JP7135310B2 - 基板洗浄機のリンス排水の振り分け方法及び振り分け装置 - Google Patents
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Description
図1及び図2において、基板洗浄機6Aとして、1度に50枚のウェーハを処理できる薬品洗浄槽とリンス槽とを備えた、φ300mmウェーハ洗浄機を用い、イオン濃度測定装置11として電位差測定法の(株)堀場製作所製アンモニア電極「5002A-10C」を、抵抗率計12として(株)堀場製作所製カーボンセンサ抵抗率(比抵抗)計「HE-960R-GC」をそれぞれ用いて洗浄システムを構成した。
実施例1において、イオン濃度測定装置11を用いずにオーバーフローリンス排水を抵抗率計12により、リンス開始4.5分後から測定を開始し、抵抗率の値が1MΩ・cmを超えた時点をリンス排水Wの振り分け基準とした。結果を表1にあわせて示す。
2 1次純水装置
3 1次純水タンク
4 ポンプ
5 超純水製造装置
6 ユースポイント
6A 基板洗浄機
7 リンス排水処理装置
7A 濃厚系リンス排水処理設備
7B 希薄系リンス排水処理設備
8 水質計測手段
8A 制御手段
9 切替手段
10 供給流路
10A 回収流路
10B 第一の計測流路
10C,10D 第二の計測流路
11 イオン濃度測定装置(イオン電極)
12 抵抗率計
13,15 第一の開閉バルブ
14,16 第二の開閉バルブ
17 第三の開閉バルブ
W0 超純水
W リンス排水
Claims (4)
- 基板洗浄機のリンス工程から出るリンス排水を分岐手段によって濃厚系リンス排水処理設備と希薄系リンス排水処理設備とに振り分けて処理する基板洗浄機のリンス排水の振り分け方法であって、
前記分岐手段の前段に設けられたイオン濃度測定装置により計測されたイオン濃度に基づいて算出された抵抗率が所定の値以下となった場合に、前記希薄系リンス排水処理設備に前記リンス排水を通水し、
前記イオン濃度測定装置により計測されたイオン濃度に基づいて算出された抵抗率と、前記分岐手段の前段に設けられた電気伝導率計または抵抗率計により実測された電気伝導率に基づいて算出されたまたは実測された抵抗率とのうちのいずれかが前記所定の値を超えた場合に、前記濃厚系リンス排水処理設備に前記リンス排水を通水するよう前記分岐手段を制御する、
基板洗浄機のリンス排水の振り分け方法。 - 前記イオン濃度測定装置が電位差測定法または電位差滴定法における吸光光度測定法によるイオン濃度測定装置である、請求項1に記載の基板洗浄機のリンス排水の振り分け方法。
- 基板洗浄機のリンス工程から出るリンス排水を処理する濃厚系リンス排水処理設備と希薄系リンス排水処理設備とを備える基板洗浄機のリンス排水の振り分け装置であって、
前記リンス排水を前記濃厚系リンス排水処理設備と前記希薄系リンス排水処理設備とに振り分ける分岐手段と、
前記分岐手段を制御する制御手段とを備え、
前記制御手段は、
前記分岐手段の前段に設けられたイオン濃度測定装置により計測されたイオン濃度に基づいて算出された抵抗率が所定の値以下となった場合に、前記希薄系リンス排水処理設備に前記リンス排水を通水し、
前記イオン濃度測定装置により計測されたイオン濃度に基づいて算出された抵抗率と、前記分岐手段の前段に設けられた電気伝導率計または抵抗率計により実測された電気伝導率に基づいて算出されたまたは実測された抵抗率とのうちのいずれかが前記所定の値を超えた場合に、前記濃厚系リンス排水処理設備に前記リンス排水を通水するよう前記分岐手段を制御する、
基板洗浄機のリンス排水の振り分け装置。 - 前記イオン濃度測定装置が電位差測定法または電位差滴定法における吸光光度測定法によるイオン濃度測定装置である、請求項3に記載の基板洗浄機のリンス排水の振り分け装置。
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