WO2013094400A1 - 基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法 - Google Patents

基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法 Download PDF

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WO2013094400A1
WO2013094400A1 PCT/JP2012/081471 JP2012081471W WO2013094400A1 WO 2013094400 A1 WO2013094400 A1 WO 2013094400A1 JP 2012081471 W JP2012081471 W JP 2012081471W WO 2013094400 A1 WO2013094400 A1 WO 2013094400A1
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WO
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monitor data
data
unit
storage unit
monitor
Prior art date
Application number
PCT/JP2012/081471
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English (en)
French (fr)
Inventor
小山　良崇
岩倉　裕幸
Original Assignee
株式会社日立国際電気
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Publication date
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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0208—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the configuration of the monitoring system
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
    • G05B23/02—Electric testing or monitoring
    • G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
    • G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
    • G05B23/0264—Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
    • G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
    • G06F11/30—Monitoring
    • G06F11/3003—Monitoring arrangements specially adapted to the computing system or computing system component being monitored
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B2219/00—Program-control systems
    • G05B2219/20—Pc systems
    • G05B2219/26—Pc applications
    • G05B2219/2602—Wafer processing

Definitions

  • the present invention relates to a substrate processing system for collecting and storing various monitor data output from a substrate processing apparatus for processing a substrate such as a semiconductor wafer, for example, monitor data such as a processing temperature and a pressure in a processing chamber, and a monitor data collecting system. Is.
  • FIG. 1 is a perspective view of a semiconductor device manufacturing apparatus (semiconductor manufacturing apparatus) as a substrate processing apparatus.
  • the substrate processing apparatus shown in FIG. 1 has a load port 114 for loading / unloading a pod 110, which is a substrate container for accommodating a plurality of wafers (substrates), a pod opener 121 for attaching / detaching a cap of the pod 110, and a pod 110 temporarily.
  • a boat elevator 115, each component of the substrate processing apparatus such as a storage unit (not shown), and a control unit (not shown) that controls each component are provided.Then, the control unit executes wafer processing such as heat treatment based on the process recipe stored in the storage unit.
  • sensor information such as a temperature measurement value and a pressure value in the heat treatment furnace 202 and a process gas supply pipe that supplies a process gas into the heat treatment furnace 202 are provided.
  • Monitor information such as actuator information such as the opening / closing operation status of the open / close valve is collected by the monitor information collection unit arranged in the substrate processing apparatus every moment or periodically, and the collected information is outside the substrate processing apparatus. Transmit to a higher-order monitor data analysis system, record and store in a database composed of a non-volatile storage medium such as an HDD (hard disk device) in the host system, and perform failure analysis and board when a failure occurs Used for data analysis of processed data.
  • HDD hard disk device
  • an increase in the number of sensors for collecting monitor data and an increase in the data collection sampling period of the sensor for example, the sampling period is increased from 1 Hz to 10 Hz or 100 Hz. Yes.
  • the amount of monitor data increases with an increase in the number of sensors for collecting monitor data and an increase in the data collection sampling period of the sensors.
  • the host system cannot flexibly cope with the control software of the host system. It took a lot of work, such as changes.
  • the object of the present invention is, for example, even if the amount of monitor data increases with an increase in the number of sensors for collecting monitor data or an increase in the sensor data collection sampling period, for example, without requiring a change in the control software of the host system.
  • Another object of the present invention is to provide a flexible substrate processing system or monitor data collection / accumulation system that can cope with the increase in the amount of monitor data and prevent data accumulation omission and system down.
  • a typical configuration of the substrate processing system of the present invention for solving the above-described problems is as follows. That is, A substrate processing apparatus for processing a substrate, a monitor data receiving unit for receiving a plurality of types of monitor data output from the substrate processing apparatus, and a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit are periodically stored.
  • Monitor data for detecting, as a monitor data rate, the total number of times that each of a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit has changed more than a predetermined change amount within a predetermined first time
  • a predetermined second time based on a rate detection unit, a data write upper limit value that is a monitor data amount that the temporary storage unit can store in one cycle, and a monitor data rate detected by the monitor data rate detection unit
  • the number of times each type of monitor data for one cycle is written to the temporary storage unit is assigned to each type of monitor data.
  • a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit based on the number of times allocated by the monitor data write allocating unit in the temporary storage unit within the second time period.
  • a monitor data writing unit ; an accumulation storage unit in which monitor data periodically written in the temporary storage unit is accumulated and stored for a plurality of cycles; and monitor data written in the temporary storage unit
  • a substrate processing system comprising: an accumulated data writing unit that reads out data every third time and writes the accumulated data in the accumulation storage unit.
  • 1 is a perspective view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • 1 is a vertical sectional view of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.
  • It is a structural example of the functional block diagram of the substrate processing apparatus which concerns on embodiment of this invention.
  • It is a functional block diagram of the data collection accumulation
  • It is a ticket distribution table in the 1st example of an embodiment of the present invention.
  • It is a ticket distribution table in 3rd Example of embodiment of this invention.
  • the substrate processing apparatus is configured as a semiconductor manufacturing apparatus that performs processing steps in a method of manufacturing a semiconductor device (IC: IntegratedIntegrCircuit).
  • IC IntegratedIntegrCircuit
  • a batch type vertical semiconductor manufacturing apparatus hereinafter simply referred to as a processing apparatus
  • CVD Chemical Vapor Deposition
  • FIG. 1 is a perspective view of a processing apparatus to which the present invention is applied, and is shown as a perspective view.
  • FIG. 2 is a side perspective view of the processing apparatus shown in FIG.
  • the processing apparatus 100 of this embodiment uses a pod 110 as a wafer carrier for storing a wafer (substrate) 200 made of silicon or the like, and includes a casing 111.
  • a pod loading / unloading port 112 is opened on the front wall 111a of the casing 111 so as to communicate with the inside and outside of the casing 111.
  • the pod loading / unloading port 112 is opened and closed by a front shutter 113.
  • a load port 114 is installed on the front front side of the pod loading / unloading port 112, and the pod 110 is placed on the load port 114.
  • the pod 110 is loaded onto the load port 114 by an in-process conveyance device (not shown), and also unloaded from the load port 114.
  • a rotating shelf 105 is installed at an upper portion of the casing 111 in a substantially central portion in the front-rear direction.
  • the rotating shelf 105 rotates around a support column 116 and stores a plurality of pods 110 on a shelf plate 117.
  • a pod transfer device 118 is installed between the load port 114 and the rotating shelf 105 in the casing 111.
  • the pod transfer device 118 includes a pod elevator 118 a that can move up and down while holding the pod 110, and a pod transfer mechanism 118 b as a horizontal transfer mechanism. Between the load port 114, the rotating shelf 105, and the pod opener 121. Then, the pod 110 is conveyed.
  • a sub-housing 119 is constructed across the rear end at a lower portion of the housing 111 at a substantially central portion in the front-rear direction.
  • a pair of wafer loading / unloading ports 120 for loading / unloading the wafer 200 into / from the sub housing 119 are arranged in two vertical rows in the vertical direction.
  • a pair of pod openers 121 and 121 are installed at the wafer loading / unloading ports 120 and 120 at the upper and lower stages, respectively.
  • the pod opener 121 includes mounting bases 122 and 122 for mounting the pod 110 and cap attaching / detaching mechanisms 123 and 123 for attaching and detaching caps (lids) of the pod 110.
  • the pod opener 121 opens and closes the wafer loading / unloading port of the pod 110 by attaching / detaching the cap of the pod 110 mounted on the mounting table 122 by the cap attaching / detaching mechanism 123.
  • the mounting table 122 is a transfer shelf on which a substrate container is mounted when a substrate is transferred.
  • the sub-housing 119 constitutes a transfer chamber 124 that is isolated from the atmosphere of the installation space of the pod transfer device 118 and the rotating shelf 105.
  • a wafer transfer mechanism 125 is installed in the front region of the transfer chamber 124.
  • the wafer transfer mechanism 125 includes a wafer transfer device 125a that can place the wafer 200 on the tweezer 125c and can rotate or move in the horizontal direction, and a wafer transfer device elevator 125b for moving the wafer transfer device 125a up and down. It consists of The wafers 200 are loaded and unloaded from the boat 217 by the continuous operation of the wafer transfer device elevator 125b and the wafer transfer device 125a.
  • a clean unit 134 composed of a supply fan and a dustproof filter is installed in the transfer chamber 124 so as to supply a clean atmosphere 133 which is a cleaned atmosphere or an inert gas.
  • a processing furnace 202 is provided above the boat 217.
  • the processing furnace 202 includes a substrate processing chamber (not shown) inside, and a heater (not shown) that heats the substrate processing chamber around the substrate processing chamber.
  • the lower end portion of the processing furnace 202 is opened and closed by a furnace port gate valve 147.
  • a boat elevator 115 for raising and lowering the boat 217 is installed.
  • a seal cap 219 is horizontally installed on the arm 128 connected to the boat elevator 115, and the seal cap 219 is configured to support the boat 217 vertically and to close the lower end portion of the processing furnace 202.
  • the boat 217 includes a plurality of holding members, and holds a plurality of (for example, about 50 to 125) wafers 200 horizontally, with their centers aligned and vertically aligned. It is configured as follows.
  • the pod loading / unloading port 112 is opened by the front shutter 113 and is loaded from the pod loading / unloading port 112.
  • the pod 110 carried in is automatically conveyed and delivered to the designated shelf plate 117 of the rotating shelf 105 by the pod conveying device 118.
  • the pod 110 is transferred from the shelf 117 to one pod opener 121 and transferred to the mounting table 122, or directly from the load port 114 to the pod opener 121. It is transported and transferred to the mounting table 122. At this time, the wafer loading / unloading port 120 of the pod opener 121 is closed by the cap attaching / detaching mechanism 123, and clean air 133 is circulated and filled in the transfer chamber 124.
  • the cap of the pod 110 mounted on the mounting table 122 is removed by the cap attaching / detaching mechanism 123, and the wafer loading / unloading port of the pod 110 is opened.
  • the wafer 200 is picked up from the pod 110 by the wafer transfer device 125a, transferred to the boat 217, and loaded.
  • the wafer transfer device 125 a that has transferred the wafer 200 to the boat 217 returns to the pod 110 and loads the next wafer 110 into the boat 217.
  • the other (lower or upper) pod opener 121 has the rotating shelf 105 or the load port 114.
  • the other pod 110 is transported by the pod transport device 118, and the opening operation of the pod 110 by the pod opener 121 proceeds simultaneously.
  • the lower end portion of the processing furnace 202 is opened by the furnace port gate valve 147. Subsequently, the seal cap 219 is raised by the boat elevator 115, and the boat 217 supported by the seal cap 219 is carried into the substrate processing chamber in the processing furnace 202.
  • the wafer 200 After loading, the wafer 200 is subjected to arbitrary processing in the substrate processing chamber. After the processing, the boat 217 is pulled out by the boat elevator 115, and thereafter, the wafer 200 and the pod 110 are discharged to the outside of the casing 111 in the reverse procedure described above.
  • FIG. 3 is a configuration example of a functional block diagram of the substrate processing apparatus 100 according to the present embodiment.
  • the main control unit 11 of the substrate processing apparatus 100 includes a main storage unit 12, a transfer control unit 13, a temperature control unit 14, a gas control unit 15, a PLC (Programmable Logic Controller) unit 16, data
  • the components constituting the substrate processing apparatus 100 such as the collection storage unit 30, an operation unit (not shown) that receives an instruction from the operator, and a display unit (not shown) that displays an operation screen and various data are electrically connected. Yes.
  • the main control unit 11 and the sub-control units such as the transport control unit 13, the temperature control unit 14, and the gas control unit 15, there are dedicated protocols such as SECS / HSMS, general-purpose TCP / IP, XML / SOAP. It is connected by such as.
  • dedicated protocols such as SECS / HSMS, general-purpose TCP / IP, XML / SOAP. It is connected by such as.
  • the transfer control unit 13 controls the positions of the pod transfer device 118, the wafer transfer mechanism 125, the boat elevator 115, and the like.
  • the transfer control unit 13 is electrically connected to the photo sensor 21 and the pod sensor 22, From these sensors, for example, data such as the presence / absence and position of the pod 110 containing the wafer 200 is received and transmitted to the main control unit 11. Further, the transport control unit 13 receives, for example, a transport instruction for the pod 110 from the main control unit 11 and transports the pod 110 to the instructed location or position.
  • the soot temperature control unit 14 controls the temperature of the heater that heats the reaction furnace 202, receives temperature data from the temperature sensor 23 that measures the temperature in the processing furnace 202, and transmits the temperature data to the main control unit 11. Further, the temperature control unit 14 receives, for example, a heater heating temperature instruction for increasing the temperature in the processing furnace 202 from the main control unit 11, and heats the heater to the instructed temperature.
  • the gas control unit 15 transmits the data received from the valve I / O 24 and the interlock I / O 25 to the main control unit 11 via the PLC unit 16, and the data received from the main control unit 11 is the valve I / O24 and interlock I / O25.
  • gas flow rate data is received from an MFC (mass flow controller: flow rate control device) provided in a processing gas supply pipe for supplying a processing gas into the processing furnace 202 and transmitted to the main control unit 11. .
  • a gas control instruction such as a pump drive instruction is received, and gas control is performed according to the instruction.
  • the PLC unit 16 transmits the data received from the valve I / O 24 and the interlock I / O 25 to the main control unit 11, and the data received from the main control unit 11 to the valve I / O 24 and the interlock I / O 25. May be sent.
  • the main storage unit 12 stores a processing recipe that is a substrate processing sequence of the substrate processing apparatus 100, and includes a hard disk, a semiconductor memory, and the like.
  • the main control unit 11 includes a CPU (Central Processing Unit) and a memory for storing an operation program of the main control unit 11 and the like in terms of hardware configuration.
  • the CPU stores in the main storage unit 12 according to the operation program.
  • the processing recipe is read and executed.
  • the sub-control units such as the transfer control unit 13, the temperature control unit 14, and the gas control unit 15 are each provided with a CPU and a memory for storing an operation program of each control unit. Operates according to the program.
  • the main control unit 11 collects monitor data such as the temperature indicated by the temperature sensor and the position of the actuator from each sub-control unit such as the transport control unit 13 and each component unit such as the PLC unit 16, and uses these monitor data. Each component is controlled so that the apparatus parameters such as the temperature and pressure of the processing furnace 202 become preset values.
  • the states of the pod sensor 22 and the temperature sensor 23 are transmitted to the main control unit 11 by analog signals from each sub-control unit and digital signals such as RS-232C and DeviceNet.
  • the main control unit 11 stamps the collected data with a time stamp that is the detection time of the collected data, and stores and saves it in the nonvolatile storage device that constitutes the main storage unit 12.
  • the data is transmitted to the data collection / storage unit 30.
  • the main control unit 11 is connected to a data collection / storage unit 30 constituting the substrate processing apparatus 100 by a file transfer protocol such as SECS / HSMS or FTP, a network file sharing protocol, or the like.
  • the data collection / accumulation unit 30 is electrically connected to the external I / O 26 and configured to collect the state of the external sensor via the external I / O 26.
  • the data collection / accumulation unit 30 receives monitor data collected from each component of the substrate processing apparatus 100 and the external I / O 26 from the main control unit 11, and a host computer that is an upper management computer of the substrate processing apparatus 100, The data is transferred to a group management computer that manages a plurality of substrate processing apparatuses 100.
  • the data collection / storage unit 30 is electrically connected to the database 34 as a storage unit, the data storage server 40, and the analysis application device 50 via the network 60.
  • the database 34 constitutes a part of the data collection / storage unit 30 as described later.
  • the data collection / accumulation unit 30 collects monitor data from each component constituting the processing apparatus 100 via the main control unit 11, temporarily stores the collected monitor data, and accumulates and stores it in the database 34. .
  • the data stored and stored in the database 34 can be used by an upper management computer (for example, the analysis application device 50).
  • the data collection / storage unit 30 other than the database 34 is provided in the substrate processing apparatus 100, but may be provided outside the substrate processing apparatus 100. Conversely, the database 34 may be provided in the substrate processing apparatus 100.
  • a data collection / storage unit 30 dedicated to monitor data collection is provided in the substrate processing apparatus 100 independently, and the data collection / storage unit 30 and the higher-level management are provided. Since the system (data storage server 40, analysis application device 50) is connected, detailed monitor data that could not be acquired by the conventional substrate processing control system can be acquired by the host management system and analyzed by the analysis application device 50. Can be used. Details of the data collection and storage unit 30 will be described later.
  • the data stored and stored in the database 34 is transferred to and stored in a non-volatile storage device such as the data storage server 40 as necessary, and the stored data such as the temperature, gas flow rate, and pressure data of the processing furnace 202 are:
  • the analysis application device 50 having an advanced application function is used for data processing for monitoring the substrate processing apparatus 100 such as statistical analysis and multivariate analysis.
  • the analysis application device 50 can be configured by a personal computer connected to the network 60, but may be configured as a client-server type application device or a configuration using a web browser or the like. Alternatively, the analysis application device 50 may be configured independently from the network 60.
  • FIG. 4 is a functional block diagram of the data collection / storage unit 30 according to the present embodiment.
  • the data collection / storage unit (data collection / storage unit) 30 includes a data collection unit (data collection unit) 31, a cache memory (temporary storage unit) 32 as a temporary storage unit, a data storage unit (data storage unit) 33, An operation display unit (not shown) that receives an input from the operator to the data collection storage unit 30 and input settings such as various parameters is provided.
  • the respective monitor data is transmitted. It is known that the amount of monitor data transmitted increases and decreases depending on the operating state of the substrate processing apparatus 100. For example, a larger amount of data changes during substrate processing (production) than during standby, and the amount of monitor data transmitted increases. Further, there is a timing during which the amount of monitor data to be transmitted temporarily increases depending on the processing contents even during production.
  • the amount of monitor data to be transmitted also increases due to an increase in various sensors for improving the performance of the substrate processing apparatus 100.
  • the data collection / accumulation unit 30 is flexible enough not to change the control software for the increased monitor data. It is necessary to be.
  • the data collection unit 31 is provided with a filtering function for narrowing down necessary data for a large amount of monitor data. This filtering function is realized by a ticket distribution method, as shown in the first embodiment described later.
  • the kite data collection unit 31 receives a plurality of types of monitor data from the main control unit 11 and the external I / O 26 and periodically writes the received monitor data to the cache memory 32.
  • the received monitor data includes a time stamp that is the detection time of the monitor data.
  • each type of data to be written to the cache memory 32 as a temporary storage unit according to the total received amount of received monitor data and the data write upper limit value that is the monitor data amount that the cache memory 32 can store in one cycle.
  • the amount of monitor data is adjusted and assigned to each type of monitor data, and based on the assignment, each type of monitor data is written to the cache memory 32. In this way, the data collection unit 31 has a filtering function for narrowing down necessary data for a large amount of monitor data.
  • the cache memory 32 Since the cache memory 32 is composed of a semiconductor memory and can write and read data at a higher speed than an HDD constituting the database 34 described later, the cache memory 32 functions as a cushion when accumulating and storing a large amount of monitor data in the database 34. Can be fulfilled.
  • the bag data storage unit 33 reads the monitor data written in the cache memory 32 at predetermined time intervals and writes it in the database 34 that is a storage unit.
  • the data collecting unit 31 includes a monitor data receiving unit (monitor data receiving unit) 31a, a monitor data rate detecting unit (monitor data rate detecting unit) 31b, a monitor data write assigning unit (monitor data writing).
  • the monitor data receiving unit 31a receives a plurality of types of monitor data output from the substrate processing apparatus 100, for example, temperature data and pressure data of the processing furnace 202, and detection times thereof.
  • the monitor data rate detection unit 31b uses, as the monitor data rate, the total number of times that a plurality of types of monitor data received by the monitor data reception unit 31a have changed to a predetermined change amount threshold value or more within a predetermined first time. To detect.
  • the first time and the threshold value of the change amount are set in advance by the operator from the operation display unit of the data collection storage unit 30, stored in the data collection storage unit 31e, and can be changed. For example, when the threshold value of the change amount of the pressure data is 100 Pa, when the pressure data changes gradually from 100 Pa to 1100 Pa per second, the monitor data rate of the pressure data becomes 10 times / second. Further, when the threshold value of the change amount of the temperature data is 10 ° C., when the temperature data changes gradually from 500 ° C.
  • the monitor data rate of the temperature data becomes 10 times / second. Therefore, when there are only two types of monitor data, pressure data and temperature data, the monitor data rate is 20 times / second.
  • the monitor data received by the monitor data receiving unit 31a is configured to be transmitted when the main control unit 11 or the transmission side of the external I / O 26 changes more than a predetermined change amount.
  • the transmission side can always be configured to transmit monitor data, and when the monitor data receiving unit 31a receives the monitor data, monitor data that has changed more than a predetermined change amount can be acquired.
  • the monitor data write allocating unit 31c is predetermined based on the data write upper limit value, which is the monitor data amount that the cache memory 32 can store in one write cycle, and the monitor data rate detected by the monitor data rate detecting unit 31b. In this second time, the number of times each type of monitor data for one period is written to the cache memory 32 is assigned to each type of monitor data. Further, the monitor data write assigning unit 31c has a predetermined second value based on the priority of each type of monitor data stored in the data collection storage unit 31e described later, in addition to the data write upper limit value and the monitor data rate. In this time, the number of times each type of monitor data for one cycle is written to the cache memory 32 is assigned to each type of monitor data. The second time is set in advance from the operation display unit of the data collection storage unit 30 by the operator, stored in the data collection storage unit 31e, and can be changed.
  • the monitor data write allocation unit 31c sends the high-priority type monitor data to the cache memory 32 within the second time period based on the priority of each type of monitor data stored in the data collection storage unit 31e.
  • the number of times of writing is assigned more than the number of times the low-priority type monitor data is written to the cache memory 32 within the second time.
  • the monitor data write allocation unit 31c stores the allocation count in the data collection storage unit 31e. Note that the priority of the monitor data is set in advance from the operation display unit of the data collection storage unit 30 by the operator, stored in the data collection storage unit 31e, and can be changed.
  • the monitor data amount that the cache memory 32 can store in one write cycle is 10 points / cycle, and one cycle is 1 second, that is, the data write upper limit is 10 points / second.
  • the priority of the pressure data and the temperature data is the same.
  • the monitor data write assigning unit 31c assigns the number of times of writing to the cache memory 32 for each of the pressure data and the temperature data, 5 times / second. When the priorities of the pressure data and the temperature data are different, the monitor data write assigning unit 31c assigns the number of times of writing to the cache memory 32 according to the priorities. Details will be described in an embodiment described later.
  • the monitor data writing unit 31d writes a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit 31a in the cache memory 32 within a predetermined second time based on the number of times assigned by the monitor data write assigning unit 31c. Is.
  • the data collection storage unit 31e stores a ticket distribution table that is the number of writes for one cycle in the cache memory 32 and assigned to each monitor data by the monitor data write allocation unit 31c. Is. For example, as described above, when the monitor data write allocation unit 31c allocates the number of times of writing to the cache memory 32 for each of the pressure data and the temperature data, 5 times / second, the fact is stored. Details will be described in an embodiment described later.
  • the data collection storage unit 31e stores the priority of each of a plurality of types of monitor data used when the monitor data write allocation unit 31c allocates the number of times of writing to each monitor data.
  • the data collection storage unit 31e stores the first time described above, the threshold value of the change amount of the monitor data, and the second time.
  • the data storage unit 33 includes a storage data writing unit (storage data writing unit) 33a, a monitoring unit (monitoring unit) 33b, and a data storage unit (data storage unit) 31c. .
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data periodically written in the cache memory 32, for example, for a plurality of cycles every predetermined third time, and writes and accumulates it in the accumulation storage unit 34.
  • This third time is set in advance by the operator from the operation display unit of the data collection and storage unit 30, stored in the data storage and storage unit 33c, and can be changed. For example, monitor data periodically written to the cache memory 32 every second is read out collectively for 10 cycles every 10 seconds, and written and accumulated in the accumulation storage unit 34
  • the monitoring unit 33b monitors the transmission amount of the accumulated data transmitted from the cache memory 32 to the accumulation storage unit 34. If the monitoring unit 33b determines that the transmission amount of the accumulated data exceeds a predetermined transmission amount, the accumulated data writing unit 33a However, the accumulated data writing unit 33a is controlled so as to lengthen the cycle in which the monitor data written in the cache memory 32 is read and written in the accumulation storage unit 34.
  • the bag data storage unit 33c stores a plurality of types of the above-described third time in correspondence with the transmission amount of stored data transmitted from the cache memory 32 to the storage unit 34.
  • FIG. 5 shows a monitor data write allocation table for one cycle stored in the data collection storage unit 31e in the first example of the embodiment of the present invention, in the example of FIG. 2 is a ticket distribution table for writing monitor data for 2 seconds.
  • Ticket distribution refers to write allocation.
  • priority is set for each of the 2000 sensors that transmit monitor data, and tickets are distributed, that is, write allocation to the cache memory 32 is performed.
  • Ticket distribution is indicated by a check mark. For example, for data from sensors with sensor IDs 0001 to 0100 with priority 1, tickets are distributed every 100 ms, and there are 10 tickets for one cycle.
  • tickets are distributed every 200 ms or 300 ms, respectively, and there are 4 tickets for each cycle. Tickets are distributed every 500 ms for data from priority 3 sensors, for example, sensors with ID 1999 or 2000, and there are two tickets for one cycle.
  • data from the sensor IDs 0001 to 0100, 0101, 0104, 0106,... Is written to the cache memory 32 during one cycle (one second) from 000 ms to 100 ms, and from 100 ms to 200 ms.
  • Data from the sensor IDs 0001 to 0100, 0102, 0105,... are written to the cache memory 32, and similarly, data from each sensor is written to the cache memory 32 during each 100 ms.
  • data from the sensor IDs 0001 to 0100, 0103, 0105... Is written to the cache memory 32 during 900 ms to 1000 ms.
  • the ticket distribution method is adopted to filter the monitor data written in the cache memory 32.
  • the preconditions are set as follows. (1) There are 2000 sensors that transmit monitor data, and their sensor IDs (identifiers) are 0001 to 2000. (2) The cycle of writing monitor data from 2000 sensors to the cache memory 32 is 1 second. That is, after all the monitor data for the tickets distributed based on the ticket distribution is written to the cache memory 32, the cycle from the time for writing all the monitor data for the tickets distributed based on the next ticket distribution to the cache memory 32 is one. Seconds. (3) The data write upper limit value of the cache memory 32 is 5000 points / second. That is, a maximum of 5000 data write operations per second can be performed on the cache memory 32.
  • This data write upper limit is determined by the performance of the cache memory 32 and the performance of the CPU or the like that writes data to the cache memory 32. Therefore, there are 5000 tickets for allocating monitor data write timing to the cache memory 32.
  • the data of priority 1 is data from sensor IDs 0001 to 0100, and all the changes are recorded in the cache memory 32.
  • the monitor data rate detection unit 31b uses the number of monitor data collection points per one period (one second) for every one period (one second) that is the first time.
  • a certain monitor data rate is aggregated, and based on the aggregated monitor data rate, the monitor data write allocating unit 31c performs one cycle which is the second time for each monitor data of the next one cycle (1 second). Allocate (1 second) tickets and allocate them.
  • the priority level 1 data is data from sensor IDs 0001 to 0100, and all the changes are recorded in the cache memory 32. Therefore, the priority level 1 data is updated every 100 ms, that is, Data is written to the cache memory 32 every 100 ms. Accordingly, since 10 tickets are distributed per data of priority 1, 1000 tickets are distributed throughout the data of priority 1. Note that the priority level 1 data is registered in advance in the data collection storage unit 31e by the operator from the operation display unit of the data collection storage unit 30, and the monitor data writing is performed based on the registered priority level 1 data. The allocation unit 31c distributes tickets.
  • Data other than priority 1 is data (1900) from sensor IDs 0101 to 2000, and the remaining 4000 tickets after the assignment in (2) above are equally distributed by the round robin method. Assigned at various time intervals. Accordingly, since two tickets per data can be distributed to data other than priority 1, 3800 tickets are distributed for all data other than priority 1. Up to this point, a total of 4800 points (1000 + 3800) of tickets are distributed, and the remaining is 200 points.
  • data other than priority 1 is assigned in ascending order of sensor ID so that the remaining 200 tickets after the assignment in (3) have as even time intervals as possible.
  • Data to which a surplus ticket is assigned is data of priority 2
  • data to which a surplus ticket is not assigned is data of priority 3.
  • the priority level 2 data since the remaining 200 tickets are assigned to each of the data (100 pieces) from the sensor IDs 0101 to 0200, the priority level 2 data has the sensor IDs 0101 to 0101.
  • Data from 0200 and priority 3 data are data from sensor IDs 0201 to 2000 (1800).
  • two extra tickets are assigned to data (100 pieces) from sensor IDs 0101 to 0200, but data from sensor IDs 0101 to 0300 (200 pieces) are assigned.
  • the calculated ticket distribution is stored in the data collection storage unit 31e as a ticket distribution table.
  • the monitor data writing unit 31d is based on the ticket distribution table stored in the data collection storage unit 31e.
  • the monitor data of the next cycle after the ticket distribution is written to the cache memory 32.
  • the monitor data writing unit 31 d does not write monitor data to the cache memory 32.
  • the monitor data rate in each cycle does not change abruptly. Therefore, even if the monitor data in the next cycle after ticket distribution is written to the cache memory 32, there is no major obstacle.
  • the monitor data rate is totaled from the received monitor data for one period (one second), and tickets for the next one period (one second) are allocated based on the total monitor data rate.
  • the received monitor data for one cycle (one second) is temporarily stored in the buffer memory, the monitor data rate is totaled from the monitor data stored in the buffer memory, and the totalized monitor data Based on the rate, tickets for monitor data stored in the buffer memory may be distributed. In this way, a buffer memory is required, but tickets can be distributed more accurately.
  • monitor data writing for each cycle is repeated over 10 cycles (10 seconds) continuously in time series, and monitor data for a total of 10 cycles is written to the cache memory 32.
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data for 10 cycles written in the cache memory 32 every 10 cycles that is the third time, that is, every 10 seconds, and performs data compression or the like.
  • the data is written and accumulated in the database 34 as an accumulation storage unit constituted by a nonvolatile memory such as an HDD via the network 60.
  • the monitoring unit 33b monitors the transmission amount of the accumulated data transmitted from the cache memory 32 to the database 34, and determines that the transmission amount of the accumulated data exceeds a predetermined transmission amount
  • the accumulated data writing unit 33a Control is performed so that the cycle of reading the monitor data written in the cache memory 32 and writing it in the database 34 is made longer in accordance with the amount of accumulated data transmitted to the database 34.
  • the monitor data writing for each cycle is repeated continuously for 10 cycles (10 seconds), and the data collection operation for overwriting the monitor data for a total of 10 cycles in the cache memory 32, and the cache memory 32
  • the data storage operation for reading the written monitor data for 10 cycles every 10 seconds and writing and storing it in the database 34 is repeatedly executed.
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data for 10 cycles written in the cache memory 32 every 10 cycles (10 seconds) and writes it to the database 34.
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data for one period written in the cache memory 32 every time (one second) for one period and writes it to the database 34, or an arbitrary period Minute monitor data can be read out and written into the database 34 for each arbitrary period.
  • the instructed temperature setting value or pressure is indicated together with the instructed time.
  • a device parameter such as a set value is received by the monitor data receiving unit 31a and written to a cache memory different from the cache memory 32, for example, and the device parameter instruction time and device parameter are read from the other cache memory.
  • the database 34 can be written and saved. In this way, in the analysis application device 50 or the like, the generation time of the monitor data received by the monitor data receiving unit 31a and the instruction time of the device parameter can be compared and analyzed.
  • the total number of times each monitor data has changed by a predetermined change amount or more is counted as the monitor data rate every one cycle (one second) as the first time, and the total is calculated.
  • each type of monitor data for one cycle is stored in the cache memory 32 in a second time of 1 second. Tickets are allocated and distributed as the number of times of writing, and monitor data for one cycle is written to the cache memory 32 in one second, which is the second time, based on the allocated tickets. Then, the monitor data writing for each cycle is repeated over 10 cycles (10 seconds), and the monitor data for a total of 10 cycles is written in the cache memory 32.
  • the monitor data for 10 periods continuous in time series is written in the cache memory 32 of this embodiment. Then, the monitor data for 10 cycles written in the cache memory 32 is read out every 10 cycles, which is the third time, that is, every 10 seconds, and written and accumulated in the database 34 as an accumulation storage unit.
  • FIG. 6 shows a monitor data write allocation table for one cycle stored in the data collection storage unit 31e in the second embodiment, that is, one second in the example of FIG. 6, that is, one cycle (one second) of monitor data writing. It is a ticket distribution table for inclusion.
  • a priority is set for each of 500 sensors that transmit monitor data, and tickets are distributed. Ticket distribution is indicated by a check mark.
  • tickets are distributed every 100 ms for data from all sensors of priority 1 to priority 3, and 5000 tickets for one cycle.
  • the preconditions are set as follows. (1) There are 500 sensors that transmit monitor data, and their sensor IDs (identifiers) are 0001 to 500. (2) The cycle for writing monitor data from 500 sensors to the cache memory 32 is 1 second. That is, after all the monitor data for the tickets distributed based on the ticket distribution is written to the cache memory 32, the cycle from the time for writing all the monitor data for the tickets distributed based on the next ticket distribution to the cache memory 32 is one. Seconds. (3) The data write upper limit value of the cache memory 32 is 5000 points / second. That is, a maximum of 5000 data write operations per second can be performed on the cache memory 32. This upper limit value for data writing is determined by the performance of the cache memory 32 and the CPU that writes data to the cache memory 32. Therefore, there are 5000 tickets for allocating monitor data write timing to the cache memory 32. (4) The data of priority 1 is data from sensor ID 0001, and this data records all changes in the cache memory 32.
  • monitor data rate aggregation and ticket distribution in the second embodiment are as follows.
  • the calculated ticket distribution is stored in the data collection storage unit 31e.
  • the monitor data writing unit 31d performs the ticket distribution based on the ticket distribution stored in the data collection storage unit 31e.
  • the monitor data of the next cycle is written to the cache memory 32. ⁇ ⁇ ⁇ In this way, monitor data writing for each cycle is repeated over 10 cycles (10 seconds) continuously in time series, and monitor data for a total of 10 cycles is written to the cache memory 32.
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data for 10 cycles written in the cache memory 32 every 10 cycles, that is, every 10 seconds, and performs processing such as data compression
  • the data is written and accumulated in the database 34 as an accumulation storage unit composed of a nonvolatile memory such as an HDD via the network 60.
  • FIG. 7 shows a monitor data write allocation table for one cycle stored in the data collection storage unit 31e in the third embodiment, in the example of FIG. 7, that is, a monitor data book for one cycle (1 second). It is a ticket distribution table for inclusion.
  • a priority is set for each of 1500 sensors that transmit monitor data, and tickets are distributed. Ticket distribution is indicated by a check mark.
  • tickets are distributed every 100 ms, and there are 10 tickets for one cycle.
  • tickets are distributed every 200 ms or 300 ms, respectively, and there are 4 tickets for each cycle.
  • priority 3 sensors for example, ID 1499 and sensor ID 1500, tickets are distributed every 300 ms or 400 ms, respectively, and there are 3 tickets for each cycle.
  • the preconditions are set as follows. (1) There are 1500 sensors that transmit monitor data, and their sensor IDs (identifiers) are 0001 to 1500. (2) The cycle for writing monitor data from 1500 sensors to the cache memory 32 is 1 second. That is, after all the monitor data for the tickets distributed based on the ticket distribution is written to the cache memory 32, the cycle from the time for writing all the monitor data for the tickets distributed based on the next ticket distribution to the cache memory 32 is one. Seconds. (3) The data write upper limit value of the cache memory 32 is 5000 points / second. That is, a maximum of 5000 data write operations per second can be performed on the cache memory 32. This upper limit value for data writing is determined by the performance of the cache memory 32 and the CPU that writes data to the cache memory 32. Therefore, there are 5000 tickets for allocating monitor data write timing to the cache memory 32. (4) The data of priority 1 is data from the sensor ID 0001, and this records all changes in the cache memory 32.
  • the monitor data rate detection unit 31b counts the monitor data rate, which is the number of monitor data collection points per cycle (1 second), for each cycle (1 second). Then, based on the aggregated monitor data rate, the monitor data write allocation unit 31c allocates and distributes tickets for one period (one second) to each monitor data of the next one period (one second). .
  • the priority 1 data is data from the sensor ID 0001, and since all changes are recorded in the cache memory 32, the priority 1 data is updated every 100 ms, that is, every 100 ms. It is written to the cache memory 32. Therefore, 10 tickets are distributed to the data of priority 1.
  • Data to which a surplus ticket is assigned is data of priority 2
  • data to which a surplus ticket is not assigned is data of priority 3.
  • the sensor ID is 0002 to The data from 0494 and the data of priority 3 are data (1006) from sensor ID 0495-1500.
  • the calculated ticket distribution is stored in the data collection storage unit 31e.
  • the monitor data writing unit 31d performs the ticket distribution based on the ticket distribution stored in the data collection storage unit 31e.
  • the monitor data of the next cycle is written to the cache memory 32. ⁇ ⁇ ⁇ In this way, monitor data writing for each cycle is repeated over 10 cycles (10 seconds) continuously in time series, and monitor data for a total of 10 cycles is written to the cache memory 32.
  • the accumulated data writing unit 33a reads the monitor data for 10 cycles written in the cache memory 32 every 10 cycles, that is, every 10 seconds, and performs processing such as data compression
  • the data is written and accumulated in the database 34 as an accumulation storage unit composed of a nonvolatile memory such as an HDD via the network 60.
  • the amount of data stored in the temporary storage unit is appropriate even if the amount of monitor data from the sensor increases. It can be set to a large value, and it can cope with an increase in monitor data amount from the sensor. Therefore, it is possible to prevent data accumulation and system down.
  • the number of times the high-priority type monitor data is written to the temporary storage unit can be increased more frequently than the low-priority type monitor data. Accordingly, the amount of data stored in the temporary storage unit can be set to an appropriate value.
  • the data collection and storage unit 30 is arranged in the substrate processing apparatus, but these can also be arranged outside the substrate processing apparatus, for example, connected to the substrate processing apparatus installed in the clean room via a LAN. It can also be arranged as a management device outside the clean room.
  • the present invention can be applied not only to a semiconductor manufacturing apparatus, but also to an apparatus for processing a glass substrate such as an LCD manufacturing apparatus and other substrate processing apparatuses.
  • the processing content of the substrate processing includes not only film forming processing for forming CVD, PVD, ALD, epitaxial growth film, oxide film, nitride film, metal-containing film, etc., but also annealing processing, oxidation processing, diffusion processing, etching processing, exposure processing Lithography, coating treatment, mold treatment, development treatment, dicing treatment, wire bonding treatment, inspection treatment, etc.
  • a substrate processing apparatus that processes a substrate, a monitor data receiving unit that receives a plurality of types of monitor data output from the substrate processing device, and a monitor data receiving unit
  • the temporary storage unit that periodically stores a plurality of types of received monitor data, and the plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit each exceed a predetermined amount of change within a predetermined first time.
  • a monitor data rate detection unit that detects the total number of times changed as a monitor data rate, a data write upper limit that is the monitor data amount that the temporary storage unit can store in one cycle, and the monitor data rate detection unit Based on the monitor data rate, each type of monitor data for one period is written in the temporary storage unit within a predetermined second time.
  • a monitor data write assigning unit that assigns the number of data to be received for each type of monitor data, and a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit based on the number of times assigned by the monitor data write assigning unit.
  • a substrate processing system comprising: an accumulation data writing unit that reads the monitor data written in (1) every predetermined third time and writes the monitoring data in the accumulation storage unit;
  • the first time and the second time may be the same.
  • the second time and the third time may be the same, but the amount of data transmission from the temporary storage unit to the storage unit can be reduced by making the third time longer than the second time. Therefore, it is preferable.
  • a priority storage unit stores the priority of each of the plurality of types of monitor data when the plurality of types of monitor data is stored in the temporary storage unit.
  • the monitor data write allocator assigns the monitor data having a higher priority within the second time period based on the priority of each type of monitor data stored in the priority storage unit.
  • a substrate processing system in which the number of times of writing to the storage unit is assigned more than the number of times of writing the low-priority type monitor data to the temporary storage unit within the second time.
  • storage part which memorize
  • the monitor data write allocation unit is configured to execute the second time based on the data write upper limit value, the monitor data rate, and the priority of each type of monitor data stored in the priority storage unit.
  • a substrate processing system for assigning the number of times each type of monitor data is written to the temporary storage unit.
  • the substrate processing system includes a first priority, a second priority, and a third priority. Assigns the first priority monitor data to be written to the temporary storage unit for the first number of times for each second time, and determines the first number of times from the data write upper limit value. A second number of times of subtraction is assigned to the monitor data of the second and third priorities, and the third number is the number of times of subtracting the first and second times from the data writing upper limit value. Is assigned to the monitor data of the second priority.
  • the substrate processing system according to any one of supplementary notes 1 to 4, further comprising: a monitoring unit that monitors a transmission amount of accumulated data transmitted from the temporary storage unit to the accumulation storage unit; When it is determined that the transmission amount of the accumulated data exceeds a predetermined transmission amount, the accumulation data writing unit reads out the monitor data written in the temporary storage unit and lengthens the cycle for writing it in the accumulation storage unit Substrate processing system.
  • a monitor data receiving unit for receiving a plurality of types of monitor data from the outside, a temporary storage unit for periodically storing a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit, and a plurality of received by the monitor data receiving unit
  • a monitor data rate detection unit that detects the total number of times that each type of monitor data has changed more than a predetermined change amount within a predetermined first time as a monitor data rate, and the temporary storage unit can store in one cycle Based on the data writing upper limit value that is the amount of monitor data and the monitor data rate detected by the monitor data rate detector, each type of monitor data for one cycle is temporarily stored within a predetermined second time period.
  • Monitor data write allocation unit for assigning the number of times to write to each type of monitor data and the monitor data write Based on the number of times allocated by this unit, the monitor data writing unit that writes the plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit to the temporary storage unit within the second time period;
  • the monitor data written in the memory is stored and stored for a plurality of periods, and the monitor data written in the temporary storage unit is read at every predetermined third time to store the stored data.
  • a storage data writing unit for writing to the monitor.
  • a monitor data receiving step for receiving a plurality of types of monitor data output from a substrate processing apparatus for processing a substrate;
  • a monitor data rate detecting step of detecting, as a monitor data rate, the total number of times that each of the plurality of types of monitor data received in the monitor data receiving step has changed more than a predetermined change amount within a predetermined first time; Based on the data write upper limit value, which is the monitor data amount that the temporary storage unit can store in one cycle, and the monitor data rate detected in the monitor data rate detection step, one cycle worth within a predetermined second time period.
  • a plurality of types of monitor data before the second time A monitor data writing step for writing to the temporary storage unit; and a storage data writing step for reading the monitor data written to the temporary storage unit every predetermined third time and writing to the storage unit.
  • a main control unit a monitor data receiving unit for receiving a plurality of types of monitor data output from the main control unit; and a temporary storage unit for periodically storing a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit
  • a monitor data rate detecting unit for detecting, as a monitor data rate, the total number of times that each of the plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit has changed more than a predetermined change amount within a predetermined first time period;
  • One cycle within a predetermined second time based on the data write upper limit value, which is the monitor data amount that the temporary storage unit can store in one cycle, and the monitor data rate detected by the monitor data rate detection unit
  • Write monitor data to assign the number of times each type of monitor data is written to the temporary storage unit for each type of monitor data
  • a monitor data writing unit for writing a plurality of types of monitor data received by the monitor data receiving unit into the temporary storage unit within the second time period based on the number of times allocated by
  • a monitor memory periodically written in the temporary storage unit for a plurality of cycles to be stored and stored, and the monitor data written in the temporary storage unit for a predetermined third time.
  • a substrate processing apparatus comprising: an accumulated data writing unit that reads out each time and writes to the accumulation storage unit.
  • the substrate processing apparatus wherein priority is stored for each priority of the plurality of types of monitor data when the plurality of types of monitor data are stored in the temporary storage unit.
  • a substrate processing apparatus which assigns the number of times of writing to the temporary storage unit more than the number of times the low-priority type monitor data is written to the temporary storage unit within the second time.
  • the substrate processing apparatus (Supplementary note 10) The substrate processing apparatus according to the supplementary note 8, wherein priority is stored for each priority of the plurality of types of monitor data when the plurality of types of monitor data are stored in the temporary storage unit.
  • a substrate processing apparatus that assigns the number of times each type of monitor data is written to the temporary storage unit within the time period.
  • the substrate processing apparatus according to the invention of supplementary note 10, wherein the priority of each type of monitor data includes a first priority, a second priority, and a third priority.
  • a write allocation unit allocates the first priority monitor data so as to be written to the temporary storage unit a first number of times for each second time, and the first write value is determined from the data write upper limit value.
  • the second number of times obtained by subtracting the number of times is assigned to the monitor data of the second and third priorities, and the number of times of subtracting the first and second numbers from the data writing upper limit value.
  • a substrate processing apparatus assigning a third number of times to monitor data of the second priority.
  • the substrate processing apparatus according to any one of Supplementary notes 8 to 10, further comprising a monitoring unit that monitors a transmission amount of accumulated data transmitted from the temporary storage unit to the accumulation storage unit.
  • the storage data writing unit reads the monitor data written in the temporary storage unit and writes it in the storage unit when the transmission amount of the stored data exceeds a predetermined transmission amount. Long substrate processing equipment.
  • a substrate processing system that collects and accumulates various monitor data output from a substrate processing apparatus that processes a substrate such as a semiconductor wafer, for example, monitor data such as a processing temperature and a pressure in a processing chamber.
  • Data storage unit (database) 40 Data storage server 50 Analysis application device 60
  • Network DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 ... Substrate processing apparatus, 105 ... Rotary shelf, 110 ... Pod, 111 ... Housing, 111a ... Front wall, 112 ... Pod loading / unloading exit, 113 ... Front shutter, 114 ... Load port, 115 ... Boat elevator, 116 ... Post DESCRIPTION OF SYMBOLS 117 ... Shelf board, 118 ... Pod conveyance apparatus, 119 ... Sub housing
  • Mounting stand 123 ... Cap attaching / detaching mechanism, 124 ... Transfer chamber, 125 ... Wafer Transfer mechanism, 128 ... arm, 133 ... clean air, 134 ... clean unit, 142 ... wafer loading / unloading opening, 147 ... furnace port shutter, 200 ... wafer (substrate), 202 ... processing furnace.

Abstract

基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信し、一時記憶部が記憶できるデータ書込上限値と、受信するモニタデータが所定の第１の時間内において所定値以上に変化した延べ回数であるモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において各種類のモニタデータを一時記憶部に書き込む回数を算出してモニタデータの種類毎に割り当て、該割り当て回数に基づき、受信したモニタデータを一時記憶部に記憶し、一時記憶部に記憶したモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、蓄積記憶部に書き込む。

Description

基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法
  本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置から出力される各種モニタデータ、例えば処理温度や処理室内圧力等のモニタデータを収集し蓄積する基板処理システムや、モニタデータ収集システムに関するものである。
  図１に、基板処理装置としての、半導体装置の製造装置（半導体製造装置）の斜視図を示す。図１に示す基板処理装置は、複数のウエハ（基板）を収容する基板収容器であるポッド１１０を搬入出するロードポート１１４と、ポッド１１０のキャップを着脱するポッドオープナ１２１と、ポッド１１０を一時的に保管する回転棚１０５と、ポッド１１０を搬送するポッド搬送装置１１８と、ウエハを積層するように搭載するボート２１７と、ポッドオープナ１２１の載置台１２２に載置されたポッド１１０とボート２１７との間でウエハの移載を行うウエハ移載機１２５と、基板処理室（不図示）やヒータ（不図示）を備えた熱処理炉２０２と、ボート２１７を熱処理炉２０２内に搬入、及び搬出するボートエレベータ１１５と、記憶部（不図示）等の基板処理装置の各構成部と、各構成部を制御する制御部（不図示）とを備えている。そして、制御部が、記憶部に記憶したプロセスレシピに基づき、熱処理等のウエハ処理を実行する。
  従来の基板処理装置においては、例えばプロセスレシピ実行中などに、熱処理炉２０２内の温度計測値や圧力値などのセンサー情報や、熱処理炉２０２内へ処理ガスを供給する処理ガス供給管に設けられた開閉バルブの開閉動作状態などのアクチュエータ情報等のモニタ情報を、基板処理装置内に配置されたモニタ情報収集部で刻々と又は定期的に収集し、該収集した情報を、基板処理装置外に配置された上位のモニタデータ解析システムへ送信して、該上位システム内のＨＤＤ（ハードディスク装置）等の不揮発性記憶媒体から構成されるデータベースに記録して蓄積し、故障発生時の故障解析や基板処理データのデータ解析等に用いていた。
  一方、基板処理装置の性能向上のために、モニタデータ収集用センサー数の増加や、センサーのデータ収集サンプリング周期の増加、例えば、サンプリング周期を１Ｈｚから１０Ｈｚ、あるいは１００Ｈｚに増加させることが行われている。このとき、モニタデータ収集用センサー数の増加やセンサーのデータ収集サンプリング周期の増加に伴い、モニタデータ量が増加することになる。しかしながら、従来技術においては、モニタデータ量が増加した場合、上位システムが受信するデータ量も増加するのに対して、上位システム側で柔軟に対応することができず、上位システムの制御ソフトウエアの変更など、多くの手間を要していた。
  本発明の目的は、例えばモニタデータ収集用センサー数の増加やセンサーのデータ収集サンプリング周期の増加に伴い、モニタデータ量が増加しても、例えば上位システムの制御ソフトウエアの変更を必要とせずに、該モニタデータ量の増加に対応でき、データの蓄積漏れやシステムダウンを防止できる柔軟性のある基板処理システムあるいはモニタデータ収集蓄積システムを提供することにある。
  前記課題を解決するための、本発明の基板処理システムの代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、 
基板を処理する基板処理装置と、  前記基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、  を備える基板処理システム。
  上記の構成によれば、センサーからのモニタデータ量が増加しても、データの蓄積漏れやシステムダウンを防止できる。
本発明の実施形態に係る基板処理装置の斜視図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の垂直断面図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置の機能ブロック図の構成例である。 本発明の実施形態に係るデータ収集蓄積部の機能ブロック図である。 本発明の実施形態の第１実施例におけるチケット分配表である。 本発明の実施形態の第２実施例におけるチケット分配表である。 本発明の実施形態の第３実施例におけるチケット分配表である。
  以下、図面を参照して、本発明の実施形態における基板処理装置を説明する。本実施形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ：Integrated Circuit）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）処理などを行うバッチ式縦型半導体製造装置（以下、単に処理装置という）を適用した場合について述べる。図１は、本発明が適用される処理装置の透視図であり、斜視図として示されている。また、図２は図１に示す処理装置の側面透視図である。
  図２に示されているように、本実施形態の処理装置１００は、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納するウエハキャリアとしてポッド１１０を使用し、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口１１２が、筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ１１３によって開閉される。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、ロードポート１１４が設置されており、ロードポート１１４は、ポッド１１０を載置する。ポッド１１０は、ロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出される。
  筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転棚１０５が設置されており、回転棚１０５は、支柱１１６を中心に回転し、棚板１１７に複数個のポッド１１０を保管する。  図２に示すように、筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転棚１０５との間には、ポッド搬送装置１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ１１８ａと、水平搬送機構としてのポッド搬送機構１１８ｂとで構成されており、ロードポート１１４、回転棚１０５、ポッドオープナ１２１との間で、ポッド１１０を搬送する。
  図２に示すように、筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１２０が１対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には１対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。  ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉する。載置台１２２は、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚である。
  図２に示すように、サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転棚１０５の設置空間の雰囲気と隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域には、ウエハ移載機構１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００をツイーザ１２５ｃに載置して水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１２５ａ、およびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ボート２１７に対して、ウエハ２００を装填および脱装する。
  図１に示されているように、移載室１２４内には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう、供給フアンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。  図２に示すように、ボート２１７の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２は、内部に基板処理室（不図示）を備え、該基板処理室の周囲には、基板処理室内を加熱するヒータ（不図示）を備える。処理炉２０２の下端部は、炉口ゲートバルブ１４７により開閉される。
  図１に示されているように、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結されたアーム１２８には、シールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。  ボート２１７は、複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚～１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
　次に、本実施形態の処理装置の動作について説明する。  図１、図２に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ポッド搬入搬出口１１２から搬入される。  搬入されたポッド１１０は、回転棚１０５の指定された棚板１１７へ、ポッド搬送装置１１８によって、自動的に搬送されて受け渡される。
  ポッド１１０は回転棚１０５で一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは、ロードポート１１４から直接、ポッドオープナ１２１に搬送されて、載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０は、キャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。
  図２に示すように、載置台１２２に載置されたポッド１１０は、そのキャップが、キャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、ウエハ２００は、ポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａによってピックアップされ、ボート２１７へ移載されて装填される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。
  この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５ａによるウエハ２００のボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には、回転棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。
  予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が、処理炉２０２内の基板処理室へ搬入されて行く。
  ローディング後は、基板処理室内でウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、その後は、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。
  次に、図３を参照して、基板処理装置１００の機能ブロック構成について説明する。図３は、本実施形態に係る基板処理装置１００の機能ブロック図の構成例である。  図３に示されるように、基板処理装置１００の主制御部１１には、主記憶部１２、搬送制御部１３、温度制御部１４、ガス制御部１５、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）ユニット１６、データ収集蓄積部３０、オペレータの指示を受け付ける操作部（不図示）、操作画面や各種データ等を表示する表示部（不図示）等の基板処理装置１００を構成する構成部が電気的に接続されている。詳しくは、主制御部１１と搬送制御部１３、温度制御部１４、ガス制御部１５等の副制御部との間は、ＳＥＣＳ／ＨＳＭＳ等の専用プロトコルや、汎用のＴＣＰ／ＩＰ、ＸＭＬ／ＳＯＡＰなどにより接続されている。
  搬送制御部１３は、ポッド搬送装置１１８やウェハ移載機構１２５やボートエレベータ１１５等の位置を制御するもので、搬送制御部１３には、フォトセンサー２１やポッドセンサー２２が電気的に接続され、これらのセンサーから、例えば、ウェハ２００を収容するポッド１１０の有無や位置等のデータを受信し、主制御部１１に送信する。また、搬送制御部１３は、主制御部１１から、例えばポッド１１０の搬送指示を受信し、指示された場所や位置にポッド１１０を搬送する。
  温度制御部１４は、反応炉２０２を加熱するヒータの温度を制御するもので、処理炉２０２内の温度を計測する温度センサー２３から温度データを受信し、主制御部１１に送信する。また、温度制御部１４は、主制御部１１から、例えば処理炉２０２内の温度を上昇させるヒータの加熱温度指示を受信し、指示された温度になるようヒータを加熱する。
  ガス制御部１５は、例えば、ＰＬＣユニット１６を介し、バルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５から受信したデータを主制御部１１へ送信し、また、主制御部１１から受信したデータをバルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５へ送信する。具体的には、例えば、処理炉２０２内へ処理ガスを供給する処理ガス供給配管に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ：流量制御装置）からガスの流量データを受信し、主制御部１１に送信する。また、主制御部１１から、例えば、処理ガス供給配管に設けられた開閉バルブや処理炉２０２内からガスを排気する処理ガス排気配管に設けられた圧力調整バルブやポンプ等へのバルブ開閉指示やポンプ駆動指示等のガス制御指示を受信し、該指示に従いガス制御を行う。  ＰＬＣユニット１６は、バルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５から受信したデータを主制御部１１へ送信し、また、主制御部１１から受信したデータをバルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５へ送信することもある。  主記憶部１２は、基板処理装置１００の基板処理シーケンスである処理レシピを記憶しており、ハードディスクや半導体メモリ等から構成される。
  主制御部１１は、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と主制御部１１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って、主記憶部１２に記憶した処理レシピを読み出して実行するように動作する。また、搬送制御部１３、温度制御部１４、ガス制御部１５等の副制御部も、それぞれ、ＣＰＵと各制御部の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、各ＣＰＵは、それぞれの動作プログラムに従って動作する。
  主制御部１１は、搬送制御部１３等の各副制御部やＰＬＣユニット１６等の各構成部から、温度センサーの示す温度やアクチュエータの位置などのモニタデータを収集し、これらのモニタデータ用いて、処理炉２０２の温度や圧力等の装置パラメータが、予め設定された値となるように各構成部を制御する。ポッドセンサー２２や温度センサー２３等の状態は、各副制御部からのアナログ信号やＲＳ-２３２ＣやＤｅｖｉｃｅＮｅｔなどのデジタル信号により、主制御部１１へ送信される。主制御部１１は、各構成部からのモニタデータを収集すると、該収集データに該収集データの検出時刻であるタイムスタンプを刻印し、主記憶部１２を構成する不揮発性記憶装置へ格納し保存し、また、データ収集蓄積部３０へ送信する。
  次に、上位管理システムについて説明する。  主制御部１１には、基板処理装置１００を構成するデータ収集蓄積部３０が、例えばＳＥＣＳ／ＨＳＭＳやＦＴＰ等のファイル転送プロトコルやネットワークファイル共有プロトコルなどにより接続されている。また、図３の例では、データ収集蓄積部３０は、外部Ｉ／Ｏ２６と電気的に接続されており、外部センサーの状態を外部Ｉ／Ｏ２６を介して収集できるように構成されている。データ収集蓄積部３０は、基板処理装置１００の各構成部や外部Ｉ／Ｏ２６から収集したモニタデータを、主制御部１１から受信し、基板処理装置１００の上位の管理コンピュータであるホストコンピュータや、複数の基板処理装置１００を管理する群管理コンピュータへ転送するものである。
  図３の例では、データ収集蓄積部３０は、ネットワーク６０を介し、蓄積記憶部としてのデータベース３４、データ保存サーバ４０、解析アプリケーション装置５０と電気的に接続されている。なお、データベース３４は、後述するように、データ収集蓄積部３０の一部を構成する。データ収集蓄積部３０は、主制御部１１を介して、上記処理装置１００を構成する各構成部からモニタデータを収集し、該収集したモニタデータを一時記憶した後、データベース３４内に蓄積記憶する。これにより、データベース３４内に蓄積記憶したデータを、上位の管理コンピュータ（例えば解析アプリケーション装置５０）が用いることが可能となる。なお、本実施形態では、データベース３４以外のデータ収集蓄積部３０を、基板処理装置１００内に設けているが、基板処理装置１００外に設けてもよい。また、逆に、データベース３４を基板処理装置１００内に設けてもよい。
  本実施形態では、基板処理装置１００の基板処理制御システムとは別に、独立して、モニタデータ収集専用のデータ収集蓄積部３０を基板処理装置１００内に設け、データ収集蓄積部３０と上位の管理システム（データ保存サーバ４０、解析アプリケーション装置５０）を接続しているので、従来の基板処理制御システムでは取得できなかった詳細なモニタデータを、上位の管理システムが取得でき、解析アプリケーション装置５０により解析して活用することができる。データ収集蓄積部３０の詳細は、後述する。
  データベース３４内に蓄積記憶されたデータは、必要に応じデータ保存サーバ４０等の不揮発性記憶装置へ転送され保存され、該保存された処理炉２０２の温度やガス流量や圧力データなどのデータは、高度なアプリケーション機能を有する解析アプリケーション装置５０により、統計解析や多変量解析など、基板処理装置１００を監視するためのデータ処理に用いられる。解析アプリケーション装置５０は、ネットワーク６０に接続されたパーソナルコンピュータで構成することができるが、クライアントサーバ型のアプリケーション装置として構成してもよいし、ウェブブラウザ等を使用する構成としてもよい。あるいは、解析アプリケーション装置５０は、ネットワーク６０から独立した形で構成してもよい。
  次に、図４を参照して、本実施形態に係るデータ収集蓄積部３０の機能ブロック構成について説明する。図４は、本実施形態に係るデータ収集蓄積部３０の機能ブロック図である。データ収集蓄積部（データ収集蓄積手段）３０は、データ収集部（データ収集手段）３１と、一時記憶部であるキャッシュメモリ（一時記憶手段）３２と、データ蓄積部（データ蓄積手段）３３と、データ収集蓄積部３０に対するオペレータからの指示や各種パラメータ等の入力設定を受け付ける操作表示部（不図示）とを備えている。
  まず、データ収集蓄積部３０の概要を説明する。  主制御部１１や外部Ｉ／Ｏ２６は、例えば、それぞれが収集するモニタデータの値が変化した場合や、それぞれのモニタデータの変化量がそれぞれ所定の閾値以上となった場合に、データ収集部３１に対し、それぞれのモニタデータを送信する。この送信されるモニタデータ量は、基板処理装置１００の稼働状態によって増減することが分かっている。例えば、基板処理時（生産時）には、待機時に比べ多くのデータが変化するため、送信されるモニタデータ量が増加する。また、生産中においても処理内容によって、送信されるモニタデータ量が一時的に増加するタイミングが存在する。また、基板処理装置１００の性能向上のための各種センサーの増加等によっても、送信されるモニタデータ量が増加する。  このような多量のモニタデータを、直接、データベース３４やデータ保存サーバ４０のＨＤＤに記憶しようとすると、ＨＤＤのアクセス速度が追いつかず、データの蓄積漏れや、最悪の場合、システムダウンを発生させる。
  したがって、多量のモニタデータを適切な量に減じることが必要となるが、このとき、データ収集蓄積部３０においては、増加するモニタデータに対して、制御ソフトウエアの変更を必要としない柔軟性のあることが必要となる。本実施形態においては、多量のモニタデータに対して必要なデータを絞り込むフィルタリング機能を、データ収集部３１に付与している。このフィルタリング機能は、後述の第１実施例等で示すように、チケット分配方式により実現されている。
  データ収集部３１は、主制御部１１や外部Ｉ／Ｏ２６から複数種類のモニタデータを受信し、該受信したモニタデータを周期的に、キャッシュメモリ３２へ書き込むものである。受信したモニタデータには、そのモニタデータの検出時刻であるタイムスタンプも含まれる。詳しくは、受信したモニタデータの総受信量と、キャッシュメモリ３２が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値とに応じて、一時記憶部であるキャッシュメモリ３２へ書き込む各種類のモニタデータ量を調整して、モニタデータの各種類毎に割り当て、該割り当てに基づき、各種類のモニタデータをキャッシュメモリ３２へ書き込むものである。このようにして、データ収集部３１は、多量のモニタデータに対して、必要なデータを絞り込むフィルタリング機能を有する。
  キャッシュメモリ３２は、半導体メモリで構成されており、後述のデータベース３４を構成するＨＤＤよりも高速でデータの書込みや読出しができるので、多量のモニタデータをデータベース３４に蓄積保存する際のクッションの役割を果たすことができる。  データ蓄積部３３は、キャッシュメモリ３２へ書き込まれたモニタデータを、所定の時間毎に読み出して、蓄積記憶部であるデータベース３４に書き込むものである。
  次に、データ収集部３１について詳しく説明する。  データ収集部３１は、図４に示すように、モニタデータ受信部（モニタデータ受信手段）３１ａ、モニタデータレート検出部（モニタデータレート検出手段）３１ｂ、モニタデータ書込割当部（モニタデータ書込割当手段）３１ｃ、モニタデータ書込部（モニタデータ書込手段）３１ｄ、データ収集記憶部（データ収集記憶手段）３１eを備えている。
  モニタデータ受信部３１ａは、基板処理装置１００から出力される複数種類のモニタデータ、例えば処理炉２０２の温度データや圧力データ等とその検出時刻を受信する。
  モニタデータレート検出部３１ｂは、モニタデータ受信部３１ａが受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量の閾値以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出する。この第１の時間や変化量の閾値は、予めオペレータによりデータ収集蓄積部３０の操作表示部から設定されてデータ収集記憶部３１eに記憶され、また、変更が可能となっている。  例えば、圧力データの変化量の閾値が１００Ｐａである場合に、圧力データが１秒間に、１００Ｐａから徐々に１１００Ｐａへ変化した場合、圧力データのモニタデータレートは１０回／秒となる。また、温度データの変化量の閾値が１０℃である場合に、温度データが１秒間に、５００℃から徐々に６００℃へ変化した場合、温度データのモニタデータレートは１０回／秒となる。したがって、モニタデータが、圧力データと温度データの２種類のみの場合は、モニタデータレートは２０回／秒となる。  なお、本実施形態では、モニタデータ受信部３１ａが受信するモニタデータは、主制御部１１や外部Ｉ／Ｏ２６の送信側において、所定の変化量以上に変化した場合に送信するように構成しているが、送信側は常にモニタデータを送信し、モニタデータ受信部３１ａが受信する際に、所定の変化量以上に変化したモニタデータを取得するように構成することもできる。
  モニタデータ書込割当部３１ｃは、キャッシュメモリ３２が書込みの１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、モニタデータレート検出部３１ｂで検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータをキャッシュメモリ３２に書き込む回数を、モニタデータの各種類毎に割り当てるものである。  また、モニタデータ書込み割当部３１ｃは、データ書込上限値と、モニタデータレートに加え、更に後述のデータ収集記憶部３１eに記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータをキャッシュメモリ３２に書き込む回数を、モニタデータの各種類毎に割り当てるものである。上記の第２の時間は、予めオペレータによりデータ収集蓄積部３０の操作表示部から設定されてデータ収集記憶部３１eに記憶され、また、変更が可能となっている。
  また、モニタデータ書込割当部３１ｃは、データ収集記憶部３１eに記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、優先度の高い種類のモニタデータを第２の時間内においてキャッシュメモリ３２に書き込む回数を、優先度の低い種類のモニタデータを第２の時間内においてキャッシュメモリ３２に書き込む回数よりも多く割り当てる。  また、モニタデータ書込割当部３１ｃは、該割り当て回数を、データ収集記憶部３１eに記憶させる。なお、モニタデータの優先度は、予めオペレータによりデータ収集蓄積部３０の操作表示部から設定されてデータ収集記憶部３１eに記憶され、また、変更が可能となっている。
  例えば、キャッシュメモリ３２が書込みの１周期において記憶できるモニタデータ量が、１０点／周期であり、１周期が１秒である場合、つまり、データ書込上限値が１０点／秒である場合を考える。このとき、上述のように圧力データと温度データのモニタデータレートが各１０回／秒で、総モニタデータレートが２０回／秒である場合、圧力データと温度データの優先度が同じであれば、モニタデータ書込割当部３１ｃは、圧力データと温度データに対し、各５回／秒、キャッシュメモリ３２に書き込む回数を割り当てる。圧力データと温度データの優先度が異なっているときは、モニタデータ書込割当部３１ｃは、優先度に応じて、キャッシュメモリ３２に書き込む回数を割り当てる。詳細は後述の実施例で説明する。
  モニタデータ書込部３１ｄは、モニタデータ書込み割当部３１ｃにより割り当てられた回数に基づき、モニタデータ受信部３１ａが受信した複数種類のモニタデータを、所定の第２の時間内においてキャッシュメモリ３２に書き込むものである。
  データ収集記憶部３１eは、モニタデータ書込割当部３１ｃが各モニタデータに対し割り当てた、キャッシュメモリ３２への所定の第２の時間内における１周期分の書き込み回数であるチケット分配表を記憶するものである。  例えば、上述のように、モニタデータ書込割当部３１ｃが、圧力データと温度データに対し、各５回／秒、キャッシュメモリ３２に書き込む回数を割り当てた場合は、その旨を記憶する。詳細は後述の実施例で説明する。  また、データ収集記憶部３１eは、モニタデータ書込割当部３１ｃが各モニタデータに対し書き込む回数を割り当てる際に用いる、複数種類のモニタデータのそれぞれの優先度を記憶するものである。また、データ収集記憶部３１eは、上述の第１の時間、モニタデータの変化量の閾値、第２の時間を記憶するものである。
  次に、データ蓄積部３３について詳しく説明する。  データ蓄積部３３は、図４に示すように、蓄積データ書込部（蓄積データ書込手段）３３ａ、監視部（監視手段）３３ｂ、データ蓄積記憶部（データ蓄積記憶手段）３１ｃを備えている。  蓄積データ書込部３３ａは、キャッシュメモリ３２に周期的に書き込まれたモニタデータを、例えば複数周期分、所定の第３の時間毎に読み出して、蓄積記憶部３４に書き込み蓄積するものである。この第３の時間は、予めオペレータによりデータ収集蓄積部３０の操作表示部から設定されてデータ蓄積記憶部３３ｃに記憶され、また、変更が可能となっている。  例えば、キャッシュメモリ３２に１秒毎に周期的に書き込まれたモニタデータを、１０秒毎に、１０周期分まとめて読み出して、蓄積記憶部３４に書き込み蓄積する
  監視部３３ｂは、キャッシュメモリ３２から蓄積記憶部３４へ伝送される蓄積データの伝送量を監視し、該蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えたと判断した場合、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれたモニタデータを読み出して蓄積記憶部３４に書き込む周期を長くするよう、蓄積データ書込部３３ａを制御するものである。  データ蓄積記憶部３３ｃは、上述の第３の時間を、キャッシュメモリ３２から蓄積記憶部３４へ伝送される蓄積データの伝送量に対応させて、複数種類記憶するものである。
（第１実施例）  次に、第１実施例について、図５を用いて説明する。図５は、本発明の実施形態の第１実施例におけるデータ収集記憶部３１ｅに記憶された１周期分、図５の例では１秒間のモニタデータ書込割当表、つまり、１周期分（１秒間）のモニタデータ書込のためのチケット分配表である。チケット分配とは、書込割当のことである。図５において、モニタデータを送信するセンサー２０００個のそれぞれに対して、優先度が設定され、また、チケットが分配されている、つまり、キャッシュメモリ３２への書込割当がなされている。チケット分配は、レ点で示されている。  例えば、優先度１のセンサーＩＤ０００１～０１００のセンサーからのデータに対しては、それぞれ１００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットはそれぞれ１０点である。優先度２のセンサー、例えばセンサーＩＤ０１０１～０１０６のセンサーからのデータに対しては、それぞれ２００ｍｓ毎又は３００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットはそれぞれ４点である。優先度３のセンサー、例えばＩＤ１９９９やセンサーＩＤ２０００のセンサーからのデータに対しては、それぞれ５００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットはそれぞれ２点である。
  このチケット分配表に従って、１周期（１秒間）のうち、０００ｍｓから１００ｍｓの間に、センサーＩＤ０００１～０１００、０１０１、０１０４、０１０６、・・・からのデータがキャッシュメモリ３２へ書き込まれ、１００ｍｓから２００ｍｓの間に、センサーＩＤ０００１～０１００、０１０２、０１０５、・・・からのデータがキャッシュメモリ３２へ書き込まれ、以下同様にして各１００ｍｓの間に各センサーからのデータがキャッシュメモリ３２へ書き込まれ、最後に、９００ｍｓから１０００ｍｓの間に、センサーＩＤ０００１～０１００、０１０３、０１０５・・・からのデータがキャッシュメモリ３２へ書き込まれる。  このように、第１実施例においては、キャッシュメモリ３２に書き込まれるモニタデータをフィルタリングするために、チケット分配方式が採用されている。
  第１実施例においては、前提条件が次のように設定されている。  （１）モニタデータを送信するセンサーは２０００個存在し、そのセンサーＩＤ（識別子）は、０００１～２０００である。  （２）２０００個のセンサーからのモニタデータを、キャッシュメモリ３２へ書き込む周期は１秒である。すなわち、チケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込んだ後、次のチケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込むまでの周期は１秒である。  （３）キャッシュメモリ３２のデータ書込上限値が５０００点／秒である。つまり、キャッシュメモリ３２へは、１秒間に最大５０００回のデータ書込み動作を行うことができる。このデータ書込上限値は、キャッシュメモリ３２の性能やキャッシュメモリ３２へデータ書込みを行うＣＰＵ等の性能により決定される。したがって、キャッシュメモリ３２へのモニタデータ書込タイミングを配分するチケットは５０００点存在する。  （４）優先度１のデータは、センサーＩＤが０００１～０１００からのデータであり、これらは、変化を全てキャッシュメモリ３２へ記録する。
  以上の前提条件の下で、図５の例において、モニタデータレート検出部３１ｂは、第１の時間である１周期（１秒間）毎に、１周期（１秒間）当たりのモニタデータ収集点数であるモニタデータレートを集計し、該集計したモニタデータレートに基づき、モニタデータ書込割当部３１ｃは、次の１周期（１秒間）の各モニタデータに対して、第２の時間である１周期（１秒間）分のチケットを割り当てて配分する。モニタデータレート集計とチケット配分の詳細は、次のとおりである。  （１）図５の例では、２０００個のセンサーからのモニタデータは、それぞれ１００ｍｓ毎に、それぞれ所定の変化量以上に変化する、つまり、モニタデータレートは、２０００×１秒／０．１秒＝２００００点／秒である。例えば、処理炉２０２の圧力データは、１秒間に１０００Ｐａ変化するので、所定の変化量である１００Ｐａ以上の変化を、１００ｍｓ毎に繰り返す。
  （２）優先度１のデータは、センサーＩＤが０００１～０１００からのデータであり、これらは、変化を全てキャッシュメモリ３２へ記録するので、優先度１のデータは、それぞれ１００ｍｓ毎に更新、つまり１００ｍｓ毎にキャッシュメモリ３２へ書き込まれる。したがって、優先度１のデータには、１データあたり１０点のチケットが分配されるので、優先度１のデータ全体で１０００点のチケットが分配される。なお、優先度１のデータは、データ収集蓄積部３０の操作表示部から、オペレータによりデータ収集記憶部３１eに予め登録されており、該登録された優先度１のデータに基づき、モニタデータ書込割当部３１ｃは、チケットを分配する。
  （３）優先度１以外のデータは、センサーＩＤが０１０１～２０００からのデータ（１９００個）であり、これらには、上記（２）の割り当て後の残りのチケット４０００点がラウンドロビン方式により均等な時間間隔で割り当てられる。したがって、優先度１以外のデータには、１データあたり２点のチケットが分配可能なので、優先度１以外のデータ全体で３８００点のチケットが分配される。ここまでで、チケットは、計４８００点（１０００＋３８００）分配され、残りは２００点である。
  （４）さらに、優先度１以外のデータには、上記（３）の割り当て後の余りのチケット２００点が、できるだけ均等な時間間隔となるように、センサーＩＤが小さい順に割り当てられる。余りのチケットが割り当てられるデータが優先度２のデータであり、余りのチケットが割り当てられないデータが優先度３のデータである。図５の例では、センサーＩＤが０１０１～０２００からのデータ（１００個）に対し、余りのチケット２００点がそれぞれ２点ずつ割り当てられているので、優先度２のデータは、センサーＩＤが０１０１～０２００からのデータであり、優先度３のデータは、センサーＩＤが０２０１～２０００からのデータ（１８００個）である。  なお、図５の例では、センサーＩＤが０１０１～０２００からのデータ（１００個）に対し、余りのチケットをそれぞれ２点ずつ割り当てているが、センサーＩＤが０１０１～０３００からのデータ（２００個）に対し、余りのチケットをそれぞれ１点ずつ割り当てるようにすることもできる。
  算出したチケット配分は、チケット分配表としてデータ収集記憶部３１eに記憶され、モニタデータ書込部３１ｄは、チケット配分が行われた場合に、データ収集記憶部３１eに記憶したチケット分配表に基づき、チケット配分が行われた次の周期のモニタデータをキャッシュメモリ３２へ書き込む。また、図５の例では、チケット配分が行われなかった場合には、モニタデータ書込部３１ｄは、キャッシュメモリ３２へモニタデータを書き込まない。  各周期におけるモニタデータレートは、急激には変化しないので、チケット配分が行われた次の周期のモニタデータをキャッシュメモリ３２へ書き込むようにしても、大きな障害はない。なお、本実施例のように、受信した１周期（１秒間）分のモニタデータからモニタデータレートを集計し、該集計したモニタデータレートに基づき、次の１周期（１秒間）に対するチケットを配分するのではなく、受信した１周期（１秒間）分のモニタデータをバッファメモリに一時的に記憶しておき、該バッファメモリに記憶したモニタデータからモニタデータレートを集計し、該集計したモニタデータレートに基づき、バッファメモリに記憶したモニタデータに対するチケットを配分するよう構成することもできる。このようにすると、バッファメモリが必要になるが、より正確にチケット配分することができる。
  このようにして、１周期毎のモニタデータ書込みを、時系列に連続して１０周期（１０秒間）に亘り繰り返して、計１０周期分のモニタデータを、キャッシュメモリ３２に書き込む。  次に、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを、第３の時間である１０周期分の時間、つまり１０秒毎に読み出して、データ圧縮等の処理を行った後、ネットワーク６０を介し、ＨＤＤ等の不揮発性メモリで構成される蓄積記憶部としてのデータベース３４に書き込み蓄積する。  このとき、監視部３３ｂが、キャッシュメモリ３２からデータベース３４へ伝送される蓄積データの伝送量を監視し、蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えたと判断した場合、蓄積データ書込み部３３ａがキャッシュメモリ３２に書き込まれたモニタデータを読み出してデータベース３４に書き込む周期を、データベース３４へ伝送される蓄積データの伝送量に応じて長くするよう制御する。これにより、蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えることによるシステムダウン等を防止できる。  このようにして、１周期毎のモニタデータ書込みを連続して１０周期（１０秒間）に亘り繰り返して、計１０周期分のモニタデータをキャッシュメモリ３２に上書きするデータ収集動作と、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを１０秒毎に読み出してデータベース３４に書き込み蓄積するデータ蓄積動作を繰り返して実行する。
  なお、本実施例では、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを、１０周期分の時間（１０秒）毎に読み出して、データベース３４に書き込むようにしたが、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１周期分のモニタデータを、１周期分の時間（１秒）毎に読み出して、データベース３４に書き込む、あるいは、任意の周期分のモニタデータを、該任意の周期毎に読み出して、データベース３４に書き込むよう構成することもできる。
  また、本実施例においては、温度設定値や圧力設定値等を指示する装置パラメータが、オペレータや処理レシピにより指示されたときに、該指示された時刻とともに、該指示された温度設定値や圧力設定値等の装置パラメータを、モニタデータ受信部３１aで受信し、例えばキャッシュメモリ３２とは別のキャッシュメモリへ書き込むよう構成し、該別のキャッシュメモリから装置パラメータの指示時刻と装置パラメータを読み出して、データベース３４へ書き込み保存することもできる。このようにすると、解析アプリケーション装置５０等において、モニタデータ受信部３１aで受信したモニタデータの発生時刻と、装置パラメータの指示時刻を、対比させて解析することができる。
  上述のように本実施例では、第１の時間である１周期（１秒間）毎に、各モニタデータがそれぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして集計し、該集計したモニタデータレートとキャッシュメモリ３２が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値とに基づき、１周期分の各種類のモニタデータを第２の時間である１秒間でキャッシュメモリ３２に書き込む回数としてチケットを割り当て配分し、該割り当てられたチケットに基づき、第２の時間である１秒間で１周期分のモニタデータをキャッシュメモリ３２に書き込む。そして、この１周期毎のモニタデータ書込みを１０周期（１０秒間）に亘り繰り返して、計１０周期分のモニタデータを、キャッシュメモリ３２に書き込む。したがって、本実施例のキャッシュメモリ３２には、時系列に連続する１０周期分のモニタデータが書き込まれる。  そして、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを、第３の時間である１０周期分の時間、つまり１０秒毎に読み出して、蓄積記憶部としてのデータベース３４に書き込み蓄積する。
（第２実施例）  次に、第２実施例について、図６を用いて説明する。図６は、第２実施例におけるデータ収集記憶部３１ｅに記憶された１周期分、図６の例では１秒間のモニタデータ書込割当表、つまり、１周期分（１秒間）のモニタデータ書込のためのチケット分配表である。図６において、モニタデータを送信するセンサー５００個のそれぞれに対して、優先度が設定され、また、チケットが分配されている。チケット分配は、レ点で示されている。  図６の例では、優先度１～優先度３の全てのセンサーからのデータに対して、それぞれ１００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットは５０００点である。
  第２実施例においては、前提条件が次のように設定されている。  （１）モニタデータを送信するセンサーは５００個存在し、そのセンサーＩＤ（識別子）は、０００１～５００である。  （２）５００個のセンサーからのモニタデータを、キャッシュメモリ３２へ書き込む周期は１秒である。すなわち、チケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込んだ後、次のチケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込むまでの周期は１秒である。  （３）キャッシュメモリ３２のデータ書込上限値が５０００点／秒である。つまり、キャッシュメモリ３２へは、１秒間に最大５０００回のデータ書込み動作を行うことができる。このデータ書込上限値は、キャッシュメモリ３２やキャッシュメモリ３２へデータ書込みを行うＣＰＵ等の性能により決定される。したがって、キャッシュメモリ３２へのモニタデータ書込タイミングを配分するチケットは５０００点存在する。  （４）優先度１のデータは、センサーＩＤが０００１からのデータであり、このデータは、変化を全てキャッシュメモリ３２へ記録する。
  第２実施例におけるモニタデータレート集計とチケット配分の詳細は、次のとおりである。  図６の例では、５００個のセンサーからのモニタデータは、それぞれ１００ｍｓ毎に、それぞれ所定の変化量以上に変化する、つまり、モニタデータレートは、５００×１秒／０．１秒＝５０００点／秒である。これは、キャッシュメモリ３２のデータ書込上限値である５０００点／秒と一致し、データ書込上限値以下である。したがって、５００個のセンサーからのモニタデータを全て、キャッシュメモリ３２へ書き込めることが分かる。その結果、５００個のセンサーからのモニタデータに対し、１データあたり１０点のチケットが分配される。
  算出したチケット配分は、データ収集記憶部３１eに記憶され、モニタデータ書込部３１ｄは、チケット配分が行われた場合に、データ収集記憶部３１eに記憶したチケット配分に基づき、チケット配分が行われた次の周期のモニタデータをキャッシュメモリ３２へ書き込む。  このようにして、１周期毎のモニタデータ書込みを、時系列に連続して１０周期（１０秒間）に亘り繰り返して、計１０周期分のモニタデータを、キャッシュメモリ３２に書き込む。
  次に、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを、１０周期分の時間、つまり１０秒毎に読み出して、データ圧縮等の処理を行った後、ネットワーク６０を介し、ＨＤＤ等の不揮発性メモリで構成される蓄積記憶部としてのデータベース３４に書き込み蓄積する。
（第３実施例）  次に、第３実施例について、図７を用いて説明する。図７は、第３実施例におけるデータ収集記憶部３１ｅに記憶された１周期分、図７の例では１秒間のモニタデータ書込割当表、つまり、１周期分（１秒間）のモニタデータ書込のためのチケット分配表である。図７において、モニタデータを送信するセンサー１５００個のそれぞれに対して、優先度が設定され、また、チケットが分配されている。チケット分配は、レ点で示されている。
  例えば、優先度１のセンサーＩＤ０００１からのデータに対しては、１００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットは１０点である。優先度２のセンサー、例えばセンサーＩＤ０００２～０００６からのデータに対しては、それぞれ２００ｍｓ毎又は３００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットはそれぞれ４点である。優先度３のセンサー、例えばＩＤ１４９９やセンサーＩＤ１５００からのデータに対しては、それぞれ３００ｍｓ毎又は４００ｍｓ毎にチケットが分配され、１周期分のチケットはそれぞれ３点である。
  第３実施例においては、前提条件が次のように設定されている。  （１）モニタデータを送信するセンサーは１５００個存在し、そのセンサーＩＤ（識別子）は、０００１～１５００である。  （２）１５００個のセンサーからのモニタデータを、キャッシュメモリ３２へ書き込む周期は１秒である。すなわち、チケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込んだ後、次のチケット分配に基づき分配されたチケット分のモニタデータを全てキャッシュメモリ３２へ書き込むまでの周期は１秒である。  （３）キャッシュメモリ３２のデータ書込上限値が５０００点／秒である。つまり、キャッシュメモリ３２へは、１秒間に最大５０００回のデータ書込み動作を行うことができる。このデータ書込上限値は、キャッシュメモリ３２やキャッシュメモリ３２へデータ書込みを行うＣＰＵ等の性能により決定される。したがって、キャッシュメモリ３２へのモニタデータ書込タイミングを配分するチケットは５０００点存在する。  （４）優先度１のデータは、センサーＩＤが０００１からのデータであり、これは、変化を全てキャッシュメモリ３２へ記録する。
  以上の前提条件の下で、図７の例において、モニタデータレート検出部３１ｂは、１周期（１秒間）毎に、１周期（１秒間）当たりのモニタデータ収集点数であるモニタデータレートを集計し、該集計したモニタデータレートに基づき、モニタデータ書込割当部３１ｃは、次の１周期（１秒間）の各モニタデータに対して、１周期（１秒間）分のチケットを割り当てて配分する。モニタデータレート集計とチケット配分の詳細は、次のとおりである。  （１）図７の例では、１５００個のセンサーからのモニタデータは、それぞれ１００ｍｓ毎に、それぞれ所定の変化量以上に変化する、つまり、モニタデータレートは、１５００×１秒／０．１秒＝１５０００点／秒である。
  （２）優先度１のデータは、センサーＩＤが０００１からのデータであり、これは、変化を全てキャッシュメモリ３２へ記録するので、優先度１のデータは、１００ｍｓ毎に更新、つまり１００ｍｓ毎にキャッシュメモリ３２へ書き込まれる。したがって、優先度１のデータには、１０点のチケットが分配される。
  （３）優先度１以外のデータは、センサーＩＤが０００２～１５００からのデータ（１４９９個）であり、これらには、上記（２）の割り当て後の残りのチケット４９９０点がラウンドロビン方式により均等な時間間隔で割り当てられる。したがって、優先度１以外のデータには、１データあたり３点のチケットが分配可能（１４９９×３＝４４９７）なので、優先度１以外のデータ全体で４４９７点のチケットが分配される。
  （４）さらに、優先度１以外のデータには、上記（３）の割り当て後の余りのチケット４９３点（５０００－１０－４４９７＝４９３）が、できるだけ均等な時間間隔となるように、センサーＩＤが小さい順に割り当てられる。余りのチケットが割り当てられるデータが優先度２のデータであり、余りのチケットが割り当てられないデータが優先度３のデータである。図７の例では、センサーＩＤが０００２～０４９４からのデータ（４９３個）に対し、余りのチケット４９３点がそれぞれ１点ずつ割り当てられているので、優先度２のデータは、センサーＩＤが０００２～０４９４からのデータであり、優先度３のデータは、センサーＩＤが０４９５～１５００からのデータ（１００６個）である。
  算出したチケット配分は、データ収集記憶部３１eに記憶され、モニタデータ書込部３１ｄは、チケット配分が行われた場合に、データ収集記憶部３１eに記憶したチケット配分に基づき、チケット配分が行われた次の周期のモニタデータをキャッシュメモリ３２へ書き込む。  このようにして、１周期毎のモニタデータ書込みを、時系列に連続して１０周期（１０秒間）に亘り繰り返して、計１０周期分のモニタデータを、キャッシュメモリ３２に書き込む。
  次に、蓄積データ書込部３３ａが、キャッシュメモリ３２に書き込まれた１０周期分のモニタデータを、１０周期分の時間、つまり１０秒毎に読み出して、データ圧縮等の処理を行った後、ネットワーク６０を介し、ＨＤＤ等の不揮発性メモリで構成される蓄積記憶部としてのデータベース３４に書き込み蓄積する。
  以上説明した実施形態によれば、少なくとも次の（１）～（４）の効果を得ることができる。 
（１）一時記憶部が記憶できるデータ書込上限値とモニタデータレートとに基づき、チケット配分をおこなうので、センサーからのモニタデータ量が増加しても、一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定でき、センサーからのモニタデータ量増加に対応することができる。したがって、データの蓄積漏れや、システムダウン発生を防止できる。  （２）各種類のモニタデータの優先度に基づき、優先度の高い種類のモニタデータを一時記憶部に書き込む回数を、優先度の低い種類のモニタデータよりも多くできるので、モニタデータの優先度に応じて、一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定できる。  （３）第１の優先度のモニタデータに対し第１の回数だけ一時記憶部に書き込むように割り当て、データ書込上限値から第１の回数を差し引いた回数のうち第２の回数を、第２及び第３の優先度のモニタデータに対し割り当て、データ書込上限値から第１及び第２の回数を差し引いた回数である第３の回数を、第２の優先度のモニタデータに対し割り当てるので、モニタデータの優先度に応じて一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定できるとともに、データ書込上限値と同じ数だけチケット配分をおこなうことができ、チケットを余らせることなく使用できる。  （４）一時記憶部から蓄積記憶部へ伝送される蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えた場合、一時記憶部に書き込まれたモニタデータを読み出して前記蓄積記憶部に書き込む周期を長くするので、蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えることによるシステムダウン等を防止できる。
  本発明は、前記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。  前記実施形態では、基板処理装置内に、データ収集蓄積部３０を配置したが、これらは、基板処理装置外に配置することもでき、例えば、クリーンルーム内に設置された基板処理装置とＬＡＮ接続し、クリーンルーム外に管理装置として配置することもできる。  本発明は、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、エピタキシャル成長膜、酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。
  本発明の好ましい態様について付記する。
（付記１）本発明の一態様によれば、  基板を処理する基板処理装置と、  前記基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、  を備える基板処理システム。  ここで、第１の時間と第２の時間は、同じであってもよい。第２の時間と第３の時間は、同じであってもよいが、第２の時間よりも第３の時間を長くする方が、一時記憶部から蓄積記憶部へのデータ伝送量を少なくできるので好ましい。
  (付記２)付記１における基板処理システムであって、  前記複数種類のモニタデータが前記一時記憶部に記憶される際の、前記複数種類のモニタデータのそれぞれの優先度を記憶する優先度記憶部を備え、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記優先度記憶部に記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、前記優先度の高い種類のモニタデータを前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込む回数を、前記優先度の低い種類のモニタデータを前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込む回数よりも多く割り当てる基板処理システム。
  (付記３)付記１における基板処理システムであって、  前記複数種類のモニタデータが前記一時記憶部に記憶される際の、前記複数種類のモニタデータのそれぞれの優先度を記憶する優先度記憶部を備え、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記データ書込上限値と、前記モニタデータレートと、前記優先度記憶部に記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、前記第２の時間内において各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数を割り当てる基板処理システム。
  (付記４)付記３における基板処理システムであって、  前記各種類のモニタデータの優先度は、第１の優先度、第２の優先度、第３の優先度を含み、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記第１の優先度のモニタデータに対し、前記第２の時間毎に第１の回数だけ前記一時記憶部に書き込むように割り当て、前記データ書込上限値から前記第１の回数を差し引いた回数のうち第２の回数を、前記第２及び第３の優先度のモニタデータに対し割り当て、前記データ書込上限値から前記第１及び第２の回数を差し引いた回数である第３の回数を、前記第２の優先度のモニタデータに対し割り当てる、基板処理システム。
  (付記５)付記１乃至付記４のいずれかの基板処理システムであって、  前記一時記憶部から前記蓄積記憶部へ伝送される蓄積データの伝送量を監視する監視部を備え、  前記監視部で、前記蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えたと判断された場合、前記蓄積データ書込み部が、前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを読み出して前記蓄積記憶部に書き込む周期を長くする基板処理システム。
  (付記６) 　本発明の他の態様によれば 
外部から複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と  を備えるモニタデータ収集蓄積システム。
 (付記７) 　本発明のまた別の態様によれば、 
基板を処理する基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信ステップと、 
前記モニタデータ受信ステップで受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出ステップと、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出ステップで検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当ステップと、  前記モニタデータ書込み割当ステップにより割り当てられた回数に基づき、前記基板処理装置から出力された複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込みステップと、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込みステップと、  を備える基板処理システムのモニタデータ収集蓄積方法、又はモニタデータ収集蓄積プログラム。
  (付記８) 　本発明のまた別の態様によれば、 
主制御部と、  前記主制御部から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、  を備える基板処理装置。
  (付記９)付記８の発明における基板処理装置であって、  前記複数種類のモニタデータが前記一時記憶部に記憶される際の、前記複数種類のモニタデータのそれぞれの優先度を記憶する優先度記憶部を備え、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記優先度記憶部に記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、前記優先度の高い種類のモニタデータを前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込む回数を、前記優先度の低い種類のモニタデータを前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込む回数よりも多く割り当てる基板処理装置。
  (付記１０)付記８の発明における基板処理装置であって、  前記複数種類のモニタデータが前記一時記憶部に記憶される際の、前記複数種類のモニタデータのそれぞれの優先度を記憶する優先度記憶部を備え、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記データ書込上限値と、前記モニタデータレートと、前記優先度記憶部に記憶された各種類のモニタデータの優先度に基づき、前記第２の時間内において各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数を割り当てる基板処理装置。
  (付記１１)付記１０の発明における基板処理装置であって、  前記各種類のモニタデータの優先度は、第１の優先度、第２の優先度、第３の優先度を含み、  前記モニタデータ書込み割当部が、前記第１の優先度のモニタデータに対し、前記第２の時間毎に第１の回数だけ前記一時記憶部に書き込むように割り当て、前記データ書込上限値から前記第１の回数を差し引いた回数のうち第２の回数を、前記第２及び第３の優先度のモニタデータに対し割り当て、前記データ書込上限値から前記第１及び第２の回数を差し引いた回数である第３の回数を、前記第２の優先度のモニタデータに対し割り当てる、基板処理装置。
  (付記１２)付記８乃至付記１０のいずれかの発明における基板処理装置であって、  前記一時記憶部から前記蓄積記憶部へ伝送される蓄積データの伝送量を監視する監視部を備え、  前記監視部で、前記蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えたと判断された場合、前記蓄積データ書込み部が、前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを読み出して前記蓄積記憶部に書き込む周期を長くする基板処理装置。
本出願は、２０１１年１２月２０日に出願された日本出願特願２０１１－２７８５６９を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
　半導体ウエハ等の基板を処理する基板処理装置から出力される各種モニタデータ、例えば処理温度や処理室内圧力等のモニタデータを収集し蓄積する基板処理システムが提供される。
  １１…主制御部、１２…主記憶部、１３…搬送制御部、１４…温度制御部、１５…ガス制御部、１６…ＰＬＣユニット、２１…フォトセンサー、２２…ポッドセンサー、２３…温度センサー、２４…バルブＩ／Ｏ、２５…インタロックＩ／Ｏ、２６…外部Ｉ／Ｏ、３０…データ収集蓄積部、３１…データ収集部、３１ａ…モニタデータ受信部、３１ｂ…モニタデータレート検出部、３１ｃ…モニタデータ書込割当部、３１ｄ…モニタデータ書込部、３１ｅ…データ収集記憶部、３２…一時記憶部（キャッシュメモリ）、３３…データ蓄積部、３３ａ…蓄積データ書込部、３３ｂ…監視部、３３ｃ…データ蓄積記憶部、３４…蓄積記憶部（データベース）、４０…データ保存サーバ、５０…解析アプリケーション装置、６０…ネットワーク、１００…基板処理装置、１０５…回転棚、１１０…ポッド、１１１…筐体、１１１ａ…正面壁、１１２…ポッド搬入搬出口、１１３…フロントシャッタ、１１４…ロードポート、１１５…ボートエレベータ、１１６…支柱、１１７…棚板、１１８…ポッド搬送装置、１１９…サブ筐体、１２０…ウェハ搬入搬出口、１２１…ポッドオープナ、１２２…載置台、１２３…キャップ着脱機構、１２４…移載室、１２５…ウェハ移載機構、１２８…アーム、１３３…クリーンエア、１３４…クリーンユニット、１４２…ウェハ搬入搬出開口、１４７…炉口シャッタ、２００…ウェハ（基板）、２０２…処理炉。

Claims (3)

  1. 基板を処理する基板処理装置と、 
    前記基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、  を備える基板処理システム。
  2. 主制御部と、  前記主制御部から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、  前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、  前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、  前記一時記憶部が１周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、  前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第２の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、  前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、  前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、  を備える基板処理装置。
  3. 複数種類のモニタデータを受信する工程と、  受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される工程と、  前記複数種類のモニタデータが、所定の第１の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出する工程と、  １周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と検出された前記モニタデータレートに基づき、所定の第２の時間内において１周期分の各種類のモニタデータを書き込む回数をモニタデータの種類毎に割り当てる工程と、  割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータを、前記第２の時間内に書き込む工程と、  書き込まれた前記モニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される工程と、 
    書き込まれた前記モニタデータを、所定の第３の時間毎に読み出して書き込む工程と、を有する基板処理装置のデータ蓄積方法。 
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