KR101018489B1 - 예측 서비스의 사용자-지정 구성 - Google Patents

Abstract

제조 설비에서 예측 서비스들의 사용자-지정 구성을 용이하게 하는 방법 및 시스템이 제공된다. 일 실시예에서, 워크플로우 사용자 인터페이스는 사용자가 제조 설비의 장래성(future)에 관한 예측들을 제공하도록 워크플로우를 지정하게 제공된다. 워크플로우는 예측을 제공하도록 수행되는 동작들의 시퀀스를 식별한다. 또한, 사용자는 워크플로우 사용자 인터페이스에서 각각의 동작에 대한 특성들을 지정할 수 있다. 특성들을 갖는 워크플로우가 저장소에 저장되어 워크플로우 트리거에 응답하여 순차적으로 실행될 수 있다.

Description

예측 서비스의 사용자-지정 구성{USER-SPECIFIED CONFIGURATION OF PREDICTION SERVICES}

본 발명의 실시예들은 전반적으로 제조 설비 관리에 관한 것으로, 특히 제조 설비에서 예측 서비스의 사용자-지정 구성(user-specified configuration)을 용이하게 하는 것에 관한 것이다.

산업적 제조 환경에 있어, 제조 프로세스의 정확한 제어는 중요하다. 비효율적인 프로세스 제어는 원하는 수율 및 품질 레벨을 충족시키지 못하는 제품들의 생산을 유도할 수 있으며, 증가된 원료 사용, 노동 비용 등으로 인해 비용을 상당히 증가시킬 수 있다.

제조 설비를 관리할 때, 어떤 휴지중인 장비가 다음으로 프로세싱해야만 하는지에 대한 복잡한 결정들이 이루어질 필요가 있다. 예를 들어, 사용자는 어느 높은 우선적인 것이 다음 수 분 동안에 이용가능해질지 여부를 알 필요가 있을 것이다. 현재 컴퓨터 집적 제조(CIM: computer integrated manufacturing) 시스템들은 단지 그러한 결정들을 내리는 것을 돕기 위하여 설비의 현재 상태에 관한 정보를 제공한다. 장래에 설비가 어떨 것인지에 관한 정보는 즉시 이용가능하지 않으 며, 작동 중에 그것을 계산하는 것은 비용이 많이 든다. 이것은 CIM 시스템에 의해 이루어질 수 있는 결정들의 정교화(sophistication)를 제한한다. 특히, 설비에 대한 스케줄을 생성하는 것은 이러한 종류의 예측 정보를 요구하며, 상기 예측 정보를 계산하는 것은 스케줄을 생성하는 비용의 현저한 부분일 수 있다.

본 발명은 본 발명의 다양한 실시예들에 대한 상세한 설명 및 첨부되는 도면들을 참조로 이해될 수 있으며, 이는 본 발명을 특정 실시예로 제한하고자 하는 것이 아니며 단지 이해 및 설명을 위한 것이다.

제조 설비에서 예측 서비스의 사용자-지정 구성을 용이하게하는 방법 및 시스템이 개시된다. 일 실시예에서, 워크플로우(workflow) 사용자 인터페이스는 제조 설비의 장래성에 관한 예측들을 제공하기 위하여 사용자가 워크플로우를 지정하도록 제공된다. 워크플로우는 예측들을 제공하도록 수행되는 동작들의 시퀀스를 식별한다. 사용자가 동작들을 선택할 경우, 이는 워크플로우 사용자 인터페이스에 디스플레이된다. 부가적으로, 사용자는 워크플로우 사용자 인터페이스에서 각각의 동작에 대한 특성들을 지정할 수 있다. 다음 특성들을 갖는 워크플로우가 워크플로우 트리거에 응답하여 순차적 실행을 위해 저장소에 저장된다. 저장소는 예를 들어, 관계형(relational) 또는 계층형 데이터베이스들(독점형 또는 상업형), 플랫 파일들, 애플리케이션 또는 공유 메모리 등을 포함하는 임의의 형태의 데이터 저장기를 포함할 수 있다.

하기 설명에서는 다양한 설명들이 개시된다. 그러나, 당업자들은 본 발명이 이러한 특정 설명들 없이도 구현될 수 있음을 알 것이다. 일부 경우에서, 발명이 불명료해지는 것을 방지하기 위해, 공지된 구조물들 및 디바이스들은 상세한 설명 보다는 블록 다이아그램 형태로 도시된다.

하기 상세한 설명중 일부는 컴퓨터 메모리에서 데이터 비트들에 대한 동작을 알고리즘 및 심볼로 나타낸다. 이러한 알고리즘 설명 및 표현들은 다른 분야의 당업자들에게 이러한 작업의 실체를 가장 효과적으로 전달하기 위해 데이터 프로세싱 기술들의 당업자들에 의해 이용되는 수단이다. 알고리즘은 일반적으로 원하는 결 과를 유도하는 단계들의 자체-모순없는 시퀀스로 표현된다. 단계들은 물리적 양의 물리적 조작을 요구한다. 통상적으로, 필수적인 것은 아니지만, 이러한 양들은 저장되는, 전송되는, 조합되는, 비교되는 그리고 다르게 조작될 수 있는 전기 또는 자기 신호들의 형태를 취한다. 때로 공통 사용을 위해 원칙적으로 비트들, 값들, 엘리먼트들, 심볼들, 문자들, 용어들, 숫자들 등을 이러한 신호들을 간주하는 것이 편리하다.

그러나, 이들 모두 및 유사한 용어들은 적절한 물리적 양들과 관련되며 단지 편의상 이러한 양에 적용되는 라벨들임을 명심해야 한다. 하기 설명에서 명확한 별다른 언급이 없다면, 본 발명에서 "프로세싱", 또는 "컴퓨팅" 또는 "계산" 또는 "검출" 또는 "디스플레이" 등의 용어는 컴퓨터 시스템의 레지스터들 및 메모리들에서 물리적(일렉트로닉) 양으로 표현되는 데이터를 컴퓨터 시스템 메모리들 또는 저장기들 또는 정보 저장기, 전송 또는 디스플레이 디바이스들과 같은 다른 것들 내에서의 물리적 양으로 유사하게 표현되는 다른 데이터를 조작 및 변형하는, 컴퓨터 시스템, 또는 유사한 일렉트로닉 컴퓨팅 디바이스의 동작 및 프로세스들로 간주된다.

또한, 본 발명은 그 내부에서 동작들을 수행하는 장치와 관련된다. 이러한 장치는 원하는 목적을 위해 특정하게 구성되거나, 또는 컴퓨터에 저장된 컴퓨터 프로그램에 의해 선택적으로 동작하거나 재구성되는 범용성 컴퓨터를 포함할 수 있다. 이러한 컴퓨터 프로그램은 제한되는 것은 아니지만, 플로피 디스크, 광학적 디스크, CD-ROM들, 및 자기-광학 디스크들, 판독전용 메모리들(ROM), 랜덤 액세스 메모리(RAM), EPROM, EEPROM, 자기 또는 광학 카드들과 같은 임의의 형태의 디스크와 같은 컴퓨터 판독가능 저장 매체, 또는 전자 명령들을 저장하기에 적합한 임의의 형태의 매체에 저장될 수 있으며, 이들 각각은 컴퓨터 시스템 버스와 결합된다.

본 발명에 개시되는 알고리즘 및 디스플레이들은 임의의 특정한 컴퓨터 또는 다른 장치와 본래 관련되는 것은 아니다. 다양한 범용성 시스템들은 본 발명의 설명에 따른 프로그램과 함께 이용되거나 또는 원하는 방법 단계들을 수행하도록 보다 특정화된 장치를 구성하는데 편리한 것으로 검증될 수 있다. 이러한 다양한 시스템들에 대해 요구되는 구조물은 하기 설명에 개시된다. 또한, 본 발명은 임의의 특정한 프로그래밍 언어를 참조로 개시되지 않는다. 본 명세서에 개시되는 본 발명의 설명들을 구현하는데 있어 다양한 프로그램 언어들이 이용될 수 있다.

기계-판독가능한 매체는 기계(예를 들어, 컴퓨터)에 의해 판독가능한 형태로 정보를 저장 또는 전송할 수 있는 임의의 메커니즘을 포함한다. 예를 들어, 기계-판독가능한 매체는 기계 판독가능 저장 매체(예를 들어, 판독 전용 메모리("ROM"), 랜덤 액세스 메모리("RAM"), 자기 디스크 저장 매체, 광학 저장 매체, 플래시 메모리 디바이스들 등), 기계 판독가능 전송 매체(전기적, 광학적, 음향적 또는 다른 형태로 전파되는 신호들(예를 들어, 반송파, 적외선 신호들, 디지털 신호들 등)) 등을 포함한다.

도 1은 자동화 제조 설비(예를 들어, 반도체 제조 설비)에서의 예측 시스템(100)의 일 실시예를 나타낸다. 예측 시스템(100)은 제조 설비 및 이들의 부품 들의 장래성에 대한 예측들을 생성한다. 예측 시스템(100)에 의해 생성된 예측들은 예를 들어, 제조 설비에서 장비의 장래 상태, 설비에서 제조될 제품의 수량 및 조성, 이러한 제품을 제조하기 위하여 설비에 의해 요구되는 작동자들의 수, 제품이 주어진 프로세스 동작을 마치고/마치거나 주어진 단계에서 처리하기 위하여 이용가능할 예측되는 시간, 장비상에서 보호적인 유지 보수 동작이 수행되어야 하는 예측되는 시간 등을 지정할 수 있다.

예측 시스템은 구성 툴(102) 및 런-타임 엔진(104)을 포함할 수 있다. 구성 툴(102)은 제조 설비에서 예측 서비스들의 사용자-지정 구성을 용이하게 한다. 특히, 구성 툴(102)은 사용자가 특정한 제조 설비의 요구조건에 대해 예측 서비스들을 커스터마이즈(customize)할 수 있게 허용한다. 일 실시예에서, 구성 툴(102)은 제조 설비의 장래성에 관한 예측들을 제공하는 워크플로우를 사용자가 지정할 수 있게 하는 워크플로우 사용자 인터페이스를 제공한다. 워크플로우는 예측들을 생성하도록 수행되는 동작들의 시퀀스를 식별한다. 워크플로우는 전체(full) 예측 워크플로우 또는 예측 복구 워크플로우일 수 있다. 전체 예측 워크플로우에 포함되는 동작들은 예를 들어, 워크플로우를 시작하는 단계, 제조 설비에 대한 데이터를 수집하는 단계, 수집된 데이터를 기초로 예측을 생성하는 단계, 및 요청자가 예측들을 이용할 수 있게 하는 단계를 포함한다. 예측 복구 워크플로우는 전체 예측 생성 동안에 예측들에 대한 점진적 갱신(incremental update)을 수행하기 위한 것이다. 예측 복구 워크플로우에 포함되는 동작들은, 예를 들어, 임계 이벤트를 검출하는 단계, 현재 예측들에 대한 임계 이벤트의 영향력을 평가하는 단계, 및 임계 이벤트의 영향력에 따라 현재 예측들을 갱신하는 단계를 포함한다. 사용자가 워크플로우에 대한 동작들을 선택할 때, 이들은 워크플로우 사용자 인터페이스에 디스플레이된다. 또한, 사용자는 워크플로우 사용자 인터페이스에서 각각의 동작에 대한 특성들을 지정할 수 있다. 다음 특성들을 갖는 워크플로우가 저장소에 저장된다. 저장소는 예를 들어, 관계형(relational) 또는 계층형 데이터베이스들(독점형 또는 상업형), 플랫 파일들, 애플리케이션 또는 공유 메모리 등을 포함하는 임의의 형태의 데이터 저장기를 포함할 수 있다.

런-타임 엔진(104)은 저장소로부터의 워크플로우를 검색하고 이를 실행한다. 런-타임 엔진(104)의 동작은 워크플로우 트리거에 응답하여 시작될 수 있다. 워크플로우 특성의 일부로 특정될 수 있는 워크플로우 트리거는 예를 들어, 사용자 요청, 예정된 이벤트, 또는 특정 시간일 수 있다. 워크플로우에 포함되는 동작들에 따라, 런-타임 엔진(104)은 제조 설비에 대한 정보를 수집하고, 수집된 정보를 기초로 예측들을 생성하고, 하나 이상의 요청자들에게 예측들을 제공함으로써 예측들을 제공할 수 있다. 제조 설비에 대한 정보는, 예를 들어, 제조 설비의 장비에 대한 설명서, 장비의 상이한 부품들의 용량, 장비의 현재 상태, 장비에 의해 현재 어떤 제품이 처리되는가, 이러한 제품의 특성 등을 포함할 수 있다.

도 2는 구성 툴(200)의 일 실시예에 대한 블록도이다. 구성 툴(200)은 사용자가 전체 예측 워크플로우에 대한 동작들을 지정하고 동작들을 실행하는 순서를 지정하게 허용하는 예측 생성 사용자 인터페이스(UI)(202)을 제공한다. 동작들은 예측 생성 UI(202)의 지정된 영역에서 선택될 수 있다. 선택적으로, 예측 생성 UI(202)는 사용자 사용자에 의해 변형될 수 있는 템플릿(template) 워크플로우를 디스플레이할 수 있다. 특히, 사용자는 템플릿 워크플로우로부터 일부 동작들을 소거하거나, 새로운 동작들을 부가하거나, 또는 일부 동작들 또는 이들의 특성들을 변형시킬 수 있다. 형성되는 워크플로우는 예측 저장소(208)에 저장되며 사용자가 이를 보길 원하거나 변형시키길 원할 때마다 검색될 수 있다.

앞서 언급된 것처럼, 전체 예측 워크플로우에 포함되는 동작들 중 하나는 데이터 수집에 관한 것일 수 있다. 데이터 수집 동작들에 대해, 구성 툴(200)은 사용자가 질의를 위한 파라미터들을 지정할 수 있도록 허용하는 질의 생성기(query builder)UI(206)를 제공한다. 예를 들어, 질의 생성기 UI(206)는 데이터에 대해 질의되는 소스 시스템, 수집되는 데이터 형태, 질의 필터 정보 등의 사용자 선택을 수신한다. 예시적인 소스 시스템들은 제조 실행 시스템(MES), 유지 관리 시스템(MMS), 물질 제어 시스템(MCS), 장비 제어 시스템(ECS), 제공 제어 시스템(ICS), 예측 시스템, 컴퓨터 통합 제조 시스템(CIM), 다양한 데이터 베이스들(제한되는 것은 아니나, 엑셀 파일과 같은 플랫-파일 저장 시스템 포함) 등과 같은 제조 설비의 다양한 시스템들을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 질의 생성기 UI(206)는 원하는 소스 시스템 및 이러한 소스 시스템들로부터 수집되는 데이터를 기초로 사용자에 의해 변형될 수 있는 템플릿 질의를 제공한다. 형성되는 질의들은 예측 저장소(208)에 저장될 수 있으며 사용자가 이들의 보길 원하거나 이들을 변형시키길 원할 때마다 검색될 수 있다.

예측 복구 UI(204)는 사용자가 전체 예측 생성 중간에 예측들에 대해 점진적 갱신을 수행하도록 예측 복구 워크플로우를 지정하게 허용한다. 동작들은 예측 복구 UI(204)에서 지정된 영역에서 선택될 수 있다. 선택적으로, 예측 복구 UI(204)는 사용자에 의해 변형될 수 이는 템플릿 워크플로우를 디스플레이할 수 있다. 형성되는 예측 워크플로우는 예측 저장소(208)에 저장된다. 예측 복구 워크플로우에 포함되는 동작들은, 예를 들어, 임계 이벤트를 검출하는 단계, 현재 예측들에 대한 임계 이벤트의 영향력을 평가하는 단계, 및 예측들에 대한 임계 이벤트의 영향에 따라 현재 예측들을 갱신하는 단계를 포함한다. 영향력에 대한 평가는 임계 이벤트에 대한 상세한 정보에 대해 소스 시스템에 질의를 제출하는 단계를 포함할 수 있다. 사용자는 앞서 개시된 질의 생성기 UI(206)를 이용하여 이러한 질의들의 파라미터를 지정할 수 있다. 질의 생성기 UI(206)는 예비-생성된 템플릿 질의를 이용하여 또는 스크래치로부터 질의 생성시 사용자를 보조할 수 있다.

일 실시예에서, 예측 생성 UI(202) 및 예측 복구 UI(204)는 워크플로우에 포함된 각각의 동작에 대해 사용자가 특성들을 지정하게 허용한다. 특히, 사용자 요청에 따라, UI(202 또는 204)는 특정 동작에 대한 하나 이상의 특성 필드들을 함유하는 형태의 윈도우(window)를 제공할 수 있다. 특성 형태에 대한 사용자 요청은, 예를 들어 사용자가 UI에서 동작 표시기를 더블 클릭할 때, UI에서 동작 표시기 오른쪽을 클릭할 때 그리고 디스플레이에서 특성 옵션을 선택할 때 등의 경우에 생성될 수 있다. 특성들은 예를 들어 시평(time horizon)(예를 들어, 예측들이 생성되어야만 하는 장래성의 시점과 현재 사이의 시간 간격), 워크플로우 트리거, 데이터 소스 시스템, 질의 파라미터들, 예측되는 엔티티들(entities), 예측 생성 메커니즘(예를 들어, 예측 시뮬레이션 또는 예측 계산), 예측들의 수용자(recipient)들, 예측들을 공개하기 위한 조건들, 예측 복구를 야기하는 이벤트, 이러한 이벤트에 응답하여 획득될 데이터, 복구의 타입(예측 데이터 갱신 또는 재생성) 등을 포함할 수 있다. 특정된 특성들은 해당 워크플로우와 함께 예측 저장소(208)에 저장된다.

도 3은 자동화된 제조 설비에서 예측 서비스들의 사용자-지정 구성을 용이하게 하는 방법(300)에 대한 일 실시예의 흐름도이다. 방법은 하드웨어(예를 들어, 회로소자, 전용 로직 등), 소프트웨어(이를 테면 범용성 컴퓨터 시스템 또는 전용 기계에서의 런(run)), 또는 이들의 조합을 포함할 수 있는 프로세싱 로직에 의해 수행될 수 있다. 일 실시예에서, 프로세싱 로직은 도 1의 예측 시스템(100)에 상주한다.

도 3을 참조로, 프로세싱 로직은 예측들을 제공하도록 사용자가 워크플로우를 지정하게 허용하는 UI를 디스플레이하는 것으로 시작된다(블록 302). 워크플로우는 동작들의 시퀀스를 포함한다. UI는 동작들과 관련된 기능들을 (예를 들어, 심볼들, 이미지들, 형상들, 컬러, 크기, 라벨들 등을 이용하여) 시각적으로 표시하는 동작 표시기들을 이용하여 동작들을 나타낸다. 또한, UI는 동작들을 실행하기 위한 순서를 (예를 들어, 화살표 또는 다른 시각적 표시기들을 이용하여) 그래프로 표시된다.

블록(304)에서, 프로세싱 로직은 UI에 지정된 워크플로우를 수신한다. 워크플로우는 완전한 예측 워크플로우 또는 예측 복구 워크플로우일 수 있다. 전체 예측 워크플로우에 포함된 동작들은 예를 들어,워크플로우를 시작하는 단계, 제조 설비에 대한 데이터를 수집하는 단계, 수집된 데이터를 기초로 예측을 생성하는 단계, 및 요청자들이 예측들을 이용할 수 있게 하는 단계를 수반할 수 있다. 예측 복구 워크플로우에 포함된 동작들은 예를 들어, 임계 이벤트를 검출하는 단계, 현재 예측들에 대한 임계 이벤트의 영향력을 평가하는 단계, 및 임계 이벤트의 영향에 따라 현재 예측 데이터를 갱신하는 단계를 수반할 수 있다.

블록(306)에서, 프로세싱 로직은 워크플로우에 포함된 동작들에 대해 UI에 지정된 특성들을 수신한다. 특성들은, 예를 들어 시평, 워크플로우 트리거, 데이터 소스 시스템, 질의 파라미터들, 예측되는 엔티티들(entities), 예측 생성 메커니즘, 예측들의 수용자들, 예측들의 공개를 위한 조건들, 예측 복구를 야기하는 이벤트, 이러한 이벤트에 응답하여 획득될 데이터, 등을 포함할 수 있다. 블록(306)에서, 프로세싱 로직은 특성들을 갖는 워크플로우를 저장소에 저장한다.

차후, 런타임에서, 프로세싱 로직은 예정된 이벤트를 검출(블록 310)하고 상기 워크플로우를 실행(블록 312)한다. 예정된 이벤트는 워크플로우를 실행하기 위한 사용자 요청(매뉴얼 초기), 특정 시간, 제조 설비에서 발생되는 임계 이벤트(예를 들어,예상치 못한 장비의 중단시간) 등일 수 있다.

도 4-7은 본 발명의 일부 실시예들에 따른 구성 툴에 의해 제공되는 예시적은 UI들을 나타낸다. 도 4는 동작 선택 영역(402) 및 작업 영역(404)을 포함하는 예시적인 워크플로우 UI(400)를 나타낸다. 동작 선택 영역(402)은 워크플로우에 대해 사용자에 의해 선택될 수 있는 상이한 동작 표시기들을 나타낸다. 동작 표시기들은 동작의 기능을 나타내는 텍스트 라벨들 및 썸네일(thumbnail) 이미지들을 이용하여 블록으로 디스플레이된다. 사용자는 동작 선택 영역(402)으로부터 작업 영역(404)으로 관련 표시기를 드래그하고 작업 영역(404)에서 이러한 표시기를 드롭핑(dropping)함으로써 원하는 동작을 선택할 수 있다.

작업 영역(404)은 동작 선택 영역(402)으로부터 사용자에 의해 선택된 동작들의 시퀀스를 디스플레이할 수 있다. 선택적으로, 작업 영역(404)은 워크플로우 UI(400)의 일부로서 제공되는 템플릿 워크플로우를 디스플레이할 수 있다. 작업 영역(404)에서 디스플레이되는 동작들의 시퀀스는 동작들의 일부를 삭제 및/또는 동작 선택 영역(402)으로부터 선택된 새로운 동작들의 추가에 의해 변형될 수 있다. 사용자가 동작들을 실행시키기 위한 순서를 지정할 수 있거나, 또는 워크플로우 UI(400)는 작업 영역(404)에 동작들이 어떻게 배치되는지(순차적으로, 서로 평행하게 등)를 기초로한 순서(예를 들어, 화살표)를 자동으로 생성할 수 있다.

작업 영역(404)에 디스플레이되는 워크플로우는 동작들(405 내지 420)을 포함하는 전체 예측 워크플로우이다. 특히, 동작(406)은 (예를 들어, 트리거를 기초로) 워크플로우의 시작을 한정한다. 동작(408)은 예측들을 생성하기 위해 요구되는 데이터 세트를 한정하는 예측 데이터 모델의 생성을 나타낸다. 동작(410)은 소스 시스템으로부터 예측 데이터 모델에 대해 요구되는 데이터를 얻기 위한 질의들의 런(run)을 나타낸다. 동작(412)은 각각의 질의들(410)의 결과로 예측 데이터 모델을 변형시킨다. 동작(416)은 각각의 질의의 결과로 갱신된 예측 데이터 모델의 상이한 부분들의 집합을 나타낸다. 동작(418)은 예측 생성을 나타낸다. 예측 생성 동작(418)은 하나 이상의 공식들을 사용하여 예측들을 계산함으로써 수행될 수 있다. 대안적으로, 예측 생성 동작(418)은 예측들을 생성하기 위하여 시뮬레이션을 가동할 수 있다. 특히, 장비 작동은 장래성의 특정한 시점에 도달할 때까지(사용자에 의해 제공되는 시평에 기초하여), 시간이 동기화되어 단계적으로 시뮬레이션될 수 있다. 제품 및 장비의 각각의 천이는 예측을 나타내는 최종 데이터 세트를 이용하여 기록될 수 있다. 동작(420)은 예측 공개를 나타낸다(예를 들어, 예측 서비스들의 가입자들 또는 예측 정보의 임의의 다른 인증된 수용자들에게 예측들이 이용가능하게 한다).

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 질의 한정 툴 UI(502)을 나타낸다. 사용자가 워크플로우 UI(500)에서 런 데이터 질의 동작(504)을 한정할 때, 데이터 질의 한정 툴 UI(502)은 사용자가 예측 데이터 모델에 대해 요구되는 데이터와 관련하여 질의되는 데이터 소스 시스템들을 지정하게 제공된다. 또한, 사용자는 질의 파라미터들(예를 들어, 요청되는 데이터들, 필터들 등)을 지정할 수 있다. 소스 시스템은 예를 들어, MES, MMS, MCS, ECS, ICS, 예측 시스템 등을 포함할 수 있다. 일 실시예에서, 데이터 질의 한정 툴 UI(502)는 원하는 소스 시스템들 및 이들 소스 시스템들로부터 수집된 데이터를 기초로 사용자에 의해 변형될 수 있는 템플릿 질의들을 제공한다.

도 6a-6c는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 특성 형태를 나타낸다. 각각의 특성 형태는 특정한 동작에 해당한다. 특히, 일 실시예에서, 사용자가 워크플로우 UI에서 개별 동작 표시기의 오른쪽을 클릭할 때, 옵션 리스트들이 나타난다. 사용자가 리스트로부터 특성 옵션을 선택할 경우, 하나 이상의 필드들을 갖는 특성 형태가 디스플레이되게 윈도우가 개방된다.

도 6a는 예시적인 특성 형태들(604, 608, 612)을 나타낸다. 특성 형태(604)는 워크플로우 인터페이스(600)에 디스플레이되는 워크플로우 초기 동작(602)에 상응한다. 특성 형태(604)는 워크플로우 시작(예를 들어, 수동 사용자 요청)을 위한 트리거 및 시평(예를 들어, 예측들이 생성되어야만 하는 장래성의 시점을 한정하는 시간 간격)을 지정한다.

특성 형태(608)는 런 질의 동작(606)에 상응한다. 특성 형태(608)는 동작(606)을 위해 이용되는 예측 데이터 모델 및 질의를 식별한다. 특성 형태(612)는 수집 동작(610)에 상응하며 결과가 수집되어야 하는 동작을 식별한다.

생성 모델 동작(620), 변형 모델(607) 및 런 예측 동작(624)에 대한 예시적인 형태들이 도 6b에 도시된다. 예측 공보 동작(628)을 위한 예시적인 특성 형태는 도 6c에 도시된다.

도 6b는 예시적인 특성 형태들(622, 626, 630)을 나타낸다. 특성 형태(622)는 워크플로우 UI의 동작 선택 영역에 표시된 생성 모델 동작(620)에 상응한다. 특성 형태(622)는 예측 데이터 모델의 윤곽(schema)을 지정한다. 특성 형태(626)는 동작 선택 영역에 도시된 변형 모델 동작(624)에 상응한다. 특성 형태(626)는 모델, 모델의 하나 이상의 테이블들 및 모델의 테이블(들)에 부가되는 질의 결과를 지정한다. 특성 형태(630)는 동작 선택 영역에 표시되는 런 예측 동작(628)에 상응한다. 특성 형태(630)는 예측들을 생성하는 파라미터들 및 이용되는 예측 데이터 모델을 지정한다.

도 6c는 예시적인 특성 형태(642)를 나타낸다. 특성 형태(642)는 워크플로우 UI의 동작 선택 영역에 표시되는 예측 공개 동작(640)에 상응한다. 특성 형태(642)는 생성되는 예측 데이터가 저장되는 장소를 지정한다.

도 7은 예측 복구 워크플로우를 디스플레이하는 예시적인 워크플로우 UI(700)를 나타낸다. 예측 복구 워크플로우는 임계 이벤트 감지 동작(702), 이벤트 영향력 평가 동작(704), 및 예측 데이터 갱신 동작(706)을 포함한다.

특성 형태(708)는 동작(702)에 상응하며 임계 이벤트가 트리거시켜야 할 예측 복구 워크플로우를 지정한다. 도시된 바와 같이, 구역 홀드 플래그(a lot hold flag)의 값 변화는 임계 이벤트를 구성한다. 이러한 이벤트는 소스 시스템으로부터의 통지를 수신할 때 검출될 수 있다.

특성 형태(710)는 영향력 평가 동작(704)에 상응하며 현재의 예측들에 대한 임계 이벤트의 영향력을 평가하기 위해 어떠한 사항들(details)이 얻어져야 하는지를 지정한다. 예를 들어, MES에서 웨이퍼 구역(lot)의 처리가 중단된다면, 이러한 구역에 대한 모든 정보를 얻기 위해 질의는 MES로 전송될 수 있다. 질의 결과가 특정 시간 간격 동안 야기된 중단이 고정될 수 있다는 문제점을 나타낸다면, 현재 예측의 완벽한 재생성은 요구되지 않으며, 예측들은 이러한 이벤트에 의해 영향을 받은 예측 데이터만을 갱신함으로써 복구될 수 있다. 특성 형태(712)는 예측 공개 동작(706)에 상응하며 예측 복구의 결과로서 갱신될 예측 데이터의 테이블을 지정한다.

도 8은 본 발명의 실시예들이 동작될 수 있는 예시적인 네트워크 아키텍 쳐(800)를 나타낸다. 네트워크 아키텍쳐(800)는 자동화 제조 설비(예를 들어, 반도체 제조 설비)를 나타낼 수 있으며 예측 시스템(802), 한 세트의 소스 시스템들(804) 및 한 세트의 수용 시스템들(806)을 포함할 수 있다. 예측 시스템(802)은 네트워크를 통해 소스 시스템들(804) 및 수용 시스템들(806)과 통신할 수 있다. 네트워크는 공개 네트워크(예를 들어, 인터넷) 또는 개인 네트워크(예를 들어, LAN)일 수 있다.

소스 시스템들(804)은 예를 들어, MES, MMS, MCS, ECS 및 ICS를 포함할 수 있다. 수용 시스템들(806)은 소스 시스템들(104)의 일부 또는 전체 뿐만 아니라, 스케줄러, 디스패처(dispatcher) 등과 같은 소정의 다른 시스템들을 포함할 수 있다. 예측 시스템(802)은 하나 이상의 내부 또는 외부 저장 디바이스에 의해 관리될 수 있다.

예측 시스템(802)은 제조 설비에 예측 서비스를 제공한다. 예측 시스템(802)의 구성 툴은 사용자들이 특정 제조 설비의 요구조건에 대해 예측 서비스를 주문하게 허용한다. 주문된 예측 서비스는 소스 시스템(804)으로부터 데이터를 수집하고, 예측들을 생성하기 위해 수집된 데이터를 이용하고, 수용 시스템(806)에 예측을 제공함으로써 예측을 생성한다. 예측 시스템(802)에 의해 생성된 예측들은 예를 들어, 제조 설비에서 장비의 장래성 상태, 설비에서 제조될 제품의 조성 및 수량, 이러한 제품을 제조하기 위하여 설비에 의해 요구되는 작동자들의 수, 제품이 주어진 프로세스 동작을 마치고/마치거나 주어진 단계에서 처리를 위해 이용가능할 예측된 시간, 보호적인 유지 보수 동작이 장비상에서 수행되어야 하는 예측된 시간 등을 지정할 수 있다.

도 9는 예시적인 형태의 컴퓨터 시스템(900)에서의 기계의 개략도로, 컴퓨터 시스템(900)에서는 본 발명에 개시된 임의의 하나 이상의 방법을 기계가 수행할 수 있게 하는 한 세트의 명령이 수행될 수 있다. 기계는 LAN, 인트라넷, 엑스트라넷, 또는 인터넷으로 다른 기계들과 접속(예를 들어, 네트워킹)될 수 있다. 기계는 클라이언트-서버 네트워크 환경에서, 또는 P2P(peer-to-peer)(또는 분산형) 네트워크 환경에서의 피어(peer) 기계로서 동작할 수 있다. 단지 하나의 기계만이 도시되었지만, "기계(machine)"란 용어는 본 발명에 개시된 임의의 하나 이상의 방법을 수행하기 위한 한 세트(또는 다중 세트)의 명령들을 개별적으로 또는 협력하여 실행하는 기계들의 임의의 수집물을 포함하는 것으로 간주되어야 한다.

예시적인 컴퓨터 시스템(900)은 버스(930)를 통해 각각 통신할 수 있는 프로세싱 디바이스(프로세서)(902), 메인 메모리(904)(예를 들어, ROM, 플래시 메모리, DRAM, 이를 테면 동기식 DRAM(SDRAM) 또는 람버스 DRAM (RDRAM), 등), 및 정적 메모리(906)(예를 들어, 플래시 메모리, SRAM, 등)을 포함한다. 선택적으로, 프로세싱 디바이스(902)는 직접적으로 또는 소정의 다른 접속 수단을 통해 메모리(904 및/또는 906)와 접속될 수 있다.

프로세싱 디바이스(902)는 마이크로프로세서, 중앙 처리 유니트 등과 같은 하나 이상의 범용성 프로세싱 디바이스들을 나타낸다. 특히, 프로세싱 디바이스(902)는 복합명령형 컴퓨팅(CISC) 마이크로프로세서, 단축명령형 컴퓨팅(RISC) 마이크로프로세서, 긴 명령어(VLIW) 마이크로 프로세서 또는 다른 명령 세트를 구 현하는 프로세서 또는 명령 세트들의 조합을 구현하는 프로세서일 수 있다. 프로세싱 디바이스(902)는 본 발명에 개시된 동작들 및 단계들을 수행하기 위해 프로세싱 로직(926)을 실행하도록 구성된다.

컴퓨터 시스템(900)은 네트워크 인터페이스 디바이스(908) 및/또는 신호 발생 디바이스(916)를 더 포함할 수 있다. 또한, 비디오 디스플레이 유니트(예를 들어, 액정 디스플레이(LCD) 또는 캐소드 광선 튜브(CRT)), 알파뉴머릭 입력 디바이스(예를 들어, 키보드), 및/또는 커서 제어 디바이스(예를 들어, 마우스)를 포함하거나 포함하지 않을 수 있다.

컴퓨터 시스템(900)은 본 발명에 개시된 임의의 하나 이상의 방법들 또는 기능들을 구현하는 하나 이상의 세트들의 명령들이 저장된(예를 들어, 소프트웨어(922)) 기계-액세스가능 저장 매체(931)를 갖는 2차 메모리(918)를 포함하거나 포함하지 않을 수 있다. 또한, 소프트웨어(922)는 컴퓨터 시스템(900), 메인 메모리(904) 및 기계-액세스가능한 저장 매체들을 구성하는 프로세싱 디바이스(902)에 의해 실행되는 동안 메인 메모리(904) 및/또는 프로세싱 디바이스(902) 내에 완전히 또는 적어도 부분적으로 상주할 수 있다. 소프트웨어(922)는 네트워크 인터페이스 디바이스(908)를 통해 네트워크(920)에 대해 전송 또는 수신될 수 있다.

기계 액세스가능 저장 매체(931)는 단일 매체인 것으로 예시적인 실시예에서 도시되었으나, "기계 액세스가능 저장 매체"라는 용어는 하나 이상의 세트들의 명령들을 저장하는 단일 매체 또는 다중 매체(예를 들어, 집중형 또는 분산형 데이터 베이스 및/또는 관련 캐시들 및 서버들)을 포함하는 것으로 간주된다. 또한 "기계 액세스가능 저장 매체"라는 용어는 기계가 본 발명의 임의의 하나 이상의 방법을 수행하게하며 기계에 의한 실행을 위한 명령 세트를 저장, 인코딩 또는 보유할 수 있는 임의의 매체를 포함하는 것으로 간주된다. 따라서, "기계 액세스가능 저장 매체"라는 용어는 제한되는 것은 아니지만, 고체 상태 메모리, 광학적 및 자기적 매체, 및 반송파 신호들을 포함하는 것으로 간주된다.

본 발명의 다양한 변형 및 변조는 개시된 설명을 판독한 수 당업자들이 어려움없이 구현할 수 있을 것이며, 설명에 도시된 특정 실시예는 본 발명을 제한하고자하는 것이 아님을 인식해야 한다. 따라서, 다양한 실시예들에 대한 참조 사항은 본 발명과 본질적으로 관련된 청구항들의 범주를 제한하고자 하는 것은 아니다.

도 1은 예측 시스템의 일 실시예에 대한 블록도.

도 2는 제조 설비에서 예측 서비스의 사용자-지정 구성을 용이하게 하는 구성 툴의 일 실시예에 대한 블록도.

도 3은 제조 설비에서 예측 서비스의 사용자-지정 구성을 용이하게 하는 방법의 일 실시예에 대한 흐름도.

도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 예시적인 워크플로우 사용자 인터페이스를 나타내는 도면.

도 5는 본 발명의 일 실시예에 따른 질의 한정 사용자 인터페이스를 나타내는 도면.

도 6a-6c는 본 발명의 일 실시예에 따른, 예시적인 질의 형태를 나타내는 도면.

도 7은 본 발명의 일 실시예에 따른, 예시적인 예측 복구 사용자 인터페이스를 나타내는 도면.

도 8은 본 명의 실시예가 동작할 수 있는 예시적인 네트워크 아키텍쳐를 나타내는 도면.

도 9는 본 발명의 일 실시예에 따라, 예시적인 형태의 컴퓨터 시스템에서의 장치 개략도.

Claims (15)

1. 예측 서비스들을 구성하기 위한 컴퓨터처리(computerized) 방법으로서,

   사용자가 제조 설비의 장래성과 관련된 예측들을 제공하기 위한 워크플로우(workflow)를 명시하도록 허용하는 워크플로우 사용자 인터페이스를 디스플레이하는 단계 ― 상기 워크플로우는 예측들을 제공하기 위하여 수행될 동작들의 시퀀스를 식별함 ― ;

   상기 워크플로우 사용자 인터페이스에서 사용자에 의해 명시되는 워크플로우를 디스플레이하는 단계;

   상기 워크플로우 사용자 인터페이스를 통해 상기 워크플로우에서 식별된 각각의 동작에 대한 하나 이상의 특성들을 수신하는 단계; 및

   워크플로우 트리거에 응답하여 후속 실행을 위한 상기 특성들을 갖는 상기 워크플로우를 저장소에 저장하는 단계

   를 포함하는, 컴퓨터처리 방법.
2. 제1항에 있어서,

   상기 워크플로우 트리거는 사용자 요청, 스케줄링된 시간, 또는 미리 결정된 이벤트 중 임의의 하나를 포함하고,

   상기 사용자 워크플로우 인터페이스는 동작 선택 영역 및 작업 영역을 포함하고,

   상기 동작 선택 영역은 상기 워크플로우에 포함될 동작들을 선택하기 위한 다수의 동작 지시자들을 나타내고, 각각의 동작 지시자는 이미지, 색상, 또는 크기 중 적어도 하나를 사용하여 대응하는 동작을 그래픽적으로 설명하며,

   상기 작업 영역은 상기 동작 선택 영역으로부터 상기 사용자에 의하여 선택된 동작 지시자들의 서브세트를 나타내는, 컴퓨터처리 방법.
3. 제1항에 있어서,

   상기 사용자 인터페이스는 상기 동작들을 실행하기 위한 순서를 그래픽적으로 보여주는, 컴퓨터처리 방법.
4. 제1항에 있어서,

   상기 워크플로우는 완전한(full) 예측 워크플로우 또는 예측 복구 워크플로우 중 임의의 하나이고,

   상기 완전한 예측 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 워크플로우 개시, 예측 모델 생성, 상기 제조 설비의 하나 이상의 소스 시스템들로부터 데이터를 획득하기 위한 데이터 질의 구동(run), 예측 모델 변경, 예측 생성, 또는 예측 공개(publication) 중 하나 이상을 포함하며,

   상기 예측 복구 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 이벤트 검출, 이벤트 영향 평가, 또는 예측 데이터 업데이트 중 하나 이상을 포함하는, 컴퓨터처리 방법.
5. 제4항에 있어서,

   상기 사용자가 하나 이상의 질의들을 형성하도록 허용하기 위하여 질의 한정 사용자 인터페이스를 디스플레이하는 단계를 더 포함하며,

   각각의 질의의 한정은 소스 시스템 및 상기 소스 시스템으로부터 검색될 데이터의 명시를 포함하는, 컴퓨터처리 방법.
6. 제5항에 있어서,

   상기 소스 시스템은, 제조 실행 시스템(MES: manufacturing execution system), 유지 관리 시스템(MMS: maintenance management system), 물질 제어 시스템(MCS: material control system), 장비 제어 시스템(ECS: equipment control system), 제공 제어 시스템(ICS: inventory control system), 또는 컴퓨터 집적 제조(CIM: computer integrated manufacturing) 시스템 중 임의의 하나인, 컴퓨터처리 방법.
7. 제1항에 있어서,

   상기 각각의 동작에 대한 하나 이상의 특성들을 수신하는 단계는,

   동작에 대한 하나 이상의 특성 필드(field)들을 갖는 형태에 대한 사용자 요청을 수신하면, 상기 형태를 갖는 윈도우를 나타내는 단계; 및

   상기 동작에 대한 원하는 특성들을 명시하는 사용자 입력을 상기 특성 필드들을 통해 수신하는 단계

   를 포함하며, 상기 특성들은 시평(time horizon), 워크플로우 트리거, 하나 이상의 소스 시스템들, 질의 파라미터들, 예측될 개체들, 예측 발생 메커니즘, 예측들의 하나 이상의 수령자들, 예측들을 공개하기 위한 조건들, 예측 복구를 야기하는 이벤트, 상기 이벤트에 응답하여 획득될 데이터, 또는 복구의 타입 중 하나 이상을 포함하는, 컴퓨터처리 방법.
8. 제1항에 있어서,

   상기 제조 설비의 장래성과 관련된 예측들은, 상기 설비의 장비에 대한 장래 상태, 제조될 구역(lot)들의 조성, 제조될 구역들의 개수, 설비에 의해 요구되는 작동자들의 수, 또는 설비를 위해 필요한 물질들 중 적어도 하나에 관한 정보를 포함하는, 컴퓨터처리 방법.
9. 컴퓨터 시스템이 예측 서비스들을 구성하기 위한 방법을 수행하도록 하는 실행가능한 명령어들을 갖는 컴퓨터-판독가능 매체로서, 상기 방법은,

   사용자가 제조 설비의 장래성에 관련된 예측들을 제공하기 위한 워크플로우를 명시하도록 하는 워크플로우 사용자 인터페이스를 디스플레이하는 단계 ― 상기 워크플로우는 상기 예측들을 제공하기 위하여 수행될 동작들의 시퀀스를 식별함 ― ;

   상기 워크플로우 사용자 인터페이스에서 상기 사용자에 의해 명시된 상기 워크플로우를 디스플레이하는 단계;

   상기 워크플로우에서 식별된 각각의 동작에 대한 하나 이상의 특성들을 상기 워크플로우 사용자 인터페이스를 통해 수신하는 단계; 및

   워크플로우 트리거에 응답하여 후속 실행을 위한 상기 특성들을 갖는 상기 워크플로우를 저장소에 저장하는 단계

   를 포함하는, 컴퓨터-판독가능 매체.
10. 제9항에 있어서,

    상기 워크플로우 트리거는 사용자 요청, 스케줄링된 시간, 또는 미리 결정된 이벤트 중 임의의 하나를 포함하고,

    상기 사용자 워크플로우 인터페이스는 동작 선택 영역 및 작업 영역을 포함하고,

    상기 동작 선택 영역은 상기 워크플로우에 포함될 동작들을 선택하기 위한 다수의 동작 지시자들을 나타내고,

    상기 작업 영역은 상기 동작 선택 영역으로부터 상기 사용자에 의하여 선택된 동작 지시자들의 서브세트를 나타내는, 컴퓨터-판독가능 매체.
11. 제9항에 있어서,

    상기 워크플로우는 완전한 예측 워크플로우이며,

    상기 완전한 예측 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 워크플로우 개시, 예측 모델 생성, 상기 제조 설비의 하나 이상의 소스 시스템들로부터 데이터를 획득하기 위한 데이터 질의 구동, 예측 모델 변경, 예측 생성, 또는 예측 공개 중 하나 이상을 포함하는, 컴퓨터-판독가능 매체.
12. 제9항에 있어서,

    상기 워크플로우는 예측 생성 워크플로우이며,

    상기 예측 복구 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 이벤트 검출, 이벤트 영향 평가, 또는 예측 데이터 업데이트 중 하나 이상을 포함하는, 컴퓨터-판독가능 매체.
13. 예측 서비스들을 구성하기 위한 시스템으로서,

    사용자가 제조 설비의 장래성과 관련된 예측들을 제공하기 위한 워크플로우를 명시하도록 허용하는 워크플로우 사용자 인터페이스를 디스플레이하기 위한 수단 ― 상기 워크플로우는 예측들을 제공하기 위하여 수행될 동작들의 시퀀스를 식별함 ― ;

    상기 워크플로우 사용자 인터페이스에서 사용자에 의해 명시되는 워크플로우를 디스플레이하기 위한 수단;

    상기 워크플로우 사용자 인터페이스를 통해 상기 워크플로우에서 식별된 각각의 동작에 대한 하나 이상의 특성들을 수신하기 위한 수단; 및

    워크플로우 트리거에 응답하여 후속 실행을 위한 상기 특성들을 갖는 상기 워크플로우를 저장하기 위한 수단

    을 포함하는, 예측 서비스들을 구성하기 위한 시스템.
14. 제13항에 있어서,

    상기 사용자 워크플로우 인터페이스는 동작 선택 영역 및 작업 영역을 포함하고,

    상기 동작 선택 영역은 상기 워크플로우에 포함될 동작들을 선택하기 위한 다수의 동작 지시자들을 나타내며,

    상기 작업 영역은 상기 동작 선택 영역으로부터 상기 사용자에 의해 선택된 동작 지시자들의 서브세트를 나타내는, 예측 서비스들을 구성하기 위한 시스템.
15. 제14항에 있어서,

    상기 워크플로우는 완전한 예측 워크플로우 또는 예측 복구 워크플로우이고,

    상기 완전한 예측 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 워크플로우 개시, 예측 모델 생성, 상기 제조 설비의 하나 이상의 소스 시스템들로부터 데이터를 획득하기 위한 데이터 질의 구동, 예측 모델 변경, 예측 생성, 또는 예측 공개 중 하나 이상을 포함하며,

    상기 예측 복구 워크플로우의 동작들의 시퀀스는 이벤트 검출, 이벤트 영향 평가, 또는 예측 데이터 업데이트 중 하나 이상을 포함하는, 예측 서비스들을 구성하기 위한 시스템.

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