JP6581718B2 - 基板処理装置、コントローラ及び部品管理プログラム - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 装置を構成する各部品若しくは複数の部品で構成される各機構から管理対象として選定された前記部品又は前記機構を保守部品として表示する保守部品管理画面を表示部に表示させる画面制御部と、
前記保守部品に関連する複数の部品データを収集する収集部と、
前記複数の部品データの累積値と各部品データに対して予め設定された閾値を比較し、該閾値を超えていた場合、交換時期と判定する判定部と、
前記交換時期を算出する演算部と、
前記画面制御部、前記収集部、前記判定部、前記演算部をそれぞれ制御して、前記機構及び前記機構を構成する部品の前記複数の部品データについて、前記部品データの平均値と前記部品データの累積値に基づいてそれぞれ前記交換時期を算出し、算出された前記機構に関連する複数の部品データに対する交換時期のうち、前記交換時期が過ぎているものを含み前記交換時期が早いものを選択し、選択された前記保守部品の前記交換時期のうち、最も早い前記交換時期を含む前記保守部品から順に上から並ぶよう前記保守部品管理画面に表示させるよう構成されている操作部と、を少なくとも備えた基板処理装置。 - 前記画面制御部は、算出された前記交換時期に応じて前記保守部品の交換時期を表示するボタンを前記保守部品管理画面に色分け表示するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記画面制御部は、前記保守部品管理画面に非表示アイテムボタンを表示し、前記非表示アイテムボタンが押下されると、前記保守部品管理画面に表示されていない保守部品の情報を表示するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記画面制御部は、前記保守部品管理画面に、前記保守部品の交換時期を表示するボタンを表示し、前記保守部品の交換時期を表示するボタンが押下されると、前記機構に関連する複数の部品に対して、前記部品に関連する前記部品データの閾値及び累積値を少なくとも表示する保守部品詳細画面を表示するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記画面制御部は、前記保守部品管理画面に、前記保守部品の交換履歴を表示するボタンを表示し、前記保守部品の交換履歴を表示するボタンが押下されると、前記保守部品を交換した回数を含む部品交換情報を表示する保守部品交換画面を表示するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記画面制御部は、前記保守部品詳細画面に前記部品データをグラフ表示するデータトレースボタンを備え、前記データトレースボタンが押下されると、前記操作部は、前記保守部品の前記部品データの累積値を所定期間の時間軸で前記表示部に表示させるよう構成されている請求項4に記載の基板処理装置。
- 前記画面制御部は、対象の前記部品データの名称と、基準時刻の日付と、前記所定期間毎の前記部品データの累積値のデータ点をそれぞれ線で結んだ状態でそれぞれ表示することにより、前記部品データのト
レースグラフを表示するよう構成されている請求項6記載の基板処理装置。 - 前記操作部は、前記機構及び前記機構を構成する部品にそれぞれ応じた部品データを収集し、前記部品データの積算若しくはカウントアップにより算出される前記部品データの累積値と、予め設定された各部品データに対する閾値と、をそれぞれ比較し、少なくとも一つの前記部品データが前記閾値を超えていた場合、前記交換時期と判定するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 更に管理対象として選定された前記部品又は前記機構を保守部品として表示対象に設定する保守部品リストを有し、前記操作部は、最も直近の前記交換時期を含む前記保守部品から順に上から並ぶように前記保守部品リストを更新し、前記画面制御部は、前記更新した結果に基いて、前記保守部品管理画面を前記表示部に表示するよう構成されている請求項1記載の基板処理装置。
- 装置を構成する各部品若しくは複数の部品で構成される各機構から管理対象として選定された前記部品又は前記機構を保守部品として表示する保守部品管理画面を表示部に表示させる画面制御部と、前記保守部品に関連する複数の部品データを収集する収集部と、前記複数の部品データの累積値と各部品データに対して予め設定された閾値を比較し、該閾値を超えていた場合、交換時期と判定する判定部と、前記交換時期を算出する演算部と、前記画面制御部、前記収集部、前記判定部、前記演算部をそれぞれ制御して、前記機構及び前記機構を構成する部品の前記複数の部品データについて、前記部品データの平均値と前記部品データの累積値に基づいてそれぞれ前記交換時期を算出し、算出された前記機構に関連する複数の部品データに対する交換時期のうち、前記交換時期が過ぎているものを含み前記交換時期が早いものを選択し、選択された前記保守部品の前記交換時期のうち、最も早い前記交換時期を含む前記保守部品から順に上から並ぶよう前記保守部品管理画面に表示させるよう構成されている操作部コントローラ。
- 装置を構成する各部品若しくは複数の部品で構成される各機構から管理対象として選定された前記部品又は前記機構を保守部品として表示する保守部品管理画面を表示部に表示させる画面制御部と、前記保守部品に関連する部品データの累積値が閾値を超えていた場合に交換時期と判定する判定部と、前記交換時期を算出する演算部と、を有する操作部コントローラにおいて、前記機構及び前記機構を構成する部品にそれぞれ応じた複数の部品データを収集する手順と、前記複数の部品データの累積値と各部品データに対して予め設定された閾値を比較する手順と、少なくとも一つの前記部品データが前記閾値を超えていた場合、前記交換時期と判定する手順と、前記機構及び前記機構を構成する部品それぞれの前記部品データについて、前記部品データの平均値と前記部品データの累積値に基づいて前記交換時期を算出する手順と、算出された前記機構に関連する複数の部品データに対する交換時期のうち、前記交換時期が過ぎているものを含み前記交換時期が早いものを選択し、選択された前記保守部品の前記交換時期のうち、最も早い前記交換時期を含む前記保守部品から順に上から並ぶよう前記保守部品管理画面に表示させる手順と、を操作部コントローラに実行させる部品管理プログラム。
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