JPH08279526A - 半導体樹脂封止装置の異常モニタシステム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ユニット毎の異常の発生状況を、異常コー
ド別に発生回数と修復時間の両方を計測し表示すること
で、効果的な異常対策を講じるのに必要なデータを提供
し、また、異常に関係のあるセンサを画面に表示し、同
時に対処方法も表示することで、異常修復時間の短縮に
有効な異常モニタシステムを提供する。 【構成】 ユニット毎の異常の発生状況を、異常コー
ド別に発生回数と修復時間の両方を計測し、ユニット毎
の合計値か各ユニットの異常コード毎の発生頻度順の表
示のいずれも選択可能としたので、効果的な異常対策を
講じるのに必要なデータを提供し、また、異常に関係の
あるセンサを画面に表示し、同時に対処方法も表示する
ようにしたので、オペレータが素早く異常に対処でき、
異常修復時間が短縮できるという優れた効果を奏する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、例えばＩＣ等の半導体
部品のパッケージのモールド成形に用いられる半導体樹
脂封止装置の異常モニタシステムに関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体樹脂封止装置の異常モニタリング
システムとしては、特開平６−２１１２９号公報が知ら
れている。これは装置を構成する各ユニット毎に異常の
発生回数を積算して表示するものである。これとは別
に、個別の異常コード毎に発生回数と復旧に要した時間
を積算し、発生回数の多い順、または復旧に要した時間
の長い順にソートして表示するシステムも提案されてい
る。

【０００３】また、異常に関連したセンサの状態を、画
面上に分かりやすくレイアウトし表示するシステムで、
知られているものとしてはプログラマブルコントローラ
と直結させて利用する汎用の画面表示装置で、プログラ
マブルコントローラに接続されたセンサのＯＮ／ＯＦＦ
状態を、画面上に自在にレイアウトして表示できる装置
がある。また、異常発生時に対処方法の説明を画面に表
示するシステムも、特開平３−１９３３２４号公報によ
って知られている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかし特開平６−２１
１２９号公報のシステムでは、ユニット内の異常の発生
回数はわかっても、発生した異常コードの内訳はわから
なかった異常の対策を講じるためには、どの異常コード
が発生しているのかを知る必要があるので、結局は人手
によって調査しなければならなかった。

【０００５】また、同システムは異常の発生回数のみを
記録するものである。しかし、発生回数は少なくともそ
の異常の発生によって、装置が長時間にわたり運転不能
となれば、重大な異常である。同システムでは、異常の
復旧に要した時間は記録されないので、どの異常が重大
かを適切に判断することはできなかった。

【０００６】一方、個別の異常コード毎に発生回数と復
旧に要した時間を積算し、積算回数の多い順、または復
旧に要した時間の長い順にソートして表示するシステム
の場合は、記録された異常をユニット別に整理して見る
ことができない。一般にユニットによって異常の重みは
異なる。半導体樹脂封止装置において、樹脂封止ユニッ
トにおける異常発生は最も重大である。また、製品収納
ユニットの異常より材料供給ユニットの異常が重大であ
る。何故なら、樹脂封止する以前の半導体材料は、搬送
系のわずかな故障でもダメージを受けるからである。こ
のような理由で、異常をユニット別に整理することは重
要であるが、同システムではそれができないので、不便
であった。

【０００７】また、異常に対して対策を講じた結果、そ
の発生頻度が減少すれば、発生頻度順にソートされた状
態では目立たなくなるが、このことは対策後の推移を観
察する目的には適さない。そのため、特定の異常の発生
状況をその発生頻度の工程に無関係に、画面に表示でき
る機能が望まれていた。

【０００８】次に異常に関連したセンサの状態を、画面
上にわかりやすくレイアウトして表示するシステムであ
るが、現在知られているものは、単にセンサのＯＮ／Ｏ
ＦＦ状態を表示するのみであって、異常を検知したセン
サを知らせるものではない。センサによって異常を検知
する方法は、単純にＯＮ／ＯＦＦ状態で判断するものか
ら、ＯＮ／ＯＦＦ状態の変動パターンや、複数のセンサ
の状態の組み合わせで判断するものもあり、単にＯＮ／
ＯＦＦ状態を表示するだけでは、異常に関連したセンサ
を調べる目的には不十分であった。

【０００９】異常発生時に、対処方法の説明を画面に表
示する従来のシステムでは、表示される説明中に引用さ
れるユニットやセンサの名称が装置のどこに位置するの
か、また、そのセンサが現在どのような状態にあるのか
を画面上で同時に知ることはできなかった。そのため、
結局取り扱い説明書が必要になったり、専門の技術者に
頼ることになっていた。

【００１０】本発明の目的は上記事情に鑑み、ユニット
毎の異常の発生状況を、異常コード別に発生回数と修復
時間の両方を計測し表示することで、効果的な異常対策
を講じるのに必要なデータを提供し、また、異常に関係
のあるセンサを画面に表示し、同時に対処方法も表示す
ることで、異常修復時間の短縮に有効な、異常モニタシ
ステムを提供するにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の半導体樹脂封止
装置の異常モニタシステムの、請求項１は効果的な異常
対策を高じるのに必要なデータを提供することを目的と
している。このために、該装置を構成するユニットの異
常を検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き換える異
常検知・コード化手段と、異常コード毎に発生回数と修
復時間（発生から解除までの時間）を積算する積算手段
と、計測された異常の発生回数と修復時間の積算値を記
憶する記憶手段と、異常コードをキーとして関連するユ
ニットを検索できるように構成した検索テーブルを記憶
した記憶手段と、計測結果を表示する画面表示手段を備
え、画面表示の切り替えによって、異常の発生回数と修
復時間の積算値のユニット毎の合計値を画面表示した
り、１ユニットを選んで、そのユニット内の異常の発生
回数と、修復時間の積算値を、異常コード別に発生回数
の多い順にソートして表示したり、修復時間の積算値の
長い順にソートして表示したりできることを特徴とす
る。

【００１２】また請求項２は、特定の異常の発生状況を
その発生頻度の高低に無関係に画面に表示するもので、
該装置の異常を検知すると同時に異常コードＮｏ．に置
き換える異常検知・コード化手段と、計測対象とする少
数の異常コード選択手段と選択された異常コードに関し
発生回数と修復時間を積算する積算手段と、計測された
異常の発生回数と修復時間の積算値を記憶する記憶手段
と、計測結果を表示する画面表示手段を備え、異常コー
ド選択手段によって選択された異常コードに関し、発生
回数と修復時間の積算値を計測し、画面に表示すること
を特徴とする。

【００１３】次に請求項３は、異常に関係のあるセンサ
を画面に表示するもので、該装置を構成するユニットか
らセンサの信号を取り込みセンサの状態からユニットの
異常を検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き換える
異常検知・コード化手段と、異常コードをキーとして関
連するユニットおよび関連するセンサを検索できるよう
に構成した検索テーブルを記憶した記憶手段と、各ユニ
ットの図を表示する画面表示手段と、画面に表示するユ
ニットの図上でこのユニットに属する各センサの状態を
表示する座標を記憶した記憶手段とを備え、異常が発生
すると、異常が発生したユニットの図を画面に表示し、
その図に重ねてユニット内のセンサの状態をそのセンサ
が実際に配置されている位置が想像可能なように図示
し、更に発生した異常と関連しているセンサを強調表示
することを特徴とする。

【００１４】更に請求項４は請求項３に加えて、異常の
対処方法も表示するもので、請求項３の特徴と、各異常
コードに対応した異常対処方法の説明文情報を記憶した
記憶手段とを備え、発生した異常の対処方法の説明文を
表示することを特徴とする。

【００１５】

【作用】本発明の請求項１によれば、異常が発生すると
発生した異常コードの発生回数と修復時間が積算され、
記憶手段により記憶される。そして記憶されたデータを
ユニット毎に分類し画面表示の切り替えによって、ユニ
ット毎の合計値を表示したり、各ユニット内の異常コー
ド毎の発生回数と修復時間の積算値を発生回数の多い順
または修復時間の長い順にソートして表示することがで
きるので、効果的な異常対策を講じるのに必要なデータ
を提供できる。

【００１６】また請求項２によれば、特定の異常の発生
状況をその発生頻度の高低に無関係に画面に表示できる
ので、異常の対策後の推移を観察するのに適している。
次に請求項３によれば異常が発生すると、異常が発生し
たユニットの図を画面に表示し、その図に重ねてユニッ
ト内のセンサの状態を、そのセンサが実際に配置されて
いる位置が想像可能なように図示し、更に発生した異常
と関連しているセンサを強調表示するので、装置のこと
を詳しく知らないオペレータでも、異常に関連している
センサのある場所と、その状態を即時に知ることができ
る。

【００１７】更に請求項４によれば、異常に関連してい
るセンサのある場所とその状態に加え、異常の対処方法
も表示されるので、従来は専門の技術者に頼っていた修
理でも、オペレータが行えるようになり異常修復時間の
短縮が可能となる。

【００１８】

【実施例】以下、本発明の実施例について図を用いて説
明する。本実施例では半導体封止装置は、リードフレー
ム供給部（略してＬＦ供給部）、樹脂タブレット供給部
（同ＴＢ供給部）、樹脂タブレットプリヒータ（同ＴＢ
プリヒータ）、ローダ、モールドプレス（同プレス）、
アンローダ、ゲートブレーク（同ＧＢ）、製品収納部、
およびヒータ・その他の各ユニットで構成されているも
のとする。但し、本発明は特定のユニット構成に限定さ
れるものではない。

【００１９】（第１実施例）図１は、本発明の請求項１
に対応する実施例の異常モニタシステムのブロック図で
ある。異常検知・コード化手段１は、半導体樹脂封止装
置の各ユニットが備えるセンサや要素機器の出力信号か
ら、異常条件を検知すると同時に各異常条件と対応付け
られた異常コードＮｏ．に変換し、異常発生回数・修復
時間積算手段２に渡す。

【００２０】異常発生回数・修復時間積算手段２は、異
常検知・コード化手段１に渡された各異常コードについ
て、発生回数と修復時間を積算する。計測されたデータ
や、修復時間計測中であることを表すフラグは、異常発
生回数・修復時間記憶手段３に記憶させる。

【００２１】異常発生回数・修復時間記憶手段３は、異
常コード毎の発生回数と修復時間、および修復時間計測
中であることを表すフラグを記憶するメモリを、異常コ
ード順に並べた構造になっており、異常発生回数・修復
時間積算手段２と画面表示手段５の双方からアクセスさ
れる。

【００２２】異常コード／ユニット検索テーブル４は、
異常コードをキーとして、関連するユニットを検索でき
るように構成されている。実際には各ユニットは、ＬＦ
供給部がＯ、ＴＢ供給部が１、．．．のように番号で置
き換え、各異常コードに対応するユニットＮｏ．を、異
常コード順に並べて格納した読み出し専用メモリで実現
する。

【００２３】画面表示手段５は異常発生回数・修復時間
記憶手段３から異常コード毎の発生回数・修復時間を読
み出し、異常コード／ユニット検索テーブル４を使って
ユニット別に分類し、ユニット毎にソートや合計値の計
算を行い、選択されている画面のモードに応じて表示を
行う。

【００２４】このように構成されたシステムの作用を図
２のフローチャートによって説明する。図２に示される
とおり、異常検知・コード化手段、異常発生回数・修復
時間積算手段、画面表示手段の３つは、それぞれ独立し
た動作周期を持っており、それぞれの連携は信号または
記憶手段によって為される。

【００２５】異常検知・コード化手段は、装置の各ユニ
ットからのセンサや要素機器の出力信号を常に監視し、
異常条件との照合を行う。異常条件を検知すると、異常
条件に対応する異常コードＮｏ．に変換し、それを異常
発生回数・修復時間積算手段に出力する。

【００２６】異常発生回数・修復時間積算手段は装置の
異常停止を検知すると、修復時間計測開始時刻を現時点
の時刻にリセットする。次に異常検知・コード化手段か
ら入力された異常コードに対応した発生回数カウンタ
（異常発生回数・修復時間記憶手段内部）をインクリメ
ントし、同時に修復時間計測中フラグ（異常発生回数・
修復時間記憶手段内部）を立てる。以後、修復時間計測
中フラグの立っている異常コードが消滅するまで監視を
続ける。

【００２７】修復時間計測中フラグの立っている異常コ
ードが消滅すると、修復時間計測開始時刻からの経過時
間を計算し、消滅した異常コードに対応した修復時間メ
モリ（異常発生回数・修復時間記憶手段内部）に積算
し、修復時間計測中フラグをクリアする。同時に修復時
間計測開始時刻を、この時点の時刻にリセットする。こ
うすることの目的は、複数の異常コードが同時に発生し
ている場合に、それぞれの修復時間の合計と、全体の修
復時間を一致させることにある。修復時間計測中フラグ
の立っている異常コードがすべて消滅したら、異常停止
の検知に戻る。

【００２８】画面表示手段は、選択されている表示モー
ドによって、異なった画面表示処理を行う。全ユニット
合計表示モードが選択されている場合は、全異常コード
に関して、異常コード／ユニット検索テーブルから対応
するユニットＮｏ．を得、発生回数と修復時間を異常発
生回数・修復時間記憶手段より読み出してユニット毎に
積算し、全ユニットについて、異常発生回数と修復時間
の合計値を表示する。図３に画面の表示例を示す。

【００２９】（ここで、ユニットＮｏ．がｎであるユニ
ットをユニット［ｎ］と呼ぶことにする）ユニット
［ｎ］内の異常コード別表示が選択されている場合は、
全異常コードから、異常コード／ユニット検索テーブル
により、ユニット［ｎ］に関する異常コードを抽出し、
抽出された異常コードの発生回数と修復時間を異常発生
回数・修復時間記憶手段より読み出す。読み出したデー
タを選択されているソートキーによって、発生回数また
は修復時間のいずれかを優先してソートし、ソートされ
た順に異常コード・発生回数・修復時間を表示する。図
４に画面の表示例を示す。

【００３０】以上説明したように、本実施例によれば装
置の異常の発生回数と修復時間を、画面の切り替えによ
りユニット毎の合計値で表示することも、１ユニット内
の異常コード別に発生回数順または修復時間にソートし
表示することも可能である。従って、効果的な異常対策
を講じるのに必要なデータが自動的に得られる。

【００３１】（第２実施例）図５は、本発明の請求項２
に対応する実施例の異常モニタシステムのブロック図で
ある。異常検知・コード化手段１は、請求項１の実施例
と同一であるので説明を省略する。異常発生回数・修復
時間積算手段２は、異常検知・コード化手段１に渡され
た異常コード中で、異常コード選択手段６によって選択
された異常コードについて、発生回数と修復時間を積算
する。計測されたデータや修復時間計測中であることを
表すフラグは、異常発生回数・修復時間記憶手段３に記
憶させる。

【００３２】異常発生回数・修復時間記憶手段３は、請
求項１の実施例と同一であるので、説明を省略する。画
面表示手段５は異常発生回数・修復時間記憶手段３か
ら、異常コード選択手段６で選択された異常コードの発
生回数・修復時間を読み出し、表示を行う。

【００３３】異常コード選択手段６は、キーボード，タ
ッチパネル，デジタルスイッチ等の入力方法で、計測対
象とする異常コードＮｏ．を受け付け、これを記憶し異
常発生回数・修復時間積算手段２と、画面表示手段５に
知らせる。

【００３４】このように構成されたシステムの作用を図
６のフローチャートによって説明する。図６に示される
とおり、異常検知・コード化手段，異常発生回数・修復
時間積算手段，画面表示手段の３つは、それぞれ独立し
た動作周期を持っており、それぞれの連携は信号または
記憶手段によって為される。

【００３５】異常検知・コード化手段は、装置の各ユニ
ットからのセンサや要素機器の出力信号を常に監視し、
異常条件との照合を行う。異常条件を検知すると、異常
条件に対応する異常コードＮｏ．に変換し、それを異常
発生回数・修復時間積算手段に出力する。

【００３６】異常発生回数・修復時間積算手段は、装置
の異常停止を検知すると異常検知・コード化手段から入
力された異常コードを調べ、異常コード選択手段によっ
て予め選択されている異常コードと照合する。選択され
た異常コードの発生を確認したら、修復時間計測開始時
刻を現時点の時刻にリセットする。次に異常検知・コー
ド化手段から入力された異常コードに対応した発生回数
カウンタ（異常発生回数・修復時間記憶手段内部）をイ
ンクリメントし、同時に修復時間計測中フラグ（異常発
生回数・修復時間記憶手段内部）を立てる。以後、修復
時間計測中フラグの立っている異常コードが消滅するま
で監視を続ける。

【００３７】修復時間計測中フラグの立っている異常コ
ードが消滅すると、修復時間計測開始時刻からの経過時
間を計算し、消滅した異常コードに対応した修復時間メ
モリ（異常発生回数・修復時間記憶手段内部）に積算
し、修復時間計測中フラグをクリアする。同時に修復時
間計測開始時刻を、この時点の時刻にリセットする。修
復時間計測中フラグの立っている異常コードがすべて消
滅したら、異常停止の検知に戻る。

【００３８】画面表示手段は、異常コード選択手段によ
って選択されている異常コードの発生回数と修復時間を
表示する。以上説明したように本実施例によれば、あら
かじめ選択された特定の異常の発生状況を常時画面に表
示できる。従って、異常の対策後の推移を観察するのに
適している。

【００３９】（第３実施例）図７は，本発明の請求項３
に対応する実施例の異常モニタシステムのブロック図で
ある。

【００４０】異常検知・コード化手段１は、半導体樹脂
封止装置の各ユニットが備えるセンサや要素機器の出力
信号から、異常条件を検知すると同時に、各異常条件と
対応付けられた異常コードＮｏ．に変換し、画面表示手
段５に渡す。

【００４１】センサ表示座標テーブ７は、画面表示手段
５によって表示されるユニットの図上に、センサをレイ
アウトする座標が、ユニット毎に納められている。各セ
ンサはＯＮ／ＯＦＦ状態を読み込むための入力アドレス
によって識別される。

【００４２】異常コード／センサ／ユニット検索テーブ
ル８は、異常コードをキーとして、関連するセンサ、そ
のセンサを含むユニットを検索できるように構成されて
いる。各センサは、入力アドレスで識別される。各ユニ
ットは、請求項１の実施例と同様、ユニットＮｏ．で識
別される。

【００４３】画面表示手段５は、異常検知・コード化手
段に渡された異常コードから、異常コード／センサ／ユ
ニット検索テーブル８によって関連するセンサ，関連す
るユニットを調べて関連するユニットの図を表示し、セ
ンサ表示座標テーブル７を調べてそのユニットに属する
センサの状態を読み込みユニットの図上に表示し、異常
に関連したセンサを強調表示する。

【００４４】このように構成されたシステムの作用を図
８のフローチャートによって説明する。図８に示される
とおり、異常検知・コード化手段と画面表示手段は独立
した動作周期を持っており、前者から後者へ異常コード
Ｎｏ．が伝えられることによって連携が為される。

【００４５】異常検知・コード化手段は、装置の各ユニ
ットからのセンサや要素機器の出力信号を常に監視し、
異常条件との照合を行う。異常条件を検知すると、異常
条件に対応する異常コードＮｏ．に変換し、画面表示手
段に伝える。

【００４６】画面表示手段は、異常検知・コード化手段
から異常コードＮｏ．を受け付けると、異常コード／セ
ンサ／ユニット検索テーブルにより、発生した異常コー
ドＮｏ．に関連のあるセンサ及びそのセンサの属するユ
ニットを検索する。次に検索によって得られたユニット
の図を画面に表示し、センサ表示座標テーブルから、表
示したユニットに属するセンサの表示座標を得て、異常
と関連のあるセンサを強調表示する。同時に、ユニット
に属するセンサの状態を読み取り、センサ表示座標から
得た座標に分かりやすく表示し、これを異常が解除され
るまで繰り返す。図９に画面の表示例を示す。

【００４７】以上説明したように本実施例によれば、異
常が発生するとそれに関連したユニットの図が自動的に
表示され、その図上に異常に関連したセンサが強調表示
され、同時にセンサのＯＮ／ＯＦＦ状態が表示されるの
で、装置のことを詳しく知らなくても異常に関連してい
るセンサのある場所と、その状態を即時に知ることがで
きる。

【００４８】（第４実施例）更に、請求項４に対応する
実施例として図１０のブロック図のように、異常対処方
法記憶手段９を組み合わせ、異常に関連したセンサの強
調表示と同時に対処方法も表示するように構成すればよ
い。異常対処方法記憶手段は、異常コードＮｏ．をキー
として、対応する対処方法の説明文情報が高速に取り出
せるように、メモリに記憶させたものとする。このよう
にすれば、異常に関連しているセンサのある場所と、そ
の状態に加え、異常の対処方法も表示されるので、従来
は専門の技術者に頼っていた修理でも、オペレータが行
えるようになる。

【００４９】

【発明の効果】本発明は以上の説明から明らかなよう
に、ユニット毎の異常の発生状況を、異常コード別に発
生回数と修復時間の両方を計測し、ユニット毎の合計値
か各ユニットの異常コード毎の発生頻度順の表示のいず
れも選択可能としたので、効果的な異常対策を講じるの
に必要なデータを提供し、また、異常に関係のあるセン
サを画面に表示し、同時に対処方法も表示するようにし
たので、オペレータが素早く異常に対処でき、異常修復
時間が短縮できるという優れた効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例の異常モニタシステムのブ
ロック図、

【図２】本発明の第１実施例の異常モニタシステムの作
用を示すフローチャート、

【図３】本発明の第１実施例の異常モニタシステムのユ
ニット毎の合計値を表示した画面図、

【図４】本発明の第１実施例の異常モニタシステムの１
ユニット内で異常コード別に表示した画面図、

【図５】本発明の第２実施例の異常モニタシステムのブ
ロック図、

【図６】本発明の第２実施例の異常モニタシステムの作
用を示すフローチャート、

【図７】本発明の第３実施例の異常モニタシステムのブ
ロック図、

【図８】本発明の第３実施例の異常モニタシステムの作
用を示すフローチャート、

【図９】本発明の第３実施例の異常モニタシステムの画
面図、

【図１０】本発明の第３実施例の異常モニタシステムの
ブロック図。

【符号の説明】

１は異常検知・コード化手段， ２は異常発生回数・
修復時間積算手段，３は異常発生回数・修復時間記憶手
段，４は異常コード／ユニット検索テーブル，５は画面
表示手段， ６は異常コード選択手段，７
はセンサ表示座標テーブル，８は異常コード／センサ／
ユニット検索テーブル，９は異常対処方法記憶手段を示
す。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 半導体素子を樹脂でモールド成形するた
   めのものであって、各種のユニットから構成されて成る
   半導体樹脂封止装置の異常をチェックする異常モニタシ
   ステムにおいて、前記装置を構成するユニットの異常を
   検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き換える異常検
   知・コード化手段と、異常コード毎に発生回数と修復時
   間を積算する積算手段と、計測された異常の発生回数と
   修復時間の積算値を記憶する記憶手段と、異常コードを
   キーとして関連するユニットを検索できるように構成し
   た検索テーブルを記憶した記憶手段と、計測結果を表示
   する画面表示手段を備え、画面表示の切り替えによっ
   て、異常の発生回数と修復時間の積算値のユニット毎の
   合計値を画面表示したり、１ユニットを選んでそのユニ
   ット内の異常の発生回数と修復時間の積算値を異常コー
   ド別に発生回数の多い順にソートして表示したり、修復
   時間の積算値の長い順にソートして表示したりできるこ
   とを特徴とする半導体樹脂封止装置の異常モニタシステ
   ム。
2. 【請求項２】 半導体樹脂封止装置において、該装置の
   異常を検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き替える
   異常検知・コード化手段と、計測対象とする少数の異常
   コードを選択する異常コード選択手段と、選択された異
   常コードに関し発生回数と修復時間を積算する積算手段
   と、計測された異常の発生回数と修復時間の積算値を記
   憶する記憶手段と、計測結果を表示する画面表示手段を
   備え、異常コード選択手段によって選択された異常コー
   ドに関し、発生回数と修復時間の積算値を計測し、画面
   に表示することを特徴とする半導体樹脂封止装置の異常
   モニタシステム。
3. 【請求項３】 半導体素子を樹脂でモールド成形するた
   めのものであって、各種のユニットから構成されて成る
   半導体樹脂封止装置の異常をチェックする異常モニタシ
   ステムにおいて、前記装置を構成するユニットからセン
   サの信号を取り込みセンサの状態からユニットの異常を
   検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き換える異常検
   知・コード化手段と、異常コードをキーとして関連する
   ユニットおよび関連するセンサを検索できるように構成
   した検索テーブルを記憶した記憶手段と、各ユニットの
   図を表示する画面表示手段と、画面に表示するユニット
   の図上でこのユニットに属する各センサの状態を表示す
   る座標を記憶した記憶手段とを備え、異常が発生すると
   そのユニットの図を画面に表示し、その図に重ねてユニ
   ット内のセンサの状態を、そのセンサが実際に配置され
   ている位置が想像可能なように図示し、更に発生した異
   常と関連しているセンサを強調表示することを特徴とす
   る半導体樹脂封止装置の異常モニタシステム。
4. 【請求項４】 半導体素子を樹脂でモールド成形するた
   めのものであって、各種のユニットから構成されて成る
   半導体樹脂封止装置の異常をチェックする異常モニタシ
   ステムにおいて、前記装置を構成するユニットからセン
   サの信号を取り込みセンサの状態からユニットの異常を
   検知すると同時に異常コードＮｏ．に置き換える異常検
   知・コード化手段と、異常コードをキーとして関連する
   ユニットおよび関連するセンサを検索できるように構成
   した検索テーブルを記憶した記憶手段と、各ユニットの
   図を表示する画面表示手段と、画面に表示するユニット
   の図上でこのユニットに属する各センサの状態を表示す
   る座標を記憶した記憶手段と、各異常コードに対応した
   異常対処方法の説明文情報を記憶した記憶手段とを備
   え、異常が発生するとそのユニットの図を画面に表示
   し、その図に重ねてユニット内のセンサの状態をそのセ
   ンサが実際に配置されている位置が想像可能なように図
   示し、更に発生した異常と関連しているセンサを強調表
   示すると共に、その異常の対処方法の説明文を表示する
   ことを特徴とする半導体樹脂封止装置の異常モニタシス
   テム。