JP4368905B2 - グラフ描画装置および方法、その方法を実行する歩留り解析方法および歩留り向上支援システム、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 - Google Patents
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Description
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の相関係数を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とする。
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、第1のデータ群に属するm個の変量と、第2のデータ群に属するn個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて記憶する紐付けデータテーブルと、
m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照してm×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とする。
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備え、
上記表示領域設定部は、上記第1のデータ群に属するm個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第1の変量名表示領域と、上記第2のデータ群に属するn個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第2の変量名表示領域とを設定し、
上記第1、第2の変量名表示領域にそれぞれ上記m個の変量の名前、上記n個の変量の名前を表示させる変量名表示処理部と、
上記m個の変量の名前または上記n個の変量の名前のいずれか一つを指定する変量名指定部と、
上記変量名指定部によって上記m個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶn個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記n個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶm個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替える並び順処理部とを備えたことを特徴とする。
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の相関係数を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とする。
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、第1のデータ群に属するm個の変量と、第2のデータ群に属するn個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて紐付けデータテーブルに記憶させておき、
m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照してm×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とする。
m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップを備え、このステップでは、第1のデータ群に属するm個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第1の変量名表示領域と、第2のデータ群に属するn個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第2の変量名表示領域とを設定し、
上記第1、第2の変量名表示領域にそれぞれ上記m個の変量の名前、上記n個の変量の名前を表示させるとともに、上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップと、
上記m個の変量の名前または上記n個の変量の名前のいずれか一つを変量名指定部によって指定するステップと、
上記変量名指定部によって上記m個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶn個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記n個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶm個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替えるステップとを備えたことを特徴とする。
上記第1のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第2のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画方法を実行して、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する。
上記第1のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第2のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画装置によって、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出し、
抽出された不良要因を、上記製造工程にフィードバックするように出力する不良要因フィードバック部を備えたこと特徴とする。
(第1実施形態)
図2は、後述する一実施形態のグラフ描画装置によってグラフ描画の対象となるデータを記憶した紐付けデータテーブル2の内容を例示している。この例では、紐付けデータテーブル2には、製品ロットLt1,Lt2,…,LtL毎に、第1のデータ群2aに属するM個の変量としての「性能」Q1,Q2,…,QMと、第2のデータ群2bに属するN個の変量としての「要因」F1,F2,…,FNとが、互いに対応付け(紐付け)して記憶されている。
半導体製品製造分野では、各製品ロットは複数の製造工程で順次処理されて、製品となる。各製造工程では、生産能力を高めるために、それぞれその製造工程を実施可能な複数の製造装置が並行して用いられることが多い。このため、製品ロットの歩留りが低下したときに、いずれの製造装置(や作業者)に不良要因があるのか、迅速に解析することが重要である。
図10は、図1に示したグラフ描画装置1を含む、半導体製品製造分野などの製造工程を管理するのに適した歩留り向上支援システムの全体構成を示している。
1g 分析操作部
2 紐付けデータテーブル
4、9 グラフ描画テンプレート
4a、9a 第1の変量名表示領域
4b、9b 第2の変量名表示領域
4c、9c 行列表示領域
4d、9d グラフ表示領域
Claims (10)
- m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の相関係数を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とするグラフ描画装置。 - m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、第1のデータ群に属するm個の変量と、第2のデータ群に属するn個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて記憶する紐付けデータテーブルと、
m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照してm×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備えたことを特徴とするグラフ描画装置。 - m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定する表示領域設定部と、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示する統計量表示処理部と、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを指定するための行列要素指定部と、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するグラフ表示処理部とを備え、
上記表示領域設定部は、上記第1のデータ群に属するm個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第1の変量名表示領域と、上記第2のデータ群に属するn個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第2の変量名表示領域とを設定し、
上記第1、第2の変量名表示領域にそれぞれ上記m個の変量の名前、上記n個の変量の名前を表示させる変量名表示処理部と、
上記m個の変量の名前または上記n個の変量の名前のいずれか一つを指定する変量名指定部と、
上記変量名指定部によって上記m個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶn個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記n個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶm個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替える並び順処理部とを備えたことを特徴とするグラフ描画装置。 - m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
第1のデータ群に属するm個の変量と第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の相関係数を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とするグラフ描画方法。 - m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、第1のデータ群に属するm個の変量と、第2のデータ群に属するn個の変量とを、共通の識別子を用いて互いに対応付けて紐付けデータテーブルに記憶させておき、
m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップと、
上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、上記紐付けデータテーブルの記憶内容を参照してm×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップとを備えたことを特徴とするグラフ描画方法。 - m、nをそれぞれ2以上の自然数としたとき、m×n個の要素を行列状に並べて表示するための行列表示領域と、グラフ画像を表示するためのグラフ表示領域とを、同一の表示画面に設定するステップを備え、このステップでは、第1のデータ群に属するm個の変量の名前を上記行列表示領域の各列に対応して行方向に並べて表示する第1の変量名表示領域と、第2のデータ群に属するn個の変量の名前を上記行列表示領域の各行に対応して列方向に並べて表示する第2の変量名表示領域とを設定し、
上記第1、第2の変量名表示領域にそれぞれ上記m個の変量の名前、上記n個の変量の名前を表示させるとともに、上記第1のデータ群に属するm個の変量と上記第2のデータ群に属するn個の変量との間で、m×n個の統計量を算出して、上記行列表示領域にn行m列の行列要素として並べて表示するステップと、
上記表示画面上の上記行列表示領域内に表示された行列要素のうちのいずれか一つを行列要素指定部によって指定するステップと、
上記行列要素指定部によって指定された或る行列要素に対応した、上記第1のデータ群に属する変量と上記第2のデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を作成して、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示するステップと、
上記m個の変量の名前または上記n個の変量の名前のいずれか一つを変量名指定部によって指定するステップと、
上記変量名指定部によって上記m個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して列方向に並ぶn個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を行単位で並び替える一方、上記変量名指定部によって上記n個の変量の名前の一つが指定されたとき、その名前が指定された変量に関して行方向に並ぶm個の統計量が絶対値の順になるように、上記行列表示領域に表示された統計量を列単位で並び替えるステップとを備えたことを特徴とするグラフ描画方法。 - 請求項4、5または6に記載のグラフ描画方法を実行して、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解析する歩留り解析方法であって、
上記第1のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第2のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画方法を実行して、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出する歩留り解析方法。 - 請求項1、2または3に記載のグラフ描画装置を備えて、或る製品を製造する製造工程での異常発生原因を解消する歩留り向上支援システムであって、
上記第1のデータ群は上記製品についての性能を表すデータ群であり、上記第2のデータ群は上記製品についての不良要因を表すデータ群であり、
上記グラフ描画装置によって、上記性能を表すデータ群に属する変量と上記不良要因を表すデータ群に属する変量との間の2変量間の関係を表すグラフ画像を、上記表示画面上の上記グラフ表示領域に表示させながら、上記製品についての不良要因を抽出し、
抽出された不良要因を、上記製造工程にフィードバックするように出力する不良要因フィードバック部を備えたこと特徴とする歩留り向上支援システム。 - 請求項4、5若しくは6に記載のグラフ描画方法または請求項7に記載の歩留り解析方法をコンピュータに実行させるためのプログラム。
- 請求項9に記載のプログラムをコンピュータに実行させるためのコンピュータ読み取り可能な記録媒体。
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