JP2002351526A

JP2002351526A - 生産履歴情報管理システム

Info

Publication number: JP2002351526A
Application number: JP2001158331A
Authority: JP
Inventors: Yasuo Koto; 康男小藤; Kensho Sugimoto; 憲昭杉本
Original assignee: Matsushita Electric Works Ltd
Current assignee: Panasonic Electric Works Co Ltd
Priority date: 2001-05-28
Filing date: 2001-05-28
Publication date: 2002-12-06

Abstract

(57)【要約】【課題】任意の工程における任意の正確なデータを、
所定のデータを元に瞬時に検索できる。【解決手段】半導体製造の各工程においてインライン
でワーク１に付加された識別番号を読み取るための識別
番号読取装置２と、ワーク１の製造条件、識別番号デー
タを収集してこれらのデータをサーバーコンピュータ４
に登録するための設備制御装置３と、サーバーコンピュ
ータ４に蓄積された任意のデータを閲覧することができ
る手段とを備えているクライアントコンピュータ５を設
ける。オフラインで収集した検査データをサーバーコン
ピュータ４に登録すると共にサーバーコンピュータ４に
蓄積された任意のデータを閲覧することができる手段を
備えているクライアントコンピュータ５を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造におけ
る品質管理システムに関するもので、特に品質クレーム
時や、製品の製造履歴の調査を目的として使用されるも
のに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から半導体製造における品質管理シ
ステムとして例えば特開平６−５３１０４号公報が知ら
れている。この特開平６−５３１０４号公報で開示され
た半導体製造における品質管理システムは、半導体製造
の各工程において使用する各設備と、当該各設備におけ
る処理条件、部材その他の様々な情報を逐次収集する手
段と、当該手段に蓄積された任意の情報を所定の情報を
元に検索することが可能な手段とを備えているものであ
る。

【０００３】ところで、品質管理としては、現在の製造
における種々の条件をリアルタイムで確認することで品
質管理を行うだけでなく、既に製造して出荷した製品に
仮に何らかのクレームが発生した際に、該クレームが発
生した製品をどのような条件でどのようにして製造した
かを確認し、クレームの原因を探し、悪いところを直す
ことで次からこのようなクレームが発生しない製品を製
造するようにすることが重要な課題となっている。

【０００４】しかしながら、前述の従来例においては、
各工程間のデータのトラッキング方法（ワークを識別し
ながらデータを収集する方法）が示されておらず、ま
た、各設備の処理条件等の膨大なデータの処理方法が示
されておらず、更に、ネットワークに連結されていない
設備の情報処理の方法について示されていない。特に、
半導体製造においてインラインで製造した製品を抜き取
ってオフラインで検査することが行われているが、この
オフラインで検査した検査データについては品質管理シ
ステムのデータとして反映されていない。したがって、
検索される生産履歴の内容が十分でなく、クレームの原
因を探すに当って簡単且つ正確に探すことができないと
いう問題があった。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の点に鑑
みてなされたものであり、任意の工程における任意の正
確なデータを、所定のデータを元に瞬時に検索すること
ができ、現在における製造の状態を瞬時に知ることがで
きるだけでなく、製造した製品にクレームが発生した場
合にクレームの原因を簡単に探すことができて品質管理
に役立てることができる生産履歴情報管理システムを提
供することを課題とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明に係る生産履歴情報管理システムは、半導体製
造の各工程においてインラインでワーク１に付加された
識別番号を読み取るための識別番号読取装置２と、ワー
ク１の製造条件、識別番号データを収集してこれらのデ
ータをサーバーコンピュータ４に登録するための設備制
御装置３と、サーバーコンピュータ４に蓄積された任意
のデータを閲覧することができる手段とを備えているク
ライアントコンピュータ５と、オフラインで収集した検
査データをサーバーコンピュータ４に登録すると共にサ
ーバーコンピュータ４に蓄積された任意のデータを閲覧
することができる手段を備えているクライアントコンピ
ュータ５とから構成してあることを特徴とするものであ
る。このような構成とすることで、ワーク１を識別番号
で識別しながらインラインで収集した任意の製造工程に
おける製造条件に関するデータはもちろんオフラインで
収集した検査データを瞬時に検索することができること
になる。

【０００７】また、設備制御装置３によりワーク１の製
造条件、生産実績、設備稼動実績、識別番号データを収
集してこれらのデータをサーバーコンピュータ４のデー
タベース６に登録する手段を備えていることが好まし
い。このような構成とすることで、ワークを識別番号で
識別しながらインラインで収集した任意の製造工程にお
ける製造条件、生産実績、設備稼動実績に関するデータ
を瞬時に検索することができるものである。

【０００８】また、生産ロット毎にワーク１に識別番号
を付加してあることが好ましい。このような構成とする
ことで、つまり、同じロットのワーク１に同じ識別番号
を付加することによって、工程間のデータ連携を正確に
行うことができることになる。

【０００９】また、製造条件の変化量からデータ収集間
隔を決定するための手段を備えていることが好ましい。
このような構成とすることで、無駄な収集データ数を減
らすことができるものである。

【００１０】また、オフラインでの検査結果データをワ
ーク１に付加された識別番号をキーとしてサーバーコン
ピュータ４のデータベース６に登録するための入力手段
を設けることが好ましい。このような構成とすること
で、製造ラインの中でネットワークに繋がっていない設
備があってもワーク１に付加された識別番号をキーとし
てデータを収集してサーバーコンピュータ４のデータベ
ース６に登録することができるものである。

【００１１】また、サーバーコンピュータ４に蓄積され
たデータの一部を検索キー項目で階層構造化したファイ
ルを形成することが好ましい。このような構成とするこ
とで、登録するデータ数を減らすことができるものであ
る。

【００１２】また、一定期間以上経過したデータをデー
タベース６から自動的に削除するための手段を備えてい
ることが好ましい。このような構成とすることで、デー
タベース６のメモリ・オーバフローを防ぐことができる
ものである。

【００１３】また、設備制御装置３で収集したデータを
サーバーコンピュータ４のデータベース６に登録すると
共にクライアントコンピュータ５のデータベースにも登
録する手段を備えていることが好ましい。このような構
成とすることで、サーバーコンピュータ４のデータが破
損した場合、クライアントコンピュータ５のデータを使
って修復することができるものである。

【００１４】また、クライアントコンピュータ５上でサ
ーバーコンピュータ４に蓄積された任意のデータをグラ
フに加工された状態で閲覧することを可能とするグラフ
表示手段を備えていることが好ましい。このような構成
とすることで、サーバーコンピュータ４に蓄積された任
意のデータをクライアントコンピュータ５上でグラフに
より表示してリアルタイムで該データを把握したり、す
でに生産した製品の生産履歴をグラフにより表示して確
認することがきるものである。

【００１５】また、指定したグラフ表示したい期間の前
後を含めてクライアントコンピュータ５上でサーバーコ
ンピュータ４に蓄積された任意のデータをグラフ表示す
ると共に指定したグラフ表示したい期間を前後よりも強
調してグラフ表示するための手段を備えていることが好
ましい。このような構成とすることで、指定した期間の
前後と比較しながら指定した期間の生産状況を任意のデ
ータを元に知ることができるものである。

【００１６】また、検査結果をモニタリングして検査結
果が良品範囲を越えた場合に警告を表示するための警告
表示手段を備えていることが好ましい。このような構成
とすることで、不良品の大量発生を未然に防ぐことがで
きるものである。

【００１７】また、検査結果の履歴の変化から将来の結
果を予測し、良品範囲を越える前に警告表示する警告表
示手段を備えていることが好ましい。このような構成と
することで、不良品の大量発生を未然に防ぐことができ
るものである。

【００１８】また、製造条件の履歴の変化と設備稼動状
況から将来の設備異常を予測し、警告表示を行うための
手段を備えていることが好ましい。このような構成とす
ることで、設備異常を未然に防ぐことができるものであ
る。

【００１９】また、一度グラフ表示したデータを別ファ
イルとして登録する手段を備えていることが好ましい。
このような構成とすることで、グラフ表示速度を向上さ
せることができるものである。

【００２０】また、設備稼動中にのみ製造条件データを
収集することが好ましい。このような構成とすること
で、無駄な収集データ数を減らすことができるものであ
る。

【００２１】

【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図面に示す実
施形態に基づいて説明する。

【００２２】図１には本発明の生産情報管理システムの
ブロック構成図が示してある。サーバーコンピュータ４
とクライアントコンピュータ５とはネットワークでつな
がっており、クライアントコンピュータ５としては図１
に示す実施形態においては半導体製造の各工程毎にクラ
イアントコンピュータ５が設けてある。半導体製造ライ
ンは工程１、工程２、工程３の３工程に分かれており、
工程１はワーク１である半導体基板にレーザーでパター
ンニングして画像処理等によりパターン幅等の検査を行
う工程であり、工程２はワーク１である半導体基板にメ
ッキを施す工程であり、工程３はメッキ膜厚の検査を行
う工程である。そして、図１においては、工程１、工程
２、工程３にそれぞれクライアントコンピュータ５が設
けてある。また、図２においては工程１、工程２に兼用
のクライアントコンピュータ５と、工程３のクライアン
トコンピュータ５が設けてある。もちろん、工程３のク
ライアントコンピュータ５を工程１又は工程２のクライ
アントコンピュータ５と兼用してもよい。半導体製造ラ
インで加工されるワーク１には識別番号が付与してあ
る。

【００２３】半導体製造ラインの工程１にはワーク１に
付加された識別番号をインラインで読み取るための識別
番号読取装置２が設けてあり、また、工程１にはワーク
１にレーザーでパターンニング加工し、画像処理等によ
りパターン幅等の検査を行うための加工／検査装置７が
設けてあり、更にワーク１の製造条件、生産実績、設備
稼動実績、識別番号データ、工程１における検査結果を
収集してこれらのデータをサーバーコンピュータ４に登
録するためのシーケンサ（ＰＬＣ）よりなる設備制御装
置３が設けてある。

【００２４】半導体製造ラインの工程２にはワーク１に
付加された識別番号をインラインで読み取るための識別
番号読取装置２が設けてあり、また、工程２にはワーク
１にメッキを施すための加工装置８が設けてあり、更に
ワーク１の製造条件、生産実績、設備稼動実績、識別番
号データを収集してこれらのデータをサーバーコンピュ
ータ４に登録するためのシーケンサよりなる設備制御装
置３が設けてある。

【００２５】ここで、図３に示すように、上記工程１、
工程２において加工／検査装置７や加工装置８に設けた
温度センサ、圧力センサ等により雰囲気温度、窒素、ア
ルゴンガス等の雰囲気圧力等の製造条件を検出して該製
造条件のデータを工程１、工程２の各設備制御装置３で
定期的に収集するものであり、また、工程１、工程２に
おいて加工／検査装置７や加工装置８に設けたワークカ
ウント用光電管やリミットスイッチ等により生産数、良
品数、不良品数等の生産実績を検出して該生産実績のデ
ータを工程１、工程２の各設備制御装置３で定期的に収
集するものであり、また、工程１、工程２において加工
／検査装置７や加工装置８の運転／停止釦の入り、切
り、異常等の設備稼動実績のデータを検出して該設備稼
動実績のデータを工程１、工程２の各設備制御装置３で
定期的に収集するものである。

【００２６】そして、上記工程１における製造条件、生
産実績、設備稼動実績、検査結果、識別番号データの収
集は工程１のインラインにおいて自動的に行われ、ま
た、工程２における製造条件、生産実績、設備稼動実
績、識別番号データの収集は工程２のインラインにおい
て自動的に行われ、このように自動的に収集された上記
データはネットワークを介して工程１又は工程２のクラ
イアントコンピュータ５からサーバーコンピュータ４に
自動的に送られてサーバーコンピュータ４に設けた後述
のデータベース６に蓄積されるものである。

【００２７】一方、半導体製造ラインの工程３はメッキ
膜厚の検査を行う工程で検査装置９が設けてあり、この
検査装置９におけるメッキ膜厚の検査は抜き取り検査で
行うものであって、オフラインで行うものであり、検査
装置９で検査した検査結果のデータは入力手段を用いて
手動入力で工程３のクライアントコンピュータ５に入力
されてサーバーコンピュータ４に設けた後述のデータベ
ース６に蓄積されるものである。

【００２８】サーバーコンピュータ４には工程１、工程
２、工程３のクライアントコンピュータ５からネットワ
ークを介して送られた上記の各情報を蓄積するためのデ
ータベース６が設けてある。サーバーコンピュータ４に
設けたデータベース６としては、製造条件データベー
ス、生産実績データベース、設備稼動実績データベー
ス、検査結果データベース等がある。

【００２９】図４にはデータベース６の構造が示してあ
り、本実施形態においては、生産実績や検査結果につい
てはバーコード番号、設備名に応じた収集日、収集時
刻、収集したデータが蓄積してある。一方、製造条件や
設備稼動実績データは一定周期で収集するため、データ
数が膨大となり、また、製造条件や設備稼動実績データ
を検索する場合、必ず”年”、”月”、”日”、”時
刻”をキーとして検索するため、図４に示すように、製
造条件や設備稼動実績データの収集日、収集時刻をバー
コード番号、設備名に応じてデータベース６に蓄積し、
このデータベース６に蓄積された収集日、収集時刻に対
応してディレクトリー形式で製造条件や設備稼動実績の
収集データを検索キー項目で階層構造化したデータファ
イルとして作成してある。したがって、クライアントコ
ンピュータ５で任意の識別番号を入力して検索すると、
当該識別番号に関連つけられた”年”、”月”、”
日”、”時刻”をキーとしてデータベース６に蓄積され
た収集日、収集時刻に対応したデータファイルを開いて
検索結果を閲覧することができるようにしてもよい。こ
のようにサーバーコンピュータ４に登録するデータの一
部を、検索キー項目で階層化して蓄積することで登録す
るデータ数を減らしてデータベース６のパフォーマンス
を向上させることができるものである。

【００３０】なお、データベース６内において製造条件
や設備稼動実績の収集日、収集時刻、収集したデータを
バーコード番号、設備名に応じて蓄積してもよく、この
際データベース６への蓄積に当たって検索キー項目で階
層構造化して蓄積するようにしてもよいものである。

【００３１】設備制御装置３で収集されたデータは上記
のようにサーバーコンピュータ４のデータベース６に登
録されるが、このサーバーコンピュータ４のデータベー
ス６へのデータの登録と同時にクライアントコンピュー
タ５にもデータベースを設けて同じ内容のデータを登録
するようにしてもよいものである。このようにすること
で、サーバーコンピュータ４が破損した場合に、クライ
アントコンピュータ５に蓄積したデータを使って修復す
ることが可能となるものである。

【００３２】サーバーコンピュータ４のデータベース６
に蓄積されたデータやクライアントコンピュータ５のデ
ータベースに蓄積されたデータは一定期間が経過すると
サーバーコンピュータ４やクライアントコンピュータ５
に設けた削除手段により自動的に削除されるようになっ
ており、これによりデータベース６のメモリ・オーバー
フロー及びパフォーマンスの低下を防ぐことができるよ
うになっている。

【００３３】図２に示す実施形態においてはワーク１に
付加される識別番号としてバーコードの例が示してあ
り、識別番号読取装置２としてはバーコードリーダの例
が示してある。

【００３４】しかして、加工すべきワーク１である半導
体基板に上記のように識別番号としてのバーコードが付
加してあり、半導体製造ラインにおける工程では、この
バーコードが付加されたワーク１を工程１の加工／検査
装置７（インライン）→工程２の加工装置８（インライ
ン）→検査装置９（アウトライン）の順に流すようにな
っている。その工程フロー図は図５、図６のようにな
る。

【００３５】図５における加工データとは製造条件のデ
ータのことであり、例えば、雰囲気温度、窒素、アルゴ
ンガス等の雰囲気圧力などを意味している。また、検査
結果データとは、工程１のパターン幅等の検査結果のデ
ータや、工程２のメッキ膜厚の検査結果のデータを意味
している。ワーク１に付加される識別番号は生産ロット
毎に付加され（つまり、同じロットのワークには同じ識
別番号が付加され）、工程間のデータトラッキング（ワ
ーク１を識別しながらデータを収集する方法）を実現す
ることができるようになっており、これにより工程間で
のデータ連携を正確に行うことができるようにしてあ
る。

【００３６】図７（ａ）にはデータ収集のアルゴリズム
の一例が示してあり、設備運転中に一定時間毎にデータ
を収集するようになっている。すなわち、製造条件デー
タのデータを収集するに当たっては設備が稼動している
ときにのみ収集するのが好ましく、このため、図７
（ｂ）に示すように設備の運転開始時が製造条件データ
の収集開始時となり、設備の運転停止が製造条件データ
の収集終了時となるように設定してある。つまり、設備
の運転期間中にのみ設定されたデータ収集間隔で製造条
件データを収集するように収集タイミングを自動的に決
定されるようになっている。このように設備の運転期間
中にのみ設定されたデータ収集間隔で製造条件データを
収集することで無駄な収集データ数を減らすことができ
るものである。

【００３７】データの収集間隔は製造条件の変化量から
決定することができる。すなわち、図８に示すように、
製造条件の変化量を求め、この製造条件の変化量の平均
値を計算し、変化量の平均値が無視できる範囲かどうか
を判定し、無視できる範囲の場合にはデータ収集間隔は
現状のままのデータ収集間隔とし、無視できない範囲の
場合には図８（ａ）のフロー図に示す式に基づいて新た
なデータ収集間隔を決定するものである。

【００３８】ここで、図９に示すフロー図のようにして
生産ロットの再計算を行うこともできる。なお、図９に
おいてＹ（ｔ）は点データに基づき近似式で近似され、
数式で表せるので、その近似式を微分している。

【００３９】なお、設備制御装置３で収集されたデータ
を作業者が見て今までの製造実績に照らして明らかに誤
りがあるような場合が生じると、作業者がクライアント
コンピュータ５又はサーバーコンピュータ４から修正す
ることができるようにするとよい。

【００４０】サーバーコンピュータ４又はクライアント
コンピュータ５には、クライアントコンピュータ５にお
いて識別番号やその他の検索キー項目を入力して検索す
るとクライアントコンピュータ５のディスプレー上でサ
ーバーコンピュータ４に蓄積された任意のデータをグラ
フに加工された状態で閲覧することを可能とするグラフ
表示手段が設けてある。

【００４１】例えば、図１０（ａ）に示す生産実績履歴
グラフ表示フローに示すように、検索キー項目として生
産実績に関してグラフ表示したい識別番号を入力する
と、入力した”識別番号”をキーとしてデータベース６
から該当する期間の生産実績データを検索し、該当する
生産実績データを日付で昇順にソートし、横軸に生産
日、縦軸に生産数をとってクライアントコンピュータ５
のディスプレー上に図１０（ｂ）に示すようにグラフ表
示するものである。

【００４２】また、図１１（ａ）に示す検査結果履歴グ
ラフ表示フローに示すように、検索キー項目として検査
結果に関してグラフ表示したい識別番号を入力すると、
入力した”識別番号”をキーとしてデータベース６から
該当する期間の検査結果データを検索し、該当する検査
結果データを日付、時刻で昇順にソートし、横軸に生産
日、縦軸に検査結果をとってクライアントコンピュータ
５のディスプレー上に図１１（ｂ）に示すようにグラフ
表示するものである。

【００４３】また、図１２（ａ）に示す製造条件表示フ
ローに示すように、検索キー項目として製造条件に関し
てグラフ表示したい識別番号を入力すると、入力した”
識別番号”をキーとしてデータベース６から該当する製
造条件データを検索し、該当する製造条件データを日
付、時刻で昇順にソートし、横軸に生産日、縦軸に製造
条件をとってクライアントコンピュータ５のディスプレ
ー上に図１２（ｂ）に示すようにグラフ表示するもので
ある。

【００４４】ここで、上記いずれの場合も、グラフ表示
するために入力して指定した期間の前、後の期間のデー
タも同時に一連のグラフとしてグラフ表示し、この指定
した期間及び前後の期間の一連のデータのグラフ表示に
おいて、指定した期間のみ前後に比べて強調するように
表示するための手段をサーバーコンピュータ４又はクラ
イアントコンピュータ５に設け、クライアントコンピュ
ータ５上で指定した期間を該指定した期間の前後よりも
強調してグラフ表示するようにしてもよいものである。
このように指定した期間を前後よりも強調してグラフ表
示することで、前後との関係と比べながら指定した期間
のデータを見ることができ、指定した期間と前後とでど
のように違うかが一目で分かり、クレームの原因等を見
つけるのが容易にできるものである。指定した期間のみ
前後に比べて強調するようにグラフ表示するに当たって
は、例えば、指定した期間のみ太い線や濃い線や色違い
の線等で表示するものである。図１２にはその一例とし
て製造条件について指定した期間を前後よりも強調して
グラフ表示する例が示してあるが、図１０、図１１にお
いても同様にして指定した期間を前後よりも強調してグ
ラフ表示するようにしてもよいものである。

【００４５】また、図１３（ａ）に示す設備異常パレー
ト図表示フローに示すように、検索キー項目として設備
異常、グラフ表示したい期間を入力すると、入力した”
期間”をキーとしてデータベース６から該当する設備異
常データ（ここで、設備異常データとは温度や圧力等が
基準範囲外になったときに、その時刻や異常データを指
す）を検索し、設備異常項目別に発生回数をカウント
し、データを発生回数で昇順にソートし、横軸に設備異
常項目、縦軸に発生回数をとってクライアントコンピュ
ータ５のディスプレー上に図１３（ｂ）に示すようにグ
ラフ表示するものである。

【００４６】また、検査結果トレンドをグラフ表示する
こともできる。すなわち、図１４（ａ）に示す検査結果
トレンド表示フローに示すように、クライアントコンピ
ュータ５において検査結果トレンド表示のための操作を
開始すると、図１４（ａ）の検査結果トレンド表示フロ
ーに示す順番で処理されて図１４（ｂ）に示すような検
査結果トレンドがクライアントコンピュータ５のディス
プレー上にグラフ表示される。ここで、収集した検査結
果データがあらかじめ設定された良品範囲内であるかど
うかをチェックし、現在の検査結果が良品範囲を越えて
いる場合にはサーバーコンピュータ４又はクライアント
コンピュータ５に設けた警告表示手段によりクライアン
トコンピュータ５のディスプレー上で警告表示を行うも
のであり、また、現在の検査結果が良品範囲内にあった
場合には、検査結果の履歴の変化から将来の結果を予測
して表示するようになっており、検査結果の履歴の変化
から将来の結果を予測して予測値が良品範囲内かどうか
をチェックし、予測値が良品範囲を越えると、検査結果
が良品範囲を越える前に良品範囲を越えるかもしれない
ということを警告表示するものである。上記のようにし
て警告表示を行うことで、品質不良の大量発生を未然に
防ぐことができるものである。

【００４７】また、サーバーコンピュータ４に登録され
た様々なデータを組み合わせてクライアントコンピュー
タ５のディスプレー上でグラフ表示することもできる。

【００４８】図１５にはその一例が示してあり、図１５
（ａ）には製造条件、設備稼動トレンドグラフ表示フロ
ーが示してあり、図１５（ｂ）には製造条件トレンドグ
ラフと設備稼動トレンドグラフとの相互の関係をグラフ
で示してある。設備の運転中に設備異常が発生した場合
の製造条件のデータのαｍｉｎ（下限値）とαｍａｘ
（上限値）を求め、製造条件のデータがαｍｉｎとαｍ
ａｘとの間にあると設備異常が発生すると仮定する。そ
して、図１５（ａ）のフロー図のようにして製造条件の
履歴の変化と当該設備の稼動状況から将来の設備異常を
予測し、サーバーコンピュータ４又はクライアントコン
ピュータ５に設けた警告表示手段によりクライアントコ
ンピュータ５のディスプレー上で設備異常が発生するか
もしれないことの警告表示を製造条件、設備稼動トレン
ドグラフの表示と同時に行うものである。これにより、
設備異常を未然に防ぐことができるものである。

【００４９】また、図１６には他の実施形態が示してあ
り、本実施形態ではクライアントコンピュータ５のディ
スプレー上に製造条件履歴と検査結果履歴とを同時に一
つのグラフとして表示することができるようにしてい
る。このように製造条件履歴と検査結果履歴とを同時に
一つのグラフとして表示すると、検査結果の変動と、製
造条件の変動とが同時にグラフ表示されたとすると、製
造条件の変動が検査結果に影響を与えているということ
が推定でき、品質クレームが発生した場合の原因究明に
役立つことになる。

【００５０】ここで、サーバーコンピュータ４又はクラ
イアントコンピュータ５にグラフ表示データ登録手段を
設け、上記各実施形態で述べたような一度グラフ表示し
たデータをサーバーコンピュータ４又はクライアントコ
ンピュータ５に別ファイルとして登録するようにしても
よいものである。すなわち、通常グラフ表示するには所
定のデータをキーとして検索し、グラフ表示するための
元データを作成しなければならないが、このように一度
グラフ表示したデータを別ファイルとして登録しておく
と（つまり元データを別ファイルとして保存しておけ
ば）、二度目からはデータベース６にアクセスすること
なくグラフ表示ができるので、応答時間が短くなってグ
ラフ表示速度を向上させることができるものである。

【００５１】しかして、本発明においては、上記のよう
にしてワークを識別番号で識別しながらインラインで収
集した任意の製造工程における任意のデータはもちろん
オフラインで収集した検査データを瞬時に検索し、クラ
イアントコンピュータ５のディスプレー上で上記のよう
にグラフ表示により検索結果を見ることができるもので
あり、これにより、現在の製造における種々の条件をリ
アルタイムで確認することでリアルタイムで品質管理を
行うことができるだけでなく、既に製造して出荷した製
品に仮に何らかのクレームが発生した際に、該クレーム
が発生した製品をどのような条件でどのようにして製造
したかを確認できて、クレームの原因を簡単に探し出
し、次からこのようなクレームが発生しないように改善
を行うことができるものである。

【００５２】

【発明の効果】上記のように本発明の請求項１記載の発
明にあっては、半導体製造の各工程においてインライン
でワークに付加された識別番号を読み取るための識別番
号読取装置と、ワークの製造条件、識別番号データを収
集しこれらのデータをサーバーコンピュータに登録する
ための設備制御装置と、サーバーコンピュータに蓄積さ
れた任意のデータを閲覧することができる手段とを備え
ているクライアントコンピュータと、オフラインで収集
した検査データをサーバーコンピュータに登録すると共
にサーバーコンピュータに蓄積された任意のデータを閲
覧することができる手段を備えているクライアントコン
ピュータとから構成してあるので、ワークを識別番号で
識別しながらインラインで収集した任意の製造工程にお
ける製造条件に関するデータはもちろんオフラインで収
集した検査データを瞬時に検索することができるもので
あって、この結果、現在における製造の状態を瞬時に知
ることができるだけでなく、製造した製品にクレームが
発生した場合にクレームの原因を簡単に探すことができ
て品質管理に役立てることができるものである。

【００５３】また、請求項２記載の発明にあっては、上
記請求項１記載の発明の効果に加えて、設備制御装置に
よりワークの製造条件、生産実績、設備稼動実績、識別
番号データを収集してこれらのデータをサーバーコンピ
ュータのデータベースに登録する手段を備えているの
で、ワークを識別番号で識別しながらインラインで収集
した任意の製造工程における製造条件、生産実績、設備
稼動実績に関するデータを瞬時に検索して品質管理に役
立てることができるものである。

【００５４】また、請求項３記載の発明にあっては、上
記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、生
産ロット毎にワークに識別番号を付加してあるので、工
程間のデータ連携を正確に行うことができるものであ
る。

【００５５】また、請求項４記載の発明にあっては、上
記請求項１記載の発明の効果に加えて、製造条件の変化
量からデータ収集間隔を決定するための手段を備えてい
るので、製造条件の変化に対応して効率的にデータを収
集できて無駄な収集データ数を減らすことができ、デー
タベースのデータパフォーマンスを向上させることがで
きるものである。

【００５６】また、請求項５記載の発明にあっては、上
記請求項１記載の発明の効果に加えて、オフラインでの
検査結果データをワークに付加された識別番号をキーと
してサーバーコンピュータのデータベースに登録するた
めの入力手段を設けてあるので、製造ラインの中でネッ
トワークに繋がっていない設備があってもワークに付加
された識別番号をキーとしてデータを収集してサーバー
コンピュータのデータベースに登録することができるも
のである。

【００５７】また、請求項６記載の発明にあっては、上
記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、サ
ーバーコンピュータに蓄積されたデータの一部を検索キ
ー項目で階層構造化したファイルを形成したので、登録
するデータ数を減らすことができて、データベースのデ
ータパフォーマンスを向上させることができるものであ
る。

【００５８】また、請求項７記載の発明にあっては、上
記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、一
定期間以上経過したデータをデータベースから自動的に
削除するための手段を備えているので、データベースの
メモリ・オーバフローを防ぐことができてデータベース
のデータパフォーマンスの低下を防ぐことができるもの
である。

【００５９】また、請求項８記載の発明にあっては、上
記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、設
備制御装置で収集したデータをサーバーコンピュータの
データベースに登録すると共にクライアントコンピュー
タのデータベースにも登録する手段を備えているので、
サーバーコンピュータのデータが破損した場合、クライ
アントコンピュータのデータを使って修復することがで
きるものである。

【００６０】また、請求項９記載の発明にあっては、上
記請求項１又は請求項２記載の発明の効果に加えて、ク
ライアントコンピュータ上でサーバーコンピュータに蓄
積された任意のデータをグラフに加工された状態で閲覧
することを可能とするグラフ表示手段を備えているの
で、サーバーコンピュータに蓄積された任意のデータを
クライアントコンピュータ上でグラフにより表示してリ
アルタイムで該データを把握したり、過去の生産履歴を
グラフにより表示して確認することができるものであ
る。

【００６１】また、請求項１０記載の発明にあっては、
上記請求項９記載の発明の効果に加えて、指定したグラ
フ表示したい期間の前後を含めてクライアントコンピュ
ータ上でサーバーコンピュータに蓄積された任意のデー
タをグラフ表示すると共に指定したグラフ表示したい期
間を前後よりも強調してグラフ表示するための手段を備
えているので、指定した期間の前後と比較しながら指定
した期間の生産状況が任意のデータを元に知ることがで
きて、指定した期間の生産履歴を前後との比較で正確に
確認することができるものであって、ある製品について
クレームが生じた際に当該製品のクレームに対する原因
究明が容易に行えるものである。

【００６２】また、請求項１１記載の発明にあっては、
上記請求項９記載の発明の効果に加えて、検査結果をモ
ニタリングして検査結果が良品範囲を越えた場合に警告
を表示するための警告表示手段を備えているので、不良
品の大量発生を未然に防ぐことができるものである。

【００６３】また、請求項１２記載の発明にあっては、
上記請求項１１記載の発明の効果に加えて、検査結果の
履歴の変化から将来の結果を予測し、良品範囲を越える
前に警告表示する警告表示手段を備えているので、不良
品の大量発生を未然に防ぐことができるものである。

【００６４】また、請求項１３記載の発明にあっては、
上記請求項９記載の発明の効果に加えて、製造条件の履
歴の変化と設備稼動状況から将来の設備異常を予測し、
警告表示を行うための手段を備えているので、設備異常
を未然に防ぐことができるものである。

【００６５】また、請求項１４記載の発明にあっては、
上記請求項９記載の発明の効果に加えて、一度グラフ表
示したデータを別ファイルとして登録する手段を備えて
いるので、グラフ表示速度を向上させることができて、
クライアントコンピュータ上でより素早くグラフ表示で
きるものである。

【００６６】また、請求項１５記載の発明にあっては、
上記請求項９記載の発明の効果に加えて、設備稼動中に
製造条件データを収集するので、無駄な収集データ数を
減らすことができて、データベースのデータパフォーマ
ンスを向上できるものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の生産履歴情報管理システムのブロック
構成図である。

【図２】同上の識別番号をバーコードとし識別番号読取
装置をバーコードリーダとした例におけるブロック構成
図である。

【図３】同上の設備制御装置による情報収集を説明する
ためのブロック構成図である。

【図４】同上のデータベース構造を示す説明図である。

【図５】同上の工程１、工程２における工程フロー図で
ある。

【図６】同上の工程３における工程フロー図である。

【図７】同上のデータ収集の一例を示し、（ａ）はデー
タ収集のアルゴリズムのフロー図であり、（ｂ）はデー
タ収集の開示時期と終了時期とを説明するタイムチャー
トである。

【図８】（ａ）は同上のデータ収集間隔の再計算を示す
フロー図であり、（ｂ）は説明のためのグラフである。

【図９】（ａ）は同上の生産ロットの再計算を示すフロ
ー図であり、（ｂ）は説明のためのグラフである。

【図１０】（ａ）は同上の生産実績履歴グラフ表示フロ
ー図であり、（ｂ）はクライアントコンピュータ上に表
示されるグラフである。

【図１１】（ａ）は同上の検査結果履歴グラフ表示フロ
ー図であり、（ｂ）はクライアントコンピュータ上に表
示されるグラフである。

【図１２】（ａ）は同上の製造条件履歴グラフ表示フロ
ー図であり、（ｂ）はクライアントコンピュータ上に表
示されるグラフである。

【図１３】（ａ）は同上の設備異常パレート図表示フロ
ー図であり、（ｂ）はクライアントコンピュータ上に表
示されるグラフである。

【図１４】（ａ）は同上の検査結果トレンドグラフ表示
フロー図であり、（ｂ）はクライアントコンピュータ上
に表示されるグラフである。

【図１５】（ａ）は同上の製造条件、設備稼動トレンド
グラフ表示フロー図であり、（ｂ）はクライアントコン
ピュータ上に表示されるグラフである。

【図１６】同上の製造条件と検査結果とが同時にクライ
アントコンピュータ上に表示されたグラフである。

【符号の説明】

１ワーク２識別番号読取装置３設備制御装置４サーバーコンピュータ５クライアントコンピュータ６データベース

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】半導体製造の各工程においてインライン
でワークに付加された識別番号を読み取るための識別番
号読取装置と、ワークの製造条件、識別番号データを収
集しこれらのデータをサーバーコンピュータに登録する
ための設備制御装置と、サーバーコンピュータに蓄積さ
れた任意のデータを閲覧することができる手段とを備え
ているクライアントコンピュータと、オフラインで収集した検査データをサーバーコンピュー
タに登録すると共にサーバーコンピュータに蓄積された
任意のデータを閲覧することができる手段を備えている
クライアントコンピュータと、から構成してあることを特徴とする生産履歴情報管理シ
ステム。
【請求項２】設備制御装置によりワークの製造条件、
生産実績、設備稼動実績、識別番号データを収集してこ
れらのデータをサーバーコンピュータのデータベースに
登録する手段を備えていることを特徴とする請求項１記
載の生産履歴情報管理システム。
【請求項３】生産ロット毎にワークに識別番号を付加
してあることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の
生産履歴情報管理システム。
【請求項４】製造条件の変化量からデータ収集間隔を
決定するための手段を備えていることを特徴とする請求
項１記載の生産履歴情報管理システム。
【請求項５】オフラインでの検査結果データをワーク
に付加された識別番号をキーとしてサーバーコンピュー
タのデータベースに登録するための入力手段を設けて成
ることを特徴とする請求項１記載の生産履歴情報管理シ
ステム。
【請求項６】サーバーコンピュータに蓄積されたデー
タの一部を検索キー項目で階層構造化したファイルを形
成したことを特徴とする請求項１又は請求項２記載の生
産履歴情報管理システム。
【請求項７】一定期間以上経過したデータをデータベ
ースから自動的に削除するための手段を備えていること
を特徴とする請求項１又は請求項２記載の生産履歴情報
管理システム。
【請求項８】設備制御装置で収集したデータをサーバ
ーコンピュータのデータベースに登録すると共にクライ
アントコンピュータのデータベースにも登録する手段を
備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載
の生産履歴情報管理システム。
【請求項９】クライアントコンピュータ上でサーバー
コンピュータに蓄積された任意のデータをグラフに加工
された状態で閲覧することを可能とするグラフ表示手段
を備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２記
載の生産履歴情報管理システム。
【請求項１０】指定したグラフ表示したい期間の前後
を含めてクライアントコンピュータ上でサーバーコンピ
ュータに蓄積された任意のデータをグラフ表示すると共
に指定したグラフ表示したい期間を前後よりも強調して
グラフ表示するための手段を備えていることを特徴とす
る請求項９記載の生産履歴情報管理システム。
【請求項１１】検査結果をモニタリングして検査結果
が良品範囲を越えた場合に警告を表示するための警告表
示手段を備えていることを特徴とする請求項９記載の生
産履歴情報管理システム。
【請求項１２】検査結果の履歴の変化から将来の結果
を予測し、良品範囲を越える前に警告表示する警告表示
手段を備えていることを特徴とする請求項１１記載の生
産履歴情報管理システム。
【請求項１３】製造条件の履歴の変化と設備稼動状況
から将来の設備異常を予測し、警告表示を行うための手
段を備えていることを特徴とする請求項９記載の生産履
歴情報管理システム。
【請求項１４】一度グラフ表示したデータを別ファイ
ルとして登録する手段を備えていることを特徴とする請
求項９記載の生産履歴情報管理システム。
【請求項１５】設備稼動中にのみ製造条件データを収
集することを特徴とする請求項９記載の生産履歴情報管
理システム。