JP7074489B2 - データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム - Google Patents

データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム Download PDF

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Description

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、基板処理装置で測定されたデータの処理方法、処理装置、および、処理プログラムに関する。
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を時系列順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、これを分析して異常の発生箇所や原因を特定することができる。
半導体基板（以下、基板という）の製造工程では、複数の基板処理装置を用いて一連の処理が実行される。基板処理装置は、基板に対して一連の処理のうち特定の処理を行う複数の処理ユニットを含んでいる。各処理ユニットは、基板に対して予め定めた手順（レシピと呼ばれる）に従い処理を行う。このとき各処理ユニットにおける測定結果に基づき、時系列データが得られる。得られた時系列データを分析することにより、異常が発生した処理ユニットや異常の原因を特定することができる。
本願発明に関連して、特許文献１には、所定のサンプリング周期で計測器から測定データを収集するときに、基板処理装置の状態に応じてサンプリング周期を切り替えるデータ収集方法が記載されている。特許文献２には、複数の時系列データを複数のグループに分類し、各グループの異常度と各グループ内での時系列データの異常度とを求め、グループまたは時系列データを異常度に基づきランキングした結果を表示するデータ処理装置が記載されている。
特開２００８－４２００５号公報 特開２０１７－８３９８５号公報
しかしながら、特許文献１に記載されたデータ収集方法には、サンプリング周期を切り替えるタイミングが適切でないために、基板処理装置で異常が発生する前に詳細なデータを取得できないという問題がある。
それ故に、本発明は、基板処理装置で異常が発生する前に詳細なデータを取得できるデータ処理方法を提供することを目的とする。
本発明の第１の局面は、データ処理方法であって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを備え、
前記サンプリング周期制御ステップは、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第２の局面は、本発明の第１の局面において、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類を相互に関連づけて記憶する要因関連テーブルを用いて、前記他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第３の局面は、データ処理方法であって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを備え、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第４の局面は、本発明の第１～３のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記基板処理装置においてアラームが発生したときには、前記アラームに関連づけられた時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第５の局面は、本発明の第１～３のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの値が予め定めた閾値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第６の局面は、本発明の第１～３のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データのばらつきが予め定めた許容値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第７の局面は、本発明の第１～３のいずれかの局面において、
前記サンプリングステップは、前記基板処理装置で得られた測定データから前記サンプリング周期制御ステップで制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、前記時系列データを求めることを特徴とする。
本発明の第８の局面は、本発明の第１～３のいずれかの局面において、
前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする。
本発明の第９の局面は、データ処理装置であって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリング部と、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記サンプリング部で用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御部とを備え、
前記サンプリング周期制御部は、初期状態では前記サンプリング部で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１０の局面は、本発明の第９の局面において、
前記時系列データの種類を相互に関連づけて記憶する要因関連テーブルをさらに備え、
前記サンプリング周期制御部は、前記要因関連テーブルを用いて、前記他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１１の局面は、データ処理装置であって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリング部と、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記サンプリング部で用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御部と、
前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルとを備え、
前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
前記サンプリング周期制御部は、前記サンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリング部で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１２の局面は、本発明の第９～１１のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御部は、前記基板処理装置においてアラームが発生したときには、前記アラームに関連づけられた時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１３の局面は、本発明の第９～１１のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データの値が予め定めた閾値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１４の局面は、本発明の第９～１１のいずれかの局面において、
前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データのばらつきが予め定めた許容値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１５の局面は、本発明の第９～１１のいずれかの局面において、
前記サンプリング部は、前記基板処理装置で測定された測定データから前記サンプリング周期制御部で制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、前記時系列データを求めることを特徴とする。
本発明の第１６の局面は、データ処理プログラムであって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを、
コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記サンプリング周期制御ステップは、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする。
本発明の第１７の局面は、データ処理プログラムであって、
基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを、
コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする。
上記第１、第９または第１６の局面によれば、時系列データと基準データを比較して得られる評価値が異常であるときに、時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くすることにより、時系列データごとにサンプリング周期を好適なタイミングで切り替えて、基板処理装置で異常が発生する前に詳細なデータを取得することができる。
また、ある時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くするときに、関連する他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くすることにより、相互に関連する複数の時系列データについて詳細なデータを一緒に取得することができる。
上記第２または第１０の局面によれば、要因関連テーブルを用いることにより、他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を容易に制御することができる。
上記第３、第１１または第１７の局面によれば、時系列データと基準データを比較して得られる評価値が異常であるときに、時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くすることにより、時系列データごとにサンプリング周期を好適なタイミングで切り替えて、基板処理装置で異常が発生する前に詳細なデータを取得することができる。
また、サンプリング周期定義テーブルを用いることにより、時系列データを求めるときのサンプリング周期を容易に制御することができる。
また、自動復帰フラグを記憶したサンプリング周期定義テーブルを用いることにより、時系列データの特性に応じて、時系列データを求めるときのサンプリング周期を自動的に正常周期に制御することができる。
上記第４または第１２の局面によれば、基板処理装置においてアラームが発生したときに、発生したアラームに関連づけられた時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くして詳細なデータを取得することができる。
上記第５または第１３の局面によれば、基板処理装置の故障の予兆として時系列データの値が閾値を超えたときに、時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くして詳細なデータを取得することができる。
上記第６または第１４の局面によれば、時系列データのばらつきが許容値を超えたときに、時系列データを求めるときのサンプリング周期を短くして詳細なデータを取得することができる。
上記第７または第１５の局面によれば、基板処理装置で得られた測定データからデータを抽出することにより、所望の時系列データを求めることができる。
上記第８の局面によれば、基準データとして他の時系列データを用いることにより、時系列データについて好適な評価値を求めることができる。
本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。 図１に示す基板処理装置の概略構成を示す図である。 図１に示すデータ処理装置における時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 図１に示すデータ処理装置のサンプリング周期定義テーブルを示す図である。 図１に示すデータ処理装置の他のサンプリング周期定義テーブルを示す図である。 図１に示すデータ処理装置の他のサンプリング周期定義テーブルを示す図である。 図１に示すデータ処理装置の他のサンプリング周期定義テーブルを示す図である。 図１に示すデータ処理装置の要因関連テーブルを示す図である。 図１に示すデータ処理装置の動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置によるスコアエラーに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置において正常周期を用いた求めた時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置において異常周期を用いて求めた時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置によるアラームに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置による時系列データの値に基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置による時系列データのばらつきに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置の実装形態の第１例を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の実装形態の第２例を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の実装形態の第３例を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラムについて説明する。本実施形態に係るデータ処理方法は、典型的にはコンピュータを用いて実行される。本実施形態に係るデータ処理プログラムは、コンピュータを用いてデータ処理方法を実施するためのプログラムである。本実施形態に係るデータ処理装置は、典型的にはコンピュータを用いて構成される。データ処理プログラムを実行するコンピュータは、データ処理装置として機能する。
図１は、本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。図１に示すデータ処理装置１０は、サンプリング部１１、データ記憶部１２、スコア計算部１３、結果表示部１４、指示入力部１５、複数のサンプリング周期定義テーブル１６、要因関連テーブル１７、および、サンプリング周期制御部１８を備えている。データ処理装置１０は、基板処理装置２０に接続して用いられる。
基板処理装置２０は複数の処理ユニット２５を含み、各処理ユニット２５では処理ユニット２５の動作状態を示す複数の物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）が測定される。基板処理装置２０は、各処理ユニット２５で得られた測定データをデータ処理装置１０に対して出力する。
サンプリング部１１は、基板処理装置２０における物理量の測定結果に基づき時系列データ７を求める。より詳細には、サンプリング部１１は、基板処理装置２０で得られた測定データからある時間間隔（以下、サンプリング周期という）でデータを抽出することにより、時系列データ７を求める。サンプリング周期制御部１８は、サンプリング部１１で用いられるサンプリング周期を時系列データ７ごとに制御する。データ記憶部１２は、サンプリング部１１で求めた時系列データ７と、時系列データ７の期待値データである基準データ８とを記憶する。基準データ８には、例えば、多数の時系列データの中で期待値データとして最適と判断された他の時系列データが使用される。
スコア計算部１３は、データ記憶部１２に記憶された時系列データ７について評価値（以下、スコアという）を求める。スコア計算部１３は、データ記憶部１２から時系列データ７と対応する基準データ８とを読み出し、両者を比較することによりスコアを求める。スコア計算部１３は、時系列データ７の評価値を求める評価値計算部として機能する。結果表示部１４は、時系列データ７のスコアに基づく画面を表示する。
基板処理装置２０は、データ処理装置１０に対して、基板処理装置２０でアラームが発生したか否かを示すアラーム信号を出力する。指示入力部１５には、利用者（基板処理装置２０のオペレータ）からの指示が入力される。サンプリング周期定義テーブル１６は、時系列データの種類に対応づけて、少なくとも正常周期と異常周期を記憶する。要因関連テーブル１７は、処理ユニット２５ごとに、時系列データの種類を相互に関連づけて記憶する。サンプリング周期定義テーブル１６と要因関連テーブル１７の詳細は後述する。
サンプリング周期制御部１８には、データ記憶部１２に記憶された時系列データ７、スコア計算部１３で求めたスコア、基板処理装置２０から出力されたアラーム信号、および、指示入力部１５を用いて入力された利用者からの指示が入力される。サンプリング周期制御部１８は、これらの入力に基づき、サンプリング周期定義テーブル１６と要因関連テーブル１７を用いて、サンプリング部１１で用いられるサンプリング周期を時系列データ７ごとに制御する。サンプリング周期制御部１８は、初期状態ではサンプリング部１１で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、時系列データ７のスコアが異常であるときには、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を正常周期よりも短い異常周期に制御する。
図２は、基板処理装置２０の概略構成を示す図である。基板処理装置２０は、インデクサ部２１と処理部２２を備えている。インデクサ部２１は、複数のカセット保持部２３とインデクサロボット２４を含んでいる。処理部２２は、複数の処理ユニット２５と基板搬送ロボット２６を含んでいる。カセット保持部２３には、複数の基板を収容するカセット（図示せず）が載置される。インデクサロボット２４は、カセットから基板を取り出す動作と、カセットに基板を入れる動作とを行う。処理ユニット２５は、基板に対して処理を行うための空間（以下、チャンバーという）を有する。チャンバーは、処理ユニット２５と１対１に対応する。チャンバーの内部では、例えば、処理液を用いて基板を洗浄するなどの処理が行われる。基板搬送ロボット２６は、処理ユニット２５に基板を搬入する動作と、処理ユニット２５から基板を搬出する動作とを行う。処理ユニット２５の個数は、例えば２４個である。この場合、例えば、４個の処理ユニット２５を積層したタワー構造体が、基板搬送ロボット２６の周囲の６箇所に設けられる。
インデクサロボット２４は、カセット保持部２３に載置されたカセットから処理対象の基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介して基板搬送ロボット２６に渡す。基板搬送ロボット２６は、インデクサロボット２４から受け取った基板を対象の処理ユニット２５に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２６は、対象の処理ユニット２５から基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介してインデクサロボット２４に渡す。インデクサロボット２４は、基板搬送ロボット２６から受け取った基板を対象のカセットに入れる。インデクサ部２１と処理部２２の制御は、基板処理装置２０の制御部（図示せず）によって行われる。
以下、処理ユニット２５が１枚の基板に対して行う処理を「単位処理」という。単位処理の実行中に、処理ユニット２５では、センサなどを用いて複数の物理量が測定される。サンプリング部１１は、処理ユニット２５で測定された測定データに基づき、時系列データ７を求める。基板処理装置２０が１回の単位処理を行うと、複数の時系列データ７が得られる。時系列データ７をグラフ化して示すと、例えば図３に実線で示すようになる。対応する基準データ８をグラフ化して示すと、例えば図３に破線で示すようになる。図３に示す例では、時系列データ７は、基準データ８と比べて立ち上がり時に遅れている。
図４は、データ処理装置１０として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。図４に示すコンピュータ３０は、ＣＰＵ３１、メインメモリ３２、記憶部３３、入力部３４、表示部３５、通信部３６、および、記録媒体読み取り部３７を備えている。メインメモリ３２には、例えば、ＤＲＡＭが使用される。記憶部３３には、例えば、ハードディスクが使用される。入力部３４には、例えば、キーボード３８やマウス３９が含まれる。表示部３５には、例えば、液晶ディスプレイが使用される。通信部３６は、有線通信または無線通信のインターフェイス回路である。基板処理装置２０との間の通信は、通信部３６を用いて行われる。記録媒体読み取り部３７は、プログラムなどを記録した記録媒体４０のインターフェイス回路である。記録媒体４０には、例えば、ＣＤ－ＲＯＭなどの非一過性の記録媒体が使用される。なお、以上に述べたコンピュータ３０の構成は一例に過ぎず、任意のコンピュータを用いてデータ処理装置１０を構成することができる。
以下、コンピュータ３０がデータ処理装置１０として機能する場合について説明する。この場合、記憶部３３は、データ処理プログラム４１と基準データ８を記憶する。データ処理プログラム４１と基準データ８は、例えば、サーバや他のコンピュータから通信部３６を用いて受信したものでもよく、記録媒体４０から記録媒体読み取り部３７を用いて読み出したものでもよい。データ処理プログラム４１を実行するときには、データ処理プログラム４１と基準データ８はメインメモリ３２に複写転送される。ＣＰＵ３１は、メインメモリ３２を作業用メモリとして利用して、メインメモリ３２に記憶されたデータ処理プログラム４１を実行することにより、基板処理装置２０から出力された測定データに基づき時系列データ７を求める処理、時系列データ７のスコアを求める処理、スコアに基づき時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を制御する処理などを行う。このときコンピュータ３０は、データ処理装置１０として機能する。
データ処理装置１０は、図５Ａ～図５Ｄに示す４個のサンプリング周期定義テーブル１６ａ～１６ｄと、図６に示す要因関連テーブル１７とを備えている。データ処理装置１０と基板処理装置２０が動作を開始する前に、サンプリング周期定義テーブル１６ａ～１６ｄと要因関連テーブル１７には、図面に記載したデータが予め記憶されている。
図７は、データ処理装置１０の動作を示すフローチャートである。データ処理装置１０は、ＣＰＵ３１がメインメモリ３２を利用してデータ処理プログラム４１を実行することにより、図７に示す処理を行う。
図７に示すように、サンプリング周期制御部１８は、まず、サンプリング部１１で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１０１）。ステップＳ１０１において、サンプリング周期制御部１８は、すべての時系列データ７について、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期をサンプリング周期定義テーブル１６ａ～１６ｄに記憶された正常周期に設定する。
データ処理装置１０がステップＳ１０１を実行した後、基板処理装置２０は基板に対する処理を開始する。基板処理装置２０が１回の単位処理を行うと、複数の測定データが得られる。複数の測定データは、基板処理装置２０からデータ処理装置１０に対して出力される。データ処理装置１０は、基板処理装置２０から複数の測定データが出力されるたびに、ステップＳ１０２～Ｓ１１０を実行する。
サンプリング部１１には、単位処理を行ったときに得られた複数の測定データが入力される（ステップＳ１０２）。次に、サンプリング部１１は、ステップＳ１０２で入力された複数の測定データに基づき、複数の時系列データ７を求める（ステップＳ１０３）。ステップＳ１０３において、サンプリング部１１は、基板処理装置２０から出力された複数の測定データから時系列データ７ごとに制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、時系列データ７を求める。
次に、データ記憶部１２は、ステップＳ１０３で求めた複数の時系列データ７を記憶する（ステップＳ１０４）。次に、スコア計算部１３は、データ記憶部１２に記憶された複数の時系列データ７のスコアを求める（ステップＳ１０５）。ステップＳ１０５において、スコア計算部１３は、各時系列データ７と対応する基準データ８とを比較することによりスコアを求める。次に、結果表示部１４は、ステップＳ１０５で求めたスコアに基づく画面を表示する（ステップＳ１０６）。結果表示部１４が表示する画面は、時系列データ７のスコアに基づく限り任意でよい。
次に、サンプリング周期制御部１８は、スコアエラーに基づくサンプリング周期制御を行う（ステップＳ１１０）。図８は、スコアエラーに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。ステップＳ１１０において、サンプリング周期制御部１８は、スコアの状態が変化した時系列データ７（スコアが正常から異常に、または、その逆に変化した時系列データ）について、図８に示す処理を行う。以下、ステップＳ１１０で処理される時系列データをＳＱ１という。
図５Ａに示すサンプリング周期定義テーブル１６ａは、時系列データの種類に対応づけて、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶している。正常周期は、正常時のサンプリング周期をｍｓｅｃ（ミリ秒）単位で示す。異常周期は、異常時のサンプリング周期をｍｓｅｃ単位で示す。異常周期は、正常周期よりも短い。異常周期は、例えば、正常周期の１／３以下に設定される。自動復帰フラグは、ＴＲＵＥまたはＦＡＬＳＥの値を取る。値ＴＲＵＥは自動復帰が有効であることを示し、値ＦＡＬＳＥは自動復帰が無効であることを示す。
図８において、サンプリング周期制御部１８は、まず、時系列データＳＱ１のスコアが異常か否か（スコアエラーが発生したか否か）を判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１１２へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１１５へ進む（ステップＳ１１１）。
ステップＳ１１１でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期が正常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１１３へ進む（ステップＳ１１２）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１１３）。ステップＳ１１３において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ａから時系列データＳＱ１の種類に対応した異常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期を読み出した異常周期に設定する。
次に、サンプリング周期制御部１８は、必要に応じて他のサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１１４）。図６に示す要因関連テーブル１７は、処理ユニット２５ごとに、時系列データ７の種類を相互に関連づけて記憶している。時系列データＳＱ１に対応した処理ユニット２５がＰＵであり、要因関連テーブル１７の処理ユニットＰＵの欄に時系列データＳＱ１の種類が記憶されている場合には、サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１１４において、当該欄に記憶された他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する。
ステップＳ１１１でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期が異常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１１６へ進む（ステップＳ１１５）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、自動復帰を行うか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１１８へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１１７へ進む（ステップＳ１１６）。ステップＳ１１６において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ａから時系列データＳＱ１の種類に対応した自動復帰フラグを読み出し、自動復帰フラグがＴＲＵＥの場合にはステップＳ１１８へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１１７へ進む。
ステップＳ１１６でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が入力されたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１１８へ進む（ステップＳ１１７）。時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期が異常周期に制御された場合、利用者は、スコアエラーの状態を確認したり、スコアエラーの状態を回復するための操作を行ったりした後、指示入力部１５を用いて復帰指示を入力する。利用者が入力した復帰指示は、サンプリング周期制御部１８の内部に保持される。ステップＳ１１７において、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が既に入力されていた場合にはステップＳ１１８へ進む。
ステップＳ１１６またはＳ１１７でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１１８）。ステップＳ１１８において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ａから時系列データＳＱ１の種類に対応した正常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ１を求めるときのサンプリング周期を読み出した正常周期に設定する。
次に、サンプリング周期制御部１８は、必要に応じて他のサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１１９）。時系列データＳＱ１に対応した処理ユニット２５がＰＵであり、要因関連テーブル１７の処理ユニットＰＵの欄に時系列データＳＱ１の種類が記憶されている場合には、サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１１９において、当該欄に記憶された他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する。サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１１４またはＳ１１９を行った後、もしくは、ステップＳ１１２、Ｓ１１５またはＳ１１７でＮｏと判断した後に、ステップＳ１１０を終了する。
例えば、ある時系列データを求めるときの正常周期が３００ｍｓｅｃ、異常周期が１００ｍｓｅｃであるとする。図９Ａは、正常周期を用いて求めた時系列データをグラフ化して示す図である。利用者は、図９Ａに示すグラフを見ても、時系列データの小さな変化を認識することができない。データ処理装置１０では、時系列データのスコアが異常である場合、サンプリング周期制御部１８は時系列データを求めるときのサンプリング周期を異常周期（１００ｍｓｅｃ）に制御する。図９Ｂは、異常周期を用いて求めた時系列データをグラフ化して示す図である。利用者は、図９Ｂに示すグラフを見たときに、時系列データの小さな変化を容易に認識することができる。
サンプリング周期制御部１８は、図８に示すサンプリング周期制御に加えて、図１０～図１２に示すサンプリング周期制御を行う。図１０～図１２に示すサンプリング周期制御は、図７に示す処理を行っている間に所定の条件が成立したときに行われる。
図１０は、アラームに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。上述したように、データ処理装置１０には、基板処理装置２０でアラームが発生したか否か示すアラーム信号が入力される。サンプリング周期制御部１８は、発生状況が変化したアラーム（「あり」から「なし」に、または、その逆に変化したアラーム）について、図１０に示す処理を行う。以下、ステップＳ１２０で処理されるアラームをＡＬ、アラームＡＬに関連づけられた時系列データをＳＱ２という。
図５Ｂに示すサンプリング周期定義テーブル１６ｂは、アラームの種類に対応づけて、時系列データの種類、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶している。サンプリング周期定義テーブル１６ｂは、時系列データの種類に対応づけて、アラームの種類、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶しているとも言える。
図１０において、サンプリング周期制御部１８は、まず、アラームＡＬが発生したか否か（アラームが発生したか解消したか）を判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１２２へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１２５へ進む（ステップＳ１２１）。
ステップＳ１２１でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、アラームＡＬに対応づけられた時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期が正常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１２３へ進む（ステップＳ１２２）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１２３）。ステップＳ１２３において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｂからアラームＡＬおよび時系列データＳＱ２の種類に対応した異常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期を読み出した異常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１４と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１２４）。
ステップＳ１２１でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期が異常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１２６へ進む（ステップＳ１２５）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、自動復帰を行うか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１２８へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１２７へ進む（ステップＳ１２６）。ステップＳ１２６において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｂからアラームＡＬおよび時系列データＳＱ２の種類に対応した自動復帰フラグを読み出し、自動復帰フラグがＴＲＵＥの場合にはステップＳ１２８へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１２７へ進む。
ステップＳ１２６でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が入力されたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１２８へ進む（ステップＳ１２７）。アラームＡＬが発生した場合、利用者は、アラームＡＬの原因を調査したり、アラームＡＬを解除するための操作を行ったりした後、指示入力部１５を用いて復帰指示を入力する。ステップＳ１２７において、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が既に入力されていた場合にはステップＳ１２８へ進む。
ステップＳ１２６またはＳ１２７でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１２８）。ステップＳ１２８において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｂからアラームＡＬおよび時系列データＳＱ２の種類に対応した正常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ２を求めるときのサンプリング周期を読み出した正常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１９と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１２９）。サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１２４またはＳ１２９を行った後、もしくは、ステップＳ１２２、Ｓ１２５またはＳ１２７でＮｏと判断した後に、ステップＳ１２０を終了する。
図１１は、時系列データの値に基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。図５Ｃに示すサンプリング周期定義テーブル１６ｃは、部品の種類に対応づけて、時系列データの種類、上限値、上限比率、下限値、下限比率、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶している。サンプリング周期定義テーブル１６ｃは、時系列データの種類に対応づけて、部品の種類、上限値、上限比率、下限値、下限比率、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶しているとも言える。サンプリング周期制御部１８は、値と閾値との大小関係が変化した時系列データ７（値が「閾値を超えていない」から「閾値を超えている」に、または、その逆に変化した時系列データ）について、図１１に示す処理を行う。以下、ステップＳ１３０で処理される時系列データをＳＱ３という。
上限値は、時系列データの上限値を示す。上限比率は、時系列データの上限値に対する時系列データの上側閾値の割合を百分率で示す。下限値は、時系列データの下限値を示す。下限比率は、時系列データの下限値に対する、時系列データの下側閾値と時系列データの下限値との差の比率を百分率で示す。例えば、図５Ｃに示すサンプリング周期定義テーブル１６ｃの部品「温度センサ」の欄には、上限値６０℃、上限比率９０％、下限値１５℃、および、下限比率２０％が記憶されている。この場合、時系列データの上側閾値は６０×９０／１００＝５４℃であり、下側閾値は１５×（１００＋２０）／１００＝１８℃である。
図１１において、サンプリング周期制御部１８は、まず、時系列データＳＱ３の値が閾値を超えたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１３２へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１３５へ進む（ステップＳ１３１）。ステップＳ１３１において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｃから時系列データＳＱ３の種類に対応した上限値、上限比率、下限値、および、下限比率を読み出し、時系列データＳＱ３の値が（上限値×上限比率）を超えている場合、または、時系列データＳＱ３の値が｛下限値×（１＋下限比率）｝未満の場合にはステップＳ１３２へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１３５へ進む。
ステップＳ１３１でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期が正常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１３３へ進む（ステップＳ１３２）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１３３）。ステップＳ１３３において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｃから時系列データＳＱ３の種類に対応した異常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期を読み出した異常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１４と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１３４）。
ステップＳ１３１でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期が異常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１３６へ進む（ステップＳ１３５）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、自動復帰を行うか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１３８へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１３７へ進む（ステップＳ１３６）。ステップＳ１３６において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｃから時系列データＳＱ３の種類に対応した自動復帰フラグを読み出し、自動復帰フラグがＴＲＵＥの場合にはステップＳ１３８へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１３７へ進む。
ステップＳ１３６でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が入力されたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１３８へ進む（ステップＳ１３７）。時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期が異常周期に制御された場合、利用者は、時系列データＳＱ３に対応する部品を交換したり、調整したりした後、指示入力部１５を用いて復帰指示を入力する。ステップＳ１３７において、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が既に入力されていた場合にはステップＳ１３８へ進む。
ステップＳ１３６またはＳ１３７でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１３８）。ステップＳ１３８において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｃから時系列データＳＱ３の種類に対応した正常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ３を求めるときのサンプリング周期を読み出した正常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１９と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１３９）。サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１３４またはＳ１３９を行った後、もしくは、ステップＳ１３２、Ｓ１３５またはＳ１３７でＮｏと判断した後に、ステップＳ１３０を終了する。
図５Ｃに示すサンプリング周期定義テーブル１６ｃの部品「ＰＬＣバッテリー」の欄には、下限値３００ｍＶ、下限比率５０％、正常周期５０００ｍｓｅｃ、および、異常周期５００ｍｓｅｃが記憶されている。なお、ＰＬＣは、プログラマブルコントローラ（Programmable Controller ）の略語である。時系列データを求めるときのサンプリング周期は、ステップＳ１０１において、５０００ｍｓｅｃに制御される。時系列データの下側閾値は、３００×（１００＋５０）／１００＝４５０である。したがって、ＰＬＣバッテリー値が４５０ｍＶ未満になると、時系列データを求めるときのサンプリング周期は５００ｍｓｅｃに設定される。
図１２は、時系列データのばらつきに基づくサンプリング周期制御の詳細を示すフローチャートである。図５Ｄに示すサンプリング周期定義テーブル１６ｄは、時系列データの種類に対応して、標準偏差、正常周期、異常周期、および、自動復帰フラグを記憶している。標準偏差は、時系列データのばらつきの許容値を示す。サンプリング周期制御部１８は、ばらつきと許容値との大小関係が変化した時系列データ７（ばらつきが「許容値を超えていない」から「許容値を超えている」に、または、その逆に変化した時系列データ）について、図１２に示す処理を行う。以下、ステップＳ１４０で処理される時系列データをＳＱ４という。
図１２において、サンプリング周期制御部１８は、まず、時系列データＳＱ４のばらつきが許容値を超えたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１４２へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１４５へ進む（ステップＳ１４１）。ステップＳ１４１において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｄから時系列データＳＱ４の種類に対応した標準偏差を読み出し、時系列データＳＱ４のばらつきが標準偏差を超えている場合にはステップＳ１４２へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１４５へ進む。
ステップＳ１４１でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期が正常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１４３へ進む（ステップＳ１４２）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１４３）。ステップＳ１４３において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｄから時系列データＳＱ４の種類に対応した異常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期を読み出した異常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１４と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を異常周期に制御する（ステップＳ１４４）。
ステップＳ１４１でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期が異常周期か否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１４６へ進む（ステップＳ１４５）。この場合、サンプリング周期制御部１８は、自動復帰を行うか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１４８へ進み、Ｎｏの場合にはステップＳ１４７へ進む（ステップＳ１４６）。ステップＳ１４６において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｄから時系列データＳＱ４の種類に対応した自動復帰フラグを読み出し、自動復帰フラグがＴＲＵＥの場合にはステップＳ１４８へ進み、それ以外の場合にはステップＳ１４７へ進む。
ステップＳ１４６でＮｏの場合、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が入力されたか否かを判断し、Ｙｅｓの場合にはステップＳ１４８へ進む（ステップＳ１４７）。時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期が異常周期に制御された場合、利用者は、時系列データ７のばらつきを許容値以内にするための操作を行った後、指示入力部１５を用いて復帰指示を入力する。ステップＳ１４７において、サンプリング周期制御部１８は、復帰指示が既に入力されていた場合にはステップＳ１４８へ進む。
ステップＳ１４６またはＳ１４７でＹｅｓの場合、サンプリング周期制御部１８は、時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１４８）。ステップＳ１４８において、サンプリング周期制御部１８は、サンプリング周期定義テーブル１６ｄから時系列データＳＱ４の種類に対応した正常周期を読み出し、次回以降に時系列データＳＱ４を求めるときのサンプリング周期を読み出した正常周期に設定する。次に、サンプリング周期制御部１８は、図８に示すステップＳ１１９と同様に、要因関連テーブル１７を参照して、必要に応じて他のサンプリング周期を正常周期に制御する（ステップＳ１４９）。サンプリング周期制御部１８は、ステップＳ１４４またはＳ１４９を行った後、もしくは、ステップＳ１４２、Ｓ１４５またはステップＳ１４７でＮｏと判断した後に、ステップＳ１４０を終了する。
以上に示すフローチャートにおいて、サンプリング部１１が行うステップＳ１０２およびＳ１０３は、サンプリングステップに該当する。スコア計算部１３が行うステップＳ１０５は、評価値計算ステップに該当する。サンプリング周期制御部１８が行うステップＳ１０１、Ｓ１１０、Ｓ１２０、Ｓ１３０およびＳ１４０は、サンプリング周期制御ステップに該当する。
図１３Ａ～図１３Ｃは、それぞれ、データ処理装置１０の実装形態の第１～第３例を示す図である。第１～第３例では、基板処理装置２０の外部にコンピュータ３０が設けられ、コンピュータ３０がＣＰＵ３１を用いてデータ処理プログラム４１を実行することにより、データ処理装置１０の全部または一部が実現される。
図１３Ａに示す第１例は、図１に記載したものと同じである。第１例では、基板処理装置２０の外部に設けられたコンピュータ３０が、データ処理装置１０として機能する。基板処理装置２０では、アナログ信号のサンプリング（アナログ信号の標本化と量子化）が固定のサンプリング周期で行われる。サンプリング部１１で用いられるサンプリング周期にかかわらず、基板処理装置２０からコンピュータ３０には同じ量の測定データが出力される。コンピュータ３０によって実現されるサンプリング部１１は、基板処理装置２０から出力された測定データからサンプリング周期制御部１８で制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、時系列データ７を求める。
図１３Ｂに示す第２例では、データ処理装置１０のうちサンプリング部１１は基板処理装置２０に含まれ、他の部分はコンピュータ３０によって実現される。基板処理装置２０では、アナログ信号のサンプリングが固定のサンプリング周期で行われる。サンプリング周期制御部１８は、基板処理装置２０に含まれるサンプリング部１１に対して、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を示す制御信号ＣＳ１を出力する。サンプリング部１１は、基板処理装置２０で測定された測定データから制御信号ＣＳ１が示すサンプリング周期でデータを抽出することにより、時系列データ７を求める。サンプリング部１１で求めた時系列データ７は、コンピュータ３０に対して出力される。基板処理装置２０からコンピュータ３０には、サンプリング部１１で用いられるサンプリング周期に応じた量の時系列データ７が出力される。
図１３Ｃに示す第３例では、データ処理装置１０のうちサンプリング部１１は基板処理装置２０に含まれ、他の部分はコンピュータ３０によって実現される。サンプリング周期制御部１８は、基板処理装置２０に含まれるサンプリング部１１に対して、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を示す制御信号ＣＳ１を出力する。サンプリング部１１は、基板処理装置２０の内部でアナログ信号のサンプリング（アナログ信号の標本化と量子化）を制御信号ＣＳ１が示すサンプリング周期で行うことにより、時系列データ７を求める。サンプリング部１１で求めた時系列データ７は、コンピュータ３０に対して出力される。基板処理装置２０からコンピュータ３０には、サンプリング部１１で用いられるサンプリング周期に応じた量の時系列データ７が出力される。
第１～第３例のいずれでも、サンプリング部１１は基板処理装置２０における物理量の測定結果に基づき、時系列データ７を求める。データ処理装置１０は、第１～第３例のいずれの形態に実装されていてもよい。
本実施形態に係るデータ処理方法は、基板処理装置２０における物理量の測定結果に基づき時系列データ７を求めるサンプリングステップ（Ｓ１０２、Ｓ１０３）と、時系列データ７と基準データ８とを比較することにより、時系列データ７の評価値（スコア）を求める評価値計算ステップ（Ｓ１０５）と、サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を時系列データ７ごとに制御するサンプリング周期制御ステップ（Ｓ１０１、Ｓ１１０、Ｓ１２０、Ｓ１３０、Ｓ１４０）とを備えている。サンプリング周期制御ステップは、初期状態ではサンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し（Ｓ１０１）、時系列データ７の評価値が異常であるときには、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を正常周期よりも短い異常周期に制御する（Ｓ１１３）。このように時系列データ７と基準データ８を比較して得られる評価値が異常であるときに、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を短くすることにより、時系列データ７ごとにサンプリング周期を好適なタイミングで切り替えて、基板処理装置２０で異常が発生する前に詳細なデータを取得することができる。
サンプリング周期制御ステップは、基板処理装置２０においてアラームが発生したときには、アラームに関連づけられた時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（Ｓ１２３）。したがって、基板処理装置２０においてアラームが発生したときに、発生したアラームに関連づけられた時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を短くして詳細なデータを取得することができる。サンプリング周期制御ステップは、時系列データ７の値が予め定めた閾値を超えたときや、時系列データ７のばらつきが予め定めた許容値を超えたときにも、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（Ｓ１３３、Ｓ１４３）。したがって、基板処理装置２０の故障の予兆として時系列データ７の値が閾値を超えたときや、時系列データ７のばらつきが許容値を超えたときに、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を短くして詳細なデータを取得することができる。
サンプリング周期制御ステップは、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御するときに、時系列データ７に関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する（Ｓ１１４、Ｓ１２４、Ｓ１３４、Ｓ１４４）。したがって、相互に関連する複数の時系列データ７について詳細なデータを一緒に取得することができる。サンプリング周期制御ステップは、時系列データ７の種類を相互に関連づけて記憶する要因関連テーブル１７を用いて、他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御する。したがって、他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を容易に制御することができる。
サンプリング周期制御ステップは、時系列データ７の種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブル１６を用いて、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を制御する。したがって、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を容易に制御することができる。サンプリング周期定義テーブル１６は、時系列データ７の種類に対応づけて自動復帰フラグを記憶し、サンプリング周期制御ステップは、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、サンプリング周期定義テーブル１６に記憶された時系列データ７に対応した自動復帰フラグが有効のときには、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を正常周期に制御する（Ｓ１１８、Ｓ１２８、Ｓ１３８、Ｓ１４８）。したがって、時系列データ７の特性に応じて、時系列データ７を求めるときのサンプリング周期を自動的に正常周期に制御することができる。
サンプリングステップは、基板処理装置２０で測定された測定データから、サンプリング周期制御ステップで制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、時系列データ７を求めてもよい。また、基準データ８として他の時系列データを用いることにより、時系列データ７について好適な評価値を求めることができる。
本実施形態に係るデータ処理装置１０およびデータ処理プログラム４１は、上記のデータ処理方法と同様の特徴を有し、同様の効果を奏する。本実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置１０、および、データ処理プログラム４１によれば、時系列データごとにサンプリング周期を好適なタイミングで切り替えて、基板処理装置２０で異常が発生する前に詳細なデータを取得することができる。
なお、以上に述べたデータ処理方法では、サンプリング周期制御ステップにおいて、ステップＳ１０１およびＳ１１０に加えて、ステップＳ１２０、Ｓ１３０およびＳ１４０を行うこととした。しかし、サンプリング周期制御ステップにおいて、ステップＳ１２０、Ｓ１３０およびＳ１４０を必ずしもすべて行う必要はない。変形例に係るデータ処理方法では、サンプリング周期制御ステップにおいて、ステップＳ１２０、Ｓ１３０およびＳ１４０を全く行わなくてもよく、あるいは、ステップＳ１２０、Ｓ１３０およびＳ１４０の中から任意に選択したものだけを行ってもよい。変形例に係るデータ処理装置およびデータ処理プログラムについても、これと同様である。
７…時系列データ
８…基準データ
１０…データ処理装置
１１…サンプリング部
１２…データ記憶部
１３…スコア計算部
１４…結果表示部
１５…指示入力部
１６…サンプリング周期定義テーブル
１７…要因関連テーブル
１８…サンプリング周期制御部
２０…基板処理装置
２５…処理ユニット
３０…コンピュータ
３１…ＣＰＵ
３２…メインメモリ
４０…記録媒体
４１…データ処理プログラム

Claims (17)

  1. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを備え、
    前記サンプリング周期制御ステップは、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、データ処理方法。
  2. 前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類を相互に関連づけて記憶する要因関連テーブルを用いて、前記他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  3. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを備え、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする、データ処理方法。
  4. 前記サンプリング周期制御ステップは、前記基板処理装置においてアラームが発生したときには、前記アラームに関連づけられた時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  5. 前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの値が予め定めた閾値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  6. 前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データのばらつきが予め定めた許容値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  7. 前記サンプリングステップは、前記基板処理装置で得られた測定データから前記サンプリング周期制御ステップで制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、前記時系列データを求めることを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  8. 前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  9. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリング部と、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
    前記サンプリング部で用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御部とを備え、
    前記サンプリング周期制御部は、初期状態では前記サンプリング部で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、データ処理装置。
  10. 前記時系列データの種類を相互に関連づけて記憶する要因関連テーブルをさらに備え、
    前記サンプリング周期制御部は、前記要因関連テーブルを用いて、前記他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項９に記載のデータ処理装置。
  11. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリング部と、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
    前記サンプリング部で用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御部と、
    前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルとを備え、
    前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
    前記サンプリング周期制御部は、前記サンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリング部で用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする、データ処理装置。
  12. 前記サンプリング周期制御部は、前記基板処理装置においてアラームが発生したときには、前記アラームに関連づけられた時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項９～１１のいずれかに記載のデータ処理装置。
  13. 前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データの値が予め定めた閾値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項９～１１のいずれかに記載のデータ処理装置。
  14. 前記サンプリング周期制御部は、前記時系列データのばらつきが予め定めた許容値を超えたときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、請求項９～１１のいずれかに記載のデータ処理装置。
  15. 前記サンプリング部は、前記基板処理装置で測定された測定データから前記サンプリング周期制御部で制御されたサンプリング周期でデータを抽出することにより、前記時系列データを求めることを特徴とする、請求項９～１１のいずれかに記載のデータ処理装置。
  16. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを、
    コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
    前記サンプリング周期制御ステップは、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御するときに、前記時系列データに関連づけられた他の時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御することを特徴とする、データ処理プログラム。
  17. 基板処理装置における物理量の測定結果に基づき時系列データを求めるサンプリングステップと、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記サンプリングステップで用いられるサンプリング周期を前記時系列データごとに制御するサンプリング周期制御ステップとを、
    コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データの種類に対応づけて正常周期と異常周期を記憶するサンプリング周期定義テーブルを用いて、初期状態では前記サンプリングステップで用いられるすべてのサンプリング周期を正常周期に制御し、前記時系列データの評価値が異常であるときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期よりも短い異常周期に制御し、
    前記サンプリング周期定義テーブルは、前記時系列データの種類に対応づけて自動復帰フラグをさらに記憶し、
    前記サンプリング周期制御ステップは、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記異常周期に制御したときの原因が解消され、かつ、前記サンプリング周期定義テーブルに記憶された前記時系列データに対応した自動復帰フラグが有効のときには、前記時系列データを求めるときのサンプリング周期を前記正常周期に制御することを特徴とする、データ処理プログラム。
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