JP2011181666A - 半導体製造における装置異常の予兆検知方法およびシステム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェハ製造工程で使用される製造装置に接続したセンサから定期的に取得した装置ログ情報のうちの検知対象区間に、故障に繋がる予兆が含まれているかを判定する方法において、装置ログ情報、メンテナンス履歴情報、着工履歴情報を収集し、予め設定しておいたイベント定義情報を用いてイベント発生時刻情報を設定し、これらの情報から検知対象区間を算出し、そして、検知対象区間情報と装置ログ情報とから検知対象区間データを取得して統計処理し、検知対象統計処理加工データに装置故障の予兆が含まれているかを判定することで、検知対象区間のデータのみを対象に予兆検知を行う。
【選択図】図1
Description
「装置ログ名、しきい値、装置ログ値としきい値が交差や接する動作を指定した動作タイプからなるイベント成立条件情報」と、「イベント発生順序と処理区間の始点と処理区間の終点とを対応付けたイベント区間対応情報」と、「始点と終点の間に挟まれるデータを検知対象区間とするか、始点以降のデータを検知対象区間とするかを設定した検知対象区間タイプ情報」とを入力するための入力手段と、
「装置ログ情報、メンテナンス履歴情報、着工履歴情報のうち、少なくとも1つ以上の情報」と、「前記イベント成立条件情報」とを用いて、「所定の運転状態の開始/終了前に実施するデータ推移の変化」と、「着工履歴情報の記録」と、「メンテナンス履歴情報の記録」とのイベントのうち少なくとも1つ以上のイベントの発生時刻を特定し、前記イベントの発生時刻と前記イベント区間対応情報と前記検知対象区間タイプ情報とから、所定の運転状態の開始/終了を自動で判定する処理を行い、所定の運転状態であった検知対象区間を特定する検知対象区間抽出手段と、
前記検知対象区間における装置ログとしきい値とを用いて、予兆となる変動の有無を判定した予兆判定結果を生成する予兆判定手段と、
前記予兆判定結果を出力する出力手段と、を持つことを特徴とする。
「対象装置の装置ログ名からなる装置ログ情報」と、「対象装置のメンテナンス作業内容とメンテナンス作業開始時刻とメンテナンス作業終了時刻とからなるメンテナンス履歴情報」と、「対象装置の着工レシピと着工開始時刻と着工終了時刻とからなる着工履歴情報」とを取得する装置ログ情報・メンテナンス履歴情報・着工履歴情報収集ステップと、
「前記装置ログ名」と「しきい値」と「前記装置ログ名の装置ログ値が交差や接する動作を指定した動作タイプ」とからなる予め設定しておいたイベント定義情報を用いて、「前記装置ログ情報が前記しきい値と交差する時刻」と、「前記メンテナンス履歴情報」と、「前記着工履歴情報」とのうちの少なくとも1つ以上を組み合せて、イベント発生時刻情報として設定するイベント設定ステップと、
「前記イベント発生時刻情報」と、「予め設定しておいたイベント発生順序と処理区間の始点と処理区間の終点とを対応付けたイベント発生順序情報」と、「前記イベント発生時刻情報」とから検知対象区間情報を生成する検知対象区間算出ステップと、
前記検知対象区間情報と前記装置ログ情報とから検知対象区間データを取得する検知対象区間データ取得ステップと、
前記検知対象区間データを統計処理し、検知対象統計処理加工データを生成する統計処理ステップと、
前記検知対象統計処理加工データに装置故障の予兆が含まれているかを判定する予兆判定ステップと、を有することを特徴とする。
図2により、本発明の一実施の形態による半導体デバイスの製造方法の一例を説明する。図2は、本実施の形態による半導体デバイスの製造方法の一例を示した図である。
図1および図3〜図8により、本発明の一実施の形態による半導体製造における装置異常の予兆検知方法の一例について説明する。図1は、本実施の形態による予兆検知方法の一例を示した図である。図3は、イベント成立条件情報の一例を示した図である。図4は、イベント区間対応情報の一例を示した図である。図5は、検知対象区間タイプ別の検知対象区間の一例を示した図である。図6は、予兆検知処理フローの一例を示した図である。図7は、イベント設定処理フローの一例を示した図である。図8は、検知対象区間の探索フローの一例を示した図である。
場合2:入力データが始点のみを含んでいる(A≦a≦B≦b)
場合3:入力データが、始点と終点に挟まれている(a≦A≦B≦b)
場合4:入力データが終点のみを含んでいる(a≦A≦b≦B)
場合5:入力データと検知対象区間の共通部分なし(a≦b≦A≦B)
このうち、場合5は、検知対象区間と入力データの範囲に共通部分がないため、説明を省略する。
図9および図10により、本発明の一実施の形態による半導体製造における装置異常の予兆検知システムの一例について説明する。図9は、本実施の形態による予兆検知システムの一例を示した図である。図10は、検知条件設定を行うための画面の一例を示した図である。
本実施の形態によれば、データロガー903、メイン部905、検知処理部906、検知対象区間決定部907、データベース部908などを有する予兆検知システムにおいて、装置ログ情報・メンテナンス履歴情報・着工履歴情報収集ステップ(601〜604)、イベント設定ステップ(6051)、検知対象区間算出ステップ(6052)、検知対象区間データ取得ステップ(606)、統計処理ステップ(607)、予兆判定ステップ(608、609)などを有する予兆検知方法を実行することで、半導体ウェハ製造工程で使用される製造装置に接続したデータロガーから定期的に取得した装置ログ情報のうちの検知対象区間に、故障に繋がる予兆が含まれているかを判定することができる。
701…メンテナンス履歴情報判定ステップ、702…メンテナンス履歴情報によるイベント設定ステップ、703…着工履歴情報判定ステップ、704…着工履歴情報によるイベント設定ステップ、705…装置ログ情報判定ステップ、706…装置ログ情報の挙動によるイベント設定ステップ、
801…探索対象イベント、始点/終点情報選択ステップ、802…時刻を進めるステップ、803…イベント有無判定ステップ、804…探索中の端点判定ステップ、805…始点条件判定ステップ、806…始点設定ステップ、807…終点条件判定ステップ、808…終点設定ステップ、809…終了条件判定ステップ、810…検知対象区間タイプ判定ステップ、811…終点設定ステップ、812…検知対象区間フラグの更新ステップ、
901…製造装置群、902…製造装置、903…データロガー、904…PLC、905…メイン部、906…検知処理部、907…検知対象区間決定部、908…データベース部、909…装置ログ情報データベース、910…着工履歴情報データベース、911…検知条件情報データベース、912…メンテナンス履歴情報データベース、913…検知結果データベース、914…端末部、915…端末。
Claims (4)
- 半導体ウェハ製造工程で使用される製造装置に接続したセンサから定期的に取得した装置ログ情報のうちの検知対象区間に、故障に繋がる予兆が含まれているかを判定する方法であって、
対象装置の装置ログ名からなる装置ログ情報と、対象装置のメンテナンス作業内容とメンテナンス作業開始時刻とメンテナンス作業終了時刻とからなるメンテナンス履歴情報と、対象装置の着工レシピと着工開始時刻と着工終了時刻とからなる着工履歴情報とを取得する装置ログ情報・メンテナンス履歴情報・着工履歴情報収集ステップと、
前記装置ログ名としきい値と前記装置ログ名の装置ログ値が交差や接する動作を指定した動作タイプとからなる予め設定しておいたイベント定義情報を用いて、前記装置ログ情報が前記しきい値と交差する時刻と、前記メンテナンス履歴情報と、前記着工履歴情報とのうちの少なくとも1つ以上を組み合せて、イベント発生時刻情報として設定するイベント設定ステップと、
前記イベント発生時刻情報と、予め設定しておいたイベント発生順序と処理区間の始点と処理区間の終点とを対応付けたイベント発生順序情報と、前記イベント発生時刻情報とから検知対象区間情報を生成する検知対象区間算出ステップと、
前記検知対象区間情報と前記装置ログ情報とから検知対象区間データを取得する検知対象区間データ取得ステップと、
前記検知対象区間データを統計処理し、検知対象統計処理加工データを生成する統計処理ステップと、
前記検知対象統計処理加工データに装置故障の予兆が含まれているかを判定する予兆判定ステップと、を有することを特徴とする半導体製造における装置異常の予兆検知方法。 - 請求項1記載の半導体製造における装置異常の予兆検知方法において、
前記検知対象区間算出ステップにおいては、前記イベント発生時刻情報と、予め設定しておいたイベント発生順序と処理区間の始点と処理区間の終点とを対応付けたイベント発生順序情報と、前回の検知処理時における装置ログ情報のうち最新時刻のデータの検知対象判定情報と、前記イベント発生時刻情報とから検知対象区間情報を生成することを特徴とする半導体製造における装置異常の予兆検知方法。 - 請求項1記載の半導体製造における装置異常の予兆検知方法において、
前記装置ログ情報・メンテナンス履歴情報・着工履歴情報収集ステップにおいては、取得する前記装置ログ情報は、過去の運転駆動に関わる情報と、製造装置の処理室の内部状態に関わる情報とのうち、少なくとも1つを含むことを特徴とする半導体製造における装置異常の予兆検知方法。 - 半導体ウェハ製造工程で使用される製造装置に接続したセンサから定期的に取得した装置ログ情報のうちの検知対象区間に、故障に繋がる予兆が含まれているかを判定するシステムであって、
1つ以上の種類の製造装置に接続した着脱可能な複数のセンサで構成するセンサ部と、
過去に取得した装置データと、製造装置の運転情報と、製造装置のメンテナンス履歴情報と、装置ごとに請求項1記載のイベント定義情報とイベント発生順序情報と検知対象判定情報とを保存したデータベース部と、
装置データに故障につながる予兆が含まれているかどうかを判定する検知部と、
予兆判定結果をエンジニアに対して、予兆発生を通知、また、エンジニアが検知に必要なイベントを判定するためのしきい値と、区間の始点を判定するためのイベントの発生順序情報と、区間の終点を判定するためのイベントの発生順序情報と始点と終点に挟まれたデータのみを検知対象とするか、始点以降のデータを全て検知対象とするかについての情報とを入力可能なインターフェース部と、を有することを特徴とする半導体製造における装置異常の予兆検知システム。
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