JP7423396B2 - 情報処理装置、検出方法、プログラム、基板処理システム、及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
図1は、基板処理システムの構成を示す図である。基板処理システム1(物品の製造システム)は、それぞれが基板を処理する複数の基板処理装置10と、複数の基板処理装置10の動作を制御するホストコンピュータ11とを含みうる。複数の基板処理装置10は、例えば、リソグラフィ装置(露光装置、インプリント装置、荷電粒子線描画装置等)を含みうる。また、複数の基板処理装置10は、塗布装置、現像装置、成膜装置(CVD装置等)、加工装置(レーザー加工装置等)、検査装置(オーバーレイ検査装置等)のいずれかを含みうる。ここで、露光装置は、原版(レチクル、マスク)を介して基板の上に供給されたフォトレジストを露光することによって該フォトレジストに原版のパターンに対応する潜像を形成する。また、インプリント装置は、基板の上に供給されたインプリント材に型(原版)を接触させた状態でインプリント材を硬化させることによって基板の上にパターンを形成する。また、荷電粒子線描画装置は、基板の上に供給されたフォトレジストに荷電粒子線によってパターンを描画することによって該フォトレジストに潜像を形成する。また、塗布装置は、リソグラフィ処理の前処理として基板にレジスト材(密着材)の塗布処理を行う。また、現像装置は、リソグラフィ処理の後処理として現像処理を行う。また、成膜装置は、基板に絶縁膜等の膜を形成する装置である。また、加工装置は、基板に形成されたパターンの加工や基板の切断、穴あけ等の加工を行う。また、検査装置は、基板に形成されたパターンの位置精度や線幅等の検査を行う。
モデルfは、例えば、2つのセンサによって出力された出力値at、btの時系列データに基づいて、最小二乗法等によって決定される回帰式でありうる。また、モデルfは、例えば、機械学習を用いて生成される学習モデルであってもよい。例えば、モデルfは、ニューラルネットワークを含むモデルでありうる。ニューラルネットワークとは、入力層、中間層、出力層といった多層のネットワーク構造を有するモデルである。2つのセンサによって出力された出力値at、btの時系列データに基づいて、入力データとしてのatと教師データとしてのbtとの関係を示す学習データが取得される。そして、取得された学習データを用いて、誤差逆伝播法等のアルゴリズムに従ってニューラルネットワーク内部の結合重み付け係数等が最適化されることにより、学習モデルを取得することができる。誤差逆伝播法は、出力データと教師データとの差が小さくなるように、各ニューラルネットワークのノード間の結合重み付け係数等を調整する手法である。また、モデルfは、ニューラルネットワークを含むモデルではなく、例えば、SVM(サポートベクタマシーン)を含む学習モデルであってもよい。
ここで、(2)式は、以下のような数式群を意味しうる。
x13=f13(x3)
x14=f14(x4)
・
・
・
x1N=f1N(xN)
x21=f21(x1)
x23=f23(x3)
x24=f24(x4)
・
・
・
そして、センサSiの予測出力値xijとセンサSiの測定出力値xiとに基づいて評価値を算出して、評価値に基づきセンサSiに関する異常が検出される。評価値は、例えば、複数の予測出力値xijの各々とそれに対応する測定出力値xiとの差分を処理した値、例えば、該差分を合計した合計値を複数のモデルの数で正規化した値でありうる。また、評価値は、例えば、複数の予測出力値xijの平均値や中央値などの統計値と測定出力値xiとの差分又は比率に基づき算出された値でありうる。そして、評価値が予め定められた許容範囲にない場合に、センサSiの出力値に異常が発生していることが検出される。
そして、制御ユニットCiの予測指令値yijと制御ユニットCiの測定指令値yjとに基づいて評価値を算出して、評価値に基づき制御ユニットCiに関する異常が検出される。また、制御ユニットにおける指令値の代わりに制御ユニットが制御する温調ユニットにおける動作量を用いてもよい(以下、指令値又は動作量を制御データとする)。
そして、制御ユニットCiの予測指令値yijとセンサSjの測定出力値xjとに基づいて評価値を算出して、評価値に基づき制御ユニットCiに関する異常が検出される。また、センサSiの予測出力値xijと制御ユニットCiの測定指令値yjとに基づいて評価値を算出して、評価値に基づきセンサSiに関する異常が検出されるようにモデルhを生成してもよい。
実施例1においては、センサ、及び制御ユニットが存在するブロックごとにグループ分けする例である。図6は、本実施例におけるグループ分けの例を示す図である。図6(a)において、グループ1-1には、図4における第1ブロック40に含まれるセンサ401T、センサ402T、制御ユニット401Cおよび制御ユニット402Cが属する。また、グループ1-2には、図4における第2ブロック41に含まれるセンサ411T、412T1~415T1、412T2~415T2、制御ユニット411C~415Cが属する。
実施例2においては、温調ユニットのセンサ、制御ユニット毎にグループ分けする例である。図7は、本実施例におけるグループ分けの例を示す図である。例えば、グループ2-1には、図4における温調ユニット401のセンサ401T、及び制御ユニット401Cが属する。また、例えば、グループ2-4には、温調ユニット412のセンサ412T1、及び制御ユニット412Cが属する。また、グループ2-4には対象ユニット416のセンサ412T2が属してもよい。また同様に、グループ2-5~2-7には、それぞれ対象ユニット417~419のセンサ413T2~415T2が属してもよい。
実施例3においては、制御に関する情報が伝達する範囲を表すグループ(以下、制御グループとする。)毎にグループ分けする例である。図8は、本実施例におけるグループ分けの例を示す図である。例えば、グループ3-1には、図4における温調ユニット401のセンサ401T、及び制御ユニット401Cが属する。つまり、センサ401Tの出力値の情報が制御ユニット401Cに伝達されて制御データが決定されるため、センサ401Tと制御ユニット401Cは同じ制御グループに属する。また、例えば、グループ3-5には、センサ411T、414T1、414T2、制御ユニット411C、及び414Cが属する。つまり、センサ414T1、414T2の出力値の情報が制御ユニット414Cに伝達されて制御データが決定される。また、センサ411Tの出力値の情報と制御ユニット414Cの制御データの情報とが制御ユニット411Cに伝達されて制御データが決定される。また、図8においてグループ3-5と3-6は別の制御グループとしたが、制御ユニット411Cには制御ユニット414C及び415Cの制御データの情報が伝達されるので、グループ3-5と3-6を同じ制御グループとしてもよい。
実施例4においては、冷媒が循環する配管毎にグループ分けする例である。図9は、本実施例におけるグループ分けの例を示す図である。図9(a)の例では、グループ4-1、4-2は、冷媒が循環する方向において温調ユニット402の下流で分岐している配管に配置されている温調ユニットのセンサ及び制御ユニットが属する。また、グループ4-3、4-4は、冷媒が循環する方向において温調ユニット411の下流で分岐している配管に配置されている温調ユニットのセンサ及び制御ユニットが属する。グループ4-1には、図4における温調ユニット402、412、及び対象ユニット416が配置されている配管にあるセンサ及び制御ユニットが属する。具体的には、センサ402T、412T1、412T2、制御ユニット402C、及び412Cが属する。また、グループ4-3には、図4における温調ユニット411、414、及び対象ユニット418が配置されている配管にあるセンサ及び制御ユニットが属する。具体的には、センサ411T、414T1、414T2、制御ユニット411C、及び414Cが属する。また、グループ4-4には、図4における温調ユニット411、415、及び対象ユニット419が配置されている配管にあるセンサ及び制御ユニットが属する。具体的には、センサ411T、415T1、415T2、制御ユニット411C、及び415Cが属する。
次に、第2実施形態に係る管理装置12について説明する。なお、ここで言及しない事項は、第1実施形態に従いうる。
物品として、例えば、デバイス(半導体デバイス、磁気記憶媒体、液晶表示素子等)、カラーフィルター、又はハードディスク等の製造方法について説明する。かかる製造方法は、リソグラフィ装置(例えば、露光装置、インプリント装置、描画装置等)を用いてパターンを基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板等)に形成する工程を含む。かかる製造方法は、パターンを形成された基板を処理する工程を更に含む。該処理ステップは、該パターンの残膜を除去するステップを含みうる。また、該パターンをマスクとして基板をエッチングするステップなどの周知の他のステップを含みうる。本実施形態における物品の製造方法は、従来に比べて、物品の性能、品質、生産性及び生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
Claims (14)
- 複数のセンサと複数の制御ユニットを備える制御システムの異常を検出する情報処理装置であって、
前記複数のセンサのうちの2つのセンサの出力値の関係、前記複数の制御ユニットのうちの2つの制御ユニットの制御データの関係、又は前記複数のセンサのうちの1つセンサの出力値及び前記複数の制御ユニットのうちの1つの制御ユニットの制御データの関係を表すモデルを用いて、センサの出力値又は制御ユニットの制御データの異常の度合いを表す異常度を、前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットが少なくとも2つに分けられたグループ毎に算出する算出部と、
前記算出部により算出された前記異常度に基づき前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットの異常を前記グループ毎に判定する判定部と、を有する
ことを特徴とする情報処理装置。 - 前記複数のセンサの出力値、又は前記複数の制御ユニットの制御データに基づき、前記モデルを生成する生成部を有することを特徴とする請求項1に記載の情報処理装置。
- 前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットは、前記制御システムが備えられた基板処理装置のチャンバに基づき前記グループに分けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の情報処理装置。
- 前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットは、前記センサの出力値又は前記制御ユニットの制御データに関する情報が伝達する範囲に基づき前記グループに分けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の情報処理装置。
- 前記制御システムは対象ユニットの温度を調整する温調システムであって、
前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットは、前記制御ユニットにより制御される温調ユニット又は前記対象ユニットに基づき前記グループに分けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の情報処理装置。 - 前記制御システムは配管に冷媒を循環させて対象ユニットの温度を調整する温調システムであって、
前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットは、前記温調システムにおいて冷媒が循環する配管の分岐に関する情報に基づき前記グループに分けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の情報処理装置。 - 前記算出部は、前記モデルを用いて算出された複数の評価値を前記グループの情報に基づきグループに分け、前記グループ毎に前記異常度を算出することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記算出部は、前記グループの情報に基づきグループ分けされた前記モデルを用いて算出された複数の評価値に基づき、前記グループ毎に前記異常度を算出することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記センサは、温度、流量、又は圧力を測定するためのセンサを含むことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 前記制御データは、前記制御ユニットにより制御される制御対象ユニットに入力する指令値、又は前記指令値に応じて前記制御対象ユニットが動作する動作量を含むことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の情報処理装置。
- 複数のセンサと複数の制御ユニットを備える制御システムの異常を検出する検出方法であって、
前記複数のセンサのうちの2つのセンサの出力値の関係、前記複数の制御ユニットのうちの2つの制御ユニットの制御データの関係、又は前記複数のセンサのうちの1つセンサの出力値及び前記複数の制御ユニットのうちの1つの制御ユニットの制御データの関係を表すモデルを用いて、センサの出力値又は制御ユニットの制御データの異常の度合いを表す異常度を、前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットが少なくとも2つに分けられたグループ毎に算出する算出工程と、
前記算出工程において算出された前記異常度に基づき前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットの異常を前記グループ毎に判定する判定工程と、を有する
ことを特徴とする検出方法。 - 請求項11に記載の検出方法をコンピュータに実行させることを特徴とするプログラム。
- 複数のセンサと複数の制御ユニットを備える制御システムを有し、基板に対して処理を行う基板処理装置と、
前記制御システムの異常を検出する管理装置と、を有し、
前記管理装置は、
前記複数のセンサのうちの2つのセンサの出力値の関係、前記複数の制御ユニットのうちの2つの制御ユニットの制御データの関係、又は前記複数のセンサのうちの1つセンサの出力値及び前記複数の制御ユニットのうちの1つの制御ユニットの制御データの関係を表すモデルを用いて、センサの出力値又は制御ユニットの制御データの異常の度合いを表す異常度を、前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットが少なくとも2つに分けられたグループ毎に算出する算出部と、
前記算出部により算出された前記異常度に基づき前記複数のセンサ又は前記複数の制御ユニットの異常を前記グループ毎に判定する判定部と、を有する
ことを特徴とする基板処理システム。 - 請求項13に記載の基板処理システムを用いて、基板を処理する工程と、
前記工程で処理された基板から物品を製造する工程と、を有する
ことを特徴とする物品の製造方法。
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