JP5114009B2 - 基板処理システム、サーバ及びデータ処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、サーバとこのサーバに接続された複数のクライアントとを有する基板処理システムに関する。

この種の基板処理システムにおいて、ホストコンピュータ、サーバ及びクライアントなどに対して基板処理装置に関する性能、稼働率、故障検知及び製造する基板の歩留まり検知等の種々のデータを通信するものが知られている。従来では、ホストコンピュータと基板処理装置との通信仕様（規定）は、各半導体メーカ、各半導体製造工場又は半導体製造ライン毎に開発していた。近年では、基板処理装置とホストコンピュータとの間（クライアントとサーバとの間）で通信されるデータは複雑化しており、半導体製造メーカに依存せずに装置データを収集するための標準規格であるＥＤＡ（Equipment Data Acquisition）等の技術が確立されつつある。
ここで、ＥＤＡとは、ＸＭＬ（eXtensible Markup Language）によるメッセージ通信により、基板処理装置の計測や診断等を行なうためのデータアクセスを可能とし、高い利便性を有するシステムを構築するものである。

このようなシステムにおいて、サーバのパフォーマンス異常が発生した場合、サーバからクライアントへのデータ配信が遅延したり、あるいはサーバからクライアントへのデータ配信が行われなくなっていた。そこで、サーバが該サーバ自身のパフォーマンスを監視し、このパフォーマンスが危険水準に達した場合に、該サーバに対して最後に有効化されたデータ配信プランを自動で停止するものや、有効化されている全てのデータ配信プランを自動停止するものが知られている。
ここで、パフォーマンスとはＣＰＵ負荷率、メモリ使用率、ネットワーク負荷率などを含む。

しかしながら、パフォーマンス異常となった要因が、最後に有効化されたデータ配信プランによるものであるとは限らない。したがって、この最後に有効化されたデータ配信プランを停止したのみでは、パフォーマンスが回復することなくシステム全体がダウンする場合も考えられる。また、最後に有効化されたデータ配信プランを無条件に停止することにより、他のデータ配信プランより重要度の高いデータ配信プランが停止されることも考えられる。

本発明は、上記従来の問題を解消し、サーバのパフォーマンス異常時に複数のデータ配信を最適に管理し、システムの信頼性を維持する基板処理システムを提供することを目的とする。

本発明の第１の特徴とするところは、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する記憶手段と、前記クライアントからのログイン順番を管理する管理手段と、パフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記管理手段により管理されている前記ログイン順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報とに基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止するデータ配信制御手段とを有する基板処理システムにある。

本発明の第２の特徴とするところは、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する記憶手段と、前記クライアントからのデータ取得要求順番を管理する管理手段と、パフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記管理手段により管理されている前記データ取得要求順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報とに基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止するデータ配信制御手段とを有する基板処理システムにある。

本発明の第３の特徴とするところは、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する記憶手段と、前記クライアントからのデータ取得要求順番を管理する管理手段と、パフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記クライアントよりデータ取得要求されたデータの内容に基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止するデータ配信制御手段とを有する基板処理システムにある。

本発明の第４の特徴とするところは、複数のクライアントと、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータと、前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報とを記憶する記憶手段と、前記クライアントからのログイン順番を管理する管理手段と、パフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記管理手段により管理されている前記ログイン順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報とに基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止するデータ配信制御手段とを有するサーバにある。

本発明の第１の基板処理システムのパフォーマンス管理方法は、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、記憶手段により前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する工程と、管理手段により前記クライアントからのログイン順番を管理する工程と、判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する工程と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、データ配信制御手段により前記管理手段により管理されている前記ログイン順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報とに基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止する工程とを有する。

本発明の第２の基板処理システムのパフォーマンス管理方法は、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、記憶手段により前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する工程と、管理手段により前記クライアントからのデータ取得要求順番を管理する工程と、判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する工程と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、データ配信制御手段により前記管理手段により管理されている前記データ取得要求順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報とに基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止する工程とを有する。

本発明の第３の基板処理システムのパフォーマンス管理方法は、少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントとを有する基板処理システムにおいて、前記サーバは、記憶手段により前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報を記憶する工程と、管理手段により前記クライアントからのデータ取得要求順番を管理する工程と、判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常か否かを判定する工程と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、データ配信制御手段により前記クライアントよりデータ取得要求されたデータの内容に基づいて前記クライアントへのデータ配信を停止する工程とを有する。

本発明によれば、サーバのパフォーマンス異常時にデータ配信を最適に管理するので、システムの信頼性を維持することができる。

本発明を実施する最良の形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明に適用される基板処理装置の斜視図として示されている。また、図２は図１に示す基板処理装置の側面透視図である。

図１および図２に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の基板処理装置１００は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。
筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。
ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａおよびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図１に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）および脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図１に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

図１に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側およびボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。
クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５およびウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

次に、本発明の基板処理装置１００の動作について説明する。
図１および図２に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。
搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。
ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体の外部へ払出される。

次に、上述した基板処理装置１００を用いた基板処理システム３００の一例を図３に基づいて説明する。図３に示すように、基板処理システム３００は、ホストコンピュータ３０２、上述した基板処理装置１００、サーバ３０４、サーバ３０６、クライアント３０８（３０８Ａ、３０８Ｂ、３０８Ｃ及び３０８Ｄ）及びＬＡＮ（Local Area Network）などの通信回線３１０（３１０ａ、３１０ｂ及び３１０ｃ）を有する。

サーバ３０４は、通信回線３１０ａを介してホストコンピュータ３０２と接続され、また通信回線３１０ｂを介して基板処理装置１００及びサーバ３０６と接続されている。このサーバ３０４は、ホストコンピュータ３０２からの制御要求を基板処理装置１００に対して送信したり、基板処理装置１００からの種々のモニタデータ等をホストコンピュータ３０２に対して送信する。このサーバ３０４は、例えばＧＥＭ（General Equipment Model）規格に準拠しており、半導体メーカや半導体製造ライン毎により異なるインタフェース（データ形式）の違いに対応し、複数の基板処理装置１００に対して統一したインタフェースを提供する。
ここでＧＥＭ規格とは、基板処理装置とのデータ通信に関する規格であり、ＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）が策定した独自のプロトコルをベースにしてインタフェース（データ形式）を統一するものである。

サーバ３０６は、通信回線３１０ｂを介してサーバ３０４及び基板処理装置１００と接続され、また通信回線３１０ｃを介して各クライアント３０８と接続されている。このサーバ３０６は、主にサーバ３０４や基板処理装置１００より送信される基板処理装置１００に関するデータを該サーバ３０６の記憶部３２０（図４を用いて後述）に収集（記憶）するようになっている。このサーバ３０６は、例えばＥＤＡ（Equipment Data Acquisition）規格に準拠しており、半導体メーカや半導体製造ライン毎により異なるインタフェース（データ形式）の違いに対応し、複数の基板処理装置１００や各クライアント３０８に対して統一したインタフェースを提供する。
ここでＥＤＡ規格とは、基板処理装置とのデータの通信に関する規格であり、Ｗｅｂ技術を用いてインタフェース（データ形式）を統一するものである。

各クライアント３０８は、例えばＰＣ（Personal Computer）からなり、表示手段としてのＣＲＴ３０８ａ及び入力手段としてのキーボード３０８ｂを備えている。また各クライアント３０８は、基板処理装置１００とは個別にサーバ３０６に接続され、該サーバ３０６にログインすることができるようになっている。各クライアント３０８は、サーバ３０８と同様にＥＤＡ規格に準拠している。

次に本発明における基板処理システム３００の各装置間におけるデータの流れについて説明する。
ホストコンピュータ３０２は、サーバ３０４に対して基板処理装置１００のＲＵＮやキャリアの搬入・搬出に関する装置制御データを送信する（図３の矢印ａ）。サーバ３０４は、ホストコンピュータ３０２より受信した装置制御データを基板処理装置１００に送信する（図３の矢印ｂ）。基板処理装置１００は、該基板処理装置１００内部（炉内温度、炉内圧力等）に関するデータ、キャリア搬入・搬出又はＲＵＮ状態の開始・終了に関するイベント報告データ及び障害発生・回復の報告データ等をサーバ３０４に送信する（図３の矢印ｃ）。サーバ３０４は、基板処理装置１００から送信された上記基板処理装置１００に関する各データをホストコンピュータ３０２とサーバ３０６とに送信する（図３の矢印ｄ及び矢印ｅ）。

サーバ３０６は、基板処理装置１００の装置構成モデルに関するデータ（例えばＸＭＬ（eXtensible Markup Language）形式のメタデータ（ＳＥＭＩ規格に準拠））を各クライアント３０８に送信する。またサーバ３０６は、各クライアント３０８により設定されたプランに基づいて、該プランが必要とする基板処理装置１００に関するデータ（例えばＸＭＬ形式のデータ）を各クライアント３０８に配信する（図３の矢印ｆ）。各クライアント３０８は、各プランの設定データ、プランの開始・停止に関する制御データなどをサーバ３０６に送信する（図３の矢印ｇ）。

プラン（ＤＣＰ：Data Collection Plan）とは、名称、トレースデータ（炉内温度や炉内圧力等）の報告間隔、トレース開始・終了のトリガ、イベント要求及び例外要求などが定義されるものである。ここで、イベント要求とはイベントＩＤ（キャリア搬入・搬出イベント、ＲＵＮ開始・停止など）から各クライアント３０８が必要なＩＤのみを定義し、例外要求とは例外ＩＤ（温度異常・圧力異常など）から各クライアント３０８が必要なＩＤのみを定義するものである。
なお、各クライアント３０８は、上述したサーバ３０６から送信される装置構成モデルに関するデータ（メタデータ）により、基板処理装置１００がどのようなＩＤを有するかを検知するようになっている。

なお、基板処理装置１００から該基板処理装置１００に関するデータをサーバ３０６に送信するようにしてもよいし、基板処理装置１００とサーバ３０６とを一体に構成するようにしてもよい。

次に上述したサーバ３０６の機能構成を図４に基づいて説明する。
サーバ３０６は、例えばＣＰＵ、メモリ及びＨＤＤ（Hard Disk Drive）等からなる制御装置３１８を有している。この制御装置３１８は、記憶手段としての記憶部３２０、管理手段としての管理部３２２、判定手段としてのパフォーマンス監視制御部３２４及びデータ配信制御手段としてのデータ配信制御部３２６を有する。

記憶部３２０は、上述した基板処理装置１００に関するデータやクライアント３０８毎に決められているクライアント情報（図７を用いて後述）を記憶するようになっている。管理部３２２は、各クライアント３０８からのログイン順番やプランの有効化要求順番（データ取得要求順番）（図５を用いて後述）を管理するようになっている。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６のパフォーマンスが異常か否かを判定し、判定結果をデータ配信制御部３２６に出力するようになっている。データ配信制御部３２６は、管理部３２２により管理されているログイン順番やプランの有効化要求順番（データ取得要求順番）と記憶部３２０に記憶されているクライアント権限情報とに基づいてクライアント３０８へのデータ配信の開始又は停止を制御するようになっている。

次に本発明のサーバ３０６におけるデータ配信制御の一例を図５に基づいて説明する。
図５に示すように、ステップＳ１０において、所定のクライアント３０８は、サーバ３０６に対して所望のデータを取得するよう設定（データ取得要求が設定）されたプランの有効化要求（Activate Plan Request）を送信する。

ステップＳ１２において、サーバ３０６は、このプランの有効化要求を送信したクライアント３０８に対して許可応答（Active Plan Response）を返信する。サーバ３０６は、別のクライアント３０８がプランの有効化要求を送信すると、該クライアント３０８に対して許可応答を返信する。

サーバ３０６は、パフォーマンス監視制御部３２４によりパフォーマンス異常であると判定される（ステップＳ１４）と、ステップＳ１６において、クライアント３０８に対してパフォーマンス異常通知（Performance Warning Notification)を送信（発行）する。ステップＳ１８において、サーバ３０６は、各クライアント３０８により設定されたプランから、無効化の対象となるプランを選択し、該プランを無効化（Deactivate）する。ステップＳ２０において、サーバ３０６は、無効化されたプランを設定していたクライアント３０８に対してプラン無効化通知（DCP Deactivation Notification）を送信し、一定時間処理待ちする。プラン無効化通知を受信したクライアント３０８は、該プランが無効化されたことを検知する。サーバ３０６のパフォーマンスが回復するまでは、有効化要求されたプランが存在する間、ステップＳ１６からステップＳ２０の処理が繰り返される。このように、サーバ３０６のパフォーマンス異常時に、サーバ３０６により順次プランを無効化するので、サーバ３０６のパフォーマンスが確実に回復し、システムの信頼性を維持することができる。

サーバ３０６は、パフォーマンスの回復を検知する（ステップＳ２２）と、ステップＳ２４において、クライアント３０８に対してパフォーマンス回復通知（Performance Restored Notification）を送信する。これにより、パフォーマンス回復通知を受信したクライアント３０８は、無効化されたプランの有効化要求が可能となったことを検知する。
なお、サーバ３０６側ではプランの再有効化を自動で行わないようになっている。すなわち、該プランの再有効化はクライアント３０８の有効化要求により行われる。

次に本発明のサーバ３０６におけるパフォーマンス監視制御の一例を図６に基づいて説明する。
上述したように、サーバ３０６は、該サーバ３０６自身のパフォーマンスを監視するパフォーマンス監視制御部３２４（図４に示す）を有する。このパフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６のＣＰＵ負荷率、メモリ使用率及びネットワーク負荷率等をパフォーマンス評価の指標とし、該パフォーマンスに関する値（パフォーマンス指標値）が所定のしきい値の範囲内にあるか否かを判定するようになっている。さらに、このパフォーマンス監視制御部３２４は、上記判定結果に基づいて、サーバ３０６のパフォーマンスが正常状態（Normal）、異常検知中の状態、異常状態(Below Threshold）及び異常復旧中の状態のいずれの状態であるかを判定し、各状態において所定の処理を実行するようになっている。

より具体的には、図６に示すように、パフォーマンス監視制御部３２４は、所定のプログラムを起動し、該サーバ３０６のパフォーマンスの監視を開始する（図６の矢印ａ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が正常状態（Normal）中にパフォーマンス異常を検知した場合、すなわちサーバ３０６のパフォーマンス値が所定しきい値の範囲外であると検知した場合、異常検知中の状態と判定し、一定時間経過を待つ（図６の矢印ｂ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が異常検知中においてパフォーマンス異常の解消を検知した場合、正常状態と判定する（図６の矢印ｃ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が異常検知中において一定時間経過した場合、異常状態と判定する（図６の矢印ｄ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６が異常状態である場合にはデータ配信制御部３２６を介してクライアント３０８に対してパフォーマンス異常通知（Performance Warning Notification)を出す。

また、パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が異常状態中においてパフォーマンス異常の解消を検知した場合、すなわちサーバ３０６のパフォーマンス値が所定しきい値の範囲内であると検知した場合、異常復旧中の状態と判定し、一定時間経過を待つ（図６の矢印ｅ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が異常復旧中においてパフォーマンス異常を検知した場合、再度異常状態と判定する（図６の矢印ｆ）。パフォーマンス監視制御部３２４は、サーバ３０６の状態が異常復旧中において一定時間経過した場合、クライアント３０８へパフォーマンス回復通知（Performance Restored Notification)を出し、正常状態と判定する（図６の矢印ｇ）。

次に本発明の各クライアント３０８の優先度管理について図７に基づいて説明する。
図７（ａ）に示すように、権限情報リスト(Privilege List）３１２は、サーバ３０６の記憶部３２０に記憶（格納）され、データ配信制御部３２６により管理される。この権限情報リスト３１２には、例えば管理者（Administrator）、全プラン管理者（Manage Any-DCP）、全プラン使用者（Use any-DCP）及び自プラン管理者（Manage Authored DCPs）など複数の権限情報が登録されている。これら権限情報には優先度が設定されており、例えば本実施形態においては、優先度の高い順より、管理者、全プラン管理者、全プラン使用者、自プラン管理者の順となっている。
なお、上述した権限情報以外にも複数の権限情報を設定することができる。

図７（ｂ）に示すように、アクセス制御リスト（ＡＣＬ：Access Control List）３１４は、優先度情報として用いられるクライアント権限情報のリストであり、サーバ３０６の記憶部３２０に記憶（格納）され、データ配信制御部３２６により管理される。このアクセス制御リスト３１４には、各クライアント３０８と権限情報とが対応付けられた複数のクライアント権限情報が登録されている。例えば、クライアント３０８Ａ及び３０８Ｂには全プラン管理者権限が対応付けられ、クライアント３０８Ｃには全プラン使用者権限が対応付けられ、クライアント３０８Ｄには自プラン管理者権限が対応付けられている。
なお、このアクセス制御リスト３１４は、上述した管理者（Administrator）権限を有するクライアント３０８のみが編集可能となっている。

次に本発明のサーバ３０６における有効化要求されたプランの優先度管理について図８及び図９に基づいて説明する。
アクティブプランリスト(Active Plan List）３１６は、各クライアント３０８により有効化要求されたプランの優先度管理に用いられ、サーバ３０６の記憶部３２０に記憶（格納）され、データ配信制御部３２６により管理される。このアクティブプランリスト３１６には、各クライアント３０８により設定（有効化要求）された複数のプランが登録されている。図８に示すように、サーバ３０６のデータ配信制御部３２６は、これら複数のプラン（例えば図８のプラン−Ａ、プラン−Ｂ、プラン−Ｃ及びプラン−Ｄ）を、各クライアント情報（例えば有効化要求を行ったクライアント名称）と共にクライアント権限情報毎に管理している。また、データ配信制御部３２６は、これら複数のプランを各クライアント３０８によりログインされた順番（又は有効化要求がされた順番）で管理している。このように、サーバ３０６の記憶部３２０に登録されたプランの優先度は、データ配信制御部３２６により、各クライアント権限情報と、ログイン順番（有効化要求された順番）とに基づいて管理される。したがって、各プランは、このプランの優先度に基づいて順次有効化され、順次各クライアント３０８に対してサーバ３０６の記憶部３２０より所定のデータが配信される。
なお、クライアント権限情報における優先度が同一の場合には、各プランはログイン順番（有効化要求された順番）に基づいて有効化される。

一方、図９に示すように、パフォーマンス監視制御部３２４によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定されると、データ配信制御部３２６は、例えば優先度の低いクライアント３０８Ｄにより有効化要求されたプラン−Ｄを優先度の高いクライアント３０８Ａにより有効化要求されたプラン−Ａの前に移動（変更）し、優先度の低いクライアント３０８のプランを無効化する。このように、サーバ３０６は、パフォーマンス監視制御の結果が異常と判定されると、ログイン順番（有効化要求された順番）とクライアント権限情報（優先度情報）とに基づいてクライアント３０８へのデータ配信を停止するようになっている。これにより、パフォーマンス異常を検知した場合においても、重要なデータ収集するためのプラン（例えば基板処理装置１００の稼動状態、炉内温度及び炉内圧力等をモニタリングするためのプラン）を設定したクライアント３０８に対してデータ配信を持続させることができる。したがって、システムの信頼性を維持することができる。

なお、データ配信制御部３２６は、有効化要求（データ取得要求）されたデータの内容に従ってクライアント３０８へのデータ配信を停止するようにしてもよい。より具体的には、データ配信制御部３２６は、各クライアント３０８によりデータ取得要求されたデータの内容に関する重要度を判定し、重要度の低いデータを要求するクライアント３０８へのデータ配信を停止するようにしてもよい。例えば基板処理装置１００の稼動データ、炉内温度データ及び炉内圧力データ等は、重要度の高いデータと判定し、データ配信を維持させるようにしてもよいし、例えばサーバ３０８のＣＰＵ、メモリ等の使用率の高い（容量の多い）データから優先的にデータ配信を停止するようにしてもよい。

次に本発明のサーバ３０６によるパフォーマンス異常時における無効化対象プラン選択制御の一例を図１０に基づいて説明する。
図１０に示すように、サーバ３０６は、該サーバ３０６のパフォーマンス異常を検知した場合、パフォーマンス異常の回復待ち状態に移行し、無効化の対象となる有効化要求されたプランを検索する。続いて、サーバ３０６は、無効化対象プランが存在する場合、クライアント３０８に対してプラン無効化通知（DCP Deactivation Notification）を出し、該プランを無効化する（図１０の矢印ａ）。

サーバ３０６は、パフォーマンス異常回復待ち状態において一定時間経過した場合、すなわち無効化対象プラン検索タイマ（図示省略）がタイムアップとなった場合に、次の無効化の対象となる有効化要求されたプランを検索する。サーバ３０６は、無効化対象プランが存在する場合、クライアント３０８に対してプラン無効化通知（DCP Deactivation Notification）を出し、該プランを無効化する（図１０の矢印ｂ）。サーバ３０６は、パフォーマンス異常回復待ち状態においてパフォーマンス異常の解消を検知した場合、正常状態に移行する（図１０の矢印ｃ）。

なお、本発明は、基板処理装置として、半導体製造装置だけでなくＬＣＤ装置のようなガラス基板を処理する装置でも適用することができる。また、半導体製造装置は、枚葉装置や縦型装置だけでなく横型装置にも適用することができる。要するに、上記装置に限定することなく、操作端末にて入力指示をすることにより基板（半導体基板、ガラス基板等）処理を行なう装置であればよい。更に、炉内の処理には何等関係なく、ＣＶＤ、酸化処理、拡散処理、アニール処理でも適用することができる。

本発明は、サーバのパフォーマンス異常時に複数のデータ配信を適切に管理し、システムの信頼性を維持する必要がある基板処理システムに利用することができる。

本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置を示す透視側面図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムの構成を示す模式図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムのサーバの機能構成を示すブロック図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムのサーバにおけるデータ配信制御の一例を説明するラダー図である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムにおけるパフォーマンス監視制御を説明する図であり、（ａ）はサーバの状態遷移図、（ｂ）は（ａ）の状態遷移を説明する表である。 本発明の実施形態に係る基板処理システムにおけるクライアントの優先度管理を説明する図であり、（ａ）は権限情報リスト、（ｂ）はアクセス制御リストである。 本発明の実施形態に係るサーバにおけるプランの優先度管理に用いられるアクティブプランリストを説明する図である。 本発明の実施形態に係るサーバにおけるプランの優先度管理に用いられるアクティブプランリストを説明する図である。 本発明の実施形態に係るサーバにおける無効化対象プランの選択制御を説明する図であり、（ａ）はサーバの状態遷移図、（ｂ）は（ａ）の状態遷移を説明する表である。

符号の説明

１００ 基板処理装置
３００ 基板処理システム
３０６ サーバ
３０８ クライアント
３２０ 記憶部
３２２ 管理部
３２４ パフォーマンス監視制御部
３２６ データ配信制御部

Claims (3)

1. 少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバと、
   前記基板処理装置とは個別に接続され前記サーバにログインすることが可能な複数のクライアントと、
   を有する基板処理システムにおいて、
   前記サーバは、前記クライアント毎に決められているクライアント権限情報における優先度を記憶する記憶手段と、前記クライアントからのログイン順番を管理する管理手段と、前記サーバのパフォーマンス監視制御の結果が正常状態（Normal）、異常検知中の状態、異常状態（Below Threshold）及び異常復旧中の状態のいずれの状態であるかを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記管理手段により管理されている前記ログイン順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報における優先度とに基づいて、優先度の高いクライアント権限のプランを有効化し、クライアント権限の低いプランを無効化し、異常検知中の状態、異常状態、異常復旧中の状態の各状態で所定の処理を行うデータ配信制御手段と、を有することを特徴とする基板処理システム。
2. 少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバであって、
   前記サーバにログイン可能なクライアント毎に決められているクライアント権限情報における優先度を記憶する記憶手段と、前記クライアントからのログイン順番を管理する管理手段と、前記サーバのパフォーマンス監視制御の結果が正常状態、異常検知中の状態、異常状態及び異常復旧中の状態のいずれの状態であるかを判定する判定手段と、この判定手段によりパフォーマンス監視制御の結果が異常と判定した場合、前記管理手段により管理されている前記ログイン順番と前記記憶手段に記憶されている前記クライアント権限情報における優先度とに基づいて、優先度の高いクライアント権限のプランを有効化し、クライアント権限の低いプランを無効化し、異常検知中の状態、異常状態、異常復旧中の状態の各状態で所定の処理を行うデータ配信制御手段と、を有するサーバ。
3. 少なくとも一台の基板処理装置から送信されるデータを格納するサーバにおいて、
   前記サーバにログイン可能なクライアント毎に決められているクライアント権限情報における優先度を記憶し、前記クライアントからのログイン順番を管理し、前記サーバのパフォーマンス監視制御の結果が正常状態、異常検知中の状態、異常状態及び異常復旧中の状態のいずれの状態であるかを判定し、前記パフォーマンス監視制御の結果が異常と判定された場合、前記管理されている前記ログイン順番と前記記憶されている前記クライアント権限情報における優先度とに基づいて、優先度の高いクライアント権限のプランを有効化し、クライアント権限の低いプランを無効化し、異常検知中の状態、異常状態、異常復旧中の状態の各状態で所定の処理を行う、データ処理方法。

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