JP5008525B2 - 不良要因抽出装置および工程安定化支援システム - Google Patents
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Description
製造品に対して順次実行される複数の製造工程と、上記製造品の品質を検査する少なくとも1つの検査工程とを含む製造プロセスを対象とし、上記検査工程の検査結果に基づいて、上記製造プロセスでの不良要因を抽出する不良要因抽出装置であって、
上記各製造品毎に、上記検査工程の検査結果を表す品質情報と上記各製造工程毎の製造パラメータである加工情報とを関連付けて紐付けデータとして取得する紐付け処理部と、
複数の製造品に関して上記紐付けデータを用いて所定の分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける順位付け部と、
その順位付け部による順位付けの結果を表す分析結果情報を所定の表示画面に表示する表示処理部と、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定されたとき、上記紐付けデータから上記指定された加工情報を排除して残りの紐付けデータを得る排除処理部と、
上記排除処理部によって得られた上記残りの紐付けデータを用いて、再び上記分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する残りの複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記残りの複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける再順位付け部と、
その再順位付け部による順位付けの結果を表す分析結果情報を上記表示画面に表示する再表示処理部と、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定される度に、上記排除処理部、上記再順位付け部、および上記再表示処理部を順次動作させる繰り返し制御部とを備え、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記表示画面に表示の枠組みを定めるように、上記品質情報を特定する品質情報識別表示を表示する品質情報識別表示領域と、上記複数の加工情報の順位付けの結果を表す分析結果情報表示領域と、品質情報と加工情報との関係をグラフ表示するグラフ表示領域とを有するテンプレートを設定し、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記テンプレートの上記分析結果情報表示領域に、上記分析結果情報として、上記各加工情報を特定する加工情報識別表示を上記順位に応じて並べてリスト表示し、
上記表示画面にリスト表示された上記加工情報識別表示を指定するための入力処理部を備え、
上記入力処理部によって或る加工情報識別表示が指定されたとき、上記排除処理部は、その加工情報識別表示が特定する加工情報を上記紐付けデータから排除することを特徴とする。
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部は、上記複数種類の品質情報のうち最も不良発生の多い品質情報に関して上記分析結果情報を表示することを特徴とする。
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部は、上記複数種類の品質情報のうち指定された品質情報に関して上記分析結果情報を表示することを特徴とする。
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記テンプレートの上記品質情報識別表示領域に、上記複数種類の品質情報のうち不良発生の多い幾つかの品質情報を特定する品質情報識別表示をリスト表示し、
上記表示画面にリスト表示された上記品質情報識別表示を指定するための入力処理部を備え、
上記入力処理部によって或る品質情報識別表示が指定されたとき、上記順位付け部は、その品質情報について、上記紐付けデータに基づいて上記分析方法による分析を行うことを特徴とする。
上記不良要因抽出装置と、
上記不良要因抽出装置によって抽出された不良要因を表す情報を、上記製造プロセスの対応する製造工程へフィードバックする不良要因フィードバック部とを備える。
製造品に対して順次実行される複数の製造工程と、上記製造品の品質を検査する少なくとも1つの検査工程とを含む製造プロセスを対象とし、上記検査工程の検査結果に基づいて、上記製造プロセスでの不良要因を抽出する不良要因抽出方法であって、
上記各製造品毎に、上記検査工程の検査結果を表す品質情報と上記各製造工程毎の製造パラメータである加工情報とを関連付けて紐付けデータとして取得する紐付けステップと、
複数の製造品に関して上記紐付けデータを用いて所定の分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける順位付けステップと、
上記順位付けステップによる順位付けの結果を表す分析結果情報を所定の表示画面に表示する表示ステップと、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定されたとき、上記紐付けデータから上記指定された加工情報を排除して残りの紐付けデータを得る排除ステップと、
上記排除ステップによって得られた上記残りの紐付けデータを用いて、再び上記分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する残りの複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記残りの複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける再順位付けステップと、
その再順位付けステップによる順位付けの結果を表す分析結果情報を上記表示画面に表示する再表示ステップとを有し、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定される度に、上記排除ステップ、上記再順位付けステップ、および上記再表示ステップの処理を順次繰り返すことを特徴とする。
図2は、後述する一実施形態のグラフ描画装置によってグラフ描画の対象となるデータを記憶した紐付けデータテーブル3の内容を例示している。この例では、紐付けデータテーブル3は、製品ロットLt1,Lt2,…,LtLを識別する「製品識別」欄と、検査工程の検査結果を表す品質情報3aを表す欄と、製造パラメータである加工情報3bを表す欄とからなっている。品質情報3aは、製品ロットLt1,Lt2,…,LtL毎に取得されたM個の「性能」Q1,Q2,…,QMを表すデータからなっている。半導体製造分野での例では、「性能」Q1,Q2,…,QMが表すデータは、例えばウェハテストや電気特性検査等で得られたデバイスの性能である。加工情報3bは、この例では、各製造工程(この例では、N個の「工程名」P1,P2,…,PNで特定される。)を実行したN個の製造装置名と、その工程が実行された「処理日時」とを、交互に並べたものである。全てのデータは、製品ロットLt1,Lt2,…,LtL毎に、つまり1行毎に互いに対応付け(紐付け)した紐付けデータとして記憶されている。
図14は、図3に示した不良要因抽出装置1を含む、半導体製品製造分野などの製造工程を管理するのに適した工程安定化支援システムの全体構成を示している。
3 紐付けデータテーブル
4 不良要因抽出テンプレート部
5 不良要因抽出テンプレート
51 順位付け結果表示領域
52 箱ひげ図基礎データ表示領域
53 グラフ表示領域
53a 箱ひげ図表示領域
53b トレンド図表示領域
54 キースイッチ表示領域
Claims (7)
- 製造品に対して順次実行される複数の製造工程と、上記製造品の品質を検査する少なくとも1つの検査工程とを含む製造プロセスを対象とし、上記検査工程の検査結果に基づいて、上記製造プロセスでの不良要因を抽出する不良要因抽出装置であって、
上記各製造品毎に、上記検査工程の検査結果を表す品質情報と上記各製造工程毎の製造パラメータである加工情報とを関連付けて紐付けデータとして取得する紐付け処理部と、
複数の製造品に関して上記紐付けデータを用いて所定の分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける順位付け部と、
その順位付け部による順位付けの結果を表す分析結果情報を所定の表示画面に表示する表示処理部と、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定されたとき、上記紐付けデータから上記指定された加工情報を排除して残りの紐付けデータを得る排除処理部と、
上記排除処理部によって得られた上記残りの紐付けデータを用いて、再び上記分析方法による分析を行って、上記品質情報に対する残りの複数の加工情報のそれぞれの影響度に応じて上記残りの複数の加工情報に不良要因として推定される順位を付ける再順位付け部と、
その再順位付け部による順位付けの結果を表す分析結果情報を上記表示画面に表示する再表示処理部と、
上記複数の加工情報のうち排除すべき加工情報が指定される度に、上記排除処理部、上記再順位付け部、および上記再表示処理部を順次動作させる繰り返し制御部とを備え、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記表示画面に表示の枠組みを定めるように、上記品質情報を特定する品質情報識別表示を表示する品質情報識別表示領域と、上記複数の加工情報の順位付けの結果を表す分析結果情報表示領域と、品質情報と加工情報との関係をグラフ表示するグラフ表示領域とを有するテンプレートを設定し、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記テンプレートの上記分析結果情報表示領域に、上記分析結果情報として、上記各加工情報を特定する加工情報識別表示を上記順位に応じて並べてリスト表示し、
上記表示画面にリスト表示された上記加工情報識別表示を指定するための入力処理部を備え、
上記入力処理部によって或る加工情報識別表示が指定されたとき、上記排除処理部は、その加工情報識別表示が特定する加工情報を上記紐付けデータから排除することを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1に記載の不良要因抽出装置において、
上記紐付けデータを紐付けデータテーブルとして記憶する記憶部を備えたことを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1または2に記載の不良要因抽出装置において、
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部は、上記複数種類の品質情報のうち最も不良発生の多い品質情報に関して上記分析結果情報を表示することを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1または2に記載の不良要因抽出装置において、
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部は、上記複数種類の品質情報のうち指定された品質情報に関して上記分析結果情報を表示することを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1に記載の不良要因抽出装置において、
上記品質情報は複数種類存在し、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記テンプレートの上記品質情報識別表示領域に、上記複数種類の品質情報のうち不良発生の多い幾つかの品質情報を特定する品質情報識別表示をリスト表示し、
上記表示画面にリスト表示された上記品質情報識別表示を指定するための入力処理部を備え、
上記入力処理部によって或る品質情報識別表示が指定されたとき、上記順位付け部は、その品質情報について、上記紐付けデータに基づいて上記分析方法による分析を行うことを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1から5までのいずれか一つに記載の不良要因抽出装置において、
上記表示処理部および上記再表示処理部は、上記グラフ表示領域に、その品質情報と上記分析により順位付けされた加工情報との関係をグラフ表示することを特徴とする不良要因抽出装置。 - 請求項1から6までのいずれか一つに記載の不良要因抽出装置と、
上記不良要因抽出装置によって抽出された不良要因を表す情報を、上記製造プロセスの対応する製造工程へフィードバックする不良要因フィードバック部とを備えた工程安定化支援システム。
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