JP7034646B2 - 異常検知装置、及び異常検知方法 - Google Patents
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Description
ある実施形態において、前記第1処理工程で供給される薬液と、前記第2処理工程で供給される薬液とは異なる。
ある実施形態において、前記第1処理工程で供給される薬液と、前記第2処理工程で供給される薬液とは異なる。
図1は、本実施形態に係る異常検知システム100を示す図である。図1に示すように、異常検知システム100は、基板処理装置101、及び操作装置102を備える。
続いて図3~図10を参照して本発明の実施形態2について説明する。但し、実施形態1と異なる事項を説明し、実施形態1と同じ事項についての説明は割愛する。実施形態2は、基板処理装置101が複数のチャンバーを備える点で実施形態1と異なる。実施形態2に係る基板処理装置101は、各チャンバー内で異なる洗浄処理プロセスを実行する。
2 SC1供給機構
3 SC2供給機構
4 HF供給機構
5 SPM供給機構
6 リンス液供給機構
7 チャンバー
100 異常検知システム
101 基板処理装置
102 操作装置
111 第1洗浄処理プロセス
112 第2洗浄処理プロセス
113 第3洗浄処理プロセス
114 第4洗浄処理プロセス
115 第5洗浄処理プロセス
121 表示部
122 入力部
123 記憶部
124 制御部
W 基板
Claims (24)
- 基板に対して所定の処理プロセスを実行する基板処理装置の異常を検知する異常検知装置であって、
複数の監視対象から得られる変動値の統計的な基準範囲を記憶する記憶部と、
前記複数の監視対象から前記変動値を取得し、前記基準範囲に基づいて、取得した前記変動値の統計的な異常度を算出する制御部と
を備え、
前記所定の処理プロセスは、第1処理工程と、前記第1処理工程とは異なる第2処理工程とを含み、
前記複数の監視対象は、前記第1処理工程の実行時に監視される第1監視対象と、前記第2処理工程の実行時に監視される第2監視対象とを含み、
前記第2監視対象は、前記第1監視対象と異なり、
前記基準範囲は、前記所定の処理プロセスの基準範囲であり、
前記制御部は、前記所定の処理プロセスの異常度を算出し、
前記制御部は、前記異常度を参照して、前記所定の処理プロセスの実行の可否を判定する、異常検知装置。 - 前記第1処理工程で供給される薬液と、前記第2処理工程で供給される薬液とは異なる、請求項1に記載の異常検知装置。
- 前記記憶部は、前記異常度に対する閾値を記憶する、請求項1又は請求項2に記載の異常検知装置。
- 前記制御部は、前記異常度が前記閾値を超えるか否かにより、前記所定の処理プロセスの実行の可否を判定する、請求項3に記載の異常検知装置。
- 作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、複数の閾値のうちの1つを選択する指示を受け付け、
前記記憶部は、選択された前記閾値を記憶する、請求項3又は請求項4に記載の異常検知装置。 - 前記基板処理装置は、複数の処理プロセスを実行可能であり、
前記記憶部は、前記処理プロセスごとに前記基準範囲を記憶し、
前記制御部は、前記複数の処理プロセスの各々の前記異常度を算出し、前記複数の処理プロセスのそれぞれの実行の可否を判定する、請求項1又は請求項2に記載の異常検知装置。 - 前記監視対象が前記処理プロセスごとに異なる、請求項6に記載の異常検知装置。
- 前記記憶部は、前記処理プロセスごとに、前記異常度に対する閾値を記憶する、請求項6又は請求項7に記載の異常検知装置。
- 前記制御部は、前記複数の処理プロセスのそれぞれの前記異常度が、対応する前記閾値を超えるか否かにより、前記複数の処理プロセスのそれぞれの実行の可否を判定する、請求項8に記載の異常検知装置。
- 作業者が操作する入力部を備え、
前記入力部は、前記処理プロセスごとに、複数の閾値のうちの1つを選択する指示を受け付け、
前記記憶部は、選択された前記閾値を記憶する、請求項8又は請求項9に記載の異常検知装置。 - 前記制御部は、異常検知法又は外れ値検知法に基づいて前記異常度を算出する、請求項1から請求項10のいずれか1項に記載の異常検知装置。
- 前記記憶部は、前記基準範囲として単位空間を記憶し、
前記制御部は、前記異常度としてマハラノビス距離を算出する、請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の異常検知装置。 - 基板に対して所定の処理プロセスを実行する基板処理装置の異常を検知する異常検知方法であって、
複数の監視対象から得られる変動値の統計的な基準範囲を取得する基準範囲取得工程と、
前記複数の監視対象から前記変動値を取得し、前記基準範囲に基づいて、取得した前記変動値の統計的な異常度を算出する異常度算出工程と、
前記異常度を参照して、前記所定の処理プロセスの実行の可否を判定する異常判定工程と
を包含し、
前記所定の処理プロセスは、第1処理工程と、前記第1処理工程とは異なる第2処理工程とを含み、
前記複数の監視対象は、前記第1処理工程の実行時に監視される第1監視対象と、前記第2処理工程の実行時に監視される第2監視対象とを含み、
前記第2監視対象は、前記第1監視対象と異なり、
前記基準範囲は、前記所定の処理プロセスの基準範囲であり、
前記異常度算出工程において、前記所定の処理プロセスの異常度を算出する、異常検知方法。 - 前記第1処理工程で供給される薬液と、前記第2処理工程で供給される薬液とは異なる、請求項13に記載の異常検知方法。
- 前記異常度に対する閾値を設定する閾値設定工程を更に包含する、請求項13又は請求項14に記載の異常検知方法。
- 前記異常判定工程において、前記異常度が前記閾値を超えるか否かにより、前記所定の処理プロセスの実行の可否を判定する、請求項15に記載の異常検知方法。
- 前記閾値設定工程において、複数の閾値のうちから選択された閾値が設定される、請求項15又は請求項16に記載の異常検知方法。
- 前記基板処理装置は、複数の処理プロセスを実行可能であり、
前記基準範囲取得工程において、前記処理プロセスごとに前記基準範囲を取得し、
前記異常度算出工程において、前記複数の処理プロセスのうち、前記基板処理装置により実行中の前記処理プロセスの前記異常度を算出し、
前記異常判定工程において、前記複数の処理プロセスのうち、前記基板処理装置により実行中の前記処理プロセスの実行の可否を判定する、請求項13又は請求項14に記載の異常検知方法。 - 前記監視対象が前記処理プロセスごとに異なる、請求項18に記載の異常検知方法。
- 前記処理プロセスごとに、前記異常度に対する閾値を設定する閾値設定工程を更に包含する、請求項18又は請求項19に記載の異常検知方法。
- 前記異常判定工程において、前記基板処理装置により実行中の前記処理プロセスの前記異常度が、対応する前記閾値を超えるか否かにより、前記基板処理装置により実行中の前記処理プロセスの実行の可否を判定する、請求項20に記載の異常検知方法。
- 前記閾値設定工程において、前記処理プロセスごとに、複数の閾値のうちから選択された閾値が設定される、請求項20又は請求項21に記載の異常検知方法。
- 前記異常度算出工程において、異常検知法又は外れ値検知法に基づいて前記異常度を算出する、請求項13から請求項22のいずれか1項に記載の異常検知方法。
- 前記基準範囲取得工程において、前記基準範囲として単位空間を取得し、
前記異常度算出工程において、前記異常度としてマハラノビス距離を算出する、請求項13から請求項23のいずれか1項に記載の異常検知方法。
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