JP2008294328A - 基板洗浄方法および基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の基板洗浄装置では、リンス処理時に行われる比抵抗値のチェックに使用される閾値を、レシピ設定画面42a上で工程毎に個別に設定できる。このため、リンス処理の直前に使用される薬液の種類に応じて各閾値を設定すれば、各工程のリンス処理において最適な閾値を使用して比抵抗値をチェックできる。また、これにより、各工程のリンス処理を適正に終了させることができる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の一実施形態に係る基板洗浄装置1の構成を示した図である。この基板洗浄装置1は、1つの処理槽10の中で基板Wに対して薬液による薬液処理と純水によるリンス処理とを順次に行うことにより基板Wの洗浄を行う、いわゆるワンバス方式の基板洗浄装置である。図1に示したように、基板洗浄装置1は、薬液または純水を貯留するための処理槽10と、基板9を保持するためのリフタ20と、処理槽10に薬液および純水(以下、薬液と純水とを総称して「処理液」という)を供給するための処理液供給部30と、装置内の各部を動作制御するための制御部40とを備えている。
続いて、上記構成を有する基板洗浄装置1における洗浄処理の動作について、図1と図3のフローチャートとを参照しつつ説明する。
半導体デバイスの製造工程においては、半導体ウエハの表面にゲート絶縁膜を形成する際の前洗浄を、上記のような基板洗浄装置1を使用して行うことができる。すなわち、基板Wとしての半導体ウエハをリフタ20上にセットし、図3のステップS1〜S15に従って半導体ウエハの洗浄処理を行うことができる。希フッ酸による薬液処理(ステップS3)では、主として半導体ウエハ表面の犠牲酸化膜が除去され、また、SC−1液による薬液処理(ステップS7)およびSC−2液による薬液処理(ステップS11)では、主として半導体ウエハ表面のパーティクルおよび金属不純物が除去される。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記の例に限定されるものではない。例えば、上記の例では、薬液として希フッ酸、SC−1液、およびSC−2液を使用していたが、本発明において供給される薬液は他の薬液であってもよい。また、1回の洗浄処理において実行される薬液処理およびリンス処理の回数も、上記の回数に限定されるものではない。
10 処理槽
13 吐出ノズル
15 比抵抗計
20 リフタ
22 駆動部
30 処理液供給部
31 フッ酸供給源
32 水酸化アンモニウム供給源
33 塩酸供給源
34 過酸化水素供給源
35 純水供給源
36 ミキシングバルブ
37a〜37f 配管
38a〜38e 開閉弁
40 制御部
41 記憶部
41a 処理レシピ
42 表示部
42a レシピ設定画面
43 入力部
W 基板
Claims (10)
- 1つの処理槽の中で基板に対して薬液による薬液処理と純水によるリンス処理とを順次に行う基板洗浄方法であって、
前記リンス処理時に行われる比抵抗値のチェックに使用する閾値を、当該リンス処理の直前に行われる薬液処理に使用する薬液の種類に応じて設定することを特徴とする基板洗浄方法。 - 1つの処理槽の中で基板に対して薬液による薬液処理と純水によるリンス処理とを順次に行う基板洗浄方法であって、
前記処理槽内において第1薬液により第1薬液処理を行う第1の工程と、
前記処理槽内に純水を供給して第1薬液を排出し、純水により第1リンス処理を行う第2の工程と、
前記処理槽内に第2薬液を供給して純水を排出し、第2薬液により第2薬液処理を行う第3の工程と、
前記処理槽内に純水を供給して第2薬液を排出し、純水により第2リンス処理を行う第4の工程と、
を備え、
前記第2の工程の第1リンス処理時に行われる処理液の比抵抗値のチェックに使用する閾値と、前記第4の工程の第2リンス処理時に行われる処理液の比抵抗値のチェックに使用する閾値とを、個別に設定することを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項2に記載の基板洗浄方法であって、
第1薬液はフッ酸であり、第2薬液はSC−1であることを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項2に記載の基板洗浄方法であって、
第1薬液はSC−1であり、第2薬液はSC−2であることを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項2に記載の基板洗浄方法であって、
第1薬液はフッ酸であり、第2薬液はSC−2であることを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項2乃至請求項5のいずれかに記載の基板洗浄方法であって、
前記第2の工程および前記第4の工程においては、前記処理槽内に貯留された処理液の比抵抗値が、各工程に対して設定された閾値に到達していれば、それぞれ第1リンス処理および第2リンス処理を正常終了させることを特徴とする基板洗浄方法。 - 処理液により基板の洗浄を行う基板洗浄装置であって、
処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽に貯留された処理液中に基板を浸漬させつつ保持する保持手段と、
前記処理槽に貯留された処理液の比抵抗値を測定する比抵抗値測定手段と、
前記処理槽内に処理液としての第1薬液、純水、および第2薬液を供給する供給手段と、
前記処理槽内において第1薬液による第1薬液処理、純水による第1リンス処理、第2薬液による第2薬液処理、純水による第2リンス処理が順次に行われるように、前記供給手段による処理液の供給動作を制御する制御手段と、
前記第1リンス処理時に、前記比抵抗値測定手段により測定された比抵抗値を第1の閾値を基準としてチェックするとともに、前記第2リンス処理時に、前記比抵抗値測定手段により測定された比抵抗値を第2の閾値を基準としてチェックする比抵抗値チェック手段と、
を備えることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項7に記載の基板洗浄装置であって、
前記制御手段は、前記比抵抗値チェック手段において比抵抗値が第1の閾値および第2の閾値に到達していれば、それぞれ第1リンス処理および第2リンス処理を正常終了させることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項7または請求項8に記載の基板洗浄装置であって、
前記第1の閾値および前記第2の閾値を個別に設定する閾値設定手段を更に備えることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項9に記載の基板洗浄装置であって、
前記閾値設定手段は、前記第1の閾値および前記第2の閾値を、洗浄処理の処理内容を定める処理レシピ上で設定することを特徴とする基板洗浄装置。
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