KR102305100B1 - 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체 - Google Patents

Abstract

데이터 처리 방법은, 1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하기 위해, 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교해 시계열 데이터의 스코어를 구하는 단계와, 스코어를 복수의 레벨로 분류하는 단계와, 처리 유닛에 대해, 스코어의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 그래프와, 각 레벨의 발생 횟수와, 소정의 방법으로 기판을 처리했을 때의 스코어의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 단계를 갖추고 있다. 이에 따라, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공한다.

Description

데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치, 및 데이터 처리 프로그램을 기록한 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체{DATA PROCESSING METHOD, DATA PROCESSING DEVICE, AND COMPUTER READABLE RECORDING MEDIUM WITH DATA PROCESSING PROGRAM RECORDED THEREON}

본 발명은 디지털 데이터 처리에 관한 것으로, 특히, 기판 처리 장치에서 측정된 데이터의 처리 방법, 처리 장치 및 처리 프로그램에 관한 것이다.

기기나 장치의 이상을 검출하는 방법으로서, 기기나 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량(예를 들면, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등)을 센서 등을 이용해 측정하고, 측정 결과를 시계열 순으로 정렬해 얻어진 시계열 데이터를 분석하는 방법이 알려져 있다. 기기나 장치가 동일한 조건에서 동일한 동작을 실시하는 경우, 이상이 없으면, 시계열 데이터는 유사하게 변화한다. 그래서, 유사하게 변화하는 복수의 시계열 데이터를 상호와 비교해 이상(異常)한 시계열 데이터를 검출하고, 이를 분석해 이상의 발생 개소(箇所)나 원인을 특정할 수 있다.

반도체 기판(이하, 기판이라고 한다)의 제조 공정에서는, 복수의 기판 처리 장치를 이용해 일련의 처리가 실행된다. 기판 처리 장치는, 기판에 대해 일련의 처리 중 특정 처리를 실시하는 1 이상의 처리 유닛을 포함하고 있다. 처리 유닛은, 기판에 대해 미리 정한 순서(레시피로 부른다)에 따라 처리를 실시한다. 이때 처리 유닛에서의 측정 결과에 근거해, 시계열 데이터가 얻어진다. 얻어진 시계열 데이터를 분석함으로써, 이상이 발생한 처리 유닛이나 이상의 원인을 특정할 수 있다.

본원발명과 관련하여, 일본 특허공개 2001-265431호 공보에는, 독립적으로 발생하는 에러에 대해서는 에러 정보를 제1 계층에 표시하고, 선행하는 에러에 기인해 발생하는 에러에 대해서는 에러 정보를 제2 계층 이하의 하위층 에리어에 표시하는 에러 출력 방법이 기재되어 있다. 국제공개 제2003/85504호에는, 각종 정보를 표시하기 위한 스크린을 포함한 반도체 시스템 프로세스용의 그래피컬·유저·인터페이스가 기재되어 있다.

기판 처리 장치에서는, 다수의 측정 결과에 근거해 다수의 시계열 데이터가 얻어진다. 이때문에, 이용자(기판 처리 장치의 오퍼레이터)는, 시계열 데이터의 모든 이상을 포함한 표시 화면을 보았을 때에, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 없다.

그러므로, 본 발명은, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있는 데이터 처리 방법을 제공하는 것을 목적으로 한다.

본 발명의 제1 국면은, 1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법에 있어서, 상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와, 상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정 단계와, 상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를 갖춘다.

본 발명의 제2 국면은, 본 발명의 제1 국면에서, 상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 인식하기 쉬운 양태(樣態)로 표시되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제3 국면은, 본 발명의 제2 국면에서, 상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 진한 색으로 표시되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제4 국면은, 본 발명의 제1∼제3 중 어느 하나의 국면에서, 상기 제1 그래프는, 원 그래프 또는 띠 그래프인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제5 국면은, 본 발명의 제1∼제4 중 어느 하나의 국면에서, 상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제6 국면은, 본 발명의 제1∼제5 중 어느 하나의 국면에서, 상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 소정의 방법으로 기판을 처리했을 때의 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제7 국면은, 본 발명의 제6 국면에서, 상기 제2 그래프는, 막대 그래프 또는 꺾은선 그래프인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제8 국면은, 본 발명의 제1∼제7 중 어느 하나의 국면에서, 상기 레벨 판정 단계에서 구한 레벨 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 레벨을 선택하는 레벨 선택 단계를 더 갖추고, 상기 결과 표시 단계는, 상기 레벨 선택 단계에서 선택된 레벨에 근거해 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제9 국면은, 본 발명의 제8 국면에서, 상기 레벨 선택 단계는, 적어도 기판의 처리 기간, 기판에 대한 처리 및 기판을 처리한 처리 유닛 중 어느 하나를 조건으로 하여, 상기 레벨을 선택하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제10 국면은, 본 발명의 제1∼제9 중 어느 하나의 국면에서, 상기 결과 표시 단계는, 상기 평가 결과 화면 외에, 상기 평가값을 구한 방법을 선택하기 위한 화면, 상기 평가값을 구한 이력(履歷)을 표시하는 이력 화면, 표시 대상을 선택하기 위한 화면, 및 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면, 또는 상기 평가값의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 트렌드 화면 중 어느 하나를 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제11 국면은, 본 발명의 제10 국면에서, 상기 결과 표시 단계는, 상기 트렌드 화면을 표시하고, 상기 트렌드 화면 내의 그래프에는, 상기 이력 화면 내에서 선택된 처리 결과에 대응하는 위치에 마크가 붙여져 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제12 국면은, 본 발명의 제1∼제11 중 어느 하나의 국면에서, 상기 결과 표시 단계는, 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 그래프와, 상기 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수를 발생 요인으로 나누어 랭킹 형식으로 나타낸 그래프를 포함하는 로그 통계 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제13 국면은, 본 발명의 제1∼제12 중 어느 하나의 국면에서, 상기 기준 데이터는, 다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제14 국면은, 1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치에 있어서, 상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산부와, 상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정부와, 상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시부를 갖춘다.

본 발명의 제15 국면은, 본 발명의 제14 국면에서, 상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 시인하기 쉬운 양태로 표시되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제16 국면은, 본 발명의 제14 또는 제15 국면에서, 상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제17 국면은, 본 발명의 제14∼제16 중 어느 하나의 국면에서, 상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 소정의 방법으로 기판을 처리했을 때의 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제18 국면은, 본 발명의 제14∼제17 중 어느 하나의 국면에서, 상기 레벨 판정부에서 구한 레벨 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 레벨을 선택하는 레벨 선택부를 더 갖추고, 상기 결과 표시부는, 상기 레벨 선택부에서 선택된 레벨에 근거해 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제19 국면은, 본 발명의 제14∼제18 중 어느 하나의 국면에서, 상기 결과 표시부는, 상기 평가 결과 화면 외에, 상기 평가값을 구한 방법을 선택하기 위한 화면, 상기 평가값을 구한 이력을 표시하는 이력 화면, 표시 대상을 선택하기 위한 화면, 및 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면, 또는, 상기 평가값의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 트렌드 화면 중 어느 하나를 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 제20 국면은, 1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치에서 얻어진 시계열 데이터를 처리하는, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 저장된 데이터 처리 프로그램에 있어서, 상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와, 상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정 단계와, 상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를 컴퓨터에서 CPU가 메모리를 이용해 실행시키는 것을 특징으로 한다.

상기 제1, 제14 또는 제20 국면에 의하면, 처리 유닛에 대해, 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면이 표시된다. 따라서, 이용자는, 제1 그래프를 보는 것으로, 처리 유닛에 대해 각 레벨(특히, 최악 레벨)이 어느 정도의 비율로 발생하고 있는지를 용이하게 인식할 수 있다. 특히, 기판 처리 장치가 복수의 처리 유닛을 포함한 경우에는, 이용자는, 복수의 제1 그래프를 상호 비교함으로써, 어느 처리 유닛에서 최악 레벨이 높은 비율로 발생하고 있는지를 용이하게 인식할 수 있다. 이와 같이 이용자는, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

상기 제2, 제3 또는 제15 국면에 의하면, 나쁜 레벨일수록 인식하기 쉬운 양태로(진한 색으로) 제1 그래프를 표시함으로써, 상기의 효과는 현저하게 된다.

상기 제4 국면에 의하면, 제1 그래프로서 원 그래프 또는 띠 그래프를 이용함으로써, 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 용이하게 나타낼 수 있다.

상기 제5 또는 제16 국면에 의하면, 이용자는, 처리 유닛에서의 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 정확한 값을 알 수 있다.

상기 제6 또는 제17 국면에 의하면, 이용자는, 제2 그래프를 보는 것으로, 최악 레벨의 발생 상황의 시간적 변화를 알게 되어, 처리 유닛이 이상 상태에 가까워지고 있는지 여부를 인식할 수 있다.

상기 제7 국면에 의하면, 제2 그래프로서 막대 그래프 또는 꺾은선 그래프를 이용함으로써, 최악 레벨의 발생 상황의 시간적 변화를 용이하게 나타낼 수 있다.

상기 제8 또는 제18 국면에 의하면, 평가 결과 화면은, 조건을 만족하는 기판에 관한 평가값의 레벨에 근거해 표시된다. 따라서, 이용자는, 바람직한 조건을 주고, 기판 처리 장치의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

상기 제9 국면에 의하면, 이용자는, 특정 기간에서의 처리 유닛의 상태, 특정 처리를 실시했을 때의 처리 유닛의 상태, 및 특정 처리 유닛의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

상기 제10 또는 제19 국면에 의하면, 각종 화면을 계층적으로 표시함으로써, 이용자는, 나쁜 레벨의 평가값을 가지는 기판에 대해 시계열 데이터나 평가값을 용이하게 해석할 수 있다.

상기 제11 국면에 의하면, 이용자는, 이력 화면 내에서 선택한 처리 결과에 대응하는, 트렌드 화면 내의 그래프 상의 위치를 용이하게 인식할 수 있다.

상기 제12 국면에 의하면, 이용자는, 로그 통계 화면을 보는 것으로, 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 인식함과 동시에, 최악 레벨이 많이 발생하는 요인을 용이하게 인식할 수 있다.

상기 제13 국면에 의하면, 기준 데이터로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터에 대해 바람직한 평가값을 구할 수 있다.

본 발명의 이들 및 다른 목적, 특징, 양태 및 효과는, 첨부 도면을 참조해 이하의 상세한 설명으로부터 더욱 밝혀질 것이다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 데이터 처리 장치의 구성을 도시한 블록도이다.
도 2는, 도 1에 도시한 기판 처리 장치의 개략 구성을 도시한 도면이다.
도 3은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치에서의 시계열 데이터를 그래프화해 도시한 도면이다.
도 4는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 도시한 블록도이다.
도 5는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 동작을 도시한 플로우 차트이다.
도 6은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 평가 결과 화면을 도시한 도면이다.
도 7은, 도 6에 도시한 평가 결과 화면의 일부를 확대해 도시한 도면이다.
도 8은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 레시피 선택 화면을 도시한 도면이다.
도 9는, 도 6에 도시한 평가 결과 화면에 포함되는 아이콘의 변화를 도시한 도면이다.
도 10은, 도 6에 도시한 평가 결과 화면의 일부를 도시한 도면이다.
도 11은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 다른 평가 결과 화면을 도시한 도면이다.
도 12는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 스코어링 설정 화면을 도시한 도면이다.
도 13은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 스코어링 이력 화면을 도시한 도면이다.
도 14는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 상세 스코어 화면을 도시한 도면이다.
도 15는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 그래프 화면을 도시한 도면이다.
도 16은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 트렌드 화면을 도시한 도면이다.
도 17은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 서머리 화면을 도시한 도면이다.
도 18은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 그래프 화면을 도시한 도면이다.
도 19는, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 트렌드 화면을 도시한 도면이다.
도 20은, 도 1에 도시한 데이터 처리 장치의 로그 통계 화면을 도시한 도면이다.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태에 따른 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치 및 데이터 처리 프로그램에 대해 설명한다. 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 방법은, 전형적으로는 컴퓨터를 이용해 실행된다. 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 프로그램은, 컴퓨터를 이용해 데이터 처리 방법을 실시하기 위한 프로그램이다. 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 장치는, 전형적으로는 컴퓨터를 이용해 구성된다. 데이터 처리 프로그램을 실행하는 컴퓨터는, 데이터 처리 장치로서 기능한다.

도 1은, 본 발명의 실시형태에 따른 데이터 처리 장치의 구성을 도시한 블록도이다. 도 1에 도시한 데이터 처리 장치(10)는, 데이터 기억부(11), 스코어 계산부(12), 레벨 판정부(13), 스코어/레벨 기억부(14), 필터부(15), 결과 표시부(16) 및 지시 입력부(17)를 갖추고 있다. 데이터 처리 장치(10)는, 기판 처리 장치(20)에 접속되어 이용된다.

기판 처리 장치(20)는 복수의 처리 유닛(25)을 포함하고, 각 처리 유닛(25)에서는 처리 유닛(25)의 동작 상태를 나타낸 복수의 물리량(예를 들면, 길이, 각도, 시간, 속도, 힘, 압력, 전압, 전류, 온도, 유량 등. 이하, 파라미터 라고 한다)이 측정된다. 이에 따라, 복수의 시계열 데이터(SD)가 얻어진다. 또한, 여기에서는 기판 처리 장치(20)는 복수의 처리 유닛(25)을 포함하는 것으로 하지만, 기판 처리 장치(20)는 1개의 처리 유닛(25)을 포함해도 무방하다. 일반적으로, 기판 처리 장치(20)는 1 이상의 처리 유닛(25)을 포함하고 있으면 무방하다.

데이터 기억부(11)는, 상기의 방법에서 구한 시계열 데이터(SD)와, 시계열 데이터(SD)의 기대값 데이터인 기준 데이터(RD)를 기억한다. 기준 데이터(RD)에는, 예를 들면, 다수의 시계열 데이터 중에서 기대값 데이터로서 최적이라고 판단된 다른 시계열 데이터가 사용된다. 스코어 계산부(12)는, 데이터 기억부(11)에 기억된 시계열 데이터(SD)에 대해 평가값(이하, 스코어 라고 한다)을 구한다. 스코어 계산부(12)는, 데이터 기억부(11)로부터 시계열 데이터(SD)와 대응하는 기준 데이터(RD)를 독출해, 양자를 비교함으로써 스코어(SC)를 구한다.

레벨 판정부(13)는, 스코어 계산부(12)에서 구한 스코어(SC)를 복수의 레벨로 분류해, 스코어(SC)의 레벨(LV)을 출력한다. 스코어/레벨 기억부(14)는, 스코어 계산부(12)에서 구한 스코어(SC)와, 레벨 판정부(13)에서 구한 레벨(LV)을 기억한다. 필터부(15)는, 스코어/레벨 기억부(14)에 기억된 스코어(SC)와 레벨(LV) 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택한다. 스코어 계산부(12)는 평가값 계산부로서 기능하고, 필터부(15)는 레벨 선택부로서 기능한다.

결과 표시부(16)는, 처리 유닛(25)에 대해, 스코어(SC)의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시한다. 지시 입력부(17)에는, 이용자로부터의 지시가 입력된다. 이용자는, 지시 입력부(17)를 이용해, 스코어 계산부(12)에서의 스코어의 계산 방법, 레벨 판정부(13)에서의 레벨의 설정 방법, 필터부(15)에서의 필터 방법, 결과 표시부(16)에 표시되는 화면의 선택 등을 지시한다.

도 2는, 기판 처리 장치(20)의 개략 구성을 도시한 도면이다. 기판 처리 장치(20)는, 인덱서부(21)와 처리부(22)를 갖추고 있다. 인덱서부(21)는, 복수의 카세트 유지부(保持部)(23)와, 인덱서 로봇(24)을 포함하고 있다. 처리부(22)는, 복수의 처리 유닛(25)과, 기판 반송 로봇(26)을 포함하고 있다. 카세트 유지부(23)에는, 복수의 기판을 수용하는 카세트(도시하지 않음)가 재치(載置)된다. 인덱서 로봇(24)은, 카세트로부터 기판을 꺼내는 동작과, 카세트에 기판을 넣는 동작을 실시한다. 처리 유닛(25)은, 기판에 대해 처리를 실시하기 위한 공간(이하, 챔버라고 한다)을 가진다. 챔버는, 처리 유닛(25)과 1 대 1로 대응한다. 챔버의 내부에서는, 예를 들면, 처리액을 이용해 기판을 세정하는 등의 처리가 실시된다. 기판 반송 로봇(26)은, 처리 유닛(25)에 기판을 반입하는 동작과, 처리 유닛(25)으로부터 기판을 반출하는 동작을 실시한다. 처리 유닛(25)의 개수는, 임의로 무방하다. 예를 들면, 처리 유닛(25)의 개수가 12개인 경우, 3개의 처리 유닛(25)을 적층한 타워 구조체가, 기판 반송 로봇(26) 주위의 4개소에 설치된다.

인덱서 로봇(24)은, 카세트 유지부(23)에 재치된 카세트로부터 처리 대상의 기판을 꺼내고, 꺼낸 기판을 기판 수도부(基板受渡部, 27)을 통해 기판 반송 로봇(26)으로 전달한다. 기판 반송 로봇(26)은, 인덱서 로봇(24)으로부터 수취한 기판을 대상의 처리 유닛(25)으로 반입한다. 기판에 대한 처리가 종료하면, 기판 반송 로봇(26)은, 대상의 처리 유닛(25)으로부터 기판을 꺼내고, 꺼낸 기판을 기판 수도부(27)를 통해 인덱서 로봇(24)으로 전달한다. 인덱서 로봇(24)은, 기판 반송 로봇(26)으로부터 수취한 기판을 대상의 카세트에 넣는다. 인덱서부(21)와 처리부(22)의 제어는, 기판 처리 장치(20)의 제어부(도시하지 않음)에 의해 실시된다.

이하, 처리 유닛(25)이 1매의 기판에 대해 실시하는 처리를 「단위 처리」라고 한다. 단위 처리의 실행 중에, 처리 유닛(25)에서는, 센서 등을 이용해 복수의 물리량(파라미터)이 측정된다. 복수의 물리량의 측정 결과에 근거해, 복수의 시계열 데이터(SD)가 얻어진다. 얻어진 복수의 시계열 데이터(SD)는, 데이터 기억부(11)에 기억된다. 시계열 데이터(SD)를 그래프화해 나타내면, 예를 들면 도 3에서 실선으로 나타내게 된다. 대응하는 기준 데이터(RD)를 그래프화해 나타내면, 예를 들면 도 3에서 파선으로 나타내게 된다. 도 3에 도시한 예에서는, 시계열 데이터(SD)는, 기준 데이터(RD)와 비교해서 입상(立上)하는 시점이 늦어지고 있다.

도 4는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 컴퓨터의 구성예를 도시한 블록도이다. 도 4에 도시한 컴퓨터(30)는, CPU(31), 메인 메모리(32), 기억부(33), 입력부(34), 표시부(35), 통신부(36) 및 기록 매체 판독부(37)를 갖추고 있다. 메인 메모리(32)에는, 예를 들면, DRAM이 사용된다. 기억부(33)에는, 예를 들면, 하드 디스크가 사용된다. 입력부(34)에는, 예를 들면, 키보드(38)나 마우스(39)가 포함된다. 표시부(35)에는, 예를 들면, 액정 디스플레이가 사용된다. 통신부(36)는, 유선 통신 또는 무선 통신의 인터페이스 회로이다. 기판 처리 장치(20)나 다른 데이터 처리 장치와의 사이의 통신은, 통신부(36)를 이용해 실시된다. 기록 매체 판독부(37)는, 프로그램 등을 기록한 기록 매체(40)의 인터페이스 회로이다. 기록 매체(40)에는, 예를 들면, CD-ROM 등의 비일과성(非一過性)의 기록 매체가 사용된다. 또한, 이상에서 언급한 컴퓨터(30)의 구성은 일례에 지나지 않으며, 임의의 컴퓨터를 이용해 데이터 처리 장치(10)를 구성할 수 있다.

이하, 컴퓨터(30)가 데이터 처리 장치(10)로서 기능하는 경우에 대해 설명한다. 이 경우, 기억부(33)는, 데이터 처리 프로그램(41), 시계열 데이터(SD) 및 기준 데이터(RD)를 기억한다. 시계열 데이터(SD)는, 기판 처리 장치(20)로부터 통신부(36)를 이용해 수신한 것이다. 데이터 처리 프로그램(41)과 기준 데이터(RD)는, 예를 들면, 서버나 다른 컴퓨터로부터 통신부(36)를 이용해 수신한 것이어도 무방하고, 기록 매체(40)로부터 기록 매체 판독부(37)를 이용해 독출한 것이어도 무방하다. 기준 데이터(RD)는, 기억부(33)에 기억된 시계열 데이터(SD) 중에서 이용자가 입력부(34)를 이용해 선택한 것이어도 무방하다. 데이터 처리 프로그램(41)을 실행할 때에는, 데이터 처리 프로그램(41), 시계열 데이터(SD) 및 기준 데이터(RD)는, 메인 메모리(32)에 복사되어 전송된다. CPU(31)는, 메인 메모리(32)를 작업용 메모리로서 이용하여, 메인 메모리(32)에 기억된 데이터 처리 프로그램(41)을 실행함으로써, 시계열 데이터(SD)의 스코어(SC)를 구하는 처리, 스코어(SC)의 레벨(LV)을 구하는 처리, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택하는 처리, 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해 평가 결과 화면을 표시하는 처리 등을 실시한다. 이때 컴퓨터(30)는, 데이터 처리 장치(10)로서 기능한다.

도 5는, 데이터 처리 장치(10)의 동작을 도시한 플로우 차트이다. 데이터 처리 장치(10)가 동작을 개시하기 전에, 데이터 기억부(11)에는, 시계열 데이터(SD)와 기준 데이터(RD)가 기억되어 있다. 데이터 처리 장치(10)는, 도 5에 도시한 단계(S101∼S109)를 반복해 실행한다.

도 5에 도시한 것처럼, 스코어 계산부(12)는, 미처리된 시계열 데이터(SD)가 있는지 여부를 판단하고, Yes인 경우는 단계(S102)로 진행되고, No인 경우는 단계(S105)로 진행된다(단계(S101)). 전자의 경우, 스코어 계산부(12)는, 미처리된 시계열 데이터(SD)의 스코어(SC)를 구한다(단계(S102)). 단계(S102)에서, 스코어 계산부(12)는, 시계열 데이터(SD)와 대응하는 기준 데이터(RD)를 비교함으로써 스코어(SC)를 구한다.

다음으로, 레벨 판정부(13)는, 단계(S102)에서 구한 스코어(SC)의 레벨(LV)을 구한다(단계(S103)). 레벨 판정부(13)는, 스코어(SC)의 레벨 분류에 이용하는 복수의 임계치를 가진다. 단계(S103)에서, 레벨 판정부(13)는, 단계(S102)에서 구한 스코어(SC)와 복수의 임계치를 비교함으로써, 스코어(SC)의 레벨(LV)을 구한다. 다음으로, 스코어/레벨 기억부(14)는, 단계(S102)에서 구한 스코어(SC)와, 단계(S103)에서 구한 레벨(LV)을 기억한다(단계 S104).

다음으로, 결과 표시부(16)는, 화면을 갱신할지 여부를 판단하고, Yes인 경우는 단계(S106)로 진행되고, No인 경우는 단계(S101)로 진행된다(단계(S105)). 단계(S105)에서 결과 표시부(16)는, 스코어/레벨 기억부(14)가 새로운 레벨(LV)을 기억했을 때, 이용자가 지시를 입력했을 때 등에 화면을 갱신한다고 판단한다.

단계(S105)에서 Yes인 경우, 결과 표시부(16)는, 표시해야 할 화면의 종류가 평가 결과 화면인지, 로그 통계 화면인지를 판단하고, 전자의 경우는 단계(S107)로 진행되고, 후자의 경우는 단계(S109)로 진행된다(단계(S106)). 전자의 경우, 필터부(15)는, 스코어/레벨 기억부(14)에 기억된 스코어(SC)와 레벨(LV) 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택한다(단계(S107)). 다음으로, 결과 표시부(16)는, 단계(S107)에서 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해, 평가 결과 화면을 표시한다(단계(S108)).

단계(S106)에서 로그 통계 화면의 경우, 결과 표시부(16)는, 로그 통계 화면을 표시한다(단계(S109)). 단계(S108 또는 S109)를 실행한 후, 데이터 처리 장치(10)의 제어는 단계(S101)로 진행된다.

도 5에 도시한 플로우 차트에서, 스코어 계산부(12)가 실시하는 단계(S102)는, 평가값 계산 단계에 해당한다. 레벨 판정부(13)가 실시하는 단계(S103)는, 레벨 판정 단계에 해당한다. 필터부(15)가 실시하는 단계(S107)는, 레벨 선택 단계에 해당한다. 결과 표시부(16)가 실시하는 단계(S108와 S109)는, 결과 표시 단계에 해당한다.

이하, 기판 처리 장치(20)는 12개의 처리 유닛(25)을 가지고, 레벨 판정부(13)는 스코어(SC)를 4개의 레벨로 분류하는 것으로 한다. 기판 처리 장치(20)가 1회의 단위 처리를 실시하면, 복수의 시계열 데이터(SD)가 얻어진다. 스코어 계산부(12)는, 기판 마다 각 시계열 데이터(SD)에 대해 스코어(SC)를 구한다. 레벨 판정부(13)는, 스코어(SC)의 종류에 대응해, 3개의 임계치 THa∼THc(단, THa＜THb＜THc)를 가진다. 레벨 판정부(13)는, 임계치 THa∼THc를 이용해 스코어(SC)를 4개의 레벨로 분류한다. 보다 상세하게는, 레벨 판정부(13)는, THa 미만의 스코어, THa 이상 THb 미만의 스코어, THb 이상 THc 미만의 스코어, 및 THc 이상의 스코어를, 각각, 레벨 1∼4로 분류한다. 스코어(SC)가 작을수록(스코어(SC)가 좋을수록), 레벨(LV)은 작아진다. 레벨 1∼4 중, 레벨 1은 최선 레벨이며, 레벨 4는 최악 레벨이다.

도 6은, 결과 표시부(16)가 표시하는 평가 결과 화면을 도시한 도면이다. 도 6에 도시한 평가 결과 화면(50)은, 복수의 처리 유닛(25)에 대응해, 복수의 표시 영역(51)을 가진다. 복수의 표시 영역(51)은, 평가 결과 화면(50) 내에 2차원 형상으로 배치된다. 평가 결과 화면(50)의 좌측 부분에는, 기판 처리 장치(20)의 외관도나 식별자, 상태 표시 아이콘 등이 표시된다. 평가 결과 화면(50)의 상측 부분에는, 아이콘(55∼57)이 표시된다. 또한, 도 6에 도시한 평가 결과 화면(50)은, 나쁜 레벨의 발생 횟수가 많을 때의 설명용의 화면이다. 실제로는, 나쁜 레벨의 발생 횟수는, 도 6에 도시한 값보다 적다.

평가 결과 화면(50)은, 12개의 처리 유닛(25)에 대응해, 12개의 표시 영역(51)을 가진다. 각 표시 영역(51)의 내부에는, 원 그래프(52), 레벨 발생 횟수(53) 및 막대 그래프(54)가 표시된다. 원 그래프(52)의 내부에 표시된 문자열 「CHn(n은 자연수)」는, 처리 유닛(25)에 대응하는 챔버의 번호가 n인 것을 나타낸다.

평가 결과 화면(50)을 표시할 때에는, 스코어 평가 기간(예를 들면, 30일간)이 설정되고, 스코어 평가 기간 내에 처리된 기판에 대해, 처리 유닛(25)에 대해 스코어(SC)의 레벨 1∼4의 발생 횟수가 구해진다. 레벨 발생 횟수(53)는, 레벨 1∼4의 발생 횟수와 그 합계(문자 T의 우하(右下)에 기재된 숫자)를 포함하고 있다.

원 그래프(52)는, 레벨 1∼4의 발생 비율을 나타낸다. 원 그래프(52)는, 나쁜 레벨일수록 이용자에 의해 인식되기 쉬운 양태로 표시된다. 평가 결과 화면(50)의 배경이 흰색인 경우, 원 그래프(52)는, 예를 들면, 나쁜 레벨일수록 진한 색으로 표시된다. 레벨 1∼4는, 각각, 예를 들면, 엷은 물색, 진한 물색, 엷은 청색 및 진한 청색으로 표시된다.

막대 그래프(54)는, 소정의 방법으로 기판을 처리했을 때의 스코어의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸다. 스코어 평가 기간은 3개의 기간(이하, 제1∼제3 기간이라고 한다)으로 분할되고, 복수의 레시피 중에서 하나의 레시피(이하, 특정 레시피라고 한다)가 선택된다. 제1∼제3 기간에서 어느 기판(1매의 기판)을 특정 레시피로 처리했을 때의 결과를, 각각, 제1∼제3 레시피 처리 결과 라고 한다. 막대 그래프(54)는, 제1∼제3 레시피 처리 결과에 포함되는 레벨 4의 발생 횟수를 시계열 순으로 나타낸다. 막대 그래프(54)의 각 막대선의 위에는, 레벨 4의 발생 횟수가 표시된다. 막대 그래프(54)의 각 막대선의 아래에는, 각각, 「old」, 「middle」, 및 「latest」라고 표시된다. 막대 그래프(54)는, 가장 높은 막대선의 높이가 일정해지도록, 높이를 조정해 표시된다.

스코어 평가 기간이 30일간인 경우, 스코어 평가 기간은 30일 전부터 21일 전까지의 제1 기간, 20일 전부터 11일 전까지의 제2 기간, 및 10일 전부터 오늘까지의 제3 기간으로 분할된다. 막대 그래프(54)는, 예를 들면, 30일 전에 있는 기판을 특정 레시피로 처리했을 때의 레시피 처리 결과에 포함되는 레벨 4의 발생 횟수, 15일 전에 있는 기판을 특정 레시피로 처리했을 때의 레시피 처리 결과에 포함되는 레벨 4의 발생 횟수, 및 직전(直前)에 있는 기판을 특정 레시피로 처리했을 때의 레시피 처리 결과에 포함되는 레벨 4의 발생 횟수를 나타낸다.

이용자는, 평가 결과 화면(50)을 보는 것으로, 기판 처리 장치(20)의 상태를 용이하게 파악할 수 있다. 특히, 본 실시 형태에 따른 기판 처리 장치(20)는, 복수의 처리 유닛(25)을 포함하고 있다. 따라서, 이용자는, 처리 유닛(25)에 있어서 다수의 측정 결과에 근거해 얻어진 다수의 시계열 데이터가 나타내는 기판 처리 장치(20)의 이상 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

또한, 도 6에서는, 도면 기재의 편의상, 평가 결과 화면(50)을 흰색, 검은색, 및 패턴을 이용해 표현하고 있지만, 실제로는, 평가 결과 화면(50)은 복수의 색을 이용해 표시된다. 평가 결과 화면(50)은, 원 그래프(52)를 대신해, 스코어의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 띠 그래프를 포함해도 무방하고, 막대 그래프(54)를 대신해, 스코어의 최악 레벨의 발생 상황의 시간적 변화를 나타낸 꺾은선 그래프를 포함해도 무방하다. 평가 결과 화면(50)은, 4개 이상의 막대선을 가지는 막대 그래프(54)를 포함해도 무방하다. 또한, 분할한 각 기간에서 복수의 기판을 특정 레시피로 처리한 결과를 레시피 처리 결과로서 이용해도 무방하다. 또한, 복수의 레시피를 특정 레시피로서 선택해, 특정 레시피로 처리한 결과를 레시피 처리 결과로서 이용해도 무방하다.

데이터 처리 장치(10)는, 평가 결과 화면(50)을 표시하는 기능 외에, 기간 필터 기능, 레시피 필터 기능, 챔버 필터 기능, 계층 표시 기능, 및 로그 통계 화면 표시 기능을 가진다. 이하, 이러한 기능을 순서대로 설명한다.

우선, 기간 필터 기능에 대해 설명한다. 도 7은, 평가 결과 화면(50)의 일부를 확대해 도시한 도면이다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 아이콘(56)을 선택하면, 도 7에 도시한 풀다운 메뉴(58)가 표시된다. 풀다운 메뉴(58)의 각 항목은, 스코어 평가 기간의 길이를 나타낸다. 「12h」, 「24h」, 「2d」, 「7d」 및 「30d」는, 각각, 12시간, 24시간, 2일간, 7일간, 및 30일간을 나타낸다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 풀다운 메뉴(58) 중에서 1개의 항목을 선택함으로써, 스코어 평가 기간이 설정된다.

필터부(15)는, 스코어/레벨 기억부(14)에 기억된 스코어(SC)와 레벨(LV) 중에서, 스코어 평가 기간 내에 처리된 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택한다. 결과 표시부(16)는, 필터부(15)에서 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해, 처리 유닛(25)에 대해, 원 그래프(52), 레벨 발생 횟수(53) 및 막대 그래프(54)를 포함한 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 예를 들면, 스코어 평가 기간의 길이가 30일간인 경우, 평가 결과 화면(50)에 포함되는 레벨 발생 횟수(53)는, 30일 전부터 현시점까지 처리된 기판에 관한 스코어(SC)의 레벨 1∼4의 발생 횟수와 그 합계를 나타낸다.

다음으로, 레시피 필터 기능에 대해 설명한다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 아이콘(55)을 선택하면, 평가 결과 화면(50)에 중첩하여, 도 8에 도시한 레시피 선택 화면(60)이 표시된다. 레시피 선택 화면(60)은, 온 상태와 오프 상태로 전환 가능한 스위치(61)와, 레시피 리스트(62)를 포함하고 있다. 스위치(61)의 디폴트 상태는, 온 상태이다. 레시피 리스트(62)의 각 행에는, 레시피의 식별자, 레시피의 명칭 및 레시피의 상태가 표시된다. 레시피의 상태는, 유효 상태(Enabled) 또는 무효 상태(Disabled) 이다.

스위치(61)가 온 상태일 때에는, 레시피 리스트(62)에 포함되는, 모든 유효 상태의 레시피가 선택된다. 스위치(61)가 오프 상태일 때에는, 이용자가 마우스(39)를 조작해 레시피 리스트(62) 중에서 1개 또는 복수의 레시피를 선택한다. 필터부(15)는, 스코어/레벨 기억부(14)에 기억된 스코어(SC)와 레벨(LV) 중에서, 선택된 레시피에 따라 처리된 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택한다. 결과 표시부(16)는, 필터부(15)에서 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해, 처리 유닛(25)에 대해, 원 그래프(52), 레벨 발생 횟수(53) 및 막대 그래프(54)를 포함한 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 예를 들면, 레시피 「Recipe031」가 선택되었을 경우, 평가 결과 화면(50)에 포함되는 레벨 발생 횟수(53)는, 레시피 「Recipe031」에 따라 처리된 기판에 대한 스코어(SC)의 레벨 1∼4의 발생 횟수와 그 합계를 나타낸다.

아이콘(55)은, 스위치(61)의 상태에 따른 양태로 표시된다. 스위치(61)가 온 상태일 때는, 소정의 색을 이용해, 도 9(a)에 도시한 아이콘(55a)이 표시된다. 스위치(61)가 오프 상태일 때는, 다른 색을 이용해, 도 9(b)에 도시한 아이콘(55b)이 표시된다. 이와 같이 레시피 필터의 적용 상태에 따라 아이콘(55)을 다른 양태로(다른 색으로) 표시함으로써, 이용자는 레시피 필터를 적용하고 있는지 여부를 용이하게 인식할 수 있다.

스위치(61)가 온 상태, 또는 스위치(61)가 오프 상태에서 복수의 레시피가 선택되어 있는 경우에는, 상술한 것처럼, 막대 그래프(54)의 각 막대선의 아래에는, 각각, 「old」, 「middle」 및 「latest」라고 표시된다(도 6). 이에 대해, 스위치(61)가 오프 상태에서 1개의 레시피 만이 선택되어 있는 경우에는, 도 10에 도시한 것처럼, 막대 그래프(54)의 3번째의 막대선의 아래에는, 제3 레시피 처리 결과가 얻어졌을 때의 기판에 대한 처리의 개시일(또는, 개시 시각)이 표시된다. 도 10에 기재된 문자열 「08/22」는, 제3 레시피 처리 결과가 얻어졌을 때의 기판에 대한 처리의 개시일이 8월 22일인 것을 나타낸다. 막대 그래프(54)의 1번째 및 2번째의 막대선의 아래에는, 대상 기간 외인 것을 나타내는 기호 「-」이 표시된다. 1개의 레시피 만이 선택되어 있는 경우에 상기의 표시를 실시함으로써, 이용자는 어느 일시에 처리된 시계열 데이터로부터 상세한 조사를 실시하면 좋은지를 알 수 있다.

다음으로, 챔버 필터 기능에 대해 설명한다. 도 11은, 데이터 처리 장치(10)의 다른 평가 결과 화면을 도시한 도면이다. 도 11에 도시한 평가 결과 화면(59)은, 12개의 처리 유닛(25) 중 9개의 처리 유닛에 대응해, 9개의 표시 영역(51)을 가진다. 평가 결과 화면(59)의 각 표시 영역(51)의 내부에는, 원 그래프(52), 레벨 발생 횟수(53) 및 막대 그래프(54)가 표시된다.

평가 결과 화면(59)을 표시할 때에는, 12개의 처리 유닛(25) 중에서, 평가 결과를 표시하는 처리 유닛(이하, 표시 대상 처리 유닛이라고 한다)이 선택된다. 표시 대상 처리 유닛은, 데이터 처리 장치(10)의 초기 설정 시에 미리 선택되어 있어도 무방하고, 이용자가 임의로 선택해도 무방하다. 필터부(15)는, 스코어/레벨 기억부(14)에 기억된 스코어(SC)와 레벨(LV) 중에서, 표시 대상 처리 유닛에서 처리된 기판에 관한 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택한다. 결과 표시부(16)는, 필터부(15)에서 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해, 표시 대상 처리 유닛에 대해, 원 그래프(52), 레벨 발생 횟수(53) 및 막대 그래프(54)를 포함한 평가 결과 화면(59)을 표시한다.

표시 대상 처리 유닛의 개수가 처리 유닛(25)의 개수(여기서는 12개) 보다 적은 경우에는, 평가 결과 화면 내의 표시 영역의 위치는, 평가 결과 화면(50) 내의 표시 영역(51)의 위치와 상이해도 무방하다. 또한, 평가 결과 화면 내의 표시 영역의 사이즈는, 평가 결과 화면(50) 내의 표시 영역(51)의 사이즈 보다 커도 무방하다.

필터부(15)는, 기간 필터, 레시피 필터 및 챔버 필터를 임의로 조합해, 스코어(SC)와 레벨(LV)을 선택해도 무방하다. 또한, 필터부(15)는, 상기 이외의 필터 처리를 실시해도 무방하다.

다음으로, 도 12∼도 19를 참조해, 계층 표시 기능에 대해 설명한다. 도 12∼도 19에는, 도 6에 도시한 평가 결과 화면(50)에 중첩해, 탭 형식으로 전환되어 표시되는 각종 화면이 기재되어 있다. 도 12∼도 19에 도시한 화면의 상측 부분에는, 아이콘(81∼84)이 표시된다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 평가 결과 화면(50) 내에서 1개의 처리 유닛(여기에서는, 12번째의 처리 유닛(25))을 선택하면, 도 12에 도시한 스코어링 설정 화면(71)이 표시된다. 스코어링 설정 화면(71) 내의 리스트의 각 행에는, 스코어를 구한 방법(이하, 스코어링 설정이라고 한다)과, 그 방법을 이용했을 때의 각 레벨의 발생 횟수가 표시된다. 스코어링 설정에는, 스코어링 설정의 식별자, 레시피의 명칭, 기준 데이터의 명칭 등이 포함된다. 스코어링 설정 화면(71) 내의 리스트의 3행째에 기재된 숫자 「8086」은, 12번째의 처리 유닛(25)이 복수의 기판에 대해 레시피 「Recipe031」에 따라 처리를 실시하고, 그 때에 얻어진 시계열 데이터를 기준 데이터 「ReferenceData038」와 비교하여 스코어를 구했을 때에, 레벨 4의 발생 횟수가 8086회인 것을 나타낸다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 스코어링 설정 화면(71) 내의 리스트 중에서 1개의 스코어링 설정(여기서는, 3행째의 스코어링 설정)을 선택하면, 도 13에 도시한 스코어링 이력 화면(72)이 표시된다. 스코어링 이력 화면(72)의 리스트의 각 행에는, 1매의 기판에 대해 단위 처리를 실시한 결과(이하, 처리 결과 라고 한다)가 표시된다. 처리 결과에는, 전체평가(Total), 레벨 1∼4의 발생 횟수, 레시피의 명칭, 처리 개시 일시, 처리 종료 일시 등이 포함된다. 스코어링 이력 화면(72) 내의 리스트의 2행째에 기재된 숫자 「8」은, 12번째의 처리 유닛(25)이 2018년 8월 23일 9시 52분 54초부터 처리를 개시한 기판에 대해 레벨 4의 발생 횟수가 8회인 것을 나타낸다. 전체평가란(全體評價欄)은, 발생한 최악 레벨에 할당된 색으로 표시된다. 발생한 최악 레벨이 레벨 1∼4일 때에는, 전체평가란은, 각각, 예를 들면, 엷은 물색, 진한 물색, 엷은 청색 및 진한 청색으로 표시된다.

스코어링 이력 화면(72)은, 검색 설정부(85)를 가진다. 이용자는, 마우스(39)와 키보드(38)를 조작해, 검색 설정부(85) 내의 각 란(欄)(레시피의 명칭, 기간, 경고 등의 란)에 검색용의 문자열을 입력하거나, 체크를 넣은 후에, 검색 버튼(86)을 누른다. 이에 따라, 스코어링 이력 화면(72) 내의 리스트에는, 검색 설정부(85)를 이용해 지정된 조건을 만족하는 기판에 대한 처리 결과가 표시된다. 또한, 문자열 검색을 실시할 때는, 부분 일치와 전문 일치를 선택할 수 있다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 스코어링 이력 화면(72) 내의 리스트 중에서 1개의 처리 결과(여기서는, 2행째의 처리 결과)를 선택하고, 그 후에 아이콘(81)을 선택하면, 도 14에 도시한 상세 스코어 화면(73)이 표시된다. 상세 스코어 화면(73) 내의 리스트의 각 행에는, 파라미터의 명칭과 스코어가 표시된다. 스코어란은, 스코어의 레벨에 할당된 색으로 표시된다. 스코어의 레벨이 1∼4일 때에는, 스코어란은, 각각, 예를 들면, 엷은 물색, 진한 물색, 엷은 청색 및 진한 청색으로 표시된다. 상세 스코어 화면(73) 내의 리스트의 3행째에 기재된 숫자 「21.138」은, 파라미터 「Parameter006」에 대한 스코어가 21.138인 것을 나타낸다. 이 스코어의 레벨은 4이다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 상세 스코어 화면(73) 내의 리스트 중에서 1개의 파라미터(여기서는, 3행째의 파라미터)를 선택하고, 그 후에 아이콘(82)을 선택하면, 도 15에 도시한 그래프 화면(74)이 표시된다. 그래프 화면(74)에는, 종방향의 사이즈가 상대적으로 큰 2개의 그래프와, 종방향의 사이즈가 상대적으로 작은 2개의 그래프가 포함된다(이하, 전자를 확대 그래프, 후자를 전체 그래프라고 한다). 2개의 그래프 중 일방은 기준 데이터(RD)의 그래프이고, 다른 일방은 시계열 데이터(SD)의 그래프이다.

전체 그래프는, 표시해야 할 기간의 전체를 나타낸다. 확대 그래프는, 전체 그래프 중 이용자가 지정한 범위를 확대해 나타낸다. 확대 그래프에 포함되는 전체 그래프의 횡방향의 범위는, 이용자가 마우스(39)를 조작해 전체 그래프의 일부를 선택함으로써 지정된다. 확대 그래프에 포함되는 전체 그래프의 종방향의 범위는, 이용자가 마우스(39)와 키보드(38)를 조작해 「Set Y Range」로 기재된 2개의 란(欄)에 종방향의 최소값과 최대값을 입력함으로써 지정된다. 또한, 도 15(및 후술하는 도 16, 도 18, 도 19)에서는, 전체 그래프의 횡방향의 전체가, 확대 그래프에 포함되는 전체 그래프의 횡방향의 범위로서 지정되어 있다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 상세 스코어 화면(73) 내의 리스트 중에서 1개의 파라미터(여기서는, 3행째의 파라미터)를 선택하고, 그 후에 아이콘(83)을 선택하면, 도 16에 도시한 트렌드 화면(75)이 표시된다. 트렌드 화면(75)에는, 1개의 전체 그래프와 1개의 부분 그래프가 포함된다. 각 그래프는, 스코어의 시간적 변화를 나타낸다. 트렌드 화면(75) 내의 전체 그래프에는, 스코어링 이력 화면(72) 내에서 선택된 처리 결과에 대응하는 위치에 마크(87)가 붙여진다. 마크(87)는, 이용자가 인식하기 쉬운 양태로(예를 들면, 붉은색의 원으로) 표시된다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 스코어링 이력 화면(72) 내의 리스트 중에서 복수의 처리 결과(여기에서는, 2행째, 4행째, 7행째 및 8행째의 처리 결과)를 선택하고, 그 후에 아이콘(84)을 선택하면, 도 17에 도시한 서머리 화면(76)이 표시된다. 서머리 화면(76)에는, 2개의 리스트가 포함된다. 상측의 리스트에는, 스코어링 이력 화면(72) 내에서 선택된 복수의 처리 결과가 표시된다. 하측의 리스트의 각 행에는, 복수의 기판에 대한 처리 결과로서, 파라미터의 명칭과 레벨 1∼4의 발생 횟수가 표시된다. 서머리 화면(76) 내의 하측의 리스트의 3행째에 기재된 숫자 「2」는, 스코어링 이력 화면(72) 내에서 선택된 4개의 처리 결과(4매의 기판의 처리 결과)에서는, 파라미터 「Parameter006」에 대해 레벨 4의 발생 횟수가 2회인 것을 나타낸다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 서머리 화면(76) 내의 하측의 리스트 중에서 1개의 파라미터(여기서는, 3행째의 파라미터)를 선택하고, 그 후에 아이콘(82)을 선택하면, 도 18에 도시한 그래프 화면(77)이 표시된다. 스코어링 이력 화면(72) 내의 리스트 중에서 선택된 처리 결과의 개수가 m개(m은 2 이상의 자연수)일 때, 그래프 화면(77)에는 (m+1)개의 부분 그래프와, (m+1)개의 전체 그래프가 포함된다. (m+1)개의 그래프 중 1개는 기준 데이터(RD)의 그래프이며, 그 이외는 시계열 데이터(SD)의 그래프이다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 서머리 화면(76) 내의 하측의 리스트 중에서 1개의 파라미터(여기에서는, 3행째의 파라미터)를 선택하고, 그 후에 아이콘(83)을 선택하면, 도 19에 도시한 트렌드 화면(78)이 표시된다. 트렌드 화면(78)에 표시되는 그래프는, 트렌드 화면(75)에 표시되는 그래프와 같다. 트렌드 화면(78) 내의 전체 그래프에는, 스코어링 이력 화면(72) 내에서 선택된 복수의 처리 결과에 대응하는 위치에 복수의 마크(87)(여기서는, 4개의 마크)가 붙여진다.

이와 같이 결과 표시부(16)는, 평가 결과 화면(50), 스코어링 설정 화면(71) 및 스코어링 이력 화면(72)을 계층적으로 표시한다. 스코어링 이력 화면(72) 내에서 1개의 처리 결과가 선택되었을 때에는, 결과 표시부(16)는, 이어서 상세 스코어 화면(73) 및 그래프 화면(74) 또는 트렌드 화면(75)을 계층적으로 표시한다. 스코어링 이력 화면(72) 내에서 복수의 처리 결과가 선택되었을 때에는, 결과 표시부(16)는, 이어서 서머리 화면(76) 및 그래프 화면(77) 또는 트렌드 화면(78)을 계층적으로 표시한다.

스코어링 설정 화면(71)은, 평가값을 구한 방법(스코어링 설정)을 선택하기 위한 화면에 해당한다. 스코어링 이력 화면(72)은, 평가값(스코어)을 구한 이력을 표시하는 이력 화면에 해당한다. 상세 스코어 화면(73)과 서머리 화면(76)은, 표시 대상을 선택하기 위한 화면에 해당한다. 그래프 화면(74, 77)은, 시계열 데이터(SD)의 그래프를 포함하는 화면에 해당한다. 트렌드 화면(75, 78)은, 평가값(스코어)의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하고 있다.

다음으로, 로그 통계 화면 표시 기능에 대해 설명한다. 도 20은, 도 5에 도시한 단계(S109)에서 표시되는 로그 통계 화면을 도시한 도면이다. 도 20에 도시한 로그 통계 화면(90)은, 4개의 막대 그래프(91∼94)를 포함하고 있다. 로그 통계 화면(90)의 상측 부분에는, 아이콘(55, 95, 96)이 표시된다. 로그 통계 화면(90)은, 도 6에 도시한 평가 결과 화면(50)의 좌측 부분에 있는 상태 표시 아이콘을 전환함으로써 표시된다. 또한, 도면 기재의 편의상, 로그 통계 화면(90)에서의 레벨 1∼4의 발생 횟수와 평가 결과 화면(50)에서의 레벨 1∼4의 발생 횟수는 일치하고 있지 않다.

로그 통계 화면(90)을 표시할 때에는, 집계 기간과 집계 단위가 설정된다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 아이콘(96)을 선택하면, 캘린더 화면(도시하지 않음)이 표시된다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 캘린더 화면 중에서 2개의 일자를 선택함으로써, 집계 기간의 개시일과 종료일이 설정된다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 아이콘(95)을 선택하면, 풀다운 메뉴(도시하지 않음)가 표시된다. 풀다운 메뉴의 각 항목은, 집계 단위를 나타낸다. 이용자가 마우스(39)를 조작해 풀다운 메뉴 중에서 1개의 항목을 선택함으로써, 집계 단위가 설정된다. 로그 통계 화면(90)에서는, 집계 기간은 2018년 6월 23일부터 2018년 8월 22일까지의 기간으로 설정되고, 집계 단위는 1일(Daily)로 설정되어 있다.

막대 그래프(91)는, 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 스코어(SC)의 레벨 1∼4의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸다. 막대 그래프(91)에 포함되는 각 막대선은, 모든 처리 유닛(25)에서 집계 단위(여기서는, 1일) 내에 처리된 기판에 대해 레벨 1∼4의 발생 횟수를 나타낸다. 막대 그래프(91)는, 원 그래프(52)와 마찬가지로, 나쁜 레벨일수록 이용자에 의해 인식되기 쉬운 양태로 표시된다. 레벨 1∼4는, 각각, 예를 들면, 엷은 물색, 진한 물색, 엷은 청색, 및 진한 청색으로 표시된다. 막대 그래프(92∼94)는, 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 레벨 4의 발생 횟수를 발생 요인으로 나누어 랭킹 형식으로 나타낸다. 막대 그래프(92)는, 파라미터 마다 레벨 4의 발생 횟수를 랭킹 형식으로 나타낸다. 막대 그래프(93)는, 챔버마다 레벨 4의 발생 횟수를 랭킹 형식으로 나타낸다. 막대 그래프(94)는, 레시피 마다 레벨 4의 발생 횟수를 랭킹 형식으로 나타낸다.

이용자가 마우스(39)를 조작해 로그 통계 화면(90)에 포함된 아이콘(55)을 선택했을 때에는, 필터부(15)는, 이용자가 평가 결과 화면(50)에 포함된 아이콘(55)을 선택했을 때와 같은 필터 처리를 실시한다. 결과 표시부(16)는, 필터부(15)에서 선택된 스코어(SC)와 레벨(LV)에 근거해, 로그 통계 화면(90)을 표시한다.

이상에서 나타낸 것처럼, 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 방법은, 1 이상의 처리 유닛(25)을 가지는 기판 처리 장치(20)에서 얻어진 시계열 데이터(SD)를 처리하기 위해, 시계열 데이터(SD)와 기준 데이터(RD)를 비교함으로써, 시계열 데이터(SD)의 평가값(스코어(SC))을 구하는 평가값 계산 단계(S102)와, 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정 단계(S103)와, 처리 유닛(25)에 대해, 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프(원 그래프(52))를 포함한 평가 결과 화면(50)을 표시하는 결과 표시 단계(S108)를 갖추고 있다.

따라서, 이용자는, 제1 그래프를 보는 것으로, 처리 유닛(25)에서 각 레벨(특히, 최악 레벨인 레벨 4)이 어느 정도의 비율로 발생하고 있는지를 용이하게 인식할 수 있다. 특히, 기판 처리 장치(20)가 복수의 처리 유닛(25)을 포함한 경우에는, 이용자는, 복수의 제1 그래프를 상호 비교함으로써, 어느 처리 유닛(25)에서 최악 레벨(레벨 4)이 높은 비율로 발생하고 있는지를 용이하게 인식할 수 있다. 이와 같이 이용자는, 기판 처리 장치(20)의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 인식하기 쉬운 양태로(진한 색으로) 표시된다. 이에 따라, 상기의 효과는 현저하게 된다. 제1 그래프는, 원 그래프 또는 띠 그래프이다. 따라서, 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 용이하게 나타낼 수 있다.

평가 결과 화면(50)은, 처리 유닛(25)에 대해, 평가값의 각 레벨의 발생 횟수(레벨 발생 횟수(53))를 포함한다. 따라서, 이용자는, 처리 유닛(25)에서의 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 정확한 값을 알 수 있다.

평가 결과 화면(50)은, 처리 유닛(25)에 대해, 소정의 방법으로(특정 레시피로) 기판을 처리했을 때의 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프(막대 그래프(54))를 포함한다. 따라서, 이용자는, 제2 그래프를 보는 것으로, 최악 레벨의 발생 상황의 시간적 변화를 알게 되어, 처리 유닛(25)이 이상 상태에 가까워지고 있는지 여부를 인식할 수 있다. 제2 그래프는, 막대 그래프 또는 꺾은선 그래프이다. 따라서, 최악 레벨의 발생 상황의 시간적 변화를 용이하게 나타낼 수 있다.

본 실시 형태에 따른 데이터 처리 방법은, 평가값 계산 단계에서 구한 평가값 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 평가값을 선택하는 평가값 선택 단계(S106)를 갖추고, 결과 표시 단계는, 평가값 선택 단계에서 선택된 평가값에 근거해 평가 결과 화면(50)을 표시한다. 따라서, 이용자는, 바람직한 조건을 주고, 기판 처리 장치(20) 상태를 용이하게 파악할 수 있다. 평가값 선택 단계는, 적어도 기판의 처리 기간, 기판에 대한 처리 및 기판을 처리한 처리 유닛 중 어느 하나를 조건으로 하여, 레벨을 선택한다. 따라서, 이용자는, 특정 기간에서의 처리 유닛(25)의 상태, 특정 처리를 실시했을 때의 처리 유닛(25)의 상태 및 특정 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

결과 표시 단계는, 평가 결과 화면(50) 외에, 평가값을 구한 방법을 선택하기 위한 화면(스코어링 설정 화면(71)), 평가값을 구한 이력을 표시하는 이력 화면(스코어링 이력 화면(72)), 표시 대상을 선택하기 위한 화면(상세 스코어 화면(73), 서머리 화면(76)), 및 시계열 데이터(SD)의 그래프를 포함하는 화면(그래프 화면(74, 77)), 또는 평가값의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 트렌드 화면(75, 78) 중 어느 하나를 계층적으로 표시한다. 따라서, 이용자는, 나쁜 레벨의 평가값을 가지는 기판에 대해 시계열 데이터(SD)나 평가값을 용이하게 해석할 수 있다. 결과 표시 단계는, 트렌드 화면(75, 78)을 표시하고, 트렌드 화면(75, 78) 내의 그래프에는, 이력 화면 내에서 선택된 처리 결과에 대응하는 위치에 마크(87)가 붙여진다. 따라서, 이용자는, 이력 화면 내에서 선택한 처리 결과에 대응하는, 트렌드 화면(75, 78) 내의 그래프 상의 위치를 용이하게 인식할 수 있다.

결과 표시 단계는, 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 그래프(막대 그래프(91))와, 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수를 발생 요인으로 나누어 랭킹 형식으로 나타낸 그래프(막대 그래프(92∼94))를 포함하는 로그 통계 화면(90)을 표시한다. 따라서, 이용자는, 로그 통계 화면(90)을 보는 것으로, 각 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 인식함과 동시에, 최악 레벨이 많이 발생하는 요인을 용이하게 인식할 수 있다. 기준 데이터(RD)로서 다른 시계열 데이터를 이용함으로써, 시계열 데이터(SD)에 대해 바람직한 평가값을 구할 수 있다.

본 실시 형태에 따른 데이터 처리 장치(10) 및 데이터 처리 프로그램(41)은, 상기의 데이터 처리 방법과 유사한 특징을 가지고, 유사한 효과를 나타낸다. 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 방법, 데이터 처리 장치(10), 및 데이터 처리 프로그램(41)에 의하면, 이용자는, 기판 처리 장치(20)에 포함된 1 이상의 처리 유닛(25)의 상태를 용이하게 파악할 수 있다.

또한, 이상에서 언급한 데이터 처리 방법에서는, 평가 결과 화면(50)은, 레벨 발생 횟수(53), 원 그래프(52), 및 막대 그래프(54)를 포함하는 것으로 하였다. 그러나, 평가 결과 화면(50)은, 레벨 발생 횟수(53), 원 그래프(52) 및 막대 그래프(54)를 반드시 모두 포함할 필요는 없다. 또한, 본 실시 형태에 따른 데이터 처리 방법은, 기간 필터 기능, 레시피 필터 기능, 챔버 필터 기능, 계층 표시 기능, 및 로그 통계 화면 표시 기능을 가지는 것으로 하였다. 변형예에 따른 데이터 처리 방법은, 상기의 처리를 전혀 가지지 않아도 무방하고, 상기의 처리에서 임의로 선택한 처리 만을 가지고 있어도 무방하다. 변형예에 따른 데이터 처리 장치 및 데이터 처리 프로그램에 대해서도, 이와 마찬가지이다.

이상에 대해 본 발명을 상세하게 설명했지만, 이상의 설명은 모든 면에서 예시적인 것이며 제한적인 것은 아니다. 다수의 다른 변경이나 변형이 본 발명의 범위를 벗어나지 않고 고안 가능한 것으로 양해된다.

Claims (20)

1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 방법에 있어서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정 단계와,
상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계를 갖추고,
상기 복수의 레벨은, 최선 레벨과 최악 레벨을 포함하고,
상기 레벨은, 상기 평가값이 작을수록 좋고,
상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 진한 색으로 표시되고,
상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 선정된 방법으로 기판을 처리했을 때의 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프를 더 포함하고,
상기 제1 그래프와 상기 제2 그래프는, 상기 처리 유닛 마다 표시되는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 제1 그래프는,
원 그래프 또는 띠 그래프인 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 평가 결과 화면은,
상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 제2 그래프는,
막대 그래프 또는 꺾은선 그래프인 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 레벨 판정 단계에서 구한 레벨 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 레벨을 선택하는 레벨 선택 단계
를 더 갖추고,
상기 결과 표시 단계는,
상기 레벨 선택 단계에서 선택된 레벨에 근거해 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제5항에 있어서,
상기 레벨 선택 단계는,
적어도 기판의 처리 기간, 기판에 대한 처리, 및 기판을 처리한 처리 유닛 중 어느 하나를 조건으로 하여, 상기 레벨을 선택하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 결과 표시 단계는,
상기 평가 결과 화면 외에, 상기 평가값을 구한 방법을 선택하기 위한 화면, 상기 평가값을 구한 이력을 표시하는 이력 화면, 표시 대상을 선택하기 위한 화면, 및 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면, 또는, 상기 평가값의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 트렌드 화면 중 어느 하나를 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제7항에 있어서,
상기 결과 표시 단계는, 상기 트렌드 화면을 표시하고,
상기 트렌드 화면 내의 그래프에는,
상기 이력 화면 내에서 선택된 처리 결과에 대응하는 위치에 마크가 붙여져 있는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 결과 표시 단계는,
집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 그래프와, 상기 집계 기간 내에 처리된 기판에 대해 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수를 발생 요인으로 나누어 랭킹 형식으로 나타낸 그래프를 포함하는 로그 통계 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

제1항에 있어서,
상기 기준 데이터는,
다른 시계열 데이터인 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 방법.

1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 얻어진 시계열 데이터를 처리하는 데이터 처리 장치에 있어서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산부와,
상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정부와,
상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시부를 갖추고,
상기 복수의 레벨은, 최선 레벨과 최악 레벨을 포함하고,
상기 레벨은, 상기 평가값이 작을수록 좋고,
상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 진한 색으로 표시되고,
상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 선정된 방법으로 기판을 처리했을 때의 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프를 더 포함하고,
상기 제1 그래프와 상기 제2 그래프는, 상기 처리 유닛 마다 표시되는, 데이터 처리 장치.

제11항에 있어서,
상기 평가 결과 화면은,
상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 횟수를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 장치.

제11항에 있어서,
상기 레벨 판정부에서 구한 레벨 중에서, 주어진 조건을 만족하는 기판에 관한 레벨을 선택하는 레벨 선택부
를 더 갖추고,
상기 결과 표시부는,
상기 레벨 선택부에서 선택된 레벨에 근거해 상기 평가 결과 화면을 표시하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 장치.

제11항에 있어서,
상기 결과 표시부는,
상기 평가 결과 화면 외에, 상기 평가값을 구한 방법을 선택하기 위한 화면, 상기 평가값을 구한 이력을 표시하는 이력 화면, 표시 대상을 선택하기 위한 화면, 및 상기 시계열 데이터의 그래프를 포함하는 화면, 또는, 상기 평가값의 시간적 변화를 나타낸 그래프를 포함하는 트렌드 화면 중 어느 하나를 계층적으로 표시하는 것을 특징으로 하는, 데이터 처리 장치.

1 이상의 처리 유닛을 가지는 기판 처리 장치의 동작 상태를 나타내는 물리량을 측정하는 센서로부터 얻어진 시계열 데이터를 처리하는, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 저장된 데이터 처리 프로그램에 있어서,
상기 시계열 데이터와 기준 데이터를 비교함으로써, 상기 시계열 데이터의 평가값을 구하는 평가값 계산 단계와,
상기 평가값을 복수의 레벨로 분류하는 레벨 판정 단계와,
상기 처리 유닛에 대해, 상기 평가값의 각 레벨의 발생 비율을 나타낸 제1 그래프를 포함하는 평가 결과 화면을 표시하는 결과 표시 단계
를 컴퓨터에서 CPU가 메모리를 이용해 실행시키고,
상기 복수의 레벨은, 최선 레벨과 최악 레벨을 포함하고,
상기 레벨은, 상기 평가값이 작을수록 좋고,
상기 제1 그래프는, 나쁜 레벨일수록 진한 색으로 표시되고,
상기 평가 결과 화면은, 상기 처리 유닛에 대해, 선정된 방법으로 기판을 처리했을 때의 상기 평가값의 최악 레벨의 발생 횟수의 시간적 변화를 나타낸 제2 그래프를 더 포함하고,
상기 제1 그래프와 상기 제2 그래프는, 상기 처리 유닛 마다 표시되는, 컴퓨터 판독 가능한 기록 매체에 저장된 데이터 처리 프로그램.

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