JP2001155979A

JP2001155979A - 製造情報管理システム

Info

Publication number: JP2001155979A
Application number: JP33317699A
Authority: JP
Inventors: Taketomo Hamaguchi; 猛智濱口; Shigeki Yahaba; 茂樹矢羽々
Original assignee: Nippon Steel Corp
Current assignee: Nippon Steel Corp
Priority date: 1999-11-24
Filing date: 1999-11-24
Publication date: 2001-06-08

Abstract

(57)【要約】【課題】製造プロセスの解析等に必要なデータを画像
データを含めて管理することができると共に、かかるデ
ータについて容易に検索することができる製造情報管理
システムを提供する。【解決手段】各検査・撮像システム２０は、各製品に
ついて検査を行うと共に、各製品についての画像データ
を取得する。また、各検査・撮像システム２０では、画
像データに基づいて欠陥が発生していると判断されたと
きに欠陥データが入力される。データベース１２には、
各検査・撮像システム２０毎に作成された各製品につい
ての製造データが、製品識別情報と関連付けられて記憶
される。データベース１３には、各画像データが製品識
別情報及び画像識別情報と関連付けて記憶され、データ
ベース１４には、各欠陥データが画像識別情報と関連付
けて記憶される。ホストコンピュータ１１はこれらの各
データを管理する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば半導体や液
晶等の製造プロセスの解析に利用される情報を管理する
製造情報管理システム等に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、半導体等の製造プロセスにお
いては、製品の歩留り向上のために種々の品質管理や工
程管理の活動が行われている。かかる品質管理や工程管
理を行う場合、どのような不具合があるかを発見し、そ
の原因を突き止めて、製造プロセスの改善策を検討する
必要がある。

【０００３】その際、不具合の有無は、プローブテスタ
等の検査器による製品の検査結果に基づいて判断され
る。そして、かかる検査結果はデータとして蓄積され、
品質管理や工程管理を行う上での基礎データとなってい
く。また、電子顕微鏡を用いた製品の目視検査によって
も不具合の有無を判断している。このとき、電子顕微鏡
による画像を見て欠陥があることが発見されると、その
画像は写真として個別に保管される。そして、この保管
された写真は、後に製造プロセスの改善活動に利用され
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このように、検査結果
のデータはコンピュータ等で管理され、かかるデータを
用いた品質管理は比較的容易に実現されている。しかし
ながら、従来は、欠陥についての写真は、担当者におい
て個人的に管理される場合が多く、製造プロセスの解析
や原因追求のためのデータとして共用されにくかった。
特に、半導体等の製造プロセスの解析等を行う上で、欠
陥の写真は重要な資料である。このため、検査結果のデ
ータと欠陥についての画像データとを併せて管理するこ
とができる製造情報管理システムの実現が望まれてい
る。但し、これらのデータを製造プロセスの解析等に利
用することを考慮すると、データの検索が容易に行われ
るような形で、データを管理する必要がある。

【０００５】本発明は上記事情に基づいてなされたもの
であり、製造プロセスの解析等に必要なデータを画像デ
ータを含めて管理することができると共に、かかるデー
タについて容易に検索することができる製造情報管理シ
ステムを提供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの請求項１記載の発明に係る製造情報管理システム
は、製品の製造ライン上に設けられた、各製品について
所定の検査を行うことにより検査データを取得する複数
の検査手段と、前記各検査手段毎に設けられた、当該検
査手段で検査された製品についての画像データを取得す
る撮像手段と、前記検査データ及び前記画像データを一
時記憶すると共に、画面上に表示された前記画像データ
に基づいて欠陥が発生していると判断されたときにその
欠陥の内容に関する欠陥データを取得するための一又は
複数のコンピュータ端末と、前記各検査手段毎に作成さ
れ且つ各製品について当該製品の製造工程及び製造レシ
ピに関する情報と当該検査手段で得られた当該製品につ
いての前記検査データとを含む製造データを、各製品を
識別するための製品識別情報と関連付けて記憶する製造
データ用データベースと、前記各画像データを、各画像
データを識別するための画像識別情報及び前記製品識別
情報と関連付けて記憶する画像データ用データベース
と、前記各欠陥データを前記画像識別情報と関連付けて
記憶する欠陥データ用データベースと、前記各コンピュ
ータ端末とデータの送受信を行うと共に、前記製造デー
タ、前記画像データ及び前記欠陥データを管理する管理
用コンピュータと、を具備することを特徴とするもので
ある。

【０００７】また、請求項２記載の発明に係る製造情報
管理システムは、請求項１記載の発明において、前記管
理用コンピュータは、前記製造データ及び前記欠陥デー
タに含まれる項目のうち少なくとも一つを検索条件とし
て、前記製造データ、前記画像データ及び前記欠陥デー
タを検索する機能を有し、前記各コンピュータ端末は、
前記検索条件を入力するための検索画面を画面上に表示
すると共に、前記管理用コンピュータによって検索され
た前記製造データ、前記画像データ又は前記欠陥データ
を画面上に表示する機能を有することを特徴とするもの
である。

【０００８】上記の目的を達成するための請求項４記載
の発明に係る製造情報管理方法は、製品の製造ライン上
の各製品について所定の検査を行うことにより検査デー
タを取得する複数の検査手段毎に設けられた撮像手段に
よって、当該検査手段で検査された製品についての画像
データを取得し、前記画像データに基づいて判断された
欠陥の内容に関する欠陥データを取得し、前記各検査手
段毎に作成され且つ各製品について当該製品の製造工程
及び製造レシピに関する情報と当該検査手段で得られた
当該製品についての前記検査データとを含む製造データ
を、各製品を識別するための製品識別情報と関連付けて
記憶し、前記各画像データを、各画像データを識別する
ための画像識別情報及び前記製品識別情報と関連付けて
記憶し、前記各欠陥データを前記画像識別情報と関連付
けて記憶することを特徴とするものである。

【０００９】また、請求項５記載の発明に係る製造情報
管理方法は、請求項４記載の発明において、前記製造デ
ータ及び前記欠陥データに含まれる項目のうち少なくと
も一つを検索条件として、コンピュータ端末から検索要
求があったときに、前記製造データ、前記画像データ及
び前記欠陥データを検索し、その検索された前記製造デ
ータ、前記画像データ又は前記欠陥データを当該コンピ
ュータ端末の画面上に表示することを特徴とするもので
ある。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に本発明の一実施形態につい
て図面を参照して説明する。図１は本発明の一実施形態
である製造情報管理システムの概略ブロック図、図２は
その製造情報管理システムにおける検査・撮像システム
の概略ブロック図、図３はその製造情報管理システムの
各データベースに記憶されるデータを説明するための図
である。

【００１１】本実施形態の製造情報管理システムは、例
えば半導体等の製造工場において品質管理や工程管理等
を行う際に用いられる各種のデータを管理するためのも
のである。ここでは、一例として、かかる製造情報管理
システムを、半導体素子を製造する製造工場に導入した
場合について説明する。この製造工場内には、ウエハ等
に洗浄処理等を施す各種の製造装置が設置されており、
ウエハは所定の製造ラインを通って各製造装置で処理さ
れながら、最終的に半導体素子が製造される。

【００１２】この製造情報管理システムは、図１に示す
ように、ホストコンピュータ（管理用コンピュータ）１
１と、製造データ用データベース１２と、画像データ用
データベース１３と、欠陥データ用データベース１４
と、進捗管理コンピュータ１５と、複数の検査・撮像シ
ステム２０，２０，・・・とを備える。複数の検査・撮像
システム２０，２０，・・・は、ホストコンピュータ１１
及び進捗管理コンピュータ１５と接続され、ネットワー
ク（ＬＡＮ）が構築されている。これにより、複数の検
査・撮像システム２０，２０，・・・、ホストコンピュー
タ１１及び進捗管理コンピュータ１５の間でデータのや
りとりを行うことができる。

【００１３】進捗管理コンピュータ１５は、工場全体の
進捗状況を管理するものである。この進捗管理コンピュ
ータ１５では、各製品に付与された製品識別キー毎に工
程やレシピに関する情報が管理されている。ここで、工
程に関する情報とは、当該製品がどのような工程を通
り、どの製造装置で処理されるのかについての情報であ
り、レシピに関する情報とは、当該工程に関する情報中
に示された各製造装置での処理条件（制御パラメータ）
についての情報である。実際、各製造装置では、このレ
シピに関する情報に基づいて処理が行われる。

【００１４】各検査・撮像システム２０は、図２に示す
ように、プローブ検査器等の検査装置２１と、撮像装置
２２と、コンピュータ端末２３とを有する。これらの検
査・撮像システム２０は、各製造装置毎に設けられてい
る。検査装置２１は、当該検査・撮像システム２０に対
応する製造装置で処理された対象物について所定の検査
を行うことにより検査データを取得するものである。ま
た、撮像装置２２は、当該検査装置２１で検査が行われ
た対象物についての画像を撮像するものである。尚、検
査・撮像システム２０は、検査装置２１、撮像装置２
２、コンピュータ端末２３のすべてを常に有していなく
てもよく、検査目的に応じて、例えば検査装置２１とコ
ンピュータ端末２３だけを有することもあり得る。

【００１５】尚、通常、撮像装置２２では、当該製造装
置で処理された対象物毎に一つの画像が取得されるが、
例えば、その対象物に欠陥があることが見出された場合
等には、一つの対象物に対して複数の画像が取得される
こともある。

【００１６】コンピュータ端末２３は、検査装置２１で
得られた検査データ及び撮像装置２２で取得された画像
データを一時記憶したり、その画像データを画面上に表
示したりする。担当者はかかる画面上に表示された画像
を見て、欠陥が発生しているか否かを判断する。そし
て、欠陥が発生している場合には、担当者は、コンピュ
ータ端末２３からその欠陥の内容に関する欠陥データを
入力する。コンピュータ端末２３は、これらの検査デー
タ、画像データ、欠陥データをホストコンピュータ１１
に送信する。

【００１７】また、コンピュータ端末２３は、ホストコ
ンピュータ１１に対して各データベース１２，１３，１
４に記憶されたデータの検索を行わせるための検索条件
を入力する所定の検索画面を画面上に表示すると共に、
ホストコンピュータ１１による検索の結果を画面上に表
示する機能を有する。

【００１８】ホストコンピュータ１１は、各コンピュー
タ端末２３とデータの送受信を行うと共に、各コンピュ
ータ端末２３から送られた画像データや欠陥データを管
理する。また、このホストコンピュータ１１は、各製品
についての製造データを管理している。この各製品につ
いての製造データは、進捗管理コンピュータ１５から送
られた製品識別キーや工程及びレシピに関する情報やコ
ンピュータ端末２３から送られた検査データに基づい
て、各検査装置２１毎に作成される。

【００１９】かかる製造データは、図３（ａ）に示すよ
うに、製品識別キーと関連付けて製造データ用データベ
ース１２に記憶される。図４にこの製造データのデータ
構造の具体例を示す。この製造データは、図４に示すよ
うなテーブル構造になっており、そのテーブルには、
「製品識別キー」、「時間」、「工程」、「レシピ」、
「データ１」、・・・、「データＮ」の各項目が含まれて
いる。「製品識別キー」とは、製品についてのロット識
別コード、ウエハ識別コード、セル識別コードを組み合
わせたものである。ここで、ロット識別コードは、例え
ばウエハ２５枚から構成される製造ロットに付される識
別コードであり、ウエハ識別コードは、ロット内の各ウ
エハに付される識別コードである。そして、セル識別コ
ードは、カッティングされたウエハの製品単位での識別
コードである。この製品識別キーはユニークに定まり、
したがって、かかる製品識別キーから、当該製品がどの
ウエハ又はロットから得られたものであるかを知ること
ができる。

【００２０】「工程」とは、製品がどのような工程を通
り、どの製造装置で処理されるのか、いわゆる処理順番
のことであり、「レシピ」とは、当該「工程」の中に示
された各製造装置における処理条件（制御パラメータ）
のことである。実際には、各処理順番についてのデータ
が符号と対応付けられて所定の記憶手段に記憶されてお
り、この「工程」の項目には、それらのデータの中から
特定された一の処理順番に対応する符号が記載される。
また、同様に、各処理条件についてのデータが符号と対
応付けれて所定の記憶手段に記憶されており、「レシ
ピ」の項目には所定の処理条件に対応する符号が記載さ
れる。

【００２１】例えば、二つの製品について「工程」が同
じであるということは、それらの製品は同じ工程を通っ
て製造されたことを示す。このとき、さらに「レシピ」
が同じであれば、それらの製品は各製造装置で同じ処理
条件で処理されたことになる。一方、同じ処理を行う製
造装置が複数ある場合、当該処理について別々の製造装
置で処理が行われるときには、「レシピ」は同じである
が、「工程」は異なることになる。また、同じ製造装置
で異なる処理条件で処理が行われる場合には、「工程」
は同じであるが、「レシピ」は異なることになる。

【００２２】このように、「製品識別キー」、「工
程」、「レシピ」は、進捗管理コンピュータ１５で管理
されている情報の内容と同じものである。ホストコンピ
ュータ１１は、進捗管理コンピュータ１５から送られた
情報に基づいて、「製品識別キー」、「工程」、「レシ
ピ」の各項目に情報を自動的に取り込む。

【００２３】「時間」とは、製品が当該検査装置２１で
処理された時間、すなわち日・時・分データのことであ
る。また、「データ１」、・・・、「データＮ」とは、当
該検査装置２１で得られた検査データのことである。こ
の検査データとしては、例えば温度、電流等の物理量の
測定値や、化学的な量の測定値がある。検査装置２１で
処理が行われた時間や、検査装置２１で得られた検査デ
ータは、コンピュータ端末２３を介してホストコンピュ
ータ１１に送られる。そして、ホストコンピュータ１１
がその送られたデータを「時間」、「データ１」、・・・
、「データＮ」の各項目に取り込む。尚、「データ
１」、・・・、「データＮ」の項目には製造時の実データ
を含ませてもよい。

【００２４】かかる製造データは、同じロットで同じウ
エハのセルについては、セル単位で処理が行われていな
い限り、同じ内容のデータとなる。セル単位で処理が行
われているときには、異なる内容のデータが含まれるこ
とになる。

【００２５】特に、本実施形態では、ホストコンピュー
タ１１は、各製品についての製造データを各検査装置２
１毎に管理している。すなわち、図４に示すような各製
品についての製造データのテーブルは、各検査装置２１
毎に作成されて、製造データ用データベース１２に格納
されている。このため、例えば、検査装置を検索条件と
することにより、当該検査装置で検査された製品につい
ての製造データを容易に探し出すことができる。尚、進
捗管理コンピュータ１５では、製品識別キー毎に工程や
レシピに関する情報を管理しているが、検査装置２１毎
に管理しているわけではない。

【００２６】画像データ用データベース１３には、図３
（ｂ）に示すように、各撮像装置２２で得られた画像デ
ータが製造識別キー及び画像識別キーと関連付けて記憶
されている。この製造識別キーにより、各製品の画像デ
ータとそれに対応する製造データとがリンクされること
になる。また、画像識別キーは、画像データを識別する
ためのものであり、各検査・撮像システム２０の担当者
によって欠陥の有無の判断時に付与される。

【００２７】欠陥データ用データベース１４には、図３
（ｃ）に示すように、各コンピュータ端末２３で入力さ
れた欠陥データが画像識別キーと関連付けて記憶されて
いる。この欠陥データには、欠陥の位置や内容等が含ま
れている。また、画像識別キーにより、各欠陥データ
と、その欠陥を写した画像データとがリンクされること
になる。

【００２８】次に、各検査・撮像システム２０で行われ
る欠陥の有無を調べる作業について説明する。

【００２９】検査・撮影システム２０においては、検査
装置２１で所定の検査が行われると共に、撮像装置２２
で例えばウエハについての画像が取得される。そのウエ
ハの画像データはコンピュータ端末２３の画面上に表示
される。図５にウエハの画像の一例を示す。この例で
は、黒く塗りつぶした部分が欠陥を表している。このと
き、担当者は、まず、画面上に表示された画像データに
対して、製造識別キーを入力すると共に、画像識別キー
を所定のルールに従って付与する。

【００３０】その後、担当者は、その画像データを見
て、欠陥が発生しているか否かを判断する。例えば、図
５に示すように、ウエハに複数の欠陥が発生しているこ
とを見出すと、担当者は、各欠陥毎に、当該画像識別キ
ーと、欠陥の位置及び内容とを入力する。具体的に、欠
陥の内容としては、不純物による非導通、短絡、カケ、
不純物の付着等がある。こうして入力されたデータが欠
陥データになる。その後、担当者はコンピュータ端末２
３の画面上で所定のコマンドを入力すると、画像データ
及び欠陥データがホストコンピュータ１１に送信され
る。

【００３１】尚、ここでは、担当者が欠陥の有無の判断
を行う場合について説明したが、例えば画像処理の手法
を使って自動的に行うようにしてもよい。

【００３２】次に、製造データ、画像データ、欠陥デー
タの論理的な繋がりについて詳細に説明する。図６は製
造データ、画像データ、欠陥データの論理的な繋がりを
説明するための論理データモデル図である。

【００３３】製品識別キーはロット識別コード、ウエハ
識別コード、セル識別コードを組み合わせたものである
が、すべての製造データ及び画像データが、ロット識別
コード、ウエハ識別コード、セル識別コードのすべてを
含む製造識別キーを有しているわけではない。例えばウ
エハまでしか製造しない製品もあれば、素子レベルまで
製造する製品もある。図６において、検査装置Ａ₁ がウ
エハ識別コードと線で結ばれているということは、検査
装置Ａ₁ はロットからウエハまでのレベルで製造される
製品を検査するものであることを示している。同様に、
検査装置Ｂ₁ がセル識別コードと線で結ばれているとい
うことは、検査装置Ｂ₁ はロットからセルまでのレベル
で製造される製品を検査するものであることを示してい
る。また、撮像装置Ｉ₁ は検査装置Ａ₁ に対応するもの
であり、撮像装置Ｊ₁ は検査装置Ｂ₁ に対応するもので
ある。

【００３４】さて、図６を説明する。一ロットに対して
複数のウエハがあることから、ロット識別コードとウエ
ハ識別コードとは、１対多関連で対応付けられる。ま
た、一ウエハに対して複数のセルがあることから、ウエ
ハ識別コードとセル識別コードも、１対多関連で対応付
けられる。また、検査装置では、一つのウエハ又はセル
に対して一回だけ検査が行われるので、ウエハ識別コー
ドと検査装置Ａ₁ とは１対１関連で対応付けられる。し
たがって、ウエハ識別コードと検査装置Ａ₁ についての
製造データも、１対１関連で対応付けられることにな
る。同様に、セル識別コードと検査装置Ｂ₁ とは１対１
関連で対応付けられ、したがって、セル識別コードと検
査装置Ｂ₁ についての製造データも１対１関連で対応付
けられる。

【００３５】また、撮像装置では、一つのウエハ又はセ
ルに対して一又は複数の画像データが取得されるので、
ウエハ識別コードと撮像装置Ｉ₁ とは１対多関連で対応
付けられる。したがって、ウエハ識別コードと撮像装置
Ｉ₁ で取得された画像データも、１対多関連で対応付け
られることになる。同様に、セル識別コードと撮像装置
Ｊ₁ とは１対多関連で対応付けられ、したがって、セル
識別コードと撮像装置Ｊ₁ で取得された画像データと
は、１対多関連で対応付けられる。

【００３６】更に、撮像装置で取得された一つの画像デ
ータに対して一又は複数の欠陥データが入力されるの
で、撮像装置Ｉ₁ ，Ｊ₁ と欠陥データとは１対多関連で
対応付けられる。したがって、撮像装置Ｉ₁ ，Ｊ₁ で取
得された画像データと欠陥データも１対多関連で対応付
けられる。

【００３７】尚、ここでは、ロット単位での検査デー
タ、画像データは作成されない。

【００３８】このように、本実施形態では、製造デー
タ、画像データ、欠陥データが図６に示すような論理的
な繋がりによって互いに関連付けられている。このた
め、データ検索がとても容易である。例えば、欠陥デー
タに含まれる項目を検索条件として、画像データ又は製
造データを検索したり、製造データに含まれる項目を検
索条件として、製造データや画像データ等を検索するこ
とができる。

【００３９】次に、本実施形態の製造情報管理システム
を用いてどのように品質管理や工程管理を行うのか、そ
の具体的な使用例について説明する。図７及び図８はコ
ンピュータ端末２３の画面上に表示された検索画面の例
を示す図である。

【００４０】例えばウエハに発生した欠陥についての原
因を究明して製造プロセスの改善を図る場合を考える。
ここでは、問題となっている欠陥の内容が既に分かって
いるものとする。この場合、担当者は、自分のコンピュ
ータ端末２３の画面上に、図７に示すような検索画面を
表示させる。この検索画面は、検索条件として欠陥内容
を入力するための画面である。この検索画面には、「欠
陥内容」の入力欄と、「欠陥候補例」のウィンドウと、
「実行」ボタンと、「検索結果リスト」の欄とが設けら
れている。「欠陥内容」の欄には、検索条件となる欠陥
の内容が入力される。「欠陥候補例」のウィンドウに
は、欠陥内容の例が表示されている。このウィンドウの
右側にあるスクロールバーをマウスでクリックすること
により、欠陥内容の例を上又は下にスクロールすること
ができる。担当者は、キーボードを用いて直接、欠陥の
内容を「欠陥内容」の欄に入力してもよいが、「欠陥候
補例」のウィンドウ内に表示されている所定の欠陥内容
をマウスでクリックして選択することにより、欠陥内容
を入力することができる。

【００４１】欠陥内容を入力した後、「実行」ボタンを
マウスでクリックすると、コンピュータ端末２３はホス
トコンピュータ１１に検索の問い合わせをする。そし
て、ホストコンピュータ１１は、当該欠陥内容を検索条
件として、当該欠陥内容を有する欠陥データと画像識別
キーによって関連付けられた画像データを検索し、その
検索された画像データのリストをコンピュータ端末２３
に送る。コンピュータ端末２３はかかるリストを「検索
結果リスト」の欄に表示する。担当者はこの検索結果の
リストの中から所定のデータ名をマウスで選択すると、
その選択された画像データがオンラインでホストコンピ
ュータ１１からコンピュータ端末２３に送られて、その
画面上に表示される。このとき、画面上の所定のボタン
を押すと、当該画像データと製品識別キーにより関連付
けられた製造データを画面上に表示させることもでき
る。

【００４２】担当者は、かかる画像データを見て欠陥の
状態を確認したり、製造データに含まれる制御パラメー
タや検査データ等を確認したりしながら、欠陥と制御パ
ラメータとの相関性を調べることができる。こうして、
欠陥の原因が見い出されると、それに基づいて、例えば
制御パラメータの最適化を図ることにより、製造プロセ
スの改善がなされる。

【００４３】ところで、一般的な品質管理では、製品に
不具合な症状が出ているが、その原因がどこにあるのか
よく分からないということが多い。本実施形態の製造情
報管理システムでは、各製品の製造データを検査装置毎
に作成しているので、データ検索のしやすさの点で特に
優れており、このような場合にも対応することができ
る。

【００４４】例えば、この場合、担当者は、自分のコン
ピュータ端末２３の画面上に、図８に示すような検索画
面を表示させる。この検索画面は、製造データの内容を
検索条件として入力するための画面である。この検索画
面には、「装置名」の入力欄と、「項目名」の入力欄
と、「候補例」のウィンドウと、「条件」の入力欄と、
「実行」ボタンとが設けられている。「装置名」の欄に
は、検索したい製造データの属する検査装置名が入力さ
れ、「項目名」の欄には、その製造データに含まれる所
定の項目名が入力される。担当者が「装置名」の欄に所
定の検査装置名を入力すると、「候補例」のウィンドウ
内には、当該検査装置についての製造データに含まれる
項目名が表示される。そして、そのウィンドウ内に表示
されている所定の項目をマウスでクリックして選択する
ことにより、その項目が「項目名」の欄に入力される。
当然、担当者は、キーボードを用いて直接、項目名を入
力してもよい。次に、担当者は、当該項目についての具
体的な条件を「条件」の欄に入力する。例えば、項目と
して温度を選んだ場合、その温度の条件としては、１０
℃以上のように入力する。こうして入力した装置名、項
目名及び条件が検索条件となる。

【００４５】その後、「実行」ボタンをマウスでクリッ
クすると、コンピュータ端末２３はホストコンピュータ
１１に検索の問い合わせをする。そして、ホストコンピ
ュータ１１は、当該検索条件に基づいて、当該検査装置
についての製造データであって、当該項目の条件に満た
すものを検索し、その検索して得られた製造データをコ
ンピュータ端末２３に送る。コンピュータ端末２３の画
面上にはその製造データがすべて表示される。このと
き、画面上の所定のボタンを押すと、所定の製造データ
と製品識別キーにより関連付けられた画像データを画面
上に表示させることもできる。

【００４６】担当者は、例えば、かかる製造データと画
像データとに基づいて当該項目の条件とウエハの状態と
の相関性を調べることにより、当該項目の条件が適正で
あるかを分析することができる。このようにして、製品
の不具合についての根本的な原因を追求することができ
る。

【００４７】上述したような、本製造情報管理システム
を用いて行う製造プロセスの改善作業は、定期的ではな
く、非定期的に行われるのが通常である。各担当者はい
つでも自分のコンピュータ端末２３から製造プロセスの
解析を行う。当然、各担当者毎にその解析の観点は異な
るので、いろいろな解析結果を得ることができる。こう
して蓄積された解析結果を最終的に統合することによ
り、ライン全体のプロセス改善を図り、よりよい品質管
理・工程管理に資することができる。

【００４８】尚、本製造情報管理システムを用いて、さ
まざまな画像データの差分解析や重ね合わせを行うこと
も可能である。例えば、液晶表示素子について各色毎の
表示検査を行い、各色を表示させたときの画像データを
取得した場合に、これらの画像データを重ね合わせて画
面上に表示させることにより、実際に欠陥のあるセルの
数を確認したりして、素子の性能をより細かく分析する
ことができる。

【００４９】本実施形態の製造情報管理システムでは、
検査装置毎に作成され且つ製造識別キーと関連付けられ
た製造データと、製品識別キー及び画像識別キーと関連
付けられた画像データと、画像識別キーと関連付けられ
た欠陥データとを管理することにより、製造識別キー及
び画像識別キーによって各データを互いに関連付けるこ
とができるので、データ検索を容易に行うことができ
る。また、各コンピュータ端末は、ホストコンピュータ
で検索された製造データ、画像データ又は欠陥データを
画面上に表示する機能を有することにより、担当者は、
製造データや欠陥データの内容だけでなく、画像データ
を見て実際の製品の状態を確認することができる。この
ため、本実施形態の製造情報管理システムは、製造プロ
セスの解析や不具合の原因追求を行う際に用いるのに好
適である。

【００５０】以上説明した本実施形態の製造情報管理シ
ステムは、コンピュータシステムなどで構成されるもの
であり、ＲＡＭやＲＯＭに記憶されたプログラムが動作
することによって実現できる。したがって、コンピュー
タが上記機能を果たすように動作させるプログラムを、
例えばＣＤ−ＲＯＭのような記録媒体に記録し、コンピ
ュータに読み込ませることによって実現できるものであ
る。上記プログラムを記録する記録媒体としては、ＣＤ
−ＲＯＭ以外に、フロッピーディスク、ハードディス
ク、磁気テープ、光磁気ディスク、不揮発性メモリカー
ド、ＤＶＤ−ＲＯＭ等を用いることができる。

【００５１】また、コンピュータが供給されたプログラ
ムを実行することにより上述の実施形態の機能が実現さ
れるだけでなく、そのプログラムがコンピュータにおい
て稼働しているＯＳ（オペレーティングシステム）ある
いは他のアプリケーションソフト等と共同して上述の実
施形態の機能が実現される場合や、供給されたプログラ
ムの処理の全てあるいは一部がコンピュータの機能拡張
ボードや機能拡張ユニットにより行われて上述の実施形
態の機能が実現される場合も、かかるプログラムは本発
明の実施形態に含まれる。尚、本発明は上記の実施形態
に限定されるものではなく、その要旨の範囲内において
種々の変形が可能である。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように本発明の製造情報管
理システムによれば、検査手段毎に作成され且つ製造識
別情報と関連付けられた製造データと、製品識別情報及
び画像識別情報と関連付けられた画像データと、画像識
別情報と関連付けられた欠陥データとを管理することに
より、製造識別情報及び画像識別情報によって各データ
を互いに関連付けることができるので、データ検索を容
易に行うことができる。また、各コンピュータ端末は、
管理用コンピュータで検索された製造データ、画像デー
タ又は欠陥データを画面上に表示する機能を有すること
により、担当者は、製造データや欠陥データの内容だけ
でなく、画像データを見て実際の製品の状態を確認する
ことができる。このため、本実施形態の製造情報管理シ
ステムは、製造プロセスの解析や不具合の原因追求を行
う際に用いるのに好適である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である製造情報管理システ
ムの概略ブロック図である。

【図２】その製造情報管理システムにおける検査・撮像
システムの概略ブロック図である。

【図３】その製造情報管理システムの各データベースに
記憶されるデータを説明するための図である。

【図４】製造データのデータ構造の具体例を示す図であ
る。

【図５】撮像装置で得られたウエハの画像の一例を示す
図である。

【図６】製造データ、画像データ、欠陥データの論理的
な繋がりを説明するための論理データモデル図である。

【図７】コンピュータ端末の画面上に表示された検索画
面の例を示す図である。

【図８】コンピュータ端末の画面上に表示された検索画
面の例を示す図である。

【符号の説明】

１１ホストコンピュータ１２製造データ用データベース１３画像データ用データベース１４欠陥データ用データベース１５進捗管理コンピュータ２０検査・撮像システム２１検査装置２２撮像装置２３コンピュータ端末

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA49 BB02 CC19 JJ05 QQ00 QQ24 SS04 SS13 2G051 AA51 AB02 EA12 EA14 EA21 5B049 AA02 BB07 CC23 DD05 EE05 EE07 EE56 FF09 GG04 GG07 5B075 KK07 ND06 ND24 NK02 PP02 PP03 PP12 PP28 PQ02 PQ32 UU40

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】製品の製造ライン上に設けられた、各製
品について所定の検査を行うことにより検査データを取
得する複数の検査手段と、前記各検査手段毎に設けられた、当該検査手段で検査さ
れた製品についての画像データを取得する撮像手段と、前記検査データ及び前記画像データを一時記憶すると共
に、画面上に表示された前記画像データに基づいて欠陥
が発生していると判断されたときにその欠陥の内容に関
する欠陥データを取得するための一又は複数のコンピュ
ータ端末と、前記各検査手段毎に作成され且つ各製品について当該製
品の製造工程及び製造レシピに関する情報と当該検査手
段で得られた当該製品についての前記検査データとを含
む製造データを、各製品を識別するための製品識別情報
と関連付けて記憶する製造データ用データベースと、前記各画像データを、各画像データを識別するための画
像識別情報及び前記製品識別情報と関連付けて記憶する
画像データ用データベースと、前記各欠陥データを前記画像識別情報と関連付けて記憶
する欠陥データ用データベースと、前記各コンピュータ端末とデータの送受信を行うと共
に、前記製造データ、前記画像データ及び前記欠陥デー
タを管理する管理用コンピュータと、を具備することを特徴とする製造情報管理システム。
【請求項２】前記管理用コンピュータは、前記製造デ
ータ及び前記欠陥データに含まれる項目のうち少なくと
も一つを検索条件として、前記製造データ、前記画像デ
ータ及び前記欠陥データを検索する機能を有し、前記各コンピュータ端末は、前記検索条件を入力するた
めの検索画面を画面上に表示すると共に、前記管理用コ
ンピュータによって検索された前記製造データ、前記画
像データ又は前記欠陥データを画面上に表示する機能を
有することを特徴とする請求項１記載の製造情報管理シ
ステム。
【請求項３】前記製造データは製造時の実データを含
むことを特徴とする請求項１又は２記載の製造情報管理
システム。
【請求項４】製品の製造ライン上の各製品について所
定の検査を行うことにより検査データを取得する複数の
検査手段毎に設けられた撮像手段によって、当該検査手
段で検査された製品についての画像データを取得し、前記画像データに基づいて判断された欠陥の内容に関す
る欠陥データを取得し、前記各検査手段毎に作成され且つ各製品について当該製
品の製造工程及び製造レシピに関する情報と当該検査手
段で得られた当該製品についての前記検査データとを含
む製造データを、各製品を識別するための製品識別情報
と関連付けて記憶し、前記各画像データを、各画像データを識別するための画
像識別情報及び前記製品識別情報と関連付けて記憶し、前記各欠陥データを前記画像識別情報と関連付けて記憶
することを特徴とする製造情報管理方法。
【請求項５】前記製造データ及び前記欠陥データに含
まれる項目のうち少なくとも一つを検索条件として、コ
ンピュータ端末から検索要求があったときに、前記製造
データ、前記画像データ及び前記欠陥データを検索し、
その検索された前記製造データ、前記画像データ又は前
記欠陥データを当該コンピュータ端末の画面上に表示す
ることを特徴とする請求項４記載の製造情報管理方法。
【請求項６】請求項４又は５記載の製造情報管理方法
を実行するプログラムを記録したことを特徴とする記録
媒体。