JP7181033B2 - データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム - Google Patents

データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム Download PDF

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Description

本発明は、デジタルデータ処理に関し、特に、基板処理装置で測定されたデータの処理方法、処理装置、および、処理プログラムに関する。
機器や装置の異常を検出する方法として、機器や装置の動作状態を示す物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など）をセンサなどを用いて測定し、測定結果を時系列順に並べて得られた時系列データを分析する方法が知られている。機器や装置が同じ条件で同じ動作を行う場合、異常がなければ、時系列データは同様に変化する。そこで、同様に変化する複数の時系列データを相互に比較して異常な時系列データを検出し、これを分析して異常の発生箇所や原因を特定することができる。
半導体基板（以下、基板という）の製造工程では、複数の基板処理装置を用いて一連の処理が実行される。基板処理装置は、基板に対して一連の処理の中の特定の処理を行う１以上の処理ユニットを含んでいる。処理ユニットは、基板に対して予め定めた手順（レシピと呼ばれる）に従い処理を行う。このとき処理ユニットにおける測定結果に基づき、時系列データが得られる。得られた時系列データを分析することにより、異常が発生した処理ユニットや異常の原因を特定することができる。
本願発明に関連して、特許文献１には、独立して発生するエラーについてはエラー情報を第１階層に表示し、先行するエラーに起因して発生するエラーについてはエラー情報を第２階層以下の下位層エリアに表示するエラー出力方法が記載されている。特許文献２には、各種の情報を表示するためのスクリーンを含む半導体システムプロセス用のグラフィカル・ユーザ・インターフェイスが記載されている。
特開２００１－２６５４３１号公報 国際公開第２００３／８５５０４号
基板処理装置では、多数の測定結果に基づき多数の時系列データが得られる。このため、利用者（基板処理装置のオペレータ）は、時系列データのすべての異常を含む表示画面を見たときに、基板処理装置の状態を容易に把握することができない。
それ故に、本発明は、基板処理装置の状態を容易に把握できるデータ処理方法を提供することを目的とする。
本発明の第１の局面は、１以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備え、
前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される。
本発明の第２の局面は、本発明の第１の局面において、
前記第１のグラフは、円グラフまたは帯グラフであることを特徴とする。
本発明の第３の局面は、本発明の第１または第２の局面において、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする。
本発明の第４の局面は、本発明の第１～第３のいずれかの局面において、
前記第２のグラフは、棒グラフまたは折れ線グラフであることを特徴とする。
本発明の第５の局面は、本発明の第１～第４のいずれかの局面において、
前記レベル判定ステップで求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択ステップをさらに備え、
前記結果表示ステップは、前記レベル選択ステップで選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第６の局面は、本発明の第５の局面において、
前記レベル選択ステップは、少なくとも基板の処理期間、基板に対する処理、および、基板を処理した処理ユニットのいずれかを条件として、前記レベルを選択することを特徴とする。
本発明の第７の局面は、本発明の第１～第６のいずれかの局面において、
前記結果表示ステップは、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする。
本発明の第８の局面は、本発明の第７の局面において、
前記結果表示ステップは、前記トレンド画面を表示し、
前記トレンド画面内のグラフには、前記履歴画面内で選択された処理結果に対応する位置にマークが付けられていることを特徴とする。
本発明の第９の局面は、本発明の第１～第８のいずれかの局面において、
前記結果表示ステップは、集計期間内に処理された基板について前記評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を示すグラフと、前記集計期間内に処理された基板について前記評価値の最悪レベルの発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示すグラフとを含むログ統計画面を表示することを特徴とする。
本発明の第１０の局面は、本発明の第１～第９のいずれかの局面において、
前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする。
本発明の第１１の局面は、１以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定部と、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備え、
前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される。
本発明の第１２の局面は、本発明の第１１の局面において、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする。
本発明の第１３の局面は、本発明の第１１または第１２の局面において、
前記レベル判定部で求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択部をさらに備え、
前記結果表示部は、前記レベル選択部で選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
本発明の第１４の局面は、本発明の第１１～第１３のいずれかの局面において、
前記結果表示部は、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする。
本発明の第１５の局面は、１以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される。
上記第１、第１１または第１５の局面によれば、処理ユニットについて、評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面が表示される。第１のグラフは、悪いレベルほど濃い色で表示される。したがって、利用者は、第１のグラフを見ることにより、処理ユニットにおいて各レベル（特に、最悪レベル）がどの程度の割合で発生しているかを容易に認識することができる。特に、基板処理装置が複数の処理ユニットを含む場合には、利用者は、複数の第１のグラフを相互に比較することにより、いずれの処理ユニットで最悪レベルが高い割合で発生しているかを容易に認識することができる。このように利用者は、基板処理装置の状態を容易に把握することができる。また、利用者は、第２のグラフを見ることにより、最悪レベルの発生状況の時間的変化を知り、処理ユニットが異常状態に近づいているか否かを認識することができる。
上記第２の局面によれば、第１のグラフとして円グラフまたは帯グラフを用いることにより、評価値の各レベルの発生割合を容易に示すことができる。
上記第３または第１２の局面によれば、利用者は、処理ユニットにおける評価値の各レベルの発生回数の正確な値を知ることができる。
上記第４の局面によれば、第２のグラフとして棒グラフまたは折れ線グラフを用いることにより、最悪レベルの発生状況の時間的変化を容易に示すことができる。
上記第５または第１３の局面によれば、評価結果画面は、条件を満たす基板に関する評価値のレベルに基づき表示される。したがって、利用者は、好適な条件を与えて、基板処理装置の状態を容易に把握することができる。
上記第６の局面によれば、利用者は、特定の期間における処理ユニットの状態、特定の処理を行ったときの処理ユニットの状態、および、特定の処理ユニットの状態を容易に把握することができる。
上記第７または第１４の局面によれば、各種の画面を階層的に表示することにより、利用者は、悪いレベルの評価値を有する基板について時系列データや評価値を容易に解析することができる。
上記第８の局面によれば、利用者は、履歴画面内で選択した処理結果に対応する、トレンド画面内のグラフ上の位置を容易に認識することができる。
上記第９の局面によれば、利用者は、ログ統計画面を見ることにより、評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を認識すると共に、最悪レベルが多く発生する要因を容易に認識することができる。
上記第１０の局面によれば、基準データとして他の時系列データを用いることにより、時系列データについて好適な評価値を求めることができる。
本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。 図１に示す基板処理装置の概略構成を示す図である。 図１に示すデータ処理装置における時系列データをグラフ化して示す図である。 図１に示すデータ処理装置として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。 図１に示すデータ処理装置の動作を示すフローチャートである。 図１に示すデータ処理装置の評価結果画面を示す図である。 図６に示す評価結果画面の一部を拡大して示す図である。 図１に示すデータ処理装置のレシピ選択画面を示す図である。 図６に示す評価結果画面に含まれるアイコンの変化を示す図である。 図６に示す評価結果画面の一部を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の他の評価結果画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のスコアリング設定画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のスコアリング履歴画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置の詳細スコア画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のグラフ画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のトレンド画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のサマリー画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のグラフ画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のトレンド画面を示す図である。 図１に示すデータ処理装置のログ統計画面を示す図である。
以下、図面を参照して、本発明の実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラムについて説明する。本実施形態に係るデータ処理方法は、典型的にはコンピュータを用いて実行される。本実施形態に係るデータ処理プログラムは、コンピュータを用いてデータ処理方法を実施するためのプログラムである。本実施形態に係るデータ処理装置は、典型的にはコンピュータを用いて構成される。データ処理プログラムを実行するコンピュータは、データ処理装置として機能する。
図１は、本発明の実施形態に係るデータ処理装置の構成を示すブロック図である。図１に示すデータ処理装置１０は、データ記憶部１１、スコア計算部１２、レベル判定部１３、スコア／レベル記憶部１４、フィルタ部１５、結果表示部１６、および、指示入力部１７を備えている。データ処理装置１０は、基板処理装置２０に接続して用いられる。
基板処理装置２０は複数の処理ユニット２５を含み、各処理ユニット２５では処理ユニット２５の動作状態を示す複数の物理量（例えば、長さ、角度、時間、速さ、力、圧力、電圧、電流、温度、流量など。以下、パラメータともいう）が測定される。これにより、複数の時系列データＳＤが得られる。なお、ここでは基板処理装置２０は複数の処理ユニット２５を含むこととするが、基板処理装置２０は１個の処理ユニット２５を含んでいてもよい。一般に、基板処理装置２０は１以上の処理ユニット２５を含んでいればよい。
データ記憶部１１は、上記の方法で求めた時系列データＳＤと、時系列データＳＤの期待値データである基準データＲＤとを記憶する。基準データＲＤには、例えば、多数の時系列データの中で期待値データとして最適と判断された他の時系列データが使用される。スコア計算部１２は、データ記憶部１１に記憶された時系列データＳＤについて評価値（以下、スコアという）を求める。スコア計算部１２は、データ記憶部１１から時系列データＳＤと対応する基準データＲＤとを読み出し、両者を比較することによりスコアＳＣを求める。
レベル判定部１３は、スコア計算部１２で求めたスコアＳＣを複数のレベルに分類し、スコアＳＣのレベルＬＶを出力する。スコア／レベル記憶部１４は、スコア計算部１２で求めたスコアＳＣと、レベル判定部１３で求めたレベルＬＶとを記憶する。フィルタ部１５は、スコア／レベル記憶部１４に記憶されたスコアＳＣとレベルＬＶの中から、与えられた条件を満たす基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する。スコア計算部１２は評価値計算部として機能し、フィルタ部１５はレベル選択部として機能する。
結果表示部１６は、処理ユニット２５について、スコアＳＣの各レベルの発生割合を示すグラフを含む評価結果画面を表示する。指示入力部１７には、利用者からの指示が入力される。利用者は、指示入力部１７を用いて、スコア計算部１２におけるスコアの計算方法、レベル判定部１３におけるレベルの設定方法、フィルタ部１５におけるフィルタ方法、結果表示部１６に表示される画面の選択などを指示する。
図２は、基板処理装置２０の概略構成を示す図である。基板処理装置２０は、インデクサ部２１と処理部２２を備えている。インデクサ部２１は、複数のカセット保持部２３とインデクサロボット２４を含んでいる。処理部２２は、複数の処理ユニット２５と基板搬送ロボット２６を含んでいる。カセット保持部２３には、複数の基板を収容するカセット（図示せず）が載置される。インデクサロボット２４は、カセットから基板を取り出す動作と、カセットに基板を入れる動作とを行う。処理ユニット２５は、基板に対して処理を行うための空間（以下、チャンバーという）を有する。チャンバーは、処理ユニット２５と１対１に対応する。チャンバーの内部では、例えば、処理液を用いて基板を洗浄するなどの処理が行われる。基板搬送ロボット２６は、処理ユニット２５に基板を搬入する動作と、処理ユニット２５から基板を搬出する動作とを行う。処理ユニット２５の個数は、任意でよい。例えば、処理ユニット２５の個数が１２個である場合、３個の処理ユニット２５を積層したタワー構造体が、基板搬送ロボット２６の周囲の４箇所に設けられる。
インデクサロボット２４は、カセット保持部２３に載置されたカセットから処理対象の基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介して基板搬送ロボット２６に渡す。基板搬送ロボット２６は、インデクサロボット２４から受け取った基板を対象の処理ユニット２５に搬入する。基板に対する処理が終了すると、基板搬送ロボット２６は、対象の処理ユニット２５から基板を取り出し、取り出した基板を基板受け渡し部２７を介してインデクサロボット２４に渡す。インデクサロボット２４は、基板搬送ロボット２６から受け取った基板を対象のカセットに入れる。インデクサ部２１と処理部２２の制御は、基板処理装置２０の制御部（図示せず）によって行われる。
以下、処理ユニット２５が１枚の基板に対して行う処理を「単位処理」という。単位処理の実行中に、処理ユニット２５では、センサなどを用いて複数の物理量（パラメータ）が測定される。複数の物理量の測定結果に基づき、複数の時系列データＳＤが得られる。得られた複数の時系列データＳＤは、データ記憶部１１に記憶される。時系列データＳＤをグラフ化して示すと、例えば図３に実線で示すようになる。対応する基準データＲＤをグラフ化して示すと、例えば図３に破線で示すようになる。図３に示す例では、時系列データＳＤは、基準データＲＤと比べて立ち上がり時に遅れている。
図４は、データ処理装置１０として機能するコンピュータの構成例を示すブロック図である。図４に示すコンピュータ３０は、ＣＰＵ３１、メインメモリ３２、記憶部３３、入力部３４、表示部３５、通信部３６、および、記録媒体読み取り部３７を備えている。メインメモリ３２には、例えば、ＤＲＡＭが使用される。記憶部３３には、例えば、ハードディスクが使用される。入力部３４には、例えば、キーボード３８やマウス３９が含まれる。表示部３５には、例えば、液晶ディスプレイが使用される。通信部３６は、有線通信または無線通信のインターフェイス回路である。基板処理装置２０や他のデータ処理装置との間の通信は、通信部３６を用いて行われる。記録媒体読み取り部３７は、プログラムなどを記録した記録媒体４０のインターフェイス回路である。記録媒体４０には、例えば、ＣＤ－ＲＯＭなどの非一過性の記録媒体が使用される。なお、以上に述べたコンピュータ３０の構成は一例に過ぎず、任意のコンピュータを用いてデータ処理装置１０を構成することができる。
以下、コンピュータ３０がデータ処理装置１０として機能する場合について説明する。この場合、記憶部３３は、データ処理プログラム４１、時系列データＳＤ、および、基準データＲＤを記憶する。時系列データＳＤは、基板処理装置２０から通信部３６を用いて受信したものである。データ処理プログラム４１と基準データＲＤは、例えば、サーバや他のコンピュータから通信部３６を用いて受信したものでもよく、記録媒体４０から記録媒体読み取り部３７を用いて読み出したものでもよい。基準データＲＤは、記憶部３３に記憶された時系列データＳＤの中から利用者が入力部３４を用いて選択したものでもよい。データ処理プログラム４１を実行するときには、データ処理プログラム４１、時系列データＳＤ、および、基準データＲＤはメインメモリ３２に複写転送される。ＣＰＵ３１は、メインメモリ３２を作業用メモリとして利用して、メインメモリ３２に記憶されたデータ処理プログラム４１を実行することにより、時系列データＳＤのスコアＳＣを求める処理、スコアＳＣのレベルＬＶを求める処理、与えられた条件を満たす基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する処理、選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき評価結果画面を表示する処理などを行う。このときコンピュータ３０は、データ処理装置１０として機能する。
図５は、データ処理装置１０の動作を示すフローチャートである。データ処理装置１０が動作を開始する前に、データ記憶部１１には時系列データＳＤと基準データＲＤが記憶されている。データ処理装置１０は、図５に示すステップＳ１０１～Ｓ１０９を繰り返し実行する。
図５に示すように、スコア計算部１２は、未処理の時系列データＳＤがあるか否かを判断し、Ｙｅｓの場合はステップＳ１０２へ進み、Ｎｏの場合はステップＳ１０５へ進む（ステップＳ１０１）。前者の場合、スコア計算部１２は、未処理の時系列データＳＤのスコアＳＣを求める（ステップＳ１０２）。ステップＳ１０２において、スコア計算部１２は、時系列データＳＤと対応する基準データＲＤとを比較することによりスコアＳＣを求める。
次に、レベル判定部１３は、ステップＳ１０２で求めたスコアＳＣのレベルＬＶを求める（ステップＳ１０３）。レベル判定部１３は、スコアＳＣのレベル分けに用いる複数の閾値を有する。ステップＳ１０３において、レベル判定部１３は、ステップＳ１０２で求めたスコアＳＣと複数の閾値とを比較することにより、スコアＳＣのレベルＬＶを求める。次に、スコア／レベル記憶部１４は、ステップＳ１０２で求めたスコアＳＣと、ステップＳ１０３で求めたレベルＬＶとを記憶する（ステップＳ１０４）。
次に、結果表示部１６は、画面を更新するか否かを判断し、Ｙｅｓの場合はステップＳ１０６へ進み、Ｎｏの場合はステップＳ１０１へ進む（ステップＳ１０５）。ステップＳ１０５において、結果表示部１６は、スコア／レベル記憶部１４が新しいレベルＬＶを記憶したとき、利用者が指示を入力したときなどに画面を更新すると判断する。
ステップＳ１０５でＹｅｓの場合、結果表示部１６は、表示すべき画面の種類が評価結果画面かログ統計画面かを判断し、前者の場合はステップＳ１０７へ進み、後者の場合はステップＳ１０９へ進む（ステップＳ１０６）。前者の場合、フィルタ部１５は、スコア／レベル記憶部１４に記憶されたスコアＳＣとレベルＬＶの中から、与えられた条件を満たす基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する（ステップＳ１０７）。次に、結果表示部１６は、ステップＳ１０７で選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき、評価結果画面を表示する（ステップＳ１０８）。
ステップＳ１０６でログ統計画面の場合、データ処理装置１０は、ログ統計画面を表示する（ステップＳ１０９）。ステップＳ１０８またはＳ１０９を実行した後、データ処理装置１０の制御はステップＳ１０１へ進む。
図５に示すフローチャートにおいて、スコア計算部１２が行うステップＳ１０２は、評価値計算ステップに該当する。レベル判定部１３が行うステップＳ１０３は、レベル判定ステップに該当する。フィルタ部１５が行うステップＳ１０７は、レベル選択ステップに該当する。結果表示部１６が行うステップＳ１０８とＳ１０９は、結果表示ステップに該当する。
以下、基板処理装置２０は１２個の処理ユニット２５を有し、レベル判定部１３はスコアＳＣを４個のレベルに分類するものとする。基板処理装置２０が１回の単位処理を行うと、複数の時系列データＳＤが得られる。スコア計算部１２は、基板ごとに各時系列データＳＤについてスコアＳＣを求める。レベル判定部１３は、スコアＳＣの種類に対応して、３個の閾値ＴＨａ～ＴＨｃ（ただし、ＴＨａ＜ＴＨｂ＜ＴＨｃ）を有する。レベル判定部１３は、閾値ＴＨａ～ＴＨｃを用いてスコアＳＣを４個のレベルに分類する。より詳細には、レベル判定部１３は、ＴＨａ未満のスコア、ＴＨａ以上ＴＨｂ未満のスコア、ＴＨｂ以上ＴＨｃ未満のスコア、および、ＴＨｃ以上のスコアを、それぞれ、レベル１～４に分類する。スコアＳＣが小さいほど（スコアＳＣが良いほど）、レベルＬＶは小さくなる。レベル１～４のうち、レベル１は最良レベルであり、レベル４は最悪レベルである。
図６は、結果表示部１６が表示する評価結果画面を示す図である。図６に示す評価結果画面５０は、複数の処理ユニット２５に対応して、複数の表示領域５１を有する。複数の表示領域５１は、評価結果画面５０内に２次元状に配置される。評価結果画面５０の左側部分には、基板処理装置２０の外観図や識別子、状態表示アイコンなどが表示される。評価結果画面５０の上側部分には、アイコン５５～５７が表示される。なお、図６に示す評価結果画面５０は、悪いレベルの発生回数が多いときの説明用の画面である。実際には、悪いレベルの発生回数は、図６に示す値よりも少ない。
評価結果画面５０は、１２個の処理ユニット２５に対応して、１２個の表示領域５１を有する。各表示領域５１の内部には、円グラフ５２、レベル発生回数５３、および、棒グラフ５４が表示される。円グラフ５２の内部に表示された文字列「ＣＨｎ（ｎは自然数）」は、処理ユニット２５に対応するチャンバーの番号がｎであることを示す。
評価結果画面５０を表示するときには、スコア評価期間（例えば３０日間）が設定され、スコア評価期間内に処理された基板について、処理ユニット２５についてスコアＳＣのレベル１～４の発生回数が求められる。レベル発生回数５３は、レベル１～４の発生回数とその合計（文字Ｔの右下に記載された数字）とを含んでいる。
円グラフ５２は、レベル１～４の発生割合を示す。円グラフ５２は、悪いレベルほど利用者によって認識されやすい態様で表示される。評価結果画面５０の背景が白色の場合、円グラフ５２は、例えば、悪いレベルほど濃い色で表示される。レベル１～４は、それぞれ、例えば、薄い水色、濃い水色、薄い青色、および、濃い青色で表示される。
棒グラフ５４は、所定の方法で基板を処理したときのスコアの最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す。スコア評価期間は３個の期間（以下、第１～第３期間という）に分割され、複数のレシピの中から一のレシピ（以下、特定レシピという）が選択される。第１～第３期間においてある基板（１枚の基板）を特定レシピで処理したときの結果を、それぞれ、第１～第３レシピ処理結果という。棒グラフ５４は、第１～第３レシピ処理結果に含まれるレベル４の発生回数を時系列順に示す。棒グラフ５４の各棒線の上には、レベル４の発生回数が表示される。棒グラフ５４の各棒線の下には、それぞれ、「ｏｌｄ」、「ｍｉｄｄｌｅ」、および、「ｌａｔｅｓｔ」と表示される。棒グラフ５４は、最も高い棒線の高さが一定になるように、高さを調整して表示される。
スコア評価期間が３０日間である場合、スコア評価期間は３０日前から２１日前までの第１期間、２０日前から１１日前までの第２期間、および、１０日前から本日までの第３期間に分割される。棒グラフ５４は、例えば、３０日前にある基板を特定レシピで処理したときのレシピ処理結果に含まれるレベル４の発生回数、１５日前にある基板を特定レシピで処理したときのレシピ処理結果に含まれるレベル４の発生回数、および、直前にある基板を特定レシピで処理したときのレシピ処理結果に含まれるレベル４の発生回数を示す。
利用者は、評価結果画面５０を見ることにより、基板処理装置２０の状態を容易に把握することができる。特に、本実施形態に係る基板処理装置２０は、複数の処理ユニット２５を含んでいる。したがって、利用者は、処理ユニット２５において多数の測定結果に基づき得られた多数の時系列データが示す基板処理装置２０の異常状態を容易に把握することができる。
なお、図６では、図面記載の都合上、評価結果画面５０を白色、黒色、および、パターンを用いて表現しているが、実際には、評価結果画面５０は複数の色を用いて表示される。評価結果画面５０は、円グラフ５２に代えて、スコアの各レベルの発生割合を示す帯グラフを含んでいてもよく、棒グラフ５４に代えて、スコアの最悪レベルの発生状況の時間的変化を示す折れ線グラフを含んでいてもよい。評価結果画面５０は、４個以上の棒線を有する棒グラフ５４を含んでいてよい。また、分割した各期間において複数の基板を特定レシピで処理した結果をレシピ処理結果として用いてもよい。また、複数のレシピを特定レシピとして選択し、特定レシピで処理した結果をレシピ処理結果として用いてもよい。
データ処理装置１０は、評価結果画面５０を表示する機能に加えて、期間フィルタ機能、レシピフィルタ機能、チャンバーフィルタ機能、階層表示機能、および、ログ統計画面表示機能を有する。以下、これらの機能を順に説明する。
まず、期間フィルタ機能について説明する。図７は、評価結果画面５０の一部を拡大して示す図である。利用者がマウス３９を操作してアイコン５６を選択すると、図７に示すプルダウンメニュー５８が表示される。プルダウンメニュー５８の各項目は、スコア評価期間の長さを示す。「１２ｈ」、「２４ｈ」、「２ｄ」、「７ｄ」および「３０ｄ」は、それぞれ、１２時間、２４時間、２日間、７日間、および、３０日間を示す。利用者がマウス３９を操作してプルダウンメニュー５８の中から１個の項目を選択することにより、スコア評価期間が設定される。
フィルタ部１５は、スコア／レベル記憶部１４に記憶されたスコアＳＣとレベルＬＶの中から、スコア評価期間内に処理された基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する。結果表示部１６は、フィルタ部１５で選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき、処理ユニット２５について、円グラフ５２、レベル発生回数５３、および、棒グラフ５４を含む評価結果画面５０を表示する。例えば、スコア評価期間の長さが３０日間の場合、評価結果画面５０に含まれるレベル発生回数５３は、３０日前から現時点までに処理された基板に関するスコアＳＣのレベル１～４の発生回数とその合計を示す。
次に、レシピフィルタ機能について説明する。利用者がマウス３９を操作してアイコン５５を選択すると、評価結果画面５０に重畳して、図８に示すレシピ選択画面６０が表示される。レシピ選択画面６０は、オン状態とオフ状態に切り替え可能なスイッチ６１とレシピリスト６２を含んでいる。スイッチ６１のデフォルトの状態は、オン状態である。レシピリスト６２の各行には、レシピの識別子、レシピの名称、および、レシピの状態が表示される。レシピの状態は、有効状態（Ｅｎａｂｌｅｄ）または無効状態（Ｄｉｓａｂｌｅｄ）である。
スイッチ６１がオン状態のときには、レシピリスト６２に含まれる、すべての有効状態のレシピが選択される。スイッチ６１がオフ状態のときには、利用者がマウス３９を操作してレシピリスト６２の中から１個または複数のレシピを選択する。フィルタ部１５は、スコア／レベル記憶部１４に記憶されたスコアＳＣとレベルＬＶの中から、選択されたレシピに従い処理された基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する。結果表示部１６は、フィルタ部１５で選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき、処理ユニット２５について、円グラフ５２、レベル発生回数５３、および、棒グラフ５４を含む評価結果画面５０を表示する。例えば、レシピ「Ｒｅｃｉｐｅ０３１」が選択された場合、評価結果画面５０に含まれるレベル発生回数５３は、レシピ「Ｒｅｃｉｐｅ０３１」に従い処理された基板についてのスコアＳＣのレベル１～４の発生回数とその合計を示す。
アイコン５５は、スイッチ６１の状態に応じた態様で表示される。スイッチ６１がオン状態のときは、所定の色を用いて、図９（ａ）に示すアイコン５５ａが表示される。スイッチ６１がオフ状態のときは、異なる色を用いて、図９（ｂ）に示すアイコン５５ｂが表示される。このようにレシピフィルタの適用状態に応じてアイコン５５を異なる態様で（異なる色で）表示することにより、利用者はレシピフィルタを適用しているか否かを容易に認識することができる。
スイッチ６１がオン状態、または、スイッチ６１がオフ状態で複数のレシピが選択されている場合には、上述したように、棒グラフ５４の各棒線の下には、それぞれ、「ｏｌｄ」、「ｍｉｄｄｌｅ」、および、「ｌａｔｅｓｔ」と表示される（図６）。これに対して、スイッチ６１がオフ状態で１個のレシピだけが選択されている場合には、図１０に示すように、棒グラフ５４の３番目の棒線の下には、第３レシピ処理結果が得られたときの基板に対する処理の開始日（または、開始時刻）が表示される。図１０に記載された文字列「８／２２」は、第３レシピ処理結果が得られたときの基板に対する処理の開始日が８月２２日であることを示す。棒グラフ５４の１番目および２番目の棒線の下には、対象期間外であることを示す記号「－」が表示される。１個のレシピだけが選択されている場合に上記の表示を行うことにより、利用者はどの日時に処理された時系列データから詳細な調査を行えばよいかを知ることができる。
次に、チャンバーフィルタ機能について説明する。図１１は、データ処理装置１０の他の評価結果画面を示す図である。図１１に示す評価結果画面５９は、１２個の処理ユニット２５のうち９個の処理ユニットに対応して、９個の表示領域５１を有する。評価結果画面５９の各表示領域５１の内部には、円グラフ５２、レベル発生回数５３、および、棒グラフ５４が表示される。
評価結果画面５９を表示するときには、１２個の処理ユニット２５の中から、評価結果を表示する処理ユニット（以下、表示対象処理ユニットという）が選択される。表示対象処理ユニットは、データ処理装置１０の初期設定時に予め選択されていてもよく、利用者が任意に選択してもよい。フィルタ部１５は、スコア／レベル記憶部１４に記憶されたスコアＳＣとレベルＬＶの中から、表示対象処理ユニットで処理された基板に関するスコアＳＣとレベルＬＶを選択する。結果表示部１６は、フィルタ部１５で選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき、表示対象処理ユニットについて、円グラフ５２、レベル発生回数５３、および、棒グラフ５４を含む評価結果画面５９を表示する。
表示対象処理ユニットの個数が処理ユニット２５の個数（ここでは１２個）よりも少ない場合には、評価結果画面内の表示領域の位置は、評価結果画面５０内の表示領域５１の位置と異なっていてもよい。また、評価結果画面内の表示領域のサイズは、評価結果画面５０内の表示領域５１のサイズよりも大きくてもよい。
フィルタ部１５は、期間フィルタ、レシピフィルタ、および、チャンバーフィルタを任意に組み合わせて、スコアＳＣとレベルＬＶを選択してもよい。また、フィルタ部１５は、上記以外のフィルタ処理を行ってもよい。
次に、図１２～図１９を参照して、階層表示機能について説明する。図１２～図１９には、図６に示す評価結果画面５０に重畳して、タブ形式で切り替えて表示される各種の画面が記載されている。図１２～図１９に示す画面の上側部分には、アイコン８１～８４が表示される。
利用者がマウス３９を操作して評価結果画面５０内で１個の処理ユニット（ここでは、１２番目の処理ユニット２５）を選択すると、図１２に示すスコアリング設定画面７１が表示される。スコアリング設定画面７１内のリストの各行には、スコアを求めた方法（以下、スコアリング設定という）と、その方法を用いたときの各レベルの発生回数とが表示される。スコアリング設定には、スコアリング設定の識別子、レシピの名称、基準データの名称などが含まれる。スコアリング設定画面７１内のリストの３行目に記載された数字「８０８６」は、１２番目の処理ユニット２５が複数の基板に対してレシピ「Ｒｅｃｉｐｅ０３１」に従い処理を行い、そのときに得られた時系列データを基準データ「ＲｅｆｅｒｅｎｃｅＤａｔａ０３８」と比較してスコアを求めたときに、レベル４の発生回数が８０８６回であることを示す。
利用者がマウス３９を操作してスコアリング設定画面７１内のリストの中から１個のスコアリング設定（ここでは、３行目のスコアリング設定）を選択すると、図１３に示すスコアリング履歴画面７２が表示される。スコアリング履歴画面７２のリストの各行には、１枚の基板に対して単位処理を行った結果（以下、処理結果という）が表示される。処理結果には、全体評価（Ｔｏｔａｌ）、レベル１～４の発生回数、レシピの名称、処理開始日時、処理終了日時などが含まれる。スコアリング履歴画面７２内のリストの２行目に記載された数字「８」は、１２番目の処理ユニット２５が２０１８年８月２３日９時５２分５４秒から処理を開始した基板についてレベル４の発生回数が８回であることを示す。全体評価の欄は、発生した最悪レベルに割り当てられた色で表示される。発生した最悪レベルがレベル１～４のときには、全体評価の欄は、それぞれ、例えば、薄い水色、濃い水色、薄い青色、および、濃い青色で表示される。
スコアリング履歴画面７２は、検索設定部８５を有する。利用者は、マウス３９とキーボード３８を操作して、検索設定部８５内の各欄（レシピの名称、期間、警告などの欄）に検索用の文字列を入力したり、チェックを入れたりした後に、検索ボタン８６を押す。これにより、スコアリング履歴画面７２内のリストには、検索設定部８５を用いて指定された条件を満たす基板に対する処理結果が表示される。なお、文字列検索を行うときには、部分一致と全文一致を選択することができる。
利用者がマウス３９を操作してスコアリング履歴画面７２内のリストの中から１個の処理結果（ここでは、２行目の処理結果）を選択し、その後にアイコン８１を選択すると、図１４に示す詳細スコア画面７３が表示される。詳細スコア画面７３内のリストの各行には、パラメータの名称とスコアが表示される。スコアの欄は、スコアのレベルに割り当てられた色で表示される。スコアのレベルが１～４のときには、スコアの欄は、それぞれ、例えば、薄い水色、濃い水色、薄い青色、および、濃い青色で表示される。詳細スコア画面７３内のリストの３行目に記載された数字「２１．１３８」は、パラメータ「Ｐａｒａｍｅｔｅｒ００６」についてのスコアが２１．１３８であることを示す。このスコアのレベルは４である。
利用者がマウス３９を操作して詳細スコア画面７３内のリストの中から１個のパラメータ（ここでは、３行目のパラメータ）を選択し、その後にアイコン８２を選択すると、図１５に示すグラフ画面７４が表示される。グラフ画面７４には、縦方向のサイズが相対的に大きい２個のグラフと、縦方向のサイズが相対的に小さい２個のグラフとが含まれる（以下、前者を拡大グラフ、後者を全体グラフという）。２個のグラフのうち一方は基準データＲＤのグラフであり、他方は時系列データＳＤのグラフである。
全体グラフは、表示すべき期間の全体を示す。拡大グラフは、全体グラフのうち利用者が指定した範囲を拡大して示す。拡大グラフに含まれる全体グラフの横方向の範囲は、利用者がマウス３９を操作して全体グラフの一部を選択することにより指定される。拡大グラフに含まれる全体グラフの縦方向の範囲は、利用者がマウス３９とキーボード３８を操作して「Ｓｅｔ Ｙ Ｒａｎｇｅ」と記載された２個の欄に縦方向の最小値と最大値を入力することにより指定される。なお、図１５（および後述する図１６、図１８、図１９）では、全体グラフの横方向の全体が、拡大グラフに含まれる全体グラフの横方向の範囲として指定されている。
利用者がマウス３９を操作して詳細スコア画面７３内のリストの中から１個のパラメータ（ここでは、３行目のパラメータ）を選択し、その後にアイコン８３を選択すると、図１６に示すトレンド画面７５が表示される。トレンド画面７５には、１個の全体グラフと１個の部分グラフが含まれる。各グラフは、スコアの時間的変化を示す。トレンド画面７５内の全体グラフには、スコアリング履歴画面７２内で選択された処理結果に対応する位置にマーク８７が付けられる。マーク８７は、利用者が認識しやすい態様で（例えば、赤色の円で）表示される。
利用者がマウス３９を操作してスコアリング履歴画面７２内のリストの中から複数の処理結果（ここでは、２行目、４行目、７行目、および、８行目の処理結果）を選択し、その後にアイコン８４を選択すると、図１７に示すサマリー画面７６が表示される。サマリー画面７６には、２個のリストが含まれる。上側のリストには、スコアリング履歴画面７２内で選択された複数の処理結果が表示される。下側のリストの各行には、複数の基板に対する処理結果として、パラメータの名称とレベル１～４の発生回数が表示される。サマリー画面７６内の下側のリストの３行目に記載された数字「２」は、スコアリング履歴画面７２内で選択された４個の処理結果（４枚の基板の処理結果）では、パラメータ「Ｐａｒａｍｅｔｅｒ００６」についてレベル４の発生回数が２回であることを示す。
利用者がマウス３９を操作してサマリー画面７６内の下側のリストの中から１個のパラメータ（ここでは、３行目のパラメータ）を選択し、その後にアイコン８２を選択すると、図１８に示すグラフ画面７７が表示される。スコアリング履歴画面７２内のリストの中から選択された処理結果の個数がｍ個（ｍは２以上の自然数）のとき、グラフ画面７７には（ｍ＋１）個の部分グラフと（ｍ＋１）個の全体グラフとが含まれる。（ｍ＋１）個のグラフのうち１個は基準データＲＤのグラフであり、それ以外は時系列データＳＤのグラフである。
利用者がマウス３９を操作してサマリー画面７６内の下側のリストの中から１個のパラメータ（ここでは、３行目のパラメータ）を選択し、その後にアイコン８３を選択すると、図１９に示すトレンド画面７８が表示される。トレンド画面７８に表示されるグラフは、トレンド画面７５に表示されるグラフと同じである。トレンド画面７８内の全体グラフには、スコアリング履歴画面７２内で選択された複数の処理結果に対応する位置に複数のマーク８７（ここでは、４個のマーク）が付けられる。
このように結果表示部１６は、評価結果画面５０、スコアリング設定画面７１、および、スコアリング履歴画面７２を階層的に表示する。スコアリング履歴画面７２内で１個の処理結果が選択されたときには、結果表示部１６は、続いて詳細スコア画面７３、および、グラフ画面７４またはトレンド画面７５を階層的に表示する。スコアリング履歴画面７２内で複数の処理結果が選択されたときには、結果表示部１６は、続いてサマリー画面７６、および、グラフ画面７７またはトレンド画面７８を階層的に表示する。
スコアリング設定画面７１は、評価値を求めた方法（スコアリング設定）を選択するための画面に該当する。スコアリング履歴画面７２は、評価値（スコア）を求めた履歴を表示する履歴画面に該当する。詳細スコア画面７３とサマリー画面７６は、表示対象を選択するための画面に該当する。グラフ画面７４、７７は、時系列データＳＤのグラフを含む画面に該当する。トレンド画面７５、７８は、評価値（スコア）の時間的変化を示すグラフを含んでいる。
次に、ログ統計画面表示機能について説明する。図２０は、図５に示すステップＳ１０９で表示されるログ統計画面を示す図である。図２０に示すログ統計画面９０は、４個の棒グラフ９１～９４を含んでいる。ログ統計画面９０の上側部分には、アイコン５５、９５、９６が表示される。ログ統計画面９０は、図６に示す評価結果画面５０の左側部分にある状態表示アイコンを切り替えることにより表示される。なお、図面記載の都合上、ログ統計画面９０におけるレベル１～４の発生回数と評価結果画面５０におけるレベル１～４の発生回数とは一致していない。
ログ統計画面９０を表示するときには、集計期間と集計単位が設定される。利用者がマウス３９を操作してアイコン９６を選択すると、カレンダー画面（図示せず）が表示される。利用者がマウス３９を操作してカレンダー画面の中から２個の日付を選択することにより、集計期間の開始日と終了日が設定される。利用者がマウス３９を操作してアイコン９５を選択すると、プルダウンメニュー（図示せず）が表示される。プルダウンメニューの各項目は、集計単位を示す。利用者がマウス３９を操作してプルダウンメニューの中から１個の項目を選択することにより、集計単位が設定される。ログ統計画面９０では、集計期間は２０１８年６月２３日から２０１８年８月２２日までの期間に設定され、集計単位は１日（Ｄａｉｌｙ）に設定されている。
棒グラフ９１は、集計期間内に処理された基板についてスコアＳＣのレベル１～４の発生回数の時間的変化を示す。棒グラフ９１に含まれる各棒線は、すべての処理ユニット２５で集計単位（ここでは、１日）内に処理された基板についてレベル１～４の発生回数を示す。棒グラフ９１は、円グラフ５２と同様に、悪いレベルほど利用者によって認識されやすい態様で表示される。レベル１～４は、それぞれ、例えば、薄い水色、濃い水色、薄い青色、および、濃い青色で表示される。棒グラフ９２～９４は、集計期間内に処理された基板についてレベル４の発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示す。棒グラフ９２は、パラメータごとにレベル４の発生回数をランキング形式で示す。棒グラフ９３は、チャンバーごとにレベル４の発生回数をランキング形式で示す。棒グラフ９４は、レシピごとにレベル４の発生回数をランキング形式で示す。
利用者がマウス３９を操作してログ統計画面９０に含まれるアイコン５５を選択したときには、フィルタ部１５は、利用者が評価結果画面５０に含まれるアイコン５５を選択したときと同じフィルタ処理を行う。結果表示部１６は、フィルタ部１５で選択されたスコアＳＣとレベルＬＶに基づき、ログ統計画面９０を表示する。
以上に示すように、本実施形態に係るデータ処理方法は、１以上の処理ユニット２５を有する基板処理装置２０で得られた時系列データＳＤを処理するために、時系列データＳＤと基準データＲＤとを比較することにより、時系列データＳＤの評価値（スコアＳＣ）を求める評価値計算ステップ（Ｓ１０２）と、評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップ（Ｓ１０３）と、処理ユニット２５について、評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフ（円グラフ５２）を含む評価結果画面５０を表示する結果表示ステップ（Ｓ１０８）とを備えている。
したがって、利用者は、第１のグラフを見ることにより、処理ユニット２５において各レベル（特に、最悪レベルであるレベル４）がどの程度の割合で発生しているかを容易に認識することができる。特に、基板処理装置２０が複数の処理ユニット２５を含む場合には、利用者は、複数の第１のグラフを相互に比較することにより、いずれの処理ユニット２５で最悪レベル（レベル４）が高い割合で発生しているかを容易に認識することができる。このように利用者は、基板処理装置２０の状態を容易に把握することができる。
第１のグラフは、悪いレベルほど認識しやすい態様で（濃い色で）表示される。これにより、上記の効果は顕著になる。第１のグラフは、円グラフまたは帯グラフである。したがって、評価値の各レベルの発生割合を容易に示すことができる。
評価結果画面５０は、処理ユニット２５について、評価値の各レベルの発生回数（レベル発生回数５３）を含む。したがって、利用者は、処理ユニット２５における評価値の各レベルの発生回数の正確な値を知ることができる。
評価結果画面５０は、処理ユニット２５について、所定の方法で（特定レシピで）基板を処理したときの評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフ（棒グラフ５４）を含む。したがって、利用者は、第２のグラフを見ることにより、最悪レベルの発生状況の時間的変化を知り、処理ユニット２５が異常状態に近づいているか否かを認識することができる。第２のグラフは、棒グラフまたは折れ線グラフである。したがって、最悪レベルの発生状況の時間的変化を容易に示すことができる。
本実施形態に係るデータ処理方法は、評価値計算ステップで求めた評価値の中から、与えられた条件を満たす基板に関する評価値を選択する評価値選択ステップ（Ｓ１０６）を備え、結果表示ステップは、評価値選択ステップで選択された評価値に基づき評価結果画面５０を表示する。したがって、利用者は、好適な条件を与えて、基板処理装置２０の状態を容易に把握することができる。評価値選択ステップは、少なくとも基板の処理期間、基板に対する処理、および、基板を処理した処理ユニットのいずれかを条件として、レベルを選択する。したがって、利用者は、特定の期間における処理ユニット２５の状態、特定の処理を行ったときの処理ユニット２５の状態、および、特定の処理ユニット２５の状態を容易に把握することができる。
結果表示ステップは、評価結果画面５０の他に、評価値を求めた方法を選択するための画面（スコアリング設定画面７１）、評価値を求めた履歴を表示する履歴画面（スコアリング履歴画面７２）、表示対象を選択するための画面（詳細スコア画面７３、サマリー画面７６）、および、時系列データＳＤのグラフを含む画面（グラフ画面７４、７７）、または、評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面７５、７８のいずれかを階層的に表示する。したがって、利用者は、悪いレベルの評価値を有する基板について時系列データＳＤや評価値を容易に解析することができる。結果表示ステップは、トレンド画面７５、７８を表示し、トレンド画面７５、７８内のグラフには、履歴画面内で選択された処理結果に対応する位置にマーク８７が付けられている。したがって、利用者は、履歴画面内で選択した処理結果に対応する、トレンド画面７５、７８内のグラフ上の位置を容易に認識することができる。
結果表示ステップは、集計期間内に処理された基板について評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を示すグラフ（棒グラフ９１）と、集計期間内に処理された基板について評価値の最悪レベルの発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示すグラフ（棒グラフ９２～９４）とを含むログ統計画面９０を表示する。したがって、利用者は、ログ統計画面９０を見ることにより、各レベルの発生回数の時間的変化を認識すると共に、最悪レベルが多く発生する要因を容易に認識することができる。基準データＲＤとして他の時系列データを用いることにより、時系列データＳＤについて好適な評価値を求めることができる。
本実施形態に係るデータ処理装置１０およびデータ処理プログラム４１は、上記のデータ処理方法と同様の特徴を有し、同様の効果を奏する。本実施形態に係るデータ処理方法、データ処理装置１０、および、データ処理プログラム４１によれば、利用者は、基板処理装置２０に含まれる１以上の処理ユニット２５の状態を容易に把握することができる。
なお、以上に述べたデータ処理方法では、評価結果画面５０は、レベル発生回数５３、円グラフ５２、および、棒グラフ５４を含むこととした。しかし、評価結果画面５０は、レベル発生回数５３、円グラフ５２、および、棒グラフ５４を必ずしもすべて含む必要はない。また、本実施形態に係るデータ処理方法は、期間フィルタ機能、レシピフィルタ機能、チャンバーフィルタ機能、階層表示機能、および、ログ統計画面表示機能を有することとした。変形例に係るデータ処理方法では、上記の処理を全く有していなくてもよく、上記の処理から任意に選択した処理だけを有していてもよい。変形例に係るデータ処理装置およびデータ処理プログラムについても、これと同様である。
１０…データ処理装置
１１…データ記憶部
１２…スコア計算部
１３…レベル判定部
１４…スコア／レベル記憶部
１５…フィルタ部
１６…結果表示部
１７…指示入力部
２０…基板処理装置
２５…処理ユニット
３０…コンピュータ
３１…ＣＰＵ
３２…メインメモリ
４０…記録媒体
４１…データ処理プログラム
５０、５９…評価結果画面
５１…表示領域
５２…円グラフ
５３…レベル発生回数
５４、９１～９４…棒グラフ
６０…レシピ選択画面
７１…スコアリング設定画面
７２…スコアリング履歴画面
７３…詳細スコア画面
７４、７７…グラフ画面
７５、７８…トレンド画面
７６…サマリー画面
８７…マーク
９０…ログ統計画面
ＳＤ…時系列データ
ＲＤ…基準データ
ＳＣ…スコア
ＬＶ…レベル

Claims (15)

  1. １以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
    前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備え、
    前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
    前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
    前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
    前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される、データ処理方法。
  2. 前記第１のグラフは、円グラフまたは帯グラフであることを特徴とする、請求項１に記載のデータ処理方法。
  3. 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする、請求項１または２に記載のデータ処理方法。
  4. 前記第２のグラフは、棒グラフまたは折れ線グラフであることを特徴とする、請求項１～３のいずれかに記載のデータ処理方法。
  5. 前記レベル判定ステップで求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択ステップをさらに備え、
    前記結果表示ステップは、前記レベル選択ステップで選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項１～４のいずれかに記載のデータ処理方法。
  6. 前記レベル選択ステップは、少なくとも基板の処理期間、基板に対する処理、および、基板を処理した処理ユニットのいずれかを条件として、前記レベルを選択することを特徴とする、請求項５に記載のデータ処理方法。
  7. 前記結果表示ステップは、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする、請求項１～６のいずれかに記載のデータ処理方法。
  8. 前記結果表示ステップは、前記トレンド画面を表示し、
    前記トレンド画面内のグラフには、前記履歴画面内で選択された処理結果に対応する位置にマークが付けられていることを特徴とする、請求項７に記載のデータ処理方法。
  9. 前記結果表示ステップは、集計期間内に処理された基板について前記評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を示すグラフと、前記集計期間内に処理された基板について前記評価値の最悪レベルの発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示すグラフとを含むログ統計画面を表示することを特徴とする、請求項１～８のいずれかに記載のデータ処理方法。
  10. 前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする、請求項１～９のいずれかに記載のデータ処理方法。
  11. １以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
    前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定部と、
    前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備え、
    前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
    前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
    前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
    前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される、データ処理装置。
  12. 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする、請求項１１に記載のデータ処理装置。
  13. 前記レベル判定部で求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択部をさらに備え、
    前記結果表示部は、前記レベル選択部で選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項１１または１２に記載のデータ処理装置。
  14. 前記結果表示部は、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする、請求項１１～１３のいずれかに記載のデータ処理装置。
  15. １以上の処理ユニットを有する基板処理装置の動作状態を示す物理量を測定するセンサから得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
    前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
    前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
    前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第１のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
    コンピュータにＣＰＵがメモリを利用して実行させ、
    前記複数のレベルは、最良レベルと最悪レベルを含み、
    前記第１のグラフは、悪いレベルであるほど濃い色で表示され、
    前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第２のグラフをさらに含み、
    前記第１のグラフと前記第２のグラフとは、前記処理ユニットごとに表示される、データ処理プログラム。
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