JP7252003B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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Description
4 カップ部
6 リンス液精製部
9 基板
31 基板保持部
33 基板回転機構
41 第1カップ
42 第2カップ
44 カップ切替機構
54 第1薬液供給部
55 第1リンス液供給部
56 第2薬液供給部
57 第2リンス液供給部
61 第1精製部
62 第2精製部
581 未使用リンス液吐出部
582 再生リンス液吐出部
583 未使用リンス液配管
584 再生リンス液配管
613 第1導電率測定部
623 第2導電率測定部
J1 中心軸
S11~S18,S141~S144,S171~S174 ステップ
Claims (8)
- 基板処理装置であって、
水平状態で基板を保持する基板保持部と、
前記基板の薬液処理の際に前記基板に薬液を供給する薬液供給部と、
前記基板のリンス処理の際に前記基板にリンス液を供給するリンス液供給部と、
前記リンス処理に使用された使用済みのリンス液である既使用リンス液に対して希釈を含む精製処理を行って再使用可能な再生リンス液を生成するリンス液精製部と、
を備え、
前記リンス液精製部は、
前記薬液処理にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、前記薬液処理後の前記リンス処理にて使用された前記既使用リンス液に対する前記精製処理を行って前記再生リンス液である第1再生リンス液を生成する第1精製部と、
前記薬液処理にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記薬液処理後の前記リンス処理にて使用された前記既使用リンス液に対する前記精製処理を行って前記再生リンス液である第2再生リンス液を生成する第2精製部と、
を備え、
前記リンス処理の際に前記再生リンス液が前記基板に供給され、
前記リンス処理の前に行われる前記薬液処理にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、前記再生リンス液として前記第1再生リンス液が使用され、
前記リンス処理の前に行われる前記薬液処理にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記再生リンス液として前記第2再生リンス液が使用されることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1に記載の基板処理装置であって、
上下方向を向く中心軸を中心として前記基板保持部を回転する基板回転機構と、
前記基板の周囲を囲み、回転する前記基板から周囲に飛散する液体を受けるカップ部と、
をさらに備え、
前記カップ部は、
前記薬液処理にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、前記薬液処理後の前記リンス処理の際に前記基板から周囲に飛散するリンス液を受ける第1カップと、
前記薬液処理にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記薬液処理後の前記リンス処理の際に前記基板から周囲に飛散するリンス液を受ける第2カップと、
前記第1カップおよび前記第2カップのうち少なくとも一方のカップを前記基板保持部に対して上下方向に相対的に移動することにより、前記第1カップおよび前記第2カップのいずれかを選択的に前記基板の側方に配置するカップ切替機構と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1または2に記載の基板処理装置であって、
前記既使用リンス液の導電率を測定する導電率測定部をさらに備え、
前記導電率測定部による測定値が所定の閾値よりも大きい状態では、前記既使用リンス液は前記精製処理が行われることなく廃棄され、
前記導電率測定部による測定値が前記閾値以下になると、前記既使用リンス液は前記リンス液精製部へと導かれて前記精製処理が行われることを特徴とする基板処理装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1つに記載の基板処理装置であって、
前記リンス液供給部は、
未使用のリンス液を前記基板に向けて吐出する未使用リンス液吐出部と、
前記未使用のリンス液を供給源から前記未使用リンス液吐出部へと導く未使用リンス液配管と、
前記再生リンス液を前記基板に向けて吐出する再生リンス液吐出部と、
前記未使用リンス液配管とは独立して前記リンス液精製部から前記再生リンス液を前記再生リンス液吐出部へと導く再生リンス液配管と、
を備えることを特徴とする基板処理装置。 - 基板処理方法であって、
a)基板を水平状態で保持する工程と、
b)前記基板に薬液を供給して薬液処理を行う工程と、
c)前記b)工程の後に前記基板にリンス液を供給してリンス処理を行う工程と、
d)前記c)工程にて使用された使用済みのリンス液である既使用リンス液に対して希釈を含む精製処理を行って再使用可能な再生リンス液を生成する工程と、
を備え、
前記d)工程において、
前記薬液処理にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、第1精製部において前記既使用リンス液に対する前記精製処理が行われて前記再生リンス液である第1再生リンス液が生成され、
前記薬液処理にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記第1精製部とは異なる第2精製部において前記既使用リンス液に対する前記精製処理が行われて前記再生リンス液である第2再生リンス液が生成され、
前記リンス処理の際に前記再生リンス液が前記基板に供給され、
前記リンス処理の前に行われる前記薬液処理にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、前記再生リンス液として前記第1再生リンス液が使用され、
前記リンス処理の前に行われる前記薬液処理にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記再生リンス液として前記第2再生リンス液が使用されることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5に記載の基板処理方法であって、
前記c)工程において、
前記リンス液は、上下方向を向く中心軸を中心として回転する前記基板に供給され、
回転する前記基板から周囲に飛散するリンス液は、
前記b)工程にて使用される前記薬液がアルカリ性である場合、前記基板の周囲を囲む第1カップにより受けられ、
前記b)工程にて使用される前記薬液が酸性である場合、前記基板の周囲を囲む第2カップにより受けられることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5または6に記載の基板処理方法であって、
e)前記d)工程よりも前に、前記既使用リンス液の導電率を測定する工程をさらに備え、
前記e)工程における測定値が所定の閾値よりも大きい状態では、前記d)工程は行われることなく、前記既使用リンス液は廃棄され、
前記e)工程における測定値が前記閾値以下になると、前記d)工程が行われることを特徴とする基板処理方法。 - 請求項5ないし7のいずれか1つに記載の基板処理方法であって、
前記c)工程において、リンス液供給部から前記基板にリンス液が供給され、
前記リンス液供給部は、
未使用のリンス液を前記基板に向けて吐出する未使用リンス液吐出部と、
前記未使用のリンス液を供給源から前記未使用リンス液吐出部へと導く未使用リンス液配管と、
前記再生リンス液を前記基板に向けて吐出する再生リンス液吐出部と、
前記未使用リンス液配管とは独立して前記再生リンス液を前記再生リンス液吐出部へと導く再生リンス液配管と、
を備えることを特徴とする基板処理方法。
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