JP2020047077A - データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム - Google Patents
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Abstract
Description
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備える。
前記第1のグラフは、悪いレベルほど認識しやすい態様で表示されることを特徴とする。
前記第1のグラフは、悪いレベルほど濃い色で表示されることを特徴とする。
前記第1のグラフは、円グラフまたは帯グラフであることを特徴とする。
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする。
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第2のグラフをさらに含むことを特徴とする。
前記第2のグラフは、棒グラフまたは折れ線グラフであることを特徴とする。
前記レベル判定ステップで求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択ステップをさらに備え、
前記結果表示ステップは、前記レベル選択ステップで選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
前記レベル選択ステップは、少なくとも基板の処理期間、基板に対する処理、および、基板を処理した処理ユニットのいずれかを条件として、前記レベルを選択することを特徴とする。
前記結果表示ステップは、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする。
前記結果表示ステップは、前記トレンド画面を表示し、
前記トレンド画面内のグラフには、前記履歴画面内で選択された処理結果に対応する位置にマークが付けられていることを特徴とする。
前記結果表示ステップは、集計期間内に処理された基板について前記評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を示すグラフと、前記集計期間内に処理された基板について前記評価値の最悪レベルの発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示すグラフとを含むログ統計画面を表示することを特徴とする。
前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする。
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定部と、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備える。
前記第1のグラフは、悪いレベルほど視認しやすい態様で表示されることを特徴とする。
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする。
前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第2のグラフをさらに含むことを特徴とする。
前記レベル判定部で求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択部をさらに備え、
前記結果表示部は、前記レベル選択部で選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする。
前記結果表示部は、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする。
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
コンピュータにCPUがメモリを利用して実行させることを特徴とする。
11…データ記憶部
12…スコア計算部
13…レベル判定部
14…スコア/レベル記憶部
15…フィルタ部
16…結果表示部
17…指示入力部
20…基板処理装置
25…処理ユニット
30…コンピュータ
31…CPU
32…メインメモリ
40…記録媒体
41…データ処理プログラム
50、59…評価結果画面
51…表示領域
52…円グラフ
53…レベル発生回数
54、91〜94…棒グラフ
60…レシピ選択画面
71…スコアリング設定画面
72…スコアリング履歴画面
73…詳細スコア画面
74、77…グラフ画面
75、78…トレンド画面
76…サマリー画面
87…マーク
90…ログ統計画面
SD…時系列データ
RD…基準データ
SC…スコア
LV…レベル
Claims (20)
- 1以上の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理方法であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを備えた、データ処理方法。 - 前記第1のグラフは、悪いレベルほど認識しやすい態様で表示されることを特徴とする、請求項1に記載のデータ処理方法。
- 前記第1のグラフは、悪いレベルほど濃い色で表示されることを特徴とする、請求項2に記載のデータ処理方法。
- 前記第1のグラフは、円グラフまたは帯グラフであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第2のグラフをさらに含むことを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 前記第2のグラフは、棒グラフまたは折れ線グラフであることを特徴とする、請求項6に記載のデータ処理方法。
- 前記レベル判定ステップで求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択ステップをさらに備え、
前記結果表示ステップは、前記レベル選択ステップで選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のデータ処理方法。 - 前記レベル選択ステップは、少なくとも基板の処理期間、基板に対する処理、および、基板を処理した処理ユニットのいずれかを条件として、前記レベルを選択することを特徴とする、請求項8に記載のデータ処理方法。
- 前記結果表示ステップは、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする、請求項1〜9のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 前記結果表示ステップは、前記トレンド画面を表示し、
前記トレンド画面内のグラフには、前記履歴画面内で選択された処理結果に対応する位置にマークが付けられていることを特徴とする、請求項10に記載のデータ処理方法。 - 前記結果表示ステップは、集計期間内に処理された基板について前記評価値の各レベルの発生回数の時間的変化を示すグラフと、前記集計期間内に処理された基板について前記評価値の最悪レベルの発生回数を発生要因に分けてランキング形式で示すグラフとを含むログ統計画面を表示することを特徴とする、請求項1〜11のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 前記基準データは、他の時系列データであることを特徴とする、請求項1〜12のいずれかに記載のデータ処理方法。
- 1以上の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理装置であって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算部と、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定部と、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示部とを備えた、データ処理装置。 - 前記第1のグラフは、悪いレベルほど視認しやすい態様で表示されることを特徴とする、請求項14に記載のデータ処理装置。
- 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生回数をさらに含むことを特徴とする、請求項14または15に記載のデータ処理装置。
- 前記評価結果画面は、前記処理ユニットについて、所定の方法で基板を処理したときの前記評価値の最悪レベルの発生回数の時間的変化を示す第2のグラフをさらに含むことを特徴とする、請求項14〜16のいずれかに記載のデータ処理装置。
- 前記レベル判定部で求めたレベルの中から、与えられた条件を満たす基板に関するレベルを選択するレベル選択部をさらに備え、
前記結果表示部は、前記レベル選択部で選択されたレベルに基づき前記評価結果画面を表示することを特徴とする、請求項14〜17のいずれかに記載のデータ処理装置。 - 前記結果表示部は、前記評価結果画面の他に、前記評価値を求めた方法を選択するための画面、前記評価値を求めた履歴を表示する履歴画面、表示対象を選択するための画面、および、前記時系列データのグラフを含む画面、または、前記評価値の時間的変化を示すグラフを含むトレンド画面のいずれかを階層的に表示することを特徴とする、請求項14〜18のいずれかに記載のデータ処理装置。
- 1以上の処理ユニットを有する基板処理装置で得られた時系列データを処理するデータ処理プログラムであって、
前記時系列データと基準データとを比較することにより、前記時系列データの評価値を求める評価値計算ステップと、
前記評価値を複数のレベルに分類するレベル判定ステップと、
前記処理ユニットについて、前記評価値の各レベルの発生割合を示す第1のグラフを含む評価結果画面を表示する結果表示ステップとを、
コンピュータにCPUがメモリを利用して実行させることを特徴とする、データ処理プログラム。
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