JPH11250135A - 情報システム - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】結果と要因の関係を体系的に提示することによ
り不良解析などを支援する。 【解決手段】歩留まり低下という結果（８１０）とその
要因（８１１、８１３）の関係を視覚モデル化した特性
要因図と、プロセス異常という結果とその要因の関係を
視覚モデル化した特性要因図と、製造設備異常という結
果とその要因の関係を視覚モデル化した特性要因図とを
用意する。各要因には、その要因に関係する対象（８２
５）を関連づける。表示した各特性要因図上で特定の要
因が選択された場合には、その要因に関連づけられた対
象の異常を結果として、結果とその要因の関係を視覚モ
デル化した特性要因図を表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、システムに生じた
不良の要因を解析する不良解析を支援する技術に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、製造システムに生じた不良の
要因を解析する不良解析を支援する技術として、特開平
6-53104号公報記載の技術が知られている。

【０００３】この技術は、半導体製造システムに、各工
程および製造装置における処理条件や、各工程で用いら
れた部材名及び部材ロットや、各工程の通過日時の情報
をロット単位に自動的に収集し蓄積するホストコンピュ
ータを設けると共に、このホストコンピュータに、蓄積
した情報の中から与えた条件に合致する情報を検索させ
出力させるようにしたものである。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記特開平6-53104号
公報記載の技術によれば、不良解析を行う際に、蓄積さ
れた情報の中の不良解析に必要と思われる情報を、適当
な条件を与えるだけで得ることができる。

【０００５】しかしながら、発生した結果と当該結果を
もたらした要因との関係が複雑であったり多層的であっ
たりする場合には、不良解析によって発生した結果の原
因を見いだすために必要な情報を過不足なく検索するた
めの条件を設定するためには、結果と要因との関係の体
系についての相当の知識や経験が必要となる。そして、
このような場合には、このような体系について高度に熟
練した担当者でなければ、前記従来技術を用いて適切か
つ迅速に不良解析を行うことが困難となる。

【０００６】そこで、本発明は、結果と要因の関係を体
系的に提示することにより、適切かつ迅速に発生した結
果をもたらした原因を見いだすことを支援する情報シス
テムを提供することを課題とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】前記課題達成のために、
本発明は、複数の特定の現象である結果現象の各々につ
いて、当該結果現象と、当該結果現象の要因となりえる
１または複数の現象である要因現象との関係もしくは関
係の強さを記憶したデータベースと、前記データベース
に記憶された各結果現象と当該結果現象の要因となりえ
る現象である要因現象との関係もしくは関係の強さに基
づいて、当該関係もしくは関係の強さを視覚化したモデ
ルを生成する生成手段と、生成されたモデルを表示する
表示手段と、前記表示手段が表示したモデル上で要因現
象の選択を受け付ける受付手段とを有し、前記データベ
ースは、前記各要因現象について当該要因現象の要因と
なりえる結果現象を当該要因現象に関連づけて記憶し、
前記生成手段は、前記受付手段が要因現象の選択を受け
付けた場合に、選択を受け付けた要因現象に関連づけら
れて前記データベースに記憶されている結果現象と、当
該結果現象の要因となりえる現象である要因現象との関
係もしくは関係の強さを視覚化したモデルを生成するこ
とを特徴とする情報システムを提供する。

【０００８】このような情報システムは、現象間の結果
と要因との関係をモデルとして表示すると共に、モデル
中に要因として提示された現象から、その現象の要因と
なった現象を結果とするモデルを求めて提示することが
できる。

【０００９】したがって、操作者は、現象間の結果と要
因との関係を、複数のモデルに渡って体系的に把握し、
これに基づいて、迅速、適切に発生した結果をもたらし
た原因を見いだすことができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下、本発明に係る情報システム
の一実施形態を、薄膜製品の製造システムへの適用を例
にとり説明する。

【００１１】図１に、製造システムの全体構成を示す。

【００１２】図中、製造ライン１０１は、薄膜製品を製
造するための複数の製造工程よりなる。また、１０は、
製造ライン１０１における品質／製造履歴情報の管理を
行うサーバ（薄膜製品品質管理システム）である。次
に、１３ａは、クライアント（情報収集用端末）であ
り、１３ｂは、クライアント（原因調査用端末）であ
る。クライアント１３a、１３bは、製造ライン１０１近
傍に設置されており、ネットワーク１４を介してサーバ
１０に接続されている。

【００１３】このような構成において、クライアント１
３a、１３b、サーバ１０、ネットワーク１４によって、
本実施形態に係る情報システムが形成される。

【００１４】さて、サーバ１０、クライアント１３a、
１３bのハードウエアとしては、CPUや、主記憶や、外部
記憶装置や、キーボードやポインティングデバイスなど
の入力装置、モニタやプリンタなどの出力装置、LANア
ダプタなどの通信制御装置などを備えた一般的な電子計
算機のハードウエアを用いることができる。

【００１５】サーバ１０のCPUは、外部記憶装置に予め
記憶されたプログラムを主記憶にロードし実行すること
により、プロセスとして図１に示す処理部１１を電子計
算機上に具現化する。また、外部記憶装置や主記憶に蓄
えた所定のデータと、CPUが外部記憶装置に予め記憶さ
れたプログラムを主記憶にロードし実行することにより
電子計算機上に具現化される、データをデータベースと
して管理するプロセスによって、図１に示す品質データ
データベース２１、製造履歴管理データベース２２、特
性要因データ管理データベース２３、関連度判定データ
ベース２４、特異点データ管理データベース２５よりな
るデータベース群１２を電子計算機上に具現化する。

【００１６】同様に、クライアント１３a、１３bのCPU
は、外部記憶装置に予め記憶されたプログラムを主記憶
にロードし実行することにより、後述する動作を行うプ
ロセスを電子計算機上に具現化する。

【００１７】ここで、以上のようなプログラムは、リム
ーバルな記憶媒体を介して電子計算機に供給するように
してもよい。すなわち、電子計算機に外部記憶装置とし
て、リムーバルな記憶媒体（たとえばCD-ROM)のドライ
バ装置を設け、リムーバルな記憶媒体に記憶されたプロ
グラムを、直接主記憶にロードしてＣＰＵが実行する
か、もしくは、リムーバルな記憶媒体に記憶されたプロ
グラムをハードディスク装置などの他の記憶媒体にイン
ストールした後にインストールした記憶媒体より主記憶
にロードしてＣＰＵが実行するようにしてもよい。

【００１８】ここで、品質データデータベース２２は、
薄膜製品の各ロット（たとえば薄膜製品の基材となるウ
ェハ）の品質に関するデータとして、図２に示すよう
に、その薄膜製品のロットが製造ライン１０１で経る工
程の名称を表す工程３０１、各工程における作業内容す
なわちプロセスを表す作業項目３０２、各工程に関して
品質が測定管理される対象を表す品質データ名３０３、
品質データ名３０３が表す対象の測定値を表す測定値３
０４を、ロット毎に記憶する。

【００１９】また、製造履歴管理データベース２３は、
各製造ライン１０１の製造履歴に関するデータとして、
製造ライン１０１で行われた工程についての情報を工程
毎に記憶する。この工程についての情報としては、図３
に示すように工程の名称を表す工程４０１、各工程にお
ける製造の条件を表す製造条件４０２、各工程が施され
た製造設備４０３、各工程で用いられた部材を表す部材
情報４０４を記憶する。

【００２０】次に、特性要因データ管理データベース２
１は、図４に示すように、現象を表す結果５０１と、結
果５０１の要因と成り得ると考えられる現象を表す要因
５０２、要因５０２をグループ化した要因グループ５０
６、結果５０１と要因５０２の関連の強さ（結果５０１
を引き起こす強さ）を、要因グループ５０６毎に３段階
で表す関連度５０４、要因グループ５０６の各要因５０
２の現象を引き起こし得る要因に関係する対象を表す関
係項目５０３、関連度５０４を記憶している。関連度５
０４は、ある結果に対して記憶された関係項目５０３に
ついての現象が、これとは別に結果５０１として記憶さ
れているかどうかを表す。

【００２１】また、結果５０１としては、直接的に不良
と判断される現象と、関係項目５０３として記憶された
事物の不良を表す現象が記憶される。図４では、結果５
０１として、製造ライン１０１が不良と直接的に判断さ
れる歩留まり低下と、結果５０１「歩留まり低下」の関
係項目５０３として登録された対象設備Aの不良を表す
設備A異常と、結果５０１「歩留まり低下」の関係項目
５０３として登録されたプロセスαの不良を表すプロセ
スα異常とが記憶されている。本実施形態では、このよ
うに、薄膜製品自体の良否を表す項目と、製造設備の良
否を表す項目と、プロセスの良否を表す項目とを、結果
５０１として設ける。

【００２２】次に、関連度判定データベース２４は、特
性要因データ管理データベース２１に記憶された要因５
０２の現象を示す対象が、結果５０１を引き起こす程度
を表す判定係数と、判定係数に従って３段階に分類した
対象の分類を表している。すなわち、図５に示すよう
に、結果６０２と、要因５０１の対象６０３と、対象６
０３毎の判定係数６０４と、各判定係数６０４に従って
対象６０３を３段階に分類した個別関連度６０１を記憶
している。

【００２３】ここで、特性要因データ管理データベース
２１に記憶される要因のグループ５０６毎に３段階で表
す関連度５０４は、その要因のグループに属する各要因
５０２の対象６０３が、関連度判定データベース２４に
おいて分類された個別関連度６０１のうち、最大のもの
が記憶される。また、対象６０３は、品質データデータ
ベース２２の品質データ名３０３の中から選択される。

【００２４】最後に、特異点データ管理データベース２
５は、関連度判定データベース２４に記憶される対象６
０３について、図６に示すように、その対象が示す現象
が、製品に課せられた仕様を満足させ得る範囲を表す許
容範囲下限５０２と許容範囲上限５０３を記憶してい
る。

【００２５】以下、このような各種データベース１３を
用いて、処理部１２が行う各処理について説明する。

【００２６】まず、品質データデータベース２２、製造
履歴管理データベース２３へのデータ登録の動作につい
て説明する。

【００２７】図２に示した品質データデータベース２２
の各種情報、図３に示した製造履歴管理データベース２
３の各種情報の登録は、クライアント１３aを介して行
われる。

【００２８】すなわち、操作者がキーボードなどの入力
装置を介して、品質データデータベース２２、製造履歴
管理データベース２３に登録したい情報をクライアント
１３bに入力すると、これを受け取ったクライアント１
３aのプロセスは、サーバ１０の処理部１１に、この情
報をネットワーク１４を介して送る。サーバ１０の処理
部１１は、ネットワーク１４を介して受け取った情報
を、品質データデータベース２２、製造履歴管理データ
ベース２３に登録する。

【００２９】次に、不良解析を行うときの動作について
説明する。

【００３０】操作者は、クライアント１３ｂに対してキ
ーボードなどの入力装置を介して、品質データデータベ
ース２２の特定の情報の表示、製造履歴管理データベー
ス２３の特定情報の表示を要求することができる。

【００３１】品質データデータベース２２の特定の情報
の表示、製造履歴管理データベース２３の特定情報の表
示の要求を受け取ったクライアント１３bのプロセス
は、その要求をネットワーク１４を介してサーバ１０の
処理部１１に伝える。

【００３２】サーバ１０の処理部１１は、要求によって
特定された情報を品質データデータベース２２、製造履
歴管理データベース２３から検索して、クライアント１
３bのプロセスにネットワーク１４を介して送る。

【００３３】送られた情報を受け取ったクライアント１
３bのプロセスは、この情報をモニタなどに表示する。

【００３４】また、操作者は、クライアント１３ｂに対
してキーボードなどの入力装置を介して特性要因図の表
示を要求することができる。この要求は、表示を要求す
る特性要因図の種別と共に行うことができる。特性要因
図の種別には、図４の特性要因管理データベース２１に
結果５０１として登録された現象が対応する。

【００３５】その種別と共に特性要因図の表示を要求さ
れたクライアント１３bのプロセスは、この要求をサー
バ１０の処理部１０１に送る。

【００３６】要求を受け取ったサーバ１０の処理部１０
１は、要求に伴う特性要因図の種別に対応する結果５０
１に対応する各情報を特性要因管理データベース２１か
ら検索し、検索した情報より特性要因図を作成し、クラ
イアント１３bのプロセスにネットワーク１４を介して
送る。

【００３７】特性要因図を受け取ったクライアント１３
bのプロセスは、これをモニタなどに表示する。

【００３８】ここで、サーバ１０の処理部１０１は、特
性要因図を次のように作成する。

【００３９】図７に、要求に伴う特性要因図の種別が
「歩留まり低下」であった場合に作成する特性要因図を
示す。

【００４０】図示するように、この特性要因図は、特性
要因図の種別を主幹８０１としてその種別名８１０と共
に表示し、主特性要因図の種別「歩留まり低下」に対応
する結果５０１に対応する要因グループ５０６に各々対
応する二次幹（主幹に向かう幹）８０２を、その要因グ
ループ名８１１と共に表示し、さらに、各要因グループ
５０６の二次幹に向かう三次幹８０３として、その要因
グループに属する要因５０２に対応する幹を、その要因
名８１３と共に表示したものである。

【００４１】ここで、各二次幹は、対応する要因グルー
プ５０６の関連度５０４がより大きいものをより右（特
性要因図の種別名８１０に向かう矢印の近く）に配置
し、各三次幹は、関連度判定データベース２４におい
て、三次幹に対応する要因５０２に対応する現象を示す
対象６０３の判定係数６０４が大きいものをより主幹に
近い位置に配置している。

【００４２】また、各要因グループ５０６に対応する二
次幹に対して、その要因グループに対応する関連度５０
４の値８１５を表示したものである。

【００４３】さて、操作者は、クライアント１３bのモ
ニタに表示された特性要因図中の任意の二次幹をポイン
ティングデバイスなどの入力装置によって選択できる。
二次幹の選択がなされるとクライアント１３bのプロセ
スは、選択の内容をネットワークを介してサーバ１０の
処理部１０１に伝える。

【００４４】処理部１０１は、選択された二次幹に対応
する要因グループに対応する関連項目５０４をクライア
ント１３bのプロセスに送る。クライアント１３bのプロ
セスは、受け取った関連項目５０４の表示８２０を、特
性要因図上に行う。

【００４５】また、クライアント１３bのモニタに表示
された関連項目５０４中の一つの事物をポインティング
デバイスなどの入力装置によって選択できる。選択がな
されるとクライアント１３bのプロセスは、選択の内容
をネットワークを介してサーバ１０の処理部１０１に伝
える。

【００４６】処理部１０１は、選択された関連項目５０
３中の一つの事物の不良が結果５０１として登録されて
いる場合には（結合５０５に「あり」が登録されている
場合には）、その結果５０１に対応する各情報を特性要
因管理データベース２１から検索し、検索した情報より
先程と同様に特性要因図を作成し、クライアント１３b
のプロセスにネットワーク１４を介して送る。たとえ
ば、図７において関連項目中の一つの対象「設備A」が
選択された場合には、図４の結果５０１設備A異常」に
対応する特性要因図を図８aのように作成しクライアン
ト１３bのプロセスにネットワーク１４を介して送る。

【００４７】そして、クライアント１３bのプロセス
は、送られた特性要因図をモニタに表示する。

【００４８】以下、サーバ１０の処理部１０１とクライ
アント１３bのプロセスは協調して、「歩留まり低下」
に対応する特性要因図の場合と同様に、二次幹の選択に
応じた関連項目のクライアント１３bのモニタへの表示
や、関連項目中の事物の選択に応じた特性要因図のクラ
イアント１３bのモニタへの表示を行う。たとえば、図
８aの「設備A異常」に対応する特性要因図の関連項目中
の事物「プロセスα」が選択された場合には、図8bの
「プロセスα異常」に対応する特性要因図が、クライア
ント１３bのモニタへ表示される。

【００４９】このような、特性要因図の体系的、階層的
な表示を利用して、操作者は、結果と要因の関係を見極
めながら、情報を品質データデータベース２２、製造履
歴管理データベース２３の情報を利用することにより、
適切かつ迅速に発生した結果をもたらした原因を見いだ
すことができるようになる。

【００５０】次に、特性要因データ管理データベース２
１の結果「歩留まり低下」５０１に対して新たに要因５
０２を登録する動作について説明する。

【００５１】この動作は、クライアント１３ｂのプロセ
スとサーバ１０の処理部１０１がネットワーク１３を介
して情報を交換しながら協調して行う。

【００５２】まず、クライアント１３ｂのプロセスが操
作者から、新たに登録する要因に対応する現象を示す対
象の指定を受け付ける。サーバ１０の処理部１０１は、
名称が指定された対象である品質データ名３０３に対応
する情報を品質データデータベース２２から検索し、検
索した情報の中から、測定値３０４が、特異点データ管
理データベース２５に登録されている、その対象７０１
の許容上下限７０２、７０３をはずれるものを除外す
る。そして除外後の各情報と、結果「歩留まり低下」の
相関度を統計的手法により算出し、判定係数として関連
度判定データベース２４に対象名と共に登録する。相関
度の算出は、たとえば、統計的手法により算出した、各
情報の測定値３０４の変化への、同ロットの品質データ
名「特性」３０３の測定値３０４の変化の相関度や、別
途管理したロット毎の歩留まり率の変化の相関度を求め
ることにより行う。

【００５３】次に、クライアント１３ｂのプロセスが操
作者から、新たに登録したい要因の要因名と、その要因
を含める要因グループの名称を受け付けると、サーバ１
０の処理部１０１は、特性要因データ管理データベース
２１の結果「歩留まり低下」５０１に対応する要因グル
ープ５０６の中の指定された要因グループ名の要因グル
ープ５０６に対して、要因５０２として指定された要因
名を登録し、その要因グループ５０６の関連度５０４
を、関連度判定データベース２４を参照して更新する。
ただし、指定された要因グループ名の要因グループが存
在しない場合には、新たに指定された要因グループ名の
要因グループを作成下後、要因名の登録と関連度の算出
を行う。

【００５４】以上、本発明の一実施形態について説明し
た。

【００５５】なお、以上の実施形態では、特性要因デー
タ管理データベース２１の要因グループ５０６毎に関係
項目５０３、結合５０５を設けたが、これは要因５０２
毎に設けるようにしてもよい。また、関連度判定データ
ベース２４には、特性要因データ管理データベース２１
の要因５０２の現象を示す対象と、その判定係数や関連
度を登録するようにしたが、これは、特性要因データ管
理データベース２１の要因５０２と、その判定係数や関
連度をを登録するようにしてもよい。

【００５６】また、前述した新たな要因の登録の際の相
関度の算出や、許容上下限７０２、７０３をはずれた情
報の除外は、操作者が、品質データデータベース２２か
ら検索された情報や、特異点データ管理データべーｓか
ら検索された、品質データデータベース２２から検索さ
れた情報に対応する許容上下限データを参照しながら、
操作者自身の判断によって行うようにしてもよい。

【００５７】また、以上の実施形態では、薄膜製品の製
造システムへの適用を例にとったが、本実施形態に係る
情報システムは、結果と要因間に体系的な関係を持つ任
意の解析対象に適用することができる。

【００５８】

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、結果と
要因の関係を体系的に提示することにより、適切かつ迅
速に発生した結果をもたらした原因を見いだすことを支
援する情報システムを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態に係る製造システムの構成
を示すブロック図である。

【図２】本発明の一実施形態に係る品質データデータベ
ースの内容を示す図である。

【図３】本発明の一実施形態に係る製造履歴管理データ
ベースの内容を示す図である。

【図４】本発明の一実施形態に係る特性要因データ管理
データベースの内容を示す図である。

【図５】本発明の一実施形態に係る関連度判定データベ
ースの内容を示す図である。

【図６】本発明の一実施形態に係る特異点データ管理デ
ータベースの内容を示す図である。

【図７】本発明の一実施形態に係る特性要因図を示す図
である。

【図８】本発明の一実施形態に係る特性要因図を示す図
である。

【符号の説明】

１０ …サーバ １１ …処理部 １２ …データベース群 １３ａ〜１３ｂ …クライアント（情報収集用端末、原
因調査用端末） １４ …ネットワーク ２１…特性要因データ管理データベース ２２…品質データデータベース ２３…製造履歴管理データベース ２４…関連度判定データベース ２５…特異点データ管理データベース

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数の特定の現象である結果現象の各々に
   ついて、当該結果現象と、当該結果現象の要因となりえ
   る１または複数の現象である要因現象との関係もしくは
   関係の強さを記憶したデータベースと、 前記データベースに記憶された各結果現象と当該結果現
   象の要因となりえる現象である要因現象との関係もしく
   は関係の強さに基づいて、当該関係もしくは関係の強さ
   を視覚化したモデルを生成する生成手段と、 生成されたモデルを表示する表示手段と、 前記表示手段が表示したモデル上で要因現象の選択を受
   け付ける受付手段とを有し、 前記データベースは、前記各要因現象について当該要因
   現象の要因となりえる結果現象を当該要因現象に関連づ
   けて記憶し、 前記生成手段は、前記受付手段が要因現象の選択を受け
   付けた場合に、選択を受け付けた要因現象に関連づけら
   れて前記データベースに記憶されている結果現象と、当
   該結果現象の要因となりえる現象である要因現象との関
   係もしくは関係の強さを視覚化したモデルを生成するこ
   とを特徴とする情報システム。
2. 【請求項２】複数の工程によって製造物を製造する製造
   システムの情報を管理する情報システムであって、 製造物の特性を構成する要素である品質要素の情報を、
   製造物の単位毎に製造物品質情報として記憶する品質デ
   ータベースと、 各工程の特性を構成する要素である工程要素の情報を記
   憶する工程データベースと、 製造物が示す現象および各工程が示す現象である結果現
   象の各々について、当該結果現象と、当該結果現象の要
   因となりえる１または複数の品質要素が示す現象もしく
   は１または複数の工程要素が示す現象である要因現象と
   の関係もしくは関係の強さを記憶した特性要因データベ
   ースと、 前記特定要因データベースに記憶された各結果現象と当
   該結果現象の要因となりえる現象である要因現象との関
   係もしくは関係の強さに基づいて、当該関係もしくは関
   係の強さを視覚化したモデルを生成する生成手段と、 生成されたモデルを表示する表示手段と、 前記表示手段が表示したモデル上で要因現象の選択を受
   け付ける受付手段と、 利用者の指示に従って前記品質データベースおよび工程
   データベースへの情報の登録と、情報の検索と、検索し
   た情報の出力を行うデータベース管理手段とを有し、 前記特性要因データベースは、前記各要因現象について
   当該要因現象の要因となりえる結果現象を当該要因現象
   に関連づけて記憶し、 前記生成手段は、前記受付手段が要因現象の選択を受け
   付けた場合に、選択を受け付けた要因現象に関連づけら
   れて前記データベースに記憶されている結果現象と、当
   該結果現象の要因となりえる現象である要因現象との関
   係もしくは関係の強さを視覚化したモデルを生成するこ
   とを特徴とする情報システム。
3. 【請求項３】請求項２記載の情報システムであって、 前記結果現象である各工程が示す現象は、少なくとも、
   工程の実施に用いられる各設備が示す現象と、工程で実
   施されるプロセスが示す現象とを含むことを特徴とする
   情報システム。
4. 【請求項４】請求項２または３記載の情報システムであ
   って、 前記特性要因データベースに、操作者より指示された品
   質要素が示す現象であるところの要因現象と、製造物が
   示す現象である結果現象との関係もしくは関係の強さを
   登録する登録手段を有し、 前記登録手段は、前記品質データベースに記憶された、
   操作者より指示された品質要素の情報を含む製造物情報
   を用いて、登録する関係もしくは関係の強さを算出する
   ことを特徴とする情報システム。
5. 【請求項５】請求項４記載の情報システムであって、 品質要素の情報の範囲を記憶する情報範囲データベース
   を有し、 前記登録手段は、操作者より指示された品質要素の情報
   のうち前記情報範囲データベースに記憶された範囲内の
   品質要素情報を含む、前記品質データベースに記憶され
   た製造物情報を用いて、登録する関係もしくは関係の強
   さを算出することを特徴とする情報システム。
6. 【請求項６】電子計算機を用いて、現象間の関係を体系
   的に提示する方法であって、 複数の特定の現象である結果現象の各々について、当該
   結果現象と、当該結果現象の要因となりえる１または複
   数の現象である要因現象との関係もしくは関係の強さを
   記憶すると共に、前記各要因現象について当該要因現象
   の要因となりえる結果現象を当該要因現象に関連とを記
   憶したデータベースを設け、 特定の結果現象について、前記データベースに記憶され
   ている前記特定の結果現象と当該結果現象の要因となり
   える現象である要因現象との関係もしくは関係の強さに
   基づいて、当該関係もしくは関係の強さを視覚化したモ
   デルを生成して表示し、 前記表示手段が表示したモデル上で要因現象の選択を受
   け付け、選択を受け付けた要因現象に関連づけられて前
   記データベースに記憶されている結果現象と、当該結果
   現象の要因となりえる現象である要因現象との関係もし
   くは関係の強さを視覚化したモデルを生成して表示する
   ことを特徴とする方法。
7. 【請求項７】コンピュータシステムに読み込まれ実行さ
   れるプログラムを記憶した記憶媒体であって、 前記プログラムは、コンピュータシステム上に、 複数の特定の現象である結果現象の各々について、当該
   結果現象と、当該結果現象の要因となりえる１または複
   数の現象である要因現象との関係もしくは関係の強さを
   記憶したデータベースと、 前記データベースに記憶された各結果現象と当該結果現
   象の要因となりえる現象である要因現象との関係もしく
   は関係の強さに基づいて、当該関係もしくは関係の強さ
   を視覚化したモデルを生成する生成手段と、 生成されたモデルを表示する表示手段と、 前記表示手段が表示したモデル上で要因現象の選択を受
   け付ける受付手段とを実現するプログラムであって、 前記データベースは、前記各要因現象について当該要因
   現象の要因となりえる結果現象を当該要因現象に関連づ
   けて記憶し、 前記生成手段は、前記受付手段が要因現象の選択を受け
   付けた場合に、選択を受け付けた要因現象に関連づけら
   れて前記データベースに記憶されている結果現象と、当
   該結果現象の要因となりえる現象である要因現象との関
   係もしくは関係の強さを視覚化したモデルを生成するこ
   とを特徴とする記憶媒体。