JP5091604B2 - 分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム - Google Patents
分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP5091604B2 JP5091604B2 JP2007248732A JP2007248732A JP5091604B2 JP 5091604 B2 JP5091604 B2 JP 5091604B2 JP 2007248732 A JP2007248732 A JP 2007248732A JP 2007248732 A JP2007248732 A JP 2007248732A JP 5091604 B2 JP5091604 B2 JP 5091604B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- distribution
- value
- average value
- values
- observation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 238000009826 distribution Methods 0.000 title claims description 107
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 54
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 title claims description 36
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 33
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 15
- 238000010606 normalization Methods 0.000 claims description 7
- 239000000047 product Substances 0.000 description 49
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 42
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 9
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 9
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 8
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 6
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000011265 semifinished product Substances 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 238000013475 authorization Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000011835 investigation Methods 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/30—Computing systems specially adapted for manufacturing
Landscapes
- Management, Administration, Business Operations System, And Electronic Commerce (AREA)
- General Factory Administration (AREA)
Description
製品の品質に間接的又は直接的に影響する管理項目を選定する。なお、管理項目は1項目でも構わないが、通常は複数項目が選定される。管理項目の例としては、製造工程の状態を表す観測値、各製造工程後における半製品の出来映えを表す観測値、製品の最終出来映えを表す観測値が挙げられる。さらに具体的には、半導体製品の製造を例にとると、製造工程の状態を表す観測値としては、製造装置の加工チャンバにおける温度、圧力及びガスの流量などが挙げられる。また、各製造工程後における半製品の出来映えを表す観測値としては、成膜された膜の厚さ及びエッチングされた形状の寸法などが挙げられる。更に、製品の最終出来映えを表す観測値としては、デバイスとしての電気特性などが挙げられる。
上記(1)により設定された管理項目について、製造工程が正常な状態における観測値を複数個収集する。なお、収集する観測値の個数は、この観測値の分布の統計的な性質を十分な確度で推定することができる個数とし、統計学の見地から指針が示されている。
そして、このようにして収集された複数の観測値の平均値及び標準偏差を求める。次に、これらの平均値及び標準偏差を用いて、下記数式により、上側管理限界及び下側管理限界を定める。上側管理限界と下側管理限界との間の数値範囲が管理範囲である。但し、nは正の実数であり、異常検出感度と過検出頻度とのトレードオフから定める。なお、過検出とは、実際には異常がなくても誤って異常と判定してしまうことをいう。nの値としては、通常、3程度の値が用いられる(例えば、非特許文献1参照。)。
上側管理限界=平均+n×標準偏差
下側管理限界=平均−n×標準偏差
上記(1)の段階で設定した管理項目について、製造工程から定期的に観測値を取得する。この観測値が、上記(2)の段階で定めた管理限界の外側に出た場合に異常と判断し、関係者に通知する。通知を受けた関係者は、予め定められた手順により製造工程を点検し、異常原因を特定して是正処置を施す。
先ず、本発明の第1の実施形態について説明する。
図1は、本実施形態に係る分布の評価システムを例示するブロック図であり、
図2は、本実施形態に係る分布の評価方法を例示するフローチャート図である。
図1に示すように、製品の製造設備101から観測値がデータベース102に対して逐次出力され、データベース102はこれらの観測値を記憶する。そして、評価システム1は、これらの観測値を評価する。
図3乃至図7は、本実施例において判定の対象とした観測値の集合体を例示する図であり、各図の(a)は、横軸にサンプル番号をとり、縦軸に観測値をとって、観測値の変動を示す管理図であり、各図の(b)は、横軸に観測値をとり、縦軸に度数をとって、(a)に示す観測値の分布を示すヒストグラムである。
図3(a)及び(b)に示す観測値(管理項目No.1)は、ヒストグラムの上側と下側とで分布が非対称である。観測値がこのように分布する場合は、裾が長い側(上側)において過検出が多発し、逆に、裾が短い側(下側)において欠陥の検出感度が低下する。しかし、時間の経過に伴うシフトは認められない。
図4(a)及び(b)に示す観測値(管理項目No.2)は、相互に標準偏差が異なる複数の正規分布が混合した分布である。この分布は、ヒストグラムは上下対称であるが、裾が正規分布曲線よりも広い。観測値がこのように分布する場合は、分布の両側において過検出が多くなる。しかし、時間の経過に伴うシフトは認められない。
図5(a)及び(b)に示す観測値(管理項目No.3)は、平均値が徐々に増加しており、この結果、分布が時間の経過と共にシフトしている。このような現象は、例えば半導体製品の製造装置においては、加工チャンバ内の堆積物の増加や、消耗部品の劣化により発現する。この管理項目においては、期間Aの観測値に基づいて管理範囲を設定すると、期間Aよりも後の期間に過検出が多発する。
図6(a)及び(b)に示す観測値(管理項目No.4)は、平均値がステップ状に変化しており、この結果、分布が時間の経過と共にシフトしている。このような現象は、例えば半導体製品の製造装置においては、清掃や部品交換などの保守作業により発現する。この管理項目においても、図4の場合と同様に、期間Aよりも後の期間に過検出が多発する。
図7(a)及び(b)に示す観測値(管理項目No.5)は、平均値が徐々に変化しており、且つ、ステップ状に変化している。この結果、分布が時間の経過と共にシフトしている。この管理項目においても、図4の場合と同様に、期間Aよりも後の期間に過検出が多発する。
本実施形態は、製品の製造方法の実施形態である。
図8は、本実施形態に係る製品の製造システムを例示するブロック図であり、
図9は、本実施形態に係る製品の製造方法を例示するフローチャート図である。
先ず、図9のステップS11に示すように、評価システム1がデータベース102を介して製品の製造設備101から複数の観測値を時系列的に収集する。例えば、半導体装置の製造装置から、製造工程の状態を表す観測値、各製造工程後における半製品の出来映えを表す観測値、及び製品の最終出来映えを表す観測値を取得する。より具体的には、製造工程の状態を表す観測値として、加工チャンバにおける温度、圧力及びガスの流量などのデータを取得する。また、各製造工程後における半製品の出来映えを表す観測値として、成膜された膜の厚さ及びエッチングされた形状の寸法などのデータを取得する。更に、製品の最終出来映えを表す観測値として、デバイスとしての電気特性などのデータを取得する。これらの観測値は、例えば、図3乃至図7に示すように分布しているものとする。
Claims (5)
- 時系列的に収集された複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしているか否かを判定する分布の評価方法であって、
前記複数の観測値を平均値が0となり標準偏差が1となるように正規化する工程と、
前記正規化された複数の観測値から時間的に相互に離隔した2個の前記正規化された観測値からなる対を複数対選択し、前記対ごとに前記2個の正規化された観測値の積を求め、前記複数の対の積の平均値を算出する工程と、
前記平均値が閾値よりも大きい場合に、前記複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしていると判定する工程と、
を備え、
前記平均値を算出する工程において、
前記観測値の個数をnとし、前記複数の観測値を時系列的に配列したときにi番目に配列される観測値の正規化された値をw i とし、1乃至(n−1)の任意の自然数をdとし、前記平均値をaとするとき、前記平均値aを下記数式によって算出することを特徴とする分布の評価方法。
- 前記複数の観測値は、製品の製造設備から収集されたものであることを特徴とする請求項1記載の分布の評価方法。
- 製品の製造設備から複数の観測値を時系列的に収集する工程と、
前記収集された複数の観測値について、請求項1記載の方法により、前記複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしているか否かを判定する工程と、
前記判定の結果に基づいて、前記観測値の管理限界値を決定する工程と、
を備えたことを特徴とする製品の製造方法。 - 時系列的に収集された複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしているか否かを判定する分布の評価プログラムであって、
コンピューターに、
前記複数の観測値を平均値が0となり標準偏差が1となるように正規化する手順と、
前記正規化された複数の観測値から時間的に相互に離隔した2個の前記正規化された観測値からなる対を複数対選択し、前記対ごとに前記2個の正規化された観測値の積を求め、前記複数の対の積の平均値を算出する手順と、
前記平均値が閾値よりも大きい場合に、前記複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしていると判定する手順と、
を実行させ、
前記平均値を算出する手順において、
前記観測値の個数をnとし、前記複数の観測値を時系列的に配列したときにi番目に配列される観測値の正規化された値をw i とし、1乃至(n−1)の任意の自然数をdとし、前記平均値をaとするとき、前記コンピューターに、前記平均値aを下記数式によって算出させることを特徴とする分布の評価プログラム。
- 時系列的に収集された複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしているか否かを判定する分布の評価システムであって、
前記複数の観測値を平均値が0となり標準偏差が1となるように正規化する正規化部と、
前記正規化された複数の観測値から時間的に相互に離隔した2個の前記正規化された観測値からなる対を複数対選択し、前記対ごとに前記2個の正規化された観測値の積を求め、前記複数の対の積の平均値を算出する算出部と、
前記平均値が閾値よりも大きい場合に、前記複数の観測値の分布が時間の経過と共にシフトしていると判定する判定部と、
を備え、
前記算出部は、
前記観測値の個数をnとし、前記複数の観測値を時系列的に配列したときにi番目に配列される観測値の正規化された値をw i とし、1乃至(n−1)の任意の自然数をdとし、前記平均値をaとするとき、前記平均値aを下記数式によって算出することを特徴とする分布の評価システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248732A JP5091604B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007248732A JP5091604B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009080612A JP2009080612A (ja) | 2009-04-16 |
JP5091604B2 true JP5091604B2 (ja) | 2012-12-05 |
Family
ID=40655323
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007248732A Expired - Fee Related JP5091604B2 (ja) | 2007-09-26 | 2007-09-26 | 分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5091604B2 (ja) |
Cited By (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8347444B2 (en) | 2007-05-09 | 2013-01-08 | Irobot Corporation | Compact autonomous coverage robot |
US8368339B2 (en) | 2001-01-24 | 2013-02-05 | Irobot Corporation | Robot confinement |
US8374721B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-02-12 | Irobot Corporation | Robot system |
US8380350B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-02-19 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot navigation system |
US8378613B2 (en) | 2004-01-28 | 2013-02-19 | Irobot Corporation | Debris sensor for cleaning apparatus |
US8386081B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-02-26 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8387193B2 (en) | 2005-02-18 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning |
US8390251B2 (en) | 2004-01-21 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods |
US8392021B2 (en) | 2005-02-18 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning |
US8396592B2 (en) | 2001-06-12 | 2013-03-12 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
US8412377B2 (en) | 2000-01-24 | 2013-04-02 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8417383B2 (en) | 2006-05-31 | 2013-04-09 | Irobot Corporation | Detecting robot stasis |
US8418303B2 (en) | 2006-05-19 | 2013-04-16 | Irobot Corporation | Cleaning robot roller processing |
US8428778B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-04-23 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8463438B2 (en) | 2001-06-12 | 2013-06-11 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
US8474090B2 (en) | 2002-01-03 | 2013-07-02 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US8515578B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-08-20 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8584305B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-11-19 | Irobot Corporation | Modular robot |
US8594840B1 (en) | 2004-07-07 | 2013-11-26 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
US8600553B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-12-03 | Irobot Corporation | Coverage robot mobility |
US8788092B2 (en) | 2000-01-24 | 2014-07-22 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8800107B2 (en) | 2010-02-16 | 2014-08-12 | Irobot Corporation | Vacuum brush |
US8972052B2 (en) | 2004-07-07 | 2015-03-03 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous vehicle |
US9008835B2 (en) | 2004-06-24 | 2015-04-14 | Irobot Corporation | Remote control scheduler and method for autonomous robotic device |
US10470629B2 (en) | 2005-02-18 | 2019-11-12 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for dry cleaning |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5537346B2 (ja) * | 2010-09-06 | 2014-07-02 | 株式会社日立メディコ | 画像診断支援装置、画像診断支援方法 |
KR101543828B1 (ko) | 2012-08-21 | 2015-08-11 | 주식회사 포스코 | 공정지표 관리 장치 및 방법 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002202806A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Mitsubishi Electric Corp | 工程管理システム及び物品の製造方法 |
JP3744527B2 (ja) * | 2004-06-07 | 2006-02-15 | オムロン株式会社 | 工程管理装置、工程管理方法、工程管理プログラム、および該プログラムを記録した記録媒体 |
JP4207915B2 (ja) * | 2005-01-24 | 2009-01-14 | オムロン株式会社 | 品質変動表示装置、品質変動表示方法、品質変動表示プログラム及び該プログラムを記録した記録媒体 |
-
2007
- 2007-09-26 JP JP2007248732A patent/JP5091604B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (67)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8761935B2 (en) | 2000-01-24 | 2014-06-24 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8478442B2 (en) | 2000-01-24 | 2013-07-02 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8412377B2 (en) | 2000-01-24 | 2013-04-02 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8788092B2 (en) | 2000-01-24 | 2014-07-22 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US8565920B2 (en) | 2000-01-24 | 2013-10-22 | Irobot Corporation | Obstacle following sensor scheme for a mobile robot |
US9038233B2 (en) | 2001-01-24 | 2015-05-26 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US9582005B2 (en) | 2001-01-24 | 2017-02-28 | Irobot Corporation | Robot confinement |
US9622635B2 (en) | 2001-01-24 | 2017-04-18 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US8368339B2 (en) | 2001-01-24 | 2013-02-05 | Irobot Corporation | Robot confinement |
US8396592B2 (en) | 2001-06-12 | 2013-03-12 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
US8463438B2 (en) | 2001-06-12 | 2013-06-11 | Irobot Corporation | Method and system for multi-mode coverage for an autonomous robot |
US8516651B2 (en) | 2002-01-03 | 2013-08-27 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US8671507B2 (en) | 2002-01-03 | 2014-03-18 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US8656550B2 (en) | 2002-01-03 | 2014-02-25 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US8474090B2 (en) | 2002-01-03 | 2013-07-02 | Irobot Corporation | Autonomous floor-cleaning robot |
US9128486B2 (en) | 2002-01-24 | 2015-09-08 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8515578B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-08-20 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8793020B2 (en) | 2002-09-13 | 2014-07-29 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8428778B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-04-23 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8386081B2 (en) | 2002-09-13 | 2013-02-26 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US9949608B2 (en) | 2002-09-13 | 2018-04-24 | Irobot Corporation | Navigational control system for a robotic device |
US8461803B2 (en) | 2004-01-21 | 2013-06-11 | Irobot Corporation | Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods |
US8390251B2 (en) | 2004-01-21 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods |
US8749196B2 (en) | 2004-01-21 | 2014-06-10 | Irobot Corporation | Autonomous robot auto-docking and energy management systems and methods |
US8456125B2 (en) | 2004-01-28 | 2013-06-04 | Irobot Corporation | Debris sensor for cleaning apparatus |
US8378613B2 (en) | 2004-01-28 | 2013-02-19 | Irobot Corporation | Debris sensor for cleaning apparatus |
US8598829B2 (en) | 2004-01-28 | 2013-12-03 | Irobot Corporation | Debris sensor for cleaning apparatus |
US9008835B2 (en) | 2004-06-24 | 2015-04-14 | Irobot Corporation | Remote control scheduler and method for autonomous robotic device |
US9486924B2 (en) | 2004-06-24 | 2016-11-08 | Irobot Corporation | Remote control scheduler and method for autonomous robotic device |
US8634956B1 (en) | 2004-07-07 | 2014-01-21 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
US8874264B1 (en) | 2004-07-07 | 2014-10-28 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
US8634958B1 (en) | 2004-07-07 | 2014-01-21 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
US9229454B1 (en) | 2004-07-07 | 2016-01-05 | Irobot Corporation | Autonomous mobile robot system |
US8594840B1 (en) | 2004-07-07 | 2013-11-26 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous robot |
US8972052B2 (en) | 2004-07-07 | 2015-03-03 | Irobot Corporation | Celestial navigation system for an autonomous vehicle |
US10470629B2 (en) | 2005-02-18 | 2019-11-12 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for dry cleaning |
US8387193B2 (en) | 2005-02-18 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning |
US8670866B2 (en) | 2005-02-18 | 2014-03-11 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning |
US8392021B2 (en) | 2005-02-18 | 2013-03-05 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet cleaning |
US8774966B2 (en) | 2005-02-18 | 2014-07-08 | Irobot Corporation | Autonomous surface cleaning robot for wet and dry cleaning |
US8374721B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-02-12 | Irobot Corporation | Robot system |
US8600553B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-12-03 | Irobot Corporation | Coverage robot mobility |
US8606401B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-12-10 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot navigation system |
US8954192B2 (en) | 2005-12-02 | 2015-02-10 | Irobot Corporation | Navigating autonomous coverage robots |
US9599990B2 (en) | 2005-12-02 | 2017-03-21 | Irobot Corporation | Robot system |
US8380350B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-02-19 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot navigation system |
US8661605B2 (en) | 2005-12-02 | 2014-03-04 | Irobot Corporation | Coverage robot mobility |
US8584305B2 (en) | 2005-12-02 | 2013-11-19 | Irobot Corporation | Modular robot |
US9144360B2 (en) | 2005-12-02 | 2015-09-29 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot navigation system |
US9149170B2 (en) | 2005-12-02 | 2015-10-06 | Irobot Corporation | Navigating autonomous coverage robots |
US9492048B2 (en) | 2006-05-19 | 2016-11-15 | Irobot Corporation | Removing debris from cleaning robots |
US9955841B2 (en) | 2006-05-19 | 2018-05-01 | Irobot Corporation | Removing debris from cleaning robots |
US10244915B2 (en) | 2006-05-19 | 2019-04-02 | Irobot Corporation | Coverage robots and associated cleaning bins |
US8418303B2 (en) | 2006-05-19 | 2013-04-16 | Irobot Corporation | Cleaning robot roller processing |
US8528157B2 (en) | 2006-05-19 | 2013-09-10 | Irobot Corporation | Coverage robots and associated cleaning bins |
US8417383B2 (en) | 2006-05-31 | 2013-04-09 | Irobot Corporation | Detecting robot stasis |
US10070764B2 (en) | 2007-05-09 | 2018-09-11 | Irobot Corporation | Compact autonomous coverage robot |
US8438695B2 (en) | 2007-05-09 | 2013-05-14 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot sensing |
US8370985B2 (en) | 2007-05-09 | 2013-02-12 | Irobot Corporation | Compact autonomous coverage robot |
US9480381B2 (en) | 2007-05-09 | 2016-11-01 | Irobot Corporation | Compact autonomous coverage robot |
US10299652B2 (en) | 2007-05-09 | 2019-05-28 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot |
US8347444B2 (en) | 2007-05-09 | 2013-01-08 | Irobot Corporation | Compact autonomous coverage robot |
US11072250B2 (en) | 2007-05-09 | 2021-07-27 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot sensing |
US11498438B2 (en) | 2007-05-09 | 2022-11-15 | Irobot Corporation | Autonomous coverage robot |
US8800107B2 (en) | 2010-02-16 | 2014-08-12 | Irobot Corporation | Vacuum brush |
US10314449B2 (en) | 2010-02-16 | 2019-06-11 | Irobot Corporation | Vacuum brush |
US11058271B2 (en) | 2010-02-16 | 2021-07-13 | Irobot Corporation | Vacuum brush |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009080612A (ja) | 2009-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5091604B2 (ja) | 分布の評価方法、製品の製造方法、分布の評価プログラム及び分布の評価システム | |
JP6770802B2 (ja) | プラント異常監視方法およびプラント異常監視用のコンピュータプログラム | |
US7039554B2 (en) | Method and system for trend detection and analysis | |
JP5610695B2 (ja) | プラント監視用の方法、プログラム及び装置 | |
JP4911055B2 (ja) | バッチプロセスデータの解析装置およびそれを用いた異常検出/品質推定装置 | |
WO2015021751A1 (zh) | 一种数据驱动的集成电路工艺设备异常预警技术方法 | |
JP2006146459A (ja) | 半導体デバイスの製造方法および製造システム | |
JP4355193B2 (ja) | 半導体デバイスの製造方法及び半導体デバイス製造システム | |
WO2020166236A1 (ja) | 作業効率評価方法、作業効率評価装置、及びプログラム | |
CN112585727B (zh) | 装置诊断装置、等离子体处理装置以及装置诊断方法 | |
US7813893B2 (en) | Method of process trend matching for identification of process variable | |
CN107093568B (zh) | 一种晶元在线监测方法及装置 | |
KR101991296B1 (ko) | 원자력 발전설비의 기계학습식 예측진단장치 | |
KR20090061856A (ko) | 품질관리규칙이 변경가능한 통계적 공정관리 장치 및 방법 | |
CN109100117B (zh) | 一种变异数值的检测方法 | |
JP2010225029A (ja) | 製造履歴分析支援装置および製造履歴分析支援方法 | |
JPWO2019016892A1 (ja) | 品質分析装置及び品質分析方法 | |
Mostafa Essam | The use failure mode and effects Analysis as Quantitative Risk Analysis Tool | |
TWI745912B (zh) | 高爐之異常判定裝置、高爐之異常判定方法及高爐之操作方法 | |
JP5257160B2 (ja) | Spcによる品質管理方法および装置 | |
JP7461798B2 (ja) | 設備監視支援装置、方法及びプログラム | |
JP7180676B2 (ja) | プロセス状態監視装置及びプロセス状態監視方法 | |
US20240019858A1 (en) | Method and apparatus for monitoring a process | |
RU2794126C1 (ru) | Устройство для определения неисправности доменной печи, способ определения неисправности доменной печи и способ эксплуатации доменной печи | |
JP2012083993A (ja) | 操業条件管理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100324 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20111208 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120210 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120530 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120730 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120820 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120914 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5091604 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150921 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |