JP2006253552A - 半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 - Google Patents
半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2006253552A JP2006253552A JP2005070711A JP2005070711A JP2006253552A JP 2006253552 A JP2006253552 A JP 2006253552A JP 2005070711 A JP2005070711 A JP 2005070711A JP 2005070711 A JP2005070711 A JP 2005070711A JP 2006253552 A JP2006253552 A JP 2006253552A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- particles
- rinsing process
- specific resistance
- cleaning
- semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B13/00—Accessories or details of general applicability for machines or apparatus for cleaning
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02041—Cleaning
- H01L21/02043—Cleaning before device manufacture, i.e. Begin-Of-Line process
- H01L21/02052—Wet cleaning only
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/6704—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing
- H01L21/67057—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for wet cleaning or washing with the semiconductor substrates being dipped in baths or vessels
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67253—Process monitoring, e.g. flow or thickness monitoring
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/10—Measuring as part of the manufacturing process
- H01L22/12—Measuring as part of the manufacturing process for structural parameters, e.g. thickness, line width, refractive index, temperature, warp, bond strength, defects, optical inspection, electrical measurement of structural dimensions, metallurgic measurement of diffusions
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L22/00—Testing or measuring during manufacture or treatment; Reliability measurements, i.e. testing of parts without further processing to modify the parts as such; Structural arrangements therefor
- H01L22/20—Sequence of activities consisting of a plurality of measurements, corrections, marking or sorting steps
- H01L22/26—Acting in response to an ongoing measurement without interruption of processing, e.g. endpoint detection, in-situ thickness measurement
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】 半導体洗浄装置1は、半導体ウェーハ2の洗浄処理後、リンス処理を行った処理液中のパーティクル数を測定するパーティクルモニタ6と、リンス処理を行った処理液の比抵抗を測定する比抵抗測定器7と、パーティクルモニタ6の測定結果と比抵抗測定器7の測定した比抵抗とに基づいて、リンス処理が完了する終点を判断し、リンス処理を終了させる制御部8と、を備える。
【選択図】 図1
Description
以上により、半導体洗浄装置1による半導体洗浄が完了する。
2 半導体ウェーハ
3 処理槽
4 第1の排液配管
5 第2の排液配管
6 パーティクルモニタ
7 比抵抗測定器
8 制御部
9 演算処理部
Claims (8)
- 半導体ウェーハを処理液に浸漬して洗浄処理した後、リンス処理を行った処理液中のパーティクル数を測定するパーティクル数測定手段と、
前記リンス処理を行った処理液の比抵抗を測定する比抵抗測定手段と、
前記パーティクル数測定手段の測定したパーティクル数と前記比抵抗測定手段の測定した比抵抗とに基づいて、前記リンス処理が完了する終点を判断し、前記リンス処理を終了させる制御手段と、を備えることを特徴とする半導体洗浄装置。 - 前記制御手段は、測定された前記パーティクル数が所定値以下になるとともに、前記比抵抗が所定値以上になった場合に、前記リンス処理が完了したと判断することを特徴とする請求項1に記載の半導体洗浄装置。
- 前記パーティクル数測定手段は、前記半導体ウェーハを洗浄する前の処理液中のパーティクル数をさらに測定し、
前記パーティクル数測定手段が測定した前記半導体ウェーハを洗浄する前の処理液中のパーティクル数とリンス処理を行った処理液中のパーティクル数との差分を演算する演算手段をさらに備え、
前記制御手段は、前記演算手段の演算結果と前記比抵抗測定手段の測定した比抵抗とに基づいて、前記リンス処理の完了する終点を判断し、前記リンス処理を終了させることを特徴とする請求項1に記載の半導体洗浄装置。 - 前記制御手段は、前記演算手段が演算したパーティクル数の差分が所定値以下になるとともに、前記比抵抗が所定値以上になった場合に、前記リンス処理が完了したと判断することを特徴とする請求項3に記載の半導体洗浄装置。
- 半導体ウェーハを処理液に浸漬して洗浄処理を行った後、リンス処理を開始し、
前記リンス処理を行った処理液のパーティクル数を測定し、
前記リンス処理を行った処理液の比抵抗を測定し、
測定された前記パーティクル数および前記比抵抗と所定値とをそれぞれ比較し、前記リンス処理が完了する終点を判断し、
前記リンス処理が完了したと判断した場合には、前記リンス処理を終了することを特徴とする半導体洗浄方法。 - 前記リンス処理が完了する終点を判断するときは、前記パーティクル数が所定値以下になるとともに、前記比抵抗が所定値以上になった場合に、前記リンス処理が完了したと判断することを特徴とする請求項5に記載の半導体洗浄方法。
- 半導体ウェーハの洗浄処理を行う前の処理液のパーティクル数をさらに測定し、
前記リンス処理が完了する終点を判断するときは、洗浄処理前の処理液のパーティクル数と前記リンス処理を行った処理液のパーティクル数との差分および前記比抵抗とに基づいて、前記リンス処理が完了する終点を判断することを特徴とする請求項5に記載の半導体洗浄方法。 - 前記リンス処理が完了する終点を判断するときは、洗浄処理前の処理液のパーティクル数と前記リンス処理を行った処理液のパーティクル数との差分が所定値以下になるとともに、前記比抵抗が所定値以上になった場合に、前記リンス処理が完了したと判断することを特徴とする請求項6に記載の半導体洗浄方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005070711A JP2006253552A (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 |
US11/373,987 US20060213538A1 (en) | 2005-03-14 | 2006-03-14 | Semiconductor cleaning apparatus and semiconductor cleaning method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005070711A JP2006253552A (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006253552A true JP2006253552A (ja) | 2006-09-21 |
Family
ID=37033970
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005070711A Pending JP2006253552A (ja) | 2005-03-14 | 2005-03-14 | 半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20060213538A1 (ja) |
JP (1) | JP2006253552A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009245481A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hoya Glass Disk Thailand Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 |
JP2009289960A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Tokyo Electron Ltd | 石英部材の洗浄方法及び洗浄システム |
KR100970804B1 (ko) * | 2007-05-28 | 2010-07-16 | 소니 주식회사 | 기판세정방법 및 기판세정장치 |
JP2017199936A (ja) * | 2017-07-31 | 2017-11-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理システムおよび配管洗浄方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010087138A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Panasonic Corp | 洗浄装置および洗浄方法 |
US9676011B2 (en) * | 2011-08-29 | 2017-06-13 | Sealed Air Corporation (Us) | Control technique for multistep washing process using a plurality of chemicals |
US10157801B2 (en) * | 2016-01-04 | 2018-12-18 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Detecting the cleanness of wafer after post-CMP cleaning |
WO2017196493A1 (en) * | 2016-05-13 | 2017-11-16 | Applied Materials, Inc. | Liquid particle counting of semiconductor component parts |
CN112687574B (zh) * | 2019-10-17 | 2023-03-24 | 夏泰鑫半导体(青岛)有限公司 | 晶圆清洗状态的监测系统及监测方法 |
US20210407824A1 (en) | 2020-06-30 | 2021-12-30 | Applied Materials, Inc. | Spm processing of substrates |
CN114653706A (zh) * | 2020-12-24 | 2022-06-24 | 中国科学院微电子研究所 | 半导体单片式清洗装置及方法 |
US11710647B2 (en) * | 2021-01-28 | 2023-07-25 | Applied Materials, Inc. | Hyperbaric clean method and apparatus for cleaning semiconductor chamber components |
CN114724981B (zh) * | 2022-03-10 | 2023-02-28 | 江苏亚电科技有限公司 | 一种晶圆片数片装置及数片方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3356522B2 (ja) * | 1994-01-19 | 2002-12-16 | 富士通株式会社 | 洗浄方法、かかる洗浄方法を使った半導体装置の製造方法および液晶表示装置の製造方法 |
US6241827B1 (en) * | 1998-02-17 | 2001-06-05 | Tokyo Electron Limited | Method for cleaning a workpiece |
TW552165B (en) * | 2000-02-03 | 2003-09-11 | Winbond Electronics Corp | New clean method and equipment for dispersion head |
JP4005879B2 (ja) * | 2002-08-30 | 2007-11-14 | 株式会社東芝 | 現像方法、基板処理方法、及び基板処理装置 |
-
2005
- 2005-03-14 JP JP2005070711A patent/JP2006253552A/ja active Pending
-
2006
- 2006-03-14 US US11/373,987 patent/US20060213538A1/en not_active Abandoned
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100970804B1 (ko) * | 2007-05-28 | 2010-07-16 | 소니 주식회사 | 기판세정방법 및 기판세정장치 |
US8038798B2 (en) | 2007-05-28 | 2011-10-18 | Sony Corporation | Method of and apparatus for cleaning substrate |
JP2009245481A (ja) * | 2008-03-28 | 2009-10-22 | Hoya Glass Disk Thailand Ltd | 磁気ディスク用ガラス基板の製造方法および磁気ディスクの製造方法 |
JP2009289960A (ja) * | 2008-05-29 | 2009-12-10 | Tokyo Electron Ltd | 石英部材の洗浄方法及び洗浄システム |
US8298341B2 (en) | 2008-05-29 | 2012-10-30 | Tokyo Electron Limited | Removal of metal contaminant deposited on quartz member of vertical heat processing apparatus |
JP2017199936A (ja) * | 2017-07-31 | 2017-11-02 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理システムおよび配管洗浄方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20060213538A1 (en) | 2006-09-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006253552A (ja) | 半導体洗浄装置および半導体洗浄方法 | |
JP3154814B2 (ja) | 半導体ウエハの洗浄方法および洗浄装置 | |
JP4917965B2 (ja) | 基板洗浄方法および基板洗浄装置 | |
JP4330959B2 (ja) | 半導体基板の洗浄方法および洗浄装置、半導体基板、ならびに半導体装置 | |
JP6575643B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法 | |
TW200522189A (en) | Method for cleaning semiconductor wafers | |
JP4693642B2 (ja) | 半導体装置の製造方法および洗浄装置 | |
JP6529715B2 (ja) | シリコンウェーハの製造方法 | |
JP3358180B2 (ja) | 半導体ウェハの湿式化学的表面処理法 | |
US20050045202A1 (en) | Method for wafer surface cleaning using hydroxyl radicals in deionized water | |
JP2005019999A (ja) | 半導体ウェハの湿式化学的表面処理法 | |
US20030209259A1 (en) | Method for decreasing wafer scrap rate for a chemical treatment apparatus | |
KR100479310B1 (ko) | 피세정체의 헹굼 방법 및 그 장치 | |
JP3575854B2 (ja) | シリコン単結晶ウエーハの洗浄方法および洗浄装置 | |
KR100732775B1 (ko) | 더미 웨이퍼 재생을 위한 세정조 및 이를 이용한 세정방법 | |
JP2005183627A (ja) | 未反応チタン膜の除去方法及び半導体装置の製造方法、未反応チタン膜の除去装置 | |
JP2007042912A (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄方法 | |
JP2015126067A (ja) | 半導体ウェーハの洗浄方法 | |
JP2005210075A (ja) | 半導体ウエハの洗浄方法 | |
JP2004327878A (ja) | シリコンウェーハの洗浄方法 | |
JPH07153728A (ja) | 温純水洗浄によるシリコンウエーハの表面処理方法 | |
JPH07321080A (ja) | シリコンウェハーの洗浄方法 | |
KR100598287B1 (ko) | 반도체 소자의 세정 방법 | |
TW559877B (en) | Method for decreasing wafer scrap rate for a chemical treatment apparatus | |
Cook | Minimization of Di Water Consumption In Wet Clean Rinse Tanks |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080929 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081003 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20081128 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090410 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090804 |