JP4355193B2 - 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム - Google Patents
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C2(i)=s22・x2 2(i)+s21・x1(i)・x2(i) (3)
ここで、Cp(i)はウェハ番号あるいはロット番号iにおけるデータ項目pのHotellingT2(i)に対する寄与度である。
Claims (9)
- プロセス処理する製造装置を複数備えた製造ラインで半導体デバイスを製造する方法であって、
プロセス処理終了後、プロセス処理されたウェハの製品名、プロセス処理を実施した製造装置名、製造装置の運転駆動に関わる情報からなる名義的情報、製造装置の計測データからなる製造装置の処理室の内部状態に関わる数値情報とプロセス処理中のウェハの計測データからなるウェハに関わる数値情報とからなる複数の尺度的数値情報を製造装置から収集し、時間情報、あるいは製造プロセス処理順序情報を付加してデータベースに格納するデータ格納ステップと、
プロセス処理終了後、前記データ格納ステップに同期して、前記ウェハの製品名、前記製造装置名、前記名義的情報、及び前記時間情報あるいは前記製造プロセス処理順序情報を指定して、前記データベースから、プロセス処理されたウェハあるいはロットに係る前記複数の尺度的数値情報を含む複数の個別収集処理情報を、所定の製造装置から順次プロセス処理される複数のウェハに渡って時系列で収集し、収集された複数の個別収集処理情報を複数のウェハに渡る時系列集約処理情報に統合し、該統合された時系列集約処理情報を統合統計しきい値と照合することにより統合異常が発生した異常発生時系列ポイントを検知し、該検知された統合異常発生時系列ポイントにおける前記収集された複数の個別収集処理情報毎の寄与度を抽出し、該抽出された個別収集処理情報毎の寄与度に応じて統合異常の原因となった個別収集処理情報を特定する統合異常監視ステップと、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視ステップで統合異常の原因として特定された個別収集処理情報を収集し、該収集された個別収集処理情報を個別物理しきい値と照合することにより継続して重点監視する個別異常監視ステップとを有し、
前記統合異常監視ステップと前記個別異常監視ステップとをウェハ毎もしくはロット毎もしくはバッチ毎の所定の周期で繰り返す半導体デバイスの製造方法。 - プロセス処理する製造装置を複数備えた製造ラインで半導体デバイスを製造する方法であって、
プロセス処理終了後、プロセス処理されたウェハの製品名、プロセス処理を実施した製造装置名、製造装置の運転駆動に関わる情報からなる名義的情報、製造装置の計測データからなる製造装置の処理室の内部状態に関わる数値情報とプロセス処理中のウェハの計測データからなるウェハに関わる数値情報とからなる複数の尺度的数値情報を製造装置から収集し、時間情報、あるいは製造プロセス処理順序情報を付加してデータベースに格納するデータ格納ステップと、
プロセス処理終了後、前記データ格納ステップに同期して、前記ウェハの製品名、前記製造装置名、前記名義的情報、及び前記時間情報あるいは前記製造プロセス処理順序情報を指定して、前記データベースから、プロセス処理されたウェハあるいはロットに係る前記複数の尺度的数値情報を含む複数の個別収集処理情報を、所定の製造装置から順次プロセス処理される複数のウェハに渡って時系列で収集し、収集された複数の個別収集処理情報を複数のウェハに渡る時系列集約処理情報に統合し、該統合された時系列集約処理情報を統合統計しきい値と照合することにより統合異常が発生した異常発生時系列ポイントを検知し、該検知された統合異常発生時系列ポイントにおける前記収集された複数の個別収集処理情報毎の寄与度を抽出し、該抽出された個別収集処理情報毎の寄与度に応じて統合異常の原因となった個別収集処理情報を特定すると共に、正常な状態で相関関係にある複数の個別収集処理情報の間で相関喪失の異常が発生したか否かを検知する統合異常監視ステップと、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視ステップで統合異常の原因として特定された個別収集処理情報を収集し、該収集された個別収集処理情報を個別物理しきい値と照合することにより継続して重点監視する個別異常監視ステップと、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視ステップで相関喪失の異常の発生が検知された場合には、正常な状態で相関関係にある複数の選別した個別収集処理情報を収集し、該収集された個別収集処理情報から計算される選別統合値を相関しきい値と照合することにより継続して重点監視する相関異常監視ステップとを有し、
前記統合異常監視ステップ、前記個別異常監視ステップ、及び前記相関異常監視ステップをウェハ毎もしくはロット毎もしくはバッチ毎の所定の周期で繰り返す半導体デバイスの製造方法。 - 更に、前記統合異常監視ステップで異常になったウェハについて検査指示若しくは検査条件指示を行って特性検査する検査ステップを有することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体デバイスの製造方法。
- 更に、前記統合異常監視ステップにおいて、統合された時系列集約処理情報の推移または抽出された複数の個別収集処理情報毎の寄与度の推移または抽出された複数の個別収集処理情報毎の寄与度に応じた優先順位で各個別収集処理情報の推移をチャートに表示することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体デバイスの製造方法。
- プロセス処理する製造装置を複数備えた製造ラインで半導体デバイスを製造する半導体デバイス製造システムであって、
プロセス処理終了後、プロセス処理されたウェハの製品名、プロセス処理を実施した製造装置名、製造装置の運転駆動に関わる情報からなる名義的情報、製造装置の計測データからなる製造装置の処理室の内部状態に関わる数値情報とプロセス処理中のウェハの計測データからなるウェハに関わる数値情報とからなる複数の尺度的数値情報を製造装置から収集するデータ収集部と、データベースと、前記データ収集部により収集されたデータに時間情報、あるいは製造プロセス処理順序情報を付加して前記データベースに格納するデータ格納部とを有するデータ格納手段と、
プロセス処理終了後、前記データ格納手段によるデータの格納に同期して、前記ウェハの製品名、前記製造装置名、前記名義的情報、及び前記時間情報あるいは前記製造プロセス処理順序情報を指定して、前記データベースから、プロセス処理されたウェハあるいはロットに係る前記複数の尺度的数値情報を含む複数の個別収集処理情報を、所定の製造装置から順次プロセス処理される複数のウェハに渡って時系列で収集し、収集された複数の個別収集処理情報を複数のウェハに渡る時系列集約処理情報に統合する統合部と、該統合部で統合された時系列集約処理情報を統合統計しきい値と照合することにより統合異常が発生した異常発生時系列ポイントを検知する統合判定部と、該検知された統合異常発生時系列ポイントにおける前記収集された複数の個別収集処理情報毎の寄与度を抽出し、該抽出された個別収集処理情報毎の寄与度に応じて統合異常の原因となった個別収集処理情報を特定する寄与度抽出部とを有する統合異常監視手段と、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視手段の寄与度抽出部で統合異常の原因として特定された個別収集処理情報を収集する収集制御部と該収集制御部で収集された個別収集処理情報を個別物理しきい値と照合することにより継続して重点監視する個別判定部とを有する個別異常監視手段とを有し、
前記統合異常監視手段による処理と前記個別異常監視手段による処理とをウェハ毎もしくはロット毎もしくはバッチ毎の所定の周期で繰り返す半導体デバイス製造システム。 - プロセス処理する製造装置を複数備えた製造ラインで半導体デバイスを製造する半導体デバイス製造システムであって、
プロセス処理終了後、プロセス処理されたウェハの製品名、プロセス処理を実施した製造装置名、製造装置の運転駆動に関わる情報からなる名義的情報、製造装置の計測データからなる製造装置の処理室の内部状態に関わる数値情報とプロセス処理中のウェハの計測データからなるウェハに関わる数値情報とからなる複数の尺度的数値情報を製造装置から収集するデータ収集部と、データベースと、前記データ収集部により収集されたデータに時間情報、あるいは製造プロセス処理順序情報を付加して前記データベースに格納するデータ格納部とを有するデータ格納手段と、
プロセス処理終了後、前記データ格納手段によるデータの格納に同期して、前記ウェハの製品名、前記製造装置名、前記名義的情報、及び前記時間情報あるいは前記製造プロセス処理順序情報を指定して、前記データベースから、プロセス処理されたウェハあるいはロットに係る前記複数の尺度的数値情報を含む複数の個別収集処理情報を、所定の製造装置から順次プロセス処理される複数のウェハに渡って時系列で収集し、収集された複数の個別収集処理情報を複数のウェハに渡る時系列集約処理情報に統合する統合部と、該統合部で統合された時系列集約処理情報を統合統計しきい値と照合することにより統合異常が発生した異常発生時系列ポイントを検知する統合判定部と、該検知された統合異常発生時系列ポイントにおける前記収集された複数の個別収集処理情報毎の寄与度を抽出し、該抽出された個別収集処理情報毎の寄与度に応じて統合異常の原因となった個別収集処理情報を特定する寄与度抽出部と、正常な状態で相関関係にある複数の個別収集処理情報の間で相関喪失の異常が発生したか否かを検知する相関喪失検知部とを有する統合異常監視手段と、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視手段の寄与度抽出部で、統合異常の原因として特定された個別収集処理情報を収集する収集制御部と該収集制御部で収集された個別収集処理情報を個別物理しきい値と照合することにより継続して重点監視する個別判定部とを有する個別異常監視手段と、
後続のプロセス処理において、前記統合異常監視手段の相関喪失検知部で相関喪失の異常の発生が検知された場合には、正常な状態で相関関係にある複数の選別した個別収集処理情報を収集し、該収集された個別収集処理情報から計算される選別統合値を相関しきい値と照合することにより継続して重点監視する相関異常監視手段とを有し、
前記統合異常監視手段による処理、前記個別異常監視手段による処理、及び前記相関異常監視手段による処理をウェハ毎もしくはロット毎もしくはバッチ毎の所定の周期で繰り返す半導体デバイス製造システム。 - 更に、ウェハの特性検査を行う検査装置を有することを特徴とする請求項5または6に記載の半導体デバイス製造システム。
- 更に、前記統合異常監視手段において、統合された時系列集約処理情報の推移または抽出された複数の個別収集処理情報毎の寄与度の推移または抽出された複数の個別収集処理情報毎の寄与度に応じた優先順位で各個別収集処理情報の推移をチャートに表示する表示解析部を有することを特徴とする請求項5または6に記載の半導体デバイス製造システム。
- 前記表示解析部は、統合異常となった時系列ポイントを指し示すマーカを前記時系列推移チャートに渡って同期して表示するように構成したことを特徴とする請求項8に記載の半導体デバイス製造システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003379559A JP4355193B2 (ja) | 2003-11-10 | 2003-11-10 | 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003379559A JP4355193B2 (ja) | 2003-11-10 | 2003-11-10 | 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005142467A JP2005142467A (ja) | 2005-06-02 |
JP4355193B2 true JP4355193B2 (ja) | 2009-10-28 |
Family
ID=34689587
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2003379559A Expired - Fee Related JP4355193B2 (ja) | 2003-11-10 | 2003-11-10 | 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4355193B2 (ja) |
Families Citing this family (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5114009B2 (ja) * | 2006-03-10 | 2013-01-09 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム、サーバ及びデータ処理方法 |
JP5147097B2 (ja) | 2006-05-09 | 2013-02-20 | 東京エレクトロン株式会社 | サーバ装置、およびプログラム |
JP4697879B2 (ja) | 2006-05-09 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | サーバ装置、およびプログラム |
JP4368905B2 (ja) * | 2007-05-11 | 2009-11-18 | シャープ株式会社 | グラフ描画装置および方法、その方法を実行する歩留り解析方法および歩留り向上支援システム、プログラム、並びにコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
JP5242959B2 (ja) * | 2007-07-11 | 2013-07-24 | シャープ株式会社 | 異常要因特定方法およびシステム、上記異常要因特定方法をコンピュータに実行させるためのプログラム、並びに上記プログラムを記録したコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
WO2010032499A1 (ja) * | 2008-09-18 | 2010-03-25 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置 |
JP4663808B2 (ja) * | 2009-04-16 | 2011-04-06 | シャープ株式会社 | プロセスパラメータ選択装置、プロセスパラメータ選択方法、プロセスパラメータ選択プログラム、プログラム記録媒体、および、上記プロセスパラメータ選択装置を含む製造工程管理装置 |
JP5992706B2 (ja) * | 2012-03-26 | 2016-09-14 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体製造装置の障害監視システム及び障害監視方法 |
JP7034646B2 (ja) * | 2017-09-25 | 2022-03-14 | 株式会社Screenホールディングス | 異常検知装置、及び異常検知方法 |
JP7074489B2 (ja) * | 2018-02-08 | 2022-05-24 | 株式会社Screenホールディングス | データ処理方法、データ処理装置、および、データ処理プログラム |
WO2019240019A1 (ja) * | 2018-06-11 | 2019-12-19 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 異常解析装置、製造システム、異常解析方法及びプログラム |
TW202044394A (zh) * | 2019-05-22 | 2020-12-01 | 日商荏原製作所股份有限公司 | 基板處理系統 |
JP2021152762A (ja) * | 2020-03-24 | 2021-09-30 | 株式会社Screenホールディングス | 学習済みモデル生成方法、学習済みモデル、異常要因推定装置、基板処理装置、異常要因推定方法、学習方法、学習装置、及び、学習データ作成方法 |
CN115167323B (zh) * | 2022-08-16 | 2023-06-16 | 江苏中科云控智能工业装备有限公司 | 基于数字化工厂的工控设备反馈信息指令传输系统 |
-
2003
- 2003-11-10 JP JP2003379559A patent/JP4355193B2/ja not_active Expired - Fee Related
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JP2005142467A (ja) | 2005-06-02 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050609 |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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