JP3336952B2 - ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置 - Google Patents
ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置Info
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- JP3336952B2 JP3336952B2 JP13034398A JP13034398A JP3336952B2 JP 3336952 B2 JP3336952 B2 JP 3336952B2 JP 13034398 A JP13034398 A JP 13034398A JP 13034398 A JP13034398 A JP 13034398A JP 3336952 B2 JP3336952 B2 JP 3336952B2
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- C02—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F—TREATMENT OF WATER, WASTE WATER, SEWAGE, OR SLUDGE
- C02F1/00—Treatment of water, waste water, or sewage
- C02F1/008—Control or steering systems not provided for elsewhere in subclass C02F
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- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、特にウエーハを１
枚ずつ洗浄する毎葉式ウエーハ洗浄装置において、排水
を分別して回収する排水分別回収装置に係り、特に洗浄
後のリンス（純水を用いた水洗）排水から濁リンス排水
とクリーンリンス排水を分別回収できるようにしたウエ
ーハ洗浄装置における排水分別回収装置に関する。
枚ずつ洗浄する毎葉式ウエーハ洗浄装置において、排水
を分別して回収する排水分別回収装置に係り、特に洗浄
後のリンス（純水を用いた水洗）排水から濁リンス排水
とクリーンリンス排水を分別回収できるようにしたウエ
ーハ洗浄装置における排水分別回収装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、ウエーハ洗浄装置として、多段
バッチ式のウエーハ洗浄装置、あるいは一槽式ウエーハ
洗浄装置が知られており、各装置により排水の分別回収
手段は異なっている。多段バッチ式ウエーハ洗浄装置
は、例えば図４に示すように、薬液Ａ槽３０、リンス槽
３１、３２、薬液Ｂ槽３３、リンス槽３４、３５が設置
されており、薬液Ａ供給ライン３７、薬液Ｂ供給ライン
３８より薬液Ａ槽３０及び薬液Ｂ槽３３に薬液Ａ、薬液
Ｂが各々供給され、リンス水供給ライン３９よりリンス
水（純水や超純水）が全ての槽に供給される。そして、
ウエーハが多数枚入ったキャリヤを搬送ロボットが逐次
移動させて、一括（バッチ処理）で薬液Ａ槽３０、リン
ス槽３１、３２、薬液Ｂ槽３３、リンス槽３４、３５等
での侵漬処理を順次行なう装置である。
バッチ式のウエーハ洗浄装置、あるいは一槽式ウエーハ
洗浄装置が知られており、各装置により排水の分別回収
手段は異なっている。多段バッチ式ウエーハ洗浄装置
は、例えば図４に示すように、薬液Ａ槽３０、リンス槽
３１、３２、薬液Ｂ槽３３、リンス槽３４、３５が設置
されており、薬液Ａ供給ライン３７、薬液Ｂ供給ライン
３８より薬液Ａ槽３０及び薬液Ｂ槽３３に薬液Ａ、薬液
Ｂが各々供給され、リンス水供給ライン３９よりリンス
水（純水や超純水）が全ての槽に供給される。そして、
ウエーハが多数枚入ったキャリヤを搬送ロボットが逐次
移動させて、一括（バッチ処理）で薬液Ａ槽３０、リン
ス槽３１、３２、薬液Ｂ槽３３、リンス槽３４、３５等
での侵漬処理を順次行なう装置である。
【０００３】この方式の洗浄装置においては、各槽毎に
排水（排液を含む、以下同じ）を分別回収できる。すな
わち、薬液Ａ槽３０から薬液Ａ排水を、薬液Ｂ槽３３か
らは薬液Ｂ排水を、リンス槽３１、３４からは１ｓｔリ
ンス（濁リンス）排水を、リンス槽３２、３５からは２
ｎｄリンス（クリーンリンス）排水を各々回収するよう
にしている。
排水（排液を含む、以下同じ）を分別回収できる。すな
わち、薬液Ａ槽３０から薬液Ａ排水を、薬液Ｂ槽３３か
らは薬液Ｂ排水を、リンス槽３１、３４からは１ｓｔリ
ンス（濁リンス）排水を、リンス槽３２、３５からは２
ｎｄリンス（クリーンリンス）排水を各々回収するよう
にしている。
【０００４】また、一槽式ウエーハ洗浄装置であって、
図５に示すように、薬液Ａ４３、薬液Ｂ４４、リンス水
４５を混合チャンバ４６を介して洗浄槽４８に選択的に
供給し、ウエーハを複数枚ずつカセット４１に入れて該
カセット４１を回転軸４７により洗浄槽４８内で回転さ
せることにより、侵漬処理で洗浄を行なうバッチ式の一
槽ウエーハ洗浄装置が提案されている。（ＶＬＳＩプロ
セス装置ハンドブック、工業調査会発行）この方式のウ
エーハ洗浄装置においては、排水ライン４２に三方弁４
０等を設け、薬液Ａ、Ｂ，及びリンス水による洗浄切換
えのタイミングで三方弁４０を操作して薬液Ａ排水、薬
液Ｂ排水、及びリンス排水を行なって分別回収するよう
になっている。
図５に示すように、薬液Ａ４３、薬液Ｂ４４、リンス水
４５を混合チャンバ４６を介して洗浄槽４８に選択的に
供給し、ウエーハを複数枚ずつカセット４１に入れて該
カセット４１を回転軸４７により洗浄槽４８内で回転さ
せることにより、侵漬処理で洗浄を行なうバッチ式の一
槽ウエーハ洗浄装置が提案されている。（ＶＬＳＩプロ
セス装置ハンドブック、工業調査会発行）この方式のウ
エーハ洗浄装置においては、排水ライン４２に三方弁４
０等を設け、薬液Ａ、Ｂ，及びリンス水による洗浄切換
えのタイミングで三方弁４０を操作して薬液Ａ排水、薬
液Ｂ排水、及びリンス排水を行なって分別回収するよう
になっている。
【０００５】一方、図６に示すように、一槽式のウエー
ハ洗浄装置であって、処理槽１にウエーハ２を１枚づつ
入れて順次薬液Ａ，Ｂとリンス水をスプレーする毎葉式
のウエーハ洗浄装置が知られている。この方式の一槽式
ウエーハ洗浄装置においては、１枚毎に薬液とリンス水
を順次スプレーするため、単一の排水ライン５０で分別
回収することが困難であり、従来は薬液とリンス水の混
合排水を回収している。
ハ洗浄装置であって、処理槽１にウエーハ２を１枚づつ
入れて順次薬液Ａ，Ｂとリンス水をスプレーする毎葉式
のウエーハ洗浄装置が知られている。この方式の一槽式
ウエーハ洗浄装置においては、１枚毎に薬液とリンス水
を順次スプレーするため、単一の排水ライン５０で分別
回収することが困難であり、従来は薬液とリンス水の混
合排水を回収している。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】さて多段バッチ式ウエ
ーハ洗浄装置は、薬液系、リンス系の各排水が分別回収
でき、排水処理の上では有利であるが、各槽の設置スペ
ースが大きくなるため、ウエーハ口径が大型化するにと
もなって一槽式ウエーハ洗浄装置が採用されるようにな
ってきている。
ーハ洗浄装置は、薬液系、リンス系の各排水が分別回収
でき、排水処理の上では有利であるが、各槽の設置スペ
ースが大きくなるため、ウエーハ口径が大型化するにと
もなって一槽式ウエーハ洗浄装置が採用されるようにな
ってきている。
【０００７】図５に示すような一槽式のウエーハ洗浄装
置は、１つの排水ライン４２から全ての排水を回収する
ため、多段バッチ式ウエーハ洗浄装置よりは分別回収が
困難であるが、カセットを処理槽内に浸漬けする構成の
ものは、洗浄時間が比較的長いため、洗浄のステップと
同期して三方弁４０を操作することにより、分別回収は
可能である。
置は、１つの排水ライン４２から全ての排水を回収する
ため、多段バッチ式ウエーハ洗浄装置よりは分別回収が
困難であるが、カセットを処理槽内に浸漬けする構成の
ものは、洗浄時間が比較的長いため、洗浄のステップと
同期して三方弁４０を操作することにより、分別回収は
可能である。
【０００８】ところが、図６のようにウエーハ１枚毎に
順次薬液とリンス水をスプレーする毎葉式の一槽式ウエ
ーハ洗浄装置においては、洗浄時間が短く（１分〜３分
程度）、排水の回収タイミングの取り方が難しいため、
単一の共通排水ライン５０からの分別回収が非常に困難
であった。そのため、従来は薬液とリンス水の混合排水
を回収するほかなく、薬液とリンス水、さらにはリンス
水を濁リンス排水とクリーンリンス排水とに分別回収す
ることは困難であった。特に、濁リンス排水とクリーン
リンス排水の両者の分別回収ができないと、排水の浄化
処理や再利用に支障をきたし、合理的な水利用ができな
いという問題があった。
順次薬液とリンス水をスプレーする毎葉式の一槽式ウエ
ーハ洗浄装置においては、洗浄時間が短く（１分〜３分
程度）、排水の回収タイミングの取り方が難しいため、
単一の共通排水ライン５０からの分別回収が非常に困難
であった。そのため、従来は薬液とリンス水の混合排水
を回収するほかなく、薬液とリンス水、さらにはリンス
水を濁リンス排水とクリーンリンス排水とに分別回収す
ることは困難であった。特に、濁リンス排水とクリーン
リンス排水の両者の分別回収ができないと、排水の浄化
処理や再利用に支障をきたし、合理的な水利用ができな
いという問題があった。
【０００９】本発明は、このような問題に鑑みてなされ
たものであって、毎葉式の一槽ウエーハ洗浄装置におい
て、薬液排水はもとより、リンス排水を濁リンス排水と
クリーンリンス排水に分別して回収することを可能にし
たウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置を提供す
ることを目的とする。
たものであって、毎葉式の一槽ウエーハ洗浄装置におい
て、薬液排水はもとより、リンス排水を濁リンス排水と
クリーンリンス排水に分別して回収することを可能にし
たウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置を提供す
ることを目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するべ
く、本発明は、１つの処理槽内で薬液とリンス工程を選
択的に行ないながらウエーハを洗浄する一槽式ウエーハ
洗浄装置、より具体的には１つの処理槽に薬液とリンス
水を選択的にスプレーしてウエーハを１枚ずつ洗浄する
一槽式ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置にお
いて、前記処理槽に接続された共通排水ラインに排水の
水質を検出する水質計センサを設け、該水質計センサの
後部排水ラインで前記薬液排水ラインとリンス排水ライ
ンを分岐させ、該薬液排水ラインとリンス排水ラインの
各々に薬液／リンス選択用分配自動弁を設け、前記リン
ス排水ラインの分配自動弁の後部にはリンス排水の濃度
を検出する濃度計センサを設けるとともに、該濃度計セ
ンサの後部排水ラインに濁／クリーンリンス分配自動弁
を介して濁リンス排水ラインとクリーンリンス排水ライ
ンとを分岐して設け、前記濃度計センサの検出信号に基
づいて前記濁／クリーンリンス分配自動弁を選択的に作
動させ、濁リンス排水またはクリーンリンス排水を分別
して排水することにある。
く、本発明は、１つの処理槽内で薬液とリンス工程を選
択的に行ないながらウエーハを洗浄する一槽式ウエーハ
洗浄装置、より具体的には１つの処理槽に薬液とリンス
水を選択的にスプレーしてウエーハを１枚ずつ洗浄する
一槽式ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置にお
いて、前記処理槽に接続された共通排水ラインに排水の
水質を検出する水質計センサを設け、該水質計センサの
後部排水ラインで前記薬液排水ラインとリンス排水ライ
ンを分岐させ、該薬液排水ラインとリンス排水ラインの
各々に薬液／リンス選択用分配自動弁を設け、前記リン
ス排水ラインの分配自動弁の後部にはリンス排水の濃度
を検出する濃度計センサを設けるとともに、該濃度計セ
ンサの後部排水ラインに濁／クリーンリンス分配自動弁
を介して濁リンス排水ラインとクリーンリンス排水ライ
ンとを分岐して設け、前記濃度計センサの検出信号に基
づいて前記濁／クリーンリンス分配自動弁を選択的に作
動させ、濁リンス排水またはクリーンリンス排水を分別
して排水することにある。
【００１１】また、前記共通排水ラインに排水の水質を
検出する水質計センサを設け、該水質計センサの後部で
前記薬液排水ラインとリンス排水ラインを分岐させ、該
薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に薬液／リン
ス選択用分配自動弁を設け、前記水質計センサの検出信
号に基づいて前記薬液排水ライン及びリンス排水ライン
のいずれか一方をオン、他方をオフとするように前記薬
液／リンス選択用分配自動弁を制御するようにすること
ができるのが好ましい。
検出する水質計センサを設け、該水質計センサの後部で
前記薬液排水ラインとリンス排水ラインを分岐させ、該
薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に薬液／リン
ス選択用分配自動弁を設け、前記水質計センサの検出信
号に基づいて前記薬液排水ライン及びリンス排水ライン
のいずれか一方をオン、他方をオフとするように前記薬
液／リンス選択用分配自動弁を制御するようにすること
ができるのが好ましい。
【００１２】本発明によれば、薬液排水とリンス排水の
分別回収はもとより、リンス排水も濁リンス排水とクリ
ーンリンス排水とに分別回収できるため、濁リンス排水
は排水処理装置で処理すると共に、クリーンリンス排水
は中水等に再利用することが可能となる。
分別回収はもとより、リンス排水も濁リンス排水とクリ
ーンリンス排水とに分別回収できるため、濁リンス排水
は排水処理装置で処理すると共に、クリーンリンス排水
は中水等に再利用することが可能となる。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に図面を参照して本発明の実
施の形態を例示的に説明する。ただし、この実施の形態
に記載されている構造部品の寸法、材質、形状、相対位
置などは特に特定的な記載がない限りは、この発明の範
囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に
過ぎない。なお、図６と同一部材または同一機能のもの
は同一符号で示している。
施の形態を例示的に説明する。ただし、この実施の形態
に記載されている構造部品の寸法、材質、形状、相対位
置などは特に特定的な記載がない限りは、この発明の範
囲をそれのみに限定する趣旨ではなく、単なる説明例に
過ぎない。なお、図６と同一部材または同一機能のもの
は同一符号で示している。
【００１４】図１は本発明の第１実施の形態を示す。１
は一槽式ウエーハ洗浄装置の処理槽で、ウエーハ２を１
枚ずつ送り込み、このウエーハ２に順次薬液及びリンス
水をスプレーして洗浄するものである。該処理槽１に
は、リンス水供給ライン３、薬液Ａ供給ライン４、及び
薬液Ｂ供給ライン５より各々リンス水、薬液Ａ、及び薬
液Ｂが各々供給されるようになっている。各供給ライン
３、４、５は、コントローラ７により電磁弁（図示せ
ず）等を操作することにより、オン（供給）及びオフ
（停止）制御され、所定のタイミングで薬液Ａ、薬液Ｂ
及びリンス水が供給されるようになっている。
は一槽式ウエーハ洗浄装置の処理槽で、ウエーハ２を１
枚ずつ送り込み、このウエーハ２に順次薬液及びリンス
水をスプレーして洗浄するものである。該処理槽１に
は、リンス水供給ライン３、薬液Ａ供給ライン４、及び
薬液Ｂ供給ライン５より各々リンス水、薬液Ａ、及び薬
液Ｂが各々供給されるようになっている。各供給ライン
３、４、５は、コントローラ７により電磁弁（図示せ
ず）等を操作することにより、オン（供給）及びオフ
（停止）制御され、所定のタイミングで薬液Ａ、薬液Ｂ
及びリンス水が供給されるようになっている。
【００１５】処理槽１には、共通排水ライン９が接続さ
れ、この共通排水ライン９から薬液／リンス選択用分配
自動弁１０、１１、及び１２を介して薬液Ａ排水ライン
１５、薬液Ｂ排水ライン１６、及びリンス排水ライン１
７が分岐されている。リンス排水ライン１７には濃度計
センサ１８が設けられ、その検出信号を濃度計モニタ１
９でモニタリングしている。このリンス排水ライン１７
は、濃度計センサ１８を出た後において濁リンス（コン
タミリンス）排水ライン１７ａとクリーンリンス排水ラ
イン１７ｂとに分岐され、各排水ライン１７ａ、１７ｂ
の各々にも濁／クリーンリンス分配自動弁１３、１４が
設けられている。前記薬液Ａは例えば（ＮＨ4ＯＨ ／Ｈ
2Ｏ2）、薬液Ｂは例えば（ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2）が用いら
れ、それを純水で希釈した希釈液をウエーハ２にスプレ
ーするようにしている。
れ、この共通排水ライン９から薬液／リンス選択用分配
自動弁１０、１１、及び１２を介して薬液Ａ排水ライン
１５、薬液Ｂ排水ライン１６、及びリンス排水ライン１
７が分岐されている。リンス排水ライン１７には濃度計
センサ１８が設けられ、その検出信号を濃度計モニタ１
９でモニタリングしている。このリンス排水ライン１７
は、濃度計センサ１８を出た後において濁リンス（コン
タミリンス）排水ライン１７ａとクリーンリンス排水ラ
イン１７ｂとに分岐され、各排水ライン１７ａ、１７ｂ
の各々にも濁／クリーンリンス分配自動弁１３、１４が
設けられている。前記薬液Ａは例えば（ＮＨ4ＯＨ ／Ｈ
2Ｏ2）、薬液Ｂは例えば（ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2）が用いら
れ、それを純水で希釈した希釈液をウエーハ２にスプレ
ーするようにしている。
【００１６】次に、図１及び図２のチャートを参照しな
がら分別回収の動作を説明する。先ず、コントローラ７
により薬液Ａ供給ライン４をオンにして薬液Ａを供給
し、ウエーハ洗浄を１分間（なお、この時間は例示であ
る。以下同じ）行なう。薬液Ａによる洗浄開始のタイミ
ングでコントローラ７から弁制御部８に信号が送られ、
弁制御部８により分配自動弁１０をオンにして、薬液Ａ
排水ライン１５より薬液Ａ排水を行なう（ステップＳ
１）。
がら分別回収の動作を説明する。先ず、コントローラ７
により薬液Ａ供給ライン４をオンにして薬液Ａを供給
し、ウエーハ洗浄を１分間（なお、この時間は例示であ
る。以下同じ）行なう。薬液Ａによる洗浄開始のタイミ
ングでコントローラ７から弁制御部８に信号が送られ、
弁制御部８により分配自動弁１０をオンにして、薬液Ａ
排水ライン１５より薬液Ａ排水を行なう（ステップＳ
１）。
【００１７】次に、リンス水供給ライン３をオンにして
リンスによる洗浄を３分間行なう。このリンス洗浄開始
のタイミング（厳密には排水ラインの長さ分分配自動弁
のオンオフはタイムラグｔがある。図２参照）で分配自
動弁１０をオフにすると同時に分配自動弁１２をオンに
してリンス排水ライン１７より洗浄後のリンス水を排水
する（ステップＳ２）。
リンスによる洗浄を３分間行なう。このリンス洗浄開始
のタイミング（厳密には排水ラインの長さ分分配自動弁
のオンオフはタイムラグｔがある。図２参照）で分配自
動弁１０をオフにすると同時に分配自動弁１２をオンに
してリンス排水ライン１７より洗浄後のリンス水を排水
する（ステップＳ２）。
【００１８】このリンス排水ライン１７を通過する際、
濃度計センサ１８によりリンス濃度が検出され濃度計モ
ニタ１９によりモニタリングされる。濃度計モニタ１９
からの濃度相関信号は弁制御部８に入力され、弁制御部
８からの信号が分配自動弁１３及び１４に入力され、当
初の薬液残留水を含んだ濁リンス水が通過したときは分
配自動弁１３をオンにして濁リンス排水ライン１７ａよ
り濁リンス水（コンタミリンス水）を排水する（ステッ
プＳ３）。
濃度計センサ１８によりリンス濃度が検出され濃度計モ
ニタ１９によりモニタリングされる。濃度計モニタ１９
からの濃度相関信号は弁制御部８に入力され、弁制御部
８からの信号が分配自動弁１３及び１４に入力され、当
初の薬液残留水を含んだ濁リンス水が通過したときは分
配自動弁１３をオンにして濁リンス排水ライン１７ａよ
り濁リンス水（コンタミリンス水）を排水する（ステッ
プＳ３）。
【００１９】そして、この濁リンス水が徐々にクリーン
になっていき、所定のクリーン度になると濃度計モニタ
１９からの信号で分配自動弁１３がオフ、分配自動弁１
４がオンにされ、クリーンリンス排水ライン１７ｂより
クリーンリンス水を排水する（ステップＳ４）。
になっていき、所定のクリーン度になると濃度計モニタ
１９からの信号で分配自動弁１３がオフ、分配自動弁１
４がオンにされ、クリーンリンス排水ライン１７ｂより
クリーンリンス水を排水する（ステップＳ４）。
【００２０】次に、コントローラ７により薬液Ｂ供給ラ
イン５をオンにして薬液Ｂを供給し、ウエーハ洗浄を１
分間行なう。薬液Ｂによる洗浄の開始タイミングで分配
自動弁１２はオフにすると同時に分配自動弁１１をオン
にして、薬液Ｂ排水ライン１６より薬液Ｂ排水を行なう
（ステップＳ５）。
イン５をオンにして薬液Ｂを供給し、ウエーハ洗浄を１
分間行なう。薬液Ｂによる洗浄の開始タイミングで分配
自動弁１２はオフにすると同時に分配自動弁１１をオン
にして、薬液Ｂ排水ライン１６より薬液Ｂ排水を行なう
（ステップＳ５）。
【００２１】次に、リンス水供給ライン３をオンにして
リンス水による洗浄を３分間行ない（ステップＳ２）、
このリンス洗浄開始のタイミングで分配自動弁１１をオ
フにすると同時に分配自動弁１２をオンにしてリンス排
水ライン１７より洗浄後のリンス水を排水する。このと
きのリンス排水動作は前記薬液Ａの場合と同様である
（ステップＳ２、Ｓ３、Ｓ４）。
リンス水による洗浄を３分間行ない（ステップＳ２）、
このリンス洗浄開始のタイミングで分配自動弁１１をオ
フにすると同時に分配自動弁１２をオンにしてリンス排
水ライン１７より洗浄後のリンス水を排水する。このと
きのリンス排水動作は前記薬液Ａの場合と同様である
（ステップＳ２、Ｓ３、Ｓ４）。
【００２２】図３は本発明の第２実施の形態を示す。こ
の第２実施の形態では、前記共通排水ライン９から薬液
排水ライン２２と前記リンス排水ライン１７とに分岐さ
れ、薬液排水ライン２２に分配自動弁２３が設けられて
いる。リンス排水ライン１７の構成は第１実施の形態と
同一である。共通排水ライン９に水質計センサ２０を設
け、その電気信号を水質計モニタ２１でモニタリングし
ている。水質計モニタ２１からの水質相関信号は弁制御
部２４を介して分配自動弁２３及び１２に入力されるよ
うになっている。なお、水質計センサ２０は水質により
電気伝導度が変化する電気伝導度計等周知のものを用い
てよい。また薬液側の成分を敏感に測定できるセンサを
用いても良い。
の第２実施の形態では、前記共通排水ライン９から薬液
排水ライン２２と前記リンス排水ライン１７とに分岐さ
れ、薬液排水ライン２２に分配自動弁２３が設けられて
いる。リンス排水ライン１７の構成は第１実施の形態と
同一である。共通排水ライン９に水質計センサ２０を設
け、その電気信号を水質計モニタ２１でモニタリングし
ている。水質計モニタ２１からの水質相関信号は弁制御
部２４を介して分配自動弁２３及び１２に入力されるよ
うになっている。なお、水質計センサ２０は水質により
電気伝導度が変化する電気伝導度計等周知のものを用い
てよい。また薬液側の成分を敏感に測定できるセンサを
用いても良い。
【００２３】共通排水ライン９から前記薬液Ａ及び薬液
Ｂが排水される場合は、水質計センサ２０がその水質を
検出し、水質計モニタ２１からの電気信号により弁制御
部２４から信号が送られ、分配自動弁２３はオン、分配
自動弁１２はオフに制御され、薬液排水ライン２２から
薬液排水が行なわれる。共通排水ライン９からリンス水
が排水される場合は、同様に水質計センサ２０がその水
質を検出し、水質計モニタ２１からの電気信号により弁
制御部２４から信号が送られ、分配自動弁２３はオフ、
分配自動弁１２はオンとなり、リンス排水ライン１７か
らリンス排水が行なわれる。リンス排水は濃度計センサ
１８で検出されて第１実施の形態と同様にしてクリーン
リンス排水と濁リンス排水に分別回収される。
Ｂが排水される場合は、水質計センサ２０がその水質を
検出し、水質計モニタ２１からの電気信号により弁制御
部２４から信号が送られ、分配自動弁２３はオン、分配
自動弁１２はオフに制御され、薬液排水ライン２２から
薬液排水が行なわれる。共通排水ライン９からリンス水
が排水される場合は、同様に水質計センサ２０がその水
質を検出し、水質計モニタ２１からの電気信号により弁
制御部２４から信号が送られ、分配自動弁２３はオフ、
分配自動弁１２はオンとなり、リンス排水ライン１７か
らリンス排水が行なわれる。リンス排水は濃度計センサ
１８で検出されて第１実施の形態と同様にしてクリーン
リンス排水と濁リンス排水に分別回収される。
【００２４】なお、洗浄（排水）される可能性のある薬
液は（ＮＨ4ＯＨ ／Ｈ2Ｏ2）、（ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2）だけ
でなく、半導体の分野では、ＨＦ、クロム酸、硝酸、過
酸化水素、オゾン水、酢酸、水酸化ナトリウム、クエン
酸等の薬品及びこれらの混合液が用いられている。例え
ば、「ＨＦ／Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「ＮＨ4ＯＨ ／
Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2／純水の混
合液」、「ＮａＯＨ／Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「Ｎａ
ＯＨ／純水の溶液」、「クエン酸／純水の溶液」、「Ｈ
Ｆ／ＨＮＯ 3 ／ＣＨ3ＣＯＯＨ／純水の混合液」、「Ｈ
Ｆ／ＨＮＯ3 ／純水の混合液」、「ＨＦ／クロム酸／純
水の混合液」等が用いられ、これら薬液毎に分別して回
収することが、その後の処理を考えると好ましい。但
し、クロム、ＨＦ等の排水処理の難しい物質ではなく、
同一に回収しても問題ないものは特に分別する必要はな
い。また、実施形態の説明では２種類の薬液を用いた
が、これは１種類でも３種類以上でも同様な処理ができ
る。
液は（ＮＨ4ＯＨ ／Ｈ2Ｏ2）、（ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2）だけ
でなく、半導体の分野では、ＨＦ、クロム酸、硝酸、過
酸化水素、オゾン水、酢酸、水酸化ナトリウム、クエン
酸等の薬品及びこれらの混合液が用いられている。例え
ば、「ＨＦ／Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「ＮＨ4ＯＨ ／
Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「ＨＣｌ／Ｈ2Ｏ2／純水の混
合液」、「ＮａＯＨ／Ｈ2Ｏ2／純水の混合液」、「Ｎａ
ＯＨ／純水の溶液」、「クエン酸／純水の溶液」、「Ｈ
Ｆ／ＨＮＯ 3 ／ＣＨ3ＣＯＯＨ／純水の混合液」、「Ｈ
Ｆ／ＨＮＯ3 ／純水の混合液」、「ＨＦ／クロム酸／純
水の混合液」等が用いられ、これら薬液毎に分別して回
収することが、その後の処理を考えると好ましい。但
し、クロム、ＨＦ等の排水処理の難しい物質ではなく、
同一に回収しても問題ないものは特に分別する必要はな
い。また、実施形態の説明では２種類の薬液を用いた
が、これは１種類でも３種類以上でも同様な処理ができ
る。
【００２５】
【発明の効果】以上、詳述したように、本発明によれ
ば、薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に分配自
動弁を設け、リンス排水ラインの分配自動弁の後部には
リンス排水の濃度を検出する濃度計センサを設けて濃度
計センサの検出信号に基づいて濁リンス排水ラインとク
リーンリンス排水ラインとをオンオフ制御し、濁リンス
排水とクリーンリンス排水とを分別回収するようにした
ので、薬液排水とリンス排水の分別回収はもとより、リ
ンス排水も濁リンス排水とクリーンリンス排水とに分別
回収できるため、濁リンス排水は排水処理装置で処理す
ると共に、クリーンリンス排水は中水等に再利用するこ
とが可能となる。したがって、本発明によれば、毎葉式
の一槽式ウエーハ洗浄装置において困難とされていたリ
ンス排水の分別回収が可能となり、水の有効利用により
水処理コストの低減と共に水不足にも対処できる。
ば、薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に分配自
動弁を設け、リンス排水ラインの分配自動弁の後部には
リンス排水の濃度を検出する濃度計センサを設けて濃度
計センサの検出信号に基づいて濁リンス排水ラインとク
リーンリンス排水ラインとをオンオフ制御し、濁リンス
排水とクリーンリンス排水とを分別回収するようにした
ので、薬液排水とリンス排水の分別回収はもとより、リ
ンス排水も濁リンス排水とクリーンリンス排水とに分別
回収できるため、濁リンス排水は排水処理装置で処理す
ると共に、クリーンリンス排水は中水等に再利用するこ
とが可能となる。したがって、本発明によれば、毎葉式
の一槽式ウエーハ洗浄装置において困難とされていたリ
ンス排水の分別回収が可能となり、水の有効利用により
水処理コストの低減と共に水不足にも対処できる。
【図１】 本発明のウエーハ洗浄装置における排水分別
回収装置の第１実施の形態を示すシステム構成図であ
る。
回収装置の第１実施の形態を示すシステム構成図であ
る。
【図２】 第１実施の形態の動作を示すチャートであ
る。
る。
【図３】 本発明の第２実施の形態を示すシステム構成
図である。
図である。
【図４】 従来の多段バッチ式ウエーハ洗浄装置の排水
分別回収方法の概念図である。
分別回収方法の概念図である。
【図５】 従来のバッチ式の一槽式ウエーハ洗浄装置の
排水分別回収方法の概念図である。
排水分別回収方法の概念図である。
【図６】 従来の毎葉式の一槽式ウエーハ洗浄装置の排
水分別回収方法の概念図である。
水分別回収方法の概念図である。
１ 処理槽 ２ ウエーハ ３ リンス水供給ライン ４ 薬液Ａ供給ライン ５ 薬液Ｂ供給ライン ７ コントローラ ９ 共通排水ライン １０、１１、１２、１３、１４、２３ 分配自動弁 １５ 薬液Ａ排水ライン １６ 薬液Ｂ排水ライン １７ リンス排水ライン １７ａ 濁リンス（コンタミリンス）排水ライン １７ｂ クリーンリンス排水ライン １８ 濃度計センサ １９ 濃度計モニタ ２０ 水質計センサ ２１ 水質計モニタ
Claims (1)
- 【請求項１】 １つの処理槽内で薬液とリンス工程を選
択的に行ないながらウエーハを洗浄する一槽式ウエーハ
洗浄装置における洗浄後の排水を分別して回収する排水
分別回収装置において、 前記処理槽に接続された共通排水ラインに排水の水質を
検出する水質計センサを設け、該水質計センサの後部排
水ラインで前記薬液排水ラインとリンス排水ラインを分
岐させ、該薬液排水ラインとリンス排水ラインの各々に
薬液／リンス選択用分配自動弁を設け、前記リンス排水
ラインの分配自動弁の後部にはリンス排水の濃度を検出
する濃度計センサを設けるとともに、該濃度計センサの
後部排水ラインに濁／クリーンリンス分配自動弁を介し
て濁リンス排水ラインとクリーンリンス排水ラインとを
分岐して設けたことを特徴とする一槽式ウエーハ洗浄装
置における排水分別回収装置。
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|---|---|---|---|
| JP13034398A JP3336952B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置 |
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| GB9910225A GB2337256B (en) | 1998-05-13 | 1999-05-05 | Waste water classifying recovery apparatus in wafer cleaning system |
| US09/305,199 US6178975B1 (en) | 1998-05-13 | 1999-05-05 | Waste water classifying recovery apparatus in wafer cleaning system |
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|---|---|---|---|
| JP13034398A JP3336952B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置 |
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| JP3336952B2 true JP3336952B2 (ja) | 2002-10-21 |
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ID=15032127
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| JP13034398A Expired - Fee Related JP3336952B2 (ja) | 1998-05-13 | 1998-05-13 | ウエーハ洗浄装置における排水分別回収装置 |
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Cited By (2)
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1998
- 1998-05-13 JP JP13034398A patent/JP3336952B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1999
- 1999-05-04 TW TW088107237A patent/TW422713B/zh not_active IP Right Cessation
- 1999-05-05 GB GB9910225A patent/GB2337256B/en not_active Expired - Fee Related
- 1999-05-05 US US09/305,199 patent/US6178975B1/en not_active Expired - Fee Related
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| JPH11330034A (ja) | 1999-11-30 |
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| TW422713B (en) | 2001-02-21 |
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