JPWO2014007081A1 - 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法並びに記憶媒体 - Google Patents

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Abstract

基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも1台の基板処理装置とネットワークを介して接続され、基板処理装置から周期的に報告される装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムにおいて、基板処理装置は、当該基板処理装置内部で生成された装置データと、管理装置への装置データの報告周期又は報告回数と、装置データの重要度とを、装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部に記憶されているデータ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部を備える基板処理システムが提供される。

Description

本発明は、例えば半導体ウエハ等の基板を処理し、各種装置データ、例えば処理温度や処理室内圧力等のモニタデータ等を出力する基板処理装置や、基板処理装置から出力された各種装置データを収集し蓄積する上位装置や、基板処理装置や上位装置から構成される基板処理システムや、該基板処理システムにおけるデータ処理方法に関するものである。
例えば、半導体装置の製造装置(半導体製造装置)として機能する基板処理装置において、基板処理装置で発生した処理温度や処理室内圧力等のモニタデータ等の各種装置データを、当該基板処理装置に記憶するとともに、工場LAN等のネットワークを介して定期的に、上位装置である群管理装置へ送信し報告することが行われている。群管理装置は、複数の基板処理装置から受信した各種装置データを、群管理装置のデータベースに保存する。保存された装置データは、例えば、同一の処理を行う複数の基板処理装置間の均一な成膜処理や、故障発生時の故障解析などに利用される。
基板処理装置が保有する装置データを群管理装置へ報告する周期は、基板処理装置の電源が投入され群管理装置と通信接続されたときに、群管理装置から受信して取得する。基板処理装置は、群管理装置から取得した固定の報告周期により、保有する装置データを群管理装置へ送信する。群管理装置へ送信する装置データは、上述の処理温度や処理室内圧力やガス流量や各種センサー情報等のプロセスモニタデータや、基板搬送等において稼働する駆動軸の位置等のメカニカルモニタデータを含む。
近年、基板処理装置の高性能化により報告される装置データの種類が増大し、また、基板処理装置ユーザの要求による報告される装置データ粒度の微細化(報告の短周期化)に伴い、基板処理装置から群管理装置へ報告されるデータ量が増大している。例えば、基板処理装置に異常が生じたような場合は、異常原因を調査するために、その異常に関連する装置データを多量に報告するようにしている。また、ネットワークに接続された多くの基板処理装置からの報告が集中するタイミングも発生し得る。
このため、基板処理装置が保有する全ての装置データを、従来行っているように固定周期で群管理装置へ報告すると、報告するデータ量が多いため、群管理装置のデータベースに全ての装置データを保存処理できないデータベースオーバフローとなる事態が発生し得る。そうすると、データベースオーバフローに起因して、ネットワーク上の通信過負荷状態が発生し、最悪の場合、基板処理装置の運用が停止する事態が発生し得る。また、ネットワークに接続された多くの基板処理装置からの報告が集中した場合に、基板処理装置が装置データを固定周期で群管理装置へ報告しようとすると、ネットワーク上の通信過負荷状態が発生し、同様に、基板処理装置の運用が停止する事態が発生し得る。
下記の特許文献1には、基板処理装置の稼働状態(平常時、緊急時、レシピ実行時、調整時)に応じて、基板処理装置から群管理装置へ報告する報告周期を変更することが開示されている。
特開2005−276935号公報
しかしながら、上記の特許文献1の技術では、基板処理装置の稼働状態に応じて群管理装置への報告周期が固定されており、ある稼働状態、例えばレシピ実行中において装置データ量が増加した場合に、十分な対応をすることができない。 本発明の目的は、基板処理装置と群管理装置との間において、群管理装置へ送信する装置データ量を調整することにより、データ量の増大に伴う群管理装置への悪影響を抑制することにある。
本発明の一態様によれば、 基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも1台の前記基板処理装置とネットワークを介して接続され、前記基板処理装置から周期的に報告される前記装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備えた基板処理システムが提供される。
本発明の他の態様によれば、基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置が提供される。
本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを少なくとも記憶する記憶部と、前記装置データを周期的に報告する制御部とを備えた基板処理装置のデータ処理方法であって、前記制御部は、前記装置データを収集する工程と、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する工程と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定工程と、 を実行する基板処理装置のデータ処理方法が提供される。
本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを管理装置へ報告する処理と、
前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する処理と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定処理と、 を備えるデータ報告プログラムを読み取り可能な記録媒体が提供される。
上記の構成によれば、ある稼働状態において基板処理装置で発生する装置データ量が増加しても、群管理装置において通信過負荷状態が発生することを抑制できる。
本発明の第1実施形態に係る基板処理システム、及び基板処理装置と群管理装置の構成例である。 本発明の第1実施形態に係る基板処理装置の全体構成を示す斜視図である。 本発明の第1実施形態に係る基板処理装置の垂直断面図である。 本発明の第1実施形態に係る更新データ格納テーブルである。 本発明の第1実施形態に係るデータ更新情報格納テーブルである。 本発明の第1実施形態に係る報告周期切換え設定テーブルである。 本発明の第2実施形態に係るネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。 本発明の第2実施形態に係る初期パラメータ格納テーブルである。 本発明の第3実施形態に係る装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。 本発明の第3実施形態に係る障害種別対応データ種別定義テーブルである。
(第1実施形態) 以下、図面を参照して、本発明の第1実施形態に係る基板処理システムの構成、及び基板処理装置と群管理装置の構成について説明する。図1は、第1実施形態に係る基板処理システムの構成例を示し、また、基板処理装置の制御系と群管理装置の構成例を示す。 図1に示されるように、第1実施形態に係る基板処理システムは、基板処理装置100と、群管理装置30と、基板処理装置100と群管理装置30とを接続する工場内LAN等のネットワーク60とを備える。1台の群管理装置30に対して複数、例えば数十台の基板処理装置100が接続される。
基板処理装置100で生成され発生した処理温度や処理室内圧力等の各種装置データは、当該基板処理装置100に記憶されるとともに、ネットワーク60を介して所定の周期で、上位装置である群管理装置30へ送信される。 群管理装置30では、複数の基板処理装置100から受信した装置データを、自身のデータベース(記憶部32)に保存して、例えば、故障発生時の故障解析等に役立つようにしている。このように、群管理装置30は、記憶装置ともいえる。
まず、上位の管理装置としての群管理装置について、図1を用いて説明する。 図1に示すように、群管理装置30は、制御部31と、記憶部32と、操作表示部33と、通信部34とを備える。操作表示部33は、オペレータの指示を受け付ける操作部と、操作画面や各種データ等を表示する表示部とを備える。制御部31には、群管理装置30を構成する上記操作表示部33等の各構成部が電気的に接続され、これらの各構成部は、制御部31により制御される。主制御部31は、ハードウエア構成としては、CPU(Central Processing Unit)と制御部31の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、CPUは、この動作プログラムに従って動作する。通信部34は、ネットワーク60を介して、複数の基板処理装置100との間で各種データの送受信を行う。
記憶部32は、ネットワーク60を介して複数の基板処理装置100から受信した各基板処理装置100の各種装置データを記憶し保存しており、不揮発性記憶装置であるハードディスクや半導体メモリ等から構成される。また、記憶部32は、基板処理装置100で使用されるデータ種別ごとの報告周期や、後述する初期パラメータ格納テーブル(図8)、障害種別対応データ種別定義テーブル(図10)等を記憶している。群管理装置30は、基板処理装置100の電源が投入されるなど基板処理装置100が初期状態から立ち上がったときに、該データ種別ごとの報告周期を基板処理装置100へ送信する。
記憶部32内に蓄積記憶された処理炉202の温度やガス流量や圧力データなどの装置データは、必要に応じ例えば、高度なアプリケーション機能を有する解析アプリケーション装置(不図示)へ転送され、統計解析や多変量解析など、基板処理装置100を監視するためのデータ処理に用いられる。解析アプリケーション装置は、ネットワーク60に接続されたパーソナルコンピュータ等で構成することができる。
次に、基板処理装置100の全体構成を、図2を用いて説明する。本実施形態において、基板処理装置は、一例として、半導体装置(IC:Integrated Circuit)の製造方法における処理工程を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やCVD(Chemical Vapor Deposition)処理などを行うバッチ式縦型半導体製造装置(以下、単に処理装置ともいう)を適用した場合について述べる。図2は、第1実施形態の処理装置の透視図であり、斜視図として示されている。また、図3は図2に示す処理装置の側面透視図である。
図3に示されているように、本実施形態の処理装置100は、シリコン等からなるウエハ(基板)200を収納するウエハキャリアとしてポッド110を使用し、筐体111を備えている。筐体111の正面壁111aには、ポッド搬入搬出口112が、筐体111の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口112は、フロントシャッタ113によって開閉される。ポッド搬入搬出口112の正面前方側には、ロードポート114が設置されており、ロードポート114は、ポッド110を載置する。ポッド110は、ロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、かつまた、ロードポート114上から搬出される。
筐体111内の前後方向の略中央部における上部には、回転棚105が設置されており、回転棚105は、支柱116を中心に回転し、棚板117に複数個のポッド110を保管する。 図3に示すように、筐体111内におけるロードポート114と回転棚105との間には、ポッド搬送装置118が設置されている。ポッド搬送装置118は、ポッド110を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ118aと、水平搬送機構としてのポッド搬送機構118bとで構成されており、ロードポート114、回転棚105、ポッドオープナ121との間で、ポッド110を搬送する。
図3に示すように、筐体111内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体119が後端にわたって構築されている。サブ筐体119の正面壁119aには、ウエハ200をサブ筐体119内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口120が1対、垂直方向に上下2段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口120、120には1対のポッドオープナ121、121がそれぞれ設置されている。 ポッドオープナ121は、ポッド110を載置する載置台122、122と、ポッド110のキャップ(蓋体)を着脱するキャップ着脱機構123、123とを備えている。ポッドオープナ121は、載置台122に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することにより、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉する。載置台122は、基板を移載する際に基板収容器が載置される移載棚である。
図3に示すように、サブ筐体119は、ポッド搬送装置118や回転棚105の設置空間の雰囲気と隔絶された移載室124を構成している。移載室124の前側領域には、ウエハ移載機構125が設置されている。ウエハ移載機構125は、ウエハ200をツイーザ125cに載置して水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置125a、およびウエハ移載装置125aを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ125bとで構成されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ125bおよびウエハ移載装置125aの連続動作により、ボート217に対して、ウエハ200を装填および脱装する。
図2に示されているように、移載室124内には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア133を供給するよう、供給フアンおよび防塵フィルタで構成されたクリーンユニット134が設置されている。 図3に示すように、ボート217の上方には、処理炉202が設けられている。処理炉202は、内部に基板処理室(不図示)を備え、該基板処理室の周囲には、基板処理室内を加熱するヒータ(不図示)を備える。処理炉202の下端部は、炉口ゲートバルブ147により開閉される。
図2に示されているように、ボート217を昇降させるためのボートエレベータ115が設置されている。ボートエレベータ115に連結されたアーム128には、シールキャップ219が水平に据え付けられており、シールキャップ219は、ボート217を垂直に支持し、処理炉202の下端部を閉塞可能なように構成されている。 ボート217は、複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50枚〜125枚程度)のウエハ200を、その中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
次に、本実施形態の処理装置の動作について説明する。 図2、図3に示されているように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ポッド搬入搬出口112から搬入される。 搬入されたポッド110は、回転棚105の指定された棚板117へ、ポッド搬送装置118によって、自動的に搬送されて受け渡される。
ポッド110は回転棚105で一時的に保管された後、棚板117から一方のポッドオープナ121に搬送されて載置台122に移載されるか、もしくは、ロードポート114から直接、ポッドオープナ121に搬送されて、載置台122に移載される。この際、ポッドオープナ121のウエハ搬入搬出口120は、キャップ着脱機構123によって閉じられており、移載室124にはクリーンエア133が流通され、充満されている。
図3に示すように、載置台122に載置されたポッド110は、そのキャップが、キャップ着脱機構123によって取り外され、ポッド110のウエハ出し入れ口が開放される。また、ウエハ200は、ポッド110からウエハ移載装置125aによってピックアップされ、ボート217へ移載されて装填される。ボート217にウエハ200を受け渡したウエハ移載装置125aは、ポッド110に戻り、次のウエハ110をボート217に装填する。
この一方(上段または下段)のポッドオープナ121におけるウエハ移載装置125aによるウエハ200のボート217への装填作業中に、他方(下段または上段)のポッドオープナ121には、回転棚105ないしロードポート114から別のポッド110がポッド搬送装置118によって搬送され、ポッドオープナ121によるポッド110の開放作業が同時進行される。
予め指定された枚数のウエハ200がボート217に装填されると、処理炉202の下端部が炉口ゲートバルブ147によって開放される。続いて、シールキャップ219がボートエレベータ115によって上昇されて、シールキャップ219に支持されたボート217が、処理炉202内の基板処理室へ搬入されて行く。
ローディング後は、基板処理室内でウエハ200に任意の処理が実施される。処理後は、ボートエレベータ115によりボート217が引き出され、その後は、概上述の逆の手順で、ウエハ200およびポッド110は筐体111の外部へ払出される。
次に、基板処理装置100の制御系の構成について、図1を用いて説明する。 図1に示されるように、基板処理装置100の主制御部11には、主記憶部12、搬送制御部13、温度制御部14、ガス制御部15、PLC(Programmable Logic Controller)ユニット16、通信部17、オペレータの指示を受け付ける操作部(不図示)、操作画面や各種データ等を表示する表示部(不図示)等が電気的に接続されている。通信部17は、ネットワーク60を介して、群管理装置30との間で各種データの送受信を行う。
搬送制御部13は、ポッド搬送装置118やウエハ移載機構125やボートエレベータ115等の位置を制御するもので、搬送制御部13には、フォトセンサー21やポッドセンサー22が電気的に接続され、これらのセンサーから、例えば、ウエハ200を収容するポッド110の有無や位置等のデータを受信し、主制御部11に送信する。また、搬送制御部13は、主制御部11から、例えばポッド110の搬送指示を受信し、指示された場所や位置にポッド110を搬送する。
温度制御部14は、反応炉202を加熱するヒータの温度を制御するもので、処理炉202内の温度を計測する温度センサー23から温度データを受信し、主制御部11に送信する。また、温度制御部14は、主制御部11から、例えば処理炉202内の温度を上昇させるヒータの加熱温度指示を受信し、指示された温度になるようヒータを加熱する。
ガス制御部15は、例えば、PLCユニット16を介し、バルブI/O24やインタロックI/O25から受信したデータを主制御部11へ送信し、また、主制御部11から受信したデータをバルブI/O24やインタロックI/O25へ送信する。具体的には、例えば、処理炉202内へ処理ガスを供給する処理ガス供給配管に設けられたMFC(マスフローコントローラ:流量制御装置)からガスの流量データを受信し、主制御部11に送信する。また、主制御部11から、例えば、処理ガス供給配管に設けられた開閉バルブや処理炉202内からガスを排気する処理ガス排気配管に設けられた圧力調整バルブやポンプ等へのバルブ開閉指示やポンプ駆動指示等のガス制御指示を受信し、該指示に従いガス制御を行う。 PLCユニット16は、バルブI/O24やインタロックI/O25から受信したデータを主制御部11へ送信し、また、主制御部11から受信したデータをバルブI/O24やインタロックI/O25へ送信することもある。
主記憶部12は、基板処理装置100の基板処理シーケンスである処理レシピを記憶しており、不揮発性記憶装置であるハードディスクや半導体メモリ等から構成される。 また、主記憶部12は、後述の更新データ格納テーブル(図4参照)、データ更新情報格納テーブル(図5参照)、報告周期切換え設定テーブル(図6参照)等を記憶する。
主制御部11は、ハードウエア構成としては、CPU(Central Processing Unit)と主制御部11の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、CPUは、この動作プログラムに従って、主記憶部12に記憶した処理レシピを読み出して実行するように動作する。また、搬送制御部13、温度制御部14、ガス制御部15等の副制御部も、それぞれ、CPUと各制御部の動作プログラム等を格納するメモリを備えており、各CPUは、それぞれの動作プログラムに従って動作する。
主制御部11は、搬送制御部13等の各副制御部やPLCユニット16等の各構成部から、温度センサーの示す温度やアクチュエータの位置などの各モニタデータを収集し、これらのモニタデータを用いて、処理炉202の温度や圧力等のパラメータが、予め設定された目標値となるように各構成部を制御する制御部である。ポッドセンサー22や温度センサー23等の状態は、各副制御部からのアナログ信号やRS−232CやDeviceNetなどのデジタル信号により、主制御部11へ送信される。主制御部11は、各構成部からのモニタデータを収集すると、該収集したデータ(収集データ)に該収集データの検出時刻であるタイムスタンプを刻印し、主記憶部12へ格納し保存し、また、所定の周期で群管理装置30へ送信し報告する。
第1実施形態の基板処理装置100における群管理装置30への報告周期の決定方法について、図4〜図6を用いて説明する。この報告周期の決定動作は、主制御部11により所定の動作プログラム(データ報告プログラム)を実行することにより制御される。図4は、本発明の第1実施形態に係る更新データ格納テーブルである。図5は、本発明の第1実施形態に係るデータ更新情報格納テーブルである。図6は、本発明の第1実施形態に係る報告周期切換え設定テーブルである。そして、主制御部11がデータ報告プログラムを実行することにより、前記更新データ格納テーブル、前記データ更新情報格納テーブル、前記報告周期切換え設定テーブルを読み出し、各データの報告周期を決定するように構成されている。 まず、基板処理装置100内部において装置データの更新が行われると、例えば処理炉202の温度データが更新されると、その最新の装置データは、図4に示す更新データ格納テーブルの当該最新データのデータ種別用の最新データ格納エリア46に格納される。例えば、データ1は、データ1用の最新データ格納エリア46に格納される。 また、図5に示すデータ更新情報格納テーブルの当該データ種別に対応するポインタ情報エリア53に、上記最新データ格納エリア46に格納した最新の装置データのポインタを格納する。例えば、データ1は、データ1用のポインタ情報エリア53に、上記最新データ格納エリア46に格納した最新の装置データのポインタを格納される。こうすることにより、そのデータ種別のデータの報告周期が来たときに、データ更新情報格納テーブルのポインタエリア53に格納したポインタに基づき、最新データ格納エリア46に格納した最新の装置データが読み出されて群管理装置30へ送信される。
更新データ格納テーブルは、図4に示すように、各データ種別41に対応づけて、群管理装置30への報告周期42、該データ種別41の重要度43、群管理装置30への報告回数44、群管理装置30への報告データの累積サイズ45、基板処理装置100内で更新された最新の装置データを格納するための最新データ格納エリア46を備える。
データ種別41は、例えば処理炉202の温度データのように、基板処理装置100内で生成される装置データを互いに識別するものであり、例えば装置データの名称や識別子(ID)を用いることができる。図4の例では、データ1〜データ9が示されているが、これに限られるものではない。 報告周期42は、群管理装置30への報告周期であり、例えばデータ1は、0.1秒ごとに群管理装置30への報告が行われる。通常は、報告周期42は、基板処理装置100内における装置データの更新周期よりも長い。報告周期42は、前述したように、基板処理装置100が立ち上がり群管理装置30と通信接続が開始されたときに、群管理装置30から受信して取得される。
重要度43は、当該データ種別41の重要度を示し、後述する報告周期切換えの際に用いられる。重要度43も、基板処理装置100が立ち上がり群管理装置30と通信接続が開始されたときに、群管理装置30から受信して取得される。 なお、報告周期42や重要度43は、全てのデータ種別について、群管理装置30から送信されるのではなく、必要なデータ種別についてのみ送信されるよう構成することもできる。送信されなかったデータ種別については、基板処理装置100で予め設定されているデフォルト値が使用される。
報告回数44は、基板処理装置100が立ち上がり群管理装置30と通信接続が開始された以降に、当該データ種別41のデータを群管理装置30へ報告した回数である。 累積サイズ45は、基板処理装置100が立ち上がり群管理装置30と通信接続が開始された以降に群管理装置30へ報告した、当該データ種別41のデータの累計サイズである。なお、累積サイズ45は、直近の1秒間に群管理装置30へ報告した、当該データ種別41のデータの累計サイズとして取り扱うこともでき、本実施形態では、このように取り扱うものとする。
基板処理装置100において、基板処理装置100内の装置データが発生する度に、該装置データは、そのデータ種別に対応する最新データ格納エリア46に格納される。また、基板処理装置100から群管理装置30へ報告される度に、報告回数44と累積サイズ45が更新される。
本実施形態では、基板処理装置100は、予め群管理装置30の記憶部32の1秒あたりの空きデータサイズを取得して、記憶部12に記憶している。群管理装置30は、その記憶部32に蓄積する基板処理装置100の装置データを所定の期間、例えば90日間保存するように設定されている。したがって、群管理装置30における基板処理装置1台当たりの装置データ蓄積可能サイズと、上記所定の保存期間とから、群管理装置30の記憶部32の1秒当たりの空きデータサイズが算出できる。例えば、基板処理装置1台当たりの装置データ蓄積可能サイズが70(Gバイト)で、上記所定の保存期間が90日間の場合、1秒あたりの空きデータサイズは、70(Gバイト)÷(90日×24時間×3600秒)≒9(kバイト/秒)となる。すなわち、各基板処理装置100が、1秒当たり約9(kバイト)以下の量のデータを群管理装置30へ送信している場合は、群管理装置30においてデータベースオーバフローが発生することはない。
本実施形態では、上記例における1秒当たり約9(kバイト)を超える量のデータ、つまり、管理装置30の記憶部32の1秒あたりの空きデータサイズを超える量のデータを群管理装置30へ送信している基板処理装置100において、群管理装置30への報告周期が長くなるよう変更する。これにより、群管理装置30においてデータベースオーバフローが発生することを抑制できる。
データ更新情報格納テーブルは、図5に示すように、報告周期グループ51と、その報告周期グループ51に属すデータ種別52と、データ種別52に対応する最新データ格納エリア46のポインタエリアを示すポインタ情報53とを対応付けて記憶する。 図5のデータ更新情報格納テーブルの情報は、基板処理装置100の装置情報が最新データ格納エリア46に格納される度に、該格納された装置情報のデータ種別に対応する報告周期を、更新データ格納テーブル(図4)から取得し、その報告周期と一致する報告周期グループ51に、上記最新データ格納エリア46に格納された装置情報のデータ種別が既に登録されているか判断し、登録されている場合は、ポインタ情報53の情報を、上記最新データ格納エリア46に格納された装置情報のポインタに更新し、未登録の場合は、新規にデータ種別を登録し、さらにポインタ情報53の情報として、上記最新データ格納エリア46に格納された装置情報のポインタを登録する。
(第1実施例) 次に、群管理装置30への報告周期を変更する、第1実施形態における第1実施例について説明する。 第1実施例においては、基板処理装置100は、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部12に記憶されている装置データの報告回数に基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定し、報告周期を変更する。具体的には、報告回数の最も多いデータ種別について、報告周期が長くなるよう変更する。報告回数とは、上述したように、基板処理装置100が立ち上がり群管理装置30と通信接続が開始された以降に、群管理装置30へ報告した回数である。
各データ種別について、図4に示す更新データ格納テーブルの報告回数を参照すると、データ9が最多の100回であるので、報告周期変更の対象は、報告回数の最も多いデータ9となる。 したがって、データ9の報告周期を、それまでの0.1秒から、例えば、次に短い報告周期である0.5秒に変更する。これに伴い、更新データ格納テーブル(図4)、データ更新情報格納テーブル(図5)のデータ9を報告周期グループ(0.5秒)に切替える。
また、報告回数の最も多いデータ種別について、報告周期を最大限(図4の例では10秒)まで長くなるよう変更した後は、報告回数の次に多いデータ種別(図4の例ではデータ4)について、報告周期が長くなるよう変更する。 なお、第1実施例において、報告回数の代わりに報告周期を使用し、報告周期の最も短いデータ種別について、報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。
(第2実施例) 次に、群管理装置30への報告周期を変更する、第1実施形態における第2実施例について説明する。 第2実施例においては、基板処理装置100は、装置データの報告周期を変更する際に、記憶部12に記憶されている装置データの報告回数と装置データの重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する。より詳しくは、第1実施例において抽出された報告周期変更対象のデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。 変更後の報告周期は、図6に示す報告周期切換え設定テーブルより取得する。報告周期切換え設定テーブルには、各報告周期ごとに、重要度に応じた変更後の報告周期が設定されている。重要度は、図6の例では5段階に分かれ、最も重要度が高いデータは重要度5、最も重要度が低いデータは重要度1としている。なお、図6の例では、重要度5が設定されたデータ種別については、報告周期の変更が行われないようにしている。
例えば、報告周期が0.01秒(100Hz)の場合における変更後の報告周期は、最も重要度が低い重要度1の場合は0.2秒、次に重要度が低い重要度2の場合は0.1秒、次に重要度が低い重要度3の場合は0.05秒、次に重要度が低い重要度4の場合は0.02秒、最も重要度が高い重要度5の場合は0.01秒である。 このように、重要度が高くなるにつれて変更後の報告周期が短くなり、最も重要度が高い重要度5の場合は報告周期が変更されないように設定されている。
第1実施例で述べたように、報告回数の最も多いデータ種別であるデータ9が報告周期の変更対象となった場合、更新データ格納テーブル(図4)から、データ9の報告周期情報(0.1秒)を取得し、報告周期切換え設定テーブル(図6)において、変更前の報告周期が0.1秒であった場合の、重要度に応じた変更後の報告周期を求める。データ9の重要度は1であり、最も重要度が低いので、変更後の報告周期は、2秒であることが分かる。 したがって、データ9の報告周期を、それまでの0.1秒から2秒に変更する。これに伴い、更新データ格納テーブル(図4)、データ更新情報格納テーブル(図5)の該当箇所の報告周期、報告周期グループを変更する。こうして、次回以降の群管理装置30への報告において、変更後の報告周期により、報告を行う。
次に報告周期を変更する必要が発生した場合は、同様にして、報告回数の最も多いデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。例えば、再び、データ9の報告周期変更が発生した場合は、報告周期切換え設定テーブル(図6)において、変更前の報告周期が2秒であった場合の、重要度1における変更後の報告周期、10秒を求める。こうして、データ9のそれまでの報告周期2秒を10秒に変更する。 こうして、報告周期を変更する必要が発生する度に、報告回数の最も多いデータ種別について、重要度に応じて、報告周期が長くなるよう変更する。これを繰り返すことにより、群管理装置30への報告周期が段階的に少しずつ大きくなるよう変更することができる。 なお、第2実施例において、報告回数の代わりに報告周期を使用し、報告周期の最も短いデータ種別について、重要度に応じて報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。
(第3実施例) 次に、群管理装置30への報告周期を変更する、第1実施形態における第3実施例について説明する。 第3実施例においては、重要度の最も低いデータ種別について、報告周期が短いものから、報告周期が長くなるよう変更する。例えば、図4の例では、重要度の最も低いデータ種別はデータ9(重要度1)であるので、データ9の変更前の報告周期0.1秒を、次に長い報告周期である0.5秒に変更する。あるいは、変更後の報告周期は、第2実施例と同様に、図6に示す報告周期切換え設定テーブルより取得するように構成してもよい。
第3実施例において、重要度の最も低いデータ種別が複数存在する場合は、その中で報告周期が最も短いデータ種別又は報告回数の最も多いデータ種別を変更対象とする。 なお、第3実施例において、重要度の最も低いデータ種別について、報告回数が多いものから、報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。また、報告周期や報告回数に関わらず、相対的に重要度の低いデータ種別の報告周期が長くなるよう変更する構成とすることも可能である。
以上説明した第1実施形態によれば、少なくとも次の(1)〜(6)の効果を得ることができる。
(1)群管理装置へ報告した装置データの累積サイズに基づき、装置データの報告周期を変更するように構成したので、的確に装置データの報告量を制限することができ、群管理装置のデータベースオーバフローを防止することができる。 (2)報告回数の最も多いデータ種別、又は報告周期の最も短いデータ種別について報告周期が長くなるよう変更するように構成したので、各データ種別の報告回数又は報告周期の差を過大にすることなく、基板処理装置から群管理装置への装置データの報告量を抑制することができる。 (3)報告回数の多いデータ種別、又は報告周期の短いデータ種別について、重要度の低いものは報告周期が長くなるように構成したので、重要度が低くかつ報告頻度の大きいデータの報告周期が短くならないよう自動的に制御することができる。 (4)報告周期変更対象のデータ種別について、重要度に応じて報告周期が長くなるよう変更するように構成したので、重要データ報告量の減少を抑制することができる。 (5)重要度の最も高いデータ種別については、報告周期を変更しないように構成したので、最重要データ報告量の減少を抑制することができる。 (6)重要度の低いデータ種別を優先的に報告周期変更対象とするように構成する場合は、重要データ報告量の減少をより効果的に抑制することができる。
(第2実施形態) 次に、第2実施形態について、図7と図8を用いて説明する。 第2実施形態においては、群管理装置30と基板処理装置100とを接続するネットワーク60の負荷状態を監視し、その負荷状態に応じて報告周期を変更する、つまり、ネットワーク60の負荷が大きくなると、基板処理装置100から群管理装置30への報告周期が長くなるように変更し、ネットワーク60の負荷を軽減する。この点以外は、第1実施形態と同様なので、説明を省略する。
図7に、ネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れを示す。図7は、本発明の第2実施形態に係るネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。図7の処理において、群管理装置30はその制御部31、基板処理装置100はその主制御部11により、それぞれ所定のプログラム(データ管理プログラム)を実行することにより制御される。要するに、制御部31、主制御部11がそれぞれデータ管理プログラムを実行することにより、図4と同様の更新データ格納テーブル、図6と同様の報告周期切換え設定テーブル、後述する図8の初期パラメータ等を読み出し、ネットワーク負荷に応じた報告周期切換え処理を行うように構成されている。
図7において、まず、群管理装置30から基板処理装置100へ、ネットワーク接続確認要求が送信される(図7のステップS1)と、基板処理装置100から群管理装置30へ、ネットワーク接続確認要求応答が返信される(ステップS2)。群管理装置30は、ネットワーク接続確認要求を送信した後、ネットワーク接続確認要求応答を受信するまでの経過時間を測定し、この経過時間が所定の閾値内、例えば5秒以内であれば(ステップS3で閾値内)、ステップS1に戻り再びネットワーク接続確認要求を送信する。経過時間が所定の閾値を超えている場合は(ステップS3で閾値超え)、記憶部32内に設けた閾値超え回数カウンタの回数を更新する(ステップS4)。
閾値超えが所定回数内、例えば10回以内であれば(ステップS5で所定回数内)、ステップS1に戻り再びネットワーク接続確認要求を送信する。閾値超えが所定回数を超えている場合は(ステップS5で所定回数超え)、報告周期を長く変更するように、群管理装置30から基板処理装置100へ指示を行う(ステップS6)。
具体的には、群管理装置30の記憶部32に、図4と同様の更新データ格納テーブルや図6と同様の報告周期切換え設定テーブルを用意しておき、例えばデータ種別がデータ5の報告周期を変更する。ただし、この更新データ格納テーブルには、データ種別41、報告周期42、重要度43があればよく、報告回数44、累積サイズ45、最新データ格納エリア46は不要である。データ5の場合、更新データ格納テーブル(図4)により、変更前の報告周期が0.5秒であり重要度が3であることが分かるので、報告周期切換え設定テーブル(図6)により、変更前の報告周期が0.5秒であり重要度が3である場合の変更後の報告周期2秒を求めることができる。こうして求めた変更後の報告周期2秒を、群管理装置30から基板処理装置100へ送信し、基板処理装置100のデータ5の報告周期を2秒に変更させる。
上述した経過時間の閾値や閾値超えの所定回数は、予め初期パラメータとして、群管理装置30の記憶部32の初期パラメータ格納テーブルに記憶されている。図8は、本発明の第2実施形態に係る初期パラメータ格納テーブルである。図8の例では、経過時間の閾値として5秒、閾値超えの所定回数として10回が設定されている。障害報告周期については、第3実施形態において説明する。
なお、上述の第2実施形態においては、群管理装置30でネットワークの負荷状態を調べ、変更対象のデータ種別と変更後の報告周期を決定して、基板処理装置100へ指示したが、群管理装置30は基板処理装置100へ、単に報告周期を長くするよう指示し、基板処理装置100において、変更対象のデータ種別と変更後の報告周期を決定するよう構成することも可能である。この場合、図8の初期パラメータ格納テーブルは、基板処理装置100の記憶部12に設けられる。 また、上述の第2実施形態においては、群管理装置30でネットワークの負荷状態を調べたが、基板処理装置100でネットワークの負荷状態を調べるように構成することも可能である。この場合も、図8の初期パラメータ格納テーブルは、基板処理装置100の記憶部12に設けられる。
以上説明した第2実施形態によれば、少なくとも次の(7)の効果を得ることができる。 (7)群管理装置と基板処理装置とを接続するネットワークの負荷状態に応じて、装置データの報告周期を変更するよう構成したので、群管理装置においてデータベースオーバフローが発生することを抑制できる。
(第3実施形態) 次に、第3実施形態について、図9と図10を用いて説明する。 第3実施形態においては、基板処理装置100の障害を監視し、群管理装置30が基板処理装置100から障害情報を受信した場合、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように変更し、精度の高い装置情報を取得する。この点以外は、第1実施形態と同様なので、説明を省略する。
図9に、装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れを示す。図9は、本発明の第3実施形態に係る装置障害検知に応じた報告周期切換え処理の流れ図である。図9の処理において、群管理装置30はその制御部31、基板処理装置100はその主制御部11により所定のプログラム(障害処理プログラム)を実行することにより制御される。要するに、制御部31、主制御部11がそれぞれ障害処理プログラムを実行することにより、図4と同様の更新データ格納テーブル、図6と同様の報告周期切換え設定テーブル、図8と同様の初期パラメータ後述する図10の障害種別対応データ種別定義テーブル等を読み出し、障害に応じた報告周期切換え処理を行うように構成されている。
図9において、基板処理装置100から群管理装置30へ、例えば障害種別番号0100の障害報告が行われると(図9のステップS11)、群管理装置30は、図10に示す障害種別対応データ種別定義テーブルを参照し、受信した障害報告が、報告周期を変更すべきグループのデータ種別に関連するものか否かを判断する(ステップS12)。報告周期を変更すべき対象グループである場合は(ステップS12で対象グループ)、その対象グループに属すデータ種別の報告周期を変更し(ステップS13)、報告周期を変更すべき対象グループでない場合は(ステップS12で非対象グループ)、報告周期を変更せずに本処理を終了する。
図10は、本発明の第3実施形態に係る障害種別対応データ種別定義テーブルであり、群管理装置30の記憶部32に予め設定されている。図10の障害種別対応データ種別定義テーブルにおいて、基板処理装置100から送信される障害報告の障害種別番号と、報告周期を変更すべきデータ種別とが対応付けて記憶されている。例えば、No.1のグループは、障害種別番号が0000〜1000であり、この場合、データ種別1とデータ種別2の報告周期が変更される。
図9の例では、障害種別番号0100の障害報告が行われたので、障害種別対応データ種別定義テーブル(図10)を参照し、データ種別1とデータ種別2の報告周期を変更すべきであることが分かる。前述した図8の初期パラメータ格納テーブルにおいて、障害報告周期として0.01秒が予め設定されているので、変更後の報告周期0.01秒を、群管理装置30から基板処理装置100へ送信し、基板処理装置100のデータ1とデータ2の報告周期を0.01秒に変更させる。また、基板処理装置100では、更新データ格納テーブル(図4)やデータ更新情報格納テーブル(図5)において、データ種別1とデータ種別2の報告周期が、0.01秒に変更される。
なお、第3実施形態においては、群管理装置が基板処理装置から障害情報を受信した場合、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように群管理装置で報告周期を変更したが、基板処理装置が障害種別対応データ種別定義テーブル(図10)や初期パラメータ格納テーブル(図8)を記憶しておき、基板処理装置で障害情報が発生したときに、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように基板処理装置で報告周期を変更するように構成することも可能である。このようにすると、群管理装置で障害種別対応データ種別定義テーブル(図10)や初期パラメータ格納テーブル(図8)を記憶しておく必要がない。この場合、障害発生時の群管理装置側の報告周期の切替えは不要だが、障害発生したことを群管理装置側に認識させるため、障害情報は基板処理装置から群管理装置へ送信する必要がある。
以上説明した第3実施形態によれば、少なくとも次の(8)の効果を得ることができる。 (8)基板処理装置で障害が発生すると、その障害情報に関連する装置情報の報告周期が短くなるように変更するので、群管理装置が精度の高い装置情報を取得することができ、基板処理装置の障害原因の調査が迅速かつ容易に行える。
本発明は、前記各実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。第1〜第3実施形態の構成を適宜組み合わせて構成することも可能である。例えば、第1実施形態における主制御部11で実行されるデータ報告プログラムと第3実施形態における主制御部11、制御部31のそれぞれで実行される障害処理プログラムとを平行して実行するように構成することも可能である。 群管理装置は、基板処理装置と同じフロアやクリーンルームに設置される必要はなく、例えばLAN接続して別のフロアの事務所等に設置してもよい。また、群管理装置は、その記憶部(データベース)と制御部や操作部や表示部を一体にする必要はなく、それぞれを別体にして設置し、クリーンルームに設置されたデータベース内のデータを、事務所に設置された操作部や表示部(端末装置)により解析できるように構成してもよい。 また、本発明は、半導体製造装置だけでなく、LCD製造装置のようなガラス基板を処理する装置や、他の基板処理装置にも適用できる。基板処理の処理内容は、CVD、PVD、ALD、Epi、その他酸化膜、窒化膜、金属含有膜等を形成する成膜処理だけでなく、アニール処理、酸化処理、拡散処理、エッチング処理、露光処理、リソグラフィ、塗布処理、モールド処理、現像処理、ダイシング処理、ワイヤボンディング処理、検査処理等であってもよい。
<本発明の好ましい形態> 以下に、本発明の好ましい態様について付記する。
(付記1) 本発明の一態様によれば、 それぞれ基板を処理するとともに基板処理に関する複数種類の装置データを生成する基板処理装置と、複数の前記基板処理装置とネットワークを介して接続され、前記複数の基板処理装置からそれぞれ周期的に報告される複数種類の装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、制御部と記憶部とを備え、 前記記憶部は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶し、 前記制御部は、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する基板処理システムが提供される。
(付記2) 付記1の基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記ネットワークのデータ伝送負荷が過大である場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を長くするよう指示を行う基板処理システムが提供される。
(付記3) 付記1又は付記2の基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別を指定して、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を短くするよう指示を行う基板処理システムが提供される。
(付記4) 本発明の他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、
前記基板処理装置は、制御部と記憶部とを備え、 前記記憶部は、当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶し、 前記制御部は、前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する基板処理装置が提供される。
(付記5) 本発明の更に他の態様によれば、 管理装置と接続され、基板を処理する基板処理装置におけるデータ報告方法であって、 基板処理に関する装置データを生成するステップと、 前記生成された装置データを前記管理装置へ報告するステップと、 前記生成された装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶するステップと、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定ステップと、 を備えるデータ報告方法が提供される。
(付記6) 本発明の更に他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを管理装置へ報告する処理と、 前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する処理と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定処理と、 を備えるデータ報告プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。
(付記7) 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムにおけるデータ管理方法であって、 前記管理装置において、 前記装置データと、前記装置データの報告周期と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶ステップと、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記記憶ステップで記憶された前記データ種別ごとの報告周期と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別と報告周期を決定し、該決定した変更対象のデータ種別と報告周期を、前記基板処理装置に対して指示する変更指示ステップと、を備え 前記基板処理装置において、 前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更対象のデータ種別と報告周期を受信すると、前記受信したデータ種別と報告周期に基づいて、当該データ種別の装置データの報告周期を長くする報告周期変更ステップを備えるデータ管理方法が提供される。
(付記8) 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムで実行されるデータ管理プログラムを読み取り可能な記憶媒体であって、 前記管理装置が、 前記装置データと、前記装置データの報告周期と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶ステップと、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記記憶ステップで記憶された前記データ種別ごとの報告周期と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別と報告周期を決定し、該決定した変更対象のデータ種別と報告周期を、前記基板処理装置に対して指示する変更指示ステップと、を実行し、 前記基板処理装置が、 前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更対象のデータ種別と報告周期を受信すると、前記受信したデータ種別と報告周期に基づいて、当該データ種別の装置データの報告周期を長くする報告周期変更ステップを実行するデータ管理プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。
(付記9) 本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置とネットワークを介して接続され、該基板処理装置で生成された基板処理に関する装置データが、該基板処理装置から周期的に報告される管理装置であって、 前記ネットワークのデータ伝送負荷を監視し、該データ伝送負荷が過大と判断した場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を長くするよう指示を行う管理装置が提供される。
(付記10) 本発明の更に他の態様によれば、
基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムにおける障害処理方法であって、 前記管理装置が、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき、報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して指示を行う変更指示ステップを実行し、 前記基板処理装置が、前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更指示を受信すると、該受信した変更指示で指定されたデータ種別を指定された報告周期に変更する報告周期変更ステップを実行する障害処理方法が提供される。
(付記11) 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と、該基板処理装置とネットワークを介して接続された管理装置とを備え、前記基板処理装置から装置データを前記管理装置へ報告する基板処理システムで実行される障害処理プログラムを読み取り可能な記録媒体であって、 前記管理装置が、前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して指示を行う変更指示ステップと、 前記基板処理装置が、前記変更指示ステップにより前記管理装置から変更指示を受信すると、該受信した変更指示で指示されたデータ種別を指示された報告周期に変更する報告周期変更ステップと、 を備える障害処理プログラムを読み取り可能な記憶媒体が提供される。
(付記12) 本発明の更に他の態様によれば、 基板を処理する基板処理装置と接続され、該基板処理装置で生成された基板処理に関する装置データを、該基板処理装置から周期的に報告される管理装置であって、 前記基板処理装置から当該基板処理装置における障害内容を通知する障害情報を受信した場合に、該受信した障害情報に基づき報告周期を変更する対象のデータ種別と変更後の報告周期とを指定して、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を短くするよう指示を行う管理装置が提供される。
(付記13) 本発明の更に他の態様によれば、 基板処理に関する装置データを収集するステップと、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶するステップと、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定ステップと、 を備えるデータ処理方法が提供される。
(付記14) 本発明の更に他の態様によれば、基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置が提供される。
この出願は、2012年7月4日に出願された日本出願特願2012−150285を基礎として優先権の利益を主張するものであり、その開示の全てを引用によってここに取り込む。
処理温度や処理室内圧力等のモニタデータを出力する処理装置と、この処理装置から出力されたモニタデータを含む各種データを収集する上位装置との間におけるデータ量を調整することにより、通信負荷状態を調整する処理システムに適用できる。
11…主制御部、12…主記憶部、13…搬送制御部、14…温度制御部、15…ガス制御部、16…PLCユニット、17…通信部、21…フォトセンサー、22…ポッドセンサー、23…温度センサー、24…バルブI/O、25…インタロックI/O、30…群管理装置、31…制御部、32…記憶部、33…操作表示部、34…通信部、60…ネットワーク、100…基板処理装置、105…回転棚、110…ポッド、111…筐体、111a…正面壁、112…ポッド搬入搬出口、113…フロントシャッタ、114…ロードポート、115…ボートエレベータ、116…支柱、117…棚板、118…ポッド搬送装置、119…サブ筐体、120…ウエハ搬入搬出口、121…ポッドオープナ、122…載置台、123…キャップ着脱機構、124…移載室、125…ウエハ移載機構、128…アーム、133…クリーンエア、134…クリーンユニット、142…ウエハ搬入搬出開口、147…炉口シャッタ、200…ウエハ(基板)、202…処理炉。

Claims (5)

  1. 基板処理に関する装置データを生成する基板処理装置と、少なくとも1台の前記基板処理装置とネットワークを介して接続され、前記基板処理装置から周期的に報告される前記装置データを受信して記憶する管理装置とを備える基板処理システムであって、 前記基板処理装置は、 当該基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備えた基板処理システム。
  2. 請求項1に記載された基板処理システムであって、 前記管理装置は、前記ネットワークのデータ伝送負荷が過大である場合に、前記基板処理装置に対して前記装置データの報告周期を長くするよう指示を行う基板処理システム。
  3. 基板処理に関する装置データを生成して周期的に報告する基板処理装置であって、 前記基板処理装置内部で生成された前記装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する記憶部と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶部に記憶されている前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定する制御部とを備える基板処理装置。
  4. 基板処理に関する装置データを少なくとも記憶する記憶部と、前記装置データを周期的に報告する制御部とを備えた基板処理装置のデータ処理方法であって、前記制御部は、前記装置データを収集する工程と、 前記収集された装置データと、前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する工程と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定工程と、 を実行する基板処理装置のデータ処理方法。
  5. 基板処理に関する装置データを管理装置へ報告する処理と、 前記装置データと、前記管理装置への前記装置データの報告周期又は報告回数と、前記装置データの重要度とを、前記装置データのデータ種別に対応付けて記憶する処理と、 前記装置データの報告周期を変更する際に、前記記憶された前記データ種別ごとの報告周期又は報告回数と重要度とに基づいて、報告周期を変更する対象のデータ種別を決定するデータ種別決定処理と、 を備えるデータ報告プログラムを読み取り可能な記憶媒体。
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