JP6220783B2 - 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法 - Google Patents

Description

本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を処理し、各種装置データ、例えば処理温度や処理室内圧力等のモニタデータ等を出力する基板処理装置や、基板処理装置から出力された各種装置データを収集し蓄積する上位装置や、基板処理装置や上位装置から構成される基板処理システムや、該基板処理システムにおけるデータ処理方法に関するものである。

例えば、半導体装置の製造装置（半導体製造装置）として機能する基板処理装置において、基板処理装置で発生した処理温度や処理室内圧力等のモニタデータ等の各種装置データを、当該基板処理装置に記憶するとともに、工場ＬＡＮ等のネットワークを介して定期的に、上位装置である群管理装置へ送信し報告することが行われている。群管理装置は、複数の基板処理装置から受信した各種装置データを、群管理装置のデータベースに保存する。保存された装置データは、例えば、同一の処理を行う複数の基板処理装置間の均一な成膜処理や、故障発生時の故障解析などに利用される。

基板処理装置が保有する装置データを群管理装置へ報告する周期は、基板処理装置の電源が投入され群管理装置と通信接続されたときに、群管理装置から受信して取得する。基板処理装置は、群管理装置から取得した固定の報告周期により、保有する装置データを群管理装置へ送信する。群管理装置へ送信する装置データは、上述の処理温度や処理室内圧力やガス流量や各種センサー情報等のプロセスモニタデータや、基板搬送等において稼働する駆動軸の位置等のメカニカルモニタデータを含む。

近年、基板処理装置の高性能化により報告される装置データの種類が増大し、また、基板処理装置ユーザの要求による報告される装置データ粒度の微細化（報告の短周期化）に伴い、基板処理装置から群管理装置へ報告されるデータ量が増大している。例えば、基板処理装置に異常が生じたような場合は、異常原因を調査するために、その異常に関連する装置データを多量に報告するようにしている。また、ネットワークに接続された多くの基板処理装置からの報告が集中するタイミングも発生し得る。

このため、基板処理装置が保有する全ての装置データを、従来行っているように固定周期で群管理装置へ報告すると、報告するデータ量が多いため、群管理装置のデータベースに全ての装置データを保存処理できないデータベースオーバフローとなる事態が発生し得る。そうすると、データベースオーバフローに起因して、ネットワーク上の通信過負荷状態が発生し、最悪の場合、基板処理装置の運用が停止する事態が発生し得る。また、ネットワークに接続された多くの基板処理装置からの報告が集中した場合に、基板処理装置が装置データを固定周期で群管理装置へ報告しようとすると、ネットワーク上の通信過負荷状態が発生し、同様に、基板処理装置の運用が停止する事態が発生し得る。

下記の特許文献１には、基板処理装置の稼働状態（平常時、緊急時、レシピ実行時、調整時）に応じて、基板処理装置から群管理装置へ報告する報告周期を変更することが開示されている。

特開２００５−２７６９３５号公報

しかしながら、上記の特許文献１の技術では、基板処理装置の稼働状態に応じて群管理装置への報告周期が固定されており、ある稼働状態、例えばレシピ実行中において装置データ量が増加した場合に、十分な対応をすることができない。 本発明の目的は、基板処理装置と群管理装置との間において、群管理装置へ送信する装置データ量を調整することにより、データ量の増大に伴う群管理装置への悪影響を抑制することにある。

本発明の一態様によれば、 基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも１台の前記基板処理装置とネットワークを介して接続され、前記基板処理装置から周期的に報告される前記装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備えた基板処理システムが提供される。

本発明の他の態様によれば、基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを少なくとも記憶する記憶部と、前記装置データを周期的に報告する制御部とを備えた基板処理装置のデータ処理方法であって、前記制御部は、前記装置データを収集する工程と、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する工程と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定工程と、 を実行する基板処理装置のデータ処理方法が提供される。

本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを管理装置へ報告する処理と、
前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する処理と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定処理と、 を備えるデータ報告プログラムを読み取り可能な記録媒体が提供される。

上記の構成によれば、ある稼働状態において基板処理装置で発生する装置データ量が増加しても、群管理装置において通信過負荷状態が発生することを抑制できる。

本発明の第１実施形態に係る基板処理システム、及び基板処理装置と群管理装置の構成例である。 本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の第１実施形態に係る基板処理装置の垂直断面図である。 本発明の第１実施形態に係る更新データ格納テーブルである。 本発明の第１実施形態に係るデータ更新情報格納テーブルである。 本発明の第１実施形態に係る報告周期切換え設定テーブルである。 本発明の第２実施形態に係るネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。 本発明の第２実施形態に係る初期パラメータ格納テーブルである。 本発明の第３実施形態に係る装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。 本発明の第３実施形態に係る障害種別対応データ種別定義テーブルである。

（第１実施形態） 以下、図面を参照して、本発明の第１実施形態に係る基板処理システムの構成、及び基板処理装置と群管理装置の構成について説明する。図１は、第１実施形態に係る基板処理システムの構成例を示し、また、基板処理装置の制御系と群管理装置の構成例を示す。 図１に示されるように、第１実施形態に係る基板処理システムは、基板処理装置１００と、群管理装置３０と、基板処理装置１００と群管理装置３０とを接続する工場内ＬＡＮ等のネットワーク６０とを備える。１台の群管理装置３０に対して複数、例えば数十台の基板処理装置１００が接続される。

基板処理装置１００で生成され発生した処理温度や処理室内圧力等の各種装置データは、当該基板処理装置１００に記憶されるとともに、ネットワーク６０を介して所定の周期で、上位装置である群管理装置３０へ送信される。 群管理装置３０では、複数の基板処理装置１００から受信した装置データを、自身のデータベース（記憶部３２）に保存して、例えば、故障発生時の故障解析等に役立つようにしている。このように、群管理装置３０は、記憶装置ともいえる。

まず、上位の管理装置としての群管理装置について、図１を用いて説明する。 図１に示すように、群管理装置３０は、制御部３１と、記憶部３２と、操作表示部３３と、通信部３４とを備える。操作表示部３３は、オペレータの指示を受け付ける操作部と、操作画面や各種データ等を表示する表示部とを備える。制御部３１には、群管理装置３０を構成する上記操作表示部３３等の各構成部が電気的に接続され、これらの各構成部は、制御部３１により制御される。主制御部３１は、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と制御部３１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って動作する。通信部３４は、ネットワーク６０を介して、複数の基板処理装置１００との間で各種データの送受信を行う。

記憶部３２は、ネットワーク６０を介して複数の基板処理装置１００から受信した各基板処理装置１００の各種装置データを記憶し保存しており、不揮発性記憶装置であるハードディスクや半導体メモリ等から構成される。また、記憶部３２は、基板処理装置１００で使用されるデータ種別ごとの報告周期や、後述する初期パラメータ格納テーブル（図８）、障害種別対応データ種別定義テーブル（図１０）等を記憶している。群管理装置３０は、基板処理装置１００の電源が投入されるなど基板処理装置１００が初期状態から立ち上がったときに、該データ種別ごとの報告周期を基板処理装置１００へ送信する。

記憶部３２内に蓄積記憶された処理炉２０２の温度やガス流量や圧力データなどの装置データは、必要に応じ例えば、高度なアプリケーション機能を有する解析アプリケーション装置（不図示）へ転送され、統計解析や多変量解析など、基板処理装置１００を監視するためのデータ処理に用いられる。解析アプリケーション装置は、ネットワーク６０に接続されたパーソナルコンピュータ等で構成することができる。

次に、基板処理装置１００の全体構成を、図２を用いて説明する。本実施形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置（ＩＣ：Integrated Circuit）の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）処理などを行うバッチ式縦型半導体製造装置（以下、単に処理装置ともいう）を適用した場合について述べる。図２は、第１実施形態の処理装置の透視図であり、斜視図として示されている。また、図３は図２に示す処理装置の側面透視図である。

図３に示されているように、本実施形態の処理装置１００は、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納するウエハキャリアとしてポッド１１０を使用し、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａには、ポッド搬入搬出口１１２が、筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２は、フロントシャッタ１１３によって開閉される。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側には、ロードポート１１４が設置されており、ロードポート１１４は、ポッド１１０を載置する。ポッド１１０は、ロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出される。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転棚１０５が設置されており、回転棚１０５は、支柱１１６を中心に回転し、棚板１１７に複数個のポッド１１０を保管する。 図３に示すように、筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転棚１０５との間には、ポッド搬送装置１１８が設置されている。ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ１１８ａと、水平搬送機構としてのポッド搬送機構１１８ｂとで構成されており、ロードポート１１４、回転棚１０５、ポッドオープナ１２１との間で、ポッド１１０を搬送する。

図３に示すように、筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａには、ウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口１２０が１対、垂直方向に上下２段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には１対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。 ポッドオープナ１２１は、ポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は、載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉する。載置台１２２は、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚である。

図３に示すように、サブ筐体１１９は、ポッド搬送装置１１８や回転棚１０５の設置空間の雰囲気と隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域には、ウエハ移載機構１２５が設置されている。ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００をツイーザ１２５ｃに載置して水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置１２５ａ、およびウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ１２５ｂとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂおよびウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ボート２１７に対して、ウエハ２００を装填および脱装する。

図２に示されているように、移載室１２４内には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう、供給フアンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されている。 図３に示すように、ボート２１７の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２は、内部に基板処理室（不図示）を備え、該基板処理室の周囲には、基板処理室内を加熱するヒータ（不図示）を備える。処理炉２０２の下端部は、炉口ゲートバルブ１４７により開閉される。

図２に示されているように、ボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５に連結されたアーム１２８には、シールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９は、ボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。 ボート２１７は、複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０枚〜１２５枚程度）のウエハ２００を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

次に、本実施形態の処理装置の動作について説明する。 図２、図３に示されているように、ポッド１１０がロードポート１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ポッド搬入搬出口１１２から搬入される。 搬入されたポッド１１０は、回転棚１０５の指定された棚板１１７へ、ポッド搬送装置１１８によって、自動的に搬送されて受け渡される。

ポッド１１０は回転棚１０５で一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは、ロードポート１１４から直接、ポッドオープナ１２１に搬送されて、載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０は、キャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。

図３に示すように、載置台１２２に載置されたポッド１１０は、そのキャップが、キャップ着脱機構１２３によって取り外され、ポッド１１０のウエハ出し入れ口が開放される。また、ウエハ２００は、ポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａによってピックアップされ、ボート２１７へ移載されて装填される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａは、ポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段または下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載装置１２５ａによるウエハ２００のボート２１７への装填作業中に、他方（下段または上段）のポッドオープナ１２１には、回転棚１０５ないしロードポート１１４から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、処理炉２０２の下端部が炉口ゲートバルブ１４７によって開放される。続いて、シールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されて、シールキャップ２１９に支持されたボート２１７が、処理炉２０２内の基板処理室へ搬入されて行く。

ローディング後は、基板処理室内でウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、ボートエレベータ１１５によりボート２１７が引き出され、その後は、概上述の逆の手順で、ウエハ２００およびポッド１１０は筐体１１１の外部へ払出される。

次に、基板処理装置１００の制御系の構成について、図１を用いて説明する。 図１に示されるように、基板処理装置１００の主制御部１１には、主記憶部１２、搬送制御部１３、温度制御部１４、ガス制御部１５、ＰＬＣ（Programmable Logic Controller）ユニット１６、通信部１７、オペレータの指示を受け付ける操作部（不図示）、操作画面や各種データ等を表示する表示部（不図示）等が電気的に接続されている。通信部１７は、ネットワーク６０を介して、群管理装置３０との間で各種データの送受信を行う。

搬送制御部１３は、ポッド搬送装置１１８やウエハ移載機構１２５やボートエレベータ１１５等の位置を制御するもので、搬送制御部１３には、フォトセンサー２１やポッドセンサー２２が電気的に接続され、これらのセンサーから、例えば、ウエハ２００を収容するポッド１１０の有無や位置等のデータを受信し、主制御部１１に送信する。また、搬送制御部１３は、主制御部１１から、例えばポッド１１０の搬送指示を受信し、指示された場所や位置にポッド１１０を搬送する。

温度制御部１４は、反応炉２０２を加熱するヒータの温度を制御するもので、処理炉２０２内の温度を計測する温度センサー２３から温度データを受信し、主制御部１１に送信する。また、温度制御部１４は、主制御部１１から、例えば処理炉２０２内の温度を上昇させるヒータの加熱温度指示を受信し、指示された温度になるようヒータを加熱する。

ガス制御部１５は、例えば、ＰＬＣユニット１６を介し、バルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５から受信したデータを主制御部１１へ送信し、また、主制御部１１から受信したデータをバルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５へ送信する。具体的には、例えば、処理炉２０２内へ処理ガスを供給する処理ガス供給配管に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ：流量制御装置）からガスの流量データを受信し、主制御部１１に送信する。また、主制御部１１から、例えば、処理ガス供給配管に設けられた開閉バルブや処理炉２０２内からガスを排気する処理ガス排気配管に設けられた圧力調整バルブやポンプ等へのバルブ開閉指示やポンプ駆動指示等のガス制御指示を受信し、該指示に従いガス制御を行う。 ＰＬＣユニット１６は、バルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５から受信したデータを主制御部１１へ送信し、また、主制御部１１から受信したデータをバルブＩ／Ｏ２４やインタロックＩ／Ｏ２５へ送信することもある。

主記憶部１２は、基板処理装置１００の基板処理シーケンスである処理レシピを記憶しており、不揮発性記憶装置であるハードディスクや半導体メモリ等から構成される。 また、主記憶部１２は、後述の更新データ格納テーブル（図４参照）、データ更新情報格納テーブル（図５参照）、報告周期切換え設定テーブル（図６参照）等を記憶する。

主制御部１１は、ハードウエア構成としては、ＣＰＵ（Central Processing Unit）と主制御部１１の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、ＣＰＵは、この動作プログラムに従って、主記憶部１２に記憶した処理レシピを読み出して実行するように動作する。また、搬送制御部１３、温度制御部１４、ガス制御部１５等の副制御部も、それぞれ、ＣＰＵと各制御部の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、各ＣＰＵは、それぞれの動作プログラムに従って動作する。

主制御部１１は、搬送制御部１３等の各副制御部やＰＬＣユニット１６等の各構成部から、温度センサーの示す温度やアクチュエータの位置などの各モニタデータを収集し、これらのモニタデータを用いて、処理炉２０２の温度や圧力等のパラメータが、予め設定された目標値となるように各構成部を制御する制御部である。ポッドセンサー２２や温度センサー２３等の状態は、各副制御部からのアナログ信号やＲＳ−２３２ＣやＤｅｖｉｃｅＮｅｔなどのデジタル信号により、主制御部１１へ送信される。主制御部１１は、各構成部からのモニタデータを収集すると、該収集したデータ（収集データ）に該収集データの検出時刻であるタイムスタンプを刻印し、主記憶部１２へ格納し保存し、また、所定の周期で群管理装置３０へ送信し報告する。

第１実施形態の基板処理装置１００における群管理装置３０への報告周期の決定方法について、図４〜図６を用いて説明する。この報告周期の決定動作は、主制御部１１により所定の動作プログラム(データ報告プログラム)を実行することにより制御される。図４は、本発明の第１実施形態に係る更新データ格納テーブルである。図５は、本発明の第１実施形態に係るデータ更新情報格納テーブルである。図６は、本発明の第１実施形態に係る報告周期切換え設定テーブルである。そして、主制御部１１がデータ報告プログラムを実行することにより、前記更新データ格納テーブル、前記データ更新情報格納テーブル、前記報告周期切換え設定テーブルを読み出し、各データの報告周期を決定するように構成されている。 まず、基板処理装置１００内部において装置データの更新が行われると、例えば処理炉２０２の温度データが更新されると、その最新の装置データは、図４に示す更新データ格納テーブルの当該最新データのデータ種別用の最新データ格納エリア４６に格納される。例えば、データ１は、データ１用の最新データ格納エリア４６に格納される。 また、図５に示すデータ更新情報格納テーブルの当該データ種別に対応するポインタ情報エリア５３に、上記最新データ格納エリア４６に格納した最新の装置データのポインタを格納する。例えば、データ１は、データ１用のポインタ情報エリア５３に、上記最新データ格納エリア４６に格納した最新の装置データのポインタを格納される。こうすることにより、そのデータ種別のデータの報告周期が来たときに、データ更新情報格納テーブルのポインタエリア５３に格納したポインタに基づき、最新データ格納エリア４６に格納した最新の装置データが読み出されて群管理装置３０へ送信される。

更新データ格納テーブルは、図４に示すように、各データ種別４１に対応づけて、群管理装置３０への報告周期４２、該データ種別４１の重要度４３、群管理装置３０への報告回数４４、群管理装置３０への報告データの累積サイズ４５、基板処理装置１００内で更新された最新の装置データを格納するための最新データ格納エリア４６を備える。

データ種別４１は、例えば処理炉２０２の温度データのように、基板処理装置１００内で生成される装置データを互いに識別するものであり、例えば装置データの名称や識別子（ＩＤ）を用いることができる。図４の例では、データ１〜データ９が示されているが、これに限られるものではない。 報告周期４２は、群管理装置３０への報告周期であり、例えばデータ１は、０．１秒ごとに群管理装置３０への報告が行われる。通常は、報告周期４２は、基板処理装置１００内における装置データの更新周期よりも長い。報告周期４２は、前述したように、基板処理装置１００が立ち上がり群管理装置３０と通信接続が開始されたときに、群管理装置３０から受信して取得される。

重要度４３は、当該データ種別４１の重要度を示し、後述する報告周期切換えの際に用いられる。重要度４３も、基板処理装置１００が立ち上がり群管理装置３０と通信接続が開始されたときに、群管理装置３０から受信して取得される。 なお、報告周期４２や重要度４３は、全てのデータ種別について、群管理装置３０から送信されるのではなく、必要なデータ種別についてのみ送信されるよう構成することもできる。送信されなかったデータ種別については、基板処理装置１００で予め設定されているデフォルト値が使用される。

報告回数４４は、基板処理装置１００が立ち上がり群管理装置３０と通信接続が開始された以降に、当該データ種別４１のデータを群管理装置３０へ報告した回数である。 累積サイズ４５は、基板処理装置１００が立ち上がり群管理装置３０と通信接続が開始された以降に群管理装置３０へ報告した、当該データ種別４１のデータの累計サイズである。なお、累積サイズ４５は、直近の１秒間に群管理装置３０へ報告した、当該データ種別４１のデータの累計サイズとして取り扱うこともでき、本実施形態では、このように取り扱うものとする。

基板処理装置１００において、基板処理装置１００内の装置データが発生する度に、該装置データは、そのデータ種別に対応する最新データ格納エリア４６に格納される。また、基板処理装置１００から群管理装置３０へ報告される度に、報告回数４４と累積サイズ４５が更新される。

本実施形態では、基板処理装置１００は、予め群管理装置３０の記憶部３２の１秒あたりの空きデータサイズを取得して、記憶部１２に記憶している。群管理装置３０は、その記憶部３２に蓄積する基板処理装置１００の装置データを所定の期間、例えば９０日間保存するように設定されている。したがって、群管理装置３０における基板処理装置１台当たりの装置データ蓄積可能サイズと、上記所定の保存期間とから、群管理装置３０の記憶部３２の１秒当たりの空きデータサイズが算出できる。例えば、基板処理装置１台当たりの装置データ蓄積可能サイズが７０（Ｇバイト）で、上記所定の保存期間が９０日間の場合、１秒あたりの空きデータサイズは、７０（Ｇバイト）÷（９０日×２４時間×３６００秒）≒９（ｋバイト／秒）となる。すなわち、各基板処理装置１００が、１秒当たり約９（ｋバイト）以下の量のデータを群管理装置３０へ送信している場合は、群管理装置３０においてデータベースオーバフローが発生することはない。

本実施形態では、上記例における１秒当たり約９（ｋバイト）を超える量のデータ、つまり、管理装置３０の記憶部３２の１秒あたりの空きデータサイズを超える量のデータを群管理装置３０へ送信している基板処理装置１００において、群管理装置３０への報告周期が長くなるよう変更する。これにより、群管理装置３０においてデータベースオーバフローが発生することを抑制できる。

データ更新情報格納テーブルは、図５に示すように、報告周期グループ５１と、その報告周期グループ５１に属すデータ種別５２と、データ種別５２に対応する最新データ格納エリア４６のポインタエリアを示すポインタ情報５３とを対応付けて記憶する。 図５のデータ更新情報格納テーブルの情報は、基板処理装置１００の装置情報が最新データ格納エリア４６に格納される度に、該格納された装置情報のデータ種別に対応する報告周期を、更新データ格納テーブル（図４）から取得し、その報告周期と一致する報告周期グループ５１に、上記最新データ格納エリア４６に格納された装置情報のデータ種別が既に登録されているか判断し、登録されている場合は、ポインタ情報５３の情報を、上記最新データ格納エリア４６に格納された装置情報のポインタに更新し、未登録の場合は、新規にデータ種別を登録し、さらにポインタ情報５３の情報として、上記最新データ格納エリア４６に格納された装置情報のポインタを登録する。

（第１実施例） 次に、群管理装置３０への報告周期を変更する、第１実施形態における第１実施例について説明する。 第１実施例においては、基板処理装置１００は、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部１２に記憶されている装置データの報告回数に基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定し、報告周期を変更する。具体的には、報告回数の最も多いデータ種別について、報告周期が長くなるよう変更する。報告回数とは、上述したように、基板処理装置１００が立ち上がり群管理装置３０と通信接続が開始された以降に、群管理装置３０へ報告した回数である。

各データ種別について、図４に示す更新データ格納テーブルの報告回数を参照すると、データ９が最多の１００回であるので、報告周期変更の対象は、報告回数の最も多いデータ９となる。 したがって、データ９の報告周期を、それまでの０．１秒から、例えば、次に短い報告周期である０．５秒に変更する。これに伴い、更新データ格納テーブル（図４）、データ更新情報格納テーブル（図５）のデータ９を報告周期グループ（０．５秒）に切替える。

また、報告回数の最も多いデータ種別について、報告周期を最大限（図４の例では１０秒）まで長くなるよう変更した後は、報告回数の次に多いデータ種別（図４の例ではデータ４）について、報告周期が長くなるよう変更する。 なお、第１実施例において、報告回数の代わりに報告周期を使用し、報告周期の最も短いデータ種別について、報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。

（第２実施例） 次に、群管理装置３０への報告周期を変更する、第１実施形態における第２実施例について説明する。 第２実施例においては、基板処理装置１００は、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部１２に記憶されている装置データの報告回数と装置データの重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する。より詳しくは、第１実施例において抽出された報告周期変更対象のデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。 変更後の報告周期は、図６に示す報告周期切換え設定テーブルより取得する。報告周期切換え設定テーブルには、各報告周期ごとに、重要度に応じた変更後の報告周期が設定されている。重要度は、図６の例では５段階に分かれ、最も重要度が高いデータは重要度５、最も重要度が低いデータは重要度１としている。なお、図６の例では、重要度５が設定されたデータ種別については、報告周期の変更が行われないようにしている。

例えば、報告周期が０．０１秒（１００Ｈｚ）の場合における変更後の報告周期は、最も重要度が低い重要度１の場合は０．２秒、次に重要度が低い重要度２の場合は０．１秒、次に重要度が低い重要度３の場合は０．０５秒、次に重要度が低い重要度４の場合は０．０２秒、最も重要度が高い重要度５の場合は０．０１秒である。 このように、重要度が高くなるにつれて変更後の報告周期が短くなり、最も重要度が高い重要度５の場合は報告周期が変更されないように設定されている。

第１実施例で述べたように、報告回数の最も多いデータ種別であるデータ９が報告周期の変更対象となった場合、更新データ格納テーブル（図４）から、データ９の報告周期情報（０．１秒）を取得し、報告周期切換え設定テーブル（図６）において、変更前の報告周期が０．１秒であった場合の、重要度に応じた変更後の報告周期を求める。データ９の重要度は１であり、最も重要度が低いので、変更後の報告周期は、２秒であることが分かる。 したがって、データ９の報告周期を、それまでの０．１秒から２秒に変更する。これに伴い、更新データ格納テーブル（図４）、データ更新情報格納テーブル（図５）の該当箇所の報告周期、報告周期グループを変更する。こうして、次回以降の群管理装置３０への報告において、変更後の報告周期により、報告を行う。

次に報告周期を変更する必要が発生した場合は、同様にして、報告回数の最も多いデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。例えば、再び、データ９の報告周期変更が発生した場合は、報告周期切換え設定テーブル（図６）において、変更前の報告周期が２秒であった場合の、重要度１における変更後の報告周期、１０秒を求める。こうして、データ９のそれまでの報告周期２秒を１０秒に変更する。 こうして、報告周期を変更する必要が発生する度に、報告回数の最も多いデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。これを繰り返すことにより、群管理装置３０への報告周期が段階的に少しずつ大きくなるよう変更することができる。 なお、第２実施例において、報告回数の代わりに報告周期を使用し、報告周期の最も短いデータ種別について、重要度に応じて報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。

（第３実施例） 次に、群管理装置３０への報告周期を変更する、第１実施形態における第３実施例について説明する。 第３実施例においては、重要度の最も低いデータ種別について、報告周期が短いものから、報告周期が長くなるよう変更する。例えば、図４の例では、重要度の最も低いデータ種別はデータ９（重要度１）であるので、データ９の変更前の報告周期０．１秒を、次に長い報告周期である０．５秒に変更する。あるいは、変更後の報告周期は、第２実施例と同様に、図６に示す報告周期切換え設定テーブルより取得するように構成してもよい。

第３実施例において、重要度の最も低いデータ種別が複数存在する場合は、その中で報告周期が最も短いデータ種別又は報告回数の最も多いデータ種別を変更対象とする。 なお、第３実施例において、重要度の最も低いデータ種別について、報告回数が多いものから、報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。また、報告周期や報告回数に関わらず、相対的に重要度の低いデータ種別の報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。

以上説明した第１実施形態によれば、少なくとも次の（１）〜（６）の効果を得ることができる。
（１）群管理装置へ報告した装置データの累積サイズに基づき、装置データの報告周期を変更するように構成したので、的確に装置データの報告量を制限することができ、群管理装置のデータベースオーバフローを防止することができる。 （２）報告回数の最も多いデータ種別、又は報告周期の最も短いデータ種別について報告周期が長くなるよう変更するように構成したので、各データ種別の報告回数又は報告周期の差を過大にすることなく、基板処理装置から群管理装置への装置データの報告量を抑制することができる。 （３）報告回数の多いデータ種別、又は報告周期の短いデータ種別について、重要度の低いものは報告周期が長くなるように構成したので、重要度が低くかつ報告頻度の大きいデータの報告周期が短くならないよう自動的に制御することができる。 （４）報告周期変更対象のデータ種別について、重要度に応じて報告周期が長くなるよう変更するように構成したので、重要データ報告量の減少を抑制することができる。 （５）重要度の最も高いデータ種別については、報告周期を変更しないように構成したので、最重要データ報告量の減少を抑制することができる。 （６）重要度の低いデータ種別を優先的に報告周期変更対象とするように構成する場合は、重要データ報告量の減少をより効果的に抑制することができる。

（第２実施形態） 次に、第２実施形態について、図７と図８を用いて説明する。 第２実施形態においては、群管理装置３０と基板処理装置１００とを接続するネットワーク６０の負荷状態を監視し、その負荷状態に応じて報告周期を変更する、つまり、ネットワーク６０の負荷が大きくなると、基板処理装置１００から群管理装置３０への報告周期が長くなるように変更し、ネットワーク６０の負荷を軽減する。この点以外は、第１実施形態と同様なので、説明を省略する。

図７に、ネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れを示す。図７は、本発明の第２実施形態に係るネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。図７の処理において、群管理装置３０はその制御部３１、基板処理装置１００はその主制御部１１により、それぞれ所定のプログラム(データ管理プログラム)を実行することにより制御される。要するに、制御部３１、主制御部１１がそれぞれデータ管理プログラムを実行することにより、図４と同様の更新データ格納テーブル、図６と同様の報告周期切換え設定テーブル、後述する図８の初期パラメータ等を読み出し、ネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理を行うように構成されている。

図７において、まず、群管理装置３０から基板処理装置１００へ、ネットワーク接続確認要求が送信される（図７のステップＳ１）と、基板処理装置１００から群管理装置３０へ、ネットワーク接続確認要求応答が返信される（ステップＳ２）。群管理装置３０は、ネットワーク接続確認要求を送信した後、ネットワーク接続確認要求応答を受信するまでの経過時間を測定し、この経過時間が所定の閾値内、例えば５秒以内であれば（ステップＳ３で閾値内）、ステップＳ１に戻り再びネットワーク接続確認要求を送信する。経過時間が所定の閾値を超えている場合は（ステップＳ３で閾値超え）、記憶部３２内に設けた閾値超え回数カウンタの回数を更新する（ステップＳ４）。

閾値超えが所定回数内、例えば１０回以内であれば（ステップＳ５で所定回数内）、ステップＳ１に戻り再びネットワーク接続確認要求を送信する。閾値超えが所定回数を超えている場合は（ステップＳ５で所定回数超え）、報告周期を長く変更するように、群管理装置３０から基板処理装置１００へ指示を行う（ステップＳ６）。

具体的には、群管理装置３０の記憶部３２に、図４と同様の更新データ格納テーブルや図６と同様の報告周期切換え設定テーブルを用意しておき、例えばデータ種別がデータ５の報告周期を変更する。ただし、この更新データ格納テーブルには、データ種別４１、報告周期４２、重要度４３があればよく、報告回数４４、累積サイズ４５、最新データ格納エリア４６は不要である。データ５の場合、更新データ格納テーブル（図４）により、変更前の報告周期が０．５秒であり重要度が３であることが分かるので、報告周期切換え設定テーブル（図６）により、変更前の報告周期が０．５秒であり重要度が３である場合の変更後の報告周期２秒を求めることができる。こうして求めた変更後の報告周期２秒を、群管理装置３０から基板処理装置１００へ送信し、基板処理装置１００のデータ５の報告周期を２秒に変更させる。

上述した経過時間の閾値や閾値超えの所定回数は、予め初期パラメータとして、群管理装置３０の記憶部３２の初期パラメータ格納テーブルに記憶されている。図８は、本発明の第２実施形態に係る初期パラメータ格納テーブルである。図８の例では、経過時間の閾値として５秒、閾値超えの所定回数として１０回が設定されている。障害報告周期については、第３実施形態において説明する。

なお、上述の第２実施形態においては、群管理装置３０でネットワークの負荷状態を調べ、変更対象のデータ種別と変更後の報告周期を決定して、基板処理装置１００へ指示したが、群管理装置３０は基板処理装置１００へ、単に報告周期を長くするよう指示し、基板処理装置１００において、変更対象のデータ種別と変更後の報告周期を決定するよう構成することも可能である。この場合、図８の初期パラメータ格納テーブルは、基板処理装置１００の記憶部１２に設けられる。 また、上述の第２実施形態においては、群管理装置３０でネットワークの負荷状態を調べたが、基板処理装置１００でネットワークの負荷状態を調べるように構成することも可能である。この場合も、図８の初期パラメータ格納テーブルは、基板処理装置１００の記憶部１２に設けられる。

以上説明した第２実施形態によれば、少なくとも次の（７）の効果を得ることができる。 （７）群管理装置と基板処理装置とを接続するネットワークの負荷状態に応じて、装置データの報告周期を変更するよう構成したので、群管理装置においてデータベースオーバフローが発生することを抑制できる。

（第３実施形態） 次に、第３実施形態について、図９と図１０を用いて説明する。 第３実施形態においては、基板処理装置１００の障害を監視し、群管理装置３０が基板処理装置１００から障害情報を受信した場合、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように変更し、精度の高い装置情報を取得する。この点以外は、第１実施形態と同様なので、説明を省略する。

図９に、装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れを示す。図９は、本発明の第３実施形態に係る装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。図９の処理において、群管理装置３０はその制御部３１、基板処理装置１００はその主制御部１１により所定のプログラム(障害処理プログラム)を実行することにより制御される。要するに、制御部３１、主制御部１１がそれぞれ障害処理プログラムを実行することにより、図４と同様の更新データ格納テーブル、図６と同様の報告周期切換え設定テーブル、図８と同様の初期パラメータ後述する図１０の障害種別対応データ種別定義テーブル等を読み出し、障害に応じた報告周期切換え処理を行うように構成されている。

図９において、基板処理装置１００から群管理装置３０へ、例えば障害種別番号０１００の障害報告が行われると（図９のステップＳ１１）、群管理装置３０は、図１０に示す障害種別対応データ種別定義テーブルを参照し、受信した障害報告が、報告周期を変更すべきグループのデータ種別に関連するものか否かを判断する（ステップＳ１２）。報告周期を変更すべき対象グループである場合は（ステップＳ１２で対象グループ）、その対象グループに属すデータ種別の報告周期を変更し（ステップＳ１３）、報告周期を変更すべき対象グループでない場合は（ステップＳ１２で非対象グループ）、報告周期を変更せずに本処理を終了する。

図１０は、本発明の第３実施形態に係る障害種別対応データ種別定義テーブルであり、群管理装置３０の記憶部３２に予め設定されている。図１０の障害種別対応データ種別定義テーブルにおいて、基板処理装置１００から送信される障害報告の障害種別番号と、報告周期を変更すべきデータ種別とが対応付けて記憶されている。例えば、Ｎｏ．１のグループは、障害種別番号が００００〜１０００であり、この場合、データ種別１とデータ種別２の報告周期が変更される。

図９の例では、障害種別番号０１００の障害報告が行われたので、障害種別対応データ種別定義テーブル（図１０）を参照し、データ種別１とデータ種別２の報告周期を変更すべきであることが分かる。前述した図８の初期パラメータ格納テーブルにおいて、障害報告周期として０．０１秒が予め設定されているので、変更後の報告周期０．０１秒を、群管理装置３０から基板処理装置１００へ送信し、基板処理装置１００のデータ１とデータ２の報告周期を０．０１秒に変更させる。また、基板処理装置１００では、更新データ格納テーブル（図４）やデータ更新情報格納テーブル（図５）において、データ種別１とデータ種別２の報告周期が、０．０１秒に変更される。

なお、第３実施形態においては、群管理装置が基板処理装置から障害情報を受信した場合、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように群管理装置で報告周期を変更したが、基板処理装置が障害種別対応データ種別定義テーブル（図１０）や初期パラメータ格納テーブル（図８）を記憶しておき、基板処理装置で障害情報が発生したときに、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように基板処理装置で報告周期を変更するように構成することも可能である。このようにすると、群管理装置で障害種別対応データ種別定義テーブル（図１０）や初期パラメータ格納テーブル（図８）を記憶しておく必要がない。この場合、障害発生時の群管理装置側の報告周期の切替えは不要だが、障害発生したことを群管理装置側に認識させるため、障害情報は基板処理装置から群管理装置へ送信する必要がある。

以上説明した第３実施形態によれば、少なくとも次の（８）の効果を得ることができる。 （８）基板処理装置で障害が発生すると、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように変更するので、群管理装置が精度の高い装置情報を取得することができ、基板処理装置の障害原因の調査が迅速かつ容易に行える。

本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。第１〜第３実施形態の構成を適宜組み合わせて構成することも可能である。例えば、第１実施形態における主制御部１１で実行されるデータ報告プログラムと第３実施形態における主制御部１１、制御部３１のそれぞれで実行される障害処理プログラムとを平行して実行するように構成することも可能である。 群管理装置は、基板処理装置と同じフロアやクリーンルームに設置される必要はなく、例えばＬＡＮ接続して別のフロアの事務所等に設置してもよい。また、群管理装置は、その記憶部（データベース）と制御部や操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にして設置し、クリーンルームに設置されたデータベース内のデータを、事務所に設置された操作部や表示部（端末装置）により解析できるように構成してもよい。 また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、ＬＣＤ製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、ＣＶＤ、ＰＶＤ、ＡＬＤ、Ｅｐｉ、その他酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。

＜本発明の好ましい形態＞ 以下に、本発明の好ましい態様について付記する。

（付記１） 本発明の一態様によれば、 それぞれ基板を処理するとともに基板処理に関する複数種類の装置データを生成する基板処理装置と、複数の前記基板処理装置とネットワークを介して接続され、前記複数の基板処理装置からそれぞれ周期的に報告される複数種類の装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、制御部と記憶部とを備え、 前記記憶部は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶し、 前記制御部は、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する基板処理システムが提供される。

（付記２） 付記１の基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記ネットワークのデータ伝送負荷が過大である場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を長くするよう指示を行う基板処理システムが提供される。

（付記３） 付記１又は付記２の基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別を指定して、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を短くするよう指示を行う基板処理システムが提供される。

（付記４） 本発明の他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、
前記基板処理装置は、制御部と記憶部とを備え、 前記記憶部は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶し、 前記制御部は、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する基板処理装置が提供される。

（付記５） 本発明の更に他の態様によれば、 管理装置と接続され、基板を処理する基板処理装置におけるデータ報告方法であって、 基板処理に関する装置データを生成するステップと、 前記生成された装置データを前記管理装置へ報告するステップと、 前記生成された装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶するステップと、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定ステップと、 を備えるデータ報告方法が提供される。

（付記６） 本発明の更に他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを管理装置へ報告する処理と、 前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する処理と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定処理と、 を備えるデータ報告プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。

（付記７） 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムにおけるデータ管理方法であって、 前記管理装置において、 前記装置データと、前記装置データの報告周期と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶ステップと、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記記憶ステップで記憶された前記データ種別ごとの報告周期と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別と報告周期を決定し、該決定した変更対象のデータ種別と報告周期を、前記基板処理装置に対して指示する変更指示ステップと、を備え 前記基板処理装置において、 前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更対象のデータ種別と報告周期を受信すると、前記受信したデータ種別と報告周期に基づいて、当該データ種別の装置データの報告周期を長くする報告周期変更ステップを備えるデータ管理方法が提供される。

（付記８） 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムで実行されるデータ管理プログラムを読み取り可能な記憶媒体であって、 前記管理装置が、 前記装置データと、前記装置データの報告周期と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶ステップと、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記記憶ステップで記憶された前記データ種別ごとの報告周期と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別と報告周期を決定し、該決定した変更対象のデータ種別と報告周期を、前記基板処理装置に対して指示する変更指示ステップと、を実行し、 前記基板処理装置が、 前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更対象のデータ種別と報告周期を受信すると、前記受信したデータ種別と報告周期に基づいて、当該データ種別の装置データの報告周期を長くする報告周期変更ステップを実行するデータ管理プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。

（付記９） 本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置とネットワークを介して接続され、該基板処理装置で生成された基板処理に関する装置データが、該基板処理装置から周期的に報告される管理装置であって、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を長くするよう指示を行う管理装置が提供される。

（付記１０） 本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムにおける障害処理方法であって、 前記管理装置が、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき、報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して指示を行う変更指示ステップを実行し、 前記基板処理装置が、前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更指示を受信すると、該受信した変更指示で指定されたデータ種別を指定された報告周期に変更する報告周期変更ステップを実行する障害処理方法が提供される。

（付記１１） 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムで実行される障害処理プログラムを読み取り可能な記録媒体であって、 前記管理装置が、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して指示を行う変更指示ステップと、 前記基板処理装置が、前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更指示を受信すると、該受信した変更指示で指示されたデータ種別を指示された報告周期に変更する報告周期変更ステップと、 を備える障害処理プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。

（付記１２） 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と接続され、該基板処理装置で生成された基板処理に関する装置データを、該基板処理装置から周期的に報告される管理装置であって、 前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を短くするよう指示を行う管理装置が提供される。

（付記１３） 本発明の更に他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを収集するステップと、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶するステップと、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定ステップと、 を備えるデータ処理方法が提供される。

（付記１４） 本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置が提供される。

この出願は、２０１２年７月４日に出願された日本出願特願２０１２−１５０２８５を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。

処理温度や処理室内圧力等のモニタデータを出力する処理装置と、この処理装置から出力されたモニタデータを含む各種データを収集する上位装置との間におけるデータ量を調整することにより、通信負荷状態を調整する処理システムに適用できる。

１１…主制御部、１２…主記憶部、１３…搬送制御部、１４…温度制御部、１５…ガス制御部、１６…ＰＬＣユニット、１７…通信部、２１…フォトセンサー、２２…ポッドセンサー、２３…温度センサー、２４…バルブＩ／Ｏ、２５…インタロックＩ／Ｏ、３０…群管理装置、３１…制御部、３２…記憶部、３３…操作表示部、３４…通信部、６０…ネットワーク、１００…基板処理装置、１０５…回転棚、１１０…ポッド、１１１…筐体、１１１ａ…正面壁、１１２…ポッド搬入搬出口、１１３…フロントシャッタ、１１４…ロードポート、１１５…ボートエレベータ、１１６…支柱、１１７…棚板、１１８…ポッド搬送装置、１１９…サブ筐体、１２０…ウエハ搬入搬出口、１２１…ポッドオープナ、１２２…載置台、１２３…キャップ着脱機構、１２４…移載室、１２５…ウエハ移載機構、１２８…アーム、１３３…クリーンエア、１３４…クリーンユニット、１４２…ウエハ搬入搬出開口、１４７…炉口シャッタ、２００…ウエハ（基板）、２０２…処理炉。

Claims (5)

1. 基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも１台の前記基板処理
   装置とネットワークを介して接続され、前記基板処理装置から周期的に報告される前記装
   置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板
   処理装置は、 当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への
   前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置デー
   タのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する
   際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度
   とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備えた基板処
   理システム。
2. 請求項１に記載された基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記ネットワーク
   のデータ伝送負荷が過大である場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告
   周期を長くするよう指示を行う基板処理システム。
3. 基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記
   基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回
   数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する
   記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前
   記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対
   象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置。
4. 基板処理に関する装置データを少なくとも記憶する記憶部と、前記装置データを周期的に
   報告する制御部とを備えた基板処理装置のデータ処理方法であって、前記制御部は、前記
   装置データを収集する工程と、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周
   期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付
   けて記憶する工程と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記
   データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象
   のデータ種別を決定するデータ種別決定工程と、 を実行する基板処理装置のデータ処理
   方法。
5. 請求項１に記載された基板処理システムであって、前記管理装置は、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別を指定して、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を短くするよう指示を行う基板処理システム。