JP6959879B2 - データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム - Google Patents

データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム Download PDF

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Description

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、基板処理装置で測定されたデータの処理方法、処理装置、および、処理プログラムに関する。
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を時系列順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、これを分析して異常の発生箇所や原因を特定することができる。
半導体基板（以下、基板という）の製造工程では、複数の基板処理装置を用いて一連の処理が実行される。基板処理装置は、基板に対して一連の処理の中の特定の処理を行う複数の処理ユニットを含んでいる。各処理ユニットは、基板に対して予め定めた手順（レシピと呼ばれる）に従い処理を行う。このとき各処理ユニットにおける測定結果に基づき、時系列データが得られる。得られた時系列データを分析することにより、異常が発生した処理ユニットや異常の原因を特定することができる。
本願発明に関連して、特許文献１には、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層に表示し、先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下位層エリアに表示するエラー出力方法が記載されている。特許文献２には、各種の情報を表示するためのスクリーンを含む半導体システムプロセス用のグラフィカル・ユーザ・インターフェイスが記載されている。
特開２００１−２６５４３１号公報 国際公開第２００３／８５５０４号
基板処理装置は複数の処理ユニットを有し、各処理ユニットでは多数の測定結果に基づき多数の時系列データが得られる。このため、利用者（基板処理装置のオペレータ）は、時系列データのすべての異常を含む表示画面を見たときに、基板処理装置の状態を容易に把握することができない。
それ故に、本発明は、基板処理装置の状態を容易に把握できるデータ処理方法を提供することを目的とする。
本発明の第１の局面は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備え、
前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第２の局面は、本発明の第１の局面において、
前記評価結果画面は、前記円グラフの内側に前記異常件数を含むことを特徴とする。
本発明の第３の局面は、本発明の第２の局面において、
前記異常件数の表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第４の局面は、本発明の第１の局面において、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットごとに、前記異常件数の増減傾向を示す矢印をさらに含むことを特徴とする。
本発明の第５の局面は、本発明の第１の局面において、
前記評価結果画面は顔マークをさらに含み、
前記顔マークの表情は、利用者による確認後に処理が完了した、前記評価値が異常である基板の枚数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第６の局面は、本発明の第１の局面において、
前記評価値計算ステップで求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択ステップをさらに備え、
前記結果表示ステップは、前記評価値選択ステップで選択された評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第７の局面は、本発明の第６の局面において、
前記評価値選択ステップは、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値を選択し、
前記結果表示ステップは、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第８の局面は、本発明の第１の局面において、
前記結果表示ステップは、前記評価結果画面、前記評価値を含む画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面を階層的に表示することを特徴とする。
本発明の第９の局面は、本発明の第１の局面において、
前記結果表示ステップは、前記評価値計算ステップで求めた評価値と他のデータ処理装置で求めた評価値とに基づくサマリー画面を表示することを特徴とする。
本発明の第１０の局面は、本発明の第１の局面において、
前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする。
本発明の第１１の局面は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備え、
前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第１２の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記評価結果画面は、前記円グラフの内側に前記異常件数を含むことを特徴とする。
本発明の第１３の局面は、本発明の第１２の局面において、
前記異常件数の表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第１４の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットごとに、前記異常件数の増減傾向を示す矢印をさらに含むことを特徴とする。
本発明の第１５の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記評価結果画面は顔マークをさらに含み、
前記顔マークの表情は、利用者による確認後に処理が完了した、前記評価値が異常である基板の枚数に応じて変化することを特徴とする。
本発明の第１６の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記評価値計算部で求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択部をさらに備え、
前記結果表示部は、前記評価値選択部で選択された評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第１７の局面は、本発明の第１６の局面において、
前記評価値選択部は、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値を選択し、
前記結果表示部は、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第１８の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記結果表示部は、前記評価結果画面、前記評価値を含む画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面を階層的に表示することを特徴とする。
本発明の第１９の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記結果表示部は、前記評価値計算部で求めた評価値と他のデータ処理装置で求めた評価値とに基づくサマリー画面を表示することを特徴とする。
本発明の第２０の局面は、複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする。
上記第１、第１１または第２０の局面によれば、処理ユニットごとに異常件数（評価値が異常である基板の枚数）の割合を示す円グラフを含む評価結果画面が表示され、円グラフの表示サイズは異常件数に応じて変化する。したがって、利用者は、評価結果画面を見たときに、評価値が異常である基板の割合を容易に認識することができる。また、表示された円グラフに基づき、基板処理装置に含まれる複数の処理ユニットの状態を容易に把握し、複数の処理ユニットの中で緊急度の高い処理ユニットを容易に認識することができる。
上記第２または第１２の局面によれば、異常件数を円グラフの内側に表示することにより、複数の処理ユニットの状態を少ない面積で表示することができる。
上記第３または第１３の局面によれば、異常件数の表示サイズは異常件数に応じて変化する。したがって、利用者は、評価結果画面を見たときに、表示された異常件数に基づき、基板処理装置に含まれる複数の処理ユニットの状態を容易に把握し、複数の処理ユニットの中で緊急度の高い処理ユニットを容易に認識することができる。
上記第４または第１４の局面によれば、利用者は、矢印を見ることにより、各処理ユニットにおける異常件数の増減傾向を容易に認識することができる。
上記第５または第１５の局面によれば、利用者は、顔マークを見ることにより、評価値が異常である基板が最近どの程度検出されたかを容易に認識することができる。
上記第６または第１６の局面によれば、与えられた条件を満たす基板に関する評価値に基づく評価結果画面が表示される。したがって、利用者は、特定の手順で基板を処理したときの処理ユニットの状態を容易に認識することができる。
上記第７または第１７の局面によれば、処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づく評価結果画面が表示される。したがって、利用者は、基板に対してグループごとに異なる処理を行ったときの処理ユニットの状態を容易に認識することができる。
上記第８または第１８の局面によれば、評価結果画面、評価値を含む画面、および、時系列データのグラフを含む画面を階層的に表示することにより、利用者は、評価値が異常である基板について評価値や時系列データを容易に解析することができる。
上記第９または第１９の局面によれば、利用者は、サマリー画面を見たときに、複数の基板処理装置の状態を容易に把握することができる。
上記第１０の局面によれば、基準データとして他の時系列データを用いることにより、時系列データについて好適な評価値を求めることができる。
本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。 図１に示す基板処理装置の概略構成を示す図である。 図１に示すデータ処理装置における時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 図１に示すデータ処理装置の動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置の評価結果画面を示す図である。 図６に示す評価結果画面の一部を拡大して示す図である。 図１に示すデータ処理装置におけるスコア評価期間を示す図である。 図６に示す評価結果画面に含まれる矢印の種類を示す図である。 図６に示す評価結果画面に含まれる顔マークの種類を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のスコアエラーリスト画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のレシピリスト画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の結果リスト画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のスコアリスト画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の詳細画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置においてチャンバーグルーピングを実行したときの評価結果画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のサマリー画面を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラムについて説明する。本実施形態に係るデータ処理方法は、典型的にはコンピュータを用いて実行される。本実施形態に係るデータ処理プログラムは、コンピュータを用いてデータ処理方法を実施するためのプログラムである。本実施形態に係るデータ処理装置は、典型的にはコンピュータを用いて構成される。データ処理プログラムを実行するコンピュータは、データ処理装置として機能する。
図１は、本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。図１に示すデータ処理装置１０は、データ記憶部１１、スコア計算部１２、スコア記憶部１３、フィルタ部１４、結果表示部１５、および、指示入力部１６を備えている。データ処理装置１０は、基板処理装置２０に接続して用いられる。
基板処理装置２０は複数の処理ユニット２５を含み、各処理ユニット２５では処理ユニット２５の動作状態を示す複数の物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）が測定される。これにより、複数の時系列データ７が得られる。データ記憶部１１は、上記の方法で求めた時系列データ７と、時系列データ７の期待値データである基準データ８とを記憶する。基準データ８には、例えば、多数の時系列データの中で期待値データとして最適と判断された他の時系列データが使用される。
スコア計算部１２は、データ記憶部１１に記憶された時系列データ７について評価値（以下、スコアという）を求める。スコア計算部１２は、データ記憶部１１から時系列データ７と対応する基準データ８とを読み出し、両者を比較することによりスコア９を求める。スコア記憶部１３は、スコア計算部１２で求めたスコア９を記憶する。フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から、与えられた条件を満たす基板に関するスコア９を選択する。スコア計算部１２は評価値計算部として機能し、フィルタ部１４は評価値選択部として機能する。
結果表示部１５は、処理ユニット２５ごとに、スコア９が異常である基板の枚数を含む評価結果画面を表示する。指示入力部１６には、利用者からの指示が入力される。利用者は、指示入力部１６を用いて、スコア計算部１２におけるスコアの計算方法、フィルタ部１４におけるフィルタ方法、結果表示部１５に表示される画面の選択などを指示する。
図２は、基板処理装置２０の概略構成を示す図である。基板処理装置２０は、インデクサ部２１と処理部２２を備えている。インデクサ部２１は、複数のカセット保持部２３とインデクサロボット２４を含んでいる。処理部２２は、複数の処理ユニット２５と基板搬送ロボット２６を含んでいる。カセット保持部２３には、複数の基板を収容するカセット（図示せず）が載置される。インデクサロボット２４は、カセットから基板を取り出す動作と、カセットに基板を入れる動作とを行う。処理ユニット２５は、基板に対して処理を行うための空間（以下、チャンバーという）を有する。チャンバーは、処理ユニット２５と１対１に対応する。チャンバーの内部では、例えば、処理液を用いて基板を洗浄するなどの処理が行われる。基板搬送ロボット２６は、処理ユニット２５に基板を搬入する動作と、処理ユニット２５から基板を搬出する動作とを行う。処理ユニット２５の個数は、例えば２４個である。この場合、例えば、４個の処理ユニット２５を積層したタワー構造体が、基板搬送ロボット２６の周囲の６箇所に設けられる。
インデクサロボット２４は、カセット保持部２３に載置されたカセットから処理対象の基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介して基板搬送ロボット２６に渡す。基板搬送ロボット２６は、インデクサロボット２４から受け取った基板を対象の処理ユニット２５に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２６は、対象の処理ユニット２５から基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介してインデクサロボット２４に渡す。インデクサロボット２４は、基板搬送ロボット２６から受け取った基板を対象のカセットに入れる。インデクサ部２１と処理部２２の制御は、基板処理装置２０の制御部（図示せず）によって行われる。
以下、処理ユニット２５が１枚の基板に対して行う処理を「単位処理」という。単位処理の実行中に、処理ユニット２５では、センサなどを用いて複数の物理量が測定される。複数の物理量の測定結果に基づき、複数の時系列データ７が得られる。得られた複数の時系列データ７は、データ記憶部１１に記憶される。時系列データ７をグラフ化して示すと、例えば図３に実線で示すようになる。対応する基準データ８をグラフ化して示すと、例えば図３に破線で示すようになる。図３に示す例では、時系列データ７は、基準データ８と比べて立ち上がり時に遅れている。
図４は、データ処理装置１０として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。図４に示すコンピュータ３０は、ＣＰＵ３１、メインメモリ３２、記憶部３３、入力部３４、表示部３５、通信部３６、および、記録媒体読み取り部３７を備えている。メインメモリ３２には、例えば、ＤＲＡＭが使用される。記憶部３３には、例えば、ハードディスクが使用される。入力部３４には、例えば、キーボード３８やマウス３９が含まれる。表示部３５には、例えば、液晶ディスプレイが使用される。通信部３６は、有線通信または無線通信のインターフェイス回路である。基板処理装置２０や他のデータ処理装置との間の通信は、通信部３６を用いて行われる。記録媒体読み取り部３７は、プログラムなどを記録した記録媒体４０のインターフェイス回路である。記録媒体４０には、例えば、ＣＤ−ＲＯＭなどの非一過性の記録媒体が使用される。なお、以上に述べたコンピュータ３０の構成は一例に過ぎず、任意のコンピュータを用いてデータ処理装置１０を構成することができる。
以下、コンピュータ３０がデータ処理装置１０として機能する場合について説明する。この場合、記憶部３３は、データ処理プログラム４１、時系列データ７、および、基準データ８を記憶する。時系列データ７は、基板処理装置２０から通信部３６を用いて受信したものである。データ処理プログラム４１と基準データ８は、例えば、サーバや他のコンピュータから通信部３６を用いて受信したものでもよく、記録媒体４０から記録媒体読み取り部３７を用いて読み出したものでもよい。基準データ８は、記憶部３３に記憶された時系列データ７の中から利用者が入力部３４を用いて選択したものでもよい。データ処理プログラム４１を実行するときには、データ処理プログラム４１、時系列データ７、および、基準データ８はメインメモリ３２に複写転送される。ＣＰＵ３１は、メインメモリ３２を作業用メモリとして利用して、メインメモリ３２に記憶されたデータ処理プログラム４１を実行することにより、時系列データ７のスコア９を求める処理、与えられた条件を満たす基板に関するスコア９を選択する処理、選択されたスコア９に基づく評価結果画面を表示する処理などを行う。このときコンピュータ３０は、データ処理装置１０として機能する。
図５は、データ処理装置１０の動作を示すフローチャートである。データ処理装置１０が動作を開始する前に、データ記憶部１１には時系列データ７と基準データ８が記憶されている。データ処理装置１０は、図５に示すステップＳ１０１〜Ｓ１０９を繰り返し実行する。
図５に示すように、スコア計算部１２は、未処理の時系列データ７があるか否かを判断し、Ｙｅｓの場合はステップＳ１０２へ進み、Ｎｏの場合はステップＳ１０４へ進む（ステップＳ１０１）。前者の場合、スコア計算部１２は、未処理の時系列データ７のスコア９を求める（ステップＳ１０２）。ステップＳ１０２において、スコア計算部１２は、各時系列データ７と対応する基準データ８とを比較することによりスコア９を求める。次に、スコア記憶部１３は、ステップＳ１０２で求めたスコア９を記憶する（ステップＳ１０３）。
次に、結果表示部１５は、画面を更新するか否かを判断し、Ｙｅｓの場合はステップＳ１０５へ進み、Ｎｏの場合はステップＳ１０１へ進む（ステップＳ１０４）。ステップＳ１０４において、結果表示部１５は、スコア記憶部１３が新しいスコア９を記憶したとき、利用者が指示を入力したときなどに画面を更新すると判断する。
ステップＳ１０４でＹｅｓの場合、結果表示部１５は、表示すべき画面の種類が評価結果画面かサマリー画面かを判断し、前者の場合はステップＳ１０６へ進み、後者の場合はステップＳ１０８へ進む（ステップＳ１０５）。前者の場合、フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から与えられた条件を満たす基板に関するスコア９を選択する（ステップＳ１０６）。次に、結果表示部１５は、ステップＳ１０６で選択されたスコア９に基づき、評価結果画面を表示する（ステップＳ１０７）。
ステップＳ１０５でサマリー画面の場合、データ処理装置１０は、他のデータ処理装置から、他のデータ処理装置が求めたスコアを受信する（ステップＳ１０８）。次に、結果表示部１５は、スコア計算部１２で求めたスコア９と、ステップＳ１０８で受信したスコアとに基づき、サマリー画面を表示する（ステップＳ１０９）。ステップＳ１０７またはＳ１０９を実行した後、データ処理装置１０の制御はステップＳ１０１へ進む。
図５に示すフローチャートにおいて、スコア計算部１２が行うステップＳ１０２は、評価値計算ステップに該当する。フィルタ部１４が行うステップＳ１０６は、評価値選択ステップに該当する。結果表示部１５が行うステップＳ１０７およびＳ１０９は、結果表示ステップに該当する。
基板処理装置２０が１回の単位処理を行うと、複数の時系列データ７が得られる。スコア計算部１２は、基板ごとに各時系列データ７についてスコア９を求める。スコア計算部１２は、各スコア９の閾値を有する。スコア計算部１２は、複数のスコア９のいずれかが閾値を超えた基板を「スコアエラーが発生した基板」と判断し、複数のスコア９のいずれもが閾値を超えていない基板を「スコアエラーが発生していない基板」と判断する。以下、処理ユニット２５が処理した基板の枚数を「処理件数」といい、そのうちスコアエラーが発生した基板の枚数を「スコアエラー件数」という。
図６は、結果表示部１５が表示する評価結果画面を示す図である。図６に示す評価結果画面５０は、複数の処理ユニット２５に対応して、複数の表示領域５１を有する。複数の表示領域５１は、評価結果画面５０内に２次元状に配置される。各表示領域５１の内部には、スコアエラー件数５２などが表示される。評価結果画面５０の左側部分には、基板処理装置２０の外観図６１や識別子などが表示される。スコアエラーが発生した基板が検出されたときには、外観図６１と重なるように顔マーク６２が表示される。評価結果画面５０の上側部分にはアイコン６３〜６５が表示され、評価結果画面５０にはマウスカーソル６９も表示される。なお、図６に示す評価結果画面５０は、スコアエラー件数が多いときの説明用の画面である。実際のスコアエラー件数は、図６に示す値よりも少ない。
以下、基板処理装置２０が２４個の処理ユニット２５を有する場合について説明する。評価結果画面５０は、２４個の処理ユニット２５に対応して、２４個の表示領域５１を有する。各表示領域５１において、「ＣｈａｍｂｅｒＮ」は、処理ユニット２５が有するチャンバーの番号がＮであることを示す。「Ｔｏｔａｌ：Ｘ」は、処理件数がＸであることを示す。表示領域５１の内部には、スコアエラー件数５２、円グラフ５３、および、矢印５４が表示される。ただし、スコアエラー件数が０件のときには、円グラフ５３に代えてチェックマーク５５が表示される。
スコアエラー件数が１件以上のときには、表示領域５１の内部に円グラフ５３が表示され、スコアエラー件数５２は円グラフ５３の内側に表示される。スコアエラー件数５２および円グラフ５３の表示サイズは、スコアエラー件数に応じて例えば３段階に変化する。スコアエラー件数５２および円グラフ５３の表示サイズは、スコアエラー件数が１０件未満のときには最小サイズになり、スコアエラー件数が１０件以上１００件未満のときには中間サイズになり、スコアエラー件数が１００件以上のときには最大サイズになる。
円グラフ５３は、処理件数のうちスコアエラー件数の割合を示す。円グラフ５３の第１要素（色が濃い部分）は、スコアエラー件数を表す。円グラフ５３の第２要素（残余の部分）は、スコアエラーが発生していない基板の枚数を表す。例えば、１６番目の処理ユニット２５における処理件数が１９４件、スコアエラー件数が８０件のとき、表示領域５１ａ内のスコアエラー件数５２および円グラフ５３の表示サイズは中間サイズになる。表示領域５１ａ内の円グラフ５３では、全体の８０／１９４が第１要素、全体の１１４／１９４が第２要素になる。スコアエラー件数が０件のときには、表示領域５１の内部にチェックマーク５５が表示され、チェックマーク５５と重なる位置に数字０が表示される。
なお、図６では、図面記載の都合上、評価結果画面５０を白、黒、および、パターンを用いて表現しているが、実際には、評価結果画面５０は複数の色を用いて表示される。例えば、円グラフ５３の第１要素は赤色で表示され、円グラフ５３の第２要素とチェックマーク５５は緑色で表示される。
データ処理装置１０は、スコアエラー件数５２と円グラフ５３を含む評価結果画面５０を表示する機能に加えて、期間フィルタ機能、スコアエラーの増減傾向を表示する機能、スコアエラーのプッシュ通知機能、レシピフィルタ機能、階層表示機能、チャンバーグルーピング機能、および、サマリー画面表示機能を有する。以下、これらの機能を順に説明する。
まず、期間フィルタ機能について説明する。図７は、評価結果画面５０の一部を拡大して示す図である。図７に示すように、アイコン６４の右側には三角マーク６６が表示される。利用者がマウス３９を操作して三角マーク６６を選択すると、プルダウンメニュー６７が表示される。プルダウンメニュー６７の各項目は、スコア評価期間の長さを示す。「２４ｈ」「７ｄ」および「３０ｄ」は、それぞれ、２４時間、７日間、および、３０日間を示す。「ｄｅｆ」は、利用者がスコア評価期間の長さを指定することを示す。利用者が項目「ｄｅｆ」を選択したときには、スコア評価期間の長さを入力するための画面（図示せず）が表示される。利用者は、表示された画面にスコア評価期間の開始時刻と長さを入力する。なお、利用者は、スコア評価期間の開始時刻と長さに代えて、開始時刻（あるいは開始日時）と終了時刻（あるいは終了日時）を入力してもよい。
フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から、スコア評価期間内に処理が完了した基板に関するスコアを選択する。結果表示部１５は、フィルタ部１４で選択されたスコアに基づき、評価結果画面５０を表示する。このとき結果表示部１５は、処理ユニット２５ごとに、スコア評価期間内に処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数を含む評価結果画面５０を表示する。例えば、スコア評価期間の長さが２４時間のときには、表示領域５１内にはスコアエラー件数５２として、現時点から２４時間前までに処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数が表示される。
次に、スコアエラーの増減傾向を表示する機能について説明する。表示領域５１内に表示される矢印５４は、スコアエラーの増減傾向を示す。データ処理装置１０では、スコア評価期間の直前にスコア評価期間と同じ長さの期間（以下、以前のスコア評価期間という）が設定される（図８を参照）。フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から、スコア評価期間内に処理が完了した基板に関するスコアと、以前のスコア評価期間内に処理が完了した基板に関するスコアとを選択する。結果表示部１５は、処理ユニット２５ごとに、スコア評価期間内に処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数と、以前のスコア評価期間内に処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数とを求める。結果表示部１５は、処理ユニット２５ごとに、２種類の枚数を比較し、スコアエラーの増減傾向が「急激に増加」「増加」「増減なし」「減少」および「急激に減少」のうちのいずれであるかを判断する。この判断のための閾値は、利用者によって予め任意に設定される。
図８に示す例では、スコア評価期間の開始時点は現時点であり、スコア評価期間の長さは２４時間である。この場合、現時点から２４時間前までの期間がスコア評価期間となり、２４時間前から４８時間前までの期間が以前のスコア評価期間となる。スコア評価期間内に処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数が５枚、以前のスコア評価期間内に処理が完了し、かつ、スコアエラーが発生した基板の枚数が１０枚のとき、結果表示部１５はスコアエラーの増減傾向は「減少」であると判断する。
図９は、矢印５４の種類を示す図である。スコアエラーの増減傾向が「急激に増加」のときには、図９（ａ）に示す上向きの矢印５４ａが、例えば赤色で表示される。スコアエラーの増減傾向が「増加」のときには、図９（ｂ）に示す斜め上向きの矢印５４ｂが、例えば橙色で表示される。スコアエラーの増減傾向が「増減なし」のときには、図９（ｃ）に示す右向きの矢印５４ｃが、例えば灰色で表示される。スコアエラーの増減傾向が「減少」のときには、図９（ｄ）に示す斜め下向きの矢印５４ｄが、例えば薄緑色で表示される。スコアエラーの増減傾向が「急激に減少」のときには、図９（ｅ）に示す下向きの矢印５４ｅが、例えば緑色で表示される。
次に、スコアエラーのプッシュ通知機能について説明する。顔マーク６２は、スコアエラーが発生した基板が検出されるまでは表示されない。顔マーク６２は、スコアエラーが発生した基板が検出されたときに、利用者が何の操作を行わなくても自動的に表示される。利用者がマウス３９を操作してスコアエラー確認指示を入力すると、顔マーク６２は評価結果画面５０から消える。顔マーク６２の表情は、利用者による確認後に処理が完了した、スコアが異常である基板の枚数（以下、確認後のスコアエラー件数という）に応じて変化する。
図１０は、顔マーク６２の種類を示す図である。確認後のスコアエラー件数が１件以上４件以下のときには、図１０（ａ）に示す顔マーク６２ａが表示される。顔マーク６２ａは、左目に１粒の涙を浮かべた表情を有し、例えば黄色で表示される。確認後のスコアエラー件数が５件以上９件以下のときには、図１０（ｂ）に示す顔マーク６２ｂが表示される。顔マーク６２ｂは、両目に涙を１粒ずつ浮かべた表情を有し、例えば橙色で表示される。確認後のスコアエラー件数が１０件以上のときには、図１０（ｃ）に示す顔マーク６２ｃが表示される。顔マーク６２ｃは、両目に涙を３粒ずつ浮かべた表示を有し、例えば赤色で表示される。顔マーク６２の種類を切り替えるための閾値は、利用者によって予め任意に設定される。
利用者がマウス３９を操作して顔マーク６２を選択すると、評価結果画面５０に重畳して、図１１に示すスコアエラーリスト画面７１が表示される。スコアエラーリスト画面７１の各行には、スコアエラーの識別子、状態、発生日時、および、内容が表示される。利用者がスコアエラーを確認済みの場合、状態の欄にはチェックマークが表示される。利用者がスコアエラーを未確認の場合、状態の欄にはチェックボックス７２が表示される。
利用者がマウス３９を操作してスコアエラーリスト画面７１に含まれるスコアエラーを選択すると、スコアエラーリスト画面７１に重畳して、スコアエラーの詳細を示す別の画面（図示せず）が表示される。利用者は、表示された画面を見てスコアエラーの内容を認識した後に、マウス３９を操作してチェックボックス７２にチェックを入れ、ＯＫボタンを押す。これにより、利用者は選択したスコアエラーについて確認指示を入力する。
利用者は、例えば離席する前に、すべてのスコアエラーについて確認指示を入力する。このとき、顔マーク６２は評価結果画面５０から消える。利用者が離席中にスコアエラーが発生した基板が検出されたときには、スコアエラーが発生した基板の枚数に応じた表情を有する顔マーク６２が評価結果画面５０に表示される。利用者は、席に戻ったときに、顔マーク６２を見ることにより、スコアエラーが発生した基板が離席中にどの程度検出されたかを知ることができる。また、利用者は、顔マーク６２を選択してスコアエラーリスト画面７１を見ることにより、離席中に検出されたスコアエラーの内容を知ることができる。
次に、レシピフィルタ機能について説明する。利用者がマウス３９を操作してアイコン６３を選択すると、評価結果画面５０に重畳して、図１２に示すレシピリスト画面７５が表示される。レシピリスト画面７５の各行には、レシピの識別子、選択状態、最終更新日時、および、内容が表示される。選択状態の欄には、チェックボックス７６が表示される。利用者は、マウス３９を操作してチェックボックス７６にチェックを入れることにより、レシピ選択指示を入力する。
フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から、選択されたレシピに従い処理された基板に関するスコア９を選択する。結果表示部１５は、フィルタ部１４で選択されたスコア９に基づき、評価結果画面５０を表示する。このとき、選択されたレシピに従い処理された基板に関するスコア９に基づく評価結果画面５０が表示される。
次に、階層表示機能について説明する。図１３Ａ〜図１３Ｃは、評価結果画面５０に重畳して表示される画面を示す図である。なお、図１３Ａ〜図１３Ｃでは画面の内容をそれぞれ新規のダイアログとして表示することとしたが、評価結果画面５０に重畳して表示される１個のダイアログ中に画面の内容をタブとして表示し、いずれの画面の内容を表示するかをタブボタンの押下によって切り替え可能に構成してもよい。タブとして表示する方法には、複数の画面を１個のダイアログ中に並べて表示でき、複数の画面を容易に切り替えできるなどの利点がある。利用者がマウス３９を操作して図６に示す評価結果画面５０内で１５番目の処理ユニット２５（Ｃｈａｍｂｅｒ１５と記載された表示領域５１）を選択すると、図１３Ａに示す結果リスト画面８１が表示される。結果リスト画面８１の各行には、基板の識別子、レシピの識別子、異常スコアの個数と全スコアの個数、および、処理の開始時刻と終了時刻が表示される。
なお、本発明の実施形態では、これに限らず、図６に示すＣｈａｍｂｅｒ１５と記載された表示領域５１が選択されたときに、表示するスコアをフィルタリングするための条件（例えば、基板を処理した期間やレシピの種類など）を一覧形式で並べたスコアリング設定一覧画面（図示せず）を表示し、その一覧の中から所定の条件が選択されたときに、当該条件に該当するスコアとして、図１３Ａに示す結果リスト画面８１を表示してもよい。
利用者がマウス３９を操作して結果リスト画面８１内で基板「Ｓ２１４０６７」を選択すると、図１３Ｂに示すスコアリスト画面８２が表示される。スコアリスト画面８２の各行には、時系列データの識別子、基準データの識別子、判断基準、判断結果、および、スコアが表示される。判断基準は、時系列データと基準データとを比較して正常か異常を判断するときの基準である。例えば、基準「Ｔｈｒｅｓｈｏｌｄ ０．１」は、スコアが０．１以下のときに正常と判断することを示す。判断結果の欄には、スコアが正常のときには「ＯＫ」、スコアが異常のときには「ＮＧ」と表示される。
利用者がマウス３９を操作してスコアリスト画面８２内で時系列データ「Ｄ０１４６」を選択すると、図１３Ｃに示す詳細画面８３が表示される。詳細画面８３は、時系列データ７および基準データ８のグラフを含んでいる。このように結果表示部１５は、評価結果画面５０、スコア（評価値）を含むスコアリスト画面８２、および、時系列データ７のグラフを含む詳細画面８３を階層的に表示する。
次に、チャンバーグルーピング機能について説明する。図１４は、チャンバーグルーピングを実行したときの評価結果画面を示す図である。図１４に示す評価結果画面９０では、処理ユニット２５は３個のグループに分類されている。第１〜第８処理ユニット２５は第１グループに、第９〜第１２処理ユニット２５は第２グループに、第１７〜第２４処理ユニット２５は第３グループに分類されている。第１グループ内の処理ユニット２５は、基板に対して第１の処理を行う。第２グループ内の処理ユニット２５は、基板に対して第１の処理とは異なる第２の処理を行う。第３グループ内の処理ユニット２５は、基板に対して第１および第２の処理とは異なる第３の処理を行う。なお、グループの分類方法としては、基板に対する処理に基づく分類以外に、例えば、使用する基準データに基づく分類、基板を処理した期間に基づく分類など、各種の分類方法を用いることができる。
フィルタ部１４は、スコア記憶部１３に記憶されたスコア９の中から、処理ユニット２５のグループごとに異なる処理を行った基板に関するスコア９を選択する。結果表示部１５は、処理ユニット２５のグループごとに異なる処理を行った基板に関するスコア９に基づき評価結果画面９０を表示する。このため、第１グループ内の処理ユニット２５に対応した表示領域５１では第１の処理を行った基板に関するスコアに基づく表示が行われ、第２グループ内の処理ユニット２５に対応する表示領域５１では第２の処理を行った基板に関するスコアに基づく表示が行われ、第３グループ内の処理ユニット２５に対応する表示領域５１では第３の処理を行った基板に関するスコアに基づく表示が行われる。
次に、サマリー画面表示機能について説明する。図１５は、図５に示すステップＳ１０９で表示されるサマリー画面を示す図である。図１５に示すサマリー画面９５は、６個の表示領域９６を有する。左上の表示領域９６ａは、データ処理装置１０に接続された基板処理装置２０の動作状態を示す。表示領域９６ａでは、スコア計算部１２で求めたスコアに基づく表示が行われる。他の５個の表示領域９６は、データ処理装置１０に接続されていない他の基板処理装置の動作状態を示す。これらの表示領域９６では、他のデータ処理装置で求めたスコアに基づく表示が行われる。
各表示領域９６の内部には、基板処理装置の概観図と識別子、稼働率を示す円グラフ、スコアエラーの発生割合を示す円グラフ、各処理ユニットにおけるスコアエラーの発生状況を示す棒グラフ、および、スコアエラーの発生状況の時間的な変化を示す折れ線グラフが表示される。また、スコアエラーが発生した基板が検出されたときには、基板処理装置の外観図と重なるように顔マーク９７が表示される。
本実施形態に係るデータ処理方法は、複数の処理ユニット２５を有する基板処理装置２０で得られた時系列データ７を処理するために、時系列データ７と基準データ８とを比較することにより、時系列データ７の評価値（スコア）を求める評価値計算ステップ（Ｓ１０２）と、処理ユニット２５ごとに、評価値が異常である基板の枚数を異常件数（スコアエラー件数５２）としたとき、処理された基板の枚数のうちで異常件数の割合を示す円グラフ５３を含む評価結果画面５０を表示する結果表示ステップ（Ｓ１０７）とを備えている。円グラフ５３の表示サイズは、異常件数に応じて変化する。このように処理ユニット２５ごとに異常件数の割合を示す円グラフ５３を含む評価結果画面５０が表示され、円グラフ５３の表示サイズは異常件数に応じて変化する。したがって、利用者は、評価結果画面５０を見たときに、表示された円グラフ５３に基づき、基板処理装置２０に含まれる複数の処理ユニット２５の状態を容易に把握し、複数の処理ユニット２５の中で緊急度の高い処理ユニット２５を容易に認識することができる。
評価結果画面５０は、円グラフ５３の内側に異常件数を含む。これにより、複数の処理ユニット２５の状態を少ない面積で表示することができる。異常件数の表示サイズは、異常件数に応じて変化する。したがって、利用者は、評価結果画面５０を見たときに、表示された異常件数に基づき、基板処理装置２０に含まれる複数の処理ユニット２５の状態を容易に把握し、複数の処理ユニット２５の中で緊急度の高い処理ユニット２５を容易に認識することができる。評価結果画面５０は、処理ユニット２５ごとに、異常件数の増減傾向を示す矢印５４をさらに含む。したがって、利用者は、矢印５４を見ることにより、各処理ユニット２５における異常件数の増減傾向を容易に認識することができる。評価結果画面５０は顔マーク６２をさらに含み、顔マーク６２の表情は、利用者による確認後に処理が完了した、評価値が異常である基板の枚数に応じて変化する。したがって、利用者は、顔マーク６２を見ることにより、評価値が異常である基板が最近どの程度検出されたかを容易に認識することができる。
本実施形態に係るデータ処理方法は、評価値計算ステップで求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択ステップ（Ｓ１０６）をさらに備え、結果表示ステップは、評価値選択ステップで選択された評価値に基づき評価結果画面５０を表示する。したがって、利用者は、特定の手順で基板を処理したときの処理ユニット２５の状態を容易に把握することができる。評価値選択ステップは、処理ユニット２５のグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値を選択し、結果表示ステップは、処理ユニット２５のグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づき評価結果画面９０を表示する（チャンバーグルーピング機能）。したがって、利用者は、基板に対してグループごとに異なる処理を行ったときの処理ユニット２５の状態を容易に認識することができる。
結果表示ステップは、評価結果画面５０、評価値を含むスコアリスト画面８２、および、時系列データ７のグラフを含む詳細画面８３を階層的に表示する。したがって、利用者は、評価値が異常である基板について評価値や時系列データ７を容易に解析することができる。結果表示ステップは、評価値計算ステップで求めた評価値と他のデータ処理装置で求めた評価値とに基づくサマリー画面９５を表示する。したがって、利用者は、サマリー画面９５を見たときに、複数の基板処理装置の状態を容易に把握することができる。基準データ８として他の時系列データを用いることにより、時系列データ７について好適な評価値を求めることができる。
本実施形態に係るデータ処理装置１０およびデータ処理プログラム４１は、上記のデータ処理方法と同様の特徴を有し、同様の効果を奏する。本実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置１０、および、データ処理プログラム４１によれば、利用者は、基板処理装置２０に含まれる複数の処理ユニット２５の状態を容易に把握し、複数の処理ユニットの中で緊急度の高い処理ユニット２５を容易に認識することができる。
なお、以上に述べたデータ処理方法では、評価結果画面５０は、スコアエラー件数５２、円グラフ５３、矢印５４、および、顔マーク６２を含むこととした。しかし、評価結果画面５０は、スコアエラー件数５２、円グラフ５３、矢印５４、および、顔マーク６２を必ずしもすべて含む必要はない。また、本実施形態に係るデータ処理方法は、期間フィルタ機能、スコアエラーの増減傾向を表示する機能、スコアエラーのプッシュ通知機能、レシピフィルタ機能、階層表示機能、チャンバーグルーピング機能、および、サマリー画面表示機能を有することとした。変形例に係るデータ処理方法では、上記の処理を全く有していなくてもよく、上記の処理から任意に選択した処理だけを有していてもよい。変形例に係るデータ処理装置およびデータ処理プログラムについても、これと同様である。
７…時系列データ
８…基準データ
９…スコア
１０…データ処理装置
１１…データ記憶部
１２…スコア計算部
１３…スコア記憶部
１４…フィルタ部
１５…結果表示部
１６…指示入力部
２０…基板処理装置
２５…処理ユニット
３０…コンピュータ
３１…ＣＰＵ
３２…メインメモリ
４０…記録媒体
４１…データ処理プログラム
５０、９０…評価結果画面
５１、９６…表示領域
５２…スコアエラー件数
５３…円グラフ
５４…矢印
５５…チェックマーク
６２、９７…顔マーク
８１…結果リスト画面
８２…スコアリスト画面
８３…詳細画面
９５…サマリー画面

Claims (20)

  1. 複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備え、
    前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする、データ処理方法。
  2. 前記評価結果画面は、前記円グラフの内側に前記異常件数を含むことを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  3. 前記異常件数の表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする、請求項２に記載のデータ処理方法。
  4. 前記評価結果画面は、前記処理ユニットごとに、前記異常件数の増減傾向を示す矢印をさらに含むことを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  5. 前記評価結果画面は顔マークをさらに含み、
    前記顔マークの表情は、利用者による確認後に処理が完了した、前記評価値が異常である基板の枚数に応じて変化することを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  6. 前記評価値計算ステップで求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択ステップをさらに備え、
    前記結果表示ステップは、前記評価値選択ステップで選択された評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  7. 前記評価値選択ステップは、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値を選択し、
    前記結果表示ステップは、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項６に記載のデータ処理方法。
  8. 前記結果表示ステップは、前記評価結果画面、前記評価値を含む画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面を階層的に表示することを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  9. 前記結果表示ステップは、前記評価値計算ステップで求めた評価値と他のデータ処理装置で求めた評価値とに基づくサマリー画面を表示することを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  10. 前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  11. 複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
    前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備え、
    前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする、データ処理装置。
  12. 前記評価結果画面は、前記円グラフの内側に前記異常件数を含むことを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  13. 前記異常件数の表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする、請求項１２に記載のデータ処理装置。
  14. 前記評価結果画面は、前記処理ユニットごとに、前記異常件数の増減傾向を示す矢印をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  15. 前記評価結果画面は顔マークをさらに含み、
    前記顔マークの表情は、利用者による確認後に処理が完了した、前記評価値が異常である基板の枚数に応じて変化することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  16. 前記評価値計算部で求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択部をさらに備え、
    前記結果表示部は、前記評価値選択部で選択された評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  17. 前記評価値選択部は、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値を選択し、
    前記結果表示部は、前記処理ユニットのグループごとに異なる処理を行った基板に関する評価値に基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項１６に記載のデータ処理装置。
  18. 前記結果表示部は、前記評価結果画面、前記評価値を含む画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面を階層的に表示することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  19. 前記結果表示部は、前記評価値計算部で求めた評価値と他のデータ処理装置で求めた評価値とに基づくサマリー画面を表示することを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  20. 複数の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記処理ユニットごとに、前記評価値が異常である基板の枚数を異常件数としたとき、処理された基板の枚数のうちで前記異常件数の割合を示す円グラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
    コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
    前記円グラフの表示サイズは、前記異常件数に応じて変化することを特徴とする、データ処理プログラム。
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