CN108885969B - 基板处理装置、控制器以及记录介质 - Google Patents

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Abstract

本发明提供以下结构，具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面上的上述保修部件进行更新的状态下使上述显示部进行显示。

Description

基板处理装置、控制器以及记录介质
技术领域
本发明涉及对基板进行处理的基板处理装置的一种即半导体制造装置的保修部件管理。
背景技术
半导体制造装置的保修部件按每个部件设定部件寿命、保修(维护：maintenance)周期等。通常，设备制造商(使用半导体制造装置的客户)对石英部件等通过累积膜厚进行管理的部件实施清洁，根据需要实施部件更换。例如如专利文献1所记载那样，以往，根据使用时间、使用次数、累积膜厚来进行保修管理。
在这种以往的保修部件的管理功能中，预先由使用者设定通知用于确定使用次数等消耗的数据的警告的阈值，在超过阈值的阶段进行通知，因此，例如根据阈值在还能使用的阶段发出警告而更换或者不发出警告而在故障后进行更换。因此，设定阈值的使用者需要预先设定考虑到进行部件更换的期间、部件的交付周期、使用次数的值，因此导致设定费时。另外，还引起由错误设定导致的错误操作。
另外，用于预防性维修的大修(O/H)、调整(校准)以经过时间为基准实施维护。然而，除了上述那样的石英部件等一部分部件以外的部件(保修部件)在发生故障时(在发生任何不良状况时)进行更换。这是由于，无法正确地掌握部件的使用状况。例如，如果该部件发生故障的时间为装置运转过程中(产品生产过程中)，则引起被批量拒收。因此，随着硅晶圆的直径变大、半导体器件的高集成化以及3D构造化，导致批量拒收的情况下的损坏额增加，更需要用于装置更稳定运转的对策。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利第3300816号公报
发明内容
发明要解决的课题
本发明的目的在于提供一种能够掌握构成基板处理装置的部件的使用状况的结构。
用于解决课题的手段
根据本发明的一个方式，提供一种结构，具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面上的上述保修部件进行了更新的状态下使上述显示部进行显示。
发明效果
根据本发明，能够掌握构成基板处理装置的部件的保修时期，提供基板处理装置的稳定的运转。
附图说明
图1是表示适用于本发明的一个实施方式的基板处理装置的立体图。
图2是表示适用于本发明的一个实施方式的基板处理装置的侧截面图。
图3是表示适用于本发明的一个实施方式的控制器结构的截面图。
图4是表示适用于本发明一个实施方式的主控制器(操作部)的结构的图。
图5是表示适用于本发明的基板处理装置的部件管理程序的结构的图。
图6是说明本发明的一个实施方式所涉及的部件管理程序的图示例。
图7是说明适用于本发明的基板处理装置的部件管理功能的处理流程的图。
图8是说明适用于本发明的基板处理装置的部件管理功能的处理流程的图。
图9A是说明适用于本发明的基板处理装置的部件管理功能的处理流程的图。
图9B是说明适用于本发明的基板处理装置的部件管理功能的处理流程的图。
图10是适用于本发明的实施例的保修部件管理画面的图示例。
图11是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图12是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图13A是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图13B是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图14是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图15是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图16是用于说明优选用于本发明的实施例的部件管理功能的图示例。
图17是说明本发明的一个实施方式所涉及的保修部件列表的图示例。
具体实施方式
以下，参照附图说明本发明的一个实施方式。首先，根据图1、图2说明由本发明实施的基板处理装置1。
基板处理装置1具备壳体2，在该壳体2的正面壁3的下部设置有以能够维护的方式设置的作为开口部的正面维护口4，该正面维护口4由正面维护门5打开和关闭。
在上述壳体2的上述正面壁3上以使上述壳体2内外连通的方式设置有晶圆盒搬入搬出口6，上述晶圆盒搬入搬出口6由前遮板(搬入搬出口开闭机构)7打开和关闭，在上述晶圆盒搬入搬出口6的正面前方侧设置有装卸口(基板输送容器传递台)8，该装卸口8构成为使载置的晶圆盒9进行对位。
该晶圆盒9为密封式基板输送容器，由未图示的工序内输送装置搬入到上述装卸口8上并从该装卸口8上搬出。
在上述壳体2内的前后方向的大致中央部处的上部设置有旋转式晶圆盒架(基板输送容器储存架)11，该旋转式晶圆盒架11构成为储存多个晶圆盒9。
上述旋转式晶圆盒架11具备：支柱12，其垂直地竖立而间歇地旋转；以及多级的架板(基板输送容器载置架)13，其由该支柱12在上中下级的各位置上放射状地支承，该架板13构成为将上述晶圆盒9以平均载置多个(複数宛載置)的状态进行储存。
在上述旋转式晶圆盒架11的下方设置有开盖器(基板输送容器盖体开闭机构)14，该开盖器14载置上述晶圆盒9并且具有能够打开和关闭该晶圆盒9的盖的结构。
在上述装卸口8、上述旋转式晶圆盒架11以及上述开盖器14之间设置有晶圆盒输送机构(容器输送机构)15，该晶圆盒输送机构15保持上述晶圆盒9并能够升降、能够在水平方向上进退，在上述装卸口8、上述旋转式晶圆盒架11、上述开盖器14之间输出上述晶圆盒9。
在上述壳体2内的前后方向的大致中央部处的下部在整个后端处设置有子壳体16。在该子壳体16的正面壁17上在垂直方向上上下两级排列地设置有一对晶圆搬入搬出口(基板搬入搬出口)19，该晶圆搬入搬出口(基板搬入搬出口)19用于将晶圆(基板)18相对于上述子壳体16内搬入搬出，相对上下级的晶圆搬入搬出口19、19分别设置有上述开盖器14。
该开盖器14具备：载置台21，其载置上述晶圆盒9；以及开闭机构22，其打开和关闭上述晶圆盒9的盖。上述开盖器14使用上述开闭机构22打开和关闭载置于上述载置台21的上述晶圆盒9的盖，由此打开和关闭上述晶圆盒9的晶圆出入口。
上述子壳体16构成传输室23，该传输室23由设置有上述晶圆盒输送机构15、上述旋转式晶圆盒架11的空间(晶圆盒输送空间)气密地形成。在该传输室23的前侧区域设置有作为传输机器人的晶圆传输机构(基板传输机构)24，该晶圆传输机构24具备用于载置晶圆18的所需个数(图示五个)的晶圆载置板25，该晶圆载置板25可在水平方向上直线运动、可在水平方向上旋转并且可升降。上述晶圆传输机构24构成为将晶圆18相对于晶舟(基板保持体)26装入和取出。
在上述传输室23的后侧区域构成收容上述晶舟26并使其待机的待机部27，在该待机部27的上方设置有竖式的处理炉28。该处理炉28的内部形成有处理室29，该处理室29的下端部形成炉口部，该炉口部由炉口遮板(炉口开闭机构)31打开和关闭。
在上述壳体2的右侧端部与上述子壳体16的上述待机部27的右侧端部之间设置有用于使上述晶舟26升降的晶舟升降机(基板保持器升降机构)32。在与该晶舟升降机32的升降台相连结的臂部33处水平地安装有作为盖体的密封盖34，该密封盖34垂直地支承上述晶舟26，在将该晶舟26装入到上述处理室29的状态下能够气密地密封上述炉口部。
上述晶舟26构成为将多个(例如50个～125个左右)的晶圆18的中心一致地以水平姿势多级地保持。
在与上述晶舟升降机32一侧相对的位置处配置有清洁单元35，该清洁单元35由供给风扇和防尘过滤器构成，提供净化的气氛或者惰性气体即净化空气36。在上述晶圆传输机构24与上述清洁单元35之间设置有作为对晶圆18的圆周方向的位置进行整合的基板整合装置的槽口对准装置(未图示)。
从上述清洁单元35吹出的上述净化空气36流过槽口对准装置(未图示)、上述晶圆传输机构24、上述晶舟26之后，被由未图示的管道吸入而向上述壳体2的外部排出或者由上述清洁单元35向上述传输室23内吹出。
接着，说明上述基板处理装置1的动作。
当上述晶圆盒9被提供给上述装卸口8时，上述晶圆盒搬入搬出口6通过上述前遮板7打开。上述装卸口8上的上述晶圆盒9通过上述晶圆盒输送机构15经由上述晶圆盒搬入搬出口6被搬入到上述壳体2的内部，并载置到上述旋转式晶圆盒架11的指定的上述架板13。上述晶圆盒9在上述旋转式晶圆盒架11上被暂时保管之后，由上述晶圆盒输送机构15从上述架板13被输送至任一个开盖器14而传输到上述载置台21或者从上述装卸口8被直接传输到上述载置台21。
此时，上述晶圆搬入搬出口19由上述开闭机构22关闭，上述净化空气36流通到上述传输室23并填满该传输室23。例如在上述传输室23中作为上述净化空气36而填满氮气，由此将氧浓度设定为远低于上述壳体2的内部(大气气氛)的氧浓度的20ppm以下。
载置于上述载置台21的上述晶圆盒9的开口侧端面被由上述子壳体16的上述正面壁17上的上述晶圆搬入搬出口19的开口缘边部按压，并且由上述开闭机构22取下盖而打开晶圆出入口。
当上述晶圆盒9由上述开盖器14打开时，由上述晶圆传输机构24从上述晶圆盒9取出晶圆18，传送至槽口(notch)对准装置(未图示)，在该槽口对准装置中将晶圆18进行整合之后，上述晶圆传输机构24将晶圆18搬入到位于上述传输室23的后方的上述待机部27，装入(charging)于上述晶舟26。
将晶圆18交接到该晶舟26的上述晶圆传输机构24返回至上述晶圆盒9，将下一个晶圆18装入于上述晶舟26。
在通过一个(上端或者下级)开盖器14中的上述晶圆传输机构24将晶圆18装入到上述晶舟26的装入作业中，在另一个(下级或者上级)开盖器14上通过上述晶圆盒输送机构15从上述旋转式晶圆盒架11输送并传输其它晶圆盒9，同时进行由上述另一个开盖器14对晶圆盒9的打开作业。
当预定个数的晶圆18被装入到上述晶舟26时，由上述炉口遮板31关闭的上述处理炉28的炉口部被上述炉口遮板31打开。接着，上述晶舟26通过上述晶舟升降机32上升，搬入(装载)到上述处理室29。
在装载之后，炉口部由上述密封盖34气密地密封。此外，在本实施方式中，具有在该定时(装载之后)在上述处理室29内被替换为惰性气体的清洗(purge)工序(预清洗工序)。
通过排气机构(未图示)进行真空排气使得上述处理室29内成为期望的压力(真空度)。并且，通过加热器驱动部(未图示)加热至预定温度使得上述处理室29内成为期望的温度分布。
并且，通过供气机构(未图示)提供被控制为预定流量的处理气体，在处理气体流过上述处理室29的过程中与晶圆18的表面相接触，在晶圆18的表面上实施预定处理。并且，反应后的处理气体通过上述排气机构被从上述处理室29排出。
当经过预先设定的处理时间时，通过上述供气机构从惰性气体供给源(未图示)提供惰性气体，在上述处理室29内被替换为惰性气体，并且上述处理室29的压力恢复至常压(后清洗工序)。而且，通过上述晶舟升降机32经由上述密封盖34使上述晶舟26下降。
关于搬出处理后的晶圆18，通过与上述说明相反的过程，晶圆18和晶圆盒9被取出到上述壳体2的外部。未处理的晶圆18还被装入于上述晶舟26，反复进行晶圆18的分批处理。
参照图3、图4说明包括上述处理炉28、至少输送基板的机构即晶圆盒输送机构15、晶圆传输机构24以及晶舟升降机32等的输送机构、将处理气体等提供给上述处理炉28的供气机构、将上述处理炉28内进行排气的排气机构、将上述处理炉28加热至预定温度的加热器驱动部以及分别控制上述处理炉28、上述输送机构、上述供气机构、上述排气机构、上述加热器驱动部的控制系统240。
接着，参照图3说明以作为主控制器的操作部201为中心的控制系统240的结构。如图3所示，具备主控制器201、作为输送控制部的输送系统控制器211以及作为处理控制部的工艺系统控制器212。主控制器201例如通过100BASE-T等LAN(Local Area Network：局域网)与输送系统控制器211和工艺系统控制器212进行电连接，因此成为能够实现各装置数据的发送接收、各文件的下载和上载等的结构。另外，也可以使控制系统240包括管理装置。
在主控制器201上设置有将作为外部存储装置的记录介质即USB存储器等插入和取出的作为安装部的端口。在主控制器201上安装有与该端口对应的OS。另外，主控制器201例如经由通信网络与未图示的外部上级计算机相连接。因此，即使在基板处理装置1被设置于净化间内的情况下，也能够将上级计算机配置于净化间外的办公室等。另外，管理装置通过LAN线路与基板处理装置1相连接，具有从操作部201收集装置数据的功能。同样地，管理装置有时也被配置于净化间外的办公室等。
操作部201至少具有以下功能：通过执行部件管理程序，从基板处理装置1收集装置数据中预先设定的与保修部件相关联的装置数据(以后，还称为部件数据)。具体地说，部件数据是用于监视构成基板处理装置1的各结构部件的保修信息的数据。在此，成为监视对象的保修部件的种类为构成基板处理装置1的部件、由多个部件构成的各机构。另外，也可以包括由多个机构构成的单元。此外，装置数据不仅包括从构成基板处理装置1的各部件向操作部201发送的数据，例如温度数据、压力数据、气体流量数据等控制参数，还包括表示阀门的打开和关闭的数据等，另外，还包括由各控制器生成的数据，例如输入到操作部201的显示部218的设定值等输入数据。
输送系统控制器211主要与由旋转式晶圆盒架11、晶舟升降机32、晶圆盒输送机构(基板收容器输送机构)15、晶圆传输机构(基板传输机构)24、晶舟26以及旋转机构(未图示)构成的基板输送系统211A相连接。输送系统控制器211分别控制包括旋转式晶圆盒架11、晶舟升降机32、晶圆盒输送机构(基板收容器输送机构)15、晶圆传输机构(基板传输机构)24以及旋转机构(未图示)的各机构的输送动作。
工艺系统控制器212具备温度控制器212a、压力控制器212b和气体流量控制器212c、定序器212d。所述温度控制器212a、压力控制器212b和气体流量控制器212c、定序器212d构成子控制器，与工艺系统控制器212电连接，因此能够实现各装置数据的发送接收、各文件的下载和上载等。此外，虽然工艺系统控制器212和子控制器分别被图示，但是也可以是一体结构。
温度控制器212a主要连接有由加热器和温度传感器等构成的加热机构212A。温度控制器212a通过控制处理炉28的加热器的温度来调节处理炉28内的温度。此外，温度控制器212a进行晶闸管的开关(通断(on-off))控制，控制提供给加热线的电力。
在压力控制器212b上主要连接有由压力传感器、作为压力阀的APC阀和由真空泵构成的排气机构212B。压力控制器212b根据由压力传感器检测出的压力值，以处理室29内的压力在期望的时机成为期望的压力的方式，控制APC阀的开度和真空泵的开关(打开关闭)。
气体流量控制器212c由MFC(Mass Flow Controller：质量流量控制器)构成。定序器212d通过打开和关闭阀212D来控制来自处理气体供给管、清洗气体供给管的气体的供给、停止。另外，工艺系统控制器212以提供给处理室29内的气体流量在期望的时机成为期望的流量的方式，控制气体流量控制器212c(MFC)、定序器212d(阀212D)。
此外，本发明的实施方式所涉及的主控制器201、输送系统控制器211、工艺系统控制器212能够使用通用的计算机系统来实现而不依赖于专用系统。例如从存储有用于执行上述处理的程序的记录介质(软盘、CD-ROM、USB等)将该程序安装到通用计算机，由此能够构成执行预定处理的各控制器。
而且，用于提供这些程序的手段是任意的。如上所述除了能够经由预定记录介质提供以外，例如也可以经由通信线路、通信网络、通信系统等提供。在该情况下，例如也可以在通信网络的公告板上公告该程序，将该程序经由网络与输送波叠加地提供。而且，启动这样提供的程序，在OS的控制下，与其它应用程序同样地执行，由此能够执行预定处理。
接着，参照图4说明操作部201的结构。
操作部201构成为具备作为处理部的CPU(中央处理装置)224、作为临时存储部的存储器(RAM、ROM等)226、作为存储部的硬盘(HDD)222、作为通信部的发送接收模块228、作为显示部的显示装置218、时钟功能(未图示)的计算机。在硬盘222中除了存储有对处理条件和处理过程进行定义的制程程序等各制程程序文件、用于执行所述各制程程序文件的控制程序文件、用于设定处理条件和处理过程的参数文件以及错误处理程序文件和错误处理的参数文件以外，还存储有包括输入工艺参数的输入画面的各种画面文件、各种图标文件等(均未图示)。在本实施方式中，存储有用于管理半导体制造装置的保修部件的部件管理程序(图5等)。另外，存储有后述的图17示出的保修部件列表以及后述的图10～图16示出的各画面的画面文件。
在作为显示部的显示装置218中显示用于操作基板处理装置1的操作画面。在显示装置218的操作画面上具有用于确认基板输送系统、基板处理系统的状态的画面。例如在显示装置218的操作画面上还能够设置向图3示出的、基板输送系统211A、基板处理系统(加热机构212A、排气机构212B和供气系统212C)输入动作指示的作为输入部的各操作按钮。显示装置218经由操作画面将在基板处理装置1内生成的信息显示在操作画面上。
另外，显示装置218将显示在操作画面上的信息输出到插入于操作部201的USB存储器等设备。显示装置218接受来自操作画面的作业员的输入数据(输入指示)，将输入数据发送至操作部201。另外，显示装置218接受执行展开到后述的存储器(RAM)等的制程程序或者存储于后述的存储部的多个制程程序中任意的基板处理制程程序(还称为工艺制程程序)的指示(控制指示)，并发送至操作部201。
在本实施方式中，通过由操作部201执行部件管理程序，实现收集装置数据的数据库的功能、提取并蓄积装置数据中与保修部件相关联的部件数据的功能、使用蓄积的部件数据或者装置数据对各数据进行加工而制作跟踪数据并按照时间序列图形化的功能、以及展开存储的各画面表并读取装置数据从而使显示部218显示后述的图10～图16示出的各画面的功能等。此外，在后述的图5和图6中说明部件管理程序的结构。
此外，在操作部201的发送接收模块228上连接有交换式集线器等，操作部201经由网络与外部计算机等进行数据的发送和接收。另外，操作部201除了包括至少具备CPU 224和存储器226等的主控制部220、经由网络与外部计算机等进行数据的发送和接收的通信部228以及硬盘驱动器等存储部222以外，还可以包括液晶显示器等显示部以及具备键盘和鼠标等指示设备的用户接口(UI)部等。另外，控制部220还可以是包括通信部228的结构。
另外，主控制器201经由未图示的网络向外部上级计算机，例如主计算机发送基板处理装置1的状态等装置数据。基板处理装置1例如为对基板进行氧化以及扩散处理和CVD处理等的竖式的装置。此外，由控制系统240根据存储于存储部222的各制程程序文件、各参数文件等来控制基板处理装置1。
(基板处理方法)
接着，说明使用本实施方式所涉及的基板处理装置1实施的具有预定处理工序的基板处理方法。在此，关于预定处理工序，以实施半导体器件的制造工序的一个工序即基板处理工序的情况为例。
在实施基板处理工序时，与要实施的基板处理对应的基板处理制程程序(工艺制程程序)例如被展开到工艺系统控制器212内的RAM等存储器。而且，根据需要，从主控制器201向工艺系统控制器212、输送系统控制器211发出动作指示。这样实施的基板处理工序至少具有搬入工序、成膜工序、晶舟传送工序。另外，传输工序(也可以包括后述的基板投放工序)也可以包括在基板处理工序中。
(传输工序)
从主控制器201向输送系统控制器211发出晶圆传输机构24的驱动指示。然后，按着来自输送系统控制器211的指示，晶圆传输机构24开始进行从作为载置台的交换台21上的晶圆盒9向晶舟26的晶圆18的传输处理。该传输处理进行至预定的所有晶圆18向晶舟26的装入(晶圆装入)完成为止。
(搬入工序)
当指定个数的晶圆18被装入到晶舟26时，晶舟26通过按着来自输送系统控制器211的指示进行动作的晶舟升降机32而上升，被装入(晶舟装载)形成于处理炉28内的处理室29。当晶舟26完全被装入时，晶舟升降机32的密封盖34将处理炉28的歧管下端气密地密封。
(成膜工序)
之后，使用真空排气装置按着来自压力控制部212b的指示对处理室29内进行真空排气，使得成为预定成膜压力(真空度)。此时，使用压力传感器测量处理室29内的压力，根据该测量出的压力信息对压力调整装置进行反馈控制。另外，使用加热器按着来自温度控制部212a的指示对处理室29内进行加热，使得成为预定温度。此时，根据由作为温度检测器的温度传感器检测出的温度信息来反馈控制向加热器的通电状况，使得处理室29内的温度成为预定温度(成膜温度)。接着，按着来自输送系统控制器211的指示，使旋转机构开始旋转晶舟26和晶圆18。然后，在保持预定压力、预定温度的状态下，向保持在晶舟26上的多个晶圆18提供预定气体(处理气体)，对晶圆18进行预定处理(例如成膜处理)。
(搬出工序)
当对载置于晶舟26的晶圆18进行的成膜工序完成时，按着来自输送系统控制器211的指示，之后，使旋转机构停止旋转晶舟26和晶圆18，使用晶舟升降机32使密封盖34下降而打开歧管的下端，并且将保持有处理过的晶圆18的晶舟26搬出(晶舟卸载)到处理炉28的外部。
(回收工序)
然后，通过从清洁单元35吹出的净化空气36对保持有处理过的晶圆18的晶舟26极有效地冷却。然后，例如当冷却至150℃以下时，在将处理过的晶圆18从晶舟26卸下(晶圆排出)而传输到晶圆盒9之后，将新的未处理晶圆18向晶舟26进行传输。
通过执行工艺制程程序来反复进行如上所述各工序，由此本实施方式所涉及的基板处理装置1例如能够以高产量进行在晶圆18上形成硅膜。
(保修部件列表)
首先，使用图17说明本实施方式的保修部件列表。本实施方式的保修部件如图17所示归纳在列表中。本列表所记载的部件为对与保修部件相关联的装置数据进行管理的对象。本列表包括项目编号、名称、关联、显示至少这四个项目。图17仅是一个实施例，能够任意地追加削除项目。
项目编号栏是后述的部件管理程序读取的顺序，原则上按该项目编号顺在后述的保修部件管理功能主画面上进行一览显示。另外，部件名称栏为作为保修管理对象的保修部件的名称。
在关联栏中，在保修部件之间存在关联的情况下附加项目编号。在保修部件为机构的情况下，构成机构的部件有时也成为保修部件的对象，因此是用于明确具有关联性的保修部件而设置的项目。例如在图17示出的项目编号1的传输机器人的情况下，从项目编号6至项目编号9为止这四个轴信息(X轴总驱动脉冲、Y轴总驱动脉冲、Z轴总驱动脉冲、R轴总驱动脉冲)相关联。
另外，显示栏为在保修部件管理功能主画面上是否设为显示对象的项目。这是因为要作为保修部件而管理的部件较多，并且要由客户进行管理的部件还有时不同，因此能够选定在保修部件管理功能主画面上显示的保修部件，从而实现提高操作性。
此外，在图17中仅记载了九个保修部件，但是这仅是用于说明本实施方式的一例。作为保修对象，进行列表管理的部件数量并不限定于九个。以下，有时简单地称为部件列表。另外，也可以设置用于在保修部件管理功能主画面上显示的显示用保修部件列表。在该情况下，图17示出的保修部件列表与形式(数据结构)也相同。
(部件管理程序)
使用图5和图6说明将本实施方式的部件管理功能提供给基板处理装置1的操作部201的部件管理程序。
在部件管理程序中，如图5所示如果在操作部201内的存储器226内制作使用部件管理库收集部件数据的程序(部件管理数据控制部)，则不仅是竖式类型和单晶圆类型的处理装置，对其它处理装置的操作部也实现本实施方式的部件管理功能。因此，不管装置方式、对象膜种类、对象工艺，均使用本实施方式的部件管理功能。
本实施方式的部件管理功能至少具有部件数据收集功能、部件数据蓄积功能、跟踪图形显示功能、画面转换操作功能。在此，操作部201通过执行本实施方式的部件管理程序，如图6所示那样实现部件管理数据控制部。而且，部件管理数据控制部包括数据收集部501、数据蓄积部502、数据运算部503、数据判断部504、数据更新部505、图形显示部510以及画面控制部520。另外，部件管理数据控制部与显示部218、通信部228以及存储部222分别相连接，能够与他们分别进行数据的交接。
数据收集部501收集经由通信部228发送的装置数据中、与保修部件相关联的装置数据(部件数据)。数据收集部501例如从装置数据中提取部件数据，并存储到数据蓄积部502。
数据运算部503计算从装置数据中提取的部件数据的累计值或者预定周期(例如1天)的部件数据的平均值。另外，合计(count up)部件数据的次数。而且，根据部件数据的累计值和部件数据的平均值计算超过阈值的时期(更换时期)。能够根据部件制造商推荐值或者部件的规格值等来适当地设定阈值。
数据判断部504将部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，判断部件数据的累计值是否到达阈值。另外，在部件数据的累计值超过阈值的情况下，也可以发出警告。另外，在保修部件具有多个部件数据的情况下，将分别计算出的部件数据的更换时期进行比较，根据具有最近的更换时期的部件数据来判断是否到达阈值。
数据更新部505根据数据判断部504的判断结果来更新数据蓄积部502内的部件数据。
画面控制部520接受来自显示部218的操作指示，进行画面转换处理。另外，画面控制部520使显示部218显示数据更新部505的更新结果或者数据判断部504的判断结果。
图形显示部510从跟踪日志文件中获取部件数据，并按照时间序列显示。根据本实施方式，显示图13示出的跟踪图形。
(半导体制造装置的保修部件管理功能)
另外，图7至图9是说明本实施方式的基板处理装置1中的部件管理功能的处理流程的流程图。至少执行用于实现图7示出的部件数据收集功能的序列程序、用于实现图8示出的部件数据显示功能的序列程序、用于实现图9示出的图形显示功能的序列程序。其中，仅执行一个部件管理程序，图7至图9仅示出专用于功能的状态下的序列程序，省略说明重复的部分。另外，执行用于进行后述的图10以后示出的画面的切换显示的画面转换程序。
图7示出用于实现作为部件管理功能之一的部件数据收集功能的序列程序的一例，由部件管理数据控制部执行该序列程序。
(S1：初始准备工序)
首先，部件管理数据控制部从存储部222预先读出对收集对象的部件数据进行定义的部件数据初始参数文件，并展开到存储器226内。在此，在数据蓄积部502中确保所有部件数据的累计值和平均值的区域，将最新的跟踪日志文件展开到该区域，存储到数据蓄积部。
(S2：初始数据存储工序)
部件管理数据控制部确认是否从作为控制部控制器的工艺系统控制器212、输送系统控制器211发送装置数据。当接收了包括装置数据的数据消息时，部件管理数据控制部确认该数据消息内包含的装置数据是否为与保修部件相关联的装置数据，作为部件数据而提取装置数据，将提取出的部件数据存储到数据蓄积部502。另一方面，如果装置数据不与保修部件相关联，则部件管理数据控制部确认下一个装置数据同样地与保修部件相关联。另外，在不存在装置数据的情况下，部件管理数据控制部再次确认有无从控制器接收的数据消息。
(S3：数据收集工序)
部件管理数据控制部从控制部控制器确认数据消息接收，确定装置数据是否为与保修部件相关联的部件数据。如果是部件数据，则部件管理数据控制部与保存于数据蓄积部502的部件数据进行比较，数据运算部503根据部件数据来累加数据变化的量或者合计次数(或者时间)来计算部件数据累计值。部件管理数据控制部使数据判断部504比较部件数据累计值和预先设定的阈值，如果超过阈值，则使数据更新部505将部件数据累计值和当前时刻作为到达阈值时刻，保存到数据蓄积部502。这样，提取下一个装置数据，同样地确认部件数据和比较部件数据。当装置数据不存在时，还等待从控制部控制器接收装置数据。
另一方面，部件管理数据控制部在不需要与保存于数据蓄积部502的部件数据进行比较的情况下，例如在即使是部件数据也不需要计算部件数据累计值的情况下等，在数据并无变化的情况下，也使数据判断部504进行比较。在不需要比较部件数据的情况下，也可以不进行数据的比较，而确认下一个装置数据提取。然后，该部件数据比较功能与操作部201的启动一致地自动地执行。
图8示出用于实现作为部件管理功能之一的部件数据显示功能的序列程序的一例，由部件管理数据控制部执行该序列程序。
(S10：初始准备工序)
首先，部件管理数据控制部从存储部222预先读出对收集对象的部件数据进行定义的部件数据初始参数文件，并展开到存储器226内。具体地说，部件管理数据控制部在数据蓄积部502中确保所有部件数据的累计值和平均值的区域，将最新的跟踪日志文件展开到该区域，并存储到数据蓄积部502，并且在数据蓄积部502中确保用于保存部件数据的保修部件列表以及显示用保修部件列表的区域。另外，部件管理数据控制部将当前时刻作为基准时刻而保存到区域，监视时间。此外，部件数据的更新以预定周期(例如1天)进行。在本实施方式中，以每天进行部件数据的更新的情况为前提进行说明。
然后，当基准时刻成为更新时刻时，部件管理数据控制部使数据运算部503计算部件数据的平均值。然后，将显示对象的所有部件数据的累计值和平均值以及当前时刻保存于跟踪图形显示用区域，并且将显示对象的所有部件数据的累计值和平均值以及当前时刻作为跟踪日志文件而保存到数据蓄积部502。
(S20：更换时期计算工序)
部件管理数据控制部提取保修部件列表的保修部件的部件数据，更新直到到达表示部件数据的更换时期的阈值为止的有效天数，作为有效天数基准值进行保存。接着，部件管理数据控制部提取与保修部件相关联的部件数据，根据部件数据的累计值和平均值，使数据运算部503计算作为更换时期的到达阈值为止的有效天数，使数据判断部504将计算出的有效天数与有效天数基准值进行比较，判断到达更换时期为止更短的一个。然后，部件管理数据控制部根据需要使数据更新部505更新有效天数基准值。部件管理数据控制部使数据判断部504将与保修部件列表的保修部件相关联的所有部件数据的有效天数(到达更换时期为止的天数)进行比较，使数据更新部505将最近的有效天数作为有效天数基准值而登记到显示用部件保修列表。对于保修部件列表的所有保修部件，部件管理数据控制部同样地反复直到使数据更新部505将最近的有效天数作为有效天数基准值而登记到显示用部件保修列表的登记结束为止。
在此，在该流程图中，为了能够应对开头的保修部件由多个部件构成的机构(例如晶圆盒输送机构15、晶圆传输机构(基板传输机构)24、晶舟26和旋转机构(未图示))的情况，即使存在多个部件数据，也能够对各部件数据，对寿命(使用期限)进行计算和管理。
(S30：更换时期比较工序)
当至少针对显示对象的保修部件(显示用保修部件列表的保修部件)计算出有效天数基准值时，部件管理数据控制部使数据判断部504比较该有效天数基准值，在数据更新部505中按着有效天数基准值从小到大的顺序，将保修部件从显示用部件列表的上部起重新排列。然后，部件管理数据控制部控制画面控制部520，该画面控制部520按着登记到显示用部件列表的顺序显示保修部件。
由于具有这种结构，因此在显示后述的保修部件管理主画面(图10)时，能够从更换时期为最近的保修部件起依次从上而下进行显示。因此，能够预测保修部件的更换时期，提示推荐更换日期时间。另外，按每个保修部件能够对多个条件分别进行阈值管理，因此提高所预测的更换时期的可靠性，从而能够消减无用的部件更换费用。
而且，通过显示后述的保修部件管理主画面(图10)，能够参照保修部件的部件数据，因此能够高效地提供到达用于推荐维护、更换的阈值的保修部件。
图9示出用于实现作为部件管理功能之一的部件数据的跟踪图形显示功能的序列程序的一例，由部件管理数据控制部执行该序列程序。
(S100：显示准备工序)
首先，部件管理数据控制部从存储部222预先读出对收集对象的部件数据进行定义的部件数据初始参数文件，并展开到存储器226内。具体地说，部件管理数据控制部在数据蓄积部502中确保所有部件数据的累计值和平均值的区域，将最新的跟踪日志文件展开到该区域，并存储到数据蓄积部502，并且在数据蓄积部502中确保用于保存部件数据的保修部件列表以及显示用保修部件列表的区域。并且，部件管理数据控制部在数据蓄积部502中确保第一预定期间(例如7天)的跟踪日志区域以及第二预定期间(例如12天)的显示区域。
部件管理数据控制部搜索第一预定期间内的最早的跟踪日志文件，在不存在最早的跟踪日志文件的情况下，结束显示准备工序。在存在最早的跟踪日志文件的情况下，在跟踪日志数据区域的开头展开跟踪日志时刻和所有装置数据。部件管理数据控制部反复搜索至最新的跟踪日志文件，展开最早的跟踪日志文件至最新的跟踪日志文件，在数据蓄积部502的跟踪日志数据区域内分别确保跟踪日志时刻和所有装置数据。另外，将从最早至最新的跟踪日志时刻保存到数据蓄积部502。待机直到有用于显示跟踪图形的指示为止。
(S200：跟踪数据显示工序)
部件管理数据控制部确认是否存在最早的跟踪图形(开头的跟踪图形)文件。在不存在文件的情况下，返回至待机状态。在此，不存在开头的跟踪日志文件这一情况是在启动控制系统240(或者操作部201)之后从一次也未执行部件数据的更新处理的状态，并且也没有任何作为跟踪图形而显示的部分，因此预先进行确认。例如在不存在文件的情况下，部件管理数据控制部也可以控制画面控制部520，使得一边发出警报一边使显示跟踪日志的按钮转变为按压禁止状态。
在存在文件的情况下，部件管理数据控制部首先将跟踪日志时刻作为基准时刻而保存到数据蓄积部502。而且，部件管理数据控制部将所选择的跟踪图形对象的部件数据保存到数据蓄积部502，使画面控制部520显示所选择的跟踪图形对象的部件数据的名称。并且，取出所选择的部件数据的累计值和平均值并保存到开头的显示区域。另外，部件管理数据控制部使画面控制部520显示基准时刻的日期，并且与刻度一致地显示累计值的点。
部件管理数据控制部将基准时刻加上1天，接着确认跟踪日志文件的日志时刻是否一致，如果彼此一致，则从前1天的数据中拷贝所选择的部件数据的累计值和平均值，保存到相加得到的累计天数的显示区域，并且使图形显示部510显示基准时刻的日期。这是由于例如控制系统240的电源处于关闭状态2天，在3天之后打开电源的情况下，数据显示处理处于3天之后，因此处于不存在关闭电源的日期的跟踪日志的状态，因此设成能够检查该情况。
部件管理数据控制部在基准时刻与日志时刻一致的情况下，从跟踪日志数据中取出所选择的部件数据的累计值和平均值，保存到相加得到的累计天数的显示区域，并且使图形显示部510显示基准时刻的日期，并且以与刻度一致地显示累计值的点，并显示与上一次显示的点连结的线。部件管理数据控制部反复进行操作直到基准时刻超过最新日志时刻为止，使图形显示部510进行相同的显示处理。
(S300：预测数据显示工序)
另外，当基准时刻超过最新日志时刻时，部件管理数据控制部使数据运算部503从前一天的数据中拷贝所选择的部件数据的累计值，从前一天的数据中拷贝平均值，根据平均值计算累计值的预测值。此外，用于计算预测值的平均值也可以是使直到前一天为止的所有平均值进行平均化的值。而且，保存到相加得到的累计天数的显示区域，并且使图形显示部510显示基准时刻的日期，并且与刻度一致地显示累计值的点，显示与上一次显示的点连结的线。用于计算累计值的预测值的平均值的计算方法除了上述方法以外，也可以适当地选择直到前一天为止的第一预定期间(例如7天)的数据而由数据运算部503进行平均化。
部件管理数据控制部反复进行直到基准时刻超过第二预定期间(12天)为止，执行预测数据显示工序。
根据本实施方式，能够在时间轴上将保修部件的部件数据进行图形显示，因此在操作画面上，能够根据监视对象部件的监视器值的增加趋势来预测维护时期，能够事先准备保修部件。
(实施例)
使用表示由操作部201执行部件管理程序而显示在显示部218中的各画面的图10至图16说明适用于本实施方式的上述基板处理装置1的实施例。
说明显示对象的保修部件一览画面的图示例即图10。在图10中，由操作部201执行部件管理程序，由此作为保修部件管理画面的保修部件管理功能主画面而显示保修部件的一览。该图10通过按下操作部201内的预定启动按钮被显示。主要对由构成基板处理装置1的部件或者由多个部件构成的机构中选定为保修部件的机构或者部件进行一览显示。当显示保修部件的更换时期的按钮(以后，还称为状态显示按钮)601被按下时，画面转换为后述的图12的保修部件管理数据详细画面，当显示保修部件的更换履历的按钮(以后，还称为部件保修按钮)602被按下时，画面转换为后述的图15的保修部件管理更换执行画面。
关于各保修部件的状态，使状态显示按钮601显示对更换时期带来影响的所有部件数据中、剩余天数相对于所设定的阈值最少的条件的状态。
具体地说，画面控制部520根据针对机构和构成该机构的部件的各自的部件数据计算出的更换时期中最近的更换时期，在保修部件管理画面上以分色的方式显示状态显示按钮601。
画面控制部520在部件数据的更换时期超过阈值的情况下，在状态显示按钮601中显示“到达期限”，在部件数据的更换时期到达阈值为止不足1年的情况下，在状态显示按钮601中显示“超过阈值的日期”，在部件数据的更换时期到达阈值为止1年以上的情况下，在状态显示按钮601中显示“良好”。此外，在本实施方式中，当到达阈值为止不足90天时，状态显示按钮601显示黄色，并且当到达阈值为止不足30天时状态显示按钮601显示红色。
当显示在保修部件管理画面上的非显示项按钮603被按下时，画面控制部520显示从保修部件列表中遗漏的非显示对象的保修部件的信息。另外，该非显示按钮也根据后述的图11示出的作为非显示对象的保修部件的部件数据的更换时期到达阈值为止的天数，与状态显示按钮601同样地以分色的方式进行显示。
当显示在保修部件管理画面上的项目编号按钮604被按下时，画面控制部520显示用于决定是否将显示对象的保修部件设为非显示的对话框。
图11示出显示作为非显示对象的保修部件的一览的非显示项列表画面。在该画面上，当按下要返回至显示的保修部件项的按钮时通过画面控制部520返回(显示)至保修部件管理画面。其中，即使是非显示中也属于保修对象，因此监视部件数据。在图11中显示的保修部件项的按钮也与保修部件管理画面的状态显示按钮同样地，根据部件数据的累计值到达阈值的时期(更换时期)为止的天数以分色的方式进行显示。
当保修部件管理功能主画面的状态显示按钮601被按下时，画面控制部520切换为显示对所选择的保修部件的更换时期带来影响的所有部件数据的保修部件管理数据详细画面来进行显示。
在图12示出的部件数据详细显示画面上，按着与主画面相同的规则来显示各条件的状态。当按下该画面内的阈值显示按钮611时，能够显示软键盘，变更阈值。当按下该画面内的数据跟踪按钮612时，显示后述的对应部件数据的上述跟踪图形。当按下该画面内的更换履历按钮613时，显示后述的变更履历详细数据画面。
首先，说明图12示出的保修部件管理数据详细画面。在图12中，在图10中作为保修部件而选择真空机器人，并且与该真空机器人对应的状态显示按钮601被按下时由画面控制部520进行显示。图12的上部的项目为表示与真空机器人有关的状态的项，是使用开始日期时间以及使用截止日期时间、部件制造商推荐的使用期限(天数)，在该情况下设定为300天。而且，可知直到表示更换时期的使用截止日期时间为止的有效天数为291天。此外，作为使用期限(天数)的阈值的项目611，通过进行选择能够适当地设定为数值数据。
接着，图12示出四个装置数据与作为保修部件的真空机器人相关联这一情况。在本实施方式中，将与这种保修部件相关联的装置数据称为部件数据。在本实施方式中，关于各部件数据，分别计算直到使用截止日期为止的有效天数，从而预测更换时期。
以下，对部件数据的名称为X轴总驱动脉冲进行详细说明。部件数据的到当前为止的累计值即当前值为50、预定周期(例如1天)内的平均值为5.5、部件制造商推荐的阈值为1000。由此，当根据当前值50和在本实施例中作为1天的平均的平均值5.5计算到达阈值1000为止时，是191，因此直接计算为有效天数为191天。因此，表示更换时期的使用截止日期为从当前时刻起至第191天的2016年9月4日。例如当对于Y轴总驱动脉冲同样地进行计算时，有效天数为46天，因此可知使用截止日期为从当前时刻起至第46天的2016年4月12日。另外，由于有效天数不足90天，因此以改变颜色的方式显示使用截止日期与有效天数的项目。此外，关于阈值(脉冲)的项目611能够适当地设定数值数据。
另外，关于部件数据的名称为R轴总驱动脉冲，有效天数显示为0天，因此可知当前值已经达到阈值。在该情况下，在使用截止日期中，以时刻来显示当前值到达根据阈值设定的数值的更换时期。这样，至此根据传输机器人的制造商推荐值(300天)来判断更换时期。然而，在本实施方式中，在构成传输机器人的各部件中，分别设定阈值来判断各部件的更换时期，由此能够预测传输机器人的实际更换时期。并且，能够通过以下说明的跟踪图形来显示达到更换时期为止的履历。
接着，当按下图12示出的数据跟踪按钮612时，切换显示在图13示出的跟踪图形显示画面上。在此，说明图13。
在图13A中，当与图12的部件数据的名称为X轴总驱动脉冲有关的数据跟踪按钮被按下时，通过画面控制部520使显示部218进行切换显示。在图13B中，当与图12的部件数据的名称为R轴驱动脉冲有关的数据跟踪按钮被按下时，通过画面控制部520使显示部218进行切换显示。
接着，在图13A示出的跟踪图形的上侧显示表示阈值(70)的单元、表示跟踪开始日期(2016/2/20)的开始单元、表示跟踪结束日期(2016/2/26)的结束单元、表示到达阈值时刻的到达阈值单元。此外，X轴总驱动脉冲并未到达阈值，因此到达阈值单元为空栏。纵轴为脉冲数且阈值为70脉冲，因此在跟踪图形上增强显示70脉冲的虚线。
另外，在跟踪结束日期(2016/2/26)以后，通过图形显示部510执行图9的S300的工序。例如将从跟踪开始日期(2016/2/20)至跟踪结束日期(2016/2/26)为止的各预定周期(1天)的平均值的平均值加上跟踪结束日期(2016/2/26)的累计值，由此计算出跟踪结束日期的次日(2016/2/27)的累计值。同样地，反复进行直到第二预定期间(例如12天)后的2016/3/03为止，计算出累计值。由此，可知X轴总驱动脉冲的到达阈值日期为2016/2/29日。这样，特别是，能够对未到达阈值的保修部件进行更换时期的推测。
在跟踪图形的右端处作为刻度而能够选择第二预定期间(12天)。在附图中仅示出一个刻度，但是并不限定于该方式。另外，能够使用上下箭头来变更竖式刻度，能够使用左右箭头切换横轴。
另外，通过选择是否存在右侧棒图形的显示，例如图13所示，通过画面控制部520以棒图形显示每个预定周期(1天)的实测值。
接着，在图13B示出的跟踪图形的上侧显示表示阈值(50000)的单元、表示跟踪开始日期时间(2016/2/20)的开始单元、表示跟踪结束日期时间(2016/2/26)的结束单元、表示到达阈值时刻(2016/2/25-17:05:08)的到达阈值单元。在该情况下，保修部件(传输机器人)的部件数据(R轴总驱动脉冲)的累计值达到阈值，因此在到达阈值单元记载到达时的时刻。由此，可知R轴驱动器已经超过阈值，因此需要迅速地更换或者维护。
在图14中，当与图12的部件数据的名称为R轴总驱动脉冲有关的更换履历按钮613被按下时，通过画面控制部520使显示部218进行切换显示。此外，图14是用于说明本实施方式的图，与实际画面有所不同，还存在所记载的数值并无意义的部分。
在图14中显示使用开始日期时间(2016/2/26-18:17:18)、部件数据的名称即数据名称(R轴总驱动脉冲)、更换次数(14)以及数据平均值(1094023)。
而且，在图14中，关于数据名称(R轴总驱动脉冲)，从项目编号1起按照从早到新的顺序显示过去10次相当的更换时的部件数据。在项目编号10中显示最新的更换时的数据。从项目编号1至项目编号4为止的更换理由为定期更换，但是从项目编号5至项目编号10为止的更换理由为由故障引起的更换。另外，在更换时超过阈值的情况下，超过该阈值的日期时间被记载于到达阈值日期时间栏。另外，数据栏表示更换时的部件数据的累计值。上述数据平均值表示过去10次的更换时的数据值的平均值。
这样，将更换时的数据平均值、过去的更换原因进行分析，能够向部件制造商提出部件变更等。
当图10示出的保修部件管理功能主画面的部件保修按钮602被按下时，画面控制部520切换为用于显示与所选择的保修部件的更换履历相关联的数据的保修部件管理更换执行画面而进行显示。
在图15中，在实际完成在图10中选择的保修部件的更换的情况下，能够按下保修部件管理功能主画面的部件保修按钮602而进行显示。如果更换原因是由定期维护引起的更换，则当按下更换(定期)按钮621时，能够通过画面控制部520进行显示，另一方面，在由故障引起更换的情况下，当按下更换(故障)按钮622时，能够通过画面控制部520进行显示。
在该画面(图15)中显示最新的更换日期时间(2021/07/22-17:05:08)和过去的所有更换次数(13)，蓄积有最新的10次相当的更换日期时间、更换时的部件数据。在进行了10次以上的更换的情况下，从最早的履历开始删除。另外，仅能够取消最新的更换履历信息。在部件更换完成操作时的更换原因为错误操作的情况下能够按下该取消按钮。另外，取消按钮以保存最新以外的数据并不删除至此的蓄积数据的方式，附加到最新的更换履历信息。
另外，当按下ESC按钮时，再次显示图10示出的保修部件管理功能主画面。另外，当部件数据按钮被按下时显示后述的保修部件管理所有数据显示画面。
接着，在图16中，显示保修部件的更换日期时间以及保修部件更换时的所有部件数据的累计值。
根据本实施例，这样显示用于管理保修部件的画面来提供部件数据的详细信息，由此，例如在传输机的大修中，为了缩短装置运转的停止期间，半导体制造装置制造商的服务部门(或者服务公司)按每个传输机单元进行更换，因此能够事先将大修的准备委托给装置制造商的服务部门(或者服务公司)。
目前，存在以下问题：部件的更换、保修(维护)在装置运转后的经过时间来设定，无法以基于轴移动距离等部件的运转状况的数值来进行判断。然而，在本实施方式中，装置管理人员通过参照保修部件管理功能的主画面(图10)等，确认由部件数据超过阈值的保修部件构成的机构，除了观察经过时间以外还观察考虑了装置的运转状况的具体的数值，能够判断更换、维护。
(其它实施方式)
在本实施方式中，由分别作为对象的保修部件构成的机构根据竖式装置与单晶圆装置的结构不同而不同，因此仅所选定的保修部件不同，而本发明的技术思想相同。
例如作为实施例而说明了传输机器人24，但是能够将本实施方式中的部件管理功能应用于传输由单晶圆装置使用的基板的传输机构。进而，换言之能够将本实施方式中的部件管理功能应用于由该单晶圆装置使用的部件、由多个部件构成的机构、多个机构或者由部件或者机构的组合等构成的单元。
因此，在本实施方式中，关于通过掌握基板处理装置的结构部件的保修时机就能够实现基板处理装置的稳定运转的这种效果，该基板处理装置无论是竖式装置还是单晶圆装置均起到相同的效果是不言而喻的。
这样，根据本实施方式，起到以下(a)～(e)中、至少一个以上的效果。
(a)根据本实施方式，对一个更换部件(保修部件)，统一地管理多个不同的使用状况数据(部件数据)和阈值，更换时期的日期时间是根据所有使用状况数据(部件数据)中的使用次数(平均、移动平均等)提示首先到达阈值的日期时间，从而能够实现提高可靠性。
(b)根据本实施方式，将部件制造商提示的保修期或者保证使用次数设为阈值，不仅根据累计次数，还根据每天的使用次数，在日期时间中提示更换时期，支持使用者的计划性停止装置和更换部件，从而能够实现提高运转率。
(c)根据本实施方式，能够显示部件更换时的原因、日期时间以及累计数据等履历。由此，掌握故障率，在故障率高的情况下，进行部件制造商的切换等的提案，预防装置突发性停止，从而提高运转率。
(d)根据本实施方式，以往，以装置运转后的经过时间来设定部件的更换、保修(维护)，存在无法以基于轴的脉冲数等部件的运转状况的数值来判断的问题，但是在本实施方式中，设备制造商-装置管理人员通过参照保修部件管理的主画面，掌握部件数据超过阈值的保修部件或者机构。这样，设备制造商-装置管理人员参照保修部件管理的主画面，除了观察经过时间以外还观察考虑了装置的运转状况的具体的数值，能够判断更换、维护。
(e)根据本实施方式，装置制造商的售后工程师例如实施故障应对之后，参照保修部件的部件数据，进行图形显示来观察部件数据的趋势，由此能够提出以后的装置维护服务。另外，仅计划性地准备接近更换时期的保修部件，能够实现优化库存。另外，将更换、维护预定日期接近的保修部件进行集中，分别实施更换、维护，由此能够提出减少装置的停止次数。
此外，在本发明中，将部件管理程序(部件管理功能)安装于操作部201，但是也可以与操作部201分开地设置数据收集控制器，使该控制器执行部件管理程序。在该情况下，本功能结构作为一例，例如具有：通信部，其与操作部201进行各种数据的发送接收；装置数据控制部，其经由该通信部接受从基板处理装置发送的装置数据，参照接受的数据，在装置数据中与保修部件相关联的部件数据的情况下更新部件数据；以及显示数据控制部，其将该部件数据加工成画面显示用数据，更新画面显示数据。另外，具有收集装置数据的数据库的功能，并且还可以具有以下功能：使用蓄积的部件数据或者装置数据，将蓄积的各数据进行加工来制作部件数据，按时间序列绘制成图形。画面显示也可以使用操作部201和为了参照画面而连接的终端等代替。
此外，本发明的实施方式中的部件管理程序(部件管理功能)也可以安装于作为输送控制部的输送系统控制器211、作为处理控制部的工艺系统控制器212以及管理装置的任意控制器。
此外，本发明的实施方式中的基板处理装置1不仅能够应用于制造半导体的半导体制造装置，还能够应用于对LCD装置那样的玻璃基板进行处理的装置。并且，当然也能够应用于曝光装置、光刻装置、涂布装置、使用等离子体的处理装置等各种基板处理装置。并且，在成膜处理中，也能够通过形成CVD、PVD等薄膜的处理、形成氧化膜、氮化膜的处理、形成含金属的膜的处理来实施。
并且，本发明作为附注包括以下实施方式。
(附注1)根据本发明的一个方式，提供一种基板处理装置，至少具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面上的上述保修部件进行了更新的状态下使上述显示部进行显示。
(附注2)优选在附注1所记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上分色显示按钮，该按钮：根据针对上述机构以及构成上述机构的部件的各自的上述部件数据计算出的上述更换时期中、最近的上述更换时期，显示上述保修部件的更换时期。
(附注3)优选在附注2记载的基板处理装置中，上述画面控制部在显示上述保修部件的更换时期的按钮中，上述部件数据的更换时期超过上述阈值的情况下，显示“到达期限”，在上述部件数据的上述更换时期到达阈值为止不足1年的情况下，显示“超过阈值的日期”，在上述部件数据的上述更换时期到达阈值为止为1年以上的情况下，显示“良好”。
(附注4)优选在附注1所记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示非显示项按钮，当上述非显示项按钮被按下时，显示未显示在上述保修部件管理画面中的保修部件的信息。
(附注5)优选在附注1所记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换时期的按钮，当显示上述保修部件的更换时期的按钮被按下时，对与上述机构相关联的多个部件显示保修部件详细画面，在该保修部件详细画面中显示与上述部件相关联的上述部件数据的阈值和累计值的同时显示各部件的更换时期以及直到该更换时期为止的天数。
(附注6)优选在附注1所记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换履历的按钮，当显示上述保修部件的更换履历的按钮被按下时，显示保修部件更换画面，该保修部件更换画面显示包括将上述保修部件进行了更换的次数的部件更换信息。
(附注7)优选在附注5或者附注6所记载的基板处理装置中，上述画面控制部具备数据跟踪按钮，该数据跟踪按钮在上述保修部件详细画面上对上述部件数据进行图形显示，当上述数据跟踪按钮被按下时，上述操作部使上述显示部在预定期间的时间轴上显示上述保修部件的上述部件数据的累计值。
(附注8)优选在附注7所记载的基板处理装置中，上述画面控制部在分别用线连结的状态下分别显示作为对象的上述部件数据的名称、基准时刻的日期以及上述每个预定期间的上述部件数据的累计值的数据点，由此显示上述部件数据的跟踪图形。
(附注9)优选在附注1所记载的基板处理装置中，上述操作部收集与上述机构以及构成上述机构的部件分别对应的部件数据，将通过上述部件数据的累加或者合计计算出的上述部件数据的累计值与针对预先设定的各部件数据的阈值分别进行比较，在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为上述更换时期。
(附注10)优选在附注1所记载的基板处理装置中，还具有保修部件列表，在该保修部件列表中将选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件设定为显示对象，上述操作部从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式更新上述保修部件列表，上述画面控制部根据上述更新的结果在上述显示部显示上述保修部件管理画面。
(附注11)根据本发明的其它方式，提供一种操作部控制器，具有：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期，该操作部控制器分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，关于上述机构以及构成上述机构的部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，在从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面中的上述保修部件进行了更新的状态下使上述显示部进行显示。
(附注12)根据本发明的进一步其它方式，提供一种记录介质，是记录有部件管理程序的计算机可读取的记录介质，该部件管理程序使操作部控制器执行以下过程：收集与上述机构以及构成上述机构的部件分别对应的部件数据；将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较；在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为上述更换时期；关于上述机构以及构成上述机构的每个部件的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值来计算上述更换时期；从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式对显示在上述保修部件管理画面中的上述保修部件进行更新；以及使上述显示部显示上述保修部件管理画面，其中，上述操作部控制器具有：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；判断部，其在与上述保修部件相关联的部件数据的累计值超过阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期。
(附注13)根据本发明的进一步其它方式，提供一种基板处理装置，至少具备：画面控制部，其展开保修部件列表并使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件列表将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而设定为显示对象；收集部，其收集与上述保修部件相关联的部件数据；判断部，其将上述部件数据的累计值与预先设定的阈值进行比较，在超过该阈值的情况下，判断为更换时期；运算部，其计算上述更换时期；以及控制部，其分别控制上述画面控制部、上述收集部、上述判断部、上述运算部，收集与上述机构以及构成上述机构的部件分别对应的部件数据，将通过上述部件数据的累加或者合计计算出的上述部件数据的累计值与针对预先设定的各部件数据的阈值分别进行比较，在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为上述更换时期，关于上述机构以及构成上述机构的部件的各自的上述部件数据，根据每个预定周期的上述部件数据的平均值和上述部件数据的累计值来计算上述更换时期，从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式更新上述保修部件列表，使显示部显示上述保修部件管理画面。
(附注14)优选在附注13记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示非显示项按钮，当上述非显示项按钮被按下时，显示从上述保修部件列表遗漏的非显示对象的保修部件的信息。
(附注15)优选在附注13记载的基板处理装置中，上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换时期的按钮以及用于显示上述保修部件的更换履历的按钮，当显示上述保修部件的更换时期的按钮被按下时，对与上述机构相关联的多个部件显示保修部件详细画面，在该保修部件详细画面中显示与上述部件相关联的上述部件数据的阈值和累计值的同时显示各上述部件的更换时期以及直到该更换时期为止的天数，当显示上述保修部件的更换履历的按钮被按下时，显示保修部件更换画面，该保修部件更换画面显示包括将上述保修部件进行了更换的次数的部件更换信息。
产业上的可利用性
能够应用于构成对基板进行处理的基板处理装置的部件管理。
附图标记说明
1：基板处理装置；18：晶圆(基板)；201：主控制器(操作部)；218：显示装置(显示部)；240：控制系统。

Claims (11)

1.一种基板处理装置，其特征在于，至少具备：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的多个部件数据；判断部，其将多个上述部件数据的累计值与针对各部件数据预先设定的阈值进行比较，在多个上述部件数据的至少一个超过该阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期；以及操作部，其对于上述机构以及构成上述机构的部件的多个上述部件数据，根据每个预定周期的多个上述部件数据的平均值和多个上述部件数据的累计值分别计算上述更换时期，选择针对计算出的与上述机构关联的多个上述部件数据的更换时期中包括上更换时期已过的上述保修部件在内的上述更换时期最近的更换时期，从包括所选择的上述保修部件的上述更换时期中最近的上述更换时期的上述保修部件起依次从上向下排列的方式显示在上述保修部件管理画面上。
2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部将按钮分色显示在上述保修部件管理画面上，该按钮根据计算出上述更换时期，显示上述保修部件的更换时期。
3.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示非显示项按钮，当上述非显示项按钮被按下时，显示未显示在上述保修部件管理画面上的保修部件的信息。
4.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换时期的按钮，当显示上述保修部件的更换时期的按钮被按下时，对与上述机构相关联的多个部件显示保修部件详细画面，在该保修部件详细画面中显示与上述部件相关联的上述部件数据的阈值和累计值的同时显示各部件的更换时期以及到该更换时期的天数。
5.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部在上述保修部件管理画面上显示用于显示上述保修部件的更换履历的按钮，当显示上述保修部件的更换履历的按钮被按下时，显示保修部件更换画面，该保修部件更换画面显示包括更换了上述保修部件的次数的部件更换信息。
6.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部具备数据跟踪按钮，该数据跟踪按钮在上述保修部件详细画面上对上述部件数据进行图形显示，当上述数据跟踪按钮被按下时，上述操作部使上述显示部在预定期间的时间轴上显示上述保修部件的上述部件数据的累计值。
7.根据权利要求6所述的基板处理装置，其特征在于，
上述画面控制部在分别用线连结的状态下分别显示作为对象的上述部件数据的名称、基准时刻的日期以及每个上述预定期间的上述部件数据的累计值的数据点，由此显示上述部件数据的跟踪图形。
8.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
上述操作部收集与上述机构以及构成上述机构的部件分别对应的部件数据，将通过上述部件数据的累加或者合计计算出的上述部件数据的累计值与针对预先设定的各部件数据的阈值分别进行比较，在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为上述更换时期。
9.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，
还具有将选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件设定为显示对象的保修部件列表，上述操作部从包括最近的上述更换时期的上述保修部件起依次以从上而下排列的方式更新上述保修部件列表，上述画面控制部根据上述更新的结果在上述显示部显示上述保修部件管理画面。
10.一种操作部控制器，其特征在于，
该操作部控制器具有：画面控制部，其使显示部显示保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为保修部件而显示；收集部，其收集与上述保修部件相关联的多个部件数据；判断部，其将多个上述部件数据的累计值与针对各部件数据预先设定的阈值进行比较，在多个上述部件数据的至少一个超过该阈值的情况下，判断为更换时期；以及运算部，其计算上述更换时期，该操作部控制器对于上述机构以及构成上述机构的部件的多个上述部件数据，根据每个预定周期的多个上述部件数据的平均值和上述多个部件数据的累计值分别计算上述更换时期，选择针对计算出的与上述机构关联的多个上述部件数据的更换时期中包括上更换时期已过的上述保修部件在内的上述更换时期最近的更换时期，从包括所选择的上述保修部件的上述更换时期中最近的上述更换时期的上述保修部件起依次从上向下排列的方式显示在上述保修部件管理画面上。
11.一种记录介质，是记录有部件管理程序的计算机可读取的记录介质，该部件管理程序使具有画面控制部、判断部和运算部的操作部控制器执行以下过程：收集与机构以及构成上述机构的部件分别对应的多个部件数据；将多个上述部件数据的累计值与针对各部件数据预先设定的阈值进行比较；在至少一个上述部件数据超过上述阈值的情况下，判断为更换时期；对于上述机构以及构成上述机构的部件的各自的上述部件数据，根据每个预定周期的多个上述部件数据的平均值和多个上述部件数据的累计值来计算上述更换时期，选择针对计算出的与上述机构关联的多个上述部件数据的更换时期中包括上更换时期已过的保修部件在内的上述更换时期最近的上述更换时期，从包括所选择的上述保修部件的上述更换时期中最近的上述更换时期的上述保修部件起依次从上向下排列的方式显示在保修部件管理画面上，其中，上述画面控制部使显示部显示上述保修部件管理画面，该保修部件管理画面将从构成装置的各部件或者由多个部件构成的各上述机构中选定为管理对象的上述部件或者上述机构作为上述保修部件而显示，上述判断部在与上述保修部件相关联的上述部件数据的累计值超过阈值的情况下，判断为上述更换时期，上述运算部计算上述更换时期。
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