JPWO2013094400A1 - 基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法 - Google Patents
基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JPWO2013094400A1 JPWO2013094400A1 JP2013550206A JP2013550206A JPWO2013094400A1 JP WO2013094400 A1 JPWO2013094400 A1 JP WO2013094400A1 JP 2013550206 A JP2013550206 A JP 2013550206A JP 2013550206 A JP2013550206 A JP 2013550206A JP WO2013094400 A1 JPWO2013094400 A1 JP WO2013094400A1
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- monitor data
- data
- unit
- storage unit
- monitor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0208—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the configuration of the monitoring system
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B23/00—Testing or monitoring of control systems or parts thereof
- G05B23/02—Electric testing or monitoring
- G05B23/0205—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults
- G05B23/0259—Electric testing or monitoring by means of a monitoring system capable of detecting and responding to faults characterized by the response to fault detection
- G05B23/0264—Control of logging system, e.g. decision on which data to store; time-stamping measurements
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/30—Monitoring
- G06F11/3003—Monitoring arrangements specially adapted to the computing system or computing system component being monitored
-
- G—PHYSICS
- G05—CONTROLLING; REGULATING
- G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
- G05B2219/00—Program-control systems
- G05B2219/20—Pc systems
- G05B2219/26—Pc applications
- G05B2219/2602—Wafer processing
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Automation & Control Theory (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Quality & Reliability (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Testing And Monitoring For Control Systems (AREA)
Abstract
Description
基板を処理する基板処理装置と、 前記基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、 前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、 前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、 前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、 前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、 を備える基板処理システム。
(1)一時記憶部が記憶できるデータ書込上限値とモニタデータレートとに基づき、チケット配分をおこなうので、センサーからのモニタデータ量が増加しても、一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定でき、センサーからのモニタデータ量増加に対応することができる。したがって、データの蓄積漏れや、システムダウン発生を防止できる。 (2)各種類のモニタデータの優先度に基づき、優先度の高い種類のモニタデータを一時記憶部に書き込む回数を、優先度の低い種類のモニタデータよりも多くできるので、モニタデータの優先度に応じて、一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定できる。 (3)第1の優先度のモニタデータに対し第1の回数だけ一時記憶部に書き込むように割り当て、データ書込上限値から第1の回数を差し引いた回数のうち第2の回数を、第2及び第3の優先度のモニタデータに対し割り当て、データ書込上限値から第1及び第2の回数を差し引いた回数である第3の回数を、第2の優先度のモニタデータに対し割り当てるので、モニタデータの優先度に応じて一時記憶部に記憶するデータ量を適切な値に設定できるとともに、データ書込上限値と同じ数だけチケット配分をおこなうことができ、チケットを余らせることなく使用できる。 (4)一時記憶部から蓄積記憶部へ伝送される蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えた場合、一時記憶部に書き込まれたモニタデータを読み出して前記蓄積記憶部に書き込む周期を長くするので、蓄積データの伝送量が所定の伝送量を超えることによるシステムダウン等を防止できる。
外部から複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、 前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、 前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と 前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、 前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と を備えるモニタデータ収集蓄積システム。
基板を処理する基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信ステップと、
前記モニタデータ受信ステップで受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出ステップと、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出ステップで検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当ステップと、 前記モニタデータ書込み割当ステップにより割り当てられた回数に基づき、前記基板処理装置から出力された複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込みステップと、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込みステップと、 を備える基板処理システムのモニタデータ収集蓄積方法、又はモニタデータ収集蓄積プログラム。
主制御部と、 前記主制御部から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、 前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、 前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、 前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、 前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、 を備える基板処理装置。
Claims (3)
- 基板を処理する基板処理装置と、
前記基板処理装置から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、 前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、 前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、 前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、 前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、 を備える基板処理システム。 - 主制御部と、 前記主制御部から出力される複数種類のモニタデータを受信するモニタデータ受信部と、 前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される一時記憶部と、 前記モニタデータ受信部が受信する複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出するモニタデータレート検出部と、 前記一時記憶部が1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と、前記モニタデータレート検出部で検出されたモニタデータレートとに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを前記一時記憶部に書き込む回数をモニタデータの各種類毎に割り当てるモニタデータ書込み割当部と、 前記モニタデータ書込み割当部により割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータ受信部が受信した複数種類のモニタデータを、前記第2の時間内において前記一時記憶部に書き込むモニタデータ書込み部と、 前記一時記憶部に周期的に書き込まれたモニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される蓄積記憶部と、 前記一時記憶部に書き込まれたモニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して、前記蓄積記憶部に書き込む蓄積データ書込み部と、 を備える基板処理装置。
- 複数種類のモニタデータを受信する工程と、 受信した複数種類のモニタデータが周期的に記憶される工程と、 前記複数種類のモニタデータが、所定の第1の時間内において、それぞれ所定の変化量以上に変化した延べ回数をモニタデータレートとして検出する工程と、 1周期において記憶できるモニタデータ量であるデータ書込上限値と検出された前記モニタデータレートに基づき、所定の第2の時間内において1周期分の各種類のモニタデータを書き込む回数をモニタデータの種類毎に割り当てる工程と、 割り当てられた回数に基づき、前記モニタデータを、前記第2の時間内に書き込む工程と、 書き込まれた前記モニタデータが、複数周期分、蓄積されて記憶される工程と、
書き込まれた前記モニタデータを、所定の第3の時間毎に読み出して書き込む工程と、を有する基板処理装置のデータ蓄積方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011278569 | 2011-12-20 | ||
JP2011278569 | 2011-12-20 | ||
PCT/JP2012/081471 WO2013094400A1 (ja) | 2011-12-20 | 2012-12-05 | 基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013094400A1 true JPWO2013094400A1 (ja) | 2015-04-27 |
JP6106606B2 JP6106606B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=48668299
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013550206A Active JP6106606B2 (ja) | 2011-12-20 | 2012-12-05 | 基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法並びにプログラム |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9720407B2 (ja) |
JP (1) | JP6106606B2 (ja) |
KR (1) | KR101549433B1 (ja) |
WO (1) | WO2013094400A1 (ja) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016006922A (ja) * | 2014-06-20 | 2016-01-14 | 株式会社日立ソリューションズ | ゲートウェイ装置およびセンサデータ収集システム |
KR20160062809A (ko) * | 2014-11-25 | 2016-06-03 | 삼성전자주식회사 | 재쓰기를 이용하여 로우 비트 에러 레이트를 개선하는 메모리 시스템 및 그에 따른 재쓰기 방법 |
US11347887B2 (en) * | 2017-10-03 | 2022-05-31 | Rutgers, The State University Of New Jersey | Value-based information flow tracking in software packages |
US11664206B2 (en) * | 2017-11-08 | 2023-05-30 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Arcing protection method and processing tool |
KR20220055771A (ko) * | 2020-10-27 | 2022-05-04 | 삼성전자주식회사 | 전자 장치, 차량용 장치 및 데이터 센터 |
WO2023157085A1 (ja) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | 三菱電機株式会社 | データ収集装置、データ収集方法、データ収集プログラム、監視装置及びデータ収集システム |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008033856A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | サーバ装置およびプログラム |
JP2009246339A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2009295906A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2010027646A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 情報管理方法、情報管理装置及び基板処理システム |
JP2010212662A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-09-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理装置に於ける異常表示方法 |
JP2011518425A (ja) * | 2008-02-22 | 2011-06-23 | ムラテックオートメーション株式会社 | Vao生産性スイート |
WO2011099458A1 (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-18 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム及び群管理装置 |
JP2011181666A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Renesas Electronics Corp | 半導体製造における装置異常の予兆検知方法およびシステム |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4584531B2 (ja) * | 2002-08-02 | 2010-11-24 | 株式会社日立製作所 | 異物モニタリングシステム |
-
2012
- 2012-12-05 WO PCT/JP2012/081471 patent/WO2013094400A1/ja active Application Filing
- 2012-12-05 KR KR1020147016440A patent/KR101549433B1/ko active IP Right Grant
- 2012-12-05 JP JP2013550206A patent/JP6106606B2/ja active Active
-
2014
- 2014-06-19 US US14/309,460 patent/US9720407B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008033856A (ja) * | 2006-08-01 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | サーバ装置およびプログラム |
JP2011518425A (ja) * | 2008-02-22 | 2011-06-23 | ムラテックオートメーション株式会社 | Vao生産性スイート |
JP2009246339A (ja) * | 2008-03-14 | 2009-10-22 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2009295906A (ja) * | 2008-06-09 | 2009-12-17 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置 |
JP2010027646A (ja) * | 2008-07-15 | 2010-02-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 情報管理方法、情報管理装置及び基板処理システム |
JP2010212662A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-09-24 | Hitachi Kokusai Electric Inc | 基板処理装置及び基板処理装置に於ける異常表示方法 |
WO2011099458A1 (ja) * | 2010-02-09 | 2011-08-18 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理システム及び群管理装置 |
JP2011181666A (ja) * | 2010-03-01 | 2011-09-15 | Renesas Electronics Corp | 半導体製造における装置異常の予兆検知方法およびシステム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140303769A1 (en) | 2014-10-09 |
KR20140101377A (ko) | 2014-08-19 |
US9720407B2 (en) | 2017-08-01 |
KR101549433B1 (ko) | 2015-09-02 |
JP6106606B2 (ja) | 2017-04-05 |
WO2013094400A1 (ja) | 2013-06-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6106606B2 (ja) | 基板処理システム、基板処理装置及び基板処理装置のデータ蓄積方法並びにプログラム | |
US20120226475A1 (en) | Substrate processing system, management apparatus, data analysis method | |
JP6069578B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法及び記録媒体 | |
JP6186000B2 (ja) | 基板処理装置のメンテナンス方法、半導体装置の製造方法、基板処理装置、及び基板処理装置のメンテナンスプログラム | |
JP6301083B2 (ja) | 基板処理装置、半導体装置の製造方法、及びレシピの作成方法 | |
WO2014115643A1 (ja) | 基板処理装置の異常判定方法、異常判定装置、及び基板処理システム並びに記録媒体 | |
JP5600503B2 (ja) | 統計解析方法、基板処理システムおよびプログラム | |
JP5394452B2 (ja) | 基板処理システム、検証装置、検証装置の動作検証方法および検証プログラム | |
JP2010219460A (ja) | 基板処理装置 | |
JP6220783B2 (ja) | 基板処理システム、基板処理装置及びデータ処理方法 | |
JPWO2007037161A1 (ja) | データ記録方法 | |
JP2015106575A (ja) | 基板処理装置、基板処理装置の制御方法、制御プログラム及び半導体装置の製造方法 | |
JP2013033967A (ja) | 基板処理装置の異常検出方法、及び基板処理装置 | |
JP5142353B2 (ja) | 基板処理装置、基板処理装置の異常検出方法、基板処理システム、基板処理装置の異常検出プログラム及び半導体装置の製造方法 | |
JP2012222080A (ja) | 基板処理システム | |
JP5016591B2 (ja) | 基板処理装システム、データ収集プログラム及びデータ処理方法 | |
JP2009295906A (ja) | 基板処理装置 | |
JP5273961B2 (ja) | 基板処理システムおよび基板処理方法 | |
JP5474384B2 (ja) | 基板処理システム及び基板処理装置及び通信制御プログラム及び基板処理装置のメッセージ処理方法 | |
JP2013045862A (ja) | 基板処理システム | |
JP2011171648A (ja) | 基板処理システム | |
JP2011181665A (ja) | 基板処理システム | |
JP2014045105A (ja) | 基板処理装置及び半導体装置の製造方法 | |
JP2011023589A (ja) | 基板処理システム | |
JP2011071165A (ja) | 基板処理装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20151202 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151202 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20161014 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170216 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170306 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6106606 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |