データ作成処理を行う（ステップＳ１０４）。処理部１５は、この色データにおける位置情報ごとの相関度に応じた色情報と、位置情報とをもとにウェハマップ画像の表示データを作成し（ステップＳ１０６）、この表示データを表示部１３に出力して、表示部１３にウェハマップ画像を表示させる（ステップＳ１０８）。

つぎに、図２に示す相関度取得処理について説明する。図３は、図２に示す相関度取得処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図４は、検査結果情報の一例を示す図であり、図５は、図４に示す相関度取得処理において作成された相関度データの一例を示す図である。図４では、検査装置２Ａから出力された検査結果情報を検査結果「Ａ」とし、検査装置２Ｂから出力された検査結果情報を検査結果「Ｂ」とする。また、図４に示すように、検査結果「Ａ」および検査結果「Ｂ」では、位置情報として、半導体チップの半導体ウェハ上における（ｘ，ｙ）（ｘは、半導体ウェハ上における横軸方向の座標であり、ｙは、半導体ウェハ上における縦軸方向の座標である。）座標と、この座標に位置する半導体チップの品質番号とが対応づけられている。

図３に示すように、まず、処理部１５は、相関度の取得を終了した位置情報の数量ｎを初期化し、ｎ＝０とする（ステップＳ１１２）。処理部１５は、二つの検査結果情報から、同一位置の品質番号をそれぞれ抽出し（ステップＳ１１４）、抽出した各品質番号を比較して、各品質番号が一致するか否かを判断する（ステップＳ１１６）。処理部１５は、各品質番号が一致すると判断した場合には（ステップＳ１１６：Ｙｅｓ）、相関度は１であるとして（ステップＳ１１８）、相関度「１」をこの位置情報に対応づける。また、処理部１５は、各品質番号が一致しないと判断した場合には（ステップＳ１１６：Ｎｏ）、相関度は０であるとして（ステップＳ１２０）、相関度「０」をこの位置情報に対応づける。そして、この位置情報における相関度の取得を終了したため、数量ｎをｎ＝ｎ＋１として（ステップＳ１２２）、ｎ＝ｎａｌｌか否かを判断し（ステップＳ１２４）、全ての位置情報について相関度を求めたか否かを判断する。全ての位置情報に対する相関度を求めておらず、ｎ＝ｎａｌｌでないと判断した場合には（ステップＳ１２４：Ｎｏ）、ステップＳ１１４に進み、つぎの位置情報について上述した処理手順と同様に相関度を求める。また、処理部１５は、ｎ＝ｎａｌｌであると判断した場合には（ステップＳ１２４：Ｙｅｓ）、相関度取得処理を終了する。このように、処理部１５は、位置情報、二つの検査結果情報の各品質番号および相関度が対応づけられた相関度データを作成する。

具体的には、図４に示すように、位置情報（３，１）の品質番号に対して相関度を求める場合には、処理部１５は、検査結果「Ａ」をもとに位置情報（３，１）に対応する品質番号「４」と、同様に、検査結果「Ｂ」をもとに位置情報（３，１）に対応する品質番号「４」とをそれぞれ抽出して（ステップＳ１１４）、一致するか否かを判断する（ステップＳ１１６）。この場合、位置情報（３，１）に対応する各品質番号は、ともに「４」であり一致するため（ステップＳ１１６：Ｙｅｓ）、図５の相関度データ１７に示すように、位置情報（３，１）に対応する相関度は「１」とされる（ステップＳ１１８）。また、処理部１５は、位置情報（４，１）においては、検査結果「Ａ」をもとに位置情報（４，１）に対応する品質番号「３」と、同様に、検査結果「Ｂ」をもとに位置情報（４，１）に対応する品質番号「１」とを抽出し（ステップＳ１１４）、一致するか否かを判断する（ステップＳ１１６）。この場合に、位置情報（４，１）に対応する各品質番号は、「３」と「１」であるため一致せず（ステップＳ１１６：Ｎｏ）、相関度データ１７に示すように、位置情報（３，１）に対応する相関度は「０」とされる（ステップＳ１２０）。このように、処理部１５は、全ての位値座標について、各品質番号の相関度を求めることによって、図５に示すような相関度データ１７を作成する。

つぎに、色データ作成処理について説明する。図６は、図２に示す、色データ作成処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図７は、図６に示す色データ作成処理において作成された色データの一例を示す図である。

図６に示すように、処理部１５は、色指定が終了した位置情報の数量ｎの値を初期化し、ｎ＝０とする（ステップＳ１３２）。処理部１５は、相関度取得処理で作成した相関度データを参照し（ステップＳ１３４）、色データの指定対象となる位置情報に対して、この位置情報に対応する相関度が「１」または「０」であるか否かを判断する（ステップＳ１３６）。処理部１５は、相関度が「１」であると判断した場合には（ステップＳ１３６：「１」）、この位置情報に対応する色情報は「緑」であると指定する（ステップＳ１３８）。一方、処理部１５は、相関度が「１」ではないと判断した場合（ステップＳ１３６：「０」）、この位置情報に対応する色情報は「赤」であると指定する（ステップＳ１４０）。そして、この位置情報に対応する色情報の指定が終了したため、数量ｎをｎ＝ｎ＋１とし（ステップＳ１４２）、ｎ＝ｎａｌｌか否かを判断し（ステップＳ１４４）、全ての位置情報に対して相関度を求めたか否かを判断する。全ての位置情報に対して色指定が終了しておらず、ｎ＝ｎａｌｌでないと判断した場合には（ステップＳ１４４：Ｎｏ）、ステップＳ１３４に進み、つぎの位置情報に対して、上述した処理手順と同様に色指定を行なう。また、処理部１５は、ｎ＝ｎａｌｌであると判断した場合には（ステップＳ１４４：Ｙｅｓ）、色データ作成処理を終了する。このように、処理部１５は、位置情報、二つの検査結果情報の各品質番号、相関度および色情報が対応づけられた色データを作成する。

具体的には、処理部１５は、位置情報（３，１）に対して色指定を行なう場合には、図５に示す相関度データ１７を参照して（ステップＳ１３４）、相関度データ１７における位置情報（３，１）に対応する相関度が「１」であるかを判断する（ステップＳ１３６）。この場合、位置情報（３，１）に対応する相関度は、「１」であるため（ステップＳ１３６：「１」）、処理部１５は、この（３，１）に対応する色情報は「緑」であると指定する（ステップＳ１３８）。また、位置情報（４，１）に対して色指定を行なう場合には、相関度データ１７における位置情報（４，１）に対応する相関度が「１」であるかを判断する（ステップＳ１３６）。この場合、相関度データ１７より相関度が「０」であるため（ステップＳ１３６：「０」）、位置情報（４，１）に対応する色情報は「赤」であると指定する（ステップＳ１４０）。このように、全ての位置情報に対して、色指定を行なうことによって、図７に示すような色データ１８が作成される。

そして、処理部１５は、色データ１８の位置情報列と色情報列との情報を用いて、図８に示すようなウェハマップ１９の表示データを作成する。なお、図８は、表示部１３の表示画面に表示されるウェハマップ画像の一例を示す図である。

処理部１５は、色データ１８における位置情報（３，１）に対応する色情報が「緑」である場合には、位置情報（３，１）が示す図８の対応領域Ｓ１を緑色表示１９１とする表示データを作成する。また、処理部１５は、色データ１８における位置情報（４，１）に対応する色情報が「赤」である場合には、位置情報（４，１）が示す図８の領域Ｓ２を赤色表示１９２とする表示データを作成する。このように、処理部１５は、色データ１８を用いて、位置情報が示す対応領域ごとに各指定色を表示させるウェハマップ画像の表示データを作成し、このウェハマップ画像を表示部１３に表示出力させる。この結果、表示部１３の表示画面には、図８に示すように、それぞれの半導体チップの位置に対応する領域に、各品質番号の相関度に応じた色を表示したウェハマップ１９が表示される。

実施の形態１にかかる処理装置１０では、ウェハマップ１９を用いた表示とすることによって、検査者は査結果情報間の一致状態の確認を短時間で容易に行なうことが可能となる。このため、検査時間および解析時間の短縮化が可能となり、検査工程および解析工程のコスト低減を図ることができる結果、半導体チップの生産コスト全体の低減を実現することができる。

また、実施の形態１として、相関度に対応する色情報を「赤」または「緑」として色指定を行なう場合について説明したが、これに限らず、相関度に対応する色は、表示部１３の表示画面に表示出力されたときに検査者が差異を認識できる程度にそれぞれ異なれば足りる。この場合も、検査者が、検査結果情報間の一致状態を短時間で認識することが可能となる。

また、処理部１５は、相関度として、同一位置である品質番号の一致または不一致の判断結果に応じて所定の数値を対応づけた場合について説明したが、同一位置の各品質番号の差分値を相関度として求めてもよい。図９は、図２に示す相関度取得処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。なお、図１０は、図９に示す相関度取得処理において作成された相関度データの一例を示す図である。

図９において、ステップＳ１５２およびステップＳ１５４の処理は、図３におけるステップＳ１１２およびステップＳ１１４の処理と同じである。処理部１５は、抽出した二つの品質番号の差分値を算出し（ステップＳ１５６）、算出した差分値は相関度であるとして、この位置情報に対応づける（ステップＳ１５８）。そして、処理部１５は、この位置情報に応じた相関度の取得を終了したため、ｎ＝ｎ＋１とし（ステップＳ１６０）、全ての位置情報について相関度を求めたか否か、すなわち、ｎ＝ｎａｌｌであるか否かを判断する（ステップＳ１６２）。処理部１５は、ｎ＝ｎａｌｌでないと判断した場合には（ステップＳ１６２：Ｎｏ）、ステップＳ１５４に進み、つぎの位置情報に対して上述した処理手順と同様に相関度を求める。また、処理部１５は、ｎ＝ｎａｌｌであると判断した場合には（ステップＳ１６２：Ｙｅｓ）、相関度取得処理を終了する。このように、処理部１５は、位置情報、二つの検査結果情報の各品質番号および相関度が対応づけられた相関度データを作成する。このように、各品質番号の差分値を求め、この差分値を相関度として各位置情報に対応づけることによって、図１０に示すような相関度データ１７ａが作成される。なお、相関度データ１７ａでは、差分値として、差分値の絶対値を対応づけている。

つぎに、この相関度データ１７ａを用いて色データを作成する色データ作成処理について説明する。図１１は、図２に示す色データ作成処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。なお、図１２は、図１１に示す色データ作成処理において作成された色データの一例を示す図である。

図１１に示すステップＳ１７２およびステップＳ１７４の処理は、図６におけるステップＳ１３２およびステップＳ１３４の処理と同じである。処理部１５は、色情報の指定対象となる位置情報に対応づけられた相関度の値が、「０」、「５」未満または「５」以上であるかを判断する（ステップＳ１７６）。処理部１５は、相関度の値が「０」であると判断した場合には（ステップＳ１７８：「０」）、この位置情報に対応する色情報は「緑」であると指定する（ステップＳ１７８）。また、処理部１５は、相関度が「５」未満である判断した場合には（ステップＳ１７６：「５」未満）、この位置情報に対応する色情報は「黄」であると指定する（ステップＳ１８０）。また、処理部１５は、相関度が「５」以上であると判断した場合には、（ステップＳ１７６：「５」以上）、この位置情報に対応する色情報は「赤」であると指定する（ステップＳ１８２）。そして、図６に示すステップＳ１８４およびステップＳ１８６は、図６に示すステップＳ１４２およびステップＳ１４４と同じである。処理部１５は、図１１に示す色データ作成処理を行なって、図１２に示すように、位置情報、二つの検査結果情報の各品質番号、相関度および色情報が対応づけられた色データ１８ａを作成する。

そして、処理部１５は、この色データ１８ａの位置情報列と色情報列との情報を用いて、たとえば図１３に示すウェハマップ１９ａの表示データを作成する。処理部１５は、色データ１８ａを参照して、位置情報（３，１）が示す図１３の領域Ｓ１を色情報「緑」にしたがって緑色表示１９１とする表示データを作成する。また、処理部１５は、位置情報（４，１）が示す図１３の領域Ｓ２を色情報「黄」にしたがって黄色表示１９３とする表示データを作成し、位置情報（５，１）が示す図１３の領域Ｓ３を色情報「赤」にしたがって赤色表示１９２とする表示データを作成する。このように、処理部１５は、同一位置の品質番号の差分値に応じた色が、位置情報が示す対応領域ごとに表示されたウェハマップ１９ａの表示データを作成し、ウェハマップ１９ａを表示部１３に表示出力させる。この場合も、検査者は、ウェハマップ１９ａを視認することによって、検査結果情報間の一致状態をさらに詳細に確認することができる。なお、図１１に示すように、必ずしも、相関度が「０」、「５」未満または「５」であるか否かを判断基準とする必要はなく、検査目的および解析目的に応じて判断基準を設定すればよい。また、図１１に示すステップＳ１７８〜ステップＳ１８２では、設定された判断基準における各判断結果に応じた色情報を指定すればよい。

（実施の形態２）
つぎに、実施の形態２について説明する。図１４は、実施の形態２にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。図１４に示すように、実施の形態２にかかる処理装置２０は、入力部１１と記憶部１２と表示部１３と処理部２５を備えた制御部２４とを有する。処理装置２０は、検査装置２Ａ，２Ｂからそれぞれ出力された二つの検査結果情報を処理して、処理結果を表示部１３に表示出力する。処理部２５は、検査装置２Ａ，２Ｂからそれぞれ出力された二つの検査結果情報の相関度を求め、同一位置の各品質番号の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算し、この加算した値を表形式で表示部１３に表示出力させる。制御部２４は、実施の形態１における制御部１４と同様の機能を有する。なお、本実施の形態２では、相関度は、同一位置の各品質番号の組み合わせに該当する該当率を示したものである。

つぎに、図１５に示すフローチャートを参照して、処理部２５が行なう検査結果処理手順について説明する。図１５は、図１４に示す処理部２５による検査結果処理手順を示すフローチャートである。図１５に示すように、処理部２５は、図３に示す処理手順と同様の処理手順を行なうことによって相関度取得処理を行なう（ステップＳ２０２）。処理部２５は、相関度取得処理において作成した相関度データを用いて、各品質番号の組み合わせごとに各相関度を加算し、各組み合わせと各加算値とが対応づけられた組み合わせデータを作成する加算処理を行なう（ステップＳ２０４）。処理部２５は、この組み合わせデータを用いて、各加算値を各品質番号の組み合わせごとに表示する表形式の対応表画像の表示データを作成し（ステップＳ２０６）、この表示データを表示部１３に出力して、表示部１３に対応表画像を表示させる（ステップＳ２０８）。

つぎに、図１５に示す加算処理について説明する。図１６は、図１５に示す加算処理の処理手順を示すフローチャートである。この加算処理では、相関度データとは別に、各品質番号の組み合わせと数値とが対応づけられた組み合わせデータを使用する。なお、この組み合わせデータの各組み合わせにはデフォルトとして数値「０」が対応づけられている。

図１６に示すように、処理部２５は、相関度の加算が終了した位置情報の数値ｎを初期化し、ｎ＝０とする（ステップＳ２３２）。処理部２５は、相関度取得処理（ステップＳ２０２）で作成した相関度データを参照し（ステップＳ２３４）、処理対象となる位置情報に対して、この位置情報における各品質番号の組み合わせを検出する（ステップＳ２３６）。処理部２５は、組み合わせデータにおける、検出された組み合わせと同じ組み合わせに対応する数値に、この組み合わせに該当する相関度として１を加算し（ステップＳ２３８）、更新する。そして、この位置情報に対応する相関度の加算が終了したため、ｎ＝ｎ＋１とし（ステップＳ２４０）、全ての位置情報の相関度の加算が終了したか、すなわち、ｎ＝ｎａｌｌか否かを判断し（ステップＳ２４２）、ｎ＝ｎａｌｌでない場合には（ステップＳ２４２：Ｎｏ）、ステップＳ２３４に進み、つぎの位置情報に対しても上述した同様の処理手順を行なう。一方、ｎ＝ｎａｌｌである場合には（ステップＳ２４２：Ｙｅｓ）、全ての組み合わせに対して、各相関度の加算が終了したため、組み合わせデータ中の各品質番号の合計数と、各品質番号がそれぞれ一致した割合である一致率とをそれぞれ算出し（ステップＳ２４４）、算出結果を組み合わせデータに書き込み、加算処理を終了する。このように、組み合わせデータ中の各組み合わせに対応する数値に、同一位置の各組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算することによって、各品質番号の組み合わせと、これらの各組み合わせにおける各相関度の加算値とが対応づけられた組み合わせデータが作成される。

つぎに、図１６に示す加算処理について、図１７に示す組み合わせデータ２７を組み合わせデータのデフォルト状態であるとして具体的に説明する。図１７に示すように、組み合わせデータ２７において、行方向の番号は検査結果「Ａ」の各品質番号に該当し、列方向の番号は検査結果「Ｂ」の各品質番号に該当する。また、組み合わせデータ２７は、検査結果「Ａ」の品質番号と検査結果「Ｂ」の品質番号の各組み合わせに対応するセルをそれぞれ備え、各セルに対応する数値はデフォルトとして「０」が対応づけられている。

図５に示す相関度データ１７をもとに、位置情報（３，１）について加算処理を行なう場合について説明する。処理部２５は、相関度データ１７を参照し（ステップＳ２３４）、位置情報（３，１）に対応する品質番号の組み合わせを検出する。この場合、検査結果「Ａ」における品質番号は「４」であり、検査結果「Ｂ」における品質番号は「４」であるため、位置情報（３，１）における品質番号の組み合わせは、（Ａ，Ｂ）＝（４，４）と検出される（ステップＳ２３６）。組み合わせデータ２７中では、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（４，４）に対応するセルは、検査結果「Ａ」の品質番号「４」の列と検査結果「Ｂ」の品質番号「４」の行が交差するセル、すなわち、矢印２７１および矢印２７２が交差するセル２７３となる。処理部２５は、このセル２７３の数値「０」に、位置情報（３，１）の各品質番号の組み合わせに一致する相関度として１を加算して（ステップＳ２３８）、この加算値「１」をセル２７３に対応する数値として更新する。処理部２５は、位置情報（３，１）について、組み合わせデータ２７への該当数値への相関度の加算が終了したため、つぎの位置情報に対する処理に進む。そして、位置情報ごとに、上述した処理を繰り返すことによって、組み合わせデータ２７の各セルには、組み合わせごとに各相関度が加算された値が対応することとなり、全ての位置情報に対して加算処理が終了すると、所定の合計数と所定の一致率とを算出して組み合わせデータ２７に書き込み、加算処理が終了する。

処理部２５は、加算処理（ステップＳ２０４）で作成された組み合わせデータを用いて、各品質番号の組み合わせごとに、この加算値が表される対応表画像の表示データを作成して、表示部１３に、この対応表画像を表示出力させる。図１８は、表示部１３の表示画面に表示される対応表画像の一例を示す図である。

図１８に示すように、対応表２８には、各品質番号の組み合わせに対応するセルに、この組み合わせに対応する相関度の加算値がそれぞれ表示されている。そして、対応表２８には、たとえば、検査結果「Ａ」の品質番号と検査結果「Ｂ」の品質番号とが一致する組み合わせに対応するセルは、それ以外のセルと容易に区別できるように所定の塗りつぶしが施されている。検査者は、対応表２８における塗りつぶしセルまたは塗りつぶしセル以外のセルの数値を確認することによって、検査結果「Ａ」および検査結果「Ｂ」における品質番号の一致状態を短時間で確認することができる。また、対応表２８には、一致率として、検査結果「Ａ」の品質番号と検査結果「Ｂ」の品質番号とが一致するセルが示す数値の合計数値に対する割合（％）を示している。たとえば、検査結果「Ｂ」の品質番号「０」の行については、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（０，０）のセルの数値「２１」の、検査結果「Ｂ」における品質番号「０」の合計数値「２２」に対する割合、すなわち「９５％」が一致率として表示される。検査者は、この一致率を確認することによって、検査結果「Ａ」、「Ｂ」間の一致状態を具体的な数値として把握することが可能となる。

このように、対応表２８を用いた表示とすることによって、実施の形態１と同様の効果を奏するとともに、検査者は、検査結果情報間の一致状態を具体的な数値として把握できるため、検査結果情報をさらに具体的に検査または解析することができる。

なお、実施の形態２として、加算処理では、組み合わせデータ中の組み合わせに対応する数値に相関度として「１」を加算した場合について説明したが、これに限らず、相関度を表す数値を加算してもよい。たとえば、複数の半導体ウェハをそれぞれ検査装置２Ａ，２Ｂにおいて測定し、同一の位置情報に複数の品質番号が対応づけられた検査結果「Ａ」，「Ｂ」に対しては、位置情報ごとに各品質番号の組み合わせを全て検出する（ステップＳ２３６）。そして、その組み合わせに該当する該当率を各組み合わせごとに求め、この該当率を各組み合わせに対応した相関度として、組み合わせデータ中の組み合わせに対応する数値にそれぞれ加算してもよい。

具体的に、図１９に示すように、２枚の半導体ウェハをそれぞれ検査装置２Ａ，２Ｂにおいて測定し、同一の位置情報に二つの品質番号がそれぞれ対応づけられた検査結果「Ａ」，「Ｂ」について、対応表画像を表示させる場合を例に説明する。

図１９に示すように、位置情報（３，１）に対応する品質番号は、検査結果「Ａ」においては、「１」および「２」であり、検査結果「Ｂ」においては、「２」および「３」である。このため、位置情報（３，１）における検査結果「Ａ」，「Ｂ」の各品質番号の組み合わせとして、図１９の品質番号組み合わせ欄に示すように、（Ａ，Ｂ）＝（１，２）または（Ａ，Ｂ）＝（１，３）または（Ａ，Ｂ）＝（２，２）または（Ａ，Ｂ）＝（２，２）の４種類が検出される（ステップＳ２３６）。

そして、それぞれの品質番号の組み合わせに該当する割合を算出する。この場合には、全ての各品質番号の組み合わせは、４種類であるため、各組み合わせに該当する割合はそれぞれ０．２５となる。すなわち、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（１，２）に該当する割合は０．２５であり、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（１，３）に該当する割合は０．２５であり、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（２，２）に該当する割合は０．２５であり、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（２，３）に該当する割合は０．２５である。そして、図１９の相関度欄に示すように、これらの割合をそれぞれの各組み合わせの相関度として対応づける。

そして、図１６のステップＳ２３８に示す加算処理の代わりに、図１７に示す組み合わせデータ２７中のセルの数値に各相関度を加算する。たとえば、相関度データ２９中の品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（１，２）に対応する相関度０．２５を加算する場合には、組み合わせデータ２７中のセル（１，２）（セル（ａ，ｂ）は、検査結果「Ａ」の品質番号ａと検査結果「Ｂ」の品質番号ｂとの組み合わせに対応するセルを示す。）の数値に相関度０．２５を加算する。同様に、相関度データ２９中の品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（１，３）に対応する相関度０．２５を、セル（１，３）の数値に加算する。また、相関度データ２９中の品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（２，２）に対応する相関度０．２５を、セル（２，２）の数値に加算し、相関度データ２９中の品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（２，３）に対応する相関度０．２５を、セル（２，３）の数値に加算する。このように、処理部２５が、位置情報ごとに、全ての品質番号の組み合わせを求め、その組み合わせに対応する該当率を相関度として順次加算して作成した組み合わせデータをもとに対応表を表示出力させる場合も、検査者は品質番号に対応する相関度を具体的な数値として短時間で取得することが可能となる。

（実施の形態３）
つぎに、実施の形態３について説明する。図２０は、実施の形態３にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。図２０に示すように、実施の形態３にかかる処理装置３０は、入力部１１と記憶部１２と表示部１３と処理部３５を備えた制御部３４とを有する。処理装置３０は、検査装置２Ａ，２Ｂからそれぞれ出力された二つの検査結果情報を処理して、処理結果を表示部１３に表示出力する。処理部３５は、検査装置２Ａ，２Ｂからそれぞれ出力された二つの検査結果情報の相関度を求め、所定のウェハマップ画像および所定の対応表画像の表示データを作成し、表示部１３に表示出力させる。制御部３４は、実施の形態１における制御部１４と同様の機能を有する。

つぎに、図２１に示すフローチャートを参照して、図２０に示す処理部３５が行なう検査結果処理手順について説明する。図２１は、図２０に示す処理部３５による検査結果処理手順を示すフローチャートである。また、図２２は、表示部１３の表示画面に表示されるウェハマップ画像と対応表画像の一例を示す図である。

図２１に示すように、処理部３５は、図３に示す処理手順と同様の処理手順を行なうことによって相関度取得処理を行なう（ステップＳ３０２）。処理部３５は、図１６に示す処理手順と同様の処理手順を行なうことによって加算処理を行なう（ステップＳ３０４）。つぎに、処理部３５は、図６に示す処理手順と同様の処理手順を行なうことによって色データ作成処理を行なう（ステップＳ３０６）。そして、処理部３５は、加算処理において作成した組み合わせデータを用いて対応表画像の表示データを作成するとともに、色データ作成処理において作成した色データを用いてウェハマップ画像の表示データを作成する表示データ作成処理を行なう（ステップＳ３０８）。処理部３５は、表示データを表示部１３に出力して、表示部１３にウェハマップ画像と対応表画像とを表示させる（ステップＳ３１０）。具体的には、図２２に示すようなウェハマップ１９と対応表２８とが表示部１３の表示画面に表示されることとなる。

このように、本実施の形態３では、ウェハマップ１９および対応表２８を用いた表示とすることによって、本実施の形態１，２と同様の効果を奏するとともに、ウェハマップ１９と対応表２８とを対応させることによって、品質番号の相関度をウェハマップ上の位置または分布と品質番号の組み合わせとの双方に関連づけて検査および解析を行なうことができる。

なお、実施の形態３として、図６に示す色データ作成処理と同様の処理手順を行なうことによって作成した色データをもとに、検査結果「Ａ」，「Ｂ」間の相関度を領域ごとに色分けしたウェハマップ１９を表示させる場合について説明したが、これに限らず、図２３に示す処理手順を行なうことによって色データを作成してもよい。

図２３は、図２１に示す色データ作成処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。なお、図２４は、図２３に示す色データ作成処理において作成された色データの一例を示す図である。また、図２３に示す処理手順において、図５に示す相関度データ１７を参照した場合を例に説明する。

図２３に示すステップＳ３２２およびステップＳ３２４は、図６におけるステップＳ１３２およびステップＳ１３４の処理と同じである。つぎに、処理部３５は、参照した相関度データ１７をもとに、色情報の指定対象となる位置情報に対応づけられた検出結果「Ａ」の品質番号を検出する（ステップＳ３２６）。処理部３５は、検出した品質番号に対応する色を指定する（ステップＳ３２８）。つぎに、処理部３５は参照した相関度データ１７をもとに、色情報の指定対象となる位置情報に対応づけられた検出結果「Ｂ」の品質番号を検出し（ステップＳ３３０）、検出した品質番号に対応する色を指定する（ステップＳ３３２）。そして、図２３に示すステップＳ３３４およびステップＳ３３６は、図６に示すステップＳ１４２およびステップＳ１４４と同じである。このように、処理部３５は、位置情報、二つの検査結果情報の各品質番号、相関度および検査結果「Ａ」および検査結果「Ｂ」のそれぞれに対応する色情報を対応づけた色データを作成する。

具体的には、処理部３５は、位置情報（３，１）に対して色指定を行なう場合、相関度データ１７から、位置情報（３，１）に対応する検査結果「Ａ」の品質番号を検出する（ステップＳ３２６）。この場合、検査結果「Ａ」の品質番号は、「４」であるため、品質番号「４」に対応する色がたとえば緑である場合には、検出結果「Ａ」の品質番号「４」に対応する色として「緑」を指定する（ステップＳ３２８）。そして、処理部３５は、相関度データ１７から、位置情報に（３，１）に対応する検査結果「Ｂ」の品質番号を検出して（ステップＳ３３０）、検出結果「Ｂ」の品質番号「４」に対応する色として「緑」を指定する（ステップＳ３３２）。このように、位置情報ごとに各品質番号に対応する色をそれぞれ指定することによって、図２４に示すような色データ３７を作成する。

図２５は、表示部１３に表示画面に表示されるウェハマップ画像と対応表画像との一例を示す図である。処理部３５は、色データ３７における位置情報列と色情報「Ａ」列との情報を用いてウェハマップ３９Ａの表示データを作成する。この結果、図２５に示すように、領域ごとに検査結果「Ａ」の品質番号に対応する所定色で色分けされたウェハマップ３９Ａが検査結果「Ａ」に対応するウェハマップ画像として表示される。また、処理部３５は、色データ３７における位置情報列と色情報「Ｂ」列との情報を用いてウェハマップ３９Ｂの表示データを作成する。この結果、図２５に示すように、領域ごとに検査結果「Ｂ」の品質番号に対応する所定色で色分けされたウェハマップ３９Ｂが検査結果「Ｂ」に対応するウェハマップ画像として表示される。このように、処理部２５は、同一の品質番号に対応した各位置情報が示す各領域に、品質番号の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像の表示データを検査結果情報ごとに作成して、このウェハマップ画像を表示部１３に表示出力させてもよい。

ここで、処理部３５は、品質番号の段階ごとに対応する色で表示された検査結果「Ａ」，「Ｂ」の段階欄を備えた対応表３８を表示させ、ステップＳ３２８およびステップＳ３３２において、この対応表３８の段階欄の各色と、ウェハマップ３９Ａ，３９Ｂの品質番号の各段階の色とを対応させるよう色指定を行う。この結果、対応表３８とウェハマップ３９Ａ，３９Ｂにおける同一色領域は、同一の品質番号を示す領域となる。したがって、検査者は、画面上に表示された対応表３８とウェハマップ３９Ａ，３９Ｂにおける同一色領域を視認することによって、検査結果「Ａ」，「Ｂ」のそれぞれに対する半導体ウェハ上における各品質番号の位置および分布と、対応表３８の各品質番号に該当する半導体チップの具体的な数値との対応関係を短時間で把握することができ、検査および解析を総合的に行なうことができる。

（実施の形態４）
つぎに、実施の形態４について説明する。実施の形態４にかかる処理装置は、実施の形態２と同様の構成を有する。実施の形態４では、入力部１１は、品質番号の組み合わせを指示する指示情報を入力する。また、実施の形態４では、処理部２５は、入力部１１によって指示された品質番号の組み合わせと一致する品質番号の組み合わせを有する位置情報を検出して、この位置情報が示す対応領域に所定色を表示するウェハマップ画像の表示データを作成し、このウェハマップ画像を表示部１３に表示出力させる。以下、処理部２５が図１５に示すステップＳ２０２〜ステップＳ２０８の処理手順を終了した後に、検査結果情報を処理する場合について説明する。

図２６は、処理部２５による検査結果処理手順を示すフローチャートである。まず、図２６に示すように、入力部１１が品質番号の組み合わせを指示する指示情報を入力する（ステップＳ４０２）。処理部２５は、入力された指示情報と、図１５に示す相関度取得処理（ステップＳ２０２）において作成した相関度データとをもとに、入力部１１によって指示された品質番号の組み合わせ（以下、「指示組み合わせ」とする。）と一致する品質番号の組み合わせを有する位置情報に所定の色情報を対応づけた色データを作成する色データ作成処理を行なう（ステップＳ４０４）。処理部２５は、この色データを用いて、指示組み合わせと一致する品質番号の組み合わせを有する位置情報が示す対応領域に所定色を表示するウェハマップ画像の表示データを作成する表示データ作成処理を行なう（ステップＳ４０６）。処理部２５は、この表示データを表示部１３に出力して、表示部１３にウェハマップ画像を表示させる（ステップＳ４０８）。

つぎに、図２６に示す色データ作成処理について説明する。図２７は、図２６に示す色データ作成処理の処理手順を示すフローチャートである。なお、図２８は、表示部１３の表示画面に表示される対応表画像とウェハマップ画像との一例を示す図である。指示入力処理（ステップＳ４０２）では対応表画像のみが表示部１３の表示画面に表示されている。また、図２９は、図２７に示す色データ作成処理で作成された色データの一例を示す図である。

まず、図２７に示すように、処理部２５は、入力部１１から入力された指示組み合わせを受信する（ステップＳ４２２）。処理部２５は、色指定が終了した位置情報の数量ｎの値を初期化し、ｎ＝０とする（ステップＳ４２４）。処理部２５は、図１５に示す相関度取得処理（ステップＳ２０２）において作成した相関度データを参照し（ステップＳ４２６）、色情報の指定対象となる位置情報が有する品質番号の組み合わせが、指示組み合わせと一致するか否かを判断する（ステップＳ４２８）。処理部２５は、一致すると判断した場合には（ステップＳ４２８：Ｙｅｓ）、この位置情報に対応する色情報は「赤」であると指定する（ステップＳ４３０）。これに対し、処理部２５は、一致しないと判断した場合には（ステップＳ４２８：Ｎｏ）、この位置情報に対応する色情報は「白」であると指定する（ステップＳ４３２）。処理部２５は、数量ｎをｎ＝ｎ＋１とし（ステップＳ４３４）、ｎ＝ｎａｌｌであるか否かを判断し（ステップＳ４３６）、全ての位置情報に対して色指定が終了したか否かを判断する。全ての位置情報に対して色指定が終了しておらず、ｎ＝ｎａｌｌでないと判断した場合には（ステップＳ４３６：Ｎｏ）、ステップＳ４２６に進み、次の位置情報に対して上述した処理手順と同様に色指定を行なう。一方、処理部２５は、ｎ＝ｎａｌｌであると判断した場合には（ステップＳ４３６：Ｙｅｓ）、色データ作成処理を終了する。この結果、位置情報、二つの検査結果間の各品質番号、相関度および色情報が対応づけられた色データが作成される。

つぎに、図２８および図２９を参照して具体的に説明する。また、処理部２５は、図５に示す相関度データ１７を参照するとして説明する。たとえば、図２８に示すように、表示部１３の画面上に表示された対応表２８の画像にカーソル４７などを移動させて、対応表２８のセル４７１に該当する品質番号の組み合わせについて指示した場合を例とする。すなわち、セル４７１に該当する品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（４，４）について指示された場合である。

処理部２５は、指示組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（４，４）を受信した（ステップＳ４２２）後、相関度データ１７を参照する（ステップＳ４２６）。処理部２５は、たとえば、位置情報（３，１）に対して色指定を行なう場合には、位置情報（３，１）に対応する検査結果「Ａ」の品質番号と検査結果「Ｂ」とが、指示組み合わせに一致するか否かを判断する（ステップＳ４２８）。この場合、検査結果「Ａ」の品質番号は「４」であり、検査結果「Ｂ」の品質番号は「４」であるため、品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（４，４）である。このため、処理部２５は、この組み合わせは指示組み合わせと一致すると判断し（ステップＳ４２８：Ｙｅｓ）、位置情報（３，１）に対応する色情報が「赤」であると指定する（ステップＳ４３０）。また、表示部２５は、位置情報（４，１）について色指定を行なう場合、位置情報（４，１）に対応する品質番号の組み合わせは（Ａ，Ｂ）＝（３，１）であるため、指示組み合わせと一致しないと判断し（ステップＳ４２８：Ｎｏ）、位置情報（４，１）に対応する色情報は「白」であると指定する（ステップＳ４３２）。このように、処理部２５は、全ての位置情報に対して、指示組み合わせと、位置情報に対応する品質番号の組み合わせとが一致するか否かを判断して、色指定を行なう。この結果、図２９に示すような色データ４８が作成される。

そして、処理部２５は、色データ４８における位置情報列と色情報列との情報を用いて、各位置情報に対応する対応領域ごとに各指定色を表示させるウェハマップ画像の表示データを作成する。この結果、図２８に示すように、表示部１３の表示画面には、カーソル４７で指示したセル４７１の品質番号の組み合わせ（Ａ，Ｂ）＝（４，４）である半導体チップの位置が赤色で示されたウェハマップ４９が表示されることとなる。

したがって、本実施の形態４では、指示組み合わせに対応させたウェハマップ４９を用いた表示とすることによって、検査者は指示組み合わせを有する半導体チップの半導体ウェハ上における位置および分布を短時間で用意に確認することが可能となる。

なお、実施の形態１〜４において処理対象となる検査結果情報は、図４に示すように、位置情報と品質番号とが対応づけられたデータであり、たとえば、図３０に示すように、半導体ウェハ上の半導体チップの位置に合わせて品質番号を表示した行列データである場合がある。そして、図３０に示すように、検査結果「Ａ」の最下列の左端に位置する品質番号「１」と検査結果「Ｂ」の最下列の左端に位置する品質番号「１」とのように、同一位置の品質番号を抽出して、上述した処理を行なえばよい。

また、実施の形態１〜４において処理対象となる二つの検査結果情報は、同一の半導体ウェハ上の半導体チップに対して検査装置２Ａおよび検査装置２Ｂがそれぞれ電気的検査を行なった検査結果情報でもよい。この場合には、検査結果情報の相関度を解析することによって、検査装置２Ａ，２Ｂ間の検査精度の相違などを調べることができる。もちろん、二つの検査結果情報は、異なる半導体ウェハ上の半導体チップに対する検査結果情報でもよく、複数の半導体ウェハ上の半導体チップを検査して統計を取ったものでもよい。

また、本実施の形態１〜４では、検査装置２Ａおよび検査装置２Ｂから入力された検査結果情報を処理した場合について説明したがこれに限らず、たとえば検査装置２Ａで検査された異なる半導体ウェハに対する検査結果情報を処理して半導体ウェハ間の品質番号の相関度を取得する場合に適用してもよい。また、検査装置２Ａで同一の半導体ウェハについて異なる時期に電気的検査を行なった場合の検査結果情報をそれぞれ処理して、この半導体ウェハの劣化状態を取得する場合に適用してもよい。

また、実施の形態１〜４では、処理装置１０，２０，３０が検査結果情報を格納する記憶部１２を備えた場合について説明したが、必ずしも、処理装置１０，２０，３０の内部に検査結果情報を記憶する必要はない。たとえば、検査装置２Ａ，２Ｂは検査結果情報を所定のデータベースに出力し、処理装置１０，２０，３０は、有線通信または無線通信を行なうことによって、このデータベースから検査結果情報を取得してもよい。

また、上記実施の形態１〜４で説明した処理装置は、あらかじめ用意されたプログラムをパーソナル・コンピュータやワークステーションなどのコンピュータシステムで実行することによって実現することができる。以下、上記実施の形態１〜４で説明した処理装置と同様の機能を有する表示プログラムを実行するコンピュータシステムについて説明する。

図３１は、上述した実施の形態１〜４を用いたコンピュータシステムの構成を示すシステム構成図であり、図３２は、このコンピュータシステムにおける本体部の構成を示すブロック図である。図３１に示すように、本実施の形態にかかるコンピュータシステム１００は、本体部１０１と、本体部１０１からの指示によって表示画面１０２ａに画像などの情報を表示するためのディスプレイ１０２と、このコンピュータシステム１００に種々の情報を入力するためのキーボード１０３と、ディスプレイ１０２の表示画面１０２ａ上の任意の位置を指定するためのマウス１０４とを備える。

また、このコンピュータシステム１００における本体部１０１は、図３２に示すように、ＣＰＵ１２１と、ＲＡＭ１２２と、ＲＯＭ１２３と、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１２４と、ＣＤ−ＲＯＭ１０９を受け入れるＣＤ−ＲＯＭドライブ１２５と、フレキシブルディスク（ＦＤ）１０８を受け入れるＦＤドライブ１２６と、ディスプレイ１０２、キーボード１０３並びにマウス１０４を接続するＩ／Ｏインターフェース１２７と、ローカルエリアネットワークまたは広域エリアネットワーク（ＬＡＮ／ＷＡＮ）１０６に接続するＬＡＮインターフェース１２８とを備える。

さらに、このコンピュータシステム１００には、インターネットなどの公衆回線１０７に接続するためのモデム１０５が接続されるとともに、ＬＡＮインターフェース１２８およびＬＡＮ／ＷＡＮ１０６を介して、他のコンピュータシステム（ＰＣ）１１１、サーバ１１２、プリンタ１１３、検査装置２Ａ並びに検査装置２Ｂなどが接続される。

そして、このコンピュータシステム１００は、所定の記録媒体に記録された表示プログラムを読み出して実行することで処理装置を実現する。ここで、所定の記録媒体とは、フレキシブルディスク（ＦＤ）１０８、ＣＤ−ＲＯＭ１０９、ＭＯディスク、ＤＶＤディスク、光磁気ディスク、ＩＣカードなどの「可搬用の物理媒体」の他に、コンピュータシステム１００の内外に備えられるハードディスクドライブ（ＨＤＤ）１２４や、ＲＡＭ１２２、ＲＯＭ１２３などの「固定用の物理媒体」、さらに、モデム１０５を介して接続される公衆回線１０７や、他のコンピュータシステム１１１並びにサーバ１１２が接続されるＬＡＮ／ＷＡＮ１０６などのように、プログラムの送信に際して短期にプログラムを保持する「通信媒体」など、コンピュータシステム１００によって読み取り可能な表示プログラムを記録する、あらゆる記録媒体を含むものである。

すなわち、表示プログラムは、上記した「可搬用の物理媒体」、「固定用の物理媒体」、「通信媒体」などの記録媒体に、コンピュータ読み取り可能に記録されるものであり、コンピュータシステム１００は、このような記録媒体から表示プログラムを読み出して実行することで処理装置および表示方法を実現する。なお、表示プログラムは、コンピュータシステム１００によって実行されることに限定されるものではなく、他のコンピュータシステム１１１またはサーバ１１２が表示プログラムを実行する場合や、これらが協働して表示プログラムを実行するような場合にも、本発明を同様に適用することができる。

（付記１）
半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む検査結果情報を処理し、該処理結果情報を表示手段に表示出力する処理装置において、二つの前記検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報をそれぞれ比較して、各品質レベル情報の相関度を求め、該相関度を前記位置情報または前記品質レベル情報に対応させて前記表示手段に表示出力させる処理手段を備えたことを特徴とする処理装置。

（付記２）
前記処理手段は、前記位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に前記相関度を表示出力させることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。

（付記３）
前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の差分値を求め、該差分値に応じた色を前記対応領域に表示出力させることを特徴とする請求項２に記載の処理装置。

（付記４）
前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算し、この加算した値を表形式で表示出力させることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。

（付記５）
前記処理手段は、同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示すウェハマップ上の各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示出力させることを特徴とする請求項４に記載の処理装置。

（付記６）
前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手段をさらに備え、前記処理手段は、前記指示入力手段から指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出し、該位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に所定色を表示出力させることを特徴とする請求項４に記載の処理装置。

（付記７）
半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成ステップと、を含むことを特徴とする表示方法。

（付記８）
前記表示データ作成ステップは、前記位置情報ごとの前記相関度に応じた色情報と前記位置情報とをもとに前記ウェハマップ画像の表示データを生成することを特徴とする請求項７に記載の表示方法。

（付記９）
前記相関度取得ステップは、前記同一位置の品質レベル情報の差分値を相関度として求めることを特徴とする請求項７または８に記載の表示方法。

（付記１０）
半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算ステップと、前記加算ステップにおける各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成ステップと、を含むことを特徴とする表示方法。

（付記１１）
同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成ステップをさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の表示方法。

（付記１２）
前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力ステップと、前記指示入力ステップにおいて指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出ステップと、該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成ステップと、をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の表示方法。

（付記１３）
半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成手順と、を含むことを特徴とする表示プログラム。

（付記１４）
前記表示データ作成手順は、前記位置情報ごとの前記相関度に応じた色情報と前記位置情報とをもとに前記ウェハマップ画像の表示データを生成することを特徴とする請求項１３に記載の表示プログラム。

（付記１５）
前記相関度取得手順は、前記同一位置の品質レベル情報の差分値を相関度として求めることを特徴とする請求項１３または１４に記載の表示プログラム。

（付記１６）
半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算手順と、前記加算手順における各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成手順と、を含むことを特徴とする表示プログラム。

（付記１７）
同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成手順をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の表示プログラム。

（付記１８）
前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手順と、前記指示入力手順において指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出手順と、該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成手順と、をさらに含むことを特徴とする請求項１６に記載の表示プログラム。

実施の形態１にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。 図１に示した処理装置による検査結果処理手順を示すフローチャートである。 図２に示す相関度取得処理の処理手順を示すフローチャートである。 検査結果情報の一例を示す図である。 図４に示す相関度取得処理において作成された相関度データの一例を示す図である。 図２に示す色データ作成処理の処理手順を示すフローチャートである。 図６に示す色データ作成処理で作成された色データの一例を示す図である。 実施の形態１における表示部の表示画面に表示されたウェハマップ画像の一例を示す図である。 図２に示す相関度取得処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。 図９に示す相関度取得処理において作成された相関度データの一例を示す図である。 図２に示す色データ作成処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。 図１１に示す色データ作成処理において作成された色データの一例を示す図である。 実施の形態１における表示部の表示画面に表示されたウェハマップ画像の一例を示す図である。 実施の形態２にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。 図１４に示す処理部による検査結果処理手順を示すフローチャートである。 図１５に示す加算処理の処理手順を示すフローチャートである。 組み合わせデータの一例を示す図である。 実施の形態２における表示部の表示画面に表示される対応表画像の一例を示す図である。 実施の形態２における相関度データの一例を示す図である。 実施の形態３にかかる処理装置の構成を示すブロック図である。 図２０に示す処理部による検査結果処理手順を示すフローチャートである。 実施の形態３における表示部の表示画面に表示されるウェハマップ画像と対応表画像の一例を示す図である。 図２１に示す色データ作成処理の処理手順の他の例を示すフローチャートである。 図２３に示す色データ作成処理において作成された色データの一例を示す図である。 実施の形態３における表示部に表示画面に表示されるウェハマップ画像と対応表画像との一例を示す図である。 実施の形態４における処理部による検査結果処理手順を示すフローチャートである。 図２６に示す色データ作成処理の処理手順を示すフローチャートである。 実施の形態４における表示部の表示画面に表示される対応表画像とウェハマップ画像との一例を示す図である。 図２７に示す色データ作成処理で作成された色データの一例を示す図である。 実施の形態１〜４における検査結果情報の一例を示す図である。 実施の形態１〜４を用いたコンピュータシステムの構成を示す構成図である。 図３１に示したコンピュータシステムにおける本体部の構成を示すブロック図である。 従来技術における表示部に表示されたウェハマップ画像の一例を示す図である。

符号の説明

１０，２０，３０ 処理装置
２Ａ，２Ｂ 検査装置
１１ 入力部
１２ 記憶部
１３ 表示部
１４，２４，３４ 制御部
１５，２５，３５ 処理部
１７，１７ａ，２９ 相関度データ
１８，１８ａ，３７，４８ 色データ
１９，１９ａ，３９Ａ，３９Ｂ，４９，２０１，２０２ ウェハマップ
１９１ 緑色表示
１９２ 赤色表示
１９３ 黄色表示
２７ 組み合わせデータ
２７３，４７１ セル
２８、３８ 対応表
４７ カーソル
１００ コンピュータシステム
１０１ 本体部
１０２ ディスプレイ
１０２ａ 表示画面
１０３ キーボード
１０４ マウス
１０５ モデム
１０６ ローカルエリアネットワークまたは広域エリアネットワーク（ＬＡＮ／ＷＡＮ）
１０７ 公衆回線
１０８ フレキシブルディスク（ＦＤ）
１０９ ＣＤ−ＲＯＭ
１１１ 他のコンピュータシステム（ＰＣ）
１１２ サーバ
１１３ プリンタ
１２１ ＣＰＵ
１２２ ＲＡＭ
１２３ ＲＯＭ
１２４ ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）
１２５ ＣＤ−ＲＯＭドライブ
１２６ ＦＤドライブ
１２７ Ｉ／Ｏインターフェース
１２８ ＬＡＮインターフェース

Claims (14)

1. 半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む検査結果情報を処理し、該処理結果情報を表示手段に表示出力する処理装置において、
   二つの前記検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報をそれぞれ比較して、各品質レベル情報の相関度を求め、該相関度を前記位置情報または前記品質レベル情報に対応させて前記表示手段に表示出力させる処理手段を備えたことを特徴とする処理装置。
2. 前記処理手段は、前記位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に前記相関度を表示出力させることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
3. 前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の差分値を求め、該差分値に応じた色を前記対応領域に表示出力させることを特徴とする請求項２に記載の処理装置。
4. 前記処理手段は、同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算し、この加算した値を表形式で表示出力させることを特徴とする請求項１に記載の処理装置。
5. 前記処理手段は、同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示すウェハマップ上の各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示出力させることを特徴とする請求項４に記載の処理装置。
6. 前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手段をさらに備え、
   前記処理手段は、前記指示入力手段から指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出し、該位置情報が示すウェハマップ上の対応領域に所定色を表示出力させることを特徴とする請求項４に記載の処理装置。
7. 半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、
   前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、
   前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成ステップと、
   を含むことを特徴とする表示方法。
8. 半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示方法において、
   前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得ステップと、
   同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算ステップと、
   前記加算ステップにおける各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成ステップと、
   を含むことを特徴とする表示方法。
9. 同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成ステップをさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の表示方法。
10. 前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力ステップと、
    前記指示入力ステップにおいて指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出ステップと、
    該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成ステップと、
    をさらに含むことを特徴とする請求項８に記載の表示方法。
11. 半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、
    前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、
    前記位置情報が示す対応領域に前記相関度に応じた色を表示したウェハマップ画像を作成して、該ウェハマップ画像を表示出力する表示データ作成手順と、
    を含むことを特徴とする表示プログラム。
12. 半導体ウェハ上に形成された半導体チップの位置情報と該半導体チップの品質レベル情報とを含む二つの検査結果情報の相関度を表示する表示プログラムにおいて、
    前記二つの検査結果情報をもとに同一位置の前記品質レベル情報を比較することによって各品質レベル情報の相関度を前記位置情報と対応づけて求める相関度取得手順と、
    同一位置の各品質レベル情報の組み合わせごとに各相関度をそれぞれ加算する加算手順と、
    前記加算手順における各加算値を前記品質レベル情報の組み合わせごとに対応させた対応表画像を生成して、該対応表画像を表示出力する表示データ作成手順と、
    を含むことを特徴とする表示プログラム。
13. 同一の前記品質レベル情報に対応した各位置情報が示す各対応領域に、前記品質レベル情報の各段階に対応した同一色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力するウェハマップ作成手順をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の表示プログラム。
14. 前記品質レベル情報の組み合わせを指示する指示入力手順と、
    前記指示入力手順において指示された前記品質レベル情報の組み合わせと一致する前記品質レベル情報の組み合わせを有する前記位置情報を検出する検出手順と、
    該検出された位置情報に所定色を対応づけ、該検出された位置情報が示す対応領域に前記所定色を表示したウェハマップ画像を生成して、該ウェハマップ画像を表示出力させるウェハマップ形成手順と、
    をさらに含むことを特徴とする請求項１２に記載の表示プログラム。

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